CN102341324B - 搬送系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种搬送系统，包括预先设定的行驶路径(L10)，在行驶路径上行驶、能够对作为第1装置的制造装置(410)搬送物品的搬送车(200)，控制搬送车的控制器(100)；其为这样的系统：作为第2装置的缓冲装置(420)能够在第1装置而装卸，为了将零部件载置到第1装置的装载口和第2装置中的某一个中，控制器(100)发送用于使搬送车(200)停止在能够将物品载置到第2装置(420)的第1停止位置上的第1数据、或者用于使搬送车(200)停止在能够将物品载置到第1装置(410)的第2停止位置上的第2数据，搬送车(200)接收从控制器(100)发送来的第1数据或第2数据，而进行停止在第1停止位置或第2停止位置上的控制。

Description

搬送系统
技术领域
本发明涉及控制搬送物品的搬送车的搬送系统。
背景技术
以往，具有使用桥式吊车等搬送车来搬送物品的系统、即搬送系统。
例如，在制造半导体元件的半导体工厂内，按每个制造工序被分为称作制程区(Bay)的区域，各制程区内配置用来使多个桥式吊车单向环行的环行路径。
多个搬送车的每一个在各环行路径上将作为半导体元件材料的晶圆等物品往该制程区内的制造装置搬送。因此，搬送车停止在预定的位置上。专利文献1中公开了有关使桥式吊车（搬送车）停止在停止位置的控制的技术。
现有技术文献
专利文献1：日本特开2005-202464号公报
发明要解决的技术问题
设置在工厂内的制造装置中有时设置有能够装卸的装置（以下称为“可装卸装置”）。
当从制造装置中拆卸下可装卸装置时，搬送车有时将物品搬送到例如提供制造装置制造好的物品的位置。在搬送车的停止位置根据制造装置中是否安装有可装卸装置而变化的情况下，操作者有必要调整表示搬送车的停止位置的停止位置数据。
该调整作业有通过操作者的手动作业来进行的必要，进行调整作业的期间（以下称为“调整期间”）时间变得非常长（例如1小时）。因此，在调整期间于设置有制造装置的区域内不能移动搬送车，到调整期间结束、重新开始搬送车的移动为止有很长时间。结果，存在转换搬送车的停止位置需要长时间的问题。
发明内容
本发明就是为了解决上述问题而做出的，其目的是要提供一种能够迅速地转换搬送车的停止位置的搬送系统。
为了解决上述问题，根据本发明某种情形的搬送系统包括被预先设定的行驶路径、通过在行驶路径上行驶而能够对第1装置搬送物品的搬送车、以及控制搬送车的控制器。搬送系统还包括作为能够相对于第1装置装卸的装置的、搬送车能够载置物品的第2装置。控制器具备发送单元，该发送单元在上述第2装置被安装在上述第1装置中的情况下，向上述搬送车发送第1数据，该第1数据用于搬送车停止在能够将物品载置到第2装置的第1停止位置上；并且，在上述第2装置从上述第1装置拆卸下的情况下，向搬送车发送第2数据，该第2数据用于搬送车停止在与第1装置建立了对应关系的第2停止位置上。搬送车具备：通信单元，接收第1数据或第2数据；以及停止控制单元，在接收到第1数据的情况下，进行使搬送车停止在第1停止位置上的控制，在接收到第2数据的情况下，进行使搬送车停止在第2停止位置上的控制；上述搬送车还具备存储单元，该存储单元存储表示上述第1停止位置的第1停止位置数据和表示上述第2停止位置的第2停止位置数据；上述控制器还具备受理操作者的操作的输入单元；上述控制器的上述发送单元，在上述输入单元受理了用于使上述搬送车使用上述第1停止位置数据的操作的情况下，向上述搬送车发送用于使上述搬送车使用上述第1停止位置数据的第1设定转换数据；在上述输入单元受理了用于使上述搬送车使用上述第2停止位置数据的操作的情况下，向上述搬送车发送用于使上述搬送车使用上述第2停止位置数据的第2设定转换数据；上述搬送车还具备设定单元，该设定单元在上述通信单元接收到上述第1设定转换数据的情况下，以上述停止控制单元使用上述第1停止位置数据的方式进行设定；在上述通信单元接收到上述第2设定转换数据的情况下，以上述停止控制单元使用上述第2停止位置数据的方式进行设定；上述控制器的上述发送单元，在发送上述第1设定转换数据的情况下，向上述搬送车发送作为使上述搬送车停止在上述第1停止位置上用的指令的上述第1数据；在发送上述第2设定转换数据的情况下，向上述搬送车发送作为使上述搬送车停止在上述第2停止位置上用的指令的上述第2数据；上述搬送车的上述停止控制单元，在接收到上述第1数据的情况下，进行使上述搬送车停止在上述第1停止位置数据所表示的上述第1停止位置上的控制；在接收到上述第2数据的情况下，进行使上述搬送车停止在上述第2停止位置数据所表示的上述第2停止位置上的控制。
即，停止控制单元在接收到第1数据时进行使搬送车停止在第1停止位置上的控制，在接收到第2数据时进行使搬送车停止在第2停止位置上的控制。即，能够根据接收到的数据的种类而迅速地转换搬送车的停止位置。因此，能够迅速地转换搬送车的停止位置。
