CN217983295U - 晶圆盒的输送装置 - Google Patents
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Abstract
本申请实施例提供一种晶圆盒的输送装置，输送装置包括基架和输送机构；输送机构包括沿基架的第一方向间隔设置的两个输送单元，两个输送单元的输送方向相反，每个输送单元包括沿第二方向延伸的直线模组以及与直线模组连接的承载模组，直线模组用于驱动承载模组沿第二方向移动，承载模组包括第一驱动件以及与第一驱动件连接的承载件，第一驱动件用于驱动承载件旋转，且第一驱动件的输出轴沿第一方向设置；其中，第一方向和第二方向相交设置，从而通过输送单元中的直线模组驱动承载模组移动，实现对晶圆盒的输送；并且，通过上述两个输送单元可以同时沿两个相反的方向输送晶圆盒，从而提高芯片生产线上的晶圆盒输送效率。
Description
技术领域
本申请属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆盒的输送装置。
背景技术
晶圆是指用于加工制造半导体芯片的硅晶片材料，在半导体芯片的生产加工过程中，由于半导体芯片的性能要求较高，因此一般通过晶圆盒来放置晶圆，以防止晶圆在加工过程中受损。
并且，由于晶圆加工的工艺复杂，需要经过生产线中的多个工艺模块的处理后才能最终得到半导体芯片成品，因此，在晶圆加工过程中，通常通过输送装置将晶圆盒输送至对应的工艺模块处。目前，市面上的输送装置虽然可以完成工艺模块之间的晶圆盒输送，但其输送效率较低，从而降低半导体芯片的整体加工效率，进而对工厂的芯片生产率造成影响。
因此，亟需一种新的输送装置，以解决上述问题。
实用新型内容
本申请实施例提供了一种晶圆盒的输送装置，能够解决现有的输送装置对晶圆盒的输送效率低的技术问题。
本申请实施例提供一种晶圆盒的输送装置，输送装置包括基架和输送机构；输送机构包括沿基架的第一方向间隔设置的两个输送单元，两个输送单元的输送方向相反，每个输送单元包括沿第二方向延伸的直线模组以及与直线模组连接的承载模组，直线模组用于驱动承载模组沿第二方向移动，承载模组包括第一驱动件以及与第一驱动件连接的承载件，第一驱动件用于驱动承载件旋转，且第一驱动件的输出轴沿第一方向设置；其中，第一方向和第二方向相交设置。
作为一个具体的实施方式，承载模组还包括相对设置的两个第一定位部，第一定位部与承载件连接。
作为一个具体的实施方式，承载模组还包括相对设置的两个第二定位部，第二定位部与承载件连接，两个第一定位部的排布方向与两个第二定位部的排布方向不相同。
作为一个具体的实施方式，承载模组还包括第二驱动件、连接部、第一连杆和第二连杆，连接部分别与第二驱动件的输出轴以及一个第一定位部连接，第一连杆的两端分别与连接部以及一个第二定位部铰接，第二连杆的两端分别与连接部以及另一个第二定位部铰接。
作为一个具体的实施方式，承载件包括支撑部、以及沿第一方向间隔设置的旋转板和承载板，旋转板与第一驱动件的输出轴连接，承载板与旋转板通过支撑部连接。
作为一个具体的实施方式，承载模组还包括设置在承载件上的多个滚珠，多个滚珠间隔排布。
作为一个具体的实施方式，承载模组还包括设置在承载件上的感应器，感应器用于检测晶圆盒是否放置于承载件上。
作为一个具体的实施方式，直线模组包括第三驱动件、丝杆和滑台，第三驱动件的输出轴与丝杆连接，丝杆沿第二方向延伸，滑台与丝杆螺纹连接，承载模组与滑台连接。
作为一个具体的实施方式，直线模组还包括与基架连接的壳体，丝杆收容于壳体中；滑台包括滑台主体以及与滑台主体连接的盖板，盖板位于壳体的外侧，且与承载模组连接。
作为一个具体的实施方式，壳体包括具有开口的底座以及覆盖于开口的柔性带，滑台主体包括固定部以及分别与固定部连接的两个第一连接轴，两个第一连接轴沿第二方向设置在固定部的相对两侧，且第一连接轴与固定部之间具有过孔，柔性带依次穿过两个过孔，第一连接轴位于壳体的外侧。
