CN102176980B - 液滴涂敷方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的技术问题在于，高精度地检测从涂敷头的喷嘴向基板的规定涂敷范围涂敷的多个液滴整体的涂敷面积，高精度地调整来自喷嘴的液滴的喷出量。在本发明的液滴涂敷方法中，在从涂敷头(5)的喷嘴(11)向基板(KA)上的规定涂敷范围(A)喷出多个液滴(E1～E5)时，使从喷嘴(11)喷出的多个液滴(E1～E5)向基板(KA)的规定涂敷范围(A)内的同一位置滴下。

Description

液滴涂敷方法及装置
技术领域
本发明涉及一种液滴涂敷方法及装置。
背景技术
以往，作为使用喷墨涂敷方法来制作滤色器用基板的技术，存在如专利文献1所记载的那样的技术，即将从涂敷头的喷嘴喷出的多个液滴(墨水)，涂敷到在基板表面上区划形成的凹部中。被涂敷到凹部的液滴干燥而在凹部内形成着色层。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平9-230129号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
为了确保通过如专利文献1所记载的技术所制作的滤色器用基板的品质，需要向基板的各凹部正确地滴下需要量的液滴，希望有对从涂敷头的各喷嘴喷出的液滴的量高精度地进行调整的技术。
在现有技术中，如图6A所示，求出从涂敷头的各喷嘴1以一定的滴下定时(滴下时间间隔)依次喷出而向检查用基板KA的规定的涂敷范围A(相当于制品用基板K的凹部的范围)滴下的多个液滴E(例如E1～E5的5滴)的涂敷面积(投影面积)，基于该涂敷面积来求出并检查液滴E1～E5的涂敷量。
但是，在现有技术中，在从涂敷头的各喷嘴1向检查用基板KA的一定的涂敷范围A喷出多个液滴E1～E5时，使检查用基板KA相对于喷嘴1以一定的移动速度v相对移动。
因此，依次滴下到检查用基板KA上的各液滴E1～E5向检查用基板KA的移动方向每次少许错位地堆积(图6B)，这些液滴E1～E5的整体成为卵形图像。
此时，即使上述的滴下定时p是一定的，相邻的液滴E1～E5的涂敷间距p也会由于检查用基板KA的移动速度的不均、或者因液滴的粘度、浓度等引起的液滴向检查用基板KA的移动方向的拖曳而变得不均。
因此，在检查用基板KA上堆积的液滴E1～E5的卵形图像，由于检查用基板KA的移动速度的不均、或者因液滴的粘度、浓度等引起的液滴向检查用基板KA的移动方向的拖曳，而长度发生变化，会损害液滴E1～E5整体的涂敷面积、进而涂敷量的检查精度。
此外，在从涂敷头的喷嘴1喷出的液滴E(例如E5)的喷出状态，如图7所示那样处于该液滴E5的喷出方向相对于铅垂线倾斜的倾斜喷出的异常状态时，液滴E1～E5整体的卵形图像的长度与正常喷出状态下的正常的卵形图像相比被扩大。然而，该正常时与异常时的图像的差异，是卵形图像的长度的简单扩大的程度的差，是难以清楚地判断的差异，很难进行喷出状态的正常与异常的判断。
本发明的技术问题在于，高精度地检测从涂敷头的喷嘴向基板的规定涂敷范围涂敷的多个液滴整体的涂敷面积，高精度地调整来自喷嘴的液滴的喷出量。
解决技术问题的技术手段
为了解决上述技术问题，本发明提供一种液滴涂敷方法，将液滴涂敷到基板上的规定涂敷范围，其特征在于，
