CN101927877A - 大型精密部件收纳容器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种大型精密部件收纳容器，具体而言，提供一种能够保持极清洁的状态而保管、输送例如大型薄膜、光掩模或玻璃基板的大型精密部件的、高刚性、轻型且低成本的大型精密部件收纳容器。该大型精密部件收纳容器(1)收纳大型精密部件(4)并具备将该大型精密部件的全体覆盖而嵌合的托盘(3)和罩(2)，其中，托盘(3)和罩(2)中的至少托盘(3)由铝、铝合金或镁合金构成。

Description

大型精密部件收纳容器

技术领域

本发明涉及一种用于收纳大型精密部件的容器，更具体地，涉及一种用于收纳在液晶制造的光刻工序中使用的一边超过500mm的大小的大型薄膜、大型光掩模或大型光掩模用的玻璃基板等的容器。

背景技术

在大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路等的半导体制造或液晶显示器等的制造中，将光照射在半导体晶片或液晶用原板上以制作图形，如果尘土和尘埃等的异物附着在此时使用的光掩模或中间掩模(以下仅记为光掩模)上，则由于该异物将光吸收或将光倾斜，因而转印的图形变形，除了边缘不锐利之外，基底被污染成黑色等，存在着损坏制造物的尺寸、品质、外观等的问题。因此，通常在洁净室中进行这些作业，但即使这样，也难以长时间将光掩模保持清洁。所以，为了防止异物向光掩模表面附着，在将薄膜贴附到光掩模上之后进行曝光。在这种情况下，异物不直接附着在光掩模的表面上，而是附着在薄膜上。因此，如果在光刻时将焦点对齐在光掩模的图形上，那么，薄膜上的异物变得与转印无关。

一般地，薄膜是将使光良好地透过的厚度为1～10μm程度的薄膜贴附或者粘结到由铝、不锈钢、聚乙烯等形成的薄膜框架的上端面，其中，该薄膜由硝化纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等形成。而且，在薄膜框架的下端，设有用于安装至光掩模上的由聚丁烯树脂、聚醋酸乙烯树脂、丙烯树脂等形成的粘着层以及用于在直到使用薄膜之前保护上述粘着层的分型层(分离层)。另一方面，光掩模通常是在由合成石英等形成的玻璃基板的单面上设置有由铬等形成的遮光膜，在该遮光膜上描绘所期望的电路图形。描绘后的光掩模，在检查了图形的缺陷之后，被高度地洗净，并在保持极度清洁的状态下贴附有薄膜，以保护该图形。因此，薄膜由于在使用前尤其不能在其内面侧附着有异物，并且如上所述地为实际上不可能洗净的材质及构造，因而在从制造后的保管至用户的输送中，有必要极力防止异物的附着。另一方面，对于光掩模以及制作光掩模前的玻璃基板而言，该必要性是同样的。

近年来，伴随着液晶显示器的大型化，光掩模和薄膜也显著地大型化。当然，与此相伴的是，它们的收纳容器也变得大型化。一直以来，出于成本低、轻型、能够一体成形、形状的自由度高等的理由，收纳容器使用真空成形或粘结接合的树脂制的容器。然而，在收纳容器大型化的情况下，由于收纳物的重量增大且对外力的变形量变大，因而收纳容器内的收纳物或收纳容器自身发生移动或摩擦。为了防止这种容器内的灰尘产生和薄膜的变形，有必要提高收纳容器的刚性。基于这个要求，一直以来，提出了一种将金属制的增强板安装在树脂制的薄膜收纳容器的托盘和罩的其中至少一方的外面侧的方法(参考专利文献1)。另外，在光掩模或玻璃基板中，也提出了同样的增强方法(参考专利文献2和3)。

专利文献1：日本特开2009-037269

专利文献2：日本特开2005-170507

专利文献3：日本特开2006-184414

发明内容

但是，在将增强板安装于上述树脂制容器的外侧的方法中，存在着以下的问题。在这些问题中，主要的问题涉及成本和重量。至于刚性，通过使增强板为高刚性或增加其使用量，能够充分地提高。但是，与此相伴的是，由于与树脂托盘和罩的连接点数增加，因而装配所需的辅助部件以及装配工时增加，导致大的成本上升。例如，对于一直以来所使用的作为外形尺寸为1526mm×1748mm×8mm的薄膜用的、在ABS树脂制真空成形体的外侧安装作为增强板的铝合金拉制型材的现有型的收纳容器而言，仅装配就需要4名作业者进行约10个小时。另外，由于越增加增强板就越增加重量，因而越提高刚性，就越失去使用树脂作为托盘和罩的材质的优点。而且，虽然树脂制的托盘和罩能够成形为复杂形状，但如果考虑成本，安装的增强板不得不为比较简单的形状组合。所以，从这点来看，也容易导致重量增加。出于这些理由，到现在为止，具有能够在保持薄膜、光掩模或玻璃基板等的清洁的状态下进行输送的高刚性，轻型且花费在制作上的工时和成本低的优异的收纳容器并不存在。