与现有技术相比，本申请实施例提供的晶圆盒的输送装置，通过在基架上沿第一方向间隔设置两个输送单元，且每个输送单元包括沿第二方向延伸的直线模组以及与直线模组连接的承载模组，从而通过直线模组驱动承载模组沿第二方向移动，实现对晶圆盒的输送；并且，由于两个输送单元的输送方向相反，因此，通过上述两个输送单元可以同时沿两个相反的方向输送晶圆盒，从而提高芯片生产线上的晶圆盒输送效率；同时，由于承载模组包括第一驱动件以及连接于第一驱动件的承载件，且第一驱动件的输出轴沿第一方向设置，从而通过第一驱动件驱动该承载件旋转，带动位于承载件上的晶圆盒旋转至对应角度，以便于晶圆盒的取放。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例提供的晶圆盒的输送装置的结构示意图；
图2为本申请实施例提供的晶圆盒的输送装置的承载模组的结构示意图；
图3为本申请实施例提供的晶圆盒的输送装置的承载模组的另一结构示意图；
图4为本申请实施例提供的晶圆盒的输送装置的承载模组的又一结构示意图；
图5为本申请实施例提供的晶圆盒的输送装置的承载件的结构示意图；
图6为本申请实施例提供的晶圆盒的输送装置的承载件的另一结构示意图；
图7是本申请实施例提供的晶圆盒的输送装置中的直线模组的结构示意图；
图8为本申请实施例提供的晶圆盒的输送装置中的直线模组的爆炸图。
附图标号说明：
晶圆盒100 输送机构200； 基架300； 输送单元210；
直线模组211； 承载模组212； 第一驱动件213； 承载件214；
第一定位部215； 第二定位部216； 第二驱动件217； 连接部218；
第一连杆219； 第二连杆220； 支撑部221； 旋转板222；
承载板223； 滚珠224； 感应器225； 第三驱动件226；
丝杆227； 滑台228； 壳体229； 滑台主体230；
盖板231； 底座232； 柔性带233； 固定部234；
第一连接轴235； 第二连接轴236； 滑轨237。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本申请的原理，但不能用来限制本申请的范围，即本申请不限于所描述的实施例。
在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。“垂直”并不是严格意义上的垂直，而是在误差允许范围之内。“平行”并不是严格意义上的平行，而是在误差允许范围之内。
在本申请中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本申请所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
下述描述中出现的方位词均为图中示出的方向，并不是对本申请的具体结构进行限定。在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
图1为本申请实施例提供的晶圆盒的输送装置的结构示意图；图2为本申请实施例提供的晶圆盒的输送装置的承载模组的结构示意图。
如图1和图2所示，本申请实施例提供一种晶圆盒100的输送装置，输送装置包括输送机构200和基架300；输送机构200包括沿基架300的第一方向间隔设置的两个输送单元210，两个输送单元210的输送方向相反，每个输送单元210包括沿第二方向延伸的直线模组211以及与直线模组211连接的承载模组212，直线模组211用于驱动承载模组212沿第二方向移动，承载模组212包括第一驱动件213以及与第一驱动件213连接的承载件214，第一驱动件213用于驱动承载件214旋转，且第一驱动件213的输出轴沿第一方向设置；其中，第一方向和第二方向相交设置。
基架300用于支撑输送机构200，使输送机构200在基架300上对晶圆盒100进行输送；输送单元210中的承载模组212用于承载晶圆盒100，具体地，承载模组212中的承载件214可以用于承载晶圆盒100，承载件214可以为板状结构，也可以为块状结构或者其他结构的组合；输送单元210中的直线模组211用于驱动承载模组212沿第二方向移动，以沿第二方向输送位于承载模组212中的晶圆盒100。
可以理解的是，第一方向和第二方向相交设置，即，第一方向和第二方向之间的夹角可以为锐角，也可以为直角，即，第一方向和第二方向可以相互垂直；例如，第一方向可以为竖直方向，第二方向可以为水平方向。为了便于理解，以空间直角坐标系为参照，将本申请所有实施例中的第一方向设为X轴所在的方向，将本申请所有实施例中的第二方向设为Y轴所在的方向。
