TW201616067A - 基板快速均溫裝置 - Google Patents

Abstract

本發明係提供一種基板快速均溫裝置，其包含一空調機；一給氣室，該給氣室經由一循環管路與該空調機相連接，該給氣室設置於一無塵室內的頂棚或其他適當位置，該給氣室內設有一容置空間；以及至少一個氣流板，該氣流板固設於該給氣室下方之該開口處，該氣流板上設有複數個氣流孔，且該每一氣流孔與該氣流板之間具有一夾角，又該夾角的角度小於90度，且該每一氣流孔兩端分別於該氣流板的上表面與下表面形成一進氣口與一出氣口，俾使氣流經由氣孔吹出至基板，可達到基板整體快速均溫，並可使基板中心區域均溫速度緩慢問題獲得顯著改善，藉本發明可達到提升製程產能速度及提升產品良率之功效。

Description

基板快速均溫裝置

本發明係有關於一種基板快速均溫裝置，尤指一種可使其氣流孔吹出的氣流以一傾斜角度而非垂直方向吹向玻璃基板，俾可降低玻璃基板中心降溫不均所產生之製程誤差，進而使本發明達到提升產品良率之功效。

常見使用於顯示器之玻璃基板，其於顯示器製造中某些製程，如曝光、塗佈、測長、貼合製程等，會因玻璃基板本身的溫度不正確或是溫度不均，使得基板產生熱脹冷縮現象而產生尺寸偏差，導致製程良率下降的問題。因此於前述對於溫度變化較敏感的製程，會特別關切玻璃基板本身的均溫性以及溫度正確性，常見顯示器製程設定溫度為23℃；且要求於上述製程中，玻璃本身的溫度需控制在±0.2或±0.1度C以內；目前對玻璃均溫習用之作法為對玻璃本身吹送一經過溫控之清淨空氣，此空氣對基板之作用可為降溫或升溫，視玻璃本身送至控制氣流時的溫度是高於或是低於設定溫度本身而定，本文中以降溫為例，在實際應用中，對於升溫或是降溫皆有相同之功效。對此，中華民國專利第I431229號揭露了一種「清淨室」，請參閱第一圖，其包含一空調機10、一循環路11、一高性能過濾器12、至少一給氣室13、至少一噴嘴板14、一清淨室15以及一基板17，該 給氣室13連接該高性能過濾器12，且該高性能過濾器12經由該循環路11與該空調機10連接，該噴嘴板14設置於該給氣室13下方，且該噴嘴板14具有複數個噴嘴140，且該清淨室15具有一清淨區域16。

前述「清淨室」之揭露，基於此一技術方案雖可使該清淨區域16內之該噴嘴板14輸出清淨空氣，且可以自由地選用從該噴嘴板14之該等噴嘴140吹出溫控過的清淨空氣與能調整其風速以及到達距離，其中，當該基板17運送於該清靜區域16之該等噴嘴140下方時，其該等噴嘴140為朝下之設置，故請繼續參閱第二圖與第三圖，其中將進行該基板17之25℃下降至23℃之降溫製程，其中曲線為該基板17降溫時之中心周圍溫度，藉由該空調機10之馬力輸送清淨空氣至該給氣室13，再經由該噴嘴板14向下輸送一垂直氣流18，該垂直氣流18觸碰到該基板17以將該基板17之熱能帶離，但其中由於該垂直氣流18觸碰到該基板17時，該垂直氣流18與該基板17中心周圍之間將形成一中心渦流19，該基板17中心周圍溫度由第1秒至第39秒之時間內，還是無法完整將該基板17中心周圍溫度降至需求之23℃，由於製程容許降溫時間通常低於此時間，此一問題將造成該基板17產生溫度不均而導致後續製程之誤差，將使產品良率降低。是故，如何針對上述缺失加以改進，即為本案申請人所欲解決之技術困難點所在。

有鑑於現有之清淨室，其利用垂直之噴嘴來輸出溫控後之清淨空氣以給予基板作散熱，因垂直氣流容易產生中心渦流，使其基板無法有效均勻散熱，而在基板上產生溫度不均，因此本發明之目的在於發展一種快速降低玻璃基板中心溫度的均溫裝置。

為達成以上之目的，本發明係提供一種基板快速均溫裝置，其包含：一空調機；一給氣室，該給氣室經由一循環管路與該空調機相連接，該給氣室設置於一無塵室的頂棚或其他適當位置，該給氣室內設有一容置空間，且該給氣室下方設有一開口；以及至少一個氣流板，該氣流板固設於該給氣室下方之該開口處，該氣流板上設有複數個氣流孔，且該每一氣流孔與該氣流板之間具有一夾角，又該夾角的角度小於90度，且該每一氣流孔兩端分別於該氣流板的上表面與下表面形成一進氣口與一出氣口。

其中，該等氣流孔為圓柱狀、橢圓柱狀、長條板狀或四邊形長柱狀，且更具有至少一個濾網，係固設於該給氣室之該容置空間內。

藉由本發明採用該氣流板之該等氣流孔，且該等氣流孔與該氣流板之該夾角角度小於90度，其效益在於：避免由該等氣流孔流出之調溫清淨空氣觸碰到玻璃基板時產生其空氣渦流，使得清淨空氣能同時順著一方向流動，將不產生空氣渦流，使其迅速將玻璃基板上之熱能帶離，可達到快速均溫，進而使本發明可達到提升產品良率之功效。

