CN102265043A - 垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置 - Google Patents

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Abstract

提供一种密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。本发明是由在中心部具有贯通状的通路（2a）的测流孔基座（2），在中心部具有连通到上述测流孔基座（2）的通路（2a）的贯通状的通路（3a）的测流孔基座（3），和以气密状插装在两测流孔基座（2、3）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4）构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座（2、3）的外侧端面分别作为密封面（2c、3c）的垫圈型测流孔（1），将上述两测流孔基座（2、3）中的位于下游侧的测流孔基座（3）的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座（2）的外径大，将位于下游侧的测流孔基座（3）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（3d）。

Description

垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置
技术领域
本发明涉及在夹设于半导体制造设备或化学工业设备、药品工业设备、食品工业设备等的流体供给线中、进行流体的流量控制的压力式流量控制装置中使用的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置，特别设计密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。
背景技术
以往，作为这种垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置，已知有例如在特开2007－057474号公报（参照专利文献1）中公开的构造。
即，上述垫圈型测流孔20如图19所示，是将具备嵌合用突部21a的测流孔基座21与具备嵌合用凹部22a的测流孔基座22组合、在两测流孔基座21、22的端面之间以气密状插装形成有测流孔口（图示省略）的测流孔板23、并且将两测流孔基座21、22的外侧端面分别作为密封面21b、22b的结构。
该垫圈型测流孔20由于在使外侧端面为密封面21b、22b的两测流孔基座21、22之间插装测流孔板23，所以能够不发生变形而将测流孔板23夹持到两测流孔基座21、22之间。结果，具有能够使用具有高精度的测流孔口的很薄的金属板制的测流孔板23、并且能够不使测流孔板23变形而组装到压力式流量控制装置中的优点。
此外，使用上述垫圈型测流孔20的压力式流量控制装置虽然没有图示，但具备控制阀、配设在控制阀的下游侧的流体通路上的垫圈型测流孔20、配设在垫圈型测流孔20的上游侧、检测垫圈型测流孔20的上游侧压力的压力传感器、和控制控制阀的控制电路，是一边根据垫圈型测流孔20的上游侧压力运算测流孔通过流量一边通过控制阀的开闭来控制测流孔通过流量的装置。
该压力式流量控制装置由于使用上述垫圈型测流孔20，所以具有能够防止测流孔20的安装时的变形的优点。
以往的垫圈型测流孔20由于使两测流孔基座21、22的外侧端面分别为密封面21b、22b，所以当装入到压力式流量控制装置的流体通路时，能够充分确保垫圈型测流孔20的两端面的密封性。
但是，该垫圈型测流孔20由于将测流孔板23收容到测流孔基座22的嵌合用凹部22a内、通过将测流孔基座21的嵌合用突部21a向测流孔基座22的嵌合用凹部22a内压入、将测流孔板23以气密状插装到两测流孔基座21、22之间，所以有为了完全防止从测流孔板23的密封部向外部泄露、在测流孔板23的压入工序中需要仔细注意的问题。
另一方面，在使用测流孔的压力式流量控制装置中，开发了在控制阀的下游侧形成两个并列状的流体通路、在一个流体通路中设置小流量用的测流孔、并且在另一个流体通路中设置切换阀和大流量用的测流孔、通过切换阀的动作将流体流量的控制范围切换为小流量域和大流量域、能够遍及大范围的流量域进行高精度的流量控制的压力式流量控制装置（例如，参照专利文献2）。
图20表示使用两个测流孔的压力式流量控制装置的纵剖视图，在图20中，24是控制阀，25是切换阀，26是控制阀24及切换阀25的兼用阀体，26a是形成在阀体26上的上游侧的流体通路，26b是在阀体26上以并列状形成的下游侧的两个流体通路，27是固定在阀体26的上游侧的入口侧块，27a是形成在入口侧块27上的入口侧流体通路，28是固定在阀体26的下游侧的出口侧块，28a是形成在出口侧块28上的出口侧流体通路，29是配设在下游侧的一个流体通路26b中的小流量用的垫圈型测流孔（与图19所示的垫圈型测流孔20相同），30是配设在下游侧的另一个流体通路26b中的大流量用的垫圈型测流孔（构造与图19所示不同的垫圈型测流孔），31是配设在阀体26上的压力传感器，32是夹设在阀体26与入口侧块27之间的垫圈型过滤器。
另外，小流量用的垫圈型测流孔29及大流量用的垫圈型测流孔30也有使用相同的构造、而仅变更测流孔的孔径的情况。
在上述压力式流量控制装置中使用垫圈型测流孔的情况下，必须在并列形成的两个流体通路26b、26b中分别设置流量特性不同的两个垫圈型测流孔29、30，所以有不能实现省空间化的问题。
此外，在测流孔中使用图19所示的构造的垫圈型测流孔20的情况下，有为了完全防止从测流孔板23的密封部向外部泄露、在测流孔板23的压入工序中需要仔细注意的问题。
专利文献1 ：特开2007－057474号公报，
专利文献2 ：特开2007－004644号公报。
发明内容
本发明是鉴于这样的问题而提出的，其目的是提供一种密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。
为了达到上述目的，本发明技术方案1的垫圈型测流孔是由在中心部具有贯通状的通路的测流孔基座，在中心部具有连通到上述测流孔基座的通路的贯通状的通路的测流孔基座，和以气密状插装在两测流孔基座之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座的外侧端面分别作为密封面的垫圈型测流孔，其特征在于，将上述两测流孔基座中的位于下游侧的测流孔基座的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座的外径大，将位于下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分作为密封面。
此外，本发明技术方案2的垫圈型测流孔的特征在于，使一个测流孔基座为在内侧端面上具备嵌合用突部的凸形的测流孔基座，此外，使另一个测流孔基座为在内侧端面上具备嵌合用凹部的凹形的测流孔基座，上述凸形的测流孔基座的嵌合用突部以气密状嵌合在上述嵌合用凹部中。
此外，本发明技术方案3的垫圈型测流孔的特征在于，测流孔板在中心部形成有连通到凸形的测流孔基座的通路及凹形的测流孔基座的通路的测流孔口，以气密状插装在凸形的测流孔基座的嵌合用突部与凹形的测流孔基座的嵌合用凹部之间。
此外，本发明技术方案4的垫圈型测流孔的特征在于，由在中心部具有通路的上游侧的测流孔基座，连接在上游侧的测流孔基座上而设置、形成为比该测流孔基座大径的在中心部具有通路的下游侧的测流孔基座，形成在两测流孔基座的通路之间、在中心部形成有使上述两通路连通的测流孔口的隔壁状的测流孔部构成，配设在流体通路中，将两测流孔基座的外侧端面和下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分分别作为密封面。
此外，本发明技术方案5的垫圈型测流孔是由在中心部具有贯通状的通路的测流孔基座，在中心部具有贯通状的通路的测流孔基座，在中心部具有连通到上述两测流孔基座的通路的贯通状的通路、一端面对置于一个测流孔基座、并且另一端面对置于另一个测流孔基座的中间测流孔基座，以气密状插装在一个测流孔基座与中间测流孔基座之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板，和以气密状插装在中间测流孔基座与另一个测流孔基座之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座的外侧端面分别作为密封面的垫圈型测流孔，其特征在于，将上述两测流孔基座中的位于下游侧的测流孔基座的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座及中间测流孔基座的外径大，将位于下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分作为密封面，此外，在上述中间测流孔基座上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座的通路的分流通路。
此外，本发明技术方案6的垫圈型测流孔的特征在于，使一个测流孔基座为在内侧端面具备嵌合用突部的凸形的测流孔基座，此外，使另一个测流孔基座为在内侧端面具备嵌合用凹部的凹形的测流孔基座，进而，使中间测流孔基座为在一端面上具备以气密状嵌合凸形的测流孔基座的嵌合用突部的嵌合用凹部、并且在另一端面上具备以气密状嵌合到凹形的测流孔基座的嵌合用凹部中的嵌合用突部的中间测流孔基座。
此外，本发明技术方案7的垫圈型测流孔的特征在于，一个测流孔板在中心部形成有连通到凸形的测流孔基座的通路及中间测流孔基座的通路的测流孔口，以气密状插装在凸形的测流孔基座的嵌合用突部与中间测流孔基座的嵌合用凹部之间。
