CN102377409A - 压电装置及其制造方法 - Google Patents
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103326688A (zh) * | 2012-03-21 | 2013-09-25 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、电子器件以及电子设备 |
| CN103825572A (zh) * | 2012-11-19 | 2014-05-28 | 日本电波工业株式会社 | 压电装置 |
| CN104079262A (zh) * | 2013-03-29 | 2014-10-01 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体 |
| CN105474539A (zh) * | 2013-08-20 | 2016-04-06 | 株式会社村田制作所 | 声表面波设备及其制造方法 |
| CN108496307A (zh) * | 2016-01-21 | 2018-09-04 | 株式会社村田制作所 | 水晶振子及其制造方法 |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5325151B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2013-10-23 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス、及びその製造方法 |
| JP5492697B2 (ja) * | 2010-08-04 | 2014-05-14 | 日本電波工業株式会社 | Atカット水晶デバイス及びatカット水晶デバイスの製造方法 |
| JP5788728B2 (ja) * | 2011-07-21 | 2015-10-07 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
| JP5930526B2 (ja) * | 2012-02-20 | 2016-06-08 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動素子及び圧電デバイス |
| JP5930532B2 (ja) * | 2012-06-01 | 2016-06-08 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
| JP2015070449A (ja) * | 2013-09-30 | 2015-04-13 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶デバイス |
| CN106233624B (zh) * | 2014-04-24 | 2018-12-21 | 株式会社村田制作所 | 水晶振动装置以及其制造方法 |
| KR101522670B1 (ko) * | 2014-08-19 | 2015-05-26 | 주식회사 이노칩테크놀로지 | 압전 소자 및 이를 구비하는 전자기기 |
| WO2016121182A1 (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | 株式会社大真空 | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス |
| CN105047568B (zh) * | 2015-09-07 | 2018-01-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 薄膜晶体管及其制作方法、显示面板 |
| CN105634436A (zh) * | 2015-12-22 | 2016-06-01 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种具有圆形晶片结构的石英晶体谐振器及其制作方法 |
| JP6868201B2 (ja) * | 2017-09-01 | 2021-05-12 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子 |
| JP6836749B2 (ja) * | 2017-09-01 | 2021-03-03 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子 |
| WO2020027121A1 (ja) * | 2018-08-02 | 2020-02-06 | 株式会社村田製作所 | Memsデバイス |
| CN112039455B (zh) * | 2019-07-19 | 2023-09-29 | 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司 | 体声波谐振器的封装方法及封装结构 |
| CN112039459B (zh) * | 2019-07-19 | 2024-03-08 | 中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司 | 体声波谐振器的封装方法及封装结构 |
| JPWO2022044949A1 (enExample) * | 2020-08-26 | 2022-03-03 | ||
| JP7517135B2 (ja) * | 2020-12-18 | 2024-07-17 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
| JP7543899B2 (ja) * | 2020-12-23 | 2024-09-03 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
| US11522120B1 (en) * | 2021-07-02 | 2022-12-06 | Yoketan Corp. | Micro crystal oscillator |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1727275A1 (en) * | 2004-02-17 | 2006-11-29 | Seiko Epson Corporation | Piezo-oscillator and manufacturing method thereof |
| US20080023437A1 (en) * | 2006-07-27 | 2008-01-31 | Keisuke Hirano | Method for manufacturing piezoelectric resonator |
| CN101142742A (zh) * | 2005-04-18 | 2008-03-12 | 株式会社大真空 | 压电振动片和压电振动器件 |
| JP2009206590A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 |
| CN101783659A (zh) * | 2009-01-20 | 2010-07-21 | 精工电子有限公司 | 压电振子 |
Family Cites Families (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5342585A (en) | 1976-09-29 | 1978-04-18 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal oscillator |
| CH625372A5 (enExample) * | 1979-07-06 | 1981-09-15 | Ebauchesfabrik Eta Ag | |
| JPS57125510A (en) | 1981-01-29 | 1982-08-04 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Quartz oscillator |
| JPS6150413A (ja) | 1984-08-20 | 1986-03-12 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子の製造方法 |
