WO2020192545A1 - 显示面板的物料派送控制方法及系统 - Google Patents

显示面板的物料派送控制方法及系统 Download PDF

Info

Publication number
WO2020192545A1
WO2020192545A1 PCT/CN2020/080170 CN2020080170W WO2020192545A1 WO 2020192545 A1 WO2020192545 A1 WO 2020192545A1 CN 2020080170 W CN2020080170 W CN 2020080170W WO 2020192545 A1 WO2020192545 A1 WO 2020192545A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
processing device
operation mode
production process
display panel
execution system
Prior art date
Application number
PCT/CN2020/080170
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
潘柏松
Original Assignee
惠科股份有限公司
重庆惠科金渝光电科技有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 惠科股份有限公司, 重庆惠科金渝光电科技有限公司 filed Critical 惠科股份有限公司
Publication of WO2020192545A1 publication Critical patent/WO2020192545A1/zh

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/52—Controlling or regulating the coating process
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating

Definitions

  • This application relates to the field of material processing, and in particular to a material dispatch control method and system for a display panel.
  • One machine can process materials from different process sites. Take the panel factory Chemical Vapor Deposition (CVD) machine as an example, it can be set to high temperature operation mode and low temperature operation mode, high temperature operation mode and low temperature operation mode It processes materials from different process sites separately.
  • the chemical vapor deposition device combines with the conveying device to complete the processing of the materials. During the work process, it is necessary to switch the operation mode of the chemical vapor deposition device and open and close the conveying device.
  • the switching of the operation mode of the chemical vapor deposition device and the opening and closing of the conveying device are manually operated, which may cause errors.
  • the purpose of this application is to provide a material dispatch control method and system for a display panel to prevent errors caused by manual operations.
  • the application discloses a material dispatch control method of a display panel, which includes the steps:
  • the production process execution system sends commands to the transportation device, and the transportation system is turned on to transport the materials from the corresponding site to the processing device.
  • the application also discloses a material dispatch control method of the display panel, which establishes a comparison table of the operation mode of the processing device and the corresponding station in the production process execution system; the material dispatch control method includes the steps:
  • the production process execution system sends an order to close the transportation system
  • the processing device completes the processing of the current material
  • the production process execution system sends commands to switch the operating mode of the processing device
  • the production process execution system identifies the operating mode of the processing device, and finds the corresponding site from the comparison table;
  • the conveying device takes out the material from the warehouse of the corresponding site and transports it to the processing device for processing.
  • the application also discloses a material delivery system for a display panel, which includes a processing device configured to process the material; a switching system configured to switch the operating mode of the processing device; and a transportation device including a transportation system configured to transport materials to processing Device; and a production process execution system configured to receive information about the operating mode of the processing device and send a command to turn on the transportation system to transport materials from the corresponding site to the processing device and control the operation of each system.
  • this application integrates the operation performed by the operator into the production process execution system, and uses the production process execution system to control each device to work, preventing the operator from forgetting to turn on the transportation system or turn on The corresponding site set after the delivery device is set incorrectly, causing the processing device to have no materials to process, or the wrong materials are transported for processing and a large amount of materials are scrapped.
  • Figure 1 is a schematic diagram of an exemplary material delivery control method
  • Figure 2 is a schematic diagram of a material dispatch control method according to an embodiment of the present application.
  • FIG. 3 is a schematic diagram of a method for switching the operation mode of a processing device according to an embodiment of the present application
  • FIG. 4 is a schematic diagram of a method for switching the operating mode of a processing device according to another embodiment of the present application.
  • FIG. 5 is a schematic diagram of the working method of the conveying device according to an embodiment of the present application.
  • Fig. 6 is a schematic diagram of a material dispatch control method according to another embodiment of the present application.
  • Fig. 7 is a schematic diagram of a method for taking out and storing materials according to an embodiment of the present application.
  • Fig. 8 is a schematic diagram of a material delivery system according to an embodiment of the present application.
  • first and second are only used for descriptive purposes, and cannot be understood as indicating relative importance or implicitly indicating the number of indicated technical features. Therefore, unless otherwise specified, the features defined with “first” and “second” may explicitly or implicitly include one or more of these features; “plurality” means two or more.
  • the term “comprising” and any variations thereof means non-exclusive inclusion, the possibility of the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, units, components, and/or combinations thereof.
  • the terms “installed”, “connected” and “connected” should be understood in a broad sense, for example, it can be a fixed connection, a detachable connection, or an integral connection; it can be a mechanical connection , It can also be electrical connection; it can be directly connected, it can also be indirectly connected through an intermediate medium, or the internal connection of two components.
  • installed should be understood in a broad sense, for example, it can be a fixed connection, a detachable connection, or an integral connection; it can be a mechanical connection , It can also be electrical connection; it can be directly connected, it can also be indirectly connected through an intermediate medium, or the internal connection of two components.
  • the steps of an exemplary method of switching operation modes of a processing device are:
  • S3 The operator turns on the transportation system, and transports the materials from the station corresponding to the current mode of the processing device to the processing device for processing.
  • the production process execution system aims to strengthen the execution function of the material demand plan, and link the material demand plan with the workshop operation site control through the execution system.
  • the field control here includes programmable logic controller, data collector, bar code, various measuring and testing instruments, manipulator, etc.
  • the production process execution system has set up the necessary interfaces to establish a cooperative relationship with manufacturers that provide on-site control facilities.