此外，本发明技术方案8的垫圈型测流孔的特征在于，另一个测流孔板在中心部形成有连通到中间测流孔基座的通路及凹形的测流孔基座的通路的测流孔口，以气密状插装在中间测流孔基座的嵌合用突部与凹形的测流孔基座的嵌合用凹部之间。
此外，本发明技术方案9的垫圈型测流孔的特征在于，使两测流孔板中的位于上游侧的测流孔板为小流量用的测流孔板，并且使位于下游侧的测流孔板为大流量用的测流孔板。
此外，本发明技术方案10的垫圈型测流孔是由在中心部具有通路的上游侧的测流孔基座，连接在上游侧的测流孔基座上而设置、在中心部具有通路的中间测流孔基座，在中心部具有连通到中间测流孔基座的通路的贯通状的通路、对置于中间测流孔基座的下游侧的测流孔基座，形成在上游侧的测流孔基座的通路与中间测流孔基座的通路之间、在中心部形成有使上述两通路连通的测流孔口的隔壁状的测流孔部，和以气密状插装在中间测流孔基座与下游侧的测流孔基座之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板构成，配设在流体通路中、将上游侧的测流孔基座的外侧端面及下游侧的测流孔基座的外侧端面分别作为密封面的垫圈型测流孔，其特征在于，将上述下游侧的测流孔基座的外径形成为比上游侧的测流孔基座及中间测流孔基座的外径大，将下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分作为密封面，此外，在上述中间测流孔基座上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座的通路的分流通路。
此外，本发明技术方案11的垫圈型测流孔的特征在于，将位于上游侧的测流孔部作为小流量用的测流孔部，并且将位于下游侧的测流孔板作为大流量用的测流孔板。
此外，本发明技术方案12的垫圈型测流孔是由在中心部具有贯通状的通路的上游侧的测流孔基座，在中心部具有通路、对置于上游侧的测流孔基座的中间测流孔基座，连接在中间测流孔基座上而设置、在中心部具有通路的下游侧的测流孔基座，以气密状插装在上游侧的测流孔基座与中间测流孔基座之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板，和形成在中间测流孔基座的通路与下游侧的测流孔基座的通路之间、在中心部形成有使上述两通路连通的测流孔口的隔壁状的测流孔部构成，配设在流体通路中、将上游侧的测流孔基座的外侧端面及下游侧的测流孔基座的外侧端面分别作为密封面的垫圈型测流孔，其特征在于，将上述下游侧的测流孔基座的外径形成为比上游侧的测流孔基座及中间测流孔基座的外径大，将下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分作为密封面，此外，在上述中间测流孔基座上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座的通路的分流通路。
此外，本发明技术方案13的垫圈型测流孔的特征在于，将位于上游侧的测流孔板作为小流量用的测流孔板，并且将位于下游侧的测流孔部作为大流量用的测流孔部。
此外，本发明技术方案14的垫圈型测流孔是由在中心部具有通路的上游侧的测流孔基座，连接在上游侧的测流孔基座上而设置、在中心部具有通路的中间测流孔基座，连接在中间测流孔基座上而设置、在中心部具有通路的下游侧的测流孔基座，形成在上游侧的测流孔基座的通路与中间测流孔基座的通路之间、在中心部形成有使上述两通路连通的测流孔口的隔壁状的测流孔部，和形成在中间测流孔基座的通路与下游侧的测流孔基座的通路之间、在中心部形成有使上述两通路连通的测流孔口的隔壁状的测流孔部构成，配设在流体通路中、将上游侧的测流孔基座的外侧端面及下游侧的测流孔基座的外侧端面分别作为密封面的垫圈型测流孔，其特征在于，将上述下游侧的测流孔基座的外径形成为比上游侧的测流孔基座及中间测流孔基座的外径大，将下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分作为密封面，此外，在上述中间测流孔基座上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座的通路的分流通路。
此外，本发明技术方案15的垫圈型测流孔的特征在于，将位于上游侧的测流孔部作为小流量用的测流孔部，并且将位于下游侧的测流孔部作为大流量用的测流孔部。
此外，本发明技术方案16的垫圈型测流孔的特征在于，形成在下游侧的测流孔基座的外侧端面上的密封面为设在测流孔基座的外侧端面上的凹处的底面。
本发明的压力式流量控制装置的特征在于，具备：控制阀，配设在控制阀的下游侧的流体通路中的技术方案1至4中任一项所述的垫圈型测流孔，配设在垫圈型测流孔的上游侧、检测垫圈型测流孔的上游侧压力的压力传感器，和控制控制阀的控制电路，一边根据垫圈型测流孔的上游侧压力运算测流孔通过流量一边通过控制阀的开闭来控制测流孔通过流量。
此外，本发明的压力式流量控制装置的特征在于，具备：控制阀，配设在从控制阀的下游侧的流体通路分支并再次合流到流体通路中的分流通路中的切换阀，配设在流体通路与分支通路的合流部位、分别连通到流体通路及分流通路的技术方案5至15中任一项所述的垫圈型测流孔，配设在垫圈型测流孔的上游侧、检测垫圈型测流孔的上游侧压力的压力传感器，和控制控制阀的控制电路，一边根据垫圈型测流孔的上游侧压力运算测流孔通过流量，一边通过控制阀的开闭来控制测流孔通过流量，并且通过切换阀的动作切换流体的流路。
此外，本发明的压力式流量控制装置的特征在于，将垫圈型测流孔的两测流孔板或测流孔部和测流孔板、或者两测流孔部中的、位于上游侧的测流孔板或测流孔部作为小流量用的测流孔板或测流孔部，并且将位于下游侧的测流孔板或测流孔部作为大流量用的测流孔板或测流孔部，通过切换阀的动作，将流体流量的控制范围切换为小流量域和大流量域。
此外，本发明的压力式流量控制装置的特征在于，将流通的流体以两种供给到同一个通路中，在使一种流体流动时，将切换阀封闭而用控制阀控制，在使另一种流体流动时，将切换阀开放而进行控制。
此外，本发明的压力式流量控制装置的特征在于，代替从控制阀的下游侧的流体通路分支的分流通路而将来自别的流体供给线的流路连接到上述流体通路，在该连接部位配设分别连通到流体通路及别的流路的技术方案5至15中任一项所述的垫圈型测流孔，并且将切换阀配设到别的流路中，使流通的流体从别的流路通过切换阀流通。
本发明的垫圈型测流孔由于将测流孔板以气密状插装在两测流孔基座之间，将两测流孔基座中的位于下游侧的测流孔基座的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座的外径大，将位于下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分作为密封面，所以成为测流孔板的密封部位于形成在位于下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分上的密封面的内方，能够完全防止从测流孔板的密封部向外部泄露。
此外，本发明的垫圈型测流孔由于在位于下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分上形成有密封面，所以即使在形成在位于上游侧的测流孔基座的外侧端面上的密封面或测流孔板的密封部有泄露，也能够通过位于下游侧的测流孔基座的密封面防止流体的向外部的泄露，所以也能够将测流孔板的密封部的泄露量放松到不给流量控制带来影响的程度。
进而，本发明的垫圈型测流孔由于将两测流孔基座的外侧端面分别作为密封面，所以能够将垫圈型测流孔紧密地拧入固定到流体通路或管路中，而且密封部位为三个部位，密封性变得很好。
此外，本发明的垫圈型测流孔由于使一个测流孔基座为在内侧端面具备嵌合用突部的凸形的测流孔基座、此外使另一个测流孔基座为在内侧端面上具备嵌合用凹部的凹形的测流孔基座，上述凸形的测流孔基座的嵌合用突部以气密状嵌合在上述嵌合用凹部中测流，在凸形的测流孔基座的嵌合用突部与凹形的测流孔基座的嵌合用凹部之间以气密状插装测流孔板，所以能够更完全地防止从测流孔板的密封部向外部泄露。
此外，本发明的垫圈型测流孔由于将上游侧的测流孔基座与下游侧的测流孔基座一体地形成，在上游侧的测流孔基座的通路与下游侧的测流孔基座的通路之间设有形成有使两通路连通的测流孔口的测流孔部，所以完全没有从测流孔部向外部泄露。
此外，本发明的垫圈型测流孔由于分别在一个测流孔基座与中间测流孔基座之间以及另一个测流孔基座与中间测流孔基座之间以气密状插装测流孔板，将两测流孔基座中的位于下游侧的测流孔基座的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座及中间测流孔基座的外径大，将位于下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分作为密封面，所以成为测流孔板的密封部位于形成在位于下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分上的密封面的内方，能够完全防止从测流孔板的密封部的外部泄露。
此外，本发明的垫圈型测流孔由于在位于下游侧的测流孔基座的内侧端面的外周缘部分上形成有密封面，所以即使在形成在位于上游侧的测流孔基座的外侧端面上的密封面或测流孔板的密封部有泄露，也能够通过位于下游侧的测流孔基座的密封面防止流体向外部的泄露，所以能够将测流孔板的密封部的泄露量放松到不给流量控制带来影响的程度。
进而，本发明的垫圈型测流孔由于将两测流孔基座的外侧端面分别作为密封面，所以能够将垫圈型测流孔紧密地拧入固定在流体通路及管路中，而且密封部位也为三部位，成为密封性很好的结构。
