CN102656101B - 物品保管设备及其运转方法 - Google Patents

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Abstract

物品保管设备在物品收存容器(U)的外周部、并且在收存部上载置有物品收存容器(U)的状态下与容器载置用的板状体(11)的上方重合的部位装备有存储该物品收存容器(U)的识别信息的无源形式的RFID标签(T),控制机构(H)构成为,如果被指令用RFID读取器(D)读取装备在收存于收存部中的物品收存容器(U)上的RFID标签(T)的识别信息的物品确认处理,则执行读取用动作处理,该读取用动作处理控制运送机构的动作,使物品载置体(8)以取出用高度突出成突出状态、接着使物品载置体(8)上升到比取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度(B3)、然后使物品载置体(8)下降到取出用高度并退回到退回状态。

Description

物品保管设备及其运转方法
技术领域
本发明涉及一种物品保管设备及其运转方法,该物品保管设备具备保管部、其内排列设置有载置支撑物品收存容器的多个收存部,运送机构、其具备在上述保管部的前面侧的物品运送用空间内沿着上述收存部的排列方向移动自如、并且将上述物品收存容器相对于上述收存部移载地动作自如的移载机构,和控制上述运送机构的动作的控制机构。 
背景技术
作为这种物品保管设备的一例有如下构成的设备:上述移载机构通过在位于上述物品运送用空间内的退回状态和突出到上述收存部内的突出状态之间进退驱动自如且升降驱动自如的物品载置体,进行将载置在上述收存部上的物品收存容器取出的取出处理、以及将由上述物品载置体载置的物品收存容器向上述收存部收存的收存处理;上述收存部由具备上述突出状态的上述物品载置体沿上下通过自如的载置体通过用的开口的金属制的容器载置用的板状体构成;上述控制机构在进行上述取出处理时,控制上述运送机构的动作,使上述物品载置体以比上述板状体低设定量的取出用高度突出成上述突出状态,接着使上述物品载置体上升到比上述取出用高度仅高出取出用上升量的取出用目标高度,然后使上述物品载置体退回到上述退回状态。 
这种物品保管设备通过使运送机构具备的移载机构在保管部的前面侧的物品运送用空间内沿着收存部的排列方向移动而移动到移载对象的收存部,并且用构成移载机构的物品载置体进行将收存在该收存部中的物品收存容器取出的取出处理、及将物品收存容器向收存部收存的收存处理。作为物品收存容器,存在收存各种物品的容器及桶、收存基板的FOUP。 
通过取出处理取出的物品收存容器一般向相对于保管部的物品运入运出部运送,但也有向别的收存部运送的情况。在收存处理中向收存部收存的物品收存容器一般从相对于保管部的物品运入运出部运送,但也有从别的收存部取出的情况。 
当用物品载置体进行取出处理时,控制机构以比构成收存部的容器载置用的板状体低设定量的取出用高度使物品载置体突出成向收存部内突出的突出状态。接着,控制机构使物品载置体上升到比取出用高度仅高出取出用上升量的取出用目标高度。然后,控制机构控制运送机构的动作,使物品载置体退回到上述退回状态。取出用高度设定为突出成突出状态的物品载置体不接触到构成收存部的板状体的高度。取出用目标高度设定为退回到退回状态的物品载置体不接触到构成收存部的板状体的高度。 
在这种物品保管设备中,需要进行确认收存在收存部中的物品收存容器的物品确认处理(换言之,是盘货处理)。因此,有将表示物品收存容器的识别信息的标签装备在物品收存容器上、通过读取该标签的识别信息来进行物品确认处理的情况。 
进行这种物品确认处理的以往例记载在特开平5-105204号公报中。在特开平5-105204号公报中,记载有具备作为运送机构的堆垛起重机的物品保管设备。在该物品保管设备中,将作为表示识别信息的标签的条形码标贴装备在物品收存容器上,在具备作为物品载置体的叉的升降台上设有作为读取标签的识别信息的读取器的条形码读取器。并且,控制运送机构的动作的控制机构如果被指令物品确认处理,则通过取出处理将收存在确认对象的收存部中的物品收存容器取出到升降台上,用条形码读取器读取装备在物品收存容器上的条形码标贴,然后通过收存处理将物品收存容器向收存部收存。 
此外,在国际公开第2006/059675号中记载有另一以往例。在国际公开第2006/059675号中,记载有具备作为运送机构的堆垛起重机的物品保管设备。在该物品保管设备中,在物品收存容器上装备作为表示识别信息的标签的RFID标签,在升降台上设有作为读取标签的识别信息的读取器的RFID读取器。并且,如果控制运送机构的动作的控制机构被指令物品确认处理,则将收存在收存部中的收存容器取出到升降台上,用RFID读取器读取装备在物品收存容器中的RFID标签,然后,通过收存处理将物品收存容器向收存部收存。 
另外,作为表示识别信息的标签的条形码标贴有可能容易污损。此外,为了用条形码读取器读取条形码标贴,需要将条形码标贴和条形码读取器正确地定位到适合于读取的位置上。结果,在使用条形码标贴和条形码读取器的情况下,因为读取不良而有可能难以良好地进行物品确认处理。 
对此,在使用RFID读取器和RFID标签的情况下,作为表示识别信息的标签的RFID标签不会因污损而发生读取不良。此外,即使RFID读取器与RFID标签的位置关系稍稍变动,也能够通过RFID读取器读取RFID标签,所以容易良好地进行物品确认处理。 
专利文献1:特开平5-105204号公报, 
专利文献2:国际公开第2006/059675号。
在以往的物品保管设备中确认收存在收存部中的物品收存容器的情况下,需要在将收存在收存部中的物品收存容器取出到升降台上后进行物品确认、然后将取出的物品收存容器向收存部收存的次序。即,起因于必须将物品收存容器暂且取出到升降台上,有物品确认处理的处理时间变长的不良状况。顺便说一下,物品确认处理是通常一边使移载机构分别向多个收存部的每一个移动、一边确认收存在全部的收存部中的物品收存容器。因而,对全部的收存部进行物品确认处理的时间需要很多时间。 
发明内容
本发明是鉴于上述问题而做出的,目的是提供一种能够可靠地进行物品确认处理、并且能够实现该处理所需要的时间的缩短的物品保管设备及其运转方法。 