该液滴涂敷方法具有：
对从设置于涂敷头的喷嘴喷出并涂敷到上述涂敷范围的多个液滴集中地进行摄像的工序；
基于所摄像的上述多个液滴的图像来求出这些液滴整体的涂敷面积的工序；以及
基于所求出的涂敷面积来调整来自上述喷嘴的液滴的喷出量的工序，
在从上述涂敷头的喷嘴向基板上的规定涂敷范围喷出上述多个液滴时，使从上述喷嘴喷出的上述多个液滴向上述规定涂敷范围内的同一位置滴下。
此外，本发明提供一种液滴涂敷装置，将液滴涂敷到基板上的规定涂敷范围，其特征在于，
该液滴涂敷装置具有：
移动构件，使具备喷嘴的涂敷头和基板在沿着上述基板表面的方向上相对移动；
摄像部，对从上述喷嘴喷出并涂敷到基板上的规定涂敷范围的多个液滴集中地进行摄像；
检查部，基于摄像部所摄像的上述多个液滴的图像，求出这些液滴整体的涂敷面积；以及
控制部，控制上述涂敷头、移动构件、摄像部以及检查部，
上述控制部控制上述涂敷头和上述移动构件的驱动，以便在从涂敷头的喷嘴向上述规定涂敷范围喷出多个液滴时，使从上述喷嘴喷出的上述多个液滴向上述规定涂敷范围内的同一位置滴下。
发明效果
根据本发明，能够高精度地检测从涂敷头的喷嘴向基板的规定涂敷范围涂敷的多个液滴整体的着落面积，能够高精度地调整来自喷嘴的液滴的喷出量，进而能够提高涂敷精度。
附图说明
图1是表示液滴涂覆装置的示意图。
图2是表示基板的示意图。
图3是表示检查部的检查状态的示意图。
图4A是表示从涂敷头的喷嘴喷出到同一位置的液滴的滴下状态的示意图。
图4B是依次滴下到基板上的多个液滴堆积在检查用基板上的状态的示意图。
图4C是表示多个液滴所形成的图像的示意图。
图5是表示倾斜喷出的液滴的滴下状态的示意图。
图6A是表示以往的从涂敷头的喷嘴喷出的液滴的滴下状态的示意图。
图6B是依次滴下到基板上的多个液滴向检查用基板的移动方向每次少许错位地堆积的状态的示意图。
图6C是表示向移动方向每次少许错位的多个液滴所形成的图像的示意图。
图7是表示以往的倾斜喷出的液滴的滴下状态的示意图。
具体实施方式
图1是表示液滴涂覆装置的示意图，图2是表示基板的示意图，图3是表示检查部的检查状态的示意图，图4A～图4C是表示从涂敷头的喷嘴喷出的液滴的滴下状态的示意图，图5是表示倾斜喷出的液滴的滴下状态的示意图。
[实施例]
如图1所示，液滴涂覆装置1具备：移动台2，以水平状态载放有作为涂覆对象物的制品用基板K(在图1中，基板K的表面沿着X轴方向和与其正交的Y轴方向的状态)；Y轴移动机构，保持该移动台2并使其沿Y轴方向移动；X轴移动机构4，隔着该Y轴移动机构3使移动台2沿X轴方向移动；多个涂敷头5，朝向移动台2上的基板K，将墨水等涂敷液作为液滴E进行喷出；摄像部6，对基板K上的液滴E进行摄像；检查部7，基于由该摄像部6摄像的液滴E的图像进行检查；显示部8，显示由摄像部6摄像的液滴E的图像；以及控制部9，控制这些Y轴移动机构3、X轴移动机构4、各涂敷头5、摄像部6以及检查部7等。
移动台2层叠在Y轴移动机构3上，并设置为能够沿Y轴方向移动。该移动台2通过Y轴移动机构3沿Y轴方向移动。另外，基板K通过自重而载放于移动台2，但不限于此，例如也可以为了保持该基板K而设置静电卡盘或吸附卡盘等机构。在这样的移动台2的端部设置用于使各涂敷头5的喷出稳定的喷出稳定部2a。该喷出稳定部2a具有各涂敷头5的虚设喷出用的接受盘、以及对各涂敷头5的喷出面进行刮拭的刮板等。