第一驱动件213可以为各类旋转驱动电机。具体地，第一驱动件213的输出轴沿第一方向设置，并带动承载件214旋转，从而使位于承载件214上的晶圆盒100可以转动一定角度。
在实际应用中，由于晶圆盒100的一侧具有盒盖结构，该盒盖结构可以打开，以取放晶圆盒100内部的晶舟，与盒盖相对的另一侧为封闭的盒体结构，因此，在将晶圆盒100放置于承载件214上或者将晶圆盒100从承载件214上取下时，需要控制机械手抓取位于晶圆盒100的盒体结构上的对应抓取位置，才能防止晶圆盒100的盒盖结构打开而导致其内部的晶舟或晶圆掉落；而在芯片生产线中，由于机械手的位置一般是固定的，即，机械手仅从固定的角度或位置对晶圆盒100进行取放，此时，如果晶圆盒100的对应抓取位置发生偏移并且与机械手的位置不对应，则会使机械手取放晶圆盒100存在一定困难，甚至造成晶圆盒100内部的晶舟或晶圆掉落，因此，为了避免出现上述问题，本申请通过设置第一驱动件213与承载件214连接，在机械手抓取晶圆盒100之前，通过第一驱动件213驱动承载件214旋转，使位于承载件214上的晶圆盒100的对应抓取位置与机械手的位置相对应，以便于机械手取放晶圆盒100。
本申请实施例提供的晶圆盒100的输送装置，通过在基架300上沿第一方向间隔设置两个输送单元210，且每个输送单元210包括沿第二方向延伸的直线模组211以及与直线模组211连接的承载模组212，从而通过直线模组211驱动承载有晶圆盒100的承载模组212沿第二方向移动，实现对晶圆盒100的输送；并且，由于两个输送单元210的输送方向相反，因此，通过上述两个输送单元210可以同时沿两个相反的方向输送晶圆盒100，从而提高芯片生产线上的晶圆盒100输送效率；同时，由于承载模组212包括第一驱动件213以及连接于第一驱动件213的承载件214，且第一驱动件213的输出轴沿第一方向设置，从而通过第一驱动件213驱动该承载件214旋转，带动位于承载件214上的晶圆盒100旋转至对应抓取位置，以便于晶圆盒100的取放。
请继续参照图2，作为一个具体的实施方式，承载模组212还包括相对设置的两个第一定位部215，第一定位部215与承载件214连接。
两个第一定位部215可以沿第二方向间隔设置，两个第一定位部215之间间隔的距离可以与所放置的晶圆盒100的尺寸相对应，例如，两个第一定位部215之间的间隔距离可以稍大于晶圆盒100的尺寸，以保证晶圆盒100可以被夹设于两个第一定位部215之间的同时且防止晶圆盒100在被输送的过程中发生较大的偏移甚至从承载件214上掉落。
在本实施例中，通过将两个相对设置的第一定位部215与承载件214连接，从而对放置于承载件214上的晶圆盒100进行限位，以限制晶圆盒100在承载件214上的移动，防止输送单元210在输送晶圆盒100的过程中晶圆盒100的位置发生移动而对后续下料操作造成影响甚至导致晶圆盒100的掉落。
图3为本申请实施例提供的晶圆盒100的输送装置的承载模组的另一结构示意图。
如图3所示，作为一个具体的实施方式，承载模组212还包括相对设置的两个第二定位部216，第二定位部216与承载件214连接，两个第一定位部215的排布方向与两个第二定位部216的排布方向不相同。
两个第二定位部216可以沿第三方向间隔设置，第三方向可以与第二方向相交，第三方向优选与第二方向垂直。当两个第二定位部216沿第三方向间隔设置时，两个第二定位部216可以沿第二方向间隔设置；当然，两个第二定位部216也可以沿第二方向间隔设置，此时两个第一定位部215沿第三方向间隔设置。
可以理解的是，当第一方向为X轴所在的方向，第二方向为Y轴所在的方向时，第三方向可以为Z轴所在的方向。
在本实施例中，通过相对设置的两个第二定位部216，且两个第二定位部216与两个第一定位部215的排布方向不相同，从而在通过两个相对设置的第一定位部215对位于承载板223上的晶圆盒100进行定位的基础上，通过两个第二定位部216进一步固定晶圆盒100在承载板223上的位置，以防止晶圆盒100发生偏移或掉落。
图4为本申请实施例提供的晶圆盒100的输送装置的承载模组的又一结构示意图。
