CN102213866A - 摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法。根据本发明的一实施方式的摩擦配向机的除静电装置，包括与在摩擦配向机的工作台上安装的基板的上表面接触的导电性接触部件。在摩擦配向工序中产生于基板上的静电，通过该接触部件流向外部而消失。
Description
技术领域
本发明涉及一种摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法，特别涉及一种能够去除在摩擦配向机的摩擦配向过程中产生的静电的除静电装置以及除静电方法。
背景技术
液晶显示装置(Liquid Crystal Display：LCD)耗电少、重量轻且厚度薄，因此应用于很多领域。将分别使用薄膜晶体管(Thin Film Transistor：TFT)和薄膜二极管(Thin Film Diode：TFD)作为显示像素的开关元件的液晶显示装置，分别称为薄膜晶体管液晶显示装置(TFT-LCD)和薄膜二极管液晶显示装置(TFD-LCD)。目前，这种薄膜晶体管液晶显示装置以及薄膜二极管液晶显示装置作为电视机、台式计算机或笔记本计算机的显示器以及手机等便携式终端的显示装置而广泛使用。
作为液晶显示装置的一例，说明TFT-LCD的单元(Cell)制造工序。
液晶显示装置用基板形成例如550×650mm2大小的四边形，大致在基板上形成有多个例如2～6面的相同的面板图案。在TFT-LCD的情况下，在像素部分形成有至少一个具有数微米大小的晶体管。
通常，清洗形成有液晶显示元件图案的上部基板和下部基板，并在该两基板的表面上通过印刷形成例如聚酰亚胺材质的配向膜。在刚形成配向膜的基板上产生大量的静电。
另外，对印刷有配向膜的基板进行加热塑性化而使溶剂从配向膜蒸发，从而使配向膜聚合或固化。在这种状态下的配向膜上液晶分子不向一个方向排列，因此，进行将配向膜的表面向一个方向揉磨的摩擦配向处理。即，通过旋转附着有布的圆柱形的辊子，将形成有晶体管等的基板上的配向膜向一个方向揉磨。在大部分情况下，由于摩擦配向机利用丝绒布揉摩配向膜，因此存在产生较多静电的问题。
将基板从作业台分离时，摩擦配向工序中所产生的静电引发放电而损伤形成在基板上的电极以及配向膜，严重时会损坏基板。另外，静电也会给周边设备也带来不利的影响，因此需要去除在摩擦配向工序中产生的静电。
为了去除这种在摩擦配向工序中产生的静电，以往设置静电消除器(Photo Ionizer)来预防放电并去除一部分静电。但是，静电消除装备价格高且利用放射性物质，因此存在对人体有害的问题。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而做出的，其目的在于提供一种即使不使用高价的离子风机也能够去除静电的摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法。
另外，本发明提供一种既不妨碍摩擦配向工序、也不损伤基板地能够去除静电的摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法。
本发明的其他目的通过下面叙述的优选实施例变得更加明确。
根据本发明的一实施方式的摩擦配向机的除静电装置，通过使导电性的接触部件与执行摩擦配向工序的基板上表面接触而去除静电。摩擦配向工序中产生于基板上的静电通过导电性接触部件流向基板的外部而消失。
如上所述地，根据本发明的摩擦配向机的除静电装置，使导电性的接触部件与执行摩擦配向工序的基板的上表面中的任意点(除了图案印刷部件之外)接触，能够去除静电，因此不仅结构简单，而且具有不使用高价且对人体有害的静电消除器的优点。另外，根据本发明的摩擦配向机的除静电装置使导电性的接触部件与基板的上表面接触，因此使用简单且具有提高摩擦配向工序效率的优点。
根据本发明的除静电装置可以具备一个或一个以上的如下实施例。例如，接触部件可以与基板接触或分离。接触部件与基板接触的情况相当于摩擦配向工序在进行的情况，接触部件不与基板接触的情况相当于摩擦配向工序结束或者用于不妨碍辊子移动的情况。与此同时，接触部件不是始终与基板接触而是可以选择性地接触或分离，因此，在将基板加载到工作台或者辊子移动时，不会使接触部件成为妨碍。
