CN206858172U - 匀流隔热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种能够提高匀流效果的匀流隔热装置。该匀流隔热装置，包括至少两层隔热板，所述隔热板上设置有均匀分布的透气孔；所述隔热板由下至上依次设置，相邻两层隔热板之间至少设置有两根支撑柱；所述支撑柱在隔热板上沿圆周均匀分布；相邻两层隔热板之间具有间距；所述相邻两层隔热板上的透气孔错位分布。采用该匀流隔热装置，能够使得通入工艺腔内的气体均匀分布；从而保证石墨烯薄膜的生产品质，在减少工艺气体用量的同时提高产品质量。

Description

匀流隔热装置

技术领域

本实用新型涉及气体的匀流领域，尤其是用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置。

背景技术

众所周知的：石墨烯薄膜的生长需要在保护气体和相应工艺气体的环境中进行。保护气体以及工艺气体的分布能够直接影响到石墨烯薄膜生长的品质。因此需要在石墨烯生长工艺腔内通入均匀的气流。

常见的使得气流均匀的装置有匀流隔热板，现有匀流隔热板均为在隔热板上设置均匀分布的通气孔，从而实现对经过隔热板气流的均匀分布。

然而通过单层的匀流隔热板并不能使得气流均匀的进入到工艺腔内。当石墨烯生长基料需要从匀流隔热板的中心位置穿过时，现有的匀流隔热板将无法满足石墨烯薄膜生长的要求。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够提高匀流效果的匀流隔热装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型提供了一种匀流隔热装置，包括至少两层隔热板，所述隔热板上设置有均匀分布的透气孔；所述隔热板由下至上依次设置，相邻两层隔热板之间至少设置有两根支撑柱；所述支撑柱在隔热板上沿圆周均匀分布；相邻两层隔热板之间具有间距；所述相邻两层隔热板上的透气孔错位分布。

优选的，所述隔热板上设置有中心通孔，且所有隔热板上的中心通孔的中心线共线。

进一步的，所述支撑柱一端固定在最下层的隔热板上；另一端穿过最下层的隔热板上方的所有隔热板；所述隔热板上设置有滑套，所述支撑柱穿过滑套，且与滑套滑动配合；所述支撑柱外表面设置有螺纹，每层隔热板下方均设置有调节螺母，所述调节螺母与支撑柱螺纹配合，且与滑套接触。

优选的，所述支撑柱为伸缩杆。

优选的，所述中心通孔为长条形通孔。

进一步的，所述中心通孔为圆孔，且位于匀流隔热板中心位置五分之一的面积区域内。

进一步的，每层隔热板上的通气孔，由最下层隔热板到最顶层的隔热板依次减小。

优选的，所述隔热板为圆形，所述隔热板的半径为R，相邻两层隔热板之间的间距为0.5R至2R。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所述的匀流隔热装置由于设置有至少两层匀流隔热板，同时相邻两层匀流隔热板上的通气孔错位分布，因此通过多层隔热板对气流的匀流作用使得通入工艺腔内的气体均匀分布；此外，对于高温工艺腔，本隔热装置可有效阻止热辐射对设备影响，也可以防止由于辐射损失而导致温度不稳定。从而保证石墨烯薄膜的生产品质，在减少工艺气体用量的同时提高产品质量。

附图说明

图1是本实用新型实施例中匀流隔热装置上中心通孔为圆孔的立体图；

图2是本实用新型实施例中匀流隔热装置上中心通孔为长条形通孔的立体图；

图3是本实用新型实施例中匀流隔热装置上相邻两层隔热板间距可调时的立体图；

图4是图3的俯视图；

图5是图4中的A-A剖视图；

图中标示：1-隔热板，2-中心通孔，3-通气孔，4-支撑立柱，5-滑套，6-轴套，7-调节螺母。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

如图1至图5所示，本实用新型所述的匀流隔热装置，包括至少两层隔热板1，所述隔热板1上设置有均匀分布的透气孔3；所述隔热板1由下至上依次设置，相邻两层隔热板1之间至少设置有两根支撑柱4；所述支撑柱4在隔热板1上沿圆周均匀分布；相邻两层隔热板1之间具有间距；所述相邻两层隔热板1上的透气孔3错位分布。

在使用的过程中，将匀流隔热装置安装到石墨烯薄膜生长设备的高温工艺腔内，然后通入气体，气体依次通过多层隔热板1，由于上设置有均匀分布的透气孔3，并且所述相邻两层隔热板1上的透气孔3错位分布，因此当气体经过一层隔热板1匀流后，再经过第二层隔热板1匀流，从而能够使得气体经过最后一层匀流板时，匀流板上各个通气孔3排出的气流均匀，气体被充分匀流，能够使得工艺腔内的气流均与平稳。