此外，本发明的垫圈型测流孔由于使一个测流孔基座为在内侧端面上具备嵌合用突部的凸形的测流孔基座，此外使另一个测流孔基座为在内侧端面具备嵌合用凹部的凹形的测流孔基座，进而，使中间测流孔基座为在一端面具备以气密状嵌合凸形的测流孔基座的嵌合用突部的嵌合用凹部、并且在另一端面上具备以气密状嵌合在凹形的测流孔基座的嵌合用凹部中的嵌合用突部的中间测流孔基座，将测流孔板分别以气密状插装到凸形的测流孔基座的嵌合用突部与中间测流孔基座的嵌合用凹部之间以及中间测流孔基座的嵌合用突部与凹形的测流孔基座的嵌合用凹部之间，所以能够更完全地防止从测流孔板的密封部向外部泄露。
此外，本发明的垫圈型测流孔由于将上游侧的测流孔基座和中间测流孔基座、中间测流孔基座和下游侧的测流孔基座、上游侧的测流孔基座和中间测流孔基座和下游侧的测流孔基座分别一体地形成，在上游侧的测流孔基座的通路与中间测流孔基座的通路之间、中间测流孔基座的通路与下游侧的测流孔基座的通路之间、上游侧的测流孔基座的通路与中间测流孔基座的通路之间以及中间测流孔基座的通路与下游侧的测流孔基座的通路之间分别设有形成有测流孔口的测流孔部，所以完全没有从测流孔部向外部泄露。
此外，本发明的垫圈型测流孔由于将上游侧的测流孔板或测流孔部作为小流量用的测流孔板或小流量用的测流孔部，并且将下游侧的测流孔板或测流孔部作为大流量用的测流孔板或大流量用的测流孔部，所以能够通过一个垫圈型测流孔得到两个不同的流量特性。
结果，如果使用本发明的垫圈型测流孔，则与如以往那样使用两个垫圈型测流孔的压力式流量控制装置相比能够实现省空间化。
此外，本发明的垫圈型测流孔由于在下游侧的测流孔基座的外侧端面上形成凹处，将该凹处的底面作为密封面，所以能够通过凹处保护密封面，此外，如果在凹处中嵌入别的部件并密封，则凹处发挥定位功能，能够容易地进行垫圈型测流孔的对位（轴心对准）。
本发明的压力式流量控制装置由于使用有关本发明的垫圈型测流孔，所以能够实现测流孔本身的高精度化，并且能够确保测流孔安装时的气密性及可靠地防止变形，能够进行高精度的流量控制。
此外，本发明的压力式流量控制装置由于使用有关本发明的垫圈型测流孔，所以能够实现测流孔本身的高精度化，并且能够确保测流孔安装时的气密性及可靠地防止变形，能够进行高精度的流量控制。
此外，本发明的压力式流量控制装置由于设有具备小流量用的测流孔板或测流孔部及大流量用的测流孔板或测流孔部的垫圈型测流孔和切换流体的流动的切换阀，所以能够进行适当地组合了小流量用的测流孔板或测流孔部的流量控制和大流量用的测流孔板或测流孔部的流量控制的流量控制，即使是一台压力式流量控制装置的使用也能够遍及大范围的流量域进行高精度的流量控制。
附图说明
图1是组装了有关本发明的实施方式的垫圈型测流孔的状态的放大纵剖视图；
图2是将图1所示的垫圈型测流孔分解的状态的放大纵剖视图；
图3是使用图1所示的垫圈型测流孔的压力式流量控制装置的纵剖视图；
图4是图3的主要部分的放大纵剖视图；
图5是将有关本发明的另一实施方式的垫圈型测流孔组装后的状态的放大纵剖视图；
图6是将图5所示的垫圈型测流孔分解的状态的放大纵剖视图；
图7是使用图5所示的垫圈型测流孔的压力式流量控制装置的纵剖视图；
图8是图7的主要部分的放大纵剖视图；
图9是将有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔组装后的状态的放大纵剖视图；
图10是将图9所示的垫圈型测流孔分解的状态的放大纵剖视图；
图11是使用图9所示的垫圈型测流孔的压力式流量控制装置的纵剖视图；
图12是将有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔组装后的状态的放大纵剖视图；
图13是将图12所示的垫圈型测流孔分解的状态的放大纵剖视图；
图14是使用图12所示的垫圈型测流孔的压力式流量控制装置的纵剖视图；
图15表示有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔，是将上游侧的测流孔基座与下游侧的测流孔基座一体化的垫圈型测流孔的放大纵剖视图；
图16表示有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔，是将上游侧的测流孔基座与中间测流孔基座一体化的垫圈型测流孔的放大纵剖视图；
图17表示有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔，是将中间测流孔基座与下游侧的测流孔基座一体化的垫圈型测流孔的放大纵剖视图；
图18表示有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔，是将上游侧的测流孔基座、中间测流孔基座和下游侧的测流孔基座一体化的垫圈型测流孔的放大纵剖视图；
图19是以往的垫圈型测流孔的放大纵剖视图；
图20是使用以往的垫圈型测流孔的压力式流量控制装置的纵剖视图。
附图标记说明：
1：垫圈型测流孔，1a：上游侧的测流孔基座的通路，1b：上游侧的测流孔基座，1c：下游侧的测流孔基座的通路，1d：下游侧的测流孔基座，1e：测流孔部，1e′：测流孔口，1f：上游侧的测流孔基座的密封面，1g：下游侧的测流孔基座的密封面，1h：下游侧的测流孔基座的密封面，1j：中间测流孔基座的通路，1k：中间测流孔基座，1l：测流孔部，1l′：测流孔口，1m：分流通路，1o：测流孔部，1o′：测流孔口，2：凸形的测流孔基座，2a：凸形的测流孔基座的通路，2b：凸形的测流孔基座的嵌合用突部，2c：凸形的测流孔基座的密封面，3：凹形的测流孔基座，3a：凹形的测流孔基座的通路，3b：凹形的测流孔基座的嵌合用凹部，3c：凹形的测流孔基座的密封面，3d：凹形的测流孔基座的密封面，4：测流孔板，4′：小流量用的测流孔板，4″：大流量用的测流孔板，5：中间测流孔基座，5a：中间测流孔基座的通路，5b：中间测流孔基座的嵌合用凹部，5c：中间测流孔基座的嵌合用突部，5d：中间测流孔基座的分流通路，6：控制阀，7b：控制阀的下游侧的流体通路，7f：分流通路，11：压力传感器，12：控制电路，13：切换阀。
具体实施方式
以下，基于附图详细地说明本发明的实施方式。
图1至图4表示有关本发明的实施方式的垫圈型测流孔1及使用该测流孔的压力式流量控制装置。
上述垫圈型测流孔1如图1及图2所示，由在中心部具有贯通状的通路2a、在内侧端面上具备嵌合用突部2b的凸形的测流孔基座2，在中心部具有贯通状的通路3a、在内侧端面具备嵌合用凹部3b的凹形的测流孔基座3，和在中心部形成有测流孔口（图示省略）的测流孔板4构成，将凸形的测流孔基座2与凹形的测流孔基座3组合，在两测流孔基座2、3之间气密状插装测流孔板4，并且将两测流孔基座2、3的两外侧端面及单侧的测流孔基座3的内侧端面作为垫圈型测流孔1的密封面2c、3c、3d，能够防止从测流孔板4的密封部向外部的泄露。
具体而言，上述凸形的测流孔基座2如图2所示，由不锈钢材（SUS316L－P（W熔炼））形成为纵截面形状为凸形的短圆柱状，在其中心部形成有内周面形成为阶梯形的贯通状的通路2a。
此外，在凸形的测流孔基座2的内侧端面（对置于凹形的测流孔基座3的端面）上，以与通路2a同心状地突出形成有外周面形成为阶梯形的筒状的嵌合用突部2b。在该嵌合用突部2b的大径侧的外周面及嵌合用突部2b的端面上，分别形成有在与凹形的测流孔基座3的组合时发挥密封功能的环状突起2d、2d′。
进而，凸形的测流孔基座2的形成为环状的外侧端面起到作为垫圈型测流孔1的密封面2c的功能。
上述凹形的测流孔基座3如图2所示，通过不锈钢材（SUS316L－P（W熔炼））形成为纵截面形状为凹形的厚圆盘状，在其中心部形成有连通到凸形的测流孔基座2的通路2a的贯通状的通路3a。
此外，在凹形的测流孔基座3的内侧端面（对置于凸形的测流孔基座2的端面）上，以与通路3a同心状地形成有将凸形的测流孔基座2的嵌合用突部2b以气密状嵌合的嵌合用凹部3b。该嵌合用凹部3b的内周面形成为阶梯形的内周面，以使凸形的测流孔基座2的嵌合用突部2b以气密状嵌合。
进而，在凹形的测流孔基座3的外侧端面上，以与通路3a同心状地形成有圆形的凹处3e，形成在凹形的测流孔基座3的外侧端面上的凹处3e的底面起到作为垫圈型测流孔1的密封面3c的功能。上述凹处3e是用来使垫圈型测流孔1的对位（轴心对准）变得容易、并且保护密封面3c的。
并且，上述两测流孔基座2、3中的位于下游侧的测流孔基座3的外径形成得比位于上游侧的测流孔基座2的外径大，位于下游侧的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分起到作为垫圈型测流孔1的密封面3d的功能。
在该实施方式中，位于下游侧的凹形的测流孔基座3的外径形成得比位于上游侧的凸形的测流孔基座2的外径大径，凹形的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分为垫圈型测流孔1的密封面3d。
上述测流孔板4由与两测流孔基座2、3同质的不锈钢材或杂质很少的不锈钢材（NK净化Z）形成为很薄的板状，在其中心部形成有连通到两测流孔基座2、3的通路2a、3a的希望的内径的测流孔口（图示省略）。该测流孔板4的大小形成为能够收容到凹形的测流孔基座3的嵌合用凹部3b的小径部分中的程度。
另外，测流孔板4的外观形状既可以是圆形，也可以是其他形状。
上述的垫圈型测流孔1通过在凹形的测流孔基座3的嵌合用凹部3b内收容测流孔板4、将凸形的测流孔基座2的嵌合用突部2b向凹形的测流孔基座3的嵌合用凹部3b内用推力约90N的压力机（图示省略）压入、将两测流孔基座2、3以气密状一体化而形成。
此时，嵌合用突部2b的外周面以气密状密接在嵌合用凹部3b的内周面上、并且测流孔板4的两面密接在嵌合用突部2b的端面及嵌合用凹部3b的底面上，所以成为将测流孔板4以气密状插装保持在两测流孔基座2、3的内侧端面之间。此外，由于在嵌合用突部2b的外周面及端面上形成有环状突起2d、2d′，所以能够更好地确保密封性。
