JP2001337327A - 静電気発生防止装置およびラビング処理装置ならびに液晶パネルの製造方法 - Google Patents
静電気発生防止装置およびラビング処理装置ならびに液晶パネルの製造方法Info
- Publication number
- JP2001337327A JP2001337327A JP2001166933A JP2001166933A JP2001337327A JP 2001337327 A JP2001337327 A JP 2001337327A JP 2001166933 A JP2001166933 A JP 2001166933A JP 2001166933 A JP2001166933 A JP 2001166933A JP 2001337327 A JP2001337327 A JP 2001337327A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- rubbing
- liquid crystal
- crystal panel
- static electricity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガラス基板における静電気の発生を防止し、
液晶表示装置の表示の均一化を図り、しかも、ガラス基
板の次工程への円滑な移動を可能にする。 【解決手段】 ガラス基板２を吸着プレート３からガラ
ス突き上げピン４によって剥離する際、接地された導電
性の電極１をガラス基板２のＩＴＯ面に接触させてお
き、剥離帯電により発生する静電気をアースに落し、静
電気によるガラス基板２におけるＩＴＯパターン間の放
電を防止して、配向膜の破壊を防止する。剥離後には、
電極１をガラス基板２の搬送に邪魔のならない位置に上
方移動させる。
液晶表示装置の表示の均一化を図り、しかも、ガラス基
板の次工程への円滑な移動を可能にする。 【解決手段】 ガラス基板２を吸着プレート３からガラ
ス突き上げピン４によって剥離する際、接地された導電
性の電極１をガラス基板２のＩＴＯ面に接触させてお
き、剥離帯電により発生する静電気をアースに落し、静
電気によるガラス基板２におけるＩＴＯパターン間の放
電を防止して、配向膜の破壊を防止する。剥離後には、
電極１をガラス基板２の搬送に邪魔のならない位置に上
方移動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネルのガラス基
板を吸着プレートによって保持した状態で、各種処理を
施す液晶パネルの製造過程に用いられる静電気発生防止
装置およびラビング処理装置ならびに液晶パネルの製造
方法に関するものである。
板を吸着プレートによって保持した状態で、各種処理を
施す液晶パネルの製造過程に用いられる静電気発生防止
装置およびラビング処理装置ならびに液晶パネルの製造
方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶表示装置を構成する液晶パネ
ルの製造過程において、液晶パネルを構成するガラス基
板を吸着プレートから剥離する際、あるいはガラス基板
に対するラビング処理中において、ガラス基板に静電気
が発生することを防止するために、次の方式等が採用さ
れていた。 （１）イオナイザーを設置する。 （２）剥離スピードを遅くする。 （３）基板における片方の端面だけ持ち上げ、他端面は
吸着プレートに接しておき、次にその他端面を持ち上げ
る。
ルの製造過程において、液晶パネルを構成するガラス基
板を吸着プレートから剥離する際、あるいはガラス基板
に対するラビング処理中において、ガラス基板に静電気
が発生することを防止するために、次の方式等が採用さ
れていた。 （１）イオナイザーを設置する。 （２）剥離スピードを遅くする。 （３）基板における片方の端面だけ持ち上げ、他端面は
吸着プレートに接しておき、次にその他端面を持ち上げ
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の技術では除電効果が弱く、ガラス基板上のＩＴＯパ
ターン間で放電が発生し、ガラス基板上に塗布された配
向膜が破壊してしまい、液晶表示装置の表示を劣化させ
るおそれがあるという問題があった。
来の技術では除電効果が弱く、ガラス基板上のＩＴＯパ
ターン間で放電が発生し、ガラス基板上に塗布された配
向膜が破壊してしまい、液晶表示装置の表示を劣化させ
るおそれがあるという問題があった。
【０００４】本発明は、前記従来の問題を解決するもの
であり、ガラス基板における静電気の発生を防止して液
晶表示装置の表示の均一化を図り、しかも、ガラス基板
の次工程への移動を円滑に行うことができる静電気発生
防止装置およびラビング処理装置ならびに液晶パネルの
製造方法を提供することを目的とする。
であり、ガラス基板における静電気の発生を防止して液
晶表示装置の表示の均一化を図り、しかも、ガラス基板
の次工程への移動を円滑に行うことができる静電気発生
防止装置およびラビング処理装置ならびに液晶パネルの
