JPH1124080A

JPH1124080A - ラビング処理方法及び装置

Info

Publication number: JPH1124080A
Application number: JP17593797A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Ishikawa; 岳史石川; Koji Idogaki; 孝治井戸垣; Masao Nagakubo; 雅夫永久保
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1997-07-01
Filing date: 1997-07-01
Publication date: 1999-01-29

Abstract

(57)【要約】【課題】ラビング処理中に発生する静電気を除去可能
なラビング処理方法及び装置を提供する。【解決手段】ローラ１の外周面に貼り付けられたラビ
ング用布３に、リード線８によって接地された第１導電
性部材７を接触させた状態で、ローラ１を回転させ、基
板４上面に形成された樹脂膜５をラビング用布３で擦り
付けて、樹脂膜５に配向付けをする。この結果、ラビン
グ用布３表面に発生した静電気は、第１導電性部材７に
よって除去され、放電時に樹脂膜５の配向を乱す等の静
電気による悪影響を抑制することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、基板表面に形成
された樹脂膜に配向付けを行うラビング処理方法及び装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置に使われる液晶表示パネル
は、ガラスやフィルム等の基板を互いに平行に配置し、
それらの間にＴＮ液晶、ＦＬＣ（強誘電性液晶）、ＡＦ
ＬＣ（反強誘電性液晶）、ＰＤＬＣ（高分子分散液晶）
等の液晶表示素子を封入して構成されている。そして、
それらの基板の間に封入された液晶表示素子分子の軸を
所定の方向に向かせるため、基板の互いに対抗する面に
ポリイミド、ポリビニルアルコール等の樹脂膜を形成
し、この樹脂膜にラビング処理を施して配向付けが行わ
れる。このラビング処理とは、外周面全体が布で覆われ
たローラを回転させ樹脂膜表面を一定方向に擦る処理の
ことをいい、これにより、樹脂膜を形成している高分子
の主鎖がその一定方向に延伸されて配向付けられる。

【０００３】具体的には、例えば図３に示すように、上
面に樹脂膜５が形成された基板４を移動ステージ６上に
配置し、外周面にラビング用布３が貼付けられた円筒形
のローラ１を時計周りに回転させた状態で、ラビング用
布３を樹脂膜５に接触させ、移動ステージ６を左方から
右方へ移動させる。この様にして、ローラ１に貼付けら
れたラビング用布３で樹脂膜５を擦り、樹脂膜５に配向
付けを行っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、ラビング処理
は、ラビング用の布と配向付けを行おうとする樹脂膜と
を擦り合わせるものであるため、ラビング用布表面及び
樹脂膜表面には静電気が発生し、蓄積されやすい。そし
て、このように静電気が蓄積されると、それが放電する
際に樹脂膜の配向を乱したり、塵芥を吸着したりといっ
た悪影響が樹脂膜に及び、液晶表示パネルの製造歩留り
を低下させるという問題があった。

【０００５】一方、こうした静電気の発生を抑えるた
め、特開平２−２７５９６号公報には、ラビング用の布
とその布をローラに接着する接着材料とを導電性材料で
形成すると共に、そのローラを接地するという方法が示
されている。しかし、この方法では、布の選択幅が狭ま
り、最適な配向付けを行うための条件が制約を受けると
いう問題がある。

【０００６】また、周囲の湿度を高くする方法もある
が、過度に高い湿度は結露を招き、ラビング処理を妨害
する畏れもあるため、あまり高くはできない。本発明
は、こうした問題に鑑みなされたものであり、ラビング
処理中に発生する静電気を除去できるラビング処理方法
及び装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段及び発明の効果】上記の目
的を達成するためになされた本発明のラビング処理方法
では、接地された導電性部材を、ローラに貼付けられた
ラビング用布及び配向付けを行おうとする樹脂膜周囲の
基板上面の少なくとも一方に接触させながら、ラビング
処理を行う。