Y轴移动机构3是沿Y轴方向引导移动台2并使其移动的机构。该Y轴移动机构3与控制部9电连接，其驱动由控制部9控制。另外，作为Y轴移动机构3，例如使用将线性马达作为驱动源的线性马达移动机构或者将马达作为驱动源的进给丝杠移动机构等。
X轴移动机构4是沿X轴方向引导Y轴移动机构3并使其移动的机构。该X轴移动机构4与控制部9电连接，其驱动由控制部9控制。另外，作为X轴移动机构4，例如使用将线性马达作为驱动源的线性马达移动机构或者将马达作为驱动源的进给丝杠移动机构等。
涂敷头5是喷墨头，将从收容墨水等涂敷液的液体箱(未图示)供给的涂敷液，从多个喷嘴11分别作为液滴E进行喷出。该涂敷头5内置有与喷出液滴E的多个喷嘴11分别对应的多个压电元件(未图示)。
各喷嘴11以规定的间距(间隔)排列为直线一列状地形成在喷出面上。例如，喷嘴11的数量为从几十个到几百个程度，喷嘴11的直径为几μm到几十μm程度，并且喷嘴11的间距为几十μm到几百μm程度。
该涂敷头5与控制部9电连接，其驱动由控制部9控制。涂敷头5与对各压电元件施加驱动电压相对应地，控制喷出量后从各喷嘴11喷出液滴(墨水滴)E。此处，涂敷液具有挥发性。该涂敷液由作为残留物残留在基板K上的溶质和使该溶质溶解(分散)的溶媒构成。例如，作为涂敷液的墨水由颜料、溶剂(墨水溶剂)、分散剂以及添加剂等各种成分构成。
此处，本实施例的液滴涂覆装置1将液晶显示面板的滤色器用基板K作为涂覆对象。成为实际制品的制品用基板K为如图2所示那样在基板K的表面上设置有作为黑色矩阵BM的形成格子状图案的凸部K1。并且，将从液滴涂覆装置1的涂敷头5的喷嘴11作为液滴喷出的着色用的墨水(R：红色、G：绿色、B：蓝色的某一种墨水)，在由凸部K1区划形成的涂敷范围A的凹部K2中涂敷规定量。
涂敷到上述凹部K2中的液滴干燥而在凹部K2内形成着色层。图2的基板K的格子状图案的凸部K1设置有横向15列、纵向6行的凹部K2，但是实际的基板K的格子BM设置有横向1000列以上、纵向1000行以上的凹部K2。
液滴涂覆装置1如以下那样地对基板K的凹部K2涂敷液滴。
即，液滴涂覆装置1具备的3个涂敷头5中，一个为红色墨水喷出用的涂敷头5，另一个为绿色墨水喷出用的涂敷头5，剩下的一个为蓝色墨水喷出用的涂敷头5，红色墨水喷出用的涂敷头5的喷嘴11的间距与应该着色成红色R的凹部K2的配置间隔一致，蓝色墨水喷出用的涂敷头5的喷嘴11的间距与应该着色成蓝色B的凹部K2的配置间隔一致，绿色墨水喷出用的涂敷头5的喷嘴11的间距与应该着色成绿色G的凹部K2的配置间隔一致。
通过控制部9控制Y轴移动机构3和X轴移动机构4，由此相对于这样的涂敷头5，使移动台2上的基板K向X轴方向进行主扫描移动，向Y轴方向进行副扫描移动。
并且，在主扫描移动过程中，与应该由该喷嘴11着色的凹部K2经过各涂敷头5的各喷嘴11的下方的定时相配合，从该喷嘴使墨水作为多个液滴喷出。此时，例如使E1～E5的5滴以预先设定的液滴定时t(滴下时间间隔)喷出。
由此，在凹部K2内涂敷规定量的应该着色的颜色的墨水。通过重复这种动作，在基板K上的所有凹部K2中涂敷对应的颜色的墨水。