另外，本发明包括本发明的搬送系统中的特征性动作步骤，也能够作为搬送车的控制方法实现。并且，本发明能够作为在作为控制装置的控制器执行这些各步骤的控制程序而实现。
发明的效果
根据本发明，能够迅速地转换搬送车的停止位置。
附图说明
图1为表示本实施形态的搬送系统的结构的图；
图2为表示缓冲装置的外观的透视图；
图3为表示缓冲装置的内部的透视图；
图4为表示在缓冲装置从制造装置中拆卸的情况下的多个装载口的图；
图5为表示搬送车的外观的透视图；
图6为表示了地面控制器内的硬件结构的方框图；
图7为表示了搬送车内的硬件结构的方框图；
图8为用来说明搬送车的停止位置的图；
图9为表示作为一例的第1停止位置数据的图；
图10为表示作为一例的第2停止位置数据的图；
图11为表示在缓冲装置从制造装置中拆卸的情况下，分别在MES、地面控制器、搬送车、缓冲装置及制造装置的每个中进行的处理的图；
图12为表示在将缓冲装置安装到制造装置中的情况下，分别在MES、地面控制器、搬送车、缓冲装置及制造装置的每个中进行的处理的图；
图13为表示本发明的搬送系统的特征性功能结构的方框图。
具体实施方式
下面参照附图说明本发明的实施形态。以下的说明中相同的零部件添加相同的附图标记。它们的名称和功能相同。因此，对于这些零部件的详细说明不反复进行。
〈第1实施形态〉
图1为表示本实施形态的搬送系统1000的结构的图。另外，图1为为了便于说明而表示了不包含在搬送系统1000中的MES（ManufacturingExecution System，制造执行系统）50。
在例如制造半导体元件的工厂等设施内装备有搬送系统1000。
如图1所示，搬送系统1000包括地面控制器100、行驶路径L10、连接路径L20、连接路径L31、L32、搬送车200、制造装置410和缓冲装置420。
行驶路径L10和连接路径L20、L31、L32为供搬送车200行驶的行驶路径。行驶路径L10和连接路径L20、L31、L32配置在设施的顶棚上。行驶路径L10为经由点P11～P16的行驶路径。
行驶路径L10和连接路径L20每个都是搬送车200只能例如顺时针行驶。连接路径L31、L32为连接行驶路径L10和连接路径L20的行驶路径。
MES50为用来控制地面控制器100的计算机。MES50通过与地面控制器100通信来管理搬送系统1000内各装置的状况。
地面控制器100为具有控制搬送车200的功能的计算机。
搬送车200为沿行驶路径L10等移动的桥式吊车。
制造装置410为生成例如作为半导体元件的材料的晶圆等的装置。
缓冲装置420为具有能够载置存储盒的多个装载口的装置。存储盒为能够放入规定张数的由制造装置410生成的晶圆的容器。
缓冲装置420为能够相对于制造装置410装卸的装置。即，缓冲装置420为通过操作者的手动作业能够移动的装置。另外，缓冲装置420具有能够进行各种处理的计算机。
并且，地面控制器100与缓冲装置420进行通信。
图2为表示缓冲装置420外观的透视图。
图3为表示缓冲装置420内部的透视图。如图3所示，缓冲装置420具有能够载置存储盒C11的多个装载口。多个装载口的一部分为例如装载口PT11、PT12、PT13、PT14。
图4为表示缓冲装置420从制造装置410中拆卸的情况下的多个装载口。
图4所示的装载口PT21、PT22、PT23配置在能够从制造装置410接收制造装置410制造好的晶圆的位置上。另外，各装载口PT21、PT22、PT23的位置被固定。即，装载口PT21、PT22、PT23各自的位置为与制造装置410建立了对应关系的位置。即，装载口PT21、PT22、PT23分别为与制造装置410建立了对应关系的装载口。
各装载口PT21、PT22、PT23上能够载置存储盒C11。
制造装置410进行用来将制造好的晶圆放入载置在各装载口PT21、PT22、PT23上的存储盒C11内的搬出。
这里，假定将制造装置410制造好的晶圆往载置在各装载口PT21、PT22、PT23上的存储盒C11内搬出。并且，假定载置在装载口PT21、PT22、PT23中的某一个上的具有晶圆的存储盒C11通过搬送车200的动作而被载置到缓冲装置420的装载口PT11、PT12、PT13、PT14中的某一个上。此时，缓冲装置420为用来临时保管具有从制造装置410搬出的物品即晶圆的存储盒C11的装置。
并且，这里假定被载置在缓冲装置420所具有的装载口上、具有晶圆的存储盒C11通过搬送车200的动作而被载置到装载口PT21、PT22、PT23中的某一个上。并且，制造装置410还进行获取载置在各装载口PT21、PT22、PT23上的存储盒C11内的晶圆的处理。此时，缓冲装置420为临时保管具有提供给制造装置410的物品即晶圆的存储盒C11的装置。
另外，图4表示存储盒C11被载置在各装载口PT21、PT22、PT23上的状态。
图5为表示搬送车200外观的透视图。
如图5所示，搬送车200为沿例如形成行驶路径L10的轨道移动的桥式吊车。并且，搬送车200具有用来保持物品的物品保持部件240。