【０００８】このようにしても、ラビング用布を巻き付
けたローラを回転させ、ラビング用布と樹脂膜とを擦り
合わせることには変わりがなく、ラビング用布及び樹脂
膜にはそれぞれ静電気が発生する。しかし、接地された
導電性部材がラビング用布及び樹脂膜周囲の基板上面の
少なくとも一方に接触しているので、静電気はその導電
性部材を通して逃げることができ、樹脂膜の配向に悪影
響を及ぼす程度にまでラビング用布や樹脂膜表面に蓄積
されることがなくなる。

【０００９】この結果、ラビング用布や樹脂膜表面等に
塵芥を吸着させたり、放電する際に樹脂膜の配向を乱し
たりといった静電気による悪影響を緩和することがで
き、液晶表示パネルの製造歩留まりを向上させることが
できる。この様な本発明のラビング処理方法は、従来の
ラビング処理装置に対して、更に、接地された導電性部
材を追加することにより容易に実施することができる。

【００１０】すなわち、請求項２に記載のように、接地
された第１導電性部材をラビング用布に接触させた状態
でラビング処理を行えばよく、その結果、ラビング用布
に発生した静電気を第１導電性部材を通して逃がすこと
ができる。そして、ラビング用布表面に塵芥を吸着させ
たり、樹脂膜を通って放電した時に樹脂膜の配向を乱し
たりする等の静電気による悪影響を少なくすることがで
き、液晶表示パネルの製造歩留まりを向上させることが
できる。

【００１１】また、請求項３に記載のように、接地され
た第２導電性部材を樹脂膜周囲の基板上面に接触させた
状態でラビング処理を行ってもよく、樹脂膜に発生した
静電気を第２導電性部材を介して逃がすことができる。
そして、樹脂膜表面に塵芥を吸着させたり、放電する際
に樹脂膜の配向を乱したりする等の静電気による悪影響
を緩和することができ、液晶表示パネルの製造歩留まり
を向上させることができる。

【００１２】なお、このようにすると、樹脂膜で発生し
た静電気だけでなく、樹脂膜周囲の基板上面、すなわち
基板上面であって樹脂膜が形成されていない部分におけ
る静電気の発生を抑制すると共に、そこで発生した静電
気をも逃がしやすくするという効果も得られる。そし
て、基板上面に塵芥を吸着させたり、樹脂膜の通じて放
電した時に樹脂膜の配向を乱したり静電気による悪影響
を低減することができ、液晶表示パネルの製造歩留まり
を向上させることができる。

【００１３】また、請求項４に記載のように、接地され
た第１導電性部材をラビング用布に接触させると共に、
接地された第２導電性部材を樹脂膜周囲の基板上面に接
触させた状態でラビング処理を行えば、さらに静電気を
逃がしやすくなり、より一層静電気による悪影響を緩和
することができ、液晶表示パネルの製造歩留まりを向上
させることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施例を図と
共に説明する。図１（ａ）は、第１実施例のラビング装
置の構成の概略を示す図である。なお、図３に示した従
来のラビング装置の構成部材と同一の構成部材に対して
は、同一の符号を付してある。

【００１５】図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、
本実施例のラビング装置は、ローラ１と、ラビング用布
３と、第１導電性部材７と、移動ステージ６とを備え
る。ローラ１は円筒形であり、回転駆動可能である。ラ
ビング用布３はナイロンを素材とし、両面接着テープ２
を介してローラ１外周面全体を覆うように貼り付けられ
ている。

【００１６】第１導電性部材７はアルミ箔であり、ラビ
ング用布３に接触するように配置され、リード線８によ
って接地されている。アルミ箔は軽いため、ローラ１の
回転駆動に及ぼす摩擦力は少ない。なお、ローラ１を回
転駆動させる際、第１導電性部材７は、ローラ１に巻き
付く等ローラ１の回転を阻害することの無いように配置
される必要があり、本実施例では、図１（ａ）及び図１
（ｂ）に示すように、ローラ１の回転方向とは反対方向
に、第１導電性部材７を曲げてあるため巻き付くことは
ない。

【００１７】移動ステージ６は金属製で接地されてお
り、図１（ａ）において左右に移動することができる。
移動ステージ６上面は平らに形成され、基板４は、この
上面に、樹脂膜５が形成された面を上にして置かれる。
次に、ラビング処理の手順について、図１（ａ）に基づ
いて説明する。