使用上述垫圈型测流孔1的压力式流量控制装置如图3所示，由压电元件驱动式的控制阀6，通过螺栓（图示省略）拧紧固定在控制阀6的阀体7的上游侧、形成有连通到阀体7的上游侧的流体通路7a的入口侧流体通路8a的入口侧块8，夹设在阀体7与入口侧块8之间、将两者间密封的垫圈型过滤器9，通过螺栓（图示省略）拧紧固定在控制阀6的阀体7的下游侧、形成有连通到阀体7的下游侧的流体通路7b的出口侧流体通路10a的出口侧块1，夹设在阀体7与出口侧块10之间、将两者间密封的流量控制用的垫圈型测流孔1，配设在控制阀6的阀体7上、检测垫圈型测流孔1的上游侧的压力的压力传感器11，和控制控制阀6的控制电路12等构成，一边根据垫圈型测流孔1的上游侧压力运算测流孔通过流量、一边通过控制阀6的开闭控制测流孔通过流量。
此外，在控制阀6的阀体7的下游侧端面和出口侧块10的上游侧端面上，分别形成有收容垫圈型测流孔1的测流孔收纳用凹处7c、10b。
即，形成在阀体7的下游侧端面上的测流孔收纳用凹处7c如图4所示，形成在内径在途中变化的阶梯形的凹处，在测流孔收纳用凹处7c的内径较小的部分的底面上，形成有以密接状态咬入到形成在垫圈型测流孔1的凸形的测流孔基座2的外侧端面上的密封面2c中而进行密封的环状突起7d，并且在测流孔收纳用凹处7c的内径较大的部分的底面上，形成有以密接状态咬入到形成在垫圈型测流孔1的凹形的测流孔基座3的内侧端面上的密封面3d中而进行密封的环状突起7e。
另一方面，形成在出口侧块10的上游侧端面上的测流孔收纳用凹处10b如图4所示，形成在包围出口侧块10的出口侧流体通路10a的入口侧的环状的凹处中，在测流孔收纳用凹处10b的底面上，形成有插入在形成于凹形的测流孔基座3中的圆形的凹处3e中的环状的垫圈推压用突出部10c。在该垫圈推压用突出部10c的端面上，形成有以密接状态咬入到形成在垫圈型测流孔1的凹形的测流孔基座3的外侧端面上的密封面3c中而进行密封的环状突起10d。此外，通过将该垫圈推压用突出部10c插入到凹形的测流孔基座3的凹处3e中，能够容易地进行垫圈型测流孔1的对位。
另外，在该实施方式中，将形成在垫圈型测流孔1的凸形的测流孔基座2的外侧端面上的密封面2c与形成在凹形的测流孔基座3的外侧端面上的密封面3c的距离、形成在凸形的测流孔基座2的外侧端面上的密封面2c与形成在凹形的测流孔基座3的内侧端面上的密封面3d的距离、形成在凹形的测流孔基座3的外侧端面上的密封面3c与形成在内侧端面上的密封面3d的距离、形成在阀体7的下游侧端面上的测流孔收纳用凹处7c的内径较小者的底面的深度及内径较大者的底面的深度、形成在出口侧块10的测流孔收纳用凹处10b的底面上的垫圈推压用突出部10c的高度等分别设定成在将垫圈型测流孔1收纳到阀体7及出口侧块10的测流孔收纳用凹处7c、10b内、将阀体7和出口侧块10通过螺栓拧紧固定时、在如图4所示那样A面先抵接而密封后B面抵接而密封、并且A面与测流孔板4的密封部的泄露量为1×10－ 4Pa･m3/sec以下、此外与外部泄露有关的B面与C面的泄露量为1×10－ 10Pa･m3/sec以下。但是，A面、测流孔板4的密封部、B面及C面的泄露量并不限定于这些值，根据座面，有对于泄露不严格关注的部分，也有即使不完全防止泄露也容许的情况。
上述的垫圈型测流孔1由于将凸形的测流孔基座2的外侧端面及凹形的测流孔基座3的外侧端面和凹形的测流孔基座3的内侧端面分别作为密封面2c、3c、3d，所以能够将垫圈型测流孔1紧密地拧入固定到流体通路中，而且密封部位也为三处，密封性很好。
此外，垫圈型测流孔1由于将凹形的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分作为密封面3d，所以成为测流孔板4的密封部位于形成在凹形的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分上的密封面3d的内方，能够防止从测流孔板4的密封部向外部泄露。结果，在该垫圈型测流孔1中，也可以使测流孔板4的密封部为稍稍放松的设定。但是，在此情况下，测流孔板4的密封部的泄露量需要为不给控制流量带来影响的程度。
进而，上述的压力式流量控制装置由于使用上述垫圈型测流孔1，所以能够实现测流孔1本身的高精度化，并且能够实现测流孔1的安装时的气密性的确保及可靠地防止变形，能够进行高精度的流量控制。
图5至图8表示有关本发明的另一实施方式的垫圈型测流孔1及使用该测流孔的压力式流量控制装置。
上述垫圈型测流孔1如图5及图6所示，由在中心部具有贯通状的通路2a、在内侧端面上具备嵌合用突部2b的凸形的测流孔基座2，在中心部具有贯通状的通路3a、在内侧端面具备嵌合用凹部3b的凹形的测流孔基座3，在中心部具有贯通状的通路5a、在一端面上具备嵌合用凹部5b、并且在另一端面上具备嵌合用突部5c的中间测流孔基座5，和在中心部形成有测流孔口（图示省略）的小流量用及大流量用的两片测流孔板4′、4″构成，将凸形的测流孔基座2、中间测流孔基座5和凹形的测流孔基座3组合，在凸形的测流孔基座2与中间测流孔基座5之间以及凹形的测流孔基座3与中间测流孔基座5之间分别以气密状插装测流孔板4′、4″，并且将凸形及凹形的两测流孔基座2、3的外侧端面及凹形的测流孔基座3的内侧端面分别作为密封面2c、3c、3d，能够防止从两测流孔板4′、4″的密封部向外部的泄露。
此外，该垫圈型测流孔1是通过在中间测流孔基座5上形成以分支状连通到该中间测流孔基座5的通路5a的分流通路5d、在凸形的测流孔基座2与中间测流孔基座5之间以气密状插装小流量用的测流孔板4′、并且在凹形的测流孔基座3与中间测流孔基座5之间插装大流量用的测流孔板4″来实现省空间化的。
具体而言，上述凸形的测流孔基座2如图6所示，通过不锈钢材（SUS316L－P（W熔炼））将纵截面形状形成为凸形的短圆柱状，在其中心部形成有内周面形成为阶梯形的贯通状的通路2a。
此外，在凸形的测流孔基座2的内侧端面（对置于中间测流孔基座5的端面）上，以与通路2a同心状地突出形成有外周面形成为阶梯形的筒状的嵌合用突部2b。在该嵌合用突部2b的大径侧的外周面及嵌合用突部2b的端面上，分别形成有在与中间测流孔基座5的组合时发挥密封功能的环状突起2d、2d′。
进而，凸形的测流孔基座2的形成为环状的外侧端面起到作为垫圈型测流孔1的密封面2c的功能。
上述凹形的测流孔基座3如图6所示，通过不锈钢材（SUS316L－P（W熔炼））形成为纵截面形状为凹形的厚圆盘状，在其中心部形成有贯通状的通路3a。
此外，在凹形的测流孔基座3的内侧端面（对置于中间测流孔基座5的端面）上，以与通路3a同心状地形成有中间测流孔基座5的嵌合用突部5c以气密状嵌合的嵌合用凹部3b。该嵌合用凹部3b的内周面形成为阶梯形的内周面，以使中间测流孔基座5的嵌合用突部5c气密状嵌合。
进而，在凹形的测流孔基座3的外侧端面上，以与通路3a同心状地形成有圆形的凹处3e，形成在凹形的测流孔基座3的外侧端面上的凹处3e的底面起到作为垫圈型测流孔1的密封面3c的功能。上述凹处3e用来使垫圈型测流孔1的对位（轴心对准）变得容易、并且保护密封面3c。
上述中间测流孔基座5如图6所示，通过不锈钢材（SUS316L－P（W熔炼））形成为与凸形的测流孔基座2的外径相同直径的圆柱状，在其中心部形成有连通到凸形的测流孔基座2的通路2a及凹形的测流孔基座3的通路3a的贯通状的通路5a形成。
此外，在中间测流孔基座5的一端面（对置于凸形的测流孔基座2的端面）上，以与通路5a同心状地形成有凸形的测流孔基座2的嵌合用突部2b以气密状嵌合的嵌合用凹部5b。该嵌合用凹部5b的内周面形成为阶梯形的内周面，以使凸形的测流孔基座2的嵌合用突部2b以气密状嵌合。
进而，在中间测流孔基座5的另一端面（对置于凹形的测流孔基座3的端面）上，以与通路5a同心状突出形成有以气密状嵌合到凹形的测流孔基座3的嵌合用凹部3b中的外周面形成为阶梯形的筒状的嵌合用突部5c。在该嵌合用突部5c的大径侧的外周面及嵌合用突部5c的端面上，分别形成有在与凹形的测流孔基座3的组合时发挥密封功能的环状突起5e、5e′。
除此以外，在中间测流孔基座5的周壁部分上，形成有以分支状连通到中间测流孔基座5的通路5a的分流通路5d。
并且，上述凸形的测流孔基座2及凹形的测流孔基座3中的位于下游侧的测流孔基座3的外径形成得比位于上游侧的测流孔基座2的外径大，位于下游侧的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分起到作为垫圈型测流孔1的密封面3d的功能。
在该实施方式中，位于下游侧的凹形的测流孔基座3的外径形成得比位于上游侧的凸形的测流孔基座2及中间测流孔基座5的外径大，凹形的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分为垫圈型测流孔1的密封面3d。
上述小流量用及大流量用的测流孔板4′、4″分别由与各测流孔基座2、3、5同质的不锈钢材或杂质很少的不锈钢材（NK净化Z）形成为很薄的板状，在其中心部分别形成有连通到各测流孔基座2、3、5的通路2a、3a的希望的内径的测流孔口（图示省略）。小流量用的测流孔板4′的大小设定为能够收容到中间测流孔基座5的嵌合用凹部5b的小径部分中的程度。此外，大流量用的测流孔板4″的大小设定为能够收容到凹形的测流孔基座3的嵌合用凹部3b的小径部分中的程度。
另外，两测流孔板4′、4″的外观形状也可以是圆形，或者也可以是其他形状。
上述的垫圈型测流孔1通过分别在凹形的测流孔基座3的嵌合用凹部3b内收容大流量用的测流孔板4″、此外在中间测流孔基座5的嵌合用凹部5b内收容小流量用的测流孔板4′、将凸形的测流孔基座2的嵌合用突部2b向中间测流孔基座5的嵌合用凹部5b内、此外将中间测流孔基座5的嵌合用突部5c向凹形的测流孔基座3的嵌合用凹部3b内通过推力约90N的压力机（图示省略）分别压入、使各测流孔基座2、3、5以气密状一体化而形成。
此时，由于凸形的测流孔基座2及中间测流孔基座5的嵌合用突部2b、5c的外周面分别以气密状密接在中间测流孔基座5及凹形的测流孔基座3的嵌合用凹部5b、3b的内周面上、并且各测流孔板4′、4″的两面密接在各嵌合用突部2b、5c的端面及各嵌合用凹部3b、5b的底面上，所以成为将两片测流孔板4′、4″以气密状插装保持在各测流孔基座2、3、5间。此外，由于在各嵌合用突部2b、5c的外周面及端面上分别形成有环状突起2d、2d′、5e、5e′，所以能够更好地确保密封性。