  • an embodiment of the present application discloses a material dispatch control method for a display panel, and the steps of the material dispatch control method include:
  • the production process execution system sends a command to turn on the transport system, and transports the materials from the corresponding site to the processing device.
  • this application integrates the operations performed by the operator into the production process execution system, and uses the production process execution system to control each device to work, preventing the operator from forgetting to turn on the transportation system or turn on The corresponding site set after the delivery device is set incorrectly, causing the processing device to have no materials to process, or the wrong materials are transported for processing and a large amount of materials are scrapped.
  • the step of switching the operating mode of the processing device in S4 includes:
  • S411 The production process execution system sends a command to switch the operating mode to the processing device
  • S412 The production process execution system sends a command to close the transportation system and stop the transportation of materials
  • the processing device can immediately switch to the set operation mode, canceling the manual switching operation mode process and speeding up the work effectiveness.
  • step of switching the operating mode of the processing device in S4 may further include:
  • S421 The production process execution system sends a command to close the transportation system and stop the transportation of materials
  • S423 The processing device executes the command to switch the operating mode to switch the operating mode.
  • the production process execution system identifies the operating mode of the processing device, and finds the corresponding site from the comparison table;
  • the conveying device takes out the material from the warehouse of the corresponding site and transports it to the processing device for processing.
  • the production process execution system can automatically find the corresponding site according to the read operation mode of the processing device, and then automatically turn on the transportation system to transport the materials at the corresponding site to prevent operators Forgetting to turn on the transportation system or setting the corresponding site after turning on the transportation device is wrong, causing the processing device to have no materials to process, or transporting the wrong materials for processing, causing a large number of materials to be scrapped.
  • a material dispatching control method of a display panel is disclosed.
  • a comparison table of the operation mode of the processing device and the corresponding station is established in the production process execution system;
  • the dispatch controller includes steps:
  • S73 The production process execution system sends a command to switch the operating mode of the processing device
  • S75 The production process execution system identifies the operating mode of the processing device, and finds the corresponding site from the comparison table;
  • the conveying device takes out the material from the warehouse of the corresponding site and transports it to the processing device for processing.
  • the operation performed by the operator is integrated into the production process execution system, and the production process execution system is used to control the work of each device to prevent the operator from forgetting to turn on the transportation system or the corresponding site setting after turning on the transportation device, causing the processing device to fail
  • the material can be processed, or the wrong material is transported for processing and a large amount of material is scrapped.
  • the material dispatching control method of the display panel manufacturing process also includes taking out the materials to be processed and storing the processed materials, the steps are:
  • S84 Move to the corresponding station according to the route, take out the materials from the station, and then transport to the processing device according to the route;
  • S88 Transport to the corresponding warehouse site according to the route, and store the processed materials in the warehouse.
  • this embodiment also discloses a display panel material delivery system 100, which includes a processing device 110, a conveying device 120, a switching system 140, a conveying system 150, and a production process execution system 130.
  • the processing device 110 is configured to process the material 200;
  • the transportation system 150 is configured to transport the material 200 to the processing device 110;
  • the switching system 140 is configured to switch the operating mode of the processing device 110;
  • the production process execution system 130 is configured to receive The operation mode information of the processing device 110 and the operation of the control systems; when the production process execution system 130 receives the information about the changed operation mode of the processing device 110, it sends a command to turn on the transportation system 150 of the transportation device 120 to transport the corresponding
  • the material 200 at the station 300 is processed by the processing device 110.
  • the production process execution system 130 is used to control the operation of the processing device 110 and the conveying device 120 to reduce manual operations during the processing, thereby reducing errors caused by manual operations, increasing work efficiency and preventing the material 200 from being scrapped.
  • a comparison table between the operation mode of the processing device 110 and the corresponding site is established in the production process execution system 130.
  • the position of the processing device 110 is a CVD (Chemical Vapor Deposition, chemical vapor deposition device) that performs five mask processing on the glass substrate.
  • the materials are glass substrates in different manufacturing process stages in the display panel.
  • the operation modes of high temperature film formation include The high temperature operation mode and the low temperature operation mode are used to edit the comparison table of the high temperature/low temperature operation mode of the chemical vapor deposition device and the corresponding station (as shown in Table 1), and store the table in the production process execution system.
  • the temperature of the high temperature operation mode of the chemical vapor deposition apparatus is 300°C-500°C, recommended 340°C-360°C; the temperature of the low temperature operation mode is 150°C-300°C, recommended 275°C-285°C.
  • the production process execution system searches for the corresponding site 2200 from the comparison table according to the operation mode uploaded by the chemical vapor deposition device (such as high temperature operation mode); sends a command to turn on the transportation system to the warehouse at site 2200 to grab the cassette containing the glass substrate;
  • the cassette is placed in the storage position of the chemical vapor deposition device; then the material is removed from the cassette by a mechanical arm and placed in the chemical vapor deposition device; the chemical vapor deposition device performs high-temperature processing on the glass substrate according to the high-temperature operation mode.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)