【００１８】まず、樹脂膜５が形成された基板４を移動
ステージ６の上に載置し、ローラ１を所定の回転速度で
右回りに回転させる。次に、基板４の右端がローラ１の
下に来るように移動ステージ６を移動し、所定の押し込
み量になるようにラビング用布３と基板４とを近付けて
接触させる。この押し込み量とは、ラビング用布３と樹
脂膜５とを近付け、初めて接触する距離から更にどれだ
け近付けたかを示す量をいう。そして、移動ステージ６
を、左方から右方へ所定の速度で移動させ、基板４の左
端がローラ１の下に到達したら、ローラ１と移動ステー
ジ６を離す。以上が一回のラビングであり、これを所定
回数繰り返す。

【００１９】発明者は、第１実施例のラビング装置を使
用し、次のような条件（以下、ラビング条件という）、１．ローラ回転数：５００ｒｐｍ２．ステージ移動速度：３３．３ｍｍ／ｓｅｃ３．押し込み量：０．３５ｍｍ４．ラビング回数：６回の下で、樹脂膜５としてポリイミド膜を採用（以下、同
様）し、ラビング処理を行って、その効果を検討した。
なお、この時の環境は、湿度４０％、常温であった。

【００２０】樹脂膜５の配向具合は、複屈折率Δｎと樹
脂膜５の膜厚ｄとの積Δｎｄによって評価される。ここ
では、ラビング処理前後のΔｎｄを測定し、Δｎｄ変化
を見積もることによって、ラビング処理の効果を調べ
た。表１に、１００ｍｍ角基板内の９点で測定したΔｎ
ｄ変化の最大値、最小値、及び平均値を、従来のラビン
グ装置を用いた場合（第１比較例とする）と並べて示
す。本実施例のラビング装置によれば、Δｎｄ変化の最
大値と最小値との差が低減している。即ち、より均一に
樹脂膜５が配向付けられているのである。

【００２１】

【表１】

【００２２】このように、接地された第１導電性部材７
をラビング用布３に接触させることによって、ラビング
用布に蓄積された静電気を逃がして静電気による悪影響
を抑制可能とし、均一な配向付けを行うことができ、液
晶パネルの製造歩留まりを向上させることができる。

【００２３】次に発明者は、第２実施例として、湿度６
５％の環境において、第１実施例と同じラビング装置及
びラビング条件でラビング処理を行った。表２に、第１
実施例と同様に１００ｍｍ角基板内の９点で測定したΔ
ｎｄ変化の最大値、最小値、及び平均値を、従来のラビ
ング装置を用いた場合（第２比較例とする）と並べて示
す。湿度を高くした場合においても、従来のラビング装
置と比較して、Δｎｄ変化の最大値と最小値との差が低
減していることが分かる。また、湿度４０％の場合と比
較しても、Δｎｄ変化の最大値と最小値との差が低減し
ていることが分かる。

【００２４】

【表２】

【００２５】なお、湿度７５％の環境において、同様の
ラビング条件でラビング処理を行ったところ、樹脂膜５
表面に結露した。従って、湿度は７５％以下に設定する
必要があることが分かる。以上のように、適度な高さの
湿度を保つことによって静電気の発生を抑えることがで
き、静電気による悪影響をより効果的に抑制することが
できるのである。

【００２６】さらに発明者は、第３実施例として、図２
に示すように、第２導電性部材９として導電性テープを
基板４上面及び移動ステージ６に跨るように貼付け、ラ
ビング処理を行った。第２導電性部材９は、移動ステー
ジ６に接触することによって接地される。ここでのラビ
ング条件、温度、湿度等の条件や使用したラビング装置
は、第１実施例と同様であるので省略する。

【００２７】こうしてラビング処理を行い、１００ｍｍ
角基板内の９点で測定したΔｎｄ変化の最大値、最小
値、及び平均値を、第１実施例のラビング装置を使用し
てラビング処理したものと並べて、表３に示す。第１実
施例と比べて、最大値と最小値との差がより小さくなっ
ているのが分かる。