另外，图5及图6所示的垫圈型测流孔1的凸形的测流孔基座2及凹形的测流孔基座3形成为与图1及图2所示的垫圈型测流孔1的凸形的测流孔基座2及凹形的测流孔基座3相同的形状及相同的尺寸，实现了共用化。
使用上述垫圈型测流孔1的压力式流量控制装置如图7所示，由压电元件驱动式的控制阀6，配设在控制阀6的阀体7（该阀体7兼用作控制阀6的阀体和切换阀13的阀体）上、夹设在从形成在该阀体7上的下游侧的流体通路7b分支而再次合流到流体通路7b中的分流通路7f中的空气驱动式的切换阀13，通过螺栓（图示省略）拧紧固定在控制阀6的阀体7的上游侧、形成有连通到阀体7的上游侧的流体通路7a的入口侧流体通路8a的入口侧块8，夹设在阀体7与入口侧块8之间、将两者间密封的垫圈型过滤器9，通过螺栓（图示省略）拧紧固定在控制阀6的阀体7的下游侧、形成有连通到形成在阀体7上的下游侧的流体通路7b与分流通路7f的合流部位的出口侧流体通路10a的出口侧块10，位于形成在阀体7上的下游侧的流体通路7b与分流通路7f的合流部位、夹设在阀体7与出口侧块10之间、将两者间密封的流量控制用的垫圈型测流孔1，配设在控制阀6的阀体7上、检测垫圈型测流孔1的上游侧的压力的压力传感器11，和控制控制阀6及切换阀13的控制电路12等构成，一边根据垫圈型测流孔1的上游侧压力运算测流孔通过流量一边通过控制阀6的开闭控制测流孔通过流量，并且通过切换阀13的动作将流体流量的控制范围切换为小流量域和大流量域，能够进行小流量流体的流量控制和大流量流体的流量控制。
即，在进行小流量流体的流量控制的情况下，使切换阀13为封闭状态，使流体通过阀体7的下游侧的流体通路7b、凸形的测流孔基座2的通路2a、小流量用的测流孔板4′、中间测流孔基座5的通路5a、大流量用的测流孔板4″、凹形的测流孔基座3的通路3a向出口侧块10的流出通路10a流通，通过小流量用的测流孔板4′将流量Q流量控制为Q=K1P1（其中，K1是小流量用的测流孔所固有的常数，P1是垫圈型测流孔1的上游侧压力）。
此外，在进行大流量流体的流量控制的情况下，将切换阀13从封闭状态切换为开放状态，使流体通过阀体7的下游侧的流体通路7b、阀体7的分流通路7f、中间测流孔基座5的分流通路5d、中间测流孔基座5的通路5a及阀体7的下游侧的流体通路7b、凸形的测流孔基座2的通路2a、小流量用的测流孔板4′、中间测流孔基座5的通路5a向大流量用的测流孔板4″流通，通过大流量用的测流孔板4″将流量Q流量控制为Q=K2P1（其中，K2是大流量用的测流孔所固有的常数、P1是垫圈型测流孔1的上游侧压力）。
在上述控制阀6的阀体7的下游侧的流体通路7b与分流通路7f的合流部位且阀体7的下游侧端面与出口侧块10的上游侧端面上，分别形成有收容垫圈型测流孔1的测流孔收纳用凹处7c、10b。
即，形成在阀体7的流体通路7b与分流通路7f的合流部位且阀体7的下游侧端面上的测流孔收纳用凹处7c如图8所示，形成在内径在途中变化的阶梯形的凹处，在测流孔收纳用凹处7c的内径较小的部分的底面上，形成有以密接状态咬入到形成在垫圈型测流孔1的凸形的测流孔基座2的外侧端面上的密封面2c中而进行密封的环状突起7d，并且在测流孔收纳用凹处7c的内径较大的部分的底面上，形成有以密接状态咬入到形成在垫圈型测流孔1的凹形的测流孔基座3的内侧端面上的密封面3d中而进行密封的环状突起7e。
此外，测流孔收纳用凹处7c的较小的内径形成得比垫圈型测流孔1的凸形的测流孔基座2及中间测流孔基座5的外径大，在将垫圈型测流孔1插装到测流孔收纳用凹处7c内时，在测流孔收纳用凹处7c的内周面与凸形的测流孔基座2及中间测流孔基座5之间形成环状的间隙。由此，阀体7的分流通路7f和中间测流孔基座5的分流通路5d通过环状的间隙连通。
另一方面，形成在出口侧块10的上游侧端面上的测流孔收纳用凹处10b如图8所示，形成在包围出口侧块10的出口侧流体通路10a的入口侧的环状的凹处，在测流孔收纳用凹处10b的底面上，形成有插入到形成在凹形的测流孔基座3上的圆形的凹处3e中的环状的垫圈推压用突出部10c。在该垫圈推压用突出部10c的端面上，形成有以密接状态咬入到形成在垫圈型测流孔1的凹形的测流孔基座3的外侧端面上的密封面3c中而进行密封的环状突起10d。
另外，在该实施方式中，将形成在垫圈型测流孔1的凸形的测流孔基座2的外侧端面上的密封面2c与形成在凹形的测流孔基座3的外侧端面上的密封面3c的距离、形成在凸形的测流孔基座2的外侧端面上的密封面2c与形成在凹形的测流孔基座3的内侧端面上的密封面3d的距离、形成在凹形的测流孔基座3的外侧端面上的密封面3c与形成在内侧端面上的密封面3d的距离、形成在阀体7的下游侧端面上的测流孔收纳用凹处7c的内径较小的底面的深度及内径较大的底面的深度、形成在出口侧块10的测流孔收纳用凹处10b的底面上的垫圈推压用突出部10c的高度等分别设定在将垫圈型测流孔1收纳到阀体7及出口侧块10的测流孔收纳用凹处7c、10b内、将阀体7和出口侧块10通过螺栓拧紧固定时、如图8所示那样A面先接触而密封后、B面接触而密封、并且A面与各测流孔板4′、4″的密封部的泄露量为1×10－ 4Pa･m3/sec以下、此外与外部泄露有关的B面与C面的泄露量为1×10－ 10Pa･m3/sec以下。但是，A面、测流孔板4′、4″的密封部、B面及C面的泄露量并不限定于这些值，根据座面，有对泄露不严格关注的部分，也有即使不完全防止泄露也容许的情况。
上述的垫圈型测流孔1由于将凸形的测流孔基座2的外侧端面及凹形的测流孔基座3的外侧端面和凹形的测流孔基座3的内侧端面分别作为密封面2c、3c、3d，所以能够将垫圈型测流孔1紧密地拧入固定到流体通路中，而且密封部位也为三部位，密封性很好。
此外，垫圈型测流孔1由于将凹形的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分作为密封面3d，所以成为测流孔板4′、4″的密封部位于形成在凹形的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分上的密封面3d的内方，能够完全防止从测流孔板4′、4″的密封部向外部泄露。结果，在垫圈型测流孔1中，也能够使测流孔板4′、4″的密封部为稍稍放松的设定。但是，在此情况下，测流孔板4′、4″的密封部的泄露量需要设为不给控制流量带来影响的程度。
进而，垫圈型测流孔1由于在凸形的测流孔基座2与凹形的测流孔基座3之间夹设有中间测流孔基座5、在凸形的测流孔基座2与中间测流孔基座5之间以及凹形的测流孔基座3与中间测流孔基座5之间分别以气密状插装有小流量用及大流量用的测流孔板4′、4″、此外在中间测流孔基座5上形成有分支状的分流通路5d，所以能够通过一个垫圈型测流孔1得到两个不同的流量特性。结果，与使用两个垫圈型测流孔1的情况相比能够实现省空间化。
除此以外，上述的压力式流量控制装置由于设有具备小流量用的测流孔板4′及大流量用的测流孔板4″的垫圈型测流孔1和切换流体的流动的切换阀13，所以能够进行适当地组合了通过小流量用的测流孔板4′的流量控制和通过大流量用的测流孔板4″的流量控制的流量控制，能够通过一台压力式流量控制装置的使用遍及大范围的流量域进行高精度的流量控制。
图9至图11表示有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔1及使用该测流孔的压力式流量控制装置。
即，上述垫圈型测流孔1如图9所示，由在中心部具有贯通状的通路2a、将内侧端面形成为平面状的上游侧的测流孔基座2，在中心部具有贯通状的通路3a、将内侧端面形成为平面状、并且形成为比上述测流孔基座2大径的下游侧的测流孔基座3，和在中心部形成有测流孔口（图示省略）的测流孔板4构成，将测流孔板4以气密状夹持在两测流孔基座2、3的平面状的内侧端面之间，并且将两测流孔基座2、3的两外侧端面及下游侧的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分作为垫圈型测流孔1的密封面2c、3c、3d，能够防止从测流孔板4的密封部向外部的泄露。
此外，在上游侧的测流孔基座2的内侧端面及下游侧的测流孔基座3的内侧端面上，如图10所示，分别形成有当将测流孔板4夹持在两测流孔基座2、3的内侧端面之间时发挥密封功能的环状突起2e、3f。
另外，图9及图10所示的垫圈型测流孔1除了将两测流孔基座2、3的嵌合用突部2b及嵌合用凹部3b省略而将两测流孔基座2、3的内侧端面分别形成为平面状、在两测流孔基座2、3的平面状的内侧端面上形成了环状突起2e、3f以外，形成为与图1及图2所示的垫圈型测流孔1相同的构造，对于与图1及图2所示的垫圈型测流孔1相同的部件、部位赋予相同的附图标记，省略其详细的说明。
使用上述垫圈型测流孔1的压力式流量控制装置如图11所示，由压电元件驱动式的控制阀6、入口侧块8、垫圈型过滤器9、出口侧块10、流量控制用的垫圈型测流孔1（图9所示的垫圈型测流孔1）、压力传感器11及控制电路12等构成，是一边根据垫圈型测流孔1的上游侧压力运算测流孔通过流量一边通过控制阀6的开闭来控制测流孔通过流量的。
该压力式流量控制装置除了将垫圈型测流孔1代替为图9所示的结构以外，构成为与图3所示的压力式流量控制装置相同的构造，对于与图3所示的压力式流量控制装置相同的部位、部件赋予相同的附图标记，省略其详细的说明。
图9所示的垫圈型测流孔1及图11所示的压力式流量控制装置也能够起到与图1所示的垫圈型测流孔1及图3所示的压力式流量控制装置同样的作用效果。
图12至图14是表示有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔1及使用该测流孔的压力式流量控制装置的图。