Abstract

一种显示面板制程的物料（200）派送控制方法，包括步骤：切换加工装置（110）的运行模式；将加工装置（110）的运行模式上传到生产过程执行系统（130）；以及生产过程执行系统（130）发送命令到运送装置（120），开启运送系统（150）运送对应站点的物料（200）到加工装置（110）。还公开了一种显示面板制程的物料（200）派送控制方法和一种显示面板制程的物料派送系统（100）。

Description

显示面板的物料派送控制方法及系统
本申请要求于2019年03月28日提交中国专利局，申请号为CN201910241644.2，申请名称为“一种用于显示面板的物料派送控制方法及系统”的中国专利申请的优先权，其全部内容通过引用结合在本申请中。
技术领域
本申请涉及物料加工领域，尤其涉及一种显示面板的物料派送控制方法及系统。
背景技术
这里的陈述仅提供与本申请有关的背景信息，而不必然地构成现有技术。
一台机台可以加工不同制程站点的物料，以面板厂化学气相沉积装置(Chemical Vapor Deposition，CVD)的机台为例，可以设置成高温运行模式和低温运行模式，高温运行模式和低温运行模式分别处理的是不同制程站点的物料，化学气相沉积装置结合着运送装置完成对物料的加工，工作过程中需要切换化学气相沉积装置的运行模式以及开启和关闭运送装置。
化学气相沉积装置运行模式的切换以及运送装置的开启和关闭由人工进行操作，人工操作会造成失误。
发明内容
本申请的目的是提供一种显示面板的物料派送控制方法及系统，防止人工进行操作造成失误。
本申请公开了一种显示面板的物料派送控制方法，包括步骤：
切换加工装置的运行模式；
将加工装置的运行模式上传到生产过程执行系统；以及
生产过程执行系统发送命令到运送装置，开启运送系统运送对应站点的物料到加工装置。
本申请还公开了一种显示面板的物料派送控制方法，在生产过程执行系统中建立加工装置的运行模式和对应站点的对照表；所述物料派送控制方法包括步骤：
生产过程执行系统发送命令关闭运送系统；
加工装置完成当前物料的加工；
生产过程执行系统发送命令切换加工装置的运行模式；
将加工装置的运行模式上传到生产过程执行系统；
生产过程执行系统识别加工装置的运行模式，从对照表中找到对应的站点；
发送命令到运送装置开启运送系统；以及
运送装置从对应站点的仓库中取出物料运送到加工装置中进行加工。
本申请还公开了一种显示面板的物料派送系统，包括配置为加工所述物料的加工装置；配置为切换加工装置的运行模式的切换系统；运送装置，包括运送系统，配置为运送物料到加工装置；以及配置为接收所述加工装置的运行模式的信息并发送命令开启运送系统运送对应站点的物料到加工装置和控制各系统的运行的生产过程执行系统。
相对于以操作员来操作的的方案来说，本申请将操作员进行的操作结合进生产过程执行系统中，以生产过程执行系统来控制各装置进行工作，防止操作员忘记开启运送系统或开启运送装置后设定的对应站点设置错误，造成加工装置没有物料可加工，或者运送错误的物料进行加工造成大量物料报废。
附图说明
所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
图1是示例性的一种物料派送控制方法的示意图；
图2是本申请的一实施例的一种物料派送控制方法的示意图；
图3是本申请的一实施例的加工装置的运行模式的切换方法的示意图；
图4是本申请的另一实施例的加工装置的运行模式的切换方法的示意图；
图5是本申请的一实施例的运送装置的工作方法的示意图；
图6是本申请的另一实施例的一种物料派送控制方法的的示意图；
图7是本申请的一实施例的物料的取出和存放的方法的示意图；
图8是本申请的一实施例的一种物料派送系统的示意图。
具体实施方式
需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。
在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示相对 重要性，或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，除非另有说明，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征；“多个”的含义是两个或两个以上。术语“包括”及其任何变形，意为不排他的包含，可能存在或添加一个或更多其他特征、整数、步骤、操作、单元、组件和/或其组合。