用来达到上述目的的本发明所涉及的物品保管设备的特征结构在于,具备:保管部、其内排列设置有载置支撑物品收存容器的多个收存部,运送机构、其具备在上述保管部的前面侧的物品运送用的空间内沿着上述收存部的排列方向移动自如、并且将上述物品收存容器相对于上述收存部移载地动作自如的移载机构,和控制上述运送机构的动作的控制机构;上述移载机构具有在位于上述空间内的退回状态和突出到上述收存部内的突出状态之间进退驱动自如且升降驱动自如,能够载置上述物品收存容器的物品载置体,上述物品载置体在将载置在上述收存部中的物品收存容器取出的取出处理、以及将由上述物品载置体载置的物品收存容器向上述收存部收存的收存处理中使用;上述收存部具有载置收存的上述物品收存容器的金属制的板状体,上述板状体具有处于上述突出状态的上述物品载置体沿上下方向通过自如的开口;当进行上述取出处理时,上述控制机构控制上述运送机构的动作,使上述物品载置体以比上述收存部的上述板状体仅低设定量的取出用高度突出成上述突出状态,接着使上述物品载置体上升到比上述取出用高度仅高出取出用上升量的取出用目标高度,然后使上述物品载置体退回到上述退回状态;上述物品收存容器在其外周部、且上述物品收存容器载置在上述收存部中的状态下与上述板状体的上方重合的部位,具有存储该物品收存容器的识别信息的无源形式的RFID标签;上述物品载置体具有读取上述RFID标签存储的上述识别信息的RFID读取器;上述控制机构构成为,如果被指令用上述RFID读取器读取收存在上述收存部中的上述物品收存容器具有的上述RFID标签的识别信息的物品确认处理,则执行读取用动作处理,该读取用动作处理控制上述运送机构的动作,使上述物品载置体以上述取出用高度突出成上述突出状态,接着使上述物品载置体上升到比上述取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度,然后使上述物品载置体下降到上述取出用高度并退回到上述退回状态。 
即,在物品收存容器的外周部、且物品收存容器载置在收存部的板状体上的状态下与板状体的上方重合的部位装备有存储该物品收存容器的识别信息的无源形式的RFID标签,在物品载置体上装备有读取RFID标签存储的识别信息的RFID读取器。 
并且,当用RFID读取器读取装备在收存于收存部中的物品收存容器上的无源形式的RFID标签存储的识别信息时,使物品载置体向收存部内突出且升降。 
具体而言,控制机构如果被指令用RFID读取器读取装备在收存于收存部中的物品收存容器上的RFID标签的识别信息的物品确认处理,则执行读取用动作处理,该读取用动作处理控制运送机构的动作,使物品载置体以取出用高度突出成突出状态,接着使物品载置体上升到比取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度,然后使物品载置体下降到取出用高度并退回到退回状态,在此期间中,装备在物品载置体上的RFID读取器读取装备在物品收存容器上的RFID标签存储的识别信息。 
这样,在进行物品确认处理时,使物品载置体以取出用高度突出成突出状态,接着使物品载置体上升到比取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度,然后使物品载置体下降到取出用高度并退回到退回状态。因而,由于不比花费将收存在收存部中的物品收存容器从收存部取出并再次收存的工夫,保持物品收容容器位于收存部的状态进行物品确认处理,所以能够实现物品确认处理所需要的时间的缩短。 
此外,当为了物品确认处理而用装备在物品载置体上的RFID读取器读取装备在物品收存容器上的RFID标签存储的识别信息时,除了使物品载置体以取出用高度突出成突出状态以外,还使物品载置体上升到比取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度。因而,能够避免由构成收存部的金属制的容器载置用的板状体将从RFID读取器发送的电波截断的影响、及将从RFID标签向RFID读取器返送的电波截断的影响,可靠地通过RFID读取器读取RFID标签存储的识别信息。 
如果加以说明,则当使物品载置体以取出用高度突出成突出状态时,装备在物品载置体上的RFID读取器和装备在物品收存容器上的RFID标签位于能够用RFID读取器读取RFID标签存储的识别信息的区域内。但是,由于构成收存部的容器载置用的板状体位于RFID读取器与RFID标签之间,所以有可能由于从RFID读取器发送的电波及从RFID标签返送的电波因板状体而减弱或被截断的影响而不能由RFID读取器可靠地读取RFID标签存储的识别信息。但是,在本特征结构中,通过除了使物品载置体以取出用高度突出成突出状态以外,还使物品载置体上升到比取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度,能够避免从RFID读取器发送的电波及从RFID标签返送的电波被板状体减弱或截断的影响。结果,能够通过RFID读取器可靠地读取RFID标签存储的识别信息。 
由于无源形式的RFID标签中不需要电源,所以小型且便宜,但为了用RFID读取器读取RFID标签存储的识别信息,需要使RFID标签与RFID读取器接近、并且使得在它们之间不存在屏蔽电波的物体。但是,在本特征结构中,如上所述,通过除了使物品载置体以取出用高度突出成突出状态以外、还使物品载置体上升到比取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度,能够避免从RFID读取器发送的电波及从RFID标签返送的电波被容器载置用的板状体减弱或截断的影响、而使用RFID读取器可靠地读取RFID标签存储的识别信息。 
顺带说一下,当用RFID读取器读取RFID标签存储的识别信息时,也有物品收存容器自身将从RFID读取器发送的电波及从RFID标签返送的电波减弱或截断的情况。即,物品收存容器一般由合成树脂形成,所以电波某种程度上透过物品收存容器,但通过物品收存容器遮蔽电波的影响,有难以用RFID读取器读取RFID标签存储的识别信息的情况。 
即使是这种情况,通过使物品载置体上升到比取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度、使物品收存容器从收存部的容器载置用的板状体浮起,也能够在物品收存容器与收存部的板状体之间形成电波通过的空间。结果,能够使用RFID读取器可靠地读取RFID标签存储的识别信息。 
另外,在将物品收存容器载置在收存部的容器载置用的板状体上的状态下,如果是通过在物品收存容器的底部上形成脚部等而在物品收存容器与收存部的板状体之间存在电波通过的空间的情况、或物品收存容器是电波的透过性较高的结构的情况,并不一定需要使物品收存容器从收存部的板状体浮起。这是由于即使使物品收存容器从收存部的板状体浮起,只要通过使物品载置体上升到比取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度而使RFID读取器上升,就能够用RFID读取器读取RFID标签存储的识别信息。 
