CN101175682A - 自动化的材料处置系统 - Google Patents

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Abstract

一种半导体工件处理系统，包括至少一个处理工具、容器(151)、第一传输分段(12)和第二传输分段(14)。第一传输分段具有可沿着第一轨道(16)移动而移动储盒的运载工具(200)。第二传输分段不是基于运载工具的分段，并且具有第二轨道(18)。第一轨道和第二轨道设置成彼此邻近，以允许在一次操作中，容器在它们之间一体地移动。

Description

自动化的材料处置系统
发明背景
1.发明领域
本发明涉及材料处置系统，更具体地说，涉及工艺设备中用于传输半导体工件保存罐或容器的自动化材料处置系统。
2.早期的相关进展
消费者持续地显露出对比现有型号尺寸更小且更便宜的更高级的电子和电气装置的需求。微电子器件的制造商因而处于需要为器件提供更大容量，同时降低器件成本的较大压力下。用于减少制造微电子器件的材料成本，或者用于减少涉及器件实际制造成本的可能性是有限的。然而，通过提高整个制造过程的效率可显著降低成本。参看图1，其显示了典型的传统半导体制造设备1的透视图。这种制造或处理设备1具有许多以所需阵列形式设置在该设备中的处理舱2。处理舱2包括制造半导体器件的真空和常压处理工具3，4。处理设备1还具有安装在该设备中的自动化材料处置系统，其用于将半导体材料来回地传输到半导体器件中。图1所示的处理设备1中的传统材料处置系统通常包括储料器5、舱间传输系统6和舱内传输系统7。在这种设置中，储料器5用于保存各种处理进程之间的半导体器件，并且定位在处理舱2的开口附近，位于联接处理舱2的公用通道上。舱间传输系统6安装在公用通道中，并与储料器5相连。这就允许半导体器件通过在储料器5之间在舱间传输系统6上移动的合适运载工具来进行传输。如图1中所示，舱内传输系统7具有设置在处理舱中的分段7A-7B，其将位于给定舱开口附近的储料器5联接到该舱的处理工具3，4上。这样，利用在舱内传输系统的相应分段7A-7F上移动的合适运载工具，就可在处理舱的储料器5与该处理舱中的处理工具之间传输半导体器件。
如可从图1中了解到，自动化材料处置系统是在处理设备中进行有效制造过程的其中一个重要因素。利用材料处置系统将半导体材料来回地传输到处理工具中将消耗极大量的时间。的确，为了取得规模经济效应，工艺设备越大，利用材料处置系统从设备的处理工具中来回地传输半导体材料所消耗的时间越多。这样，设备本身的尺寸将受到处理舱的材料处置系统能够将半导体材料传递到处理工具中进行处理、并将处理后的工件运送到储料器以进行最终处理和运输的速度和效率的限制。当前已经做出了通过减少传输时间来提高效率的努力，并且在某些情况下获得了成功。例如，布鲁克斯自动化公司的AeroloaderTM自动化材料处置系统采用架空轨道上的架空运载工具或在处理工具接口上方的滑梭来传输半导体工件容器。已经在寻找进一步提高在设备周围传输半导体工件的速度和效率的方法。某些传统的材料处置系统采用了单独的或作为系统一部分的传送机或大型传输系统。图1A是传统传送机系统的一部分的局部透视图，例如国际专利出版物WO 03/038,869中所公开的那样，此处置系统是用于传输传统半导体工件容器的传送机系统。图1A中所示的容器F是传统的容器，例如传统的FOUP或SMIF容器。如之前所述，图1A显示了传统系统的传送机轨道CT的一部分。图1A中的轨道CT是图1中系统的一个或多个轨道7A-7F的典型代表。图1A中的传统传送机轨道CT包括一对导轨R1，GR。这种传统的传送机系统使用所示的托盘P来支撑传送机轨道CT上的传统容器F。托盘P具有支撑区域，容器F可承坐在该支撑区域上。托盘P还具有滑槽P1，P2，以允许托盘P跨在传送机导轨R1，GR上。一个滑槽P1是平直的，从而限定了用于导轨中滚子RR的滚动面。另一滑槽P2具有导槽或与导轨GR相配的导键，以便在传输期间沿导轨来引导托盘P。图1A中所示的传统传送机轨道的导轨R1可包括装有动力装置的滚子RR，以驱动导轨上的托盘P。通过恰当的传动装置例如环状传送带，可将滚子RR联接到能够转动滚子的驱动电机上。为了移动托盘P，并因而移动承坐在上面的容器，在图1中所示的传统系统中，电动机转动滚子，并且滚子和托盘滑槽P1之间的摩擦接触导致托盘移动。与导轨GR可滑动地匹配的托盘P的另一滑槽P2在其沿导轨移动时来引导托盘，使托盘的滑槽P1和传动滚子RR之间保持对准。如可从图1A中认识到，托盘滑槽，也即导轨GR和导轨R1中的滚子RR的接触线之间的对准在传统的机械传动式传送机轨道中必须是高度精确的，以允许托盘被确切地驱动到轨道上。传统系统是不能容忍不对准的。这种不对准会产生作用在托盘上的与轨道正交的作用力，导致滑槽P2和导轨GR之间的不合适摩擦和可能的粘合，并增加了对容器的微粒污染。另外，导轨R1上的滚子RR之间的对准必须是精确的，以避免滚子RR和滑槽P1之间的接触线/传动线相对于轨道形成某种角度。因此，通过在安装工艺设备之前制造出夹具中的轨道CT的延长部分，就可在传统系统中获得导轨R1和GR之间的精密对准。然而，轨道的这种延长部分难以安装在工艺设备中，并且费时。传统传送机系统的另一缺点在于，它缺乏将容器定位在沿轨道的预定位置的能力。传统传送机系统可包括用于托盘的定位系统。传统的定位系统包括为其中一个导轨R1提供(例如电子的、光电子的)传感器，当托盘相对于传感器处于预定的区域时，其能够探测托盘P上的特征元件。传感器沿导轨均匀分布。滚子RR单独地或与驱动电机一起地具有可识别滚子旋转的编码器。任何时候，利用导轨传感器和滚子的组合数据，都可确立托盘P的位置。如可认识到的那样，在加速/减速期间，由于滚子RR和托盘之间的可能滑移，传统的定位系统将会不精确，并且托盘在传感器之间的定位仅仅依赖于对滚子转数的计算。摩擦传动和传统定位系统局限性的组合使传统传送机轨道缺乏有效的精确位置控制。传统传送机系统的另一问题在于，半导体材料容器在传输系统上的运动依赖于传输托盘的可用性。如以下将更详细所述，本发明为材料处置系统提供了所需效率。
实施例的概述
根据第一实施例，提供了一种半导体工件处理系统。该系统包括至少一个用于处理半导体工件的处理工具、容器、第一传输分段和第二传输分段。该容器用于在其中保存至少一个半导体工件，以便来回地传输到处理工具。第一传输分段连接在处理工具上，用于将容器来回地传输到处理工具中。第二传输分段连接在第一传输分段上，用于将容器来回地传输到处理工具中。第一传输分段是基于运载工具的分段，其具有能够保持容器并且可沿着第一传输分段的第一轨道移动的运载工具。第二传输分段不是基于运载工具的分段，并且具有在上面带有至少一个支撑元件的第二轨道。该支撑元件适于与容器对接，从而可移动地支撑来自第二轨道的容器，并允许容器相对于第一轨道移动。第一轨道和第二轨道彼此邻近地设置，以允许容器在它们之间一体地移动。