接触部件可以与导电性的旋转臂结合且旋转臂可以与旋转部结合。另外，旋转部通过旋转旋转臂而使接触部件位于基板上。如上所述，接触部件通过旋转部的旋转可以与基板的上表面接触或分离。另外，导电性旋转臂与接触部件一起提供可以使静电向外部流出的通路。
另外，由于旋转臂具有弹性，因此在接触部件施压于基板的上表面时，防止接触部件损伤基板。尤其是，旋转臂以及接触部件可以由像导电性MC尼龙这样的导电性塑料形成。导电性塑料的旋转臂具有一定的弹性，防止与基板接触时基板受到损伤，从而能够防止产生电弧。
旋转臂可以与升降部结合。升降部使旋转部以及旋转臂向上下移动，从而使旋转臂以及接触部件能够位于工作台的侧面。即，升降部使旋转臂可以位于高于基板上表面的位置或者位于低于基板上表面的位置。
上升的升降部下降，使得接触部件对基板的上表面施压。由此，接触部件维持与基板的上表面可靠地接触的状态。
升降部在下降时被止动部挡住而使上下移动幅度受到限制。尤其是，上升的升降部下降时，止动部使下降受到限制，从而使接触部件能够与基板的上表面正确地接触。
另外，升降部包括向侧面突出的止挡件，止动部包括挡住止挡件的减震器。减震器防止升降部的急剧下降，防止接触部件急剧下降而损伤基板。另外，通过传感器接收信号，可以掌握相对基板的升降部的位置。
根据本发明的除静电装置可以与安装有基板的工作台的侧面结合。另外，旋转部、升降部以及止动部可以由气压缸形成。
根据本发明的一实施例的摩擦配向机的除静电方法，用于辊子从工作台的一侧向另一侧移动的过程中进行摩擦配向工序的摩擦配向机中。首先，在开始摩擦工序之前，将位于工作台的一侧以及另一侧的接触部件均从基板的上表面分离。另外，使位于工作台一侧的接触部件从基板的上表面分离，以便辊子能够进入到工作台的一侧，并且使位于工作台另一侧的接触部件与基板的表上面接触，以便能够去除由摩擦配向工序产生的静电。
另外，如果辊子在工作台的一侧前进一定程度，则使位于工作台的一侧以及另一侧的接触部件均与基板的上表面接触而去除静电。另外，使位于工作台另一侧的接触部件从基板的上表面分离，以便辊子能够通过工作台的另一侧，使位于工作台一侧的接触部件维持与基板的上表面接触的状态，以便能够去除由摩擦配向工序产生的静电。最后，摩擦配向工序结束之后，使位于工作台的一侧以及另一侧的接触部件均从基板的上表面分离。
根据本发明的除静电方法，可以具备一个或一个以上的如下实施例。例如，接触部件通过上升、旋转以及下降的过程，能够与基板的上表面接触。另外，接触部件下降而与基板的上表面接触时，通过减震器能够缓和冲击。另外，接触部件与基板分离时，接触部件可以位于工作台侧面的、低于基板的位置。
本发明通过使导电性的接触部件与基板的上表面接触，去除在摩擦配向工序中产生的静电，因此能够提供一种结构简单且不需要使用高价的静电消除器的摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法。
另外，根据本发明的摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法，不仅不妨碍摩擦配向工序，而且能够防止因去除静电而使基板受到损伤。
附图说明
图1是根据本发明的一实施例的除静电装置的立体图；
图2是例示于图1的除静电装置的正视图；
图3是表示例示于图1的除静电装置分别结合在工作台的一侧以及另一侧的状态的立体图；
图4是表示例示于图1的除静电装置的接触部与基板的上表面接触的状态的图；
图5及图6是分别例示根据本发明的一实施例的除静电装置的动作待机状态的图；
图7及图8是分别例示根据本发明的一实施例的除静电装置的上升以及旋转状态的图；
图9及图10是分别例示根据本发明的一实施例的除静电装置的升降部下降过程中被止挡部挡住的状态的图；
图11至图12是分别例示根据本发明的一实施例的除静电装置的接触部件与基板上表面接触的状态的图；
图13是根据本发明的一实施例的除静电方法的流程图；
图14至图18是依次例示根据本发明的一实施例的除静电方法的图。
附图标记
10：除静电装置； 120：旋转部；
122：旋转臂； 124：接触部件；
130：升降部 132：止挡件；
140：止动部； 142：减震器；
150：传感器； 152：传感器读取部；
180：工作台； 182：基板；
184：工作台的一侧； 186：工作台的另一侧。
具体实施方式