另外，在缓冲装置420被安装在制造装置410中的情况下，图3所示的各装载口PT11、PT12、PT13、PT14配置在行驶路径L10的正下方。并且，图4所示的各装载口PT21、PT22、PT23也配置在行驶路径L10的正下方。
搬送车200根据例如从地面控制器100来的指示沿行驶路径L10移动到装载口PT11，下降到规定的高度。
并且，搬送车200根据例如从地面控制器100来的指示，在用物品保持部件240保持着载置在装载口PT11内的物品即存储盒C11的状态下上升，移动到装载口PT12上。当搬送车200移动到例如装载口PT12之上时下降，在将物品保持部件240保持的物品（存储盒C11）载置到装载口PT12上之后上升。
搬送车200通过反复进行这样的动作进行物品的搬送。
并且，在行驶路径L10上粘贴有搬送车200用来检测装载口等的位置的条形码BC10。
搬送车200利用自身具有的条码扫描器（未图示）读取粘贴在行驶路径L10上的条形码BC10，通过参照自身存储的布局数据能够检测自身正在行驶路径L10上的什么地点行驶或者停止。
并且，在行驶路径L10上具备有多个能够临时载置被搬送车200搬送的物品的顶棚缓存区BU10。
图6为表示了地面控制器100内的硬件结构的方框图。
如图6所示，地面控制器100具备控制单元110、存储单元120、输入单元140和通信单元170。控制单元110、存储单元120、输入单元140和通信单元170与数据总线102连接。
控制单元110为CUP（Central Processing Unit，中央处理器）。另外，控制单元110并不局限于CPU，也可以是具有运算功能的其他电路。
存储单元120为非易失性存储器。存储单元120为例如硬盘驱动器。另外，存储单元120并不局限于硬盘驱动器，只要是非易失性存储器，也可以是其他的存储器（例如闪存）。存储单元120被控制单元110数据访问。存储单元120中存储有程序51及其他各种数据等。
控制单元110执行存储在存储单元120中的程序51，根据程序51进行对地面控制器100内的各部分的各种处理和运算处理等。
输入单元140为接受操作者的操作的输入接口。该输入接口为例如键盘、按钮等。输入单元140当接收到操作者的操作时，将与接收到的操作相对应的操作信息发送给控制单元110。控制单元110根据接收到的操作信息进行规定的处理。
通信单元170具有利用无线技术与搬送车200进行数据通信的功能。并且，通信单元170具有与缓冲装置420进行数据通信的功能。
图7为表示搬送车200内的硬件结构的方框图。
如图7所示，搬送车200具有控制单元210、存储单元220、和通信单元270。控制单元210、存储单元220和通信单元270与数据总线202连接。
控制单元210为CPU（Central Processing Unit，中央处理器）。另外，控制单元210并不局限于CPU，也可以是具有运算功能的其他电路。
存储单元220为非易失性存储器。存储单元220为例如硬盘驱动器。另外，存储单元220并不局限于硬盘驱动器，只要是非易失性存储器，也可以是其他的存储器（例如闪存）。存储单元220被控制单元210数据访问。存储单元220中存储有程序21、后述的停止位置数据及其他各种数据等。
控制单元210执行存储在存储单元220中的程序21，根据程序21进行对搬送车200内的各部分的各种处理、运算处理和搬送车200的动作控制等。搬送车200的动作控制为例如使搬送车200停止，或者使搬送车200移动的控制。
通信单元270具有利用无线技术与地面控制器100进行数据通信的功能。
接着说明搬送车200的停止位置。
图8为用来说明搬送车200的停止位置的图。
图8（A）为表示在缓冲装置420被安装在制造装置410中的情况下搬送车200停止的停止位置ST11、ST12、ST13、ST14的图。
停止位置ST11、ST12、ST13、ST14分别为与图3所示的装载口PT11、PT12、PT13、PT14相对应的停止位置。
例如，在搬送车200将存储盒C11载置到缓冲装置420所具有的装载口PT12上的情况下，或者在搬送车200抬起载置到缓冲装置420所具有的装载口PT12上的存储盒C11的情况下，搬送车200停止在停止位置ST12上。
图8（B）为表示缓冲装置420从制造装置410中拆卸的情况下搬送车200停止的停止位置ST21、ST22、ST23的图。
停止位置ST21、ST22、ST23分别为与图4所示的装载口PT21、PT22、PT23相对应的停止位置。如上所述，装载口PT21、PT22、PT23分别为与制造装置410建立了对应关系的装载口。因此，停止位置ST21、ST22、ST23分别为与制造装置410建立了对应关系的位置。
例如，在搬送车200将存储盒C11载置到与制造装置410建立了对应关系的装载口PT23上的情况下，或者在搬送车200抬起载置到与制造装置410建立了对应关系的装载口PT23上的存储盒C11的情况下，搬送车200停止在停止位置ST23上。