製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、吸着プレートによりガラ
ス基板を吸着し、吸着した前記ガラス基板を保持した状
態で各種処理を施す液晶パネルの製造過程において用い
られる静電気発生防止装置であって、接地された導電性
電極が、前記吸着プレートに吸着された前記ガラス基板
に対して相対的に接離するように設置されたことを特徴
とする。
め、請求項１に記載の発明は、吸着プレートによりガラ
ス基板を吸着し、吸着した前記ガラス基板を保持した状
態で各種処理を施す液晶パネルの製造過程において用い
られる静電気発生防止装置であって、接地された導電性
電極が、前記吸着プレートに吸着された前記ガラス基板
に対して相対的に接離するように設置されたことを特徴
とする。
【０００６】請求項２に記載の発明は、吸着プレートに
よりガラス基板を吸着し、吸着した前記ガラス基板を保
持した状態で各種処理を施す液晶パネルの製造過程にお
いて用いられる静電気発生防止装置であって、接地され
た導電性電極が、前記吸着プレートに吸着された前記ガ
ラス基板が前記吸着プレートから剥離される前に前記ガ
ラス基板に接触し、かつ前記ガラス基板が前記吸着プレ
ートから剥離された後に前記ガラス基板に対して相対的
に接離するように設置されたことを特徴とする。
よりガラス基板を吸着し、吸着した前記ガラス基板を保
持した状態で各種処理を施す液晶パネルの製造過程にお
いて用いられる静電気発生防止装置であって、接地され
た導電性電極が、前記吸着プレートに吸着された前記ガ
ラス基板が前記吸着プレートから剥離される前に前記ガ
ラス基板に接触し、かつ前記ガラス基板が前記吸着プレ
ートから剥離された後に前記ガラス基板に対して相対的
に接離するように設置されたことを特徴とする。
【０００７】請求項３に記載の発明は、請求項１または
２記載の静電気発生防止装置において、接地された導電
性電極を、ガラス基板に対して接離移動するように構成
したことを特徴とする。
２記載の静電気発生防止装置において、接地された導電
性電極を、ガラス基板に対して接離移動するように構成
したことを特徴とする。
【０００８】請求項４に記載の発明は、請求項１または
２記載の静電気発生防止装置において、吸着プレート
を、導電性電極に対して接離移動するように構成したこ
とを特徴とする。
２記載の静電気発生防止装置において、吸着プレート
を、導電性電極に対して接離移動するように構成したこ
とを特徴とする。
【０００９】請求項５に記載の発明は、ラビング布が巻
き付けられたラビングローラと、前記ラビングローラと
このラビングローラの両側に備えられた一対の接地され
た導電性電極とを保持する保持体とを備え、吸着プレー
トに吸着されたガラス基板にラビング処理を施すラビン
グ処理装置であって、前記接地された一対の導電性電極
が、前記ガラス基板に対するラビング処理の際に、前記
ガラス基板にそれぞれ接触するように設置されたことを
特徴とする。
き付けられたラビングローラと、前記ラビングローラと
このラビングローラの両側に備えられた一対の接地され
た導電性電極とを保持する保持体とを備え、吸着プレー
トに吸着されたガラス基板にラビング処理を施すラビン
グ処理装置であって、前記接地された一対の導電性電極
が、前記ガラス基板に対するラビング処理の際に、前記
ガラス基板にそれぞれ接触するように設置されたことを
特徴とする。
【００１０】請求項６に記載の発明は、請求項５記載の
ラビング処理装置において、接地された一対の導電性電
極が、吸着プレートに吸着されたガラス基板に対して相
対的に接離するように設置されたことを特徴とする。
ラビング処理装置において、接地された一対の導電性電
極が、吸着プレートに吸着されたガラス基板に対して相
対的に接離するように設置されたことを特徴とする。
【００１１】請求項７に記載の発明は、液晶パネルを構
成するガラス基板に対して、ラビング布が巻き付けられ
たラビングローラを用いてラビング処理を行う工程を含
む液晶パネルの製造方法であって、請求項５または６記
載のラビング処理装置を用いてラビング処理を行うこと
を特徴とする。
成するガラス基板に対して、ラビング布が巻き付けられ
たラビングローラを用いてラビング処理を行う工程を含
む液晶パネルの製造方法であって、請求項５または６記
載のラビング処理装置を用いてラビング処理を行うこと
を特徴とする。
【００１２】前記各請求項に記載の発明の構成によれ
ば、接地された導電性電極をガラス基板のＩＴＯ面に接
触させることにより、ガラス基板に発生する静電気をア
ースに落し、ガラス基板上のＩＴＯパターン間に発生す
る放電を防止することができ、しかも、ガラス基板の移
動時には、導電性電極をガラス基板から離すことができ
るため、ガラス基板における次工程への移動が円滑にな
る。
ば、接地された導電性電極をガラス基板のＩＴＯ面に接
触させることにより、ガラス基板に発生する静電気をア
ースに落し、ガラス基板上のＩＴＯパターン間に発生す
る放電を防止することができ、しかも、ガラス基板の移