本发明可以进行多种变换并可以具有多种实施例，在附图中例示特定的实施例，并在详细说明中进行详细的描述。但是，这并不是为了将本发明限定于特定的实施方式，应当理解为本发明包括被包含在本发明的思想以及技术范围内的所有变换、等同物以及替代物。在说明本发明时，在判断为相关公知技术的详细说明会对理解本发明的主旨影响较大的情况下，省略其详细说明。
在本申请中所使用的术语只是用于说明特定实施例，不是用于限定本发明。除了在上下文中明确表示有其他含义之外，单数也包括复数含义。在本申请中“包括”或“具有”等术语是用于指定存在记载在说明书上的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合，不应理解为事先排除一个或一个以上的其他特征、数字、阶段、动作、构成要素、部件或其组合的存在或附加可能性。
下面，参照附图详细说明根据本发明的实施例。在参照附图进行说明时，对附图中相同或对应的构成要素赋予了相同的附图标记并省略对其说明。
图1是根据本发明的一实施例的除静电装置100的立体图；图2是例示于图1的除静电装置100的正视图。另外，图3是表示例示于图1的除静电装置100分别结合在工作台180的一侧184以及另一侧186的状态的立体图；图4是例示除静电装置100与基板182的上表面接触的状态的图。
参照图1至图4，根据本发明的一实施例的除静电装置100分别与安装有基板182的工作台180的一侧184以及另一侧186的侧面相结合，除静电装置100的接触部件124根据辊子(未图示)的位置同基板182的上表面接触。接触部件124具备导电性，与接触部件124结合的旋转臂122以及升降部130也具备导电性。因此，由摩擦配向工序产生于基板182上的静电，通过接触部件124以及旋转臂122等流向基板182的外部而消失。
另外，根据本实施例的除静电装置100为了不妨碍辊子的移动，在辊子接近工作台180或者辊子脱离工作台180的情况下，接触部件124以及旋转臂122位于基板182的下方。另外，进行摩擦配向工序的过程中，旋转臂122上升及旋转，使得接触部件124维持与基板180的接触状态。如上所述，根据本实施例的除静电装置100，根据辊子位置确定是否与基板接触，因此不妨碍辊子的前进，能够顺利地进行摩擦配向工序。
根据本实施例的除静电装置100包括：与基板182的上表面接触的接触部件124，接触部件124与其一端部结合的旋转臂122，向旋转臂122提供旋转力的旋转部120，使旋转部122以及旋转臂122上下往复运动的升降部130，以及限制升降部130的下降幅度的止动部140。
接触部件124垂直于旋转臂122的长度方向而形成在旋转臂122的端部，并且与基板182的上表面接触，提供产生于基板182的静电能够向外部流出的通路。接触部件124具有导电性，可以由金属或导电性塑料等形成。另外，接触部件124由导电性塑料形成的情况下，接触部件124与基板182接触时可以防止基板182的损伤，并且，当静电产生量较多时，可以防止接触时产生电弧。
接触部件124可以由导电性塑料中的MC尼龙(mono cast nylon：浇注尼龙)形成。MC尼龙是将作为主原料的尼龙单体在大气压下聚合成形，提高尼龙特性，具有射出成形或压出成形品所没有的优异特性。MC尼龙具有不容易被有机溶剂、油脂、碱性药品侵蚀的非常良好的耐药品性，比起现有的尼龙树脂具有优异的机械强度以及耐久性。另外，由于机械强度和磁润滑性优异，因此具有可以连续使用于高速旋转以及高温的优点。
接触部件124与旋转臂122的端部结合，同旋转臂122一起成一体地上升以及旋转。
旋转臂122受到来自旋转部120的旋转力而旋转，或者通过升降部130上升以及下降，从而起到决定接触部件124的位置的作用。在旋转臂122的一端具备接触部件124，另一端与旋转部120连接。在摩擦配向工序的进行过程中需要除静电的情况下，旋转臂122如图3所示地位于工作台180的上部，从而使接触部件124能够与基板182接触。在摩擦配向工序结束、或者辊子位于工作台180的一侧184(参照图15)或者位于另一侧186(参照图17)的情况下，旋转臂122同工作台180相比位于更低的下方(参照图5以及图6)，以此使接触部件124脱离开基板182。
旋转臂122与接触部件124一样具备导电性。因此，产生于基板182的静电通过接触部件124以及旋转臂122流向基板182的外部而消失。