如图4所示，作为一个具体的实施方式，承载模组212还包括第二驱动件217、连接部218、第一连杆219和第二连杆220，连接部218分别与第二驱动件217的输出轴以及一个第一定位部215连接，第一连杆219的两端分别与连接部218以及一个第二定位部216铰接，第二连杆220的两端分别与连接部218以及另一个第二定位部216铰接。
第二驱动件217可以为直线驱动电机，例如，第二驱动件217可以为步进电机，或者，第二驱动件217可以为液压杠、气压缸等，例如，第二驱动件217可以为活塞式液压缸、伸缩式液压缸等。第二驱动件217的输出轴可以沿第二方向设置，第二驱动件217的输出轴也可以沿第三方向设置，为了便于理解，在本申请的所有实施例中，以第二驱动件217的输出轴沿第二方向设置为例对各实施例进行说明。
由于连接部218分别与第二驱动件217的输出轴以及一个第一定位部215连接，从而在第二驱动件217的输出轴驱动连接部218沿第二方向移动时，连接部218带动与之相连的第一定位部215沿第二方向发生移动，从而使第一定位部215可以沿第二方向锁紧或者松开位于承载板223上的晶圆盒100；由于第一连杆219的两端分别与连接部218以及一个第二定位部216铰接，第二连杆220的两端分别与连接部218以及另一个第二定位部216铰接，从而在第二驱动件217驱动连接部218沿第二方向移动时，连接部218可以带动与之铰接的第一连杆219和第二连杆220移动，从而使两个第二定位部216分别在第一连杆219和第二连杆220的带动下沿第三方向移动，并沿第三方向锁紧或者松开位于承载板223上的晶圆盒100，从而在晶圆盒100的输送过程中，通过第一定位部215和两个第二定位部216将晶圆盒100锁紧，以避免晶圆盒100出现位置偏移甚至掉落的情况，在需要取放晶圆盒100时，只需通过控制与连接部218相连接的第一定位部215以及两个第二定位部216松开晶圆盒100，就可以轻松抓取晶圆盒100以实现对其的取放。
在本实施例中，通过连接部218分别与第二驱动件217的输出轴以及一个第一定位部215连接，并且由于第一连杆219的两端分别与连接部218和一个第二定位部216铰接，第二连杆220的两端分别与连接部218和另一个第二定位部216铰接，从而在第二驱动件217的输出轴驱动连接部218沿第二方向运动时，连接部218可以带动与之相连的第一定位部215、第一连杆219以及第二连杆220运动，从而使第一定位部215沿第二方向移动，使分别与第一连杆219和第二连接连接的两个第二定位部216沿第三方向移动，从而通过一个第一定位部215和两个第二定位部216实现对位于承载板223上的晶圆盒100锁紧或者放松，在保证晶圆盒100在输送过程中不会出现位置偏移或者掉落的情况的同时，可以轻松的在承载板223上取放该晶圆盒100，从而节省了取放晶圆盒100的时间，提高了晶圆加工的效率。
图5为本申请实施例提供的晶圆盒100的输送装置的承载件的结构示意图。
如图5所示，作为一个具体的实施方式，承载件214包括支撑部221、以及沿第一方向间隔设置的旋转板222和承载板223，旋转板222与第一驱动件213的输出轴连接，承载板223与旋转板222通过支撑部221连接。
承载板223可以用于承载需要运输的晶圆盒100，承载板223与旋转板222通过支撑部221连接，由于旋转板222与第一驱动件213的输出轴连接，从而在第一驱动件213的输出轴的驱动下，旋转板222可以同步进行旋转，并带动承载板223也随之一起旋转。
旋转板222与承载板223沿第一方向间隔设置，旋转板222和承载板223之间的间隔距离可以根据实际情况进行确定，支撑部221可以位于旋转板222和承载板223之间，从而可以在一定程度上节省用于容纳支撑部221的空间，当然，支撑部221也可以位于旋转板222和承载板223的外部，在此不做具体限定。
在本实施例中，承载件214包括支撑部221、以及沿第一方向间隔设置的旋转板222和承载板223，由于旋转板222和承载板223通过支撑部221连接，且旋转板222与第一驱动件213的输出轴连接，从而在第一驱动件213的输出轴驱动旋转板222转动的同时，承载板223也随之转动，从而使位于承载板223上的晶圆盒100的对应抓取位置与机械手的位置相对应，以便于机械手取放晶圆盒100。