根据另一实施例，提供了一种半导体工件容器传输系统。该系统包括至少一个半导体工件容器、用于可移动地支撑至少一个半导体工件容器的轨道，以及电动机。该半导体工件容器适于在其中保存至少一个半导体工件。半导体工件容器具有整体的框架组件。轨道可移动地支撑半导体工件容器，使得容器能够沿着轨道移动。电动机连接在轨道上，以便沿着轨道驱动容器。电动机的至少一部分安装在容器的框架组件上。
根据又一实施例，其提供了一种半导体工件传输容器。该容器包括框架和安装在该框架上的电动机部分。该框架限定了用于在其中保存至少一个半导体工件的腔室。框架的尺寸和形状适于与半导体工件处理工具的接口分段对接，以允许该至少一个半导体工件在腔室和处理工具之间进行传输。框架限定了至少一个用于承坐在传输系统轨道上的表面，该传输系统用于在处理工具和另一位置之间传输容器。安装在框架上的电动机部分适于与传输系统的另一电动机部分协同操作，以便沿着轨道来驱动容器。
根据另一实施例，提供了一种半导体工件处理系统。该系统包括至少一个处理工具、第一传输分段和第二传输分段。处理工具用于处理半导体工件。第一传输分段连接在处理工具上，用于将保存半导体工件的容器来回地传输到处理工具中。第二传输分段连接在第一传输分段上，用于将容器来回地传输到处理工具中。第一传输分段是基于运载工具的分段，其具有能够保持至少一个容器并且可沿着第一传输分段的第一轨道而移动的运载工具。第二传输分段不是基于运载工具的分段，并且具有在上面带有至少一个支撑元件的第二轨道，该支撑元件适于与容器对接，以便可移动地支撑着来自第二轨道的容器，并允许容器相对于轨道双向移动。第二传输分段具有连接在第二轨道上的电动机，其能够基本同时地在第二轨道的至少一部分上双向地驱动容器。
附图简介
在以下描述中，将结合附图来说明本发明的上述方面和其它特征，其中：
图1是带有传统材料处置系统的半导体制造设备的示意性透视图；
图1A是图1所示传统处置系统的一部分的局部透视图；
图2是在处理设备中包含本发明特征和处理工具P的自动化材料处置系统的平面示意图；
图3是图2所示自动化材料处置系统的一部分的局部透视图，显示了自动化材料处置系统的轨道分段、运载工具和半导体工件容器；
图4是图3所示轨道分段的一部分和自动化材料处置系统的运载工具的另一局部透视图；
图5是图3所示另一轨道分段的一部分和自动化材料处置系统的半导体工件容器的另一局部透视图；
图6A-6B分别是图3所示轨道分段、运载工具和自动化材料处置系统的半导体工件容器的正视图和侧视图；
图7是工件容器的分解透视图，而图7A是工件容器的底视图；和
图7B-7C分别是根据其它一些实施例的工件容器外壳的下部分的底视图和透视图。
实施例的详细描述
参看图2，其显示了在处理设备中包含本发明特征和处理工具P的自动化材料处置系统10的平面示意图。虽然本发明将参照图中所示的该单个实施例进行描述，但是应该理解，本发明可以多种实施例的变型形式来体现。另外，还可使用任何合适尺寸、形状或类型的元件或材料。
自动化材料处置系统10一般包括第一传输系统分段12和第二传输系统分段14。自动化材料处置系统10的传输系统分段12，14通常设置成可允许将半导体工件如200mm晶片、300mm晶片、显示平板等类似物品来回地传输到处理设备的处理工具P中。处理工具P以及设备大致类似于之前所述并在图1中所示的设备1和工具4。图2中所示的自动化材料处置系统10的配置是一种典型的配置，并且可将自动化材料处置系统10设置成任何合适的配置，以便在处理设备中包含任何所需的处理工具布置。自动化材料处置系统10的一个传输系统分段12是一种基于运载工具的系统。传输系统分段12包括轨道16和运载工具200(也参见图4)。如以下将更详细所述，运载工具200能够保持住半导体工件容器(图1中未显示)，并且可沿传输分段12的轨道16而移动。运载工具200因而可使工件容器沿着轨道16在处理工具之间，或在处理工具与类似于图1所示储料器5的储料器(未示出)之间移动。自动化材料处置系统10的另一传输系统分段14不是基于运载工具的传输系统。传输系统分段14是基于传送机的或高速(相对于基于运载工具的系统而言)的物质传输系统。传输系统分段14包括能够在不使用中间运载工具的条件下高速地直接传输半导体工件容器的轨道或运行轨道18，其也将在以下进行更详细描述。如图2中示意性所示，轨道18可沿着另一传输系统分段12的轨道16的至少一些部分而延伸。传输系统分段14的轨道18还可跨在传输系统分段12的轨道16的不同部分之间。根据需要，可在分段14的轨道18与位于分段12的轨道16上的运载工具200(见图3)之间传输半导体工件容器。自动化材料处置系统10可利用第一和第二传输系统分段12，14的任何所需组合来传输半导体工件容器，以便实现半导体工件容器从处理工具中的最有效传输出和返回。如图2中所示，合适的控制器C连接在第一和第二传输系统分段12，14上，以控制这些分段的操作。如以下将更详细所述，第二传输系统分段14还可为自动化材料处置系统提供分布式的存放或缓冲。
现在更详细地参照图3和图4，如上所述，自动化材料处置系统10的第一系统分段12一般包括轨道16和运载工具200。系统分段12大致类似于在2003年3月21日提交的美国专利申请(序列号为)No.10/393,728中所述自动化材料处置系统的系统分段，该专利申请通过引用而完整地结合在本文中。如图2中所示，系统分段12的轨道16可设置在舱间部分或分支20，22，24以及舱内26，28，30部分或分支中。轨道的舱内分支26，28，30可在制造设备的单独制造舱(类似于图1中所示的舱)中延伸。舱间分支20，22，24可在连接制造舱的通路或通道内延伸，并将两个或更多个舱内分支26，28，30彼此互连。在图2所示的实施例中，设有三个舱内分支26，28，30和三个舱间部分24。三个舱间分支20，22，24各自延伸，从而将全部三个舱内分支26，28，30连接起来。在备选实施例中，自动化材料处置系统的第一系统分段可具有任何合适数量的舱间和舱内传输部分。
图3所示实施例的舱间传输分支20，22，24基本上相互平行，但是在备选实施例中，不同的舱间分支可以是不平行的。实际上，舱间传输分支可以不连接所有处理舱，并且可具有任何形状。本发明包含可以任何所需方式来设置以便连接任意所需数量的处理舱的任何舱间传输系统。在这个实施例中，舱间传输分支20，22，24彼此大致相似，并且以下将具体参照中心部分20进行描述。舱间传输分支20可由舱间传输分段或元件20A-20B组成。在图2所示的实施例中，出于示例目的而只有两个分段20A-20B，而在备选实施例中，舱间传输分支可具有任何所需数量的分段。各分段20A-20B具有足够的长度，以跨在两个相邻的处理舱之间，具体地说跨在舱内传输系统的相邻部分之间。例如，分段20A跨在相邻的舱内部分26，28之间。在备选实施例中，各分段的跨度可以是不同的。