另外，旋转臂122由导电性塑料形成的情况下具备一定的弹性力，因此，旋转臂122有可能产生弯曲。因此，如果以在旋转臂122上能够产生稍微弯曲的程度对基板182施压，则接触部件122可靠地与基板182的上表面接触。
旋转臂122从旋转部120受到旋转力而旋转，或者通过升降部133同旋转部120一起上下运动。
旋转部120用于对旋转臂122提供旋转力，可以由液压缸或气压缸形成，或者由马达等形成。在进行摩擦配向工序的过程中需要除静电的情况下，旋转部120如图3所示地转动旋转臂122使其位于工作台180上。另外，在摩擦配向工序结束、或者辊子位于工作台180的一侧184(参照图15)或另一侧186(参照图16)的情况下，该旋转部120转动旋转臂122使其位于与工作台180的侧面平行的位置。此时，旋转臂122以及接触部件124位于低于基板180的位置。
如图3所示，旋转臂122对于基板182的相对位置由旋转部120的旋转角度决定。安装在工作台180上的基板182的大小变更或者基板182的前进方向变化的情况下，与此对应地旋转臂12取不同的旋转角，从而能够改变旋转臂122对于基板182的相对位置。
通过升降部130，旋转部120与旋转臂122一起上下往复运动。
升降部130用于使旋转部120上下往复运动，可以由液压缸、气压缸形成，或者由伺服马达、线性马达等形成。在摩擦配向工序的进行中需要除静电的情况下，升降部130如图3所示地使旋转部120以及旋转臂122上升，使旋转臂122位于工作台180上。为了使接触部件124能够与基板182接触，升降部130起到使旋转部120以及旋转臂122稍微下降的作用，此时，止动部140动作而限制升降部130的下降幅度。另外，在摩擦配向工序结束、或者辊子位于工作台180的一侧184或另一侧186的情况下，升降部130使旋转部120以及旋转臂122下降而使旋转臂122位于与工作台180的侧面的平行的位置，由此，接触部件124从基板182分离。
升降部130包括向侧面突出的止挡件132。接触部件124为了与基板182接触而先上升后下降的情况下，止挡件132被止动部140的减震器142挡住而限制升降部130的下降，防止接触部件124过度地对基板182施压，从而起到防止基板182损伤的作用。
止动部140如图2以及图4所示，形成为垂直于升降部130的长度方向。另外，止动部140按与升降部130的上下移动方向相垂直的左右方向移动，起到限制升降部130的下降移动的作用。升降部130可以由液压缸、气压缸或伺服电机、线性马达等形成。
在止动部140的端部具备减震器142。为了使接触部件124与基板182的上表面接触，减震器142如图12所示，在升降部130上升后下降时与止挡件132接触，从而限制升降部130的下降。另外，由于减震器142具备缓冲力，因此起到缓冲因升降部130下降使得接触部件124可能施加于基板182的冲击的作用。减震器142可以由液压式或气压式等多种方式实现。
下面，参照图5至图12，对根据本发明的一实施例的除静电装置100的动作进行说明。
图5及图6是分别例示除静电装置100的动作待机状态的图。另外，图7及图8是分别例示除静电装置100的升降部130上升、且旋转部120旋转而旋转臂122以及接触部件124位于基板182上的状态的图。另外，图9及图10是分别例示止动部140前进而减震器142位于止挡件132下方的状态的图。另外，图11至图12是分别例示升降部130被止动部140挡住而接触部件124与基板182接触的状态的图。
参照图5至图6，在动作待机状态下，接触部件124、旋转臂122以及旋转部120位于比基板182低的位置，旋转臂122与工作台180的侧面平行。在图5中例示了接触部件124的上端部位于比基板182低4.5mm的下方。因此，此时的接触部件124是离开基板182的上表面而位于工作台180的侧面的状态。如上所述，接触部件124离开基板182的上表面的情况，相当于如图14所示的摩擦配向工序开始之前的情况，或者如图15所示的辊子190进入到工作台180的一侧184的情况，或者如图17所示的辊子190进入到工作台180的另一侧186的情况，或者如图18所示的摩擦配向工序结束的情况。