因而,根据本特征结构,能够提供能够可靠地进行物品确认处理、并且能够实现该处理所需要的时间的缩短的物品保管设备。 
本发明所涉及的物品保管设备的另一特征结构在于,上述读取用上升量设定得比上述取出用上升量小。 
在本特征结构中,在用于物品确认处理的读取用动作处理中,当除了使物品载置体以取出用高度突出成突出状态以外、使物品载置体上升到比取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度时,该读取用上升量设定得比将物品收存容器从收存部取出的取出处理时的取出用上升量小。因而,在用于物品确认处理的读取用动作处理中,由于使物品载置体从取出用高度上升的量少,所以能够实现物品确认处理所需要的时间的进一步的缩短。 
即,读取用上升量虽然设定得比进行将物品收存容器从收存部取出的取出处理时的取出用上升量小,但通过使物品载置体从取出用高度上升,能够减小从RFID读取器发送的电波及从RFID标签返送的电波被容器载置用的板状体减弱或截断的影响、用RFID读取器可靠地读取RFID标签存储的识别信息。 
顺便说一下,在通过从RFID读取器发送的电波及从RFID标签返送的电波被物品收存容器减弱或屏蔽、难以通过RFID读取器读取RFID标签存储的识别信息的情况下,只要将读取用上升量设定为比进行将物品收存容器从收存部取出的取出处理时的取出用上升量小、但能够使物品收存容器从收存部的容器载置用的板状体浮起的上升量就可以。由此,能够在物品收存容器与收存部的板状体之间形成电波通过的空间、用RFID读取器可靠地读取RFID标签存储的识别信息。 
此外,如果是在将物品收存容器载置在收存部的容器载置用的板状体上的状态下,通过在物品收存容器的底部上形成有脚部等而在物品收存容器与收存部的板状体之间存在电波通过的空间的情况,则只要将读取用上升量设定为虽然不使物品收存容器从收存部的容器载置用的板状体浮起、但能够使RFID读取器位于发送的电波容易穿过物品收存容器与收存部的板状体之间的空间通过的高度的上升量,就能够用RFID读取器可靠地读取RFID标签存储的识别信息。 
因而,根据本特征结构,能够提供能够实现物品确认处理所需要的时间的进一步的缩短的物品保管设备。 
本发明所涉及的物品保管设备的另一特征结构在于,上述板状体具有的上述开口形成为沿着上述突出状态的上述物品载置体的前端的外周缘的形状;在上述板状体上,形成有与上述开口相连、并且朝向在上述物品收存容器载置在上述收存部中的状态下上述RFID标签所在的一侧凹入的缺口。 
即,形成在收存部的容器载置用的板状体上的载置体通过用的开口形成为沿着突出状态的物品载置体的前端的外周缘的形状。结果,与作为开口而形成为比突出状态的物品载置体的前端的外周缘大足够多的开口的情况相比,能够使板状体的强度上升以便适当地进行物品收存容器的支撑。 
并且,在容器载置用的板状体上,形成有与该开口相连、并且在物品收存容器载置在收存部中的状态下朝向RFID标签所在的一侧凹入的缺口。结果,该缺口起到使从RFID读取器发送的电波通过、及使从RFID标签返送的电波通过的作用。因而,虽然是将形成在板状体上的开口形成为沿着突出状态的物品载置体的前端的外周缘的形状的结构,但当使物品载置体上升到比取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度时,能够尽量减小该读取用上升量而实现物品确认处理所需要的时间的缩短。 
顺便说一下,可以考虑使形成在板状体上的缺口为宽度较宽并且向RFID标签所在的一侧较大地进入的大缺口,仅通过使物品载置体以取出用高度突出成突出状态,用RFID读取器读取RFID标签的识别信息。但是,在此情况下,板状体的强度因大缺口的形成而下降,难以实用。 
因而,根据本特征结构,能够提供能够使容器载置用的板状体的强度上升并实现物品确认处理所需要的时间的缩短的物品保管设备。 
本发明所涉及的物品保管设备的另一特征结构在于,上述控制机构构成为,在上述读取用动作处理中,在使上述物品载置体以上述取出用高度突出成上述突出状态后、从上述取出用高度向上述读取用目标高度上升时,开始由上述RFID读取器进行的上述RFID标签的识别信息的读取,并且如果在从上述取出用高度向上述读取用目标高度上升的中途、由上述RFID读取器进行的上述RFID标签的识别信息的读取完成,则使上述物品载置体的上升停止,使上述物品载置体下降到上述取出用高度并退回到上述退回状态。 
即,在为了物品确认处理而进行读取动作处理的情况下,当在使物品载置体以取出用高度突出成突出状态后从取出用高度向读取用目标高度上升时,开始通过RFID读取器进行的RFID标签的识别信息的读取。 
并且,如果在从取出用高度向读取用目标高度上升的中途、通过RFID读取器进行的RFID标签的识别信息的读取完成,则即使未上升到读取用目标高度,也使物品载置体的上升停止,使物品载置体下降到取出用高度并退回到退回状态。 
使物品载置体上升的读取用目标高度通过实验等求出并设定成即使物品收存容器收存在收存部上时的状态稍稍变化等条件变化,也能够通过RFID读取器可靠地读取RFID标签的识别信息。但是,通过RFID读取器进行的RFID标签的识别信息的读取不是必须使物品载置体上升到读取用目标高度来进行的,例如有因为物品收容容器以适合于读取的状态向收存部收存等的理由而在使物品载置体向读取用目标高度上升的中途进行的情况。 
所以,如果在从取出用高度向读取用目标高度上升的中途、RFID读取器进行的RFID标签的识别信息的读取完成,则即使不上升到读取用目标高度,也使物品载置体的上升停止。并且,使物品载置体下降到取出用高度并退回到退回状态。结果,与必定使物品载置体上升到读取用目标高度相比,能够进一步缩短物品确认处理所需要的时间。 
因而,根据本特征结构,能够提供能够使物品确认处理所需要的时间进一步缩短的物品保管设备。 
本发明所涉及的物品保管设备的另一特征结构在于,上述物品收存容器是收存基板的FOUP,上述RFID标签装备在上述FOUP上在载置在上述物品载置体上的状态下相当于背部的部位上;在上述板状体上立设有卡合到形成在上述FOUP的底面部上的定位用凹部中的定位销。 
即,在物品收存容器是收存基板的FOUP的情况下,依据SEMI标准,将RFID标签装备到FOUP上在载置到物品载置体上的状态下相当于背部的部位上。 
并且,作为将FOUP载置到收存部的容器载置用的板状体上的形态,在板状体上立设向形成在FOUP的底面部上的定位用凹部卡合的定位销,在将FOUP用立设在板状体上的定位销进行了水平方向上的定位的状态下,将FOUP载置到板状体上。 