如图2中所示，各分段20A-20B可具有多个由任何合适转台(table)装置(如以下所述)提供的用于运载工具(未示出)的传输路径19A-21A、19B-21B及19C-21C，以允许运载工具越过这些分段。各分段的传输路径设置成可允许运载工具在这些分段上基本同时地双向(在箭头X1，X2所示方向)移动。在这个实施例中，各分段20A-20B可具有两条在分段末端之间延伸的传输路径19A-21A、19B-21B。一条路径如19A，19B可用于运载工具在一个方向(箭头X1所示)上移动，另一路径21A-21B可用于在相反方向(箭头X2所示)上的移动。移动路径可被指定给定的移动方向，或者移动方向可根据需要按照传输算法进行切换，以适合传输装载条件。例如，在非专用的情况下，分段20A的传输路径19A可首先用于运载工具沿着图2中箭头X1所示的方向而移动。在那时，路径21A提供了在方向X2上的移动。然而，如果在后面的某些时间，希望一定数量的运载工具定位在设备中并且将移动到某一位置上，在该位置它将更有效地在路径19A上以方向X2移动，那么，用于路径19A的移动方向可改变为方向X2，而路径21A则变成用于方向X1上的移动。应该注意，在这个实施例中，对于各分段的类似路径19A-19B，21A-21C，移动方向并不必相同。例如，传输路径21A可用于移动方向X2，而传输路径21B可用于相反的移动方向X1。在这个实施例中，通过舱间传输分段22A-22C来提供这种能力，这是因为如图2所示，各分段的相应传输路径在各分段20A-20B的相对端32A-32B和32C-32D处彼此相向地会聚。如图2中所示，各分段20A-20B在分段的相应相对端处具有接头34，36，38。例如，在图2所示的实施例中，分段20A具有位于一端32A的接头(junction)34，以及位于相对端32B的另一接头36。各分段20A-20B的相应移动路径19A-19B，21A-21B在各相应接头34，36，38处基本上相交。如图2中所示，这些分段之间的接头36用于连接彼此邻近的分段。接头36连接分段20A，20B相邻的相邻端32B-32C。接头36还可允许所连接分段的相同或不同传输路径之间的对接。例如，接头36可用于将分段20A的传输路径19A连到分段20B的传输路径21B上，从而允许运载工具在相邻分段的路径21B和19A之间穿过。在备选实施例中，可以使用使分段互连的任何其它合适配置的分段和接头。
在这个实施例中，舱内分支26，28，30与舱间分支20，22，24基本上类似。仍参照图2，出于示例目的，如之前所述，舱内传输也由三个分支组成。各分支可包括单个传输分段或元件，或者可包括多个互连分段。在图2所示的实施例中，各分支具有两个分段26A-26B，28A-28B，30A-30B。各分支分段26A-30B可在单个处理舱内延伸，或者可进一步分支到其它处理舱中。舱内传输分段26A-26B，28A-28B和30A-30B是彼此大致相似的，并因而在图2中示意性地显示为相同。与之前所述的舱间分段20A，20B相类似的是，各分段26A-26B，28A-28B，30A-30B具有多条传输路径，从而允许运载工具沿各分段基本上同时地双向移动。各分段的传输路径如分段26A的路径25A，27A可在分段的相对端40A，42A处彼此相向地会聚。在近端40A处，传输路径终止于接头34处。如之前所述，接头34是舱间传输分段20A的舱间传输路径19A，21A的终端。因而，舱间传输路径19A，21A可与舱内传输分段26A的舱内传输路径25A，27A合并为一体。在这个实施例中，传输路径、例如分段26A的路径26A，27A于远端42A终止于接头44处。接头44将该传输路径连在舱间传输分段22A上。通过类似的方式，接头可将舱内分段26B-30B的传输路径连到外部舱间传输分段24A-24B上。在备选实施例中，舱内传输分段可具有任何其它合适的设置。
图2中显示了第一传输系统12的舱间和舱内分支，并且在可结合许多合适类型的材料处置系统所提供的典型配置而进行了上述描述。图4是舱间或舱内传输分支的典型部分的局部透视图，其显示了可用于自动化材料处置系统10的处置系统材料的一个合适示例。如图4中所示，利用架空的导轨系统、例如可从Brooks Automation公司得到的AeroloaderTM系统，就可形成舱间传输分段20A-20B(图4中出于示例目的只显示了部分分段20A，20B)。在这种情况下，各传输路径19A-19B，21A-21B由相应的导轨或轨道来提供。轨道可架空地安装在处理设备上。还参照图6A-6B，其分别显示了轨道20A和运载工具200的局部正视图和侧视图。
图4显示了各分段的第三轨道23A，23B(为清晰起见，在图2中未显示出)，其为各分段提供了高速的或″飞速通过的″传输路径。如之前所述，轨道在相邻的分段之间的接头36处会聚。在图4所示的实施例中，接头32包括转台202，但是，也可以使用任何合适的轨道切换装置。在这种情况下，转台具有用于连接相应传输路径21A-19B，23A-23B，19A-21B的在直径方向上相对的轨道末端的三个位置。当转台定位在这些位置中的其中一个位置时，运载工具200可在不移动转台的条件下穿过直径方向上相对的轨道末端之间。或者，运载工具可定位在转台之上，并且转台可根据需要旋转，以允许运载工具从一个分段的任一轨道19A，23A，21A移动到所连接分段的任何其它轨道19B，23B，21B上。转台的运动可为自动化的，并受到来自系统中央处理器的合适程序的控制。
自动化的架空的运载工具200(例如在图4和6A-6B中只显示了一个)，例如AeroloaderTM系统滑梭安装在其中一条轨道上。运载工具200可以是自推进的，以便自动地在形成各移动路径的相应导轨上移动。各运载工具根据传输算法而在所需传输路径上移动，传输算法可被预编程到运载工具保存器(未示出)中，或者从操作自动化材料处置系统的中央处理器(未示出)中加载。但是，在这个实施例中，可以使用任何其它合适类型的运载工具。运载工具200可具有传输分段204(见图6A-6B)和有效负载分段206。传输分段240包括合适的滚轮/滚子(未示出)，以便在轨道上支撑和移动运载工具。传输分段还可包括用于沿着轨道来驱动运载工具的动力源和电动机。有效负载分段206安装在或支撑在传输分段上，并且在这个实施例中，它被悬吊在传输分段以下(见图6A-6B)。有效负载分段206可包括提升器208，在这个实施例中，其示意性地显示为具有抓臂，该抓臂能够抓取和提举/降下工件保存容器151。图6A-6B显示了可用于处置系统10的典型工件保存容器151(以下将对其进行更详细地描述)，其定位在运载工具提升器208能够与容器151相接合的位置。该保存容器151可位于保存区域(未示出)，例如均匀分布的保存区域内，位于任何所需的舱间或舱内传输分段(出于示例目的而显示了典型的分段22A)的轨道下方，或者可位于轨道下方的处理工具P的接口上(见图2)。如图2中所示，舱间和舱内分支的轨道可定位在处理工具P的工具接口上方。因此，运载工具200能够直接从处理工具P中传递和拾取工件容器。