上述垫圈型测流孔1如图12所示，由在中心部具有贯通状的通路2a、将内侧端面形成为平面状的上游侧的测流孔基座2，在中心部具有贯通状的通路3a、将内侧端面形成为平面状、并且形成为比上述测流孔基座2大径的下游侧的测流孔基座3，在中心部具有贯通状的通路5a、将两端面形成为平面状、并且外径与上游侧的测流孔基座2相同的中间测流孔基座5，和在中心部形成有测流孔口（图示省略）的小流量用及大流量用的两片测流孔板4′、4″构成，将位于上游侧的小流量用的测流孔板4′以气密状夹持在上游侧的测流孔基座2的内侧端面与中间测流孔基座5的一端面之间，并且将位于下游侧的大流量用的测流孔板4″以气密状夹持在下游侧的测流孔基座3的内侧端面与中间测流孔基座5的另一端面之间、将两测流孔基座2、3的外侧端面及下游侧的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分分别作为密封面2c、3c、3d、能够防止从两测流孔板4′、4″的密封部向外部的泄露。
此外，该垫圈型测流孔1在中间测流孔基座5上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座5的通路5a的分流通路5d。
进而，在上游侧的测流孔基座2的内侧端面、下游侧的测流孔基座3的内侧端面及中间测流孔基座5的两端面上，如图13所示，分别形成有在将各测流孔基座4′、4″夹持在各测流孔基座2、3、5之间时发挥密封功能的环状突起2e、3f、5f。
另外，图12及图13所示的垫圈型测流孔1除了将各测流孔基座2、3、5的嵌合用突部2b、5c及嵌合用凹部3b、5b省略、将两测流孔基座2、3的内侧端面及中间测流孔基座5的两端面分别形成为平面状、在两测流孔基座2、3的平面状的内侧端面及中间测流孔基座5的平面状的两端面上形成有环状突起2e、3f、5f以外，形成为与图5及图6所示的垫圈型测流孔1相同的构造，对于与图5及图6所示的垫圈型测流孔1相同的部件、部位赋予相同的附图标记，省略其详细的说明。
使用上述垫圈型测流孔1的压力式流量控制装置如图14所示，由压电元件驱动式的控制阀6、空气驱动式的切换阀13、入口侧块8、垫圈型过滤器9、出口侧块10、流量控制用的垫圈型测流孔1（图12所示的垫圈型测流孔1）、压力传感器11及控制电路12等构成，是一边根据垫圈型测流孔1的上游侧压力运算测流孔通过流量一边通过控制阀6的开闭控制测流孔通过流量、并且通过切换阀13的动作将流体流量的控制范围切换为小流量域和大流量域、能够进行小流量流体的流量控制和大流量流体的流量控制的装置。
该压力式流量控制装置除了将垫圈型测流孔1替换为图12所示的结构以外，构成为与图7所示的压力式流量控制装置相同的构造，对于与图7所示的压力式流量控制装置相同的部位、部件赋予相同的附图标记，省略其详细的说明。
图12所示的垫圈型测流孔1及图14所示的压力式流量控制装置也能够起到与图5所示的垫圈型测流孔1及图7所示的压力式流量控制装置同样的作用效果。
图15表示有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔1，该垫圈型测流孔1将上游侧的测流孔基座1b和下游侧的测流孔基座1d通过切削加工等由一个部件一体地形成，设在上游侧的测流孔基座1b与下游侧的测流孔基座1d之间的测流孔部1e是通过使用钻头等的切削加工开孔而形成的。
即，图15所示的垫圈型测流孔1由在中心部具有通路1a的上游侧的测流孔基座1b、连接在上游侧的测流孔基座1b上而设置且在形成得比该测流孔基座1b大径的中心部具有通路1c的下游侧的测流孔基座1d、和形成在两测流孔基座1b、1d的通路1a、1c间而形成有使上述两通路1a、1c连通到中心部的测流孔口1e′的隔壁状的测流孔部1e构成，将两测流孔基座1b、1d的外侧端面和下游侧的测流孔基座1d的内侧端面的外周缘部分分别作为密封面1f、1g、1h。
此外，在下游侧的测流孔基座1d的外侧端面上，以与通路1c同心状地形成有圆形的凹处1i，形成在测流孔基座1d的外侧端面上的凹处1i的底面起到作为垫圈型测流孔1的密封面1g的功能。
图15所示的垫圈型测流孔1也能够起到与图1所示的垫圈型测流孔1同样的作用效果。而且，该垫圈型测流孔1由于将上游侧的测流孔基座1b、下游侧的测流孔基座1d和测流孔部1e一体化，所以完全没有从测流孔部1e向外部泄露。
图16表示有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔1，该垫圈型测流孔1将上游侧的测流孔基座1b和中间测流孔基座1k通过分别切削加工等而由一个部件一体地形成，设在上游侧的测流孔基座1b与中间测流孔基座1k之间的测流孔部1l通过使用钻头等的切削加工开孔而形成。
即，图16所示的垫圈型测流孔1由在中心部具有通路1a的上游侧的测流孔基座1b，连接在上游侧的测流孔基座1b上而设置、在中心部具有通路1j的中间测流孔基座1k，在中心部具有连通到中间测流孔基座1k的通路1j的贯通状的通路3a且对置于中间测流孔基座1k的下游侧的测流孔基座3，形成在测流孔基座1b的通路1a与中间测流孔基座1k的通路1j之间、在中心部形成有使上述两通路1a、1j连通的测流孔口1l′的隔壁状的测流孔部1l，和以气密状插装在中间测流孔基座1k与下游侧的测流孔基座3之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板4″构成，将上游侧的测流孔基座1b的外侧端面及下游侧的测流孔基座3的外侧端面分别作为密封面1f、3c，并且将下游侧的测流孔基座3的外径形成为比上游侧的测流孔基座1b及中间测流孔基座1k的外径大，将下游侧的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分作为密封面3d，此外，在中间测流孔基座1k上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座1k的通路1j的分流通路1m。
进而，在中间测流孔基座1k的下游侧端面上，以与通路1j同心状地突出形成有以气密状嵌合到下游侧的测流孔基座3的嵌合用凹部3b中的外周面形成为阶梯形的筒状的嵌合用突部1n。在该嵌合用突部1n的大径侧的外周面及嵌合用突部1n的端面上，分别形成有在与下游侧的测流孔基座3的组合时发挥密封功能的环状突起（附图标记省略）。
图16所示的垫圈型测流孔1也能够起到与图5所示的垫圈型测流孔1同样的作用效果。而且，该垫圈型测流孔1由于将上游侧的测流孔基座1b、中间测流孔基座1k和上游侧的测流孔部1l一体化，所以完全没有从上游侧的测流孔部1l向外部泄露。
图17表示有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔1，该垫圈型测流孔1将中间测流孔基座1k和下游侧的测流孔基座1d通过分别切削加工等而由一个部件一体地形成，设在中间测流孔基座1k与下游侧的测流孔基座1d之间的测流孔部1o通过使用钻头等的切削加工开孔而形成。
即，图17所示的垫圈型测流孔1由在中心部具有贯通状的通路2a的上游侧的测流孔基座2，在中心部具有通路1j、对置于上游侧的测流孔基座2的中间测流孔基座1k，连接在中间测流孔基座1k上而设置、在中心部具有通路1c的下游侧的测流孔基座1d，以气密状插装在上游侧的测流孔基座2与中间测流孔基座1k之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板4′，和形成在中间测流孔基座1k的通路1j与下游侧的测流孔基座1d的通路1c之间、在中心部形成有使上述两通路1j、1c连通的测流孔口1o′的隔壁状的测流孔部1o构成，将上游侧的测流孔基座2的外侧端面及下游侧的测流孔基座1d的外侧端面分别作为密封面2c、1g，并且将下游侧的测流孔基座1d的外径形成得比上游侧的测流孔基座2及中间测流孔基座1k的外径大，将下游侧的测流孔基座1p的内侧端面的外周缘部分作为密封面1h，此外，在中间测流孔基座1k上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座1k的通路1j的分流通路1m。
此外，在中间测流孔基座1k的上游侧端面上，以与通路1j同心状地形成有以气密状嵌合上游侧的测流孔基座2的嵌合用凸部2b的嵌合用凹部1p。该嵌合用凹部1p的内周面形成为阶梯形的内周面，以使其以气密状嵌合凸形的测流孔基座2的嵌合用突部2b。
进而，在下游侧的测流孔基座1d的外侧端面，以与通路1c同心状地形成有圆形的凹处1i，形成在测流孔基座1d的外侧端面上的凹处1i的底面起到作为垫圈型测流孔1的密封面1g的功能。
图17所示的垫圈型测流孔1也能够起到与图5所示的垫圈型测流孔1同样的作用效果。而且，该垫圈型测流孔1由于将中间测流孔基座1k、下游侧的测流孔基座1d、和下游侧的测流孔部1o一体化，所以完全没有从下游侧的测流孔部1o向外部泄露。
图18表示有关本发明的再另一实施方式的垫圈型测流孔1，该垫圈型测流孔1将上游侧的测流孔基座1b、中间测流孔基座1k和下游侧的测流孔基座1d通过分别切削加工等而由一个部件一体地形成，设在上游侧的测流孔基座1b与中间测流孔基座1k之间的测流孔部1l以及设在中间测流孔基座1k与下游侧的测流孔基座1d之间的测流孔部1o通过使用钻头等的切削加工开孔而形成。
即，图18所示的垫圈型测流孔1由在中心部具有通路1a的上游侧的测流孔基座1b，连接在上游侧的测流孔基座1b上而设置、在中心部具有通路1j的中间测流孔基座1k，连接在中间测流孔基座1k上而设置、在中心部具有通路1c的下游侧的测流孔基座1d，形成在上游侧的测流孔基座1b的通路1a与中间测流孔基座1k的通路1j之间、在中心部形成有使上述两通路1a、1j连通的测流孔口1l′的隔壁状的测流孔部1l，和形成在中间测流孔基座1k的通路1j与下游侧的测流孔基座1d的通路1c之间、在中心部形成有使上述两通路1j、1c连通的测流孔口1o′的隔壁状的测流孔部1o构成，将上游侧的测流孔基座1b的外侧端面及下游侧的测流孔基座1d的外侧端面分别作为密封面1f、1g，并且将下游侧的测流孔基座1d的外径形成得比上游侧的测流孔基座1b及中间测流孔基座1k的外径大，将下游侧的测流孔基座1d的内侧端面的外周缘部分作为密封面1h，此外，在中间测流孔基座1k上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座1k的通路1j的分流通路1m。
