CN102659405A - 高密度氧化铌溅射靶材的制备方法 - Google Patents
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Abstract
Description
温度℃ | 压力MPa | 时间min | 密度g/cm3 | |
实施例1 | 1200 | 12 | 180 | 4.52 |
实施例2 | 1200 | 10 | 150 | 4.51 |
实施例3 | 1250 | 11 | 180 | 4.54 |
实施例4 | 1300 | 11 | 180 | 4.53 |
实施例5 | 1250 | 12 | 180 | 4.545 |
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