再次参照图2，如之前所述，传输系统分段14是基于传送机的系统，不同于传输系统分段12的是，它不使用运载工具来保持和传输工件保存容器。相反，传输系统分段14具有传送机或设置在传送机轨道上的物质输送系统，如以下将更详细所述，这就实现了沿传送机轨道对工件保存容器的有效直接传输。如下文中更进一步详细所述，工件保存容器可直接放置在传送机轨道之上，并且沿轨道来进行传输，而无需在保存容器和轨道之间使用运载工具或支架接口。如图2中所示，在这个实施例中，传输系统分段14具有四条轨道52-58。在这个实施例中，传送机轨道52-58定位成围绕传输系统分段12的周界。在备选实施例中，传送机轨道可设置成任何合适的配置。在这个实施例中，两条传送机轨道52，54与舱内传输分支26，30并列地延伸，而两条传送机轨道56，58与舱间传输分支22，24并列地延伸。传送机轨道52，54跨在舱间分支22，24之间，而传送机轨道56，58跨在舱内分支26，30之间。如图2中所示，各传送机道52-58紧邻于舱间或舱内传输分支的轨道。在这个实施例中，各传送机道52-58与相应的舱间或舱内传输分支22，24，26，30基本上平行。因此，例如，在分支26的大致整个长度上，传送机轨道52靠近舱内分支26的轨道27A，27B。传送机轨道54-58相对于相应传输分支类似地定位。虽然图2中显示传送机分支52-58定位成紧邻于相应舱间/舱内分支的最外面轨道，但是在备选实施例中，传送机轨道可紧邻于任何所需舱间/舱内传输分支的任何合适轨道。在其它备选实施例中，传送机轨道可沿着舱间/舱内传输分支的任何所需长度而延伸。在其它备选实施例中，传输系统分段可具有并不与舱间/舱内传输分支并列地定位的传送机轨道，例如在传输系统分段内实现短路的传送机轨道。如图2中所示，传送机轨道52-58可各自通过合适的接头装置而在末端处互连而与传送机轨道相交叉，从而允许工件保存容器在轨道之间直接地过渡。例如，传送机轨道52的一端52T通过接头61A而连接在传送机轨道58的末端58R上。传送机轨道52的另一端52B通过接头61B而连接在传送机轨道56的末端56R上。传输系统分段14的其它传送机轨道可相似地进行互连。可如图2中所示，分段14的传送机轨道52-58形成了回路，其实现了工件保存容器从相邻传输系统分段12的任何点至分段12的任何其它所需点的高速传输。这同传统传输系统相比较是非常有利的。
图2中显示了自动化材料处置系统10的传输系统分段12，并且连同可由许多合适类型的传送机系统所提供的典型配置来进行了上述描述。现在还参照图3和图5，其分别显示传输系统分段12的一部分传输分支22A和传输系统分段14的一部分传送机轨道56的局部透视图，以及一部分传送机轨道56的另一局部透视图。传输分支22A和传送机轨道56的这些部分是传输系统分段12，14的传输分支和传送机轨道的典型代表。在图3中，出于示例目的，只显示了分支分段22A的一个轨道23A(也参见图2)。如图3中所示，利用安装系统64(其将在以下进行更详细的描述)可将传送机轨道56安装在构成舱间分支分段22A的轨道23A的架空支架300上。传送机轨道52，54和58以类似方式安装在相邻舱间/舱内传输分支的架空支架上。传送机轨道56一般包括导轨系统60。导轨系统60支撑工件保存容器151，并允许容器沿着轨道56的长度自由地移动。传送机轨道56还具有用于在导轨系统60上沿导轨来回地(沿图3中箭头X3、X4所示的方向)驱动容器151的电动机62。在这个实施例中，电动机62是带有不受限冲程的线性电动机。
如在图5中最佳地所示，在这个实施例中，导轨系统60具有两条外部轨道660，66I和中心导轨。在备选实施例中，传送机轨道的导轨系统可具有任何其它合适的导轨装置。外部导轨660，66I相类似，但位于相对的两侧。因此，外部导轨660，66I将具体参照导轨66I来进行介绍。导轨66I可具有通常大致成角的构件70，但是，也可使用任何合适的结构形状。成角构件70具有水平的和垂直的凸缘70H，70V。成角构件70定向成使水平凸缘70H位于底部，而垂直凸缘70V向上延伸。水平凸缘70H可限定用于将工件保存容器151放置在传送机轨道上的支撑面。垂直凸缘70V限定了导轨系统以及导轨66的外缘61E。垂直凸缘70V还限定了导轨66的引导面66G，其包含容器151的用于在容器151沿着导轨660，66I在图5箭头X3，X4所示方向上移动时可保持方向稳定性的那一侧。因此，当容器151在导轨660，66I上移动时，相对的引导面稳定地引导容器151。如图5中所示，各导轨660，66I可装备有滚子支承件或衬套72，其安装在导轨上，从而为导轨提供改进的滑动面，在该滑动面上，容器可在导轨上方滑动。作为示例，当承坐在传送机轨道56上时，容器151就贴靠在滚子支承件72上，并因而可在基本上没有阻力的条件下在滚子上移动。在备选实施例中，导轨的增强滑动面可由任何其它合适的方式来提供，例如包括(安装在一个或两个凸缘中的)滚珠轴承，或者附着在导轨部件凸缘上的润滑层。滚子支承件72可以是锥形的，以增加容器151在滚子上方以箭头X3，X4所示方向移动时的方向稳定性。
导轨系统60的中心导轨68形成了传送机轨道56的线性电动机62的一部分。如之前所述，线性电动机62可以是任何带不受限冲程的合适类型的线性电动机，其能够使容器151在导轨660，66I上沿方向X3，X4移动到传送机轨道的末端(见图2)。线性电动机62通常是没有运动部件的固态电动机。例如，线性电动机62可以是带电刷或无电刷的直流或交流线性电动机、线性感应电动机或线性步进电动机。合适的线性电动机可从Baldor Motion Products或MagneMotion公司获得。线性电动机62通常具有两个部件，主要的迫动器(forcer)部件和辅助的反作用压板部件。在这个实施例中，迫动器部件74位于传送机轨道56的中心导轨68中，而反作用部件76如以下更详细所述地集成在工件保存容器151中。在备选实施例中，反作用部件可安装在传送机导轨上，而迫动器部件可结合到容器中。作为示例，如果线性感应电动机用于图3和图5所示实施例中的线性电动机62，那么中心导轨68可具有限定了凹槽69的大致U形结构件。电动机62的迫动器部件74定位在凹槽中。在线性感应电动机的情形下，迫动器74可以是包括钢叠片和相绕组的线圈组件。迫动器74通过合适的导线(未示出)而连接在动力源(未示出)和控制器C(见图2)上，控制器C控制迫动器74所产生的移动磁场。电动机62可以是带合适换向器74C的闭环电动机，合适的换向器74C包括例如安装在如导轨68上并与控制器C通信的霍耳效应装置。如以下详细所述，换向器74C用作位置传感器，用来检测容器151在传送机轨道56上的精确位置。