作为一个具体的实施方式，承载模组212还包括第一外壳，承载件214收容于第一外壳中，从而使承载件214在输送晶圆盒100的过程中与外界环境相对密封，即处于无尘状态，以在一定程度上提高承载件214的使用寿命；第一外壳沿第一方向具有相对的两个第一开口部，以暴露旋转板222远离承载板223的一侧以及承载板223远离旋转板222的一侧，使旋转板222远离承载板223的一侧可以与第一驱动件213的输出轴连接，使承载板223远离旋转板222的一侧可以用于放置晶圆盒100。
作为一个具体的实施方式，承载模组212还包括第二外壳，第一驱动件213被收容于第二外壳中，从而使第一驱动件213与外界环境相对密封，在一定程度上提高第一驱动件213的使用寿命；第二外壳沿第一方向靠近第一外壳的一侧具有第二开口部，以使第一驱动件213的输出轴可以与承载件214连接。
图6为本申请实施例提供的晶圆盒100的输送装置的承载件的另一结构示意图。
如图6所示，作为一个具体的实施方式，承载模组212还包括设置在承载件214上的多个滚珠224，多个滚珠224间隔排布。
在承载模组212中，由于晶圆盒100直接放置于承载件214上，因此，在晶圆盒100的输送过程中，由于惯性作用，晶圆盒100与承载件214会产生一定的滑动摩擦损耗，因此，本实施例通过在承载件214上设置多个滚珠224，从而通过多个滚珠224支撑晶圆盒100，避免晶圆盒100与承载件214直接接触，从而使承载件214不会受到与晶圆盒100之间的摩擦力的影响，在一定程度上提高了承载件214的使用寿命；同时，由于滚珠224与晶圆盒100的接触面积较小，所产生的摩擦损耗也就相应较少，并且，通过滚珠224的滚动还可以将晶圆盒100与承载模组212之间的滑动摩擦变为滚动摩擦，以进一步减少晶圆盒100所受到的摩擦损耗，从而提高了晶圆盒100的使用寿命；并且，由于多个滚针在承载件214上间隔排布，从而在一定程度上可以分散晶圆盒100对各滚珠224的压力，提高滚珠224的使用寿命。
可以理解的是，当晶圆盒100放置于承载件214上时，可能由于二者之间的摩擦而产生一定数量的微小粒子，由于晶圆盒100对承载件214的压力以及晶圆盒100在运输过程中由于惯性而产生的相对于承载件214的运动趋势，导致该微小粒子可能会划伤晶圆盒100或者承载件214，从而影响晶圆盒100或承载件214的使用寿命，因此，本实施例通过在承载件214上设置多个滚珠224，在避免晶圆盒100与承载件214直接接触的同时，可以有效减少晶圆盒100输送过程中产生的微小粒子的数量，从而在一定程度上提高了晶圆盒100及承载件214的使用寿命。
请继续参照图6，作为一个具体的实施方式，承载模组212还包括设置在承载件214上的感应器225，感应器225用于检测晶圆盒100是否放置于承载件214上。
感应器225可以为红外传感器、电磁传感器、超声传感器、压力传感器以及微波感应器225等任何可以检测承载件214上是否放置有晶圆盒100的感应装置。
为了防止出现承载模组212空载而降低晶圆生成率的情况，在承载模组212的承载件214上设置感应器225，通过感应器225来感应承载件214上是否放置有晶圆盒100，当承载件214上没有放置晶圆盒100时，停止直线模组211对该空载的承载模组212的驱动，以避免造成资源浪费，进而导致晶圆生产率降低。
图7是本申请实施例提供的晶圆盒100的输送装置中的直线模组的结构示意图。
如图7所示，作为一个具体的实施方式，直线模组211包括第三驱动件226、丝杆227和滑台228，第三驱动件226的输出轴与丝杆227连接，丝杆227沿第二方向延伸，滑台228与丝杆227螺纹连接，承载模组212与滑台228连接。
第三驱动件226可以为驱动电机，第三驱动件226的输出轴与丝杆227连接，用于驱动丝杆227旋转，丝杆227沿第二方向延伸，且滑台228与丝杆227螺纹连接，承载模组212与滑台228连接，从而在第三驱动件226的输出轴驱动丝杆227旋转的过程中，由于滑台228与丝杆227的螺纹配合，使滑台228沿第二方向移动，从而带动承载模组212沿第二方向移动，实现对位于承租模组上的晶圆盒100沿第二方向的输送。