这样,在物品收存容器是FOUP的情况下,将RFID标签装备在上述FOUP上在载置在上述物品载置体上的状态下相当于背部的部位上。因此,仅通过使物品载置体以取出用高度向收存部内突出,板状体就将电波的通过减弱或截断,由此难以用装备在物品载置体的下表面侧部位上的RFID读取器读取RFID标签存储的识别信息。但是,通过执行上述读取用动作处理,能够用RFID读取器读取RFID标签存储的识别信息。 
顺便说一下,在以用立设在容器载置用的板状体上的定位销将水平方向上的位置定位的形态将FOUP载置在板状体上的状态下,需要使定位销卡合到形成在FOUP的底面部上的定位用凹部中,而且FOUP为从板状体的上表面稍稍浮起的状态。 
因而,当在读取动作处理中使物品载置体从取出用高度向读取用目标高度上升时,有不需要使物品载置体上升到使FOUP从物品载置体浮起的状态的情况。此外,即使在需要使物品载置体上升到使FOUP从物品载置体浮起的状态的情况下,也只要以使FOUP从物品载置体浮起的量为较小的量的状态使物品载置体上升就可以。 
特别是,在板状体上形成上述缺口的情况下,能够减小使物品载置体从取出用高度向读取用目标高度上升的读取用上升量。 
因而,根据本特征结构,能够提供能够良好地进行针对收存基板的FOUP的物品确认处理的物品保管设备。 
用来达到上述目的的本发明所涉及的物品保管设备的运转方法的特征结构在于,所述物品保管设备具备:保管部、其内排列设置有载置支撑物品收存容器的多个收存部,运送机构、其具备在上述保管部的前面侧的物品运送用的空间内沿着上述收存部的排列方向移动自如、并且将上述物品收存容器相对于上述收存部移载地动作自如的移载机构,和控制上述运送机构的动作的控制机构;上述移载机构具有在位于上述空间内的退回状态和突出到上述收存部内的突出状态之间进退驱动自如且升降驱动自如,能够载置上述物品收存容器的物品载置体,上述物品载置体在将载置在上述收存部中的物品收存容器取出的取出处理、以及将由上述物品载置体载置的物品收存容器向上述收存部收存的收存处理中使用;上述收存部具有载置收存的上述物品收存容器的金属制的板状体,上述板状体具有处于上述突出状态的上述物品载置体沿上下方向通过自如的开口;当进行上述取出处理时,上述控制机构控制上述运送机构的动作,使上述物品载置体以比上述收存部的上述板状体仅低设定量的取出用高度突出成上述突出状态,接着使上述物品载置体上升到比上述取出用高度仅高出取出用上升量的取出用目标高度,然后使上述物品载置体退回到上述退回状态;上述物品收存容器在其外周部且上述物品收存容器载置在上述收存部中的状态下与上述板状体的上方重合的部位,具有存储该物品收存容器的识别信息的无源形式的RFID标签;上述物品载置体具有读取上述RFID标签存储的上述识别信息的RFID读取器;上述物品保管设备的运转方法包括:突出工序,如果被指令用上述RFID读取器读取收存在上述收存部中的上述物品收存容器具有的上述RFID标签的识别信息的物品确认处理,则使上述物品载置体以上述取出用高度突出成上述突出状态;上升工序,接着上述突出工序,使上述物品载置体上升到比上述取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度,并且开始由上述RFID读取器进行的上述RFID标签的识别信息的读取;下降工序,接着上述上升工序,使上述物品载置体下降到上述取出用高度;退回工序,接着上述下降工序,使上述物品载置体以上述取出用高度退回到上述退回状态。 
根据本特征结构,与上述同样,能够提供能够可靠地进行物品确认处理、并且能够实现该处理所需要的时间的缩短的物品保管设备的运转方法。 
本发明所涉及的物品保管设备的运转方法的另一特征结构在于,在上述上升工序中,开始由上述RFID读取器进行的上述RFID标签的识别信息的读取,并且如果在从上述取出用高度向上述读取用目标高度上升的中途、由上述RFID读取器进行的上述RFID标签的识别信息的读取完成,则使上述物品载置体的上升停止,转移到上述下降工序。 
根据本特征结构,与上述同样,能够提供能够使物品确认处理所需要的时间进一步缩短的物品保管设备的运转方法。 
附图说明
图1是物品保管设备的部分切开正视图; 
图2是该设备的部分切开俯视图;
图3是移载机构的俯视图;
图4是移载机构的后视图;
图5是收存部及物品载置体的立体图;
图6是突出状态的物品载置体的俯视图;
图7是取出用高度下的物品载置体的突出状态的侧视图;
图8是取出用目标高度下的物品载置体的突出状态的侧视图;
图9是读取用目标高度下的物品载置体的突出状态的侧视图;
图10是表示控制结构的框图;
图11是表示控制动作的流程图;
图12是表示控制动作的流程图;
图13是表示控制动作的流程图。
具体实施方式
以下,基于附图说明本发明的物品保管设备及其运转方法的实施方式。 
如图1及图2所示,物品保管设备具备具有前后一对的保管部A的保管搁架1,设置在一对保管部A的前面侧、即一对保管部A之间的物品运送用的空间F中的作为运送机构的堆垛起重机K,和作为控制该堆垛起重机K的动作的控制机构的控制部H(参照图10)。保管搁架1的外周部被壁体覆盖。 
一对保管部A分别具有纵横排列设置的多个载置支撑作为物品收存容器的、收存基板的FOUP(Front Opening Unified Pod)(以下,简称作容器)U的收存部S。在一对保管部A的一侧的一部分上,设有将容器U从外部运入且向外部运出的运入运出部1A。控制部H控制堆垛起重机K的动作,以使用堆垛起重机K进行在一对保管部A的各收存部S与运入运出部1A之间运送容器A、即将运入到物品运入运出部1A中的容器U向收存部S收存的入库处理、以及将收存在收存部S中的容器U向物品运入运出部1A取出的出库处理。 
此外,控制部H控制堆垛起重机K的动作,以使其除了入库处理及出库处理以外、还如后述那样进行读取收存在多个收存部S中的容器U的识别信息的物品确认处理。 
另外,控制部H也有控制堆垛起重机K的动作、以进行将收存在收存部S中的容器U向其他收存部S运送、即变更容器U的收存位置的收存位置变更处理的情况,但在本实施方式中,省略关于收存位置变更处理的说明。 
容器U、即FOUP是依据SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute)规格的合成树脂制的密封容器,为了收存作为基板的半导体晶片而使用。并且,虽然详细的说明省略,但在容器U的前表面上形成有用拆装自如的盖开闭的基板出入用的开口,在容器U的上表面上,形成有通过吊升式的运送机构把持的顶部法兰,并且,在容器U的底面上,如图3及图6所示,形成有定位销P、Q(参照图5)卡合的3个卡合槽N。 