本发明是鉴于如上述问题而提出的，其目的在于，提供一种能够保持极清洁的状态而保管和输送例如大型薄膜、光掩模或玻璃基板的大型精密部件的、高刚性、轻型且低成本的大型精密部件收纳容器。

为了解决上述问题，本发明的一个实施方式为一种大型精密部件收纳容器，其收纳大型精密部件并具备将该大型精密部件的全体覆盖而嵌合的托盘和罩，其中，托盘和罩中的至少托盘由铝、铝合金或镁合金构成。

另外，本发明的另一个实施方式为大型精密部件收纳容器，其中，托盘和罩中的至少托盘通过铸造而制造。

另外，本发明的另一个实施方式为大型精密部件收纳容器，其中，托盘或罩的厚度在平面部中为4～10mm的范围。

另外，本发明的另一个实施方式为大型精密部件收纳容器，其中，托盘或罩的表面被涂装，并且，该涂膜的表面粗糙度为Ra10μm以下。

另外，本发明的另一个实施方式为大型精密部件收纳容器，其中，涂膜含有导电性物质。

另外，本发明的另一个实施方式为大型精密部件收纳容器，其中，在托盘中，托盘的外缘是比位于该外缘的内侧的内底面更突出至罩侧的凸形状，该凸形状的外缘的背侧是凹形状。

另外，本发明的另一个实施方式为大型精密部件收纳容器，其中，在托盘或者由铝、铝合金或镁合金构成的罩的其中至少一个中，具有至少一个开口部，并在该口部安装有覆盖开口部的整个面的树脂板或玻璃板。

另外，本发明的另一个实施方式为大型精密部件收纳容器，其中，覆盖开口部的树脂板或玻璃板和托盘或罩的间隙由粘结性树脂完全地密封。

依照本发明，可以提供一种能够保持极清洁的状态而保管、输送例如大型的薄膜、光掩模或玻璃基板的大型精密部件的、高刚性、轻型且低成本的大型精密部件收纳容器。

附图说明

图1是第一实施方式的大型精密部件收纳容器的立体图。

图2是将薄膜收纳在图1所示的大型精密部件收纳容器内时的分解立体图。

图3是显示图2所示的托盘及其一部分放大截面的立体图。

图4是收纳薄膜的第二实施方式的大型精密部件收纳容器的分解立体图。

图5是第三实施方式的大型精密部件收纳容器的扣件附近的一部分截面图。

图6是用于说明本发明的各实施方式的大型精密部件收纳容器的附随构造的一部分截面图。

图7是收纳作为大型精密部件的光掩模时的第四实施方式的大型精密部件收纳容器的分解立体图。

图8是收纳作为大型精密部件的光掩模时的第五实施方式的大型精密部件收纳容器的分解立体图。

图9是图7或图8中所示的大型精密部件收纳容器中的光掩模的固定机构附近的一部分截面图

图10是通过本发明的实施方式制造的大型精密部件收纳容器的分解立体图，是与所收纳的薄膜共同显示的图。

符号说明

1    大型精密部件收纳容器

2    罩

3    托盘

4    薄膜(大型精密部件的一例)

6    光掩模(大型精密部件的一例)

21   开口部

22   树脂板

31   外缘

32   内底面

33   背侧

36   ABS树脂板

37   开口部

具体实施方式

以下，对本发明的大型精密部件收纳容器的各实施方式进行说明。

1.第一实施方式

第一实施方式是构成大型精密部件收纳容器的托盘为铝、铝合金或者镁合金的铸造物且罩为树脂制的方式。

图1是第一实施方式的大型精密部件收纳容器的立体图。图2是将薄膜收纳在图1所示的大型精密部件收纳容器内时的分解立体图。

如图1和图2所示，第一实施方式的大型精密部件收纳容器1是薄的大致箱型的容器，在通常的使用状态中，具备上侧的罩2和下侧的托盘3。罩2和托盘3能够开闭，在将它们嵌合关闭的状态下，在大型精密部件收纳容器1的内部存在着空间。作为大型精密部件的一例的薄膜4能够收纳在该空间内。然而，如果仅将薄膜4收纳在该空间内，那么，在输送中，薄膜4在大型精密部件收纳容器1内移动，因摩擦等而产生的灰尘有可能使得大量的异物附着到薄膜4上。因此，有必要在托盘3上设置适合于内部的收纳物的固定机构并将该收纳物固定在固定机构，从而使得在输送时收纳物不移动。