如图5中所示，导轨系统60的导轨66I，660，68可具有模块结构。例如，导轨660可包括模块6601，6602(图5中出于示例目的，只显示了导轨模块6601，6602)。导轨模块6601，6602连接在中间接头660I上。导轨模块6601，6602装备有任何合适的配合装置(例如联锁面、机械紧固件)，从而允许模块端到端地连接在一起，如图5中所示。中心导轨68和外部导轨66I具有类似的模块结构。为了在安装期间便于操纵，可在任何合适的长度、例如几英尺的长度上，提供与模块6601，6602相类似的导轨模块。这些导轨模块可在安装期间连接在一起，以形成传送机轨道56的导轨系统的导轨660，66I，68。作为示例，类似于模块6601，6602的导轨模块可在安装到设备上的过程中进行装配，从而形成从轨道56一端56L(见图2)至另一端56R的导轨66。中心导轨68以及其它外部导轨66I可进行类似安装，以形成传送机轨道56。或者，可安装导轨模块、例如模块6601，6602，以便模块化地安装传送机轨道56。例如，用于所有导轨66I，660，68的模块可进行安装，而形成一个或多个传送机轨道模块56M1，56M2(见图2)。然后，模块接模块地进行传送机轨道56的安装。仅仅出于示例目的，上面描述了首先安装传送机轨道56的模块56M1，56M2，而在备选实施例中，也可首先安装传送机轨道的中心模块。传送机模块56M1，56M2在中间轨道接头56I处相连。一旦安装好，各传送机轨道模块56M1，56M2就根据需要可立刻起作用，并且可在完成整个轨道56之前起作用。这可部分地通过使用固态电动机62来实现，其不同于传统传送机系统那样，并未使用在传送机轨道可起作用之前而联接到所有传动滚子上的机械传动装置。另外，不同于传统系统的是，电动机62能够精确地起动和停止传送机轨道56对容器的传输，如以下详细所示。类似于线性电动机62，由使用固态电动机的传输系统分段14所产生的另一优点在于，固态电动机就其本质而言，可在性能未显著下降的条件下适应导轨模块之间的不对准。分段14的线性电动机62能够在现场条件下，在中心导轨68的模块之间的不对准与模块结构组件误差相当的条件下进行操作。在明显的对比中，传统机械传送机驱动系统(如图1A中所示)受到传动装置的更紧密机械公差的约束。结果，用于传统传送机轨道的驱动导轨必须在现场以外在轨道的大致整个长度上制作成一体，然后一体地安装在设备内。因此，同传统系统比较而言，在启动过程中，传输系统分段14具有在安装和使用方面的更大灵活性。
如上所述，线性电动机的压板76的反作用部件并入到工件保存容器151中。现在参看图7，其显示了容器151的底视图，工件保存容器151显示为正面开口的标准容器(FOUP)，但可以是任何合适的容器例如SMIF容器或底面开口的容器。FOUP容器151具有容器外壳154(见图5)，其大小适于保存许多半导体工件例如200mm、300mm晶片、或者显示平板或任何其它所需类型的工件。外壳154能够与处理工具P的接口(见图2)直接接合。外壳154可包括接合面156，例如定位槽或凹窝，以允许运载工具200的提升器206(见图6A-6B)抓住并保持容器151。例如，接合面156可设置成允许提升器206的抓臂208从任一侧面154R，154F或前面/背面154R，154L拾取容器(见图5)。因此，不管提升器下方的容器定向如何，运载工具200的提升器206都可拾取容器151。
现在参看图7，其显示了容器151的分解透视图。如图7中所示，容器外壳154可包括上部分154U和下部分154L。容器门155可拆卸地锁扣在外壳上，并且如图所示而覆盖在外壳正面154F的开口上。外壳的上部分154U可以是整体式的铸件，其在没有污染的条件下由塑料或由能够用于半导体工件的任何其它合适材料制成。用于外壳的材料能够在周期性清洁容器的期间被完全浸渍洗浴。外壳的下部分154L也是塑料铸件。在图7所示的实施例中，外壳下部分154L具有形成容器底部的大致平坦形状。利用任何合适的加工工艺，例如化学焊接、超声波焊接、或其它在外壳下面和上部分之间形成基本无缝接口的加工工艺，可将下部分154L连接在上部分154U上。在图7所示的实施例中，线性电动机62的反作用部件76(以下将进行更详细的公开)被模制在下部分154L中。
外壳下部分154L具有如图7A中所示的下表面152。下表面152具有双向设置在该下表面上的承座面158，160。在这个实施例中，承座面158，160定位在下表面152的周界附近，从而允许容器承坐在导轨660，66I的滚子72上(见图6)。承座面的双向设置允许容器正确地承坐在导轨上，其中任一轴线A，B与导轨一起定向。图7A还显示了线性电动机62的反作用部件76在这个实施例中的示例性分布。如上所述，反作用部件76模制在容器外壳的下模制件154L中。因此，反作用部件76被密封在外壳下部分154L中。这就消除了在反作用部件和包围外壳的结构之间的密封，从而消除了可能汇集污染物的区域。此外，通过将反作用部件76封装在外壳内，就避免了在反作用部件和清洁装置之间的不利相互作用。在这个实施例中，反作用部件76包括图7A中示意性所示的反作用元件162，164，166，168。反作用元件162，164，166，168也是双向设置在容器外壳154上的。这些反作用元件可以是永久磁铁或由磁性材料制成的板材，其能够对迫动器74所产生的磁场作出反应，从而沿导轨660，66I驱动或推动容器。反作用元件162，164(出于示例目的，图中显示这两个元件位于下表面的两相对侧，并且各自可能由子元件构成，并且在备选实施例中，可提供任意合适数量和任意合适设置的反作用元件)沿轴线B对准，从而在轴线B的方向上提供驱动力(同迫动器74或其它与轴线B对准的迫动器相协作)。反作用元件166，168设置成可以类似方式沿轴线A来提供驱动力。图5中显示，容器151以其中轴线A(也参见图7)与迫动器74对准的定向而放置在导轨660，66I上。如可实现的那样，容器151可按照从图5中所示方向旋转90°的定向而放置在导轨上。在那种情况下，容器151的轴线B将与迫动器74对准。同传统的传输系统比较而言，双向驱动配置有效地减少了用于将容器放置到传送机轨道56中或从传送机轨道56中拾取容器的时间(即，同传统的系统比较而言，可用的驱动轴线可旋转更少的圈数)。
图7B是根据另一实施例的外壳下部分154L′的底部透视图。在这个实施例中，外壳下部分154L′大致类似于之前所述并在图7-7A中所示的外壳下部分154L，并且用相似的标号来表示类似的特征元件。外壳下部分154L′具有在其中形成的凹窝167′，169′，其用于将反作用部件76′安装在容器外壳内。在图7B所示的实施例中，出于示例目的显示了两个凹窝167′，169′，其通常与对称轴线A′对准。凹窝167′，169′形成于底面152′中。在安装时，这会使反作用部件元件的底面露出。在备选实施例中，凹窝可在外壳下部分的上表面152U′中形成，以便在安装时反作用部件元件不会裸露在外壳的外表面上。如图所示，凹窝167′，169′是盲孔，并且未穿透外壳下部分，但是在备选实施例中，穿透下部分的孔可以用来取代凹窝。凹窝167′，169′可在外壳下部分154L′的模制期间成形，或者可在制造外壳部分之后在外壳下部分上机加工而成。凹窝167′，169′基本上与反作用部件元件(出于示例目的只显示了反作用部件元件168′)形状相符，并且足够深，以便当反作用部件元件定位在相应的凹窝中时，反作用部件元件的底面基本上与外壳的底面152′齐平或者略向内移位。利用任何合适的焊接或紧固措施，包括利用机械紧固件，可将反作用部件元件168′安装在外壳下部分上。合适的密封(未示出)可用于消除可能汇集污染物的间隙/裂隙。在其它备选实施例中，外壳底部可能不包括凹窝或凹腔，并且反作用部件元件可表面安装在底部上。在其它备选实施例中，反作用部件元件可装配在框架中，并且该框架可安装在容器外壳的底部上，或者定位在外壳的凹窝中。在这种情况下，反作用部件是可更换的。