形成在容器U的底面上的3个卡合槽N中的一个以其长度方向朝向前后方向的状态形成在容器U的背部侧且横宽方向的中央部上。其余的两个以其长度方向朝向容器U的中央侧部位的状态形成在容器U的前方侧且左右两横侧部上。并且,3个卡合槽N分别形成为纵截面形状越靠里侧(上侧)宽度越窄的状态。 
堆垛起重机K具备沿着地面侧的行驶轨道2往复行驶自如的行驶台车3、从该行驶台车3上立设且上部被顶棚侧的导引轨道4导引的立柱5、一边沿着该立柱5被导引一边被升降驱动的升降台6、以及装备在该升降台6上的移载机构R。 
移载机构R通过行驶台车3的行驶及升降台6的升降而动作,在物品运送用的空间F内沿着收存部S的排列方向、即沿着保管部A的横宽方向及上下方向移动、并且将容器U相对于收存部S移载。 
此外,移载机构R用来通过向退回到物品运送用的空间F内的退回状态和突出到收存部S内的突出状态之间进退驱动自如、升降驱动自如的铝制的物品载置体8进行将载置在收存部S上的容器U取出的取出处理、以及用来将载置在物品载置体8上的容器U向收存部S收存的收存处理。将载置在收存部S上的容器U取出的取出处理的具体的方法是各种各样的,但在本实施方式中,该取出处理是通过物品载置体8将容器U从下方捧取的捧取处理。同样,将由物品载置体8载置的容器U向收存部S收存的收存处理的具体的方法是各种各样的,但在本实施方式中,该收存处理是将由物品载置体8从下方载置支撑的容器U卸下到收存部S的板状体上的卸下处理。 
移载机构R也用于相对于物品运入运出部1A也进行上述取出处理及上述收存处理。 
并且,移载机构R当进行取出处理及收存处理时,通过行驶台车3的行驶而移动,相对于移载对象的收存部S或物品运入运出部1A位于其横宽方向上的设定移载用位置,在取出处理中,如图7所示,使物品载置体8相对于移载对象的收存部S或物品运入运出部1A位于取出用高度B1,并且在收存处理中,如图8所示,通过升降台6的升降而移动,使物品载置体8相对于移载对象的收存部S或物品运入运出部1A位于收存用高度C1。 
即,在将运入到物品运入运出部1A的容器U向收存部S收存的入库处理中,首先,将移载机构R移动到相对于物品运入运出部1A的设定移载用位置,并且使物品载置体8位于取出用高度B1,在此状态下进行取出处理。接着,使移载机构R移动到相对于收存容器U的收存部S的设定移载用位置,并且使物品载置体8位于收存用高度C1,在此状态下进行收存处理。 
同样,在将收存在收存部S中的容器U向物品运入运出部1A取出的出库处理中,首先,将移载机构R移动到相对于收存出库对象的容器U的收存部S的设定移载用位置,并且使物品载置体8位于取出用高度B1,在此状态下进行取出处理。接着,将移载机构R移动到相对于物品运入运出部1A的设定移载用位置,并且使物品载置体8位于收存用高度C1,在此状态下进行收存处理。 
在本实施方式中,物品运入运出部1A例如具备左右排列的3个容器载置部。控制部H在执行入库处理及出库处理时,选择3个容器载置部,控制堆垛起重机K及移载机构R的动作。 
如果对移载机构R加以说明,则如图3及图4所示,在相对于升降台6绕纵轴心转向的转向台9上安装标量臂10。在标量臂10的前端上安装着物品载置体8。 
标量臂10具有绕纵轴心摆动自如地安装在转向台9上的第1臂10A、和在该第1臂10A的前端绕纵轴心摆动自如地安装的第2臂10B。物品载置体8绕纵轴心摆动自如地设在第2臂10B的前端部。 
并且,通过标量臂10的屈伸动作,将物品载置体8进退操作成突出状态或退回状态。 
具体而言,在第1臂10A及第2臂10B的内部装备有使第1臂10A、第2臂10B及物品载置体8联动的联动机构。如果使标量臂10的第1臂10A相对于转向台9摆动,则第2臂10B与该摆动联动地相对于第1臂10A摆动,并且物品载置体8相对于第2臂10B摆动。因而,通过将第1臂10A相对于转向台9正反摆动,将物品载置体8操作成突出状态或退回状态。 
此外,通过转向台9的转向动作,物品载置体8切换成朝向一对保管部A中的一侧突出的形态和朝向另一侧突出的形态。 
如图5及图6所示,保管部A的收存部S及物品运入运出部1A的3个容器载置部由具备突出状态的物品载置体8能够沿上下通过的载置体通过用的开口W的金属制的容器载置用的板状体11构成。 
即,构成移载机构R的物品载置体8的前端部形成为梯形状,形成在容器载置用的板状体11上的载置体通过用的开口W形成为沿着突出状态的物品载置体8的前端的外周缘的梯形状。 
此外,在本实施方式中,板状体11作为金属而使用不锈钢构成。另外,不锈钢与构成物品载置体8的铝不同,是强磁性体。 
在物品载置体8及容器载置用的板状体11上,如图5中明示的那样,立设有卡合到形成在容器U的底面上的3个卡合槽N中的上述定位销P、Q。物品载置体8以由定位销P定位的状态载置支撑容器U。此外,容器载置用的板状体11以由定位销Q定位的状态载置支撑容器U。 
由于立设在物品载置体8上的定位销P与立设在容器载置用的板状体11上的定位销Q相比卡合在卡合槽N的容器中央侧,所以能够将两定位销P、Q同时卡合到容器U的卡合槽N中。 
此外,在物品载置体8由定位销P定位而载置支撑容器U的状态下、即在定位销P卡合在容器U的卡合槽N中的状态下,容器U相对于物品载置体8浮起,在容器U的底部与物品载置体8的上表面之间存在间隙(例如1~2mm的程度)。同样,在板状体11由定位销Q定位而载置支撑容器U的状态下、即定位销Q卡合在容器U的卡合槽N中的状态下,容器U相对于物品载置体8及板状体11浮起,在容器U的底部与板状体11的上表面之间存在间隙(例如,1~2mm的程度)。 
收存部S由于用容器载置用的板状体11载置容器U,所以移载机构R进行的取出处理中的上述取出用高度B1设定为比板状体11的上表面仅低设定量J1(例如,19mm左右)的高度。 
并且,作为取出处理,控制部H控制堆垛起重机K的动作,如图7所示地以比板状体11低设定量的取出用高度B1使物品载置体8突出成突出状态,接着如图8所示地使物品载置体8上升到比取出用高度B1仅高出取出用上升量的取出用目标高度B2,然后使物品载置体8退回到退回状态。 
上述的取出用目标高度B2设定为比板状体11的上表面仅高出设定量J2(例如,26mm左右)的高度。因而,取出用上升量为45mm左右。 
此外,由于收存部S用容器载置用的板状体11载置容器U,所以移载机构R进行的收存处理中的上述收存用高度C1设定为比板状体11的上表面仅高出设定量(例如,26mm左右)的高度。 
并且,作为收存处理,控制部H控制堆垛起重机K的动作,使物品载置体8以比板状体11高出设定量的收存用高度C1突出成突出状态(参照图8),接着使物品载置体8下降到仅比收存用高度C1低收存用下降量的收存用目标高度C2(参照图7),然后使物品载置体8退回到退回状态。 