罩2是在托盘3侧具有凹部的树脂成形体。作为构成罩2的树脂材料，除了能够使用ABS树脂之外，还能够使用丙烯树脂、聚碳酸酯树脂、PET树脂等的聚酯系树脂，PE、PP等的聚烯烃系树脂，或者聚苯乙烯树脂等，但也可以使用其它的树脂材料，并不限定于这些。但是，如果考虑大型精密部件收纳容器1内的薄膜4的可视性，则优选罩2是透明(无色透明或有色透明均可)或半透明的。所以，如果除了透明性之外，还考虑刚性、成形和粘结等的加工性以及成本等，则罩2的材料尤其优选使用ABS树脂或丙烯树脂，而且，如果赋予带电防止性，那么就更优选。

罩2适宜通过真空成形来制造，但除了真空成形之外，也能够通过从树脂侧向模具侧施加气压而成形的压空成形以及将该压空成形和真空成形的两者组合的压空真空成形来制造，能够考虑材料的成形性和模具形状的复杂性等而适当选择。另外，也可以选择上述成形方法以外的成形方法。

在罩2的相对的两短边，分别具备两个把持部20。把持部20是用于从托盘3开闭罩2的构成部件。如果以成为恰当的强度的方式构成把持部20，那么，虽然也可能用于大型精密部件收纳容器1全体的搬运，但由于过度的刚性对于罩2而言是必要的，因而通常优选只限定于罩2的开闭用途而设计把持部20。另外，该实施方式中，用螺栓将作为与罩2不同的部件而制作的把持部20固定在成形后的罩2上(图中未显示)，也可以将罩2的构成部件一体成形而作为把持部的形状。另外，作为其安装位置，也可以仅在罩2的相对的两长边具备或在上述两短边和两长边一起具备。

托盘3是在罩2侧具有凹部的铝、铝合金或镁合金的成形体。作为托盘3的制造方法，优选使用铸造、冲压加工等，尤其优选使用铸造。冲压加工时，具有能够获得平滑且清洁的表面的优点。这种情况下，作为材质，虽然能够使用一般的伸展用铝合金、Al-Cu系、Al-Mn系、Al-Mg系、Al-Mg-Si系、Al-Zn-Mg系的各种合金等，但从成形和焊接等的加工性的观点来看，尤其优选选择Al-Mg系(JIS 5000系)、Al-Mg-Si系(JIS 6000系)。对镁合金而言，与铝合金相比，虽然冲压成形性差，但在使用温热冲压的情况下，能够适宜地使用Mg-Al-Zn系的AZ31等。

但是，在冲压加工中，在进行成为本发明中的对象的大型的成形的情况下，除了模具的加工费变得高昂之外，还由于所使用的冲压机具有数百吨以上的加压力并且需要几乎与汽车制造设备相同的设备，因而存在着制造成本变得非常高的缺点。另外，在加工时，由于使用同一厚度的薄板，因而仅通过部件而不能确保充分的刚性。因此，有必要设置大量的肋，补充刚性的不足。

另一方面，在采用铸造的情况下，作为铸造法，能够选择砂型法、熔模法、压铸法等。虽然可以考虑所制造的大型精密部件收纳容器1的大小和生产量而从这些方法中选择最佳的方法，但尤其优选在成本方面占优的砂型铸造。在铸造中，即使是复杂的形状，通过1次成形也能够获得几乎接近完成品的形状，需要机械加工的部分仅是薄膜4的固定机构和安装孔等的几处。因此，铸造具有生产性非常高的优点。作为采用铸造时的材质，能够适宜地使用一般的铸造用合金，但在其中，如果是铝合金的话，那么，尤其优选Al-Si-Mg系、Al-Si-Cu系、Al-Si-Cu-Mg系的合金。但是，即使是Al-Si-Cu系合金，Si含有量极多的合金(例如JIS AC8、AC9等)在Si的偏析和机械加工性中也存在着问题，因而不优选。另外，在镁合金的情况中，出于强度、加工性的平衡，尤其优选Mg-Al-Zn系(例如ASTM AZ91)、Mg-Ag系(例如ASTM QE22)、Mg-稀土类元素系。