另外，“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系的术语，是基于附图所示的方位或相对位置关系描述的，仅是为了便于描述本申请的简化描述，而不是指示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
如图1所示，一种示例性的加工装置切换运行模式的做法的步骤为：
S1：操作员先关闭运送系统，运送装置不再运送物料至加工装置；
S2：当加工装置完成当前模式所有物料的加工，操作员切换加工装置的运行模式；
S3：操作员开启运送系统，运送加工装置当前模式对应站点的物料，运送至加工装置中进行加工。
下面参考附图和可选的实施例对本申请作进一步说明。
生产过程执行系统旨在加强物资需求计划的执行功能，把物资需求计划同车间作业现场控制，通过执行系统联系起来。这里的现场控制包括可编程逻辑控制器、数据采集器、条形码、各种计量及检测仪器、机械手等。生产过程执行系统设置了必要的接口，与提供生产现场控制设施的厂商建立合作关系。
如图2所示，本申请实施例公布了一种显示面板的物料派送控制方法，所述物料派送控制方法的步骤包括：
S4：切换加工装置的运行模式；
S5：将加工装置的运行模式上传到生产过程执行系统；
S6：生产过程执行系统发送命令开启运送系统，运送对应站点的物料到加工装置。
相对于如图1中所示的示例性方案，本申请将操作员进行的操作结合进生产过程执行系统中，以生产过程执行系统来控制各装置进行工作，防止操作员忘记开启运送系统或开启运送装置后设定的对应站点设置错误，造成加工装置没有物料可加工，或者运送错误的物料进行加工造成大量物料报废。
切换加工装置的运行模式大致有以下两种方式，一种是先等待后切换，另外一种是先下 发切换模式的指令，等满足条件后再自动切换。
如图3所示，S4所述切换加工装置的运行模式的步骤包括：
S411：生产过程执行系统发送切换运行模式的命令到加工装置；
S412：生产过程执行系统发送命令关闭运送系统，停止物料的运送；
S413：当加工装置完成对最后一个物料的加工，加工装置执行切换运行模式的命令，切换运行模式。
先对加工装置发送命令，使其处于准备切换运行模式的阶段，当最后一个物料离开加工装置的时候，加工装置可以立马切换到所设置的运行模式，取消了人工切换运行模式的过程，加快工作效率。
如图4所示，当然，S4所述切换加工装置的运行模式的步骤还可以包括：
S421：生产过程执行系统发送命令关闭运送系统，停止物料的运送；
S422：当加工装置完成对最后一个物料的加工，生产过程执行系统发送切换运行模式的命令到加工装置；
S423：加工装置执行切换运行模式的命令，切换运行模式。
关闭运送系统后，仍然还会有为加工完成的物料在加工装置中进行加工，所以等加工装置加工完成之后，在对加工装置的运行模式进行切换，防止突然切换运行模式使加工中的物料报废。
如图5所示，先在生产过程执行系统中建立加工装置的运行模式和对应站点的对照表；S6所述生产过程执行系统发送命令开启运送系统运送对应站点的物料的步骤包括：
S61：生产过程执行系统识别加工装置的运行模式，从对照表中找到对应的站点；
S62：发送命令到运送装置开启运送系统；
S63：运送装置从对应站点的仓库中取出物料运送到加工装置中进行加工。
在生产过程执行系统中设定一个对照表，生产过程执行系统可以根据读取到的加工装置的运行模式，自动找到对应的站点，然后自动开启运送系统对对应站点的物料进行运送，防止操作员忘记开启运送系统或开启运送装置后设定的对应站点设置错误，造成加工装置没有物料可加工，或者运送错误的物料进行加工造成大量物料报废。
如图6所示，作为本申请的另一实施例，公开了一种显示面板的物料派送控制方法，先在生产过程执行系统中建立加工装置的运行模式和对应站点的对照表；所述物料派送控制方包括步骤：
S71：生产过程执行系统发送命令关闭运送系统；
S72：加工装置完成当前物料的加工；
S73：生产过程执行系统发送命令切换加工装置的运行模式；