现在也参看图7C，其显示了根据又一实施例的容器外壳下部分154L″的另一底部透视图。除非另有说明，否则外壳下部分154L″大致类似于之前所述并在图7中所示的外壳部分154L。类似的特征元件使用类似的标号。在这个实施例中，反作用部件76″安装在转台组件170″中。转台组件170″可机械地安装在或以其它方式连接在外壳下部分的底部152″上。组件170″可被表面安装在或定位在凹窝167″中，如图7C中所示。如果需要，转台组件170″是可更换的。转台170″可具有任何合适的配置，但通常它包括底座172″和枢轴部分174″。底座172″提供了用于将转台170″连接在外壳部分154L″上的接口。通过任何合适的方法，可将枢轴部分174″可移动地安装在底座部分172″上，以允许枢轴部分174″相对于底座部分172″在箭头R所示的方向上旋转。图7C中示意性所示的具有典型元件166″，168″的反作用部件76″连接在枢轴部分174″上。因此，通过使部分174″枢轴转动，反作用部件76″的定向就可根据需要而变化。例如，旋转转台就可使元件从最初沿轴线A″的定向移动到任何所需的定向上，例如与轴线B″对准。该转台可装备有合适的联锁机构(未示出)，用于将转台固定在任何定向上。联锁机构可利用线性电动机的迫动器74来激活。线性电动机的迫动器还可与反作用部件76″一起使用，以执行转台的旋转。
当将容器151放置在传送机轨道56上时，控制器C(见图2)控制迫动器74所产生的移动磁场，使容器根据需要进行移动。控制器C例如通过换向传感器74C来记录容器151在传送机轨道56上的运动位置。在线性电动机是带电刷式电动机的情况下，控制器可通过探测电动机中的直接换向而记录容器的位置。控制器C可沿着传送机轨道56在图3中箭头X3，X4所示的任一方向上，以任何所需的转速将容器151移动到任何所需的位置上。控制器C能够沿轨道56将容器151精确地放置在任何所需的位置上。不同于传统传送机系统的是，这对于传输分段14的全部传送机轨道52，54，56，58都是可以的，这是因为传感器74C可检测到容器沿轨道52，54，56，58的任何真实位置，并且给控制器C发送数据以指示容器的真实位置。另外，在线性电动机的迫动器74和反作用部件76″之间的直接相互作用提供了对容器运动的高度可靠控制。因此，控制器C能够命令电动机精确地停止容器运动，并可精确地检测容器是否实际定位在所指令的精密位置上。这对如图1A中所示的传统传送机系统是不可能的，因为摩擦传动装置所产生的不精确性而在容器和传动装置之间容易发生某些滑移，以及传统传感器系统变化等原因，传统传感器系统实际上是在估测数据点之间的容器位置。例如，在传统的传动装置中，滚子的传动线路(与平面对准)与容器运动大致方向之间的任何偏差将导致在传动滚子和容器的接触面之间发生某些滑移。这又会导致产生变化的滚子距离，其用于确定容器在传统系统中的位置以及容器在传送机上的实际移动。在加速/减速期间，还可能发生进一步滑移，从而增大了传统系统中真实位置和计算位置之间的误差范围。图3中传输分段14的传送机轨道52，54，56，58消除了传统系统的这些问题。构造误差并不影响驱动速度或者容器151在传送机轨道上的定位精度。(不同于加速度/减速度受到滑移限制的传统系统的是)本发明可实现最大的加速度/减速度，从而提高了传输分段14、也即整个处置系统的效率。另外，控制器C能够控制迫动器74驱动任何所需数量的容器沿传送机轨道56移动。控制器还能够控制迫动器74在同一传送机轨道上同时地驱动容器沿基本相反的方向而移动。例如，如图3中所示，容器151可通过线性电动机沿方向X3移动，而容器151A在方向X4上移动。
控制容器在传送机轨道52，54，56，58上运动和定位的精确性可允许传送机轨道上的任何位置成为运载工具200从传送机轨道上拾取容器的拾取位置O。作为示例，并再次参看图6A-6B，运载工具200可位于传输系统分段12的轨道22A上的给定位置α。例如，运载工具可位于传送机轨道56上刚释放容器的位置α。该位置α可以是沿轨道22A的任何位置。图6A-6B中显示运载提升器处于收缩位置，但是，提升器也可处于其伸长位置(未示出)中，在该位置，提升器可从轨道56中拾取/释放容器151。如果处在伸长位置中，那么提升器208可定向在如图6B中所示的方向上，其在图6A中所示方向上旋转了90°。在图6B中，提升器的抓臂设置成跨在轨道56的导轨上。控制器C(见图2)控制线性电动机沿轨道56移动所需的容器151。该控制器记录运载工具200在轨道22A上的位置α，并与容器151的位置O匹配，使得该容器在这种情况下在运载工具200下方对准。控制器C控制轨道56上的位置O，使得仅仅伸长运载提升器208就可拾取容器151，而无需运载工具200在轨道22A上的进一步重新定位。在提升器208处于伸长位置(图6B中的位置E1)的情形下，容器被驱动到轨道56上的位置O，在该位置，容器151的抓握部分处于提升器208的抓臂之间。为了实现对容器的拾取，提升器208的抓臂仅仅关闭即可。这种传输系统分段14所提供的″驱动进入″能力通过在分段14上提供最大量的拾取位置，而极大地提高了处置系统10的效率。虽然上面已经结合处于静止位置α的运载工具200进行了描述，但是，类似的过程可用于处于动态位置的运载工具200。在那种情况下，可沿轨道56来驱动容器151，以便与运载工具200在轨道22A上的位置和速度相匹配。