上述的收存用目标高度C2设定为比板状体11的上表面仅低设定量(例如,19mm左右)的高度。因而,收存用下降量为45mm左右。 
根据上述说明可知,在本实施方式中,收存处理中的收存用高度C1和取出处理中的取出用目标高度B2是相同的高度,收存处理中的收存用目标高度C2和取出处理中的取出用高度B1是相同的高度。 
此外,在容器U的外周部、在收存部S上载置有容器U的状态下与容器载置用的板状体11的上方重合的部位装备存储该容器U的识别信息的无源形式的RFID标签(以下,单称作标签)T。在移载机构R的物品载置体8上,装备读取标签T存储的识别信息的RFID读取器(以下,单称作读取器)D。 
由于在本实施方式中容器U是FOUP,所以标签T安装在在容器U载置在收存部S的板状体11上的状态下相当于该容器U的背部的部位且下方侧。 
如图10所示,读取器D与读取器驱动用的放大器单元26相连,并且,放大器单元26与控制器27相连,控制器27控制部H相连。 
并且,控制器27构成为,如果从控制部H被指令读取开始指令,则使放大器单元26动作,反复进行从读取器D的发送及读取器D进行的接收,并且,如果读取标签T存储的识别信息,则停止放大器单元26的动作。 
如图5及图6所示,读取器D以凹入到形成于物品载置体8的前端部的上表面侧部分上的凹部V1的内部的状态螺栓固定在物品载置体8上。此外,放大器单元26装备在设于物品载置体8的基端侧的设备收存用盒8A内。连接放大器单元26与读取器D的连接线28配设在形成于物品载置体8的上表面侧部分上的凹槽V2的内部。 
由读取器D进行的标签T的读取是通过控制器27从读取器D发送包括控制信号的电波来进行。 
即,标签T如果接收到来自读取器D的电波,则通过接收到的电波生成电动势,用所生成的电动势读取控制信号的内容,一边使用接收到的电波作为运送波一边对识别信息进行调制并承载到电波上。 
如果读取器D接收到从标签T返送的电波,则将该接收到的电波用放大器单元26进行放大处理,控制器27对来自放大器单元26的信号进行解码处理,对标签T的识别信息进行解析,将该识别信息向控制部H传递。 
并且,控制器27构成为,如果从控制部H被指令读取开始指令,则反复进行标签T的读取,直到对标签T的识别信息进行解析、或者从控制部H被指令读取停止指令。 
上述物品确认处理是用读取器D读取装备在收存于收存部S上的容器U上的标签T的识别信息的处理。 
并且,如果被指令物品确认处理,则控制部H执行读取用动作处理,该读取用动作处理控制堆垛起重机K的动作,如图7所示地使移载机构R移动到相对于收存确认对象的容器U的收存部S的设定移载用位置,并且使物品载置体8位于取出用高度B1,在此状态下使物品载置体8突出成突出状态,接着如图9所示地使物品载置体8上升到比取出用高度B1仅高出读取用上升量的读取用目标高度B3,然后使物品载置体8仅下降到取出用高度B1并退回到退回状态。 
本实施方式的情况下,读取用目标高度B3设定为比容器载置用的板状体11的上表面仅高出设定量J3(例如,10mm左右)的高度。 
在本实施方式中,如上所述,由于取出用高度B1设定为比容器载置用的板状体11的上表面仅低设定量J1(例如,19mm左右)的高度,所以读取用上升量为29mm左右,比上述为45mm左右的取出用上升量小。 
即,在本实施方式中,读取用上升量设定得比取出用上升量小。 
物品确认处理需要对收存在保管搁架1具备的全部的收存部S上的容器U进行。控制部H如果被指令物品确认处理,则以预先设定的顺序,使移载机构R相对于全部的收存部S移动,执行上述的读取用动作处理。 
另外,虽然没有例示,但在堆垛起重机K的升降台6上,装备有检测收存在收存部S上的容器U的存在与否的光学式的容器检测传感器。在物品确认处理时,还通过该容器检测传感器确认各收存部S的容器U的存在与否。控制部H相对于容器U所在的收存部S执行上述读取动作处理,但相对于容器U所不在的收存部S中止上述读取动作处理的执行。 
在本实施方式中,作为读取器D,使用发送135KHz的电波的欧姆龙公司制的“V640-HS62”。 
该读取器D如图6所示,为了除去噪声而使其外周围的设定区域E不存在强磁性体,并且,如果不存在遮蔽物,则确保大范围的可读取范围M。 
因此,在本实施方式中,在容器载置用的板状体11上形成有与载置体通过用的开口W相连、并且在容器U载置在收存部S上的状态下朝向标签T所在的一侧凹入的缺口Z,其大小与使读取器D位于对应于板状体11的高度的状态下的设定区域E的大小相对应。 
此外,在本实施方式中,在形成了上述缺口Z的情况下,实现容器载置用的板状体11的噪声的除去、以及避免由板状体11带来的电波的屏蔽,并且将载置在板状体11上的容器U的底部与板状体11之间的间隙作为使电波通过的空间使用。结果,在使物品载置体8向读取用目标高度B3上升的中途,读取器D能够读取标签T的识别信息的概率变得相当高。因而,控制部H构成为在使物品载置体8向读取用目标高度B3上升的中途读取器D能够读取标签T的识别信息的情况下,在该时刻使物品载置体8向退回状态返回。 
即,控制部H构成为,在读取动作处理中,在使物品载置体8以取出用高度B1突出成突出状态后、从取出用高度B1向读取用目标高度B3上升时,开始通过读取器D进行的标签T的识别信息的读取,并且如果在使取出用高度B1向读取用目标高度B3上升的中途由读取器D进行的标签T的识别信息的读取完成,则使物品载置体8的上升停止,使物品载置体8下降到取出用高度B1并退回到退回状态。 
以下,对由控制部H进行的堆垛起重机K的控制加以说明。 
控制部H具备微型计算机。控制部H如图7所示,控制驱动堆垛起重机K的行驶台车3行驶的行驶用马达15,驱动升降台6升降的升降用马达16,驱动转向台9转向的转向用马达17,以及使标量臂10的第1臂10A摆动、驱动移载机构R的物品载置体8进退的进退用马达18的各自的动作。 
此外,在控制部H中输入检测堆垛起重机K的行驶台车3的行驶路径上的位置的行驶位置检测用传感器21、检测升降台6的升降路径上的位置的升降位置检测用传感器22、检测转向台9的转向位置的转向位置检测用传感器23、以及检测移载机构R的物品载置体8的进退位置的进退位置检测用传感器24的各检测信息。各检测信息被存储到控制部H具有的存储器等存储机构(未图示)中。此外,该存储机构将控制部H处理的各种信息存储成能够通过控制部H写入及读出。例如,在该存储机构中,还存储有关于取出用高度B1、取出用目标高度B2、读取用目标高度B3、收存用高度C1、收存用目标高度C2等的信息。 