参照图7至图8，为了使接触部件124与基板182的上表面接触，启动升降部130，使旋转部120、旋转臂122以及接触部件124上升到一定高度(例如40mm)之后，启动旋转部120而旋动旋转臂122以及接触部件124。由此，虽然使旋转臂122以及接触部件124位于基板182的上部，但不与基板182接触而是隔开一定距离。
旋转部120的旋转角度可以根据基板182的形状以及大小等而不同。另外，旋转部120通过升降部130上升之后旋转，但这是为了防止在旋转部120不上升而旋转的情况下工作台180的侧面妨碍旋转臂122的旋转。当然，根据旋转部120的旋转方向，有可能升降部130以及旋转部120同时动作，使得旋转臂122的上升以及旋转同时进行。
在升降部130的一侧具备传感器150，在升降部130的侧面向传感器150方向突出地形成有传感器读取部152。因此，如果升降部130动作而上升，则传感器读取部152也一起上升，传感器150识别出该传感器读取部152的上升而能够掌握升降部130的当前的高度。
参照图9至图10可以知道，如果通过升降部130结束旋转部120、旋转臂122以及接触部124的上升，则接触部件124的下端部和基板182之间形成一定间距(例如，11.7mm)。另外，如果通过升降部130的升降运动中断，则止动部140启动使减震器142向升降部130方向移动，减震器142位于止挡件132的下方。此时，由于旋转部120不动作，因此旋转臂122以及接触部件124相对于基板182的平面上的位置不变化，只有垂直方向的高度在变化。
参照图11至图12，升降部130动作使得旋转部120、旋转臂122以及接触部件124下降。升降部130的下降幅度可以稍大于图9中的接触部件124的端部和基板182的上表面之间的间隔。例如，在图9中，接触部件124的端部和基板182的上表面隔开11.7mm，但在图11中，升降部130下降12mm，接触部件124对基板182的上表面施压，从而旋转臂122产生弯曲。因此，接触部件124与基板182的上表面可靠地接触，能够去除静电。
升降部130下降时，在升降部130的侧面突出的止挡件132被减震器142挡住，从而限制升降部130的移动。另外，减震器142使进行下降移动的升降部130逐渐地停止，从而能够防止基板182在与接触部件124的接触过程中受到损伤。
另外，如图12所示，升降部130因止动部140而停止在一定高度时，传感器150能够检测到接触部件124与基板182的上表面接触。另外，接触部件124与基板182的上表面接触时，因摩擦配向工序而产生的静电通过接触部件124以及旋转臂122流向外部而消失。
下面，参照图13至图18，对根据本发明的一实施例的除静电方法进行说明。
图13是例示根据本发明的一实施例的除静电方法的流程图。另外，图14是例示辊子190进入到工作台180之前的状态的图；图15是例示辊子180进入到工作台180的一侧184的状态的图。另外，图16是例示摩擦配向工序正在进行中的状态的图；图17是例示辊子190进入到工作台180的另一侧186的状态的图。另外，图18是例示辊子190从工作台180分离，摩擦配向工序结束的状态的图。
参照图13至图18，根据本发明的一实施例的摩擦配向机的除静电方法，适用于辊子190从基板182的一侧向另一侧方向相对移动的同时进行摩擦配向工序的摩擦配向机，如图3所示，在工作台180的一侧184以及另一侧186上分别具备除静电装置100。
为了去除产生于摩擦配向工序的工作台180的静电，在位于工作台180的一侧184以及另一侧186的除静电装置100的接触部件124均与基板182的上表面分离的状态(参照图5至图6)、即动作待机状态下，将基板182加载到工作台180上。另外，用于摩擦配向工序的辊子190位于离开工作台180的位置。如上所述的状态例示于图14。在图14中，分别位于工作台180的一侧184以及另一侧186的除静电装置100的接触部件124从基板182的上表面分离，因此辊子190能够进入到工作台180的一侧184。
另外，参照图15，辊子190进入工作台180的一侧184而开始摩擦配向工序，但此时位于基板182的一侧184的除静电装置100的接触部件124，从基板182的上表面分离，位于另一侧186的除静电装置100的接触部件124与基板182的上表面接触。因此，位于基板182的另一侧186的除静电装置100能够去除因摩擦配向工序产生的静电。