进而，在下游侧的测流孔基座1d的外侧端面上，以与通路1c同心状地形成有圆形的凹处1i，形成在测流孔基座1d的外侧端面上的凹处1i的底面起到作为垫圈型测流孔1的密封面1g的功能。
图18所示的垫圈型测流孔1也能够起到与图5所示的垫圈型测流孔1同样的作用效果。而且，该垫圈型测流孔1由于将上游侧的测流孔基座1b、中间测流孔基座1k、下游侧的测流孔基座1d、上游侧的测流孔部1l和下游侧的测流孔部1o一体化，所以完全没有从两测流孔部1l、1o向外部泄露。
另外，在图1及图5所示的垫圈型测流孔1中，分别将凸形的测流孔基座2配置在上游侧、此外将凹形的测流孔基座3配置在下游侧、将位于下游侧的凹形的测流孔基座3的外径形成得比位于上游侧的凸形的测流孔基座2的外径大，将凹形的测流孔基座3的内侧端面的外周缘部分作为密封面3d，而在其他实施方式中，虽然没有图示，但也可以是分别将凹形的测流孔基座3配置在上游侧、此外将凸形的测流孔基座2配置在下游侧，将位于下游侧的凸形的测流孔基座2的外径形成为比位于上游侧的凹形的测流孔基座3的外径大，将凸形的测流孔基座2的内侧端面的外周缘部分作为密封面。
在图1及图5所示的垫圈型测流孔1中，将凸形的测流孔基座2、凹形的测流孔基座3及中间测流孔基座5通过不锈钢材（SUS316L－P（W熔炼））形成、将各测流孔板4、4′、4″通过与各测流孔基座2、3、5同质的不锈钢材或杂质很少的不锈钢材（NK净化Z）形成，但也可以根据处理的流体的种类来变更各测流孔基座2、3、5及各测流孔板4、4′、4″的材质。此外，图9、图12、图15至图18所示的垫圈型测流孔1的各部件的材质既可以与图1及图5所示的垫圈型测流孔1同样是不锈钢材，或者也可以根据处理的流体的种类来变更材质的种类。
在图1、图5、图9、图12、图15至图18所示的垫圈型测流孔1中，在下游侧的测流孔基座3、1d的外侧端面以与通路3a、1c同心状地形成有圆形的凹处3e、1i，形成在下游侧的测流孔基座3、1d的外侧端面上的凹处3e、1i的底面起到作为垫圈型测流孔1的密封面3c、1g的功能，而在其他实施方式中，虽然没有图示，但也可以将下游侧的测流孔基座3、1d的外侧端面形成为平面状、将该平面部分作为密封面。
在图18所示的垫圈型测流孔1中，使形成在中间测流孔基座1k上的通路1j的孔径（内径）和分流通路1m的孔径（内径）为大致相同的孔径，而在其他实施方式中，虽然没有图示，但也可以使分流通路1m的孔径向流动方向（图18的左右方向）扩大。
即，也可以在中间测流孔基座1k上形成连通到该中间测流孔基座1k的通路1j、与通路1j的长度同等程度的缝隙状的分流通路1m。分流通路1m的孔径即使较大也不会给流量控制等带来影响，所以不会特别成为问题。
如果这样使分流通路1m的孔径变大，则能够进行中间测流孔基座1k的通路1j的切削加工等，并且从内部也能够进行测流孔部1l、1o的加工等。
在图18所示的垫圈型测流孔1中，将上游侧的测流孔基座1b、中间测流孔基座1k和下游侧的测流孔基座1d通过切削加工等由一个部件一体地形成，设在上游侧的测流孔基座1b与中间测流孔基座1k之间的测流孔部1l以及设在中间测流孔基座1k与下游侧的测流孔基座1d之间的测流孔部1o通过使用钻头等的切削加工开孔形成，而在其他实施方式中，虽然没有图示，但也可以是将上游侧的测流孔基座1b、中间测流孔基座1k、和下游侧的测流孔基座1d通过切削加工等由一个部件一体地形成，在一体形成的测流孔基座1b、1k、1d内嵌入固定例如与特开2000－213667号公报的图6及图8所示的测流孔体4同样构造的测流孔部。
即，也可以是，在一体形成的测流孔基座1b、1k、1d的上游侧的测流孔配置地点附近及下游侧的测流孔配置地点附近分别形成锪孔（相当于特开2000－213667号公报的图6及图8所示的凹陷14），在各锪孔内嵌入固定由测流孔板及测流孔推压部构成的测流孔部（相当于特开2000－213667号公报的图6及图8所示的测流孔体4）。
嵌入固定在各锪孔内的测流孔部由收容在锪孔中、在中心部形成有连通到中间测流孔基座1k的通路1j的通孔的环状的测流孔推压部（相当于特开2000－213667号公报的图6及图8所示的保持器30）、和在中心部形成有使测流孔推压部的通孔与中间测流孔基座1k的通路1j连通的测流孔口的测流孔板（相当于特开2000－213667号公报的图6及图8所示的板31）构成。此外，测流孔板通过激光焊接等固定在测流孔推压部的端面上，或者夹持在锪孔的底面与收容在锪孔内的测流孔推压部之间。
并且，上述测流孔部通过焊接、压入或拧入等而嵌入固定在一体形成的测流孔基座1b、1k、1d的各锪孔中。
如果这样在一体形成的测流孔基座1b、1k、1d上形成锪孔、在该锪孔内嵌入固定由测流孔板及测流孔推压部构成的测流孔部，则成为即使在将上游侧的测流孔基座1b、中间测流孔基座1k和下游侧的测流孔基座1d通过切削加工等由一个部件一体形成的情况下也能够进行中间测流孔基座1k的通路1j等的内部加工的结构。
在图7及图14所示的压力式流量控制装置中，将位于上游侧的测流孔板4′作为小流量用的测流孔板4′、并且将位于下游侧的测流孔板4″作为大流量用的测流孔板4″，通过切换阀13的动作将流体流量的控制范围切换为小流量域和大流量域而能够进行小流量流体的流量控制和大流量流体的流量控制，但在其他实施方式中，也可以是将流通的流体向同一个通路（控制阀6的上游侧的流体通路7a及下游侧的流体通路7b、分流通路7f等）供给两种，在使一种流体流过时将切换阀13封闭而用控制阀6控制，在使另一种流体流过时将切换阀13开放而进行控制。
在图7及图14所示的压力式流量控制装置中，在从控制阀6的下游侧的流体通路7b分支并再次合流到流体通路7b中的分支通路7f中配设切换阀13，在流体通路7b与分支通路7f的合流部位配设垫圈型测流孔1，而在其他实施方式中，虽然没有图示，但也可以是，代替从控制阀6的下游侧的流体通路7b分支的分流通路7f而将来自别的流体供给线的流路（图示省略）连接到上述流体通路7b，在该连接部位配设分别连通到流体通路7b及别的流路的垫圈型测流孔1（图5、图12、图16至图18所示的垫圈型测流孔1），并且在别的流路中配设切换阀13，使流通的流体从别的流路通过切换阀13流通。
本发明能够在使用测流孔的流体设备及使用测流孔进行流体的流量控制的结构的全部流体流量控制装置中使用，主要在半导体制造及化学工业、药品工业、食品工业等的领域中使用。

Claims (21)

1. 一种垫圈型测流孔，是由在中心部具有贯通状的通路（2a）的测流孔基座（2），在中心部具有连通到上述测流孔基座（2）的通路（2a）的贯通状的通路（3a）的测流孔基座（3），和以气密状插装在两测流孔基座（2、3）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4）构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座（2、3）的外侧端面分别作为密封面（2c、3c）的垫圈型测流孔（1），其特征在于，
将上述两测流孔基座（2、3）中的位于下游侧的测流孔基座（3）的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座（2）的外径大，将位于下游侧的测流孔基座（3）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（3d）。
2. 如权利要求1所述的垫圈型测流孔，其特征在于，
使一个测流孔基座（2）为在内侧端面上具备嵌合用突部（2b）的凸形的测流孔基座（2），此外，使另一个测流孔基座（3）为在内侧端面上具备嵌合用凹部（3b）的凹形的测流孔基座（3），上述凸形的测流孔基座（2）的嵌合用突部（2b）以气密状嵌合在上述嵌合用凹部（3b）中测流。
3. 如权利要求2所述的垫圈型测流孔，其特征在于，
测流孔板（4）在中心部形成有连通到凸形的测流孔基座（2）的通路（2a）及凹形的测流孔基座（3）的通路（3a）的测流孔口，以气密状插装在凸形的测流孔基座（2）的嵌合用突部（2b）与凹形的测流孔基座（3）的嵌合用凹部（3b）之间。
4. 一种垫圈型测流孔，其特征在于，
由在中心部具有通路（1a）的上游侧的测流孔基座（1b），连接在上游侧的测流孔基座（1b）上而设置、形成为比该测流孔基座（1b）大径的在中心部具有通路（1c）的下游侧的测流孔基座（1d），形成在两测流孔基座（1b、1d）的通路（1a、1c）之间、在中心部形成有使上述两通路（1a、1c）连通的测流孔口（1e′）的隔壁状的测流孔部（1e）构成，配设在流体通路中，将两测流孔基座（1b、1d）的外侧端面和下游侧的测流孔基座（1d）的内侧端面的外周缘部分分别作为密封面（1f、1g、1h）。
5. 一种垫圈型测流孔，是由在中心部具有贯通状的通路（2a）的测流孔基座（2），在中心部具有贯通状的通路（3a）的测流孔基座（3），在中心部具有连通到上述两测流孔基座（2、3）的通路（2a、3a）的贯通状的通路（5a）、一端面对置于一个测流孔基座（2）、并且另一端面对置于另一个测流孔基座（3）的中间测流孔基座（5），以气密状插装在一个测流孔基座（2）与中间测流孔基座（5）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4′），和以气密状插装在中间测流孔基座（5）与另一个测流孔基座（3）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4″）构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座（2、3）的外侧端面分别作为密封面（2c、3c）的垫圈型测流孔（1），其特征在于，