| JPH02298110A (ja) | 1989-05-11 | 1990-12-10 | Seiko Epson Corp | 水晶振動子 |
| JPH05102778A (ja) * | 1991-08-13 | 1993-04-23 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
| JPH05183375A (ja) | 1991-12-28 | 1993-07-23 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電薄膜発振子 |
| JP4060972B2 (ja) * | 1999-01-29 | 2008-03-12 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子及びその製造方法 |
| JP2000349584A (ja) * | 1999-06-07 | 2000-12-15 | Tdk Corp | 圧電部品及びその製造方法 |
| JP2001345656A (ja) | 2000-06-02 | 2001-12-14 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片の製造方法及び水晶デバイス |
| JP2004208236A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| JP2005109886A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| US7745979B2 (en) | 2005-08-22 | 2010-06-29 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric device |
| JP2007258918A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイス |
| JP5041145B2 (ja) * | 2007-09-07 | 2012-10-03 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
| JP2009147849A (ja) * | 2007-12-18 | 2009-07-02 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子の製造方法、圧電基板ウエハ及び圧電振動子 |
| JP2010147953A (ja) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電フレーム及び圧電デバイス |
| JP2010171572A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-08-05 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装用の水晶発振器 |
| JP2012085253A (ja) * | 2010-03-25 | 2012-04-26 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 表面実装型の水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
| JP5325151B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2013-10-23 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス、及びその製造方法 |
| JP5026574B2 (ja) * | 2010-04-27 | 2012-09-12 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
| JP5492697B2 (ja) * | 2010-08-04 | 2014-05-14 | 日本電波工業株式会社 | Atカット水晶デバイス及びatカット水晶デバイスの製造方法 |
| JP5595196B2 (ja) * | 2010-09-16 | 2014-09-24 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス |
| JP5595218B2 (ja) * | 2010-10-20 | 2014-09-24 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイス及び圧電基板の製造方法 |
| JP2012156978A (ja) * | 2011-01-05 | 2012-08-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Atカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法 |
| JP5657400B2 (ja) * | 2011-01-12 | 2015-01-21 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
-
2011
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1727275A1 (en) * | 2004-02-17 | 2006-11-29 | Seiko Epson Corporation | Piezo-oscillator and manufacturing method thereof |
| CN101142742A (zh) * | 2005-04-18 | 2008-03-12 | 株式会社大真空 | 压电振动片和压电振动器件 |
| US20080023437A1 (en) * | 2006-07-27 | 2008-01-31 | Keisuke Hirano | Method for manufacturing piezoelectric resonator |
| JP2009206590A (ja) * | 2008-02-26 | 2009-09-10 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 |
| CN101783659A (zh) * | 2009-01-20 | 2010-07-21 | 精工电子有限公司 | 压电振子 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103326688A (zh) * | 2012-03-21 | 2013-09-25 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、电子器件以及电子设备 |
| CN103326688B (zh) * | 2012-03-21 | 2017-08-18 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、电子器件以及电子设备 |
| CN103825572A (zh) * | 2012-11-19 | 2014-05-28 | 日本电波工业株式会社 | 压电装置 |
| CN104079262A (zh) * | 2013-03-29 | 2014-10-01 | 精工爱普生株式会社 | 振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体 |
| CN105474539A (zh) * | 2013-08-20 | 2016-04-06 | 株式会社村田制作所 | 声表面波设备及其制造方法 |
| CN105474539B (zh) * | 2013-08-20 | 2017-12-01 | 株式会社村田制作所 | 声表面波设备及其制造方法 |
| CN108496307A (zh) * | 2016-01-21 | 2018-09-04 | 株式会社村田制作所 | 水晶振子及其制造方法 |
| CN108496307B (zh) * | 2016-01-21 | 2021-07-23 | 株式会社村田制作所 | 水晶振子及其制造方法 |
Also Published As
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