综上所述，本实用新型所述的匀流隔热装置由于设置有至少两层匀流隔热板，同时相邻两层匀流隔热板上的通气孔错位分布，因此通过多层隔热板对气流的匀流作用使得通入工艺腔内的气体均匀分布；此外，对于高温工艺腔，本隔热装置可有效阻止热辐射对设备影响，也可以防止由于辐射损失而导致温度不稳定。从而保证石墨烯薄膜的生产品质，在减少工艺气体用量的同时提高产品质量。

所述匀流隔热板1上可以设置中心通孔2，也可以不设置中心通孔2，为了使得匀流隔热装置适应石墨烯卷对卷生长时，石墨烯生长基穿过匀流隔热板1进行石墨烯生长，优选的所述隔热板1上设置有中心通孔2，且所有隔热板1上的中心通孔的中心线共线。

为了便于调节相邻两层隔热板1之间的间距，从而保证气流能够充满相邻两层隔热板1之间的间隙，提高匀流效果。进一步的，所述支撑柱4一端固定在最下层的隔热板1上；另一端穿过最下层的隔热板1上方的所有隔热板1；所述隔热板1上设置有滑套5，所述支撑柱4穿过滑套5，且与滑套5滑动配合；所述支撑柱4外表面设置有螺纹，每层隔热板1下方均设置有调节螺母7，所述调节螺母7与支撑柱4螺纹配合，且与滑套5接触。另外一种优选的方式为，所述支撑柱4为伸缩杆。

所述中心通孔2可以为多种形状，如：中心通孔2可以设置为矩形孔。为了便于加工，所述中心通孔2采用圆形通孔。为了避免圆形通孔开孔面积较大时，通过的气流较大，从而造成匀流效果不佳，另一种优选的方式为所述中心通孔2为长条形通孔。

为了避免中心通孔4开孔过大，气流直接从中心通孔4流过，从而造成匀流效果较差，进一步的，所述中心通孔4为圆孔，且位于匀流隔热板1中心位置五分之一的面积区域内。

为了使得气体通过匀流隔热装置后，能够充分的均匀的分布在工艺墙内，提高匀流效果，进一步的，每层匀流隔热板1上的通气孔3，由最下层匀流隔热板1到最顶层的匀流隔热板1依次减小。

为了减小匀流隔热板1在匀流过程中对气流的阻力，进一步的，所述隔热板1为圆形，所述匀流隔热板1的半径为R，相邻两层匀流隔热板1之间的间距为0.5R至2R。

Claims (8)

1.匀流隔热装置，其特征在于：包括至少两层隔热板(1)，所述隔热板(1)上设置有均匀分布的透气孔(3)；所述隔热板(1)由下至上依次设置，相邻两层隔热板(1)之间至少设置有两根支撑柱(4)；所述支撑柱(4)在隔热板(1)上沿圆周均匀分布；相邻两层隔热板(1)之间具有间距；所述相邻两层隔热板(1)上的透气孔(3)错位分布。

2.如权利要求1所述的匀流隔热装置，其特征在于：所述隔热板(1)上设置有中心通孔(2)，且所有隔热板(1)上的中心通孔(2)的中心线共线。

3.如权利要求1所述的匀流隔热装置，其特征在于：所述支撑柱(4)一端固定在最下层的隔热板(1)上；另一端穿过最下层的隔热板(1)上方的所有隔热板(1)；所述隔热板(1)上设置有滑套(5)，所述支撑柱(4)穿过滑套(5)，且与滑套(5)滑动配合；所述支撑柱(4)外表面设置有螺纹，每层隔热板(1)下方均设置有调节螺母(7)，所述调节螺母(7)与支撑柱(4)螺纹配合，且与滑套(5)接触。

4.如权利要求1所述的匀流隔热装置，其特征在于：所述支撑柱(4)为伸缩杆。

5.如权利要求2所述的匀流隔热装置，其特征在于：所述中心通孔(2)为长条形通孔。

6.如权利要求2所述的匀流隔热装置，其特征在于：所述中心通孔(2)为圆孔，且位于匀流隔热板(1)中心位置五分之一的面积区域内。

7.如权利要求1所述的匀流隔热装置，其特征在于：每层隔热板(1)上的通气孔(3)，由最下层隔热板(1)到最顶层的隔热板(1)依次减小。

8.如权利要求1所述的匀流隔热装置，其特征在于：所述隔热板(1)为圆形，所述隔热板(1)的半径为R，相邻两层隔热板(1)之间的间距为0.5R至2R。