位于工作台180的另一侧186的除静电装置100的接触部件124，可以在辊子190开始进行对基板182的摩擦配向工序之前与基板182接触。位于基板182的另一侧的除静电装置100如上所述地处于动作待机状态，之后因升降部130的上升、旋转部120的旋转以及止动部140的动作、升降部130的下降，使得接触部件124与基板182接触。
另外，使辊子190从工作台180的一侧184向另一侧186方向做相对移动，同时执行摩擦配向工序。相对于工作台180的辊子190的位置变化可以通过以下方式实现，即固定工作台180而移动辊子190，或者固定辊子190而移动工作台180。
即使进行了摩擦配向工序，但如图16所示，如果辊子180在工作台180的一侧184离开一定距离，则位于工作台180的一侧184以及另一侧186的接触部件124均与基板182的上表面接触(参照图3)。因此，由摩擦配向工序产生的静电通过分别位于工作台180的一侧184以及另一侧186的除静电装置100的接触部件124流向基板182的外部而消失。
另外，如图17所示，辊子190向工作台180的另一侧186方向前进，在结束摩擦配向工序之前，使位于工作台180的另一侧186的接触部件124从基板182的上表面分离，并且，使位于工作台180的一侧184的接触部件124与基板182的上表面接触。
最后，如图18所示，结束摩擦配向工序之后，将位于工作台180的一侧184以及另一侧186的除静电装置100的接触部件124均从基板182的上表面分离。
在上面参照本发明的优选实施例来进行了说明，但具有本发明的所属技术领域的通常知识的技术人员应当理解，在不脱离记载在权利要求书中的本发明的思想以及领域的范围内，可以对本发明进行各种修改以及变更。
Claims (11)
1.一种摩擦配向机的除静电装置，其安装在摩擦配向机的工作台侧面，其特征在于，该除静电装置包括：
接触部件，其与在摩擦配向机的工作台上安装的基板的上表面接触且具有导电性；
旋转臂，具有导电性，在其端部形成有上述接触部件；
旋转部，旋转上述旋转臂，从而使上述接触部件与基板的上表面接触；以及
升降部，使上述旋转臂以及上述旋转部能够上下移动，
其中，上述旋转部以及上述升降部根据上述除静电装置和辊子的相对位置，使上述接触部件与基板接触，或者使上述接触部件和上述旋转臂位于基板的下方。
2.如权利要求1所述的摩擦配向机的除静电装置，其特征在于，
上述旋转臂具有弹性。
3.如权利要求2所述的摩擦配向机的除静电装置，其特征在于，
上述接触部件以及上述旋转臂由导电性的浇注尼龙形成。
4.如权利要求1所述的摩擦配向机的除静电装置，其特征在于，
上述升降部的下降使上述接触部件对基板的上表面施压。
5.如权利要求1所述的摩擦配向机的除静电装置，其特征在于，
上述升降部在下降时被止动部挡住，使得上下移动幅度受到限制。
6.如权利要求5所述的摩擦配向机的除静电装置，其特征在于，
上述升降部包括向其侧面突出的止挡件，
上述止动部包括挡住上述止挡件的减震器。
7.如权利要求5所述的摩擦配向机的除静电装置，其特征在于，
上述旋转部、上述升降部以及上述止动部由气压缸形成。
8.一种摩擦配向机的除静电方法，辊子从工作台的一侧向另一侧移动的同时进行摩擦配向工序，其特征在于，该除静电方法包括：
在摩擦配向工序开始之前，将位于工作台的一侧以及另一侧的接触部件均从基板的上表面分离的步骤；
使位于工作台一侧的接触部件从基板的上表面分离，使位于工作台另一侧的接触部件与基板的上表面接触的步骤；
使位于工作台的一侧以及另一侧的接触部件均与基板的上表面接触的步骤；
使位于工作台另一侧的接触部件从基板的上表面分离，使位于工作台一侧的接触部件与基板的上表面接触的步骤；以及
摩配向擦工序结束之后，使位于工作台的一侧以及另一侧的接触部件均从基板的上表面分离的步骤。
9.如权利要求8所述的摩擦配向机的除静电方法，其特征在于，
上述接触部件通过上升、旋转以及下降的过程，与基板的上表面接触。
10.如权利要求9所述的摩擦配向机的除静电方法，其特征在于，
上述接触部件下降而与基板的上表面接触时，通过减震器来缓和冲击。
11.如权利要求8所述的摩擦配向机的除静电方法，其特征在于，
上述接触部件从基板分离时，上述接触部件位于工作台侧面的、低于基板的位置。
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