動時には、導電性電極をガラス基板から離すことができ
るため、ガラス基板における次工程への移動が円滑にな
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の好適な実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００１４】図１（ａ）〜（ｃ）は第１実施形態を説明
するための説明図であり、１は、接地されており、接触
部分がブラシ状をなす可動式導電性電極としての電極、
２は液晶パネルを構成するため公知のように一対にて液
晶を封入するガラス基板、３は、各種処理を施すためガ
ラス基板２を吸着して、ガラス基板２を保持した状態で
移動させることが可能な吸着プレート、４は吸着プレー
ト３に上下動可能に設けられたガラス突き上げピン、５
は、エアー駆動等によって動作して、前記電極を上下移
動させるスライドユニットである。
するための説明図であり、１は、接地されており、接触
部分がブラシ状をなす可動式導電性電極としての電極、
２は液晶パネルを構成するため公知のように一対にて液
晶を封入するガラス基板、３は、各種処理を施すためガ
ラス基板２を吸着して、ガラス基板２を保持した状態で
移動させることが可能な吸着プレート、４は吸着プレー
ト３に上下動可能に設けられたガラス突き上げピン、５
は、エアー駆動等によって動作して、前記電極を上下移
動させるスライドユニットである。
【００１５】この第１実施形態における装置によれば、
ガラス突き上げピン４によりガラス基板２を吸着プレー
ト３から剥離する際に、剥離帯電による静電気が発生す
るが、前記のように接地された電極１をガラス基板２の
ＩＴＯ面に接触させておくことにより、発生する静電気
をアースに落すことができる（図１（ｂ））。
ガラス突き上げピン４によりガラス基板２を吸着プレー
ト３から剥離する際に、剥離帯電による静電気が発生す
るが、前記のように接地された電極１をガラス基板２の
ＩＴＯ面に接触させておくことにより、発生する静電気
をアースに落すことができる（図１（ｂ））。
【００１６】したがって、このように静電気をアースに
落すことによって、ガラス基板２上のＩＴＯパターン間
での放電を防止することができ、ガラス基板２における
配向膜の破壊を防止することができ、よって、均一な表
示の液晶パネルを製造することができるようになる。
落すことによって、ガラス基板２上のＩＴＯパターン間
での放電を防止することができ、ガラス基板２における
配向膜の破壊を防止することができ、よって、均一な表
示の液晶パネルを製造することができるようになる。
【００１７】ガラス基板２を吸着プレート３から剥離し
た後には、スライドユニット５を動作させて電極１をガ
ラス基板２の搬送の邪魔にならない位置に上方移動させ
る（図１（ｃ））。また、次の工程で図１（ａ）の状態
にするには、スライドユニット５を逆方向へ動作させる
ことによって、電極１を下方移動させてガラス基板２の
ＩＴＯ面に接触させる。
た後には、スライドユニット５を動作させて電極１をガ
ラス基板２の搬送の邪魔にならない位置に上方移動させ
る（図１（ｃ））。また、次の工程で図１（ａ）の状態
にするには、スライドユニット５を逆方向へ動作させる
ことによって、電極１を下方移動させてガラス基板２の
ＩＴＯ面に接触させる。
【００１８】図２（ａ）〜（ｃ）は第２実施形態を説明
するための説明図であり、図１（ａ）〜（ｃ）に基づい
て説明した部材に対応する部材には同一符号を付して詳
しい説明は省略する。この第２実施形態はラビング処理
の際の静電気除去に関するものであって、１０はラビン
グ処理を行うためのラビング布を巻き付けたラビングロ
ーラ、１１は、ラビングローラ１０と、ラビングローラ
１０の両側に設置された一対の電極１とを保持する保持
体であり、この保持体１１は所定の位置に固定されてい
る。
するための説明図であり、図１（ａ）〜（ｃ）に基づい
て説明した部材に対応する部材には同一符号を付して詳
しい説明は省略する。この第２実施形態はラビング処理
の際の静電気除去に関するものであって、１０はラビン
グ処理を行うためのラビング布を巻き付けたラビングロ
ーラ、１１は、ラビングローラ１０と、ラビングローラ
１０の両側に設置された一対の電極１とを保持する保持
体であり、この保持体１１は所定の位置に固定されてい
る。
【００１９】この第２実施形態における装置によれば、
ガラス基板２を吸着プレート３によって吸着保持した状
態で、ラビングローラ１０によってラビング処理をする
際に、ガラス基板２には摩擦帯電による静電気が発生す
るが、接地された電極１をガラス基板２のＩＴＯ面に接
触させておくことにより、発生する静電気をアースに落
すことができる（図２（ｂ））。
ガラス基板２を吸着プレート３によって吸着保持した状
態で、ラビングローラ１０によってラビング処理をする
際に、ガラス基板２には摩擦帯電による静電気が発生す
るが、接地された電極１をガラス基板２のＩＴＯ面に接
触させておくことにより、発生する静電気をアースに落
すことができる（図２（ｂ））。
【００２０】ガラス基板２に対するラビング処理が終了