图8为本申请实施例提供的晶圆盒100的输送装置中的直线模组的爆炸图。
如图7和图8所示，作为一个具体的实施方式，直线模组211还包括与基架300连接的壳体229，丝杆227收容于壳体229中；滑台228包括滑台主体230以及与滑台主体230连接的盖板231，盖板231位于壳体229的外侧，且与承载模组212连接。
在本实施例中，丝杠收容于壳体229中，通过滑台主体230与丝杠螺纹连接，且滑台主体230与位于壳体229外侧的盖板231连接，从而通过盖板231连接承载模组212，实现承载模组212沿第二方向的移动，同时，通过将丝杠与外界环境分隔开，从而可以在一定程度上减小丝杠在运行过程中的损耗，提高丝杠的使用寿命。
可以理解的是，第三驱动件226也可以容纳于壳体229中，从而在一定程度上减小第三驱动件226运行过程中造成的损耗，提高第三驱动件226的使用寿命。
请继续参照图8，作为一个具体的实施方式，壳体229包括具有开口的底座232以及覆盖于开口的柔性带233，滑台主体230包括固定部234以及分别与固定部234连接的两个第一连接轴235，两个第一连接轴235沿第二方向设置在固定部234的相对两侧，且第一连接轴235与固定部234之间具有过孔(图未标识)，柔性带233依次穿过两个过孔，第一连接轴235位于壳体229的外侧。
柔性带233可以为柔性的钢带、铝带或者其他金属柔性带233，柔性带233也可以采用其他材质。在壳体229的开口处通过柔性带233使壳体229保持密封，从而将丝杆227与外界环境隔离开，在一定程度上提高丝杆227的使用寿命。
由于柔性带233依次穿过滑台主体230的固定部234与两个第一连接轴235之间的两个过孔，此时，与滑台主体230连接的盖板231位于柔性带233远离滑台主体230的一侧，盖板231与承载模组212连接，在直线模组211驱动承载模组212的过程中，第三驱动件226驱动丝杆227旋转并驱动滑台主体230沿第二方向移动，并带动连接于盖板231的承载模组212沿第二方向移动，在此过程中，柔性带233始终位于滑台主体230与盖板231之间，从而在保证壳体229一直处于密封状态，避免壳体229内的丝杠和滑台主体230与外界环境的接触。
当柔性带233依次穿过两个过孔时，第一连接轴235位于壳体229的外侧，即，第一连接轴235位于柔性带233远离固定部234的一侧，从而通过两个第一连接轴235可以固定柔性带233，使其始终位于盖板231和滑台主体230之间，并且，相对于通过盖板231直接固定柔性带233而言，由于第一连接轴235与柔性带233的接触面积较小，因此，产生的摩擦损耗也较小，从而在一定程度上提高了柔性带233的使用寿命。
第一连接轴235可以设置为滚动轴，在通过直线模组211输送承载模组212的过程中，滚动的第一连接轴235可以进一步减小其与柔性带233之间的摩擦，从而提高第一连接轴235及柔性带233的使用寿命。
在本实施例中，通过柔性带233覆盖底座232的开口，将滑台主体230的固定部234设置于壳体229内部，通过两个第一连接轴235与固定部234之间形成两个过孔，并通过柔性带233依次穿过两个过孔，从而将柔性带233固定于第一连接轴235与固定部234之间，使其在滑台主体230移动的过程中始终保持壳体229的密封，从而提高丝杆227与滑台主体230的固定部234的使用寿命；并且，相较于通过盖板231直接固定柔性带233，通过第一连接轴235固定柔性带233可以有效减小柔性带233所受到的摩擦损耗，从而提高了柔性带233的使用寿命。
请继续参照图8，作为一个具体的实施方式，滑台主体230还包括设置于两个第一连接轴235之间且与固定部234连接的两个第二连接轴236，第二连接轴236位于壳体229的内部，即，柔性带233穿过一个过孔后经过两个第二连接轴236的上侧穿入第二个过孔，从而通过该第二连接轴236避免柔性带233穿过两个过孔时与固定部234接触，降低柔性带233所受到的摩擦损耗，提高柔性带233的使用寿命。