S74：将加工装置的运行模式上传到生产过程执行系统；
S75：生产过程执行系统识别加工装置的运行模式，从对照表中找到对应的站点；
S76：发送命令到运送装置开启运送系统；
S77：运送装置从对应站点的仓库中取出物料运送到加工装置中进行加工。
将操作员进行的操作结合进生产过程执行系统中，以生产过程执行系统来控制各装置进行工作，防止操作员忘记开启运送系统或开启运送装置后设定的对应站点设置错误，造成加工装置没有物料可加工，或者运送错误的物料进行加工造成大量物料报废。
如图7所示，所述显示面板制程的物料派送控制方法还包括待加工物料的取出和加工完毕的物料的存放，步骤为：
S81：生产过程执行系统发送命令到运送装置；
S82：开启运送系统识别运行模式对应站点的位置信息；
S83：选择运送的路线；
S84：按照路线移动到对应站点，从站点取出物料，再按照路线运送至加工装置；
S85：加工完毕后取出加工完毕的物料；
S86：识别仓库站点的位置信息；
S87：选择运送的路线；
S88：按照路线运送到对应仓库站点，将加工完毕的物料存放进仓库。
如图8所示，本实施方式还公开了一种显示面板的物料派送系统100，包括加工装置110、运送装置120、切换系统140、运送系统150和生产过程执行系统130。加工装置110配置为加工所述物料200的；运送系统150配置为运送所述物料200至所述加工装置110；切换系统140配置为切换加工装置110的运行模式；生产过程执行系统130配置为接收所述加工装置110的运行模式的信息和控制各系统的运行；当生产过程执行系统130接收到所述加工装置110改变的运行模式的信息后，发送命令开启运送装置120的运送系统150运送对应站点300的物料200到加工装置110进行加工。以生产过程执行系统130来控制加工装置110和运送装置120的运行，减少加工过程中的人工操作，从而减少人工操作造成的失误，增加工作效率和防止物料200报废。
其中，在所述生产过程执行系统130中建立加工装置110的运行模式和对应站点的对照表。
生产过程执行系统130切换加工装置110的运行模式大致有以下两种方式，一种是先等待后切换，另外一种是先下发切换模式的指令，等满足条件后再自动切换。
具体的，加工装置110位置为对所述玻璃基板进行五道光罩处理的CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积装置)。所述物料为显示面板中处于不同制程阶段的玻璃基板。 一片玻璃基板要先经过高温成膜→黃光制程→刻蚀制程→……→低温成膜等制程，然后对每个制程对应的待加工的玻璃基板存放的站点加以编号，即对应站点为：高温成膜2200，黄光制程2300，刻蚀制程2400……低温成膜4200；所述化学气相沉积装置包括高温成膜制程、黄光制程和刻蚀制程等，其中高温成膜的运行模式包括高温运行模式和低温运行模式，以此编辑出化学气相沉积装置的高温/低温运行模式和对应站点的对照表(如表1所示)，将该表存储到生产过程执行系统中。所述化学气相沉积装置的高温运行模式的温度为300℃-500℃，推荐340℃-360℃；低温运行模式的温度为150℃-300℃，推荐275℃-285℃。
表1化学气相沉积装置运行模式与站点的对照表
加工装置 运行模式 站点
化学气相沉积装置 高温 2200
化学气相沉积装置 低温 4200
生产过程执行系统根据化学气相沉积装置上传的运行模式(如高温运行模式)，从对照表寻找对应的站点2200；发送命令开启运送系统到2200站点的仓库抓取盛放玻璃基板的卡匣；运送卡匣到化学气相沉积装置的存放位置；然后通过机械臂从卡匣中取出物料放置到化学气相沉积装置内部；化学气相沉积装置根据高温运行模式对玻璃基板进行高温制程。
需要说明的是，本方案中涉及到的各步骤的限定，在不影响具体方案实施的前提下，并不认定为对步骤先后顺序做出限定，写在前面的步骤可以是在先执行的，也可以是在后执行的，甚至也可以是同时执行的，只要能实施本方案，都应当视为属于本申请的保护范围。
以上内容是结合具体的可选的实施方式对本申请所作的进一步详细说明，不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本申请的保护范围。