如图2中所示，传送机轨道，例如传输系统分段14的轨道52，56，可装备有分路或轨道缓冲分段52B，56B。图2中示意性地显示了轨道缓冲分段52B，56B处于传送机轨道的一侧，但也可定位在轨道的任一侧。图5显示了位于轨道56上的典型缓冲分段56B的一部分。该缓冲分段具有支撑平台90，其例如可由一个或多个导轨92制成。支撑平台90与至少其中一个传送机轨道导轨660交叉。传送机轨道导轨660的垂直凸缘66V可在平台90的路径上局部地取下。支撑平台90可包括全向支撑件，例如滚珠轴承93(见图5)，从而允许容器151在支撑件上以任何所需方向自由地移动。缓冲分段56B还可包括合适的线性迫动器部件94，其能够与容器151上的反作用元件162，164，166，168(见图7)相互协作，使容器在图5中箭头X5，X6所示的方向上移入和移出缓冲分段56B。如可从图5和图7中认识到，容器151可从传送机轨道56移动到缓冲分段56B，并且反之亦然，而无需容器的重定向。例如，在图5所示的方向上，容器151以方向X4移动，直到与缓冲分段56B基本对准时为止。在那个位置，设置成沿容器轴线B进行操作的反作用元件164，162能够和迫动器94相协作。因此，如果需要，(例如在容器沿相反的方向在传送机轨道56上移动的情况下)，控制器C(也见图2)激活迫动器94，从而使容器151沿方向X5移动到缓冲分段56B中。当需要将容器151返回到传送机轨道56上时，可操作迫动器94使容器沿方向X6移动到导轨660，66I上。然后，容器151可几乎瞬时地在任何所需的方向上沿传送机轨道56移动。类似的方法可用于在传送机轨道之间的接头处传递容器。在一个备选实施例中，任何合适类型的接头装置，例如利用转台，就可用于将容器从传送机轨道引导至缓冲分段。如可从图5中认识到，可使容器在传送机轨道和缓冲分段之间传递的切换系统同样适用于在任何相连的传送机轨道之间实现容器的传递(见图2)。
仍然参见图5，缓冲分段56B在尺寸上设置成可根据需要保持许多容器151。在一个容器缓冲分段的情况下，单个线性迫动器部件94可设有一对支撑导轨92。为了扩展缓冲分段，可以一般格子的样式来增加补充的线性迫动器导轨94L和支撑导轨92L，如图5中所示。向外延伸的导轨92，94和横向延伸的导轨92L，94L的样式形成了格子的样式，其可使容器在两维地(沿着箭头X5，X6，X7所示的方向)移动到缓冲分段56B中的任何位置。在图5中，出于示例目的，显示了单组外部导轨92，94和单组横向导轨92L，94L。所示的导轨样式可根据需要进行重复，从而提供任何所需尺寸的缓冲分段。
再次参看图3，安装系统64可包括任何合适的结构部件，以便将传送机轨道56的导轨660，66I，68基本支撑在相应舱间或舱内传输分支的轨道23A下方。这就允许位于至少舱间或舱内分支的某些部分轨道上的运载工具200直接在传送机轨道上拾取或放置容器151。不同于传统系统的是，运载工具200可在任何时间将容器151放置在传送机轨道上，紧接着使其在传送机轨道上移动。因此，在传输系统分段12和传输系统分段14之间就实现了无缝的结合(这是因为在用于传统传送机系统的传送面板上的系统分段12上的运载工具200之间进行协调方面，没有产生时间损失)。这又增加了自动化材料处置系统10的工件移动密集度和可靠性(损坏的容器易于从系统中取下，并且不同于托盘系统的是，冲击仅仅限于该容器上，而在系统传输能力方面没有任何损失)。
应当理解，以上描述仅仅是对本发明的解释性说明。本领域中的技术人员在不脱离本发明的前提下可设计各种变型和改型。因此，本发明旨在包括所有这些属于所附权利要求范围内的变型、改型和变化。

Claims (44)

1.一种半导体工件处理系统，包括：
至少一个用于处理半导体工件的处理工具；
用于保存至少一个半导体工件、从而将其来回地传输到所述处理工具中的容器；
连接在所述处理工具上的第一传输分段，其用于将所述容器来回地传输到所述处理工具中；和
连接在所述第一传输分段上的第二传输分段，其用于将所述容器来回地传输到所述处理工具中；
其中，所述第一传输分段是基于运载工具的分段，其具有能够保持所述容器并沿着所述第一传输分段的第一轨道而移动的运载工具，所述第二传输分段不是基于运载工具的分段，并且具有第二轨道，所述第二轨道的至少一个支撑元件适于与所述容器对接，以便可移动地支撑来自所述第二轨道的容器，并允许所述容器相对于所述第一轨道移动，其中，所述第二传输分段具有连接在所述第二轨道上的电动机，其用于使所述第二轨道上的容器与所述第一轨道上的运载工具对准。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述电动机连接在所述第二轨道上，用于沿所述第二轨道来驱动所述容器，所述电动机至少一部分安装在所述容器上。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述容器具有整体式的框架组件，所述电动机的至少一部分与所述容器的框架组件形成一体。
4.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机的至少一部分模制在所述框架组件的一部分中。
5.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机的至少一部分可拆卸地安装在所述框架组件上。
6.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机的至少另一部分固定地连接在所述轨道上。
7.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机是线性电动机。
8.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机是无电刷的电动机。
9.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机是没有运动部件的固态电动机。
10.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，安装在所述容器上的所述电动机的至少一部分包括安装在所述容器上的永久磁铁。
11.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，安装在所述容器中的所述电动机的至少一部分包括至少两个永久磁铁，所述永久磁铁设置在所述容器上，使得连接所述两个磁铁中一个磁铁的磁极的轴线相对于连接所述两个磁铁中另一磁铁的磁极的另一轴线定向成一定的角度。
12.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机适于沿着所述第二轨道来驱动所述容器。
13.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述电动机适于驱动所述容器，使得所述容器能够沿着两条不同的轴线而移动。
14.根据权利要求13所述的系统，其特征在于，所述两条不同的轴线是相交轴线。
15.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二轨道具有纵向部分，其带有从所述纵向部分横向延伸出的至少一个分路部分。
16.根据权利要求15所述的系统，其特征在于，所述至少一个分路部分提供了轨道缓冲。
17.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一传输分段的至少一部分设置在所述至少一个处理工具与所述第二传输分段之间。
18.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二传输分段的第二轨道的至少一部分基本上与所述第一传输分段的第一轨道的一部分并行地延伸。