请继续参照图8，作为一个具体的实施方式，直线模组211还包括设置于底座232中的滑轨237，滑轨237沿第二方向延伸，滑台主体230与滑轨237上的滑块连接，从而在滑台主体230沿第二方向移动时，滑轨237上的滑块可以支撑滑台主体230，以提高晶圆盒100输送过程中的稳定性。
本申请实施例提供的晶圆盒100的输送装置，通过在基架300上沿第一方向间隔设置两个输送单元210，且每个输送单元210包括沿第二方向延伸的直线模组211以及与直线模组211连接的承载模组212，从而通过直线模组211驱动承载有晶圆盒100的承载模组212沿第二方向移动，实现对晶圆盒100的输送；并且，由于两个输送单元210的输送方向相反，因此，通过上述两个输送单元210可以同时沿两个相反的方向输送晶圆盒100，从而提高芯片生产线上的晶圆盒100输送效率；同时，由于承载模组212包括第一驱动件213以及连接于第一驱动件213的承载件214，且第一驱动件213的输出轴沿第一方向设置，从而通过第一驱动件213驱动该承载件214旋转，使位于承载件214上的晶圆盒100可以旋转至对应抓取位置，以便于晶圆盒100的取放。
以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种晶圆盒的输送装置，其特征在于，包括：
基架；
输送机构，包括沿所述基架的第一方向间隔设置的两个输送单元，两个所述输送单元的输送方向相反，每个所述输送单元包括沿第二方向延伸的直线模组以及与所述直线模组连接的承载模组，所述直线模组用于驱动所述承载模组沿所述第二方向移动，所述承载模组包括第一驱动件以及与第一驱动件连接的承载件，所述第一驱动件用于驱动所述承载件旋转，且所述第一驱动件的输出轴沿所述第一方向设置；其中，所述第一方向和第二方向相交设置。
2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述承载模组还包括相对设置的两个第一定位部，所述第一定位部与所述承载件连接。
3.根据权利要求2所述的输送装置，其特征在于，所述承载模组还包括相对设置的两个第二定位部，所述第二定位部与所述承载件连接，两个所述第一定位部的排布方向与两个所述第二定位部的排布方向不相同。
4.根据权利要求3所述的输送装置，其特征在于，所述承载模组还包括第二驱动件、连接部、第一连杆和第二连杆，所述连接部分别与第二驱动件的输出轴以及一个第一定位部连接，所述第一连杆的两端分别与所述连接部以及一个所述第二定位部铰接，所述第二连杆的两端分别与所述连接部以及另一个所述第二定位部铰接。
5.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述承载件包括支撑部、以及沿第一方向间隔设置的旋转板和承载板，所述旋转板与所述第一驱动件的输出轴连接，所述承载板与所述旋转板通过所述支撑部连接。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的输送装置，其特征在于，所述承载模组还包括设置在所述承载件上的多个滚珠，多个所述滚珠间隔排布。
7.根据权利要求1～5中任一项所述的输送装置，其特征在于，所述承载模组还包括设置在所述承载件上的感应器，所述感应器用于检测所述晶圆盒是否放置于所述承载件上。
8.根据权利要求1～5中任一项所述的输送装置，其特征在于，所述直线模组包括第三驱动件、丝杆和滑台，所述第三驱动件的输出轴与所述丝杆连接，所述丝杆沿所述第二方向延伸，所述滑台与所述丝杆螺纹连接，所述承载模组与所述滑台连接。
9.根据权利要求8所述的输送装置，其特征在于，所述直线模组还包括与所述基架连接的壳体，所述丝杆收容于所述壳体中；所述滑台包括滑台主体以及与所述滑台主体连接的盖板，所述盖板位于所述壳体的外侧，且与所述承载模组连接。
10.根据权利要求9所述的输送装置，其特征在于，所述壳体包括具有开口的底座以及覆盖于所述开口的柔性带，所述滑台主体包括固定部以及分别与所述固定部连接的两个第一连接轴，两个所述第一连接轴沿所述第二方向设置在所述固定部的相对两侧，且所述第一连接轴与所述固定部之间具有过孔，所述柔性带依次穿过两个所述过孔，所述第一连接轴位于所述壳体的外侧。
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