した後には、電極１とラビングローラ１０とに対して、
ガラス基板２を吸着プレート３と共に次工程へ移動させ
る（図２（ｃ））。
した後には、電極１とラビングローラ１０とに対して、
ガラス基板２を吸着プレート３と共に次工程へ移動させ
る（図２（ｃ））。
【００２１】このように、静電気をアースに落すことに
よって、第１実施形態の装置と同様に、ガラス基板２上
のＩＴＯパターン間での放電を防止することができ、ガ
ラス基板２における配向膜の破壊を防止することがで
き、よって、均一な表示の液晶パネルを製造することが
できるようになる。
よって、第１実施形態の装置と同様に、ガラス基板２上
のＩＴＯパターン間での放電を防止することができ、ガ
ラス基板２における配向膜の破壊を防止することがで
き、よって、均一な表示の液晶パネルを製造することが
できるようになる。
【００２２】なお、吸着プレート３上のガラス基板２と
電極１とは、相対的に接離するように構成すればよい
が、第１実施形態の装置のように、電極１をガラス基板
２に対して退避させる構成にすることによって、ガラス
基板２を次工程に移動させる際に、円滑な工程移行が行
われることになる。
電極１とは、相対的に接離するように構成すればよい
が、第１実施形態の装置のように、電極１をガラス基板
２に対して退避させる構成にすることによって、ガラス
基板２を次工程に移動させる際に、円滑な工程移行が行
われることになる。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液晶パネルの製造過程において、静電気によるガラス基
板上のＩＴＯパターン間等の放電を防止することがで
き、その配向膜の破壊を防止することができるため、均
一な表示を可能にする液晶パネルの製造を実現すること
ができる。
液晶パネルの製造過程において、静電気によるガラス基
板上のＩＴＯパターン間等の放電を防止することがで
き、その配向膜の破壊を防止することができるため、均
一な表示を可能にする液晶パネルの製造を実現すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態を説明するための説明図
である。
である。
【図２】本発明の第２実施形態を説明するための説明図
である。
である。
１ 電極 ２ ガラス基板 ３ 吸着プレート ４ ガラス突き上げピン ５ スライドユニット １０ ラビングローラ １１ 保持体
Claims (7)
- 【請求項１】 吸着プレートによりガラス基板を吸着
し、吸着した前記ガラス基板を保持した状態で各種処理
を施す液晶パネルの製造過程において用いられる静電気
発生防止装置であって、 接地された導電性電極が、前記吸着プレートに吸着され
た前記ガラス基板に対して相対的に接離するように設置
されたことを特徴とする静電気発生防止装置。 - 【請求項２】 吸着プレートによりガラス基板を吸着
し、吸着した前記ガラス基板を保持した状態で各種処理
を施す液晶パネルの製造過程において用いられる静電気
発生防止装置であって、 接地された導電性電極が、前記吸着プレートに吸着され
た前記ガラス基板が前記吸着プレートから剥離される前
に前記ガラス基板に接触し、かつ前記ガラス基板が前記
吸着プレートから剥離された後に前記ガラス基板に対し
て相対的に接離するように設置されたことを特徴とする
静電気発生防止装置。 - 【請求項３】 前記接地された導電性電極を、前記ガラ
ス基板に対して接離移動するように構成したことを特徴
とする請求項１または２記載の静電気発生防止装置。 - 【請求項４】 前記吸着プレートを、前記導電性電極に
対して接離移動するように構成したことを特徴とする請
求項１または２記載の静電気発生防止装置。 - 【請求項５】 ラビング布が巻き付けられたラビングロ
ーラと、前記ラビングローラとこのラビングローラの両
側に備えられた一対の接地された導電性電極とを保持す
る保持体とを備え、吸着プレートに吸着されたガラス基
板にラビング処理を施すラビング処理装置であって、 前記接地された一対の導電性電極が、前記ガラス基板に
対するラビング処理の際に、前記ガラス基板にそれぞれ
接触するように設置されたことを特徴とするラビング処
理装置。 - 【請求項６】 前記接地された一対の導電性電極が、前
記吸着プレートに吸着された前記ガラス基板に対して相
対的に接離するように設置されたことを特徴とする請求
項５記載のラビング処理装置。 - 【請求項７】 液晶パネルを構成するガラス基板に対し
て、ラビング布が巻き付けられたラビングローラを用い
てラビング処理を行う工程を含む液晶パネルの製造方法
であって、 請求項５または６記載のラビング処理装置を用いてラビ