以下，将搬送车200使存储盒C11搬送到与制造装置410建立了对应关系的装载口PT21、PT22、PT23中的某一个上的事情，表达为搬送车200使存储盒C11往制造装置410搬送。并且，以下在搬送车200搬送存储盒C11的对象为与制造装置410建立了对应关系的装载口PT21、PT22、PT23中的某一个的情况下，假定成为搬送车200搬送存储盒C11的对象的装置为制造装置410。
并且，以下将成为搬送车200搬送存储盒C11的对象的装置称为搬送对象装置。在搬送对象装置为制造装置410的情况下，搬送车200将存储盒C11搬送到装载口PT21、PT22、PT23中的某一个上。
在缓冲装置420被安装在制造装置410中的情况下，用来确定停止位置ST11、ST12、ST13、ST14的停止位置数据为以下的第1停止位置数据D100。
图9为表示作为一例的第1停止位置数据D100的图。第1停止位置数据D100由4个停止数据构成。
在图9中，所谓“编号”为用来指定停止数据的编号。所谓“停止位置”为图8（A）中说明过的停止位置。图9中，“所谓距离”为从图1、图8（A）或图（B）中所示的行驶路径L10上的点P12到对应的停止位置的距离。例如，编号“1”的停止数据表示从行驶路径L10上的点P12到停止位置ST11的距离L11（例如1200mm）。即，第1停止位置数据D100表示图8（A）所示的行驶路径L10上的连续的从点P12到点P13之间的各停止位置。
并且，在缓冲装置420从制造装置410中拆卸的情况下，用来指定停止位置ST21、ST22、ST23的停止位置数据为以下的第2停止位置数据D200。
图10为表示作为一例的第2停止位置数据D200的图。第2停止位置数据D200由3个停止数据构成。
由于第2停止位置数据D200中表示的各项目与图9的第1停止位置数据D100中表示的各项目相同，因此不反复进行详细的说明。即，第2停止位置数据D200表示图8（B）所示的行驶路径L10上的连续的从点P12到点P13之间的各停止位置。
另外，在第2停止位置数据D200中，例如编号“3”的停止数据表示图8（B）的行驶路径L10上从点P12到停止位置ST23的距离为L23（例如1800mm）。
图9的第1停止位置数据D100和图10的第2停止位置数据D200预先存储在搬送车200的存储单元220中。
接着说明用于使搬送车200的停止位置转换的处理。
首先，说明在缓冲装置420被安装在制造装置410中的状态下，缓冲装置420从制造装置410中拆卸时各装置的处理。
在缓冲装置420被安装在制造装置410中的情况下，成为搬送车200搬送存储盒C11的对象的装置为缓冲装置420。
这里假定制造装置410在运转中。
图11为表示在缓冲装置420从制造装置410中拆卸的情况下，MES50、地面控制器100、搬送车200、缓冲装置420和制造装置410各自进行的处理的图。
首先，MES50将制造装置搬送指令发送给地面控制器100（S51）。其中，制造装置搬送指令为让搬送车200往制造装置410搬送存储盒C11的搬送指令。即，制造装置搬送指令为让搬送车200往与制造装置410建立了对应关系的装载口PT21、PT22、PT23中的某一个搬送存储盒C11的指令。
在从接收到制造装置搬送指令时开始到经过规定时间前的期间内，没有接收到后述的拆卸预告信息的情况下，地面控制器100的控制单元110给搬送车200发送缓冲装置搬送指令（S111）。
其中，拆卸预告信息为至少在经过规定时间（例如3分钟）后告知从制造装置410拆卸缓冲装置420的信息。其中，在从接收到制造装置搬送指令时开始到经过规定时间前的期间，没有接收到拆卸预告信息的情况下，控制单元110认为缓冲装置420安装在制造装置410中。并且，缓冲装置搬送指令为让搬送车200往缓冲装置420搬送存储盒C11的搬送指令。
如上所述，在缓冲装置420安装在制造装置410中的情况下，成为搬送车200搬送存储盒C11对象的装置为缓冲装置420。因此，控制单元110在没有接收到拆卸预告信息的情况下，往搬送车200发送缓冲装置搬送指令。
缓冲装置搬送指令中包含装载口信息。装载口信息表示例如作为进行载置存储盒C11的动作的对象的装载口。并且，装载口信息表示动作信息。动作信息为表示以装载口信息所表示的装载口为对象，装载例如存储盒C11的动作的信息。
当搬送车200的控制单元210接收到缓冲装置搬送指令时，为了往缓冲装置420搬送存储盒C11，进行这样的控制：使搬送车200停止在第1停止位置数据D100所表示的4个位置中与包含在缓冲装置搬送指令中的装载口信息所表示的装载口（例如装载口PT11）相对应的停止位置上。
由此，搬送车200在移动到与装载口信息所表示的装载口相对应的停止位置后，停止在该停止位置，进行该装载口信息所表示的动作信息所示的动作。
接着，操作者进行使制造装置410的运转停止的作业。该作业为例如按下设在制造装置410外部的按钮的作业。通过该作业，制造装置410停止运转（S411）。