Claims (18)

  1. 一种显示面板制程的物料派送控制方法，包括步骤：
    切换加工装置的运行模式；
    将加工装置的运行模式上传到生产过程执行系统；以及
    生产过程执行系统发送命令到运送装置，开启运送系统运送对应站点的物料到加工装置。
  2. 如权利要求1所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，所述切换加工装置的运行模式的步骤包括：
    生产过程执行系统发送命令关闭运送系统，停止物料的运送；
    当加工装置完成对最后一个物料的加工，生产过程执行系统发送切换运行模式的命令到加工装置；以及
    加工装置执行切换运行模式的命令，切换运行模式。
  3. 如权利要求1所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，所述切换加工装置的运行模式的步骤包括：
    生产过程执行系统发送切换运行模式的命令到加工装置；
    生产过程执行系统发送命令关闭运送系统，停止物料的运送；以及
    当加工装置完成对最后一个物料的加工，加工装置执行切换运行模式的命令，切换运行模式。
  4. 如权利要求1所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，在生产过程执行系统中建立加工装置的运行模式和对应站点的对照表；所述生产过程执行系统发送命令开启运送系统运送对应站点的物料到加工装置的步骤包括：
    生产过程执行系统识别加工装置的运行模式，从对照表中找到对应的站点；
    发送命令到运送装置开启运送系统；以及
    运送装置从对应站点的仓库中取出物料运送到加工装置中进行加工。
  5. 如权利要求1所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，所述生产过程执行系统发送命令到运送装置，开启运送系统运送对应站点的物料到加工装置的步骤包括：
    识别站点的位置信息；
    选择运送的路线；以及
    按照路线移动到对应站点，从站点取出物料，再按照路线运送至加工装置。
  6. 如权利要求5所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，所述运送装置是通过机械臂从站点取出物料。
  7. 如权利要求1所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，还包括步骤： 运送装置将加工完毕的物料运送到对应存放站点的仓库。
  8. 如权利要求7所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，在生产过程执行系统中建立化学气相沉积装置的运行模式和对应站点的对照表，所述运送装置将加工完毕的物料运送到对应存放站点的仓库的步骤中，包括步骤：
    取出加工完毕的物料；
    识别站点的位置信息；
    选择运送的路线；以及
    按照所述路线运送到对应站点，将加工完毕的物料存放进仓库。
  9. 如权利要求1所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，所述加工装置包括化学气相沉积装置，所述化学气相沉积装置的运行模式在高温运行模式和低温运行模式切换。
  10. 如权利要求9所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，所述高温运行模式的温度范围为300℃-500℃。
  11. 如权利要求10所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，所述高温运行模式的温度范围为340℃-360℃。
  12. 如权利要求9所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，所述低温运行模式的温度范围为150℃-300℃。
  13. 如权利要求12所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，所述低温运行模式的温度范围为275℃-285℃。
  14. 如权利要求9所述的一种显示面板制程的物料派送控制方法，其中，在生产过程执行系统中建立化学气相沉积装置的运行模式和对应站点的对照表；所述生产过程执行系统发送命令开启运送系统运送对应站点的物料到加工装置的步骤中，包括步骤：
    生产过程执行系统根据所述化学气相沉积装置上传的运行模式，从对照表寻找对应的站点；
    发送命令开启运送系统到对应站点的仓库抓取盛放所述物料的卡匣；
    运送卡匣到所述化学气相沉积装置的存放位置；