ング処理を行うことを特徴とする液晶パネルの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001166933A JP2001337327A (ja) | 2001-06-01 | 2001-06-01 | 静電気発生防止装置およびラビング処理装置ならびに液晶パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001166933A JP2001337327A (ja) | 2001-06-01 | 2001-06-01 | 静電気発生防止装置およびラビング処理装置ならびに液晶パネルの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34552696A Division JP3217717B2 (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 液晶パネルの製造過程に用いられる静電気発生防止装置およびラビング処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001337327A true JP2001337327A (ja) | 2001-12-07 |
Family
ID=19009399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001166933A Pending JP2001337327A (ja) | 2001-06-01 | 2001-06-01 | 静電気発生防止装置およびラビング処理装置ならびに液晶パネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001337327A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100976397B1 (ko) * | 2010-04-12 | 2010-08-17 | 위아코퍼레이션 주식회사 | 러빙장치의 정전기 제거장치 및 제거방법 |
-
2001
- 2001-06-01 JP JP2001166933A patent/JP2001337327A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100976397B1 (ko) * | 2010-04-12 | 2010-08-17 | 위아코퍼레이션 주식회사 | 러빙장치의 정전기 제거장치 및 제거방법 |
| CN102213866A (zh) * | 2010-04-12 | 2011-10-12 | Wi-A株式会社 | 摩擦配向机的除静电装置以及除静电方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3411023B2 (ja) | 基板の組立装置 | |
| CN101669199B (zh) | 基板保持机构和具有该保持机构的基板组装装置 | |
| JP5112808B2 (ja) | 静電型補強装置 | |
| JP2000284295A (ja) | 基板の組立方法およびその装置 | |
| JP2009117441A (ja) | ワーク保持装置 | |
| JP2007094044A (ja) | 偏光板の離型膜剥離装置 | |
| JPWO2005109489A1 (ja) | ワーク除電方法及びその装置 | |
| KR20150051280A (ko) | 플렉서블 표시패널 박리 장치 및 이를 이용한 플렉서블 표시패널 박리 방법 | |
| JP2008096530A (ja) | 光学フィルム貼付け方法、光学フィルム貼付け装置、及び表示用パネルの製造方法 | |
| WO2006064596A1 (ja) | 基板の清掃装置及び清掃方法 | |
| JP2001337327A (ja) | 静電気発生防止装置およびラビング処理装置ならびに液晶パネルの製造方法 | |
| JP3217717B2 (ja) | 液晶パネルの製造過程に用いられる静電気発生防止装置およびラビング処理装置 | |
| JP2590759B2 (ja) | 偏光板貼付装置 | |
| JP2001343632A (ja) | 液晶表示素子の製造方法 | |
| JPH11305259A (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
| JPH11233599A (ja) | 吸着保持プレート | |
| JP6066861B2 (ja) | 基板洗浄装置、基板の裏面洗浄方法及び洗浄機構 | |
| JPH10206876A (ja) | 液晶表示基板 | |
| JP2000260671A (ja) | ダスト吸着用ウエハ及び半導体装置内のクリーニング方法 | |
| JP2003037156A (ja) | 吸着プレート | |
| JP3660818B2 (ja) | 基板の除電方法および除電機能付きステージ | |
| JP4517768B2 (ja) | 異物除去装置 | |
| KR100692678B1 (ko) | 액정표시장치의 편광판 제거장치 | |
| JP2000332088A (ja) | 除電機能付静電チャック及び静電チャックの除電方法 | |
| JPH07318878A (ja) | 液晶表示装置の製法およびその製造装置 |