并且，操作者进行拆卸预告作业。拆卸预告作业为例如按下设置在缓冲装置420外部的拆卸预告按钮（未图示）的作业。拆卸预告按钮为通过按下将上述的拆卸预告信息发送给地面控制器100的按钮。
当进行拆卸预告作业时，缓冲装置420的计算机（未图示）将拆卸预告信息发送给地面控制器100（S421）。
地面控制器100的控制单元110当接收拆卸预告信息时，将端口关闭（Port Down）告知信息发送给搬送车200（S112）。端口关闭告知信息为表示不允许搬送车200对例如缓冲装置420具有的装载口和与制造装置410建立了对应关系的装载口移载存储盒的信息。即，端口关闭告知信息为告知变成了不允许使用的装载口（以下称为“不允许使用装载口”）的信息。
不允许使用装载口为例如缓冲装置420所具有的装载口和与制造装置410建立了对应关系的装载口。端口关闭告知信息也表示不允许使用装载口。
搬送车200的控制单元210当接收到端口关闭告知信息时，进行端口关闭处理（S211）。端口关闭处理中进行端口关闭的设定。具体为，控制单元210将端口关闭告知信息所表示的装载口的使用变成了不允许的信息（以下称为“端口关闭信息”）储存在存储单元220中。
端口关闭信息表示指定不允许使用的装载口的信息。在端口关闭信息储存在存储单元220中的情况下，设定了端口关闭。
当搬送车200的控制单元210接收到端口关闭告知信息时，到解除端口关闭的设定之前，控制搬送车200，以使搬送车200不进行将存储盒载置到端口关闭告知信息所表示的不允许使用的装载口的处理，以及不进行抬起被载置在不允许使用的装载口上的存储盒的处理。
操作者在进行了拆卸预告作业后，进行使缓冲装置420停止运转的作业，从制造装置410中拆卸缓冲装置420（S422）。
并且，操作者使用地面控制器100的输入单元140进行停止位置转换操作。即，输入单元140接收停止位置转换操作（S113）。停止位置转换操作为使搬送车200使用第2停止位置数据D200的操作。
并且，操作者对拆卸下的缓冲装置420进行例如维修保养（S423）。
并且，操作者进行使停止运转的制造装置410运转的作业。该作业为按下例如设置在制造装置410外部的按钮的作业。通过该作业，制造装置410开始运转（S412）。
当输入单元140受理到停止位置转换操作时，地面控制器100的控制单元110将设定转换数据发送给搬送车200（S114）。设定转换数据为表示用于将搬送车200所使用的停止位置数据设定为第2停止位置数据D200的指示的数据。
当搬送车200的控制单元210通过通信单元270接收到设定转换数据时，进行设定转换处理（S212）。设定转换处理过程中，控制单元210将使用的停止位置数据设定为第2停止位置数据D200。
然后，控制单元210将设定完了通知发送给地面控制器100（S213）。设定完了通知为将搬送车200所使用的停止位置数据设定为第2停止位置数据D200的处理结束了的意思的通知。
然后，控制单元210进行端口关闭解除处理（S214）。端口关闭解除处理为解除端口关闭的处理。具体为，控制单元210删除存储在存储单元220中的端口关闭信息。由此，不允许使用装载口的使用被允许。即，解除端口关闭的设定。
地面控制器100的控制单元110当接收到设定完了通知时，将接收到的设定完了通知发送给MES50（S115）。
MES50通过接收设定完了通知而知悉搬送车200所使用的停止位置数据被设定为了第2停止位置数据D200。
地面控制器100的控制单元110在发送设定完了通知后进行搬送指令对象转换处理（S116）。
在搬送指令对象转换处理过程中，当控制单元110从MES50接收到制造装置搬送指令时，将成为接收到的制造装置搬送指令即搬送指令的对象的装置从缓冲装置420转换成制造装置410。
即，搬送指令对象转换处理为将成为搬送车200搬送存储盒C11的对象的装置（搬送对象装置）从缓冲装置420转换成制造装置410的处理。此时，在从MES50接收到制造装置搬送指令的情况下，控制单元110将接收到的制造装置搬送指令发送给搬送车200。
这里假定MES50已将制造装置搬送指令发送给了地面控制器100（S52）。
然后，地面控制器100的控制单元110接收制造装置搬送指令。此时，由于成为搬送车200搬送存储盒C11的对象的装置（搬送对象装置）为制造装置410，因此控制单元110将接收到的制造装置搬送指令发送给搬送车200（S117）。
制造装置搬送指令中包含装载口信息。装载口信息表示例如成为进行载置存储盒C11动作的对象的装载口。并且，装载口信息表示动作信息。动作信息为表示以装载口信息表示的装载口为对象、装载例如存储盒C11的动作的信息。
当接收到制造装置搬送指令时，搬送车200的控制单元210进行停止处理（S215）。停止处理过程中，为了往制造装置410搬送存储盒C11，控制单元210进行使搬送车200停止在第2停止位置数据D200所表示的3个停止位置中与包含在制造装置搬送指令中的装载口信息所示的装载口（例如装载口PT21）相对应的停止位置（例如停止位置ST21）上的控制。
由此，搬送车200在移动到与装载口信息所表示的装载口相对应的停止位置后，停止在该停止位置，进行该装载口信息表示的动作信息所示的动作。