    从卡匣中取出物料放置到化学气相沉积装置内部；以及
    所述化学气相沉积装置根据运行模式对所述物料进行高温制程或低温制程。
  15. 一种显示面板制程的物料派送控制方法，在生产过程执行系统中建立加工装置的运行模式和对应站点的对照表；所述物料派送控制方法包括步骤：
    生产过程执行系统发送命令关闭运送系统；
    加工装置完成当前物料的加工；
    生产过程执行系统发送命令切换加工装置的运行模式；
    将加工装置的运行模式上传到生产过程执行系统；
    生产过程执行系统识别加工装置的运行模式，从对照表中找到对应的站点；
    发送命令到运送装置开启运送系统；以及
    运送装置从对应站点的仓库中取出物料运送到加工装置中进行加工。
  16. 一种显示面板制程的物料派送系统，包括：
    加工装置，配置为加工所述物料；
    切换系统，配置为切换加工装置的运行模式；
    运送装置，包括运送系统，配置为运送物料到加工装置；以及
    生产过程执行系统，配置为接收所述加工装置的运行模式的信息并发送命令开启运送系统运送对应站点的物料到加工装置和控制各系统的运行。
  17. 如权利要求16所述的一种显示面板制程的物料派送系统，其中，所述加工装置包括化学气相沉积装置，所述化学气相沉积装置的运行模式包括高温运行模式和低温运行模式，所述高温运行模式的温度范围为300℃-500℃，所述低温运行模式的温度范围为150℃-300℃。
  18. 如权利要求17所述的一种显示面板制程的物料派送系统，其中，所述高温运行模式的温度范围为340℃-360℃，所述低温运行模式的温度范围为275℃-285℃。
PCT/CN2020/080170 2019-03-28 2020-03-19 显示面板的物料派送控制方法及系统 WO2020192545A1 (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910241644.2 2019-03-28
CN201910241644.2A CN109972122B (zh) 2019-03-28 2019-03-28 一种用于显示面板的物料派送控制方法及系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2020192545A1 true WO2020192545A1 (zh) 2020-10-01

Family

ID=67081077

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/CN2020/080170 WO2020192545A1 (zh) 2019-03-28 2020-03-19 显示面板的物料派送控制方法及系统

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN109972122B (zh)
WO (1) WO2020192545A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109972122B (zh) * 2019-03-28 2022-04-19 惠科股份有限公司 一种用于显示面板的物料派送控制方法及系统

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040007019A1 (en) * 2002-07-12 2004-01-15 Kohli Jeffrey T. Method of making high strain point glass
CN1841654A (zh) * 2005-03-31 2006-10-04 东京毅力科创株式会社 载置台的温度控制装置、方法和程序以及处理装置
JP2016181626A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 東京エレクトロン株式会社 処理システム、処理方法、及び、プログラム
CN106976676A (zh) * 2017-05-12 2017-07-25 京东方科技集团股份有限公司 一种自动化仓库系统、生产线及物流管理方法
CN107289454A (zh) * 2017-07-03 2017-10-24 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 一种尾气处理监控方法及系统
WO2018049377A1 (en) * 2016-09-12 2018-03-15 Ecolab Usa Inc. Deposit monitor
CN109972122A (zh) * 2019-03-28 2019-07-05 惠科股份有限公司 一种用于显示面板的物料派送控制方法及系统