在本实施方式中,行驶位置检测用传感器21使用检测设在行驶路径上的基准位置的行驶用基准体的读取开关、和检测行驶用马达的旋转量的旋转编码器。 
在本实施方式中,升降位置检测用传感器22使用检测设在升降路径上的基准位置的升降用基准体的读取开关、和检测升降用马达的旋转量的旋转编码器。 
在本实施方式中,转向位置检测用传感器23使用检测决定移载机构R朝向左侧的位置的左位置用基准体、及决定移载机构R朝向右侧的位置的右位置用基准体的读取开关。 
在本实施方式中,进退位置检测用传感器24使用检测决定进退基准位置的进退用基准体的读取开关、和检测进退用马达的旋转量的旋转编码器。 
在保管搁架1的运入运出部1A设有进行入库指令、出库指令、及物品确认处理的指令的操作部G(参照图1)。 
因而,控制部H基于操作部G的指令进行入库处理、出库处理及物品确认处理。具体而言,控制部H一边基于传感器类21~24的检测信息确认堆垛起重机K的行驶位置、升降台6的升降位置、移载机构R的朝向及物品载置体8的进退位置,一边基于预先存储的程序信息使多个马达15~18动作,进行将运入到物品运入运出部1A中的容器U向收存部S收存的入库处理、将收存在收存部S上的容器U向物品运入运出部1A取出的出库处理、以及读取收存在多个收存部S上的容器U的识别信息的物品确认处理。 
接着,基于图11~图13的流程图对控制部H的控制动作加以说明。 
如图11所示,首先,判别是否被指令了物品确认指令(#1),在被指令了物品确认处理的情况下,执行物品确认处理(#2)。 
在步骤#1中,在没有被指令物品确认处理的情况下,判别是否被指令了入库指令(#3),在被指令了入库指令的情况下,执行入库处理(#4)。 
在步骤#3中,在没有被指令入库指令的情况下,判别是否被指令了出库指令(#5),在被指令了出库指令的情况下,执行出库处理(#6)。 
并且,在执行了物品确认处理(#2)、入库处理(#4)及出库处理(#6)的各个处理后,重复从#1起的处理。 
入库处理(#4)及出库处理(#6)中的处理内容根据上述说明是清楚的,所以以下对物品确认处理(#2)加以说明。 
如图12所示,在物品确认处理中,相对于保管搁架1具备的全部的收存部S重复进行使移载机构R移动的向对象收存部的移动处理(#11)、及上述读取动作处理(#12),直到相对于保管搁架1的全部的收存部S的物品确认结束(#13)。 
向对象收存部的移动处理(#11)是进行使移载机构R相对于通过针对对多个收存部S预先设定的顺序信息决定的确认对象的收存部S移动的处理,具体而言,进行使移载机构R移动到相对于确认对象的收存部S的横宽方向的设定移载用位置并且使物品载置体8位于取出用高度B1的处理。 
在图13中表示读取用动作处理的流程图。 
如图13所示,控制部H如果被指令通过RFID读取器D读取收存在收存部S上的容器U具有的RFID标签T的识别信息的物品确认处理,则执行使物品载置体8以取出用高度突出成突出状态的突出工序。具体而言,控制部H首先开始物品载置体8的突出动作(#21),如果判别物品载置体8的当前位置是相当于上述突出状态的目标突出位置(#22),则使物品载置体8的突出动作停止(#23)。 
接着,控制部H接着上述突出工序,使物品载置体8上升到比取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度、并且开始RFID读取器D进行的RFID标签T的识别信息的读取的上升工序。具体而言,控制部H开始用读取器D读取标签T的识别信息的标签读取(#24),在此状态下,开始物品载置体8的上升动作。 
但是,控制部H在上升工序中开始RFID读取器D进行的RFID标签T的识别信息的读取,并且如果在从取出用高度向读取用目标高度上升的中途、RFID读取器D进行的RFID标签T的识别信息的读取完成,则使物品载置体8的上升停止,执行后述的下降工序。具体而言,如果通过读取器D读取标签T的识别信息完成(#26)、或者物品载置体8的高度超过读取用目标高度B3,则控制部H使物品载置体8的上升动作停止(#29)。 
并且,控制部H在没有由读取器D读取标签T的识别信息、而物品载置体8的高度超过了读取用目标高度B3的情况下,执行向外部输出是异常状态的异常处理(#28)。 
控制部H接着上述上升工序,执行使物品载置体8向取出用高度下降的下降工序。具体而言,控制部H在步骤#29中使物品载置体8的上升动作停止后,开始物品载置体8的下降动作(#30),如果物品载置体8的高度成为取出用高度B1(#31),则使物品载置体8的下降动作停止(#32)。 
接着,控制部H接着上述下降工序,执行使物品载置体8以取出用高度向退回状态退回的退回工序。具体而言,控制部H开始物品载置体8的退回动作(#33),如果判别是相当于上述退回状态的目标退回位置(#34),则使物品载置体8的退回动作停止(#35)。 
〔其他实施方式〕 
(1)在上述实施方式中,例示了在构成收存部的容器载置用的板状体上形成与载置体通过用的开口相连、并且朝向在物品收存容器载置在收存部上的状态下RFID标签所在的一侧凹入的缺口的情况,但也可以不形成该缺口。
即,在不形成缺口的情况下,也只要使物品收存容器从容器载置用的板状体充分浮起,就能够不受容器载置用的板状体的影响而通过RFID读取器读取RFID标签的识别信息。 
(2)在上述实施方式中,说明了在读取动作处理中、在开始物品载置体的上升动作之前开始RFID读取器的读取动作的例子,但也可以在开始物品载置体的上升动作后开始RFID读取器的读取动作。总之,只要在使物品载置体从取出用高度向读取用目标高度上升的期间开始RFID读取器的读取动作就可以。或者,为了抑制因RFID读取器的读取动作带来的能量消耗等,也可以在物品载置体上升到读取用目标高度后开始RFID读取器的读取动作。 
(3)在上述实施方式中,说明了作为物品收存容器而使用FOUP的例子,但如果以桶或容器等各种形态的物品收存容器为对象,也能够实施本发明。 
(4)在上述实施方式中,例示了将RFID读取器设在物品载置体的前端部的上表面侧部分上的情况,但将RFID读取器安装到物品载置体上的位置可以根据装备在物品收存容器上的RFID标签相对于物品收存容器的安装位置、及容器载置用的板状体的形状等而进行各种变更。 
(5)在上述实施方式中,例示了移载机构装备在堆垛起重机中的情况,但即使是在将收存部纵横排列装备的保管部的前面侧升降操作自如地设置长度为遍及保管部的横宽方向的整个宽度的导引轨道,移载机构沿着导引轨道在保管部的横宽方向上移动的形态的物品保管设备中也能够采用本发明。 