另外，本实施形态也可以进行路径关闭取代上述端口关闭。路径关闭为使搬送车200行驶的行驶路径的一部分（例如行驶路径L10）不允许行驶的处理。以下将不允许行驶的行驶路径称为“路径关闭行驶路径”。在进行了路径关闭的情况下，搬送车200的控制单元210不在路径关闭行驶路径上行驶地控制搬送车200。
另外，正在搬送车200往缓冲装置420搬送存储盒C11中，在搬送车200由于端口关闭或路径关闭等不能往缓冲装置420搬送的情况下，控制单元210临时将搬送车200设定为出错状态。
此时，地面控制器100向搬送车200发送一次保管指令。一次保管指令为将存储盒C11载置到上述图5的顶棚缓存区BU10中的指令。
当接收到一次保管指令时，搬送车200暂时将存储盒C11载置到顶棚缓存区BU10中。然后，在地面控制器100通过例如解除端口关闭或路径关闭，变成能够将存储盒C11搬送到制造装置410中的情况下，地面控制器100向搬送车200发送将被载置在顶棚缓存区BU10中的存储盒C11搬送到制造装置410的指令。
搬送车200根据该指令的接收将被载置在顶棚缓存区BU10中的存储盒C11搬送到制造装置410。
接着，说明在缓冲装置420从制造装置410中拆卸的状态下，将缓冲装置420安装到制造装置410中时各装置的处理。在缓冲装置420从制造装置410中拆卸的情况下，成为搬送车200搬送存储盒C11的对象的装置为制造装置410。即，搬送存储盒C11的对象为与制造装置410建立了对应关系的装载口PT21、PT22、PT23中的某一个。
这里假定制造装置410在运转中。并且假定通过上述设定转换处理，搬送车200使用的停止位置数据已设定为第2停止位置数据D200。并且，假定通过上述搬送指令对象转换处理，在地面控制器100中成为搬送指令对象的装置已被设定为制造装置410。
并且，假定操作者正在进行从制造装置410中拆卸下来的缓冲装置420的维修保养作业。
图12为表示在将缓冲装置420安装到制造装置410的情况下，MES50、地面控制器100、搬送车200、缓冲装置420和制造装置410各自进行的处理的图。
首先，MES50将制造装置搬送指令发送给地面控制器100（S51A）。其中，制造装置搬送指令为让搬送车200往制造装置410搬送存储盒C11的搬送指令。即，制造装置搬送指令为让搬送车200往与制造装置410建立了对应关系的装载口PT21、PT22、PT23中的某一个搬送存储盒C11的指令。
并且，地面控制器100的控制单元110接收制造装置搬送指令。此时，由于成为搬送车200搬送存储盒C11对象的装置为制造装置410，因此控制单元110将接收到的制造装置搬送指令发送给搬送车200（S111A）。
制造装置搬送指令中包含装载口信息。装载口信息表示例如作为进行载置存储盒C11的动作的对象的装载口。并且，装载口信息表示动作信息。动作信息为表示以装载口信息所表示的装载口为对象、装载例如存储盒C11的动作的信息。
当搬送车200的控制单元210接收到制造装置搬送指令时，为了往制造装置410搬送存储盒C11，控制单元210进行这样的控制：使搬送车200停止在第2停止位置数据D200所表示的3个位置中与包含在制造装置搬送指令中的装载口信息所表示的装载口（例如装载口PT21）相对应的停止位置（例如停止位置ST21）上。
由此，搬送车200在移动到与装载口信息所表示的装载口相对应的停止位置后，停止在该停止位置，进行该装载口信息所表示的动作信息所示的动作。
接着，操作者进行使制造装置410的运转停止的作业。通过该作业，制造装置410停止运转（S411）。
并且，假定操作者完成了缓冲装置420的维修保养（S420A）。
并且，操作者进行安装预告作业。安装预告作业为例如按下设置在缓冲装置420外部的安装预告按钮（未图示）的作业。安装预告按钮为通过按下将安装预告信息发送给地面控制器100的按钮。安装预告信息为至少在经过规定时间（例如3分钟）后告知缓冲装置420安装到制造装置410的信息。
当进行安装预告作业时，缓冲装置420的计算机（未图示）将安装预告信息发送给地面控制器100（S421A）。
地面控制器100的控制单元110当接收安装预告信息时，将上述端口关闭告知信息发送给搬送车200（S112）。
搬送车200的控制单元210当接收到端口关闭告知信息时，进行端口关闭处理（S211）。另外，端口关闭处理由于前面已叙述，因此不反复进行详细的说明。
操作者进行将缓冲装置420安装到制造装置410中、使缓冲装置420重新开始运转的作业（S422A）。
并且，操作者使用地面控制器100的输入单元140进行停止位置转换操作A。即，输入单元140受理停止位置转换操作A（S113A）。停止位置转换操作A为使搬送车200使用第1停止位置数据D100的操作。
并且，操作者进行使停止运转的制造装置410运转的作业。该作业为按下例如设置在制造装置410外部的按钮的作业。通过该作业，制造装置410开始运转（S412）。