【００２８】

【表３】

【００２９】この様に、接地された第２導電性部材９を
基板４上面に接触させることによって、より効果的に静
電気を逃がして、静電気による悪影響を抑制することが
できる。そして、より均一に樹脂膜に対して配向付けを
行うことができ、液晶パネルの製造歩留まりを向上させ
ることができる。

【００３０】以上、本発明の一実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定される物ではなく、種々
の態様を取ることができる。例えば、上記実施例ではラ
ビング用布３の素材としてナイロンを用いているが、ラ
ビング用布３が導電性である必要はないため、コット
ン、レーヨン等の様々な素材のものが考えられ、最適な
ラビング用布を幅広く選択することができる。

【００３１】また、上記実施例では第１導電性部材７の
材料としてアルミニウムを使用しているが、これに限る
必要ななく、ステンレスや銅等の金属はもちろんのこ
と、カーボン繊維製の布等、金属に限らず導電性の物質
であれば何でも良い。また、上記実施例では第１導電性
部材７として箔が採用されているが、ラビング用布３表
面に発生した静電気を除去できるような形態のものであ
ればどのようなものでも良い。例えば、第１導電性部材
を薄板状のものとしてラビング布に接触させても良い
し、回転可能なローラ状のものとしても良い。第１導電
性部材をローラ状のものとした場合、これをさらに回転
駆動可能とすれば、第１導電性部材がラビング用布３に
及ぼす摩擦抵抗を減少させることができ、ローラ１の回
転を妨げないので好ましい。

【００３２】また、上記実施例では、第２導電性部材９
として導電性テープを用いたが、例えば、導電性の薄板
で構成された板ばね等の付勢手段で、基板４を移動ステ
ージ６に押さえ付けて固定しても良い。また、上記実施
例では、ラビング用布３をローラ１外周面に貼り付ける
ために両面接着テープ２を使用したが、これに限られる
ものではなく、接着剤で貼り付けてもよい。

【００３３】なお、上記実施例では、ラビング条件、ロ
ーラ１の回転方向、移動ステージ６の移動方向を定めて
いたが、これらに限られるものでないことは明らかであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は、第１実施例のラビング装置の全体的
な構成を示す図であり、（ｂ）は、第１実施例のラビン
グ装置を構成する第１導電性部材とローラとの配置の一
例を示す図である。

【図２】第３実施例において、接地された第２導電性部
材を基板上面の一部接触させる場合の一例を示す図であ
る。

【図３】従来のラビング装置の全体的な構成を示す図で
ある。

【符号の説明】

１…ローラ３…ラビング用布４…基板５…樹脂膜７…第１導電性部材８…リード線９…第２導電性部材

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ローラの外周面に接着されたラビング用
布で、基板上面に形成された樹脂膜を擦ることにより、
該樹脂膜に配向付けをするラビング処理方法において、接地された導電性部材を、上記ラビング用布の表面及び
上記樹脂膜周囲の基板上面の少なくとも一方に接触させ
ることを特徴とするラビング処理方法。
【請求項２】ローラの外周面に接着されたラビング用
布で、基板上面に形成された樹脂膜を擦ることにより、
該樹脂膜に配向付けをするラビング処理装置において、上記ラビング用布の表面に接触し、接地された第１導電
性部材を備えたことを特徴とするラビング処理装置。
【請求項３】ローラの外周面に接着されたラビング用
布で、基板上面に形成された樹脂膜を擦ることにより、
該樹脂膜に配向付けをするラビング処理装置において、上記樹脂膜周囲の基板上面に接触し、接地された第２導
電性部材を備えたことを特徴とするラビング処理装置。
【請求項４】ローラの外周面に接着されたラビング用
布で、基板上面に形成された樹脂膜を擦ることにより、
該樹脂膜に配向付けをするラビング処理装置において、上記ラビング用布の表面に接触し、接地された第１導電
性部材と、上記樹脂膜周囲の基板上面に接触し、接地された第２導
電性部材と、を備えたことを特徴とするラビング処理装
置。