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6826437B2 (en) * 2002-02-28 2004-11-30 Advanced Micro Devices, Inc. Association of process context with configuration document for manufacturing process
JP4796574B2 (ja) * 2006-02-07 2011-10-19 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置の制御装置および基板処理装置の制御プログラム
CN103215572B (zh) * 2012-01-19 2016-12-14 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 半导体设备工艺控制方法和半导体设备工艺控制装置
JP6045946B2 (ja) * 2012-07-13 2016-12-14 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置、プログラムおよび記録媒体
CN106384723B (zh) * 2016-10-28 2019-08-20 北京北方华创微电子装备有限公司 具有多级主工艺步骤的热处理设备工艺控制装置及方法
CN206877133U (zh) * 2017-02-28 2018-01-12 武汉华星光电技术有限公司 载具派送系统

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040007019A1 (en) * 2002-07-12 2004-01-15 Kohli Jeffrey T. Method of making high strain point glass
CN1841654A (zh) * 2005-03-31 2006-10-04 东京毅力科创株式会社 载置台的温度控制装置、方法和程序以及处理装置
JP2016181626A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 東京エレクトロン株式会社 処理システム、処理方法、及び、プログラム
WO2018049377A1 (en) * 2016-09-12 2018-03-15 Ecolab Usa Inc. Deposit monitor
CN106976676A (zh) * 2017-05-12 2017-07-25 京东方科技集团股份有限公司 一种自动化仓库系统、生产线及物流管理方法
CN107289454A (zh) * 2017-07-03 2017-10-24 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 一种尾气处理监控方法及系统
CN109972122A (zh) * 2019-03-28 2019-07-05 惠科股份有限公司 一种用于显示面板的物料派送控制方法及系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN109972122B (zh) 2022-04-19
CN109972122A (zh) 2019-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5452349B2 (ja) 被処理体の搬送方法、被処理体の搬送装置、及び、プログラム
JP5470002B2 (ja) 基板処理装置及び基板処理装置における表示方法
KR101192676B1 (ko) 기판 처리 장치
WO2020192545A1 (zh) 显示面板的物料派送控制方法及系统
CN102341324A (zh) 搬送系统
TW201934445A (zh) 自動光學辨識物料的懸吊運輸裝置及系統
TW201524666A (zh) 多工序自動化加工系統
JP2002362737A (ja) マスク搬送装置、マスク搬送システム及びマスク搬送方法
JP5412065B2 (ja) 情報管理方法、情報管理装置及び基板処理システム
WO2002052639A1 (fr) Systeme de transfert de pieces, procede de transfert, mandrin a depression et procede de centrage de plaquettes
CN104078382A (zh) 真空处理装置的运转方法
JP5275641B2 (ja) 基板処理装置、基板処理装置の表示方法、基板処理装置の制御方法及び半導体装置の製造方法
US8510790B2 (en) Substrate processing apparatus
JP2011071166A (ja) 基板処理システム
WO2007108370A1 (ja) 基板処理装置
JP2013145797A (ja) 搬送システム
JP2001135699A (ja) 基板搬送装置
TWI830745B (zh) 基板處理裝置及基板處理方法
KR20000055998A (ko) 기판의 반출입 시스템 및 반출입 방법
JP2013200353A (ja) 搬送方法及び搬送装置
JP2011238646A (ja) 搬送システム
TWI484585B (zh) Substrate transfer equipment
JP5950947B2 (ja) 基板処理装置、基板処理装置の表示方法及び半導体装置の製造方法
CN105947562B (zh) 多厂区之间自动化传输线电控系统
KR20240068990A (ko) Nf3 가스 생산 설비의 정비 자동화 시스템 및 방법

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 20777346

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

32PN Ep: public notification in the ep bulletin as address of the adressee cannot be established

Free format text: NOTING OF LOSS OF RIGHTS PURSUANT TO RULE 112(1) EPC (EPO FORM 1205A DATED 01/03/2022)

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 20777346

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1