当输入单元140受理到停止位置转换操作A时，地面控制器100的控制单元110将设定转换数据A发送给搬送车200（S114A）。设定转换数据A为表示将搬送车200所使用的停止位置数据设定为第1停止位置数据D100的指示的数据。
当搬送车200的控制单元210通过通信单元270接收到设定转换数据A时，进行设定转换处理A（S212A）。在设定转换处理A中，控制单元210将使用的停止位置数据设定为第1停止位置数据D100。然后，控制单元210将设定完了通知A发送给地面控制器100（S213A）。设定完了通知A为将搬送车200所使用的停止位置数据设定为第1停止位置数据D100的处理结束了的意思的通知。
然后，控制单元210进行端口关闭解除处理（S214）。端口关闭解除处理由于前面已叙述，因此不反复进行详细的说明。
地面控制器100的控制单元110当接收到设定完了通知A时，将接收到的设定完了通知A发送给MES50（S115A）。
MES50通过接收设定完了通知A而知悉搬送车200所使用的停止位置数据被设定为了第1停止位置数据D100。
地面控制器100的控制单元110在发送设定完了通知A后进行搬送指令对象转换处理A（S116A）。
在搬送指令对象转换处理A过程中，当控制单元110从MES50接收到制造装置搬送指令时，将成为接收到的制造装置搬送指令即搬送指令的对象的装置从制造装置410转换成缓冲装置420。即，搬送指令对象转换处理A为将成为搬送车200搬送存储盒C11的对象的装置从制造装置410转换成缓冲装置420的处理。此时，在从MES50接收到制造装置搬送指令的情况下，控制单元110将上述缓冲装置搬送指令发送给搬送车200。
这里假定MES50已将制造装置搬送指令发送给了地面控制器100（S52）。
然后，地面控制器100的控制单元110接收制造装置搬送指令。此时，由于成为搬送车200搬送存储盒C11的对象的装置为缓冲装置420，因此控制单元110将缓冲装置搬送指令发送给搬送车200（S117A）。
缓冲装置搬送指令中包含装载口信息。装载口信息表示例如成为进行装载存储盒C11动作的对象的装载口。并且，装载口信息表示动作信息。动作信息为表示以装载口信息表示的装载口为对象装载例如存储盒C11动作的信息。
当接收到缓冲装置搬送指令时，搬送车200的控制单元210进行停止处理A（S215A）。停止处理A过程中，为了往缓冲装置420搬送存储盒C11，控制单元210进行使搬送车200停止在第1停止位置数据D100所表示的4个停止位置中与包含在缓冲装置搬送指令中的装载口信息所表示的装载口（例如装载口PT11）相对应的停止位置上的控制。
由此，搬送车200在移动到与装载口信息所表示的装载口相对应的停止位置后，停止在该停止位置，进行该装载口信息表示的动作信息所示的动作。
如以上说明过的那样，在成为搬送车200搬送存储盒C11的对象的装置被变更了的情况下，只要使搬送车200使用与成为搬送车200搬送存储盒C11的对象的、变更后的装置相对应的停止位置数据地进行设定，搬送车200就能够停止在与变更后的装置相对应了的停止位置上。
即，具有能够迅速地转换搬送车的停止位置这样的效果。
因此，在操作者为了进行缓冲装置420的维修保养而从制造装置410拆卸缓冲装置420的情况下，能够迅速地进行维修保养后的恢复。
并且，通过搬送车200预先存储第1停止位置数据D100和第2停止位置数据D200，操作者没有进行表示搬送车的停止位置的停止位置数据的调整的必要，能够使从制造装置410拆卸缓冲装置420后或者将缓冲装置420安装到制造装置410后的路径关闭的时间非常短。即，能够使生产线的恢复时间非常短。
并且，由于操作者没有进行表示搬送车的停止位置的停止位置数据的调整的必要，因此减少了操作者物理性作业的项目，能够大幅度地减少人为错误。
另外，本发明中第1停止位置数据D100和第2停止位置数据D200预先被存储在了搬送车200的存储单元220中。但并不局限于此，也可以地面控制器100存储第1停止位置数据D100和第2停止位置数据D200。并且，地面控制器100还可以根据必要将第1停止位置数据D100或第2停止位置数据D200发送给搬送车200。
（功能框图）
图13为表示本发明的搬送系统1000的特征性功能结构的方框图。即，图13为表示由图6所示的硬件结构实现的地面控制器100的功能和由图7所示的硬件结构实现的搬送车200的功能中、与本发明有关的功能的方框图。
另外，图13中为了说明而表示控制单元110、输入单元140、控制单元210和通信单元270。
地面控制器100的控制单元110在功能上包括发送单元111。
搬送车200的控制单元210在功能上包括停止控制单元211。
发送单元111将用来使搬送车200停止在能够将物品载置到缓冲装置420中的第1停止位置的第1数据、或者用来使搬送车200停止在与第1装置建立了对应关系的第2停止位置的第2数据发送给搬送车200。
搬送车200的通信单元270接收第1数据或第2数据。