并且，液滴涂覆装置1为了使用摄像部6、检查部7以及检查用基板KA(图3)对从涂敷头5的喷嘴11向制品用基板K的凹部K2涂敷的多个液滴E的涂敷量进行检查，而具备以下构成。
另外，如图3所示，摄像部6为对从喷嘴11喷出而着落在检查用基板KA的规定的涂敷范围A中并一体化了的多个液滴E集中地进行摄像的摄像机，作为检测各液滴E的检测部起作用。该摄像部6与检查部7以及控制部9电连接，其驱动由控制部9控制，摄像的各液滴E的图像被发送到检查部7。另外，作为摄像部6例如使用CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件)摄像机等。
检查部7基于从摄像部6发送的多个液滴E的图像(检测结果)，求出涂敷在基板K上而一体化的多个液滴E整体的涂敷面积(投影面积)。并且，检查部7基于求出的多个液滴E整体的涂敷面积，求出各液滴E向该涂敷范围A的涂敷量。此处，该涂敷量根据液滴E的涂敷面积与涂敷量(滴下量)之间的关系式来计算。例如，液滴E的涂敷面积与涂敷量处于正比例关系。该关系式存储在检测部7所具备的存储部中。另外，作为检查部7例如使用计算机等。
另外，多个液滴E整体的涂敷面积，能够使用公知的图像处理技术来求出，例如能够考虑如下方法：将摄像图像中的与液滴E的图像所对应的像素的数量与像素的单位面积相乘而得到的值，作为涂敷面积求出的方法；以及对液滴E的图像拟合成圆形图案，将拟合度最高的圆形图案的面积作为液滴E的涂敷面积求出的方法。
在前者的根据像素数量来求出涂敷面积的方法的情况下，与液滴E的摄像图像的形状相配合地计算出涂敷面积，因此所计算出的涂敷面积不易受到液滴E的摄像图像的形状的影响，涂敷面积的计算精度提高，因此较优选。
显示部8是对所摄像的多个液滴E的图像等的各种图像进行显示的显示装置。该显示部8与检查部7电连接。另外，作为显示部8例如使用液晶显示器或CRT显示器等。
另外，也可以在该显示部8上显示检查部7的检查结果，例如显示向基板K上滴下而一体化了的多个液滴E的投影面积、根据该投影面积计算出的涂敷量、或者所计算出的涂敷量是否良好的信息(与预先设定的涂敷量之间的差)等。
控制部9具备集中控制各部分的微型计算机和存储与涂敷相关的涂敷信息或各种程序等的存储部(均未图示)。涂敷信息包括与点图案等规定的涂敷图案、涂敷头5的倾斜角度、涂敷头5的喷出频率以及基板K的移动速度相关的信息。作为该涂敷信息，在存储部中保存有制造涂敷用的涂敷信息以及检查涂敷用的涂敷信息(包括检查用的图案以及溶媒气氛形成用的图案)。
液滴涂覆装置1的控制部9为了高精度地检查从涂敷头5的喷嘴11向制品用基板K的凹部K2涂敷的多个液滴E的涂敷量，进而为了调整来自各喷嘴11的液滴E的喷出量以使从涂敷头5的喷嘴11向制品用基板K的凹部K2喷出的多个液滴E的涂敷量相互相同，如以下那样进行动作。
(A)检查用基板KA
使用在制品用基板K之外另外准备的检查用基板KA。检查用基板KA被规定有与制品用基板K的1个凹部K2相同形状、相同大小的涂敷范围A。将应该向该涂敷范围A滴下的液滴数量设为向制品用基板K的1个凹部K2涂敷的液滴数量(例如5滴)。另外，优选使检查用基板KA的表面为疏水性。另外，涂敷范围A可以物理地设置在检查用基板KA上，也可以虚拟地设置。
(B)检查调整步骤
(1)喷出工序