〔習用〕

10‧‧‧空調機

11‧‧‧循環路

12‧‧‧高性能過濾器

13‧‧‧給氣室

14‧‧‧噴嘴板

140‧‧‧噴嘴

15‧‧‧清淨室

16‧‧‧清淨區域

17‧‧‧基板

18‧‧‧垂直氣流

19‧‧‧中心渦流

〔本發明〕

20‧‧‧空調機

21‧‧‧給氣室

210‧‧‧容置空間

211‧‧‧開口

22‧‧‧濾網

23‧‧‧孔板

230‧‧‧氣流孔

2301‧‧‧進氣口

2302‧‧‧出氣口

231‧‧‧夾角

24‧‧‧無塵室

25‧‧‧循環管路

26‧‧‧傾斜氣流

27‧‧‧玻璃基板

第一圖係習用之整體圖。

第二圖係習用之風向示意圖。

第三圖係習用之基板中心周圍溫度降溫示意圖。

第四圖係本發明第一較佳實施例之整體圖。

第五圖係本發明第一較佳實施例之部分立體示意圖。

第六圖係本發明第一較佳實施例之風向示意圖。

第七圖係本發明第一較佳實施例之玻璃基板中心周圍溫度降溫示意圖。

第八圖係本發明第二較佳實施例之部分立體示意圖。

第九圖係本發明第三較佳實施例之部分立體示意圖。

第十圖係本發明第四較佳實施例之部分立體示意圖。

為使 貴審查委員能清楚了解本發明之內容，僅以下列說明搭配圖式，敬請參閱。

請參閱第四圖與第五圖所示，本發明提供一種基板快速均溫裝置，其包含：一空調機20、一給氣室21以及至少一個氣流板23。

該給氣室21經由一循環管路25與該空調機20相連接，該給氣室21設置於一無塵室24的頂棚或其他適當位置，該給氣室21內設有一容置空間210，且該給氣室21下方設有一開口211。於本實施例中，更具有至少一個濾網22，係固設於該給氣室21之該容置空間210內，以作為過濾外部空氣成為清淨空氣。

該氣流板23固設於該給氣室21下方之該開口211處，該氣流板23上設有複數個氣流孔230，且該每一氣流孔230與該氣流板23之間具有一夾角231，又該夾角231的角度小於90度，且該每一氣流孔230兩端分別於該氣流板23的上表面與下表面形成一進氣口2301與一出氣口2302，於本實施例中，該等氣流孔230為圓柱狀。

請繼續參閱第四圖、第六圖與第七圖，其中當一玻璃基板27輸送至該無塵室24內進行25℃下降至23℃之降溫製程，此時該空調機 20抽送空氣經由該循環管路25至該給氣室21內之該容置空間210，其空氣且透過該空調機20控制送風溫度為23℃再送至該給氣室21，透過該給氣室21內之該濾網22形成清淨空氣，其清淨空氣再經由該給氣室21下方之該開口211輸送至該氣流板23之該等氣流孔230內，再經由該等氣流孔230吹出一傾斜氣流26至該玻璃基板27上，且當該傾斜氣流26觸碰到該玻璃基板27時，該傾斜氣流26整體之氣流將順著同一方向前進，再者，該傾斜氣流26碰觸到該玻璃基板27時就算產生反方向氣體分離，也不會產生渦流之氣旋，故該玻璃基板27中心周圍溫度從第1秒至第39秒內，將迅速由25℃降至趨近23℃之需求，以利後續生產製程。

請繼續參閱第六圖、第八圖、第九圖與第十圖，其中為了使得該氣流板23上之該等氣流孔230吹出之清淨空氣對於該玻璃基板27產生不同之風力強度、散熱、均溫效果，故該等氣流孔230可為橢圓柱狀、長條板狀或四邊形長柱狀，以符合最佳之散熱、均溫效果。

綜合以上所述，請繼續參閱第四圖與第六圖所示，藉由本發明採用該氣流板23之該等氣流孔230，且該等氣流孔230與該氣流板23之該夾角231角度小於90度，其效益在於：避免由該等氣流孔230流出之清淨空氣觸碰到該玻璃基板27時產生其空氣渦流，使得清淨空氣能同時順著一方向流動，將不產生空氣渦流，使其迅速將該玻璃基板27上之熱能帶離，減少其熱應力之發生，進而使本發明可達到提升產品良率之功效。

惟上列詳細說明係針對本發明之可行較佳實施例之具體說明，該實施例並非用以限制本發明之專利範圍，而凡未脫離本發明技藝精 神所作之等效實施或變更，均應包含於本案之專利範圍內。

20‧‧‧空調機

21‧‧‧給氣室

210‧‧‧容置空間

211‧‧‧開口

22‧‧‧濾網

23‧‧‧氣流板

230‧‧‧氣流孔

231‧‧‧夾角

24‧‧‧無塵室

25‧‧‧循環管路

Claims (3)

1. 一種基板快速均溫裝置，其包含：一空調機；一給氣室，該給氣室經由一循環管路與該空調機相連接，該給氣室設置於一無塵室的頂棚或其他適當位置，該給氣室內設有一容置空間，且該給氣室下方設有一開口；以及至少一個氣流板，該氣流板固設於該給氣室下方之該開口處，該氣流板上設有複數個氣流孔，且該每一氣流孔與該氣流板之間具有一夾角，又該夾角的角度小於90度，且該每一氣流孔兩端分別於該氣流板的上表面與下表面形成一進氣口與一出氣口。
2. 如申請專利範圍第1項所述之基板快速均溫裝置，其中，該等氣流孔為圓柱狀、橢圓柱狀、長條板狀或四邊形長柱狀。
3. 如申請專利範圍第1項所述之基板快速均溫裝置，更具有至少一個濾網，係固設於該給氣室之該容置空間內。