将上述两测流孔基座（2、3）中的位于下游侧的测流孔基座（3）的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座（2）及中间测流孔基座（5）的外径大，将位于下游侧的测流孔基座（3）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（3d），此外，在上述中间测流孔基座（5）上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座（5）的通路（5a）的分流通路（5d）。
6. 如权利要求5所述的垫圈型测流孔，其特征在于，
使一个测流孔基座（2）为在内侧端面具备嵌合用突部（2b）的凸形的测流孔基座（2），此外，使另一个测流孔基座（3）为在内侧端面具备嵌合用凹部（3b）的凹形的测流孔基座（3），进而，使中间测流孔基座（5）为在一端面上具备以气密状嵌合凸形的测流孔基座（2）的嵌合用突部（2b）的嵌合用凹部（5b）、并且在另一端面上具备以气密状嵌合到凹形的测流孔基座（3）的嵌合用凹部（3b）中的嵌合用突部（5c）的中间测流孔基座（5）。
7. 如权利要求6所述的垫圈型测流孔，其特征在于，
一个测流孔板（4′）在中心部形成有连通到凸形的测流孔基座（2）的通路（2a）及中间测流孔基座（5）的通路（5a）的测流孔口，以气密状插装在凸形的测流孔基座（2）的嵌合用突部（2b）与中间测流孔基座（5）的嵌合用凹部（5b）之间。
8. 如权利要求6所述的垫圈型测流孔，其特征在于，
另一个测流孔板（4″）在中心部形成有连通到中间测流孔基座（5）的通路（5a）及凹形的测流孔基座（3）的通路（3a）的测流孔口，以气密状插装在中间测流孔基座（5）的嵌合用突部（5c）与凹形的测流孔基座（3）的嵌合用凹部（3b）之间。
9. 如权利要求5所述的垫圈型测流孔，其特征在于，
使两测流孔板（4′、4″）中的位于上游侧的测流孔板（4′）为小流量用的测流孔板（4′），并且使位于下游侧的测流孔板（4″）为大流量用的测流孔板（4″）。
10. 一种垫圈型测流孔，是由在中心部具有通路（1a）的上游侧的测流孔基座（1b），连接在上游侧的测流孔基座（1b）上而设置、在中心部具有通路（1j）的中间测流孔基座（1k），在中心部具有连通到中间测流孔基座（1k）的通路（1j）的贯通状的通路（3a）、对置于中间测流孔基座（1k）的下游侧的测流孔基座（3），形成在上游侧的测流孔基座（1b）的通路（1a）与中间测流孔基座（1k）的通路（1j）之间、在中心部形成有使上述两通路（1a、1j）连通的测流孔口（1l′）的隔壁状的测流孔部（1l），和以气密状插装在中间测流孔基座（1k）与下游侧的测流孔基座（3）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4″）构成，配设在流体通路中、将上游侧的测流孔基座（1b）的外侧端面及下游侧的测流孔基座（3）的外侧端面分别作为密封面（1f、3c）的垫圈型测流孔（1），其特征在于，
将上述下游侧的测流孔基座（3）的外径形成为比上游侧的测流孔基座（1b）及中间测流孔基座（1k）的外径大，将下游侧的测流孔基座（3）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（3d），此外，在上述中间测流孔基座（1k）上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座（1k）的通路（1j）的分流通路（1m）。
11. 如权利要求10所述的垫圈型测流孔，其特征在于，
将位于上游侧的测流孔部（1l）作为小流量用的测流孔部（1l），并且将位于下游侧的测流孔板（4″）作为大流量用的测流孔板（4″）。
12. 一种垫圈型测流孔，是由在中心部具有贯通状的通路（2a）的上游侧的测流孔基座（2），在中心部具有通路（1j）、对置于上游侧的测流孔基座（2）的中间测流孔基座（1k），连接在中间测流孔基座（1k）上而设置、在中心部具有通路（1c）的下游侧的测流孔基座（1d），以气密状插装在上游侧的测流孔基座（2）与中间测流孔基座（1k）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4′），和形成在中间测流孔基座（1k）的通路（1j）与下游侧的测流孔基座（1d）的通路（1c）之间、在中心部形成有使上述两通路（1j、1c）连通的测流孔口（1o′）的隔壁状的测流孔部（1o）构成，配设在流体通路中、将上游侧的测流孔基座（2）的外侧端面及下游侧的测流孔基座（1d）的外侧端面分别作为密封面（2c、1g）的垫圈型测流孔（1），其特征在于，
将上述下游侧的测流孔基座（1d）的外径形成为比上游侧的测流孔基座（2）及中间测流孔基座（1k）的外径大，将下游侧的测流孔基座（1d）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（1h），此外，在上述中间测流孔基座（1k）上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座（1k）的通路（1j）的分流通路（1m）。
13. 如权利要求12所述的垫圈型测流孔，其特征在于，
将位于上游侧的测流孔板（4′）作为小流量用的测流孔板（4′），并且将位于下游侧的测流孔部（1o）作为大流量用的测流孔部（1o）。
14. 一种垫圈型测流孔，是由在中心部具有通路（1a）的上游侧的测流孔基座（1b），连接在上游侧的测流孔基座（1b）上而设置、在中心部具有通路（1j）的中间测流孔基座（1k），连接在中间测流孔基座（1k）上而设置、在中心部具有通路（1c）的下游侧的测流孔基座（1d），形成在上游侧的测流孔基座（1b）的通路（1a）与中间测流孔基座（1k）的通路（1j）之间、在中心部形成有使上述两通路（1a、1j）连通的测流孔口（1l′）的隔壁状的测流孔部（1l），和形成在中间测流孔基座（1k）的通路（1j）与下游侧的测流孔基座（1d）的通路（1c）之间、在中心部形成有使上述两通路（1j、1c）连通的测流孔口（1o′）的隔壁状的测流孔部（1o）构成，配设在流体通路中、将上游侧的测流孔基座（1b）的外侧端面及下游侧的测流孔基座（1d）的外侧端面分别作为密封面（1f、1g）的垫圈型测流孔（1），其特征在于，
将上述下游侧的测流孔基座（1d）的外径形成为比上游侧的测流孔基座（1b）及中间测流孔基座（1k）的外径大，将下游侧的测流孔基座（1d）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（1h），此外，在上述中间测流孔基座（1k）上形成有以分支状连通到该中间测流孔基座（1k）的通路（1j）的分流通路（1m）。
15. 如权利要求14所述的垫圈型测流孔，其特征在于，
将位于上游侧的测流孔部（1l）作为小流量用的测流孔部（1l），并且将位于下游侧的测流孔部（1o）作为大流量用的测流孔部（1o）。
16. 如权利要求1、4、5、10、12或14所述的垫圈型测流孔，其特征在于，
形成在下游侧的测流孔基座（3、1d）的外侧端面上的密封面（3c、1g）为设在测流孔基座（3、1d）的外侧端面上的凹处（3e、1i）的底面。
17. 一种压力式流量控制装置，其特征在于，
具备：控制阀（6），配设在控制阀（6）的下游侧的流体通路（7b）中的权利要求1至4中任一项所述的垫圈型测流孔（1），配设在垫圈型测流孔（1）的上游侧、检测垫圈型测流孔（1）的上游侧压力的压力传感器（11），和控制控制阀（6）的控制电路（12），一边根据垫圈型测流孔（1）的上游侧压力运算测流孔通过流量一边通过控制阀（6）的开闭来控制测流孔通过流量。
18. 一种压力式流量控制装置，其特征在于，
具备：控制阀（6），配设在从控制阀（6）的下游侧的流体通路（7b）分支并再次合流到流体通路（7b）中的分流通路（7f）中的切换阀（13），配设在流体通路（7b）与分支通路（7f）的合流部位、分别连通到流体通路（7b）及分流通路（7f）的权利要求5至15中任一项所述的垫圈型测流孔（1），配设在垫圈型测流孔（1）的上游侧、检测垫圈型测流孔（1）的上游侧压力的压力传感器（11），和控制控制阀（6）的控制电路（12），一边根据垫圈型测流孔（1）的上游侧压力运算测流孔通过流量，一边通过控制阀（6）的开闭来控制测流孔通过流量，并且通过切换阀（13）的动作切换流体的流路。
19. 如权利要求18所述的压力式流量控制装置，其特征在于，
将垫圈型测流孔（1）的两测流孔板（4′、4″）或测流孔部（1l、1o）和测流孔板（4″、4′）、或者两测流孔部（1l、1o）中的、位于上游侧的测流孔板（4′）或测流孔部（1l）作为小流量用的测流孔板（4′）或测流孔部（1l），并且将位于下游侧的测流孔板（4″）或测流孔部（1l）作为大流量用的测流孔板（4″）或测流孔部（1o），通过切换阀（13）的动作，将流体流量的控制范围切换为小流量域和大流量域。
20. 如权利要求18所述的压力式流量控制装置，其特征在于，
将流通的流体以两种供给到同一个通路中，在使一种流体流动时，将切换阀（13）封闭而用控制阀（6）控制，在使另一种流体流动时，将切换阀（13）开放而进行控制。
21. 如权利要求18所述的压力式流量控制装置，其特征在于，
代替从控制阀（6）的下游侧的流体通路（7b）分支的分流通路（7f）而将来自别的流体供给线的流路连接到上述流体通路（7b），在该连接部位配设分别连通到流体通路（7b）及别的流路的权利要求5至15中任一项所述的垫圈型测流孔（1），并且将切换阀（13）配设到别的流路中，使流通的流体从别的流路通过切换阀（13）流通。
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