在移动台2上载放检查用基板KA，控制Y轴移动机构3、X轴移动机构4，相对于涂敷头5使检查用基板KA在沿着其表面的方向(XY方向)上相对地移动，将检查用基板KA的各涂敷范围A依次定位到涂敷头5的正下方，从涂敷头5的各喷嘴11对检查用基板KA的各涂敷范围A滴下多个液滴E(例如E1～E5)。
此时，如图4A、图4B所示，不使涂敷头5与检查用基板KA相互相对移动，而使从喷嘴11喷出的多个液滴E1～E5滴下在检查用基板KA的涂敷范围A内的同一位置上。如图4C所示，各液滴E1～E5堆积在检查用基板KA的同一位置上而整体成为俯视圆形。
另外，多个液滴E1～E5的滴下定时t设定为，与对制品用基板K滴下的多个液滴E1～E5的滴下定时t为相同的定时。
另外，在图4A、图4B中，为了方便而表示为多个液滴E1～E5按顺序层叠，但是实际上多个液滴E1～E5在每次滴下到基板KA上时，就混合而一体化。
(2)摄像工序
将检查用基板KA的各涂敷范围A依次定位到摄像部6的正下方，按照每个涂敷范围A，对从喷嘴11喷出而滴下到各涂敷范围A并一体化了的多个液滴E1～E5进行摄像。
(3)检查工序
基于摄像部6所摄像的多个液滴E1～E5一体化而成的图像，通过检查部7判断该图像是否为圆形。
另外，此处，所谓圆形不是仅指完全的正圆，包括预先规定的允许范围内所含有的圆形。并且，一体化了的多个液滴E1～E5的图像是否为圆形的判断，例如以下那样进行。
即，分别求出以一体化了的多个液滴E1～E5的图像的重心作为中心而以等角度间隔例如45°间隔放射状延伸的直线(8条直线)，到与液滴E1～E5的图像的外缘交叉的位置为止的距离，如果求出的8个值的最大值与最小值之差在允许范围内，则认为是圆形。允许范围是任意的，但是大概为8个值的平均值的10％以内即可。
在图像为圆形的情况下，求出这些一体化了液滴E1～E5整体的涂敷面积(投影面积)，并且根据该涂敷面积求出这些液滴E1～E5的涂敷量。
另外，在摄像部6所摄像的多个液滴E1～E5的图像不是圆形时，检查部7判断为如图5所示那样在从涂敷头5的喷嘴11喷出的液滴E1～E5中含有喷出方向相对于铅垂线倾斜地喷出的液滴。在该情况下，即使一体化的液滴E1～E5的量与滴下为圆形的情况相同，根据其摄像图像求出的投影面积也可能与圆形的不同，因此不基于该图像进行涂敷量的计算，而再次对其他涂敷范围A涂敷液滴E1～E5，重新进行摄像工序以及检查工序。
(4)调整工序
通过控制部9对从各喷嘴11的液滴E的喷出量进行调整，以使从各喷嘴11喷出的多个液滴E1～E5的涂敷量相互相同。
例如，在喷嘴11为5个的情况下，按照在构成涂敷头5的一列的各喷嘴11中以来自中央的喷嘴11(例如N3)的液滴E1～E5的涂敷量为基准值而使来自其他喷嘴(例如N1、N2、N4、N5)的液滴E1～E5的涂敷量与上述基准值一致的方式，调整与这些其他喷嘴N1、N2、N4、N5的各自相对应的压电元件的施加电压，从而调整来自这些其他喷嘴N1、N2、N4、N5的液滴E的喷出量。
根据本实施例能够实现以下的作用效果。
(a)在从涂敷头5的喷嘴11向检查用基板KA的涂敷范围A喷出多个液滴、例如E1～E5时，不使涂敷头5与基板相互相对移动，而使从喷嘴11喷出的多个液滴E1～E5向检查用基板KA的涂敷范围A内的同一位置滴下。