停止控制单元211在接收到第1数据的情况下进行使搬送车200停止在第1停止位置的控制，在接收到第2数据的情况下进行使搬送车200停止在第2停止位置的控制。
并且，发送单元111在输入单元140受理了使搬送车200使用第1停止位置数据用的操作的情况下，将用来使搬送车200使用第1停止位置数据的第1设定转换数据发送给搬送车200；在输入单元140受理了使搬送车200使用第2停止位置数据用的操作的情况下，将用来使搬送车200使用第2停止位置数据用的第2设定转换数据发送给搬送车200。
并且，搬送车200的控制单元210在功能上包括设定单元212。
设定单元212在通信单元270受理了第1设定转换数据的情况下，使停止控制单元211使用第1停止位置数据地进行设定；在通信单元270受理了第2设定转换数据的情况下，使停止控制单元211使用第2停止位置数据地进行设定。
另外，包含在控制单元110中的发送单元111也可以用硬件构成。并且，发送单元111也可以是由控制单元110执行的程序模块。
并且，包含在控制单元210中的停止控制单元211和设定单元212全部或一部分也可以用硬件构成。并且，停止控制单元211和设定单元212全部或一部分也可以是由控制单元210执行的程序模块。
应该认为，这里公开的实施形态全部都是示例而非限定性描述。本发明的范围不是用上述说明而是用权利要求的范围表示，包括在与权利要求范围等同的意思和范围内的所有变更。
工业可利用性
本发明能够作为可以迅速地转换搬送车的停止位置的搬送系统而加以利用。
附图标记说明
L10．行驶路径；50．MES；100．地面控制器；110、210．控制单元；120、220．存储单元；140．输入单元；170、270．通信单元；200．搬送车；410．制造装置；420．缓冲装置；1000．搬送系统

Claims (3)

1.一种搬送系统，包括被预先设定的行驶路径、通过在上述行驶路径上行驶而能够对第1装置搬送物品的搬送车、以及控制上述搬送车的控制器；
上述搬送系统还包括作为能够相对于上述第1装置装卸的装置的、上述搬送车能够载置物品的第2装置；
上述控制器具备发送单元，该发送单元在上述第2装置被安装在上述第1装置中的情况下，向上述搬送车发送第1数据，该第1数据用于上述搬送车停止在能够将物品载置到上述第2装置的第1停止位置上；并且，在上述第2装置从上述第1装置拆卸下的情况下，向上述搬送车发送第2数据，该第2数据用于上述搬送车停止在与上述第1装置建立了对应关系的第2停止位置上；
上述搬送车具备：通信单元，接收上述第1数据或第2数据；以及停止控制单元，在接收到上述第1数据的情况下，进行使上述搬送车停止在上述第1停止位置上的控制，在接收到上述第2数据的情况下，进行使上述搬送车停止在上述第2停止位置上的控制；
上述搬送车还具备存储单元，该存储单元存储表示上述第1停止位置的第1停止位置数据和表示上述第2停止位置的第2停止位置数据；
上述控制器还具备受理操作者的操作的输入单元；
上述控制器的上述发送单元，在上述输入单元受理了用于使上述搬送车使用上述第1停止位置数据的操作的情况下，向上述搬送车发送用于使上述搬送车使用上述第1停止位置数据的第1设定转换数据；在上述输入单元受理了用于使上述搬送车使用上述第2停止位置数据的操作的情况下，向上述搬送车发送用于使上述搬送车使用上述第2停止位置数据的第2设定转换数据；
上述搬送车还具备设定单元，该设定单元在上述通信单元接收到上述第1设定转换数据的情况下，以上述停止控制单元使用上述第1停止位置数据的方式进行设定；在上述通信单元接收到上述第2设定转换数据的情况下，以上述停止控制单元使用上述第2停止位置数据的方式进行设定；
上述控制器的上述发送单元，在发送上述第1设定转换数据的情况下，向上述搬送车发送作为使上述搬送车停止在上述第1停止位置上用的指令的上述第1数据；在发送上述第2设定转换数据的情况下，向上述搬送车发送作为使上述搬送车停止在上述第2停止位置上用的指令的上述第2数据；
上述搬送车的上述停止控制单元，在接收到上述第1数据的情况下，进行使上述搬送车停止在上述第1停止位置数据所表示的上述第1停止位置上的控制；在接收到上述第2数据的情况下，进行使上述搬送车停止在上述第2停止位置数据所表示的上述第2停止位置上的控制。
2.如权利要求1所述的搬送系统，上述第1数据表示在上述行驶路径上连续的第1点到第2点之间、从上述第1点离开第1距离的位置即上述第1停止位置；
上述第2数据表示从上述第1点离开与上述第1距离不同的第2距离的位置即上述第2停止位置；
上述发送单元向上述搬送车发送上述第1数据或上述第2数据。
3.如权利要求1或2所述的搬送系统，上述第2装置为用于保管从上述第1装置搬出的物品或向上述第1装置提供的物品的装置；
上述第1数据表示多个上述第1停止位置；
上述第2数据表示多个上述第2停止位置；
上述第1数据所表示的上述第1停止位置的数量与上述第2数据所表示的上述第2停止位置的数量不同。
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