(6)在上述实施方式中,例示了将收存部纵横排列装备的保管部,但在收存部仅在横宽方向上装备的保管部、及收存部仅在上下方向上装备的保管部中也可以采用本发明。 
顺带说一下,作为收存部仅在横宽方向上装备的保管部,可以举出在以悬吊在顶棚侧的行驶轨道上的状态下行驶的、所谓吊升式运送台车的行驶路径的横侧部沿着行驶路径的长度方向排列收存部的保管部。在这种情况下,使吊升式运送台车装备具备进退的物品载置体的移载机构。 
本发明所涉及的物品保管设备及其运转方法能够可靠地进行物品确认处理,并且能够用于实现该处理所需要的时间的缩短化。 

Claims (8)

1.一种物品保管设备,具备:保管部、其内排列设置有载置支撑物品收存容器的多个收存部,运送机构、其具备在上述保管部的前面侧的物品运送用的空间内沿着上述收存部的排列方向移动自如、并且将上述物品收存容器相对于上述收存部移载地动作自如的移载机构,和控制上述运送机构的动作的控制机构;
上述移载机构具有在位于上述空间内的退回状态和突出到上述收存部内的突出状态之间进退驱动自如且升降驱动自如,能够载置上述物品收存容器的物品载置体,上述物品载置体在将载置在上述收存部中的物品收存容器取出的取出处理、以及将由上述物品载置体载置的物品收存容器向上述收存部收存的收存处理中使用;
上述收存部具有载置收存的上述物品收存容器的金属制的板状体,上述板状体具有处于上述突出状态的上述物品载置体沿上下方向通过自如的开口;
当进行上述取出处理时,上述控制机构控制上述运送机构的动作,使上述物品载置体以比上述收存部的上述板状体仅低设定量的取出用高度突出成上述突出状态,接着使上述物品载置体上升到比上述取出用高度仅高出取出用上升量的取出用目标高度,然后使上述物品载置体退回到上述退回状态;
其特征在于,
上述物品收存容器在其外周部、且上述物品收存容器载置在上述收存部中的状态下与上述板状体的上方重合的部位,具有存储该物品收存容器的识别信息的无源形式的RFID标签;
上述物品载置体具有读取上述RFID标签存储的上述识别信息的RFID读取器;
上述控制机构构成为,如果被指令用上述RFID读取器读取收存在上述收存部中的上述物品收存容器具有的上述RFID标签的识别信息的物品确认处理,则执行读取用动作处理,该读取用动作处理控制上述运送机构的动作,使上述物品载置体以上述取出用高度突出成上述突出状态,接着使上述物品载置体上升到比上述取出用高度仅高出读取用上升量的读取用目标高度,然后使上述物品载置体下降到上述取出用高度并退回到上述退回状态。
2.如权利要求1所述的物品保管设备,其特征在于,
上述读取用上升量设定得比上述取出用上升量小。
3.如权利要求2所述的物品保管设备,其特征在于,
上述板状体具有的上述开口形成为沿着上述突出状态的上述物品载置体的前端的外周缘的形状;
在上述板状体上,形成有与上述开口相连、并且朝向在上述物品收存容器载置在上述收存部中的状态下上述RFID标签所在的一侧凹入的缺口。
4.如权利要求1~3中任一项所述的物品保管设备,其特征在于,
上述控制机构构成为,在上述读取用动作处理中,在使上述物品载置体以上述取出用高度突出成上述突出状态后、从上述取出用高度向上述读取用目标高度上升时,开始由上述RFID读取器进行的上述RFID标签的识别信息的读取,并且如果在从上述取出用高度向上述读取用目标高度上升的中途、由上述RFID读取器进行的上述RFID标签的识别信息的读取完成,则使上述物品载置体的上升停止,使上述物品载置体下降到上述取出用高度并退回到上述退回状态。
5.如权利要求1~3中任一项所述的物品保管设备,其特征在于,
上述物品收存容器是收存基板的FOUP,上述RFID标签装备在上述FOUP上在载置在上述物品载置体上的状态下相当于背部的部位上;
在上述板状体上立设有卡合到形成在上述FOUP的底面部上的定位用凹部中的定位销。
6.如权利要求4所述的物品保管设备,其特征在于,
上述物品收存容器是收存基板的FOUP,上述RFID标签装备在上述FOUP上在载置在上述物品载置体上的状态下相当于背部的部位上;
在上述板状体上立设有卡合到形成在上述FOUP的底面部上的定位用凹部中的定位销。
7.一种物品保管设备的运转方法,所述物品保管设备具备:保管部、其内排列设置有载置支撑物品收存容器的多个收存部,运送机构、其具备在上述保管部的前面侧的物品运送用的空间内沿着上述收存部的排列方向移动自如并且动作自如、并且将上述物品收存容器相对于上述收存部移载的移载机构,和控制上述运送机构的动作的控制机构;
上述移载机构具有在位于上述空间内的退回状态和突出到上述收存部内的突出状态之间进退驱动自如且升降驱动自如,能够载置上述物品收存容器的物品载置体,上述物品载置体在将载置在上述收存部中的物品收存容器取出的取出处理、以及将由上述物品载置体载置的物品收存容器向上述收存部收存的收存处理中使用;
上述收存部具有载置收存的上述物品收存容器的金属制的板状体,上述板状体具有处于上述突出状态的上述物品载置体沿上下方向通过自如的开口;
当进行上述取出处理时,上述控制机构控制上述运送机构的动作,使上述物品载置体以比上述收存部的上述板状体仅低设定量的取出用高度突出成上述突出状态,接着使上述物品载置体上升到比上述取出用高度仅高出取出用上升量的取出用目标高度,然后使上述物品载置体退回到上述退回状态;
其特征在于,
上述物品收存容器在其外周部且在上述收存部上载置有上述物品收存容器的状态下与上述板状体的上方重合的部位上,具有存储该物品收存容器的识别信息的无源形式的RFID标签;
上述物品载置体具有读取上述RFID标签存储的上述识别信息的RFID读取器;
上述物品保管设备的运转方法包括:
突出工序,如果被指令将收存在上述收存部中的上述物品收存容器具有的上述RFID标签的识别信息用上述RFID读取器读取的物品确认处理,则使上述物品载置体以上述取出用高度突出成上述突出状态;
上升工序,接着上述突出工序,使上述物品载置体向比上述取出用高度高读取用上升量的读取用目标高度上升,并且开始由上述RFID读取器进行的上述RFID标签的识别信息的读取;
下降工序,接着上述上升工序,使上述物品载置体下降到上述取出用高度;
退回工序,接着上述下降工序,使上述物品载置体以上述取出用高度退回到上述退回状态。
8.如权利要求7所述的物品保管设备的运转方法,其特征在于,
在上述上升工序中,开始由上述RFID读取器进行的上述RFID标签的识别信息的读取,并且如果在从上述取出用高度向上述读取用目标高度上升的中途、由上述RFID读取器进行的上述RFID标签的识别信息的读取完成,则使上述物品载置体的上升停止,转移到上述下降工序。
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