因此，按顺序滴下到检查用基板KA上的各液滴E1～E5堆积在涂敷范围A内的同一位置上。这些液滴E1～E5着落在检查用基板KA上时，不含有检查用基板KA的移动速度不均的影响，也不含有由液滴的粘度、浓度等引起的液滴向检查用基板KA移动方向的拖曳的影响。
因此，这些液滴E1～E5一体化的液滴是被抑制了移动速度不均、因上述拖曳引起的涂敷面积不均的液体，液滴E1～E5整体的涂敷面积、进而涂敷量的检查精度提高。因此，能够提高液滴E对制品用基板K的涂敷精度。
此外，由于设定成根据多个液滴E1～E5一体化的整体的图像的涂敷面积来求出涂敷量，因此与基于1个液滴的涂敷面积的情况相比，涂敷面积扩大，并且，由于液体的喷出量的误差在涂敷量中累积与液滴的数量相对应的量进行体现，因此能够容易进行涂敷量的计算，并且能够高精度地进行涂敷量的检查。
另外，将从涂敷头5的喷嘴11向检查用基板KA喷出的多个液滴E1～E5的滴下定时t(滴下时间间隔)，设定为对与该检查用基板KA对应的制品用基板K滴下的多个液滴E1～E5的滴下定时t相同的定时，由此能够使涂敷量的检查条件接近实际涂敷条件，进一步提高其检查精度。
此外，由于使检查用基板KA的表面为疏水性，因此无论液滴的粘度、浓度等如何，都使着落在基板KA表面上的液滴为球状而不易扩展，抑制了因液滴的扩展状况的不均引起的涂敷面积不均的影响，由此能够进一步提高液滴E1～E5整体的涂敷面积、进而涂敷量的检查精度。
(b)向检查用基板KA的涂敷范围A滴下的液滴数量为向制品用基板K的1个凹部涂敷的液滴数量(例如E1～E5的5滴)，由此能够使液滴E1～E5整体的涂敷面积、进而涂敷量的检查条件接近实际涂敷条件，能够进一步提高其检查精度。
(c)在向检查用基板KA的涂敷范围A涂敷的多个液滴的图像不是圆形时，判断为在从涂敷头5的喷嘴11喷出的多个液滴E1～E5中含有液滴的喷出方向相对于铅垂线倾斜地喷出的液滴。
即，在从涂敷头5的喷嘴11喷出的液滴E(例如E5)的喷出状态处于该液滴E5的喷出方向相对于铅垂线倾斜的倾斜喷出的异常状态(图5)时，液滴E5相对于液滴E1～E4错开而液滴E1～E5整体的图像成为圆形范围外的椭圆，或者呈现出液滴E1～E4与液滴E5分开的形态。因此，该异常时的液滴E1～E5整体的图像，与正常时的正圆的图像相比明显不同，能够容易地判断喷出状态的正常和异常。
这样的异常时的液滴E1～E5整体的图像，与正常时的圆形的图像相比，其涂敷面积(投影面积)变大，因此不能够正确地调整液滴E的喷出量。
由此，在含有倾斜喷出状态的液滴的情况下，根据摄像图像求出的涂敷量的计算精度会降低，但是通过上述判断，中止基于被判断为异常的液滴E的图像进行的涂敷量的计算，因此能够将液滴E的喷出量的调整不良防患于未然。
(d)通过上述(a)～(c)，对于每个喷嘴11能够高精度地检查从这些喷嘴11向检查用基板KA的涂敷范围A喷出的多个液滴的涂敷量，结果，能够正确调整来自各喷嘴11的液滴的喷出量，以使从各喷嘴11喷出而涂敷至基板的各涂敷范围A的多个液滴的涂敷量相互相同。
工业可利用性
以上，根据附图详细说明了本发明的实施例，但是本发明的具体构成不限定于该实施例，而在不脱离本发明的宗旨的范围的设计的变更等也包含于本发明。例如，从涂敷头的喷嘴向基板的一定的涂敷范围涂敷的多个液滴的涂敷面积、进而涂敷量的检查，也可以不使用检查用基板而对制品用基板进行。
附图标记说明