19.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二传输分段的第二轨道的至少一部分跨在所述第一传输分段的第一轨道的至少两个部分之间。
20.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一轨道和所述第二轨道设置成彼此邻近，以允许所述容器在它们之间一体地移动。
21.一种半导体工件容器传输系统，包括：
至少一个半导体工件容器，其适于在其中保存至少一个半导体工件，所述半导体工件容器具有整体的框架组件；
轨道，其可移动地支撑所述至少一个半导体工件容器，使得所述至少一个半导体工件容器能够沿着所述轨道移动；和
连接在所述轨道上而用于驱动所述至少一个容器沿着所述轨道移动的电动机，其中，所述电动机的至少一部分安装在所述至少一个容器的框架组件上。
22.根据权利要求21所述的系统，其特征在于，所述框架组件具有与处理工具的装载口分段相配的接口分段，其允许所述至少一个半导体工件在所述至少一个容器和所述装载口分段之间进行传递。
23.根据权利要求21所述的系统，其特征在于，所述电动机是使主线圈组件连接在所述轨道上的线性电动机，其中，安装在所述框架组件上的电动机的至少一部分是所述线性电动机的反作用部分，其与所述主线圈组件起反作用，用于沿着所述轨道来驱动所述至少一个容器。
24.根据权利要求23所述的系统，其特征在于，所述线性电动机的反作用部分包括安装在所述框架组件上的反作用板，所述反作用板包括能够与所述主线圈组件起反作用的磁性板。
25.根据权利要求23所述的系统，其特征在于，所述线性电动机的反作用部分包括安装在所述框架组件上的永久磁铁。
26.根据权利要求23所述的系统，其特征在于，所述反作用板设置成用于沿两条相交轴线来双向地驱动所述至少一个容器。
27.根据权利要求21所述的系统，其特征在于，还包括另一轨道，以及适于在所述另一轨道上移动并用于在其上保持所述至少一个容器的运载工具，所述运载工具具有用于在所述轨道和所述另一轨道之间传输所述容器的传输机构。
28.一种半导体工件传输容器，包括：
框架，其限定了用于在其中保存至少一个半导体工件的腔室，所述框架在尺寸和形状上设置成用于与半导体工件处理工具的接口部分对接，以允许所述至少一个半导体工件在所述腔室和所述处理工具之间进行传输，其中，所述框架限定了至少一个用于承坐在传输系统轨道上的表面，用于在所述处理工具和另一位置之间传输所述容器；和
安装在所述框架上的电动机部分，所述电动机部分适于与所述传输系统的另一电动机部分相协作，用于沿着所述轨道来驱动所述容器。
29.根据权利要求28所述的容器，其特征在于，所述电动机部分适于与所述另一电动机部分协作，用于在相反的方向上沿着所述轨道来驱动所述容器。
30.根据权利要求28所述的容器，其特征在于，所述电动机部分适于与所述另一电动机部分协作，用于在相对于所述轨道相交的方向上驱动所述容器。
31.根据权利要求28所述的容器，其特征在于，所述框架和安装在所述框架上的所述电动机部分形成一体式组件。
32.根据权利要求28所述的容器，其特征在于，所述电动机部分是线性电动机的反作用部分，而所述另一电动机部分是连接在所述轨道上的线性电动机的线圈组件。
33.根据权利要求28所述的容器，其特征在于，所述框架包括用于使运载工具从所述轨道上获取和携带所述容器的接合面。
34.一种半导体工件处理系统，包括：
至少一个用于处理半导体工件的处理工具；
连接在所述处理工具上的第一传输分段，其用于将保存半导体工件的容器来回地传输到所述处理工具中；和
第二传输分段，其连接在所述第一传输分段上，用于将所述容器来回地传输到所述处理工具中；
其中，所述第一传输分段是基于运载工具的分段，其具有能够保持至少一个所述容器并沿着所述第一传输分段的第一轨道而移动的运载工具，所述第二传输分段不是基于运载工具的分段，并且具有上面带支撑元件的第二轨道，所述支撑元件适于与所述容器对接，用于可移动地支撑来自所述第二轨道的容器，并允许所述容器相对于所述轨道双向移动，其中，所述第二传输分段具有连接在所述第二轨道上的电动机，其能够在所述第二轨道的至少一部分上基本上同时地双向驱动所述容器。
35.根据权利要求34所述的处理系统，其特征在于，所述第二轨道的至少一部分是离所述第二轨道末端部分有一段距离的所述第二轨道的中间部分。
36.根据权利要求34所述的处理系统，其特征在于，所述至少一个部分是所述第二轨道的任何部分。
37.根据权利要求34所述的处理系统，其特征在于，所述电动机是线性电动机。
38.根据权利要求34所述的处理系统，其特征在于，所述电动机包括安装在至少其中一个所述容器上的至少一个电动机部分。
39.一种半导体工件处理系统，包括：
至少一个用于处理半导体工件的处理工具；
用于保存至少一个半导体工件、从而将其来回地传输到所述处理工具中的容器；
连接在所述处理工具上的第一传输分段，其用于将所述容器来回地传输到所述处理工具上，所述第一传输分段具有第一轨道以及被可移动地支撑在所述第一轨道上并能够拾取所述容器的运载工具；和
连接在所述第一传输分段上的第二传输分段，其用于将所述容器来回地传输到所述处理工具上，所述第二传输分段具有传送机轨道，以及连接在所述传送机轨道上而用于使所述容器在所述传送机轨道上移动的电动机，所述传送机轨道带有适于与所述容器对接的轨道面；
其中，所述电动机适于在沿着所述传送机轨道的一部分的任何位置处停止所述容器，使得所述容器相对于所述运载工具处于预定的位置中，以便为所述运载工具提供用于拾取所述容器的拾取位置。
40.根据权利要求所述39的系统，其特征在于，所述传送机轨道的所述这部分沿着所述第一轨道延伸。
41.根据权利要求39所述的系统，其特征在于，所述传送机轨道具有在所述传送机轨道的中间连接处彼此相连而形成所述传送机轨道的轨道分段，所述轨道分段适于在所述传送机轨道的安装过程中彼此相连在一起。
42.根据权利要求39所述的系统，其特征在于，还包括连接在所述第二传输分段上的位置传感器，所述位置传感器适于检测所述容器沿着所述传送机轨道处在任何位置处的位置。
43.根据权利要求43所述的系统，其特征在于，所述电动机的至少一部分提供了所述位置传感器。
44.一种材料处置系统，其用于传输能够保存至少一个工件的容器，并用于在受控制的环境中在工件处理工具与另一位置之间传输所述至少一个工件，所述系统包括：
传送机传输分段，其包括用于驱动所述容器的驱动轨道，所述轨道具有与所述容器对接以用于驱动所述容器的轨道元件，其中，所述驱动轨道是用模块来模块化的，所述模块适于在驱动轨道安装过程中连在一起，以便形成所述驱动轨道的延伸长度，其中，各所述模块上面具有至少其中一个所述轨道元件。
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