1…液滴涂覆装置，5…涂敷头，6…摄像部，7…检查部，9…控制部，11…喷嘴。

Claims (9)

1.一种液滴涂敷方法，将液滴涂敷到基板上的规定涂敷范围，其特征在于，
该液滴涂敷方法具有：
对从设置于涂敷头的喷嘴喷出并涂敷到上述涂敷范围的多个液滴集中地进行摄像的工序；
基于所摄像的上述多个液滴的图像来求出这些液滴整体的涂敷面积的工序；以及
基于所求出的涂敷面积来调整来自上述喷嘴的液滴的喷出量的工序，
在从上述涂敷头的喷嘴向基板上的规定涂敷范围喷出上述多个液滴时，使从上述喷嘴喷出的上述多个液滴向上述规定涂敷范围内的同一位置滴下，
在上述的求出涂敷面积的工序中求出上述多个液滴的整体面积之前，判断上述摄像到的上述多个液滴的图像是否为圆形。
2.如权利要求1所述的液滴涂敷方法，其特征在于，
上述基板是用于检查液滴的涂敷状态的检查用基板，
在利用该检查用基板检查了液滴的涂敷状态之后基于该检查来涂敷溶液的制品用基板上，设有为了涂敷从涂敷头的喷嘴喷出的多个液滴而区划形成的凹部，
向上述检查用基板的规定涂敷范围滴下的液滴数量为向制品用基板的1个凹部涂敷的液滴数量。
3.如权利要求1或2所述的液滴涂敷方法，其特征在于，
在向上述基板的规定涂敷范围涂敷的多个液滴的图像不是圆形时，判断为在上述多个液滴中，在从涂敷头的喷嘴喷出的液滴中含有喷出方向相对于铅垂线倾斜地喷出的液滴。
4.如权利要求3所述的液滴涂敷方法，其特征在于，
上述涂敷头具备多个喷嘴，在上述调整工序中，调整来自各喷嘴的液滴的喷出量，以使从各喷嘴喷出的多个液滴的涂敷量相互相同。
5.一种液滴涂敷装置，将液滴涂敷到基板上的规定涂敷范围，其特征在于，
该液滴涂敷装置具有：
移动构件，使具备喷嘴的涂敷头和基板在沿着上述基板表面的方向上相对移动；
摄像部，对从上述喷嘴喷出并涂敷到基板上的规定涂敷范围的多个液滴集中地进行摄像；
检查部，基于摄像部所摄像的上述多个液滴的图像，求出这些液滴整体的涂敷面积；以及
控制部，控制上述涂敷头、移动构件、摄像部以及检查部，
上述控制部控制上述涂敷头和上述移动构件的驱动，以便在从涂敷头的喷嘴向上述规定涂敷范围喷出多个液滴时，使从上述喷嘴喷出的上述多个液滴向上述规定涂敷范围内的同一位置滴下，并且，
上述检查部在求出上述多个液滴的图像的整体面积之前，判断上述多个液滴的图像是否为圆形。
6.如权利要求5所述的液滴涂敷装置，其特征在于，
上述基板是检查用基板，
与该检查用基板不同的制品用基板具有为了涂敷从涂敷头的喷嘴喷出的多个液滴而区划形成的凹部，
向检查用基板的规定涂敷范围滴下的液滴数量为向制品用基板的1个凹部涂敷的液滴数量。
7.如权利要求5或6所述的液滴涂敷装置，其特征在于，
在上述摄像部所摄像的上述多个液滴的图像不是圆形时，上述控制部判断为在上述多个液滴中含有喷出方向相对于铅垂线倾斜地喷出的液滴。
8.如权利要求5所述的液滴涂敷装置，其特征在于，
上述控制部基于上述检查部所求出的涂敷面积，调整来自上述喷嘴的液滴的喷出量。
9.如权利要求8所述的液滴涂敷装置，其特征在于，
上述涂敷头具备多个喷嘴，上述控制部调整来自各喷嘴的液滴的喷出量，以使从各喷嘴喷出的多个液滴的涂敷量相互相同。
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