另外，优选托盘3的厚度在平面部为4～10mm的范围，进一步为5～8mm的范围。通过使平面部的厚度为4mm(更优选为5mm)以上，使得铸造时的熔融液流动不产生问题，尤其是在面积大的平面部中，能够使熔融液充分地填充，因而能够降低缺陷的产生。另外，通过使平面部的厚度为10mm(更优选为8mm)以下，能够抑制凝固时的收缩量且不容易产生因收缩而引起的缺陷。另外，还能够防止冷却时间的增大，提高强度和生产性。除此之外，能够谋求轻型化。并且，对于平面部之外的弯曲部和外周部等尤其要求刚性的部分，可不限定于上述厚度的范围，而能够为从刚性面探讨的所期望的厚度。

而且，在不能通过1次的铸造而铸造托盘3整体时，可以按照分割的构造制作并通过焊接或粘结、螺丝以及铆钉等连接手段而将各个部分接合，构成托盘3。只有接合部的处理工时所涉及的部分变得不利，除了模为小型也过得去所引起的成本降低之外，由于1个的铸造物小而在铸造品质上变得有利，因而在一体成形中有可能产生问题的情况下，能够采用分割制造。

如上所述，在采用铸造，尤其是砂型铸造的情况下，铸造物的表面成为表面粗糙度大的铸造表面。如果依然为铸造表面，那么，在其表面容易积留异物，因而不适合收纳清洁度高的制品。另外，由于作为凝固时气体放出的痕迹的气孔等大量存在，因而难以高度地洗净。因此，优选对铸造后的托盘3的表面进行研磨或喷砂的平滑化处理，而且，尤其优选在其平滑化后进行涂装，使其表面粗糙度为Ra10μm以下。这种情况下，由于涂膜必然变厚，因而不需要铸造表面的基底处理，能够更加提高生产性。而且，在该涂膜中，优选含有导电性物质(炭黑、金属等)。如果对涂膜赋予导电性，则能够有效地防止带电异物附着于薄膜4，并且，能够有效地防止将收纳的薄膜4取出时的带电和静电破坏。

在托盘3的相对的两短边和两长边，分别在单侧设有各两个把持部30。把持部30用于在搬运托盘3或大型精密部件收纳容器1时进行把持。在该实施方式中，通过螺栓(图中未显示)将作为与托盘3不同的部件而以单体制作的把持部30连接到托盘3上，但也可以为设法将托盘3的形状一体成形的构造。能够考虑全体的重量而适当设定它们的位置、形状。

图3是显示图2所示的托盘3及其一部分放大截面的立体图。图3中所示的一部分放大截面，是沿虚线X将托盘3切断后，放大显示用一点划线表示的区域A的图。如此，与在其内侧的内底面32相比，托盘3的外缘31突出形成至罩2侧，其背侧33与其相反而成为凹形状。通过不使外缘31为简单的厚壁形状而是使其背侧33为凹形状，能够减少伴随着铸造时的收缩而产生的缺陷，并且，能够谋求托盘3的轻型化。另外，由于外缘31是通过肋效果而在托盘3上获得最高刚性的区域，因而最适合于搭载作为收纳物的薄膜4，在使用时优选用铣刀等对其突出面31a进行平面切削而精加工。

2.第二实施方式

第二实施方式是使构成大型精密部件收纳容器的托盘和罩的两者成为铝、铝合金或镁合金的铸造物。

图4是收纳薄膜的第二实施方式的大型精密部件收纳容器的分解立体图。

在该实施方式中，托盘3具有与在第一实施方式中说明的托盘相同的构造。罩2与托盘3同样地由铝、铝合金或镁合金构成，但是，与第一实施方式所述的托盘3同样地能够适当选择其材质。在此，罩2和托盘3的材质可以不一定相同。例如，尤其是为了赋予高刚性而使托盘3的材质为铝合金，而另一方面，尤其是为了使打开时的轻型性优异而使罩2的材质为镁合金。

另外，在该实施方式中，在罩2上设有开口部21，而且，以完全覆盖该开口部21的方式安装有树脂板22。优选树脂板22和罩2的间隙由粘结性树脂等填充而被完全地密封，从而不从该间隙产生灰尘且不因与外部通气而导致异物侵入大型精密部件收纳容器1内。但是，作为树脂板22对罩2的固定方法，可以使密封部件(O形环等)介于树脂板22和罩2之间，并将树脂板22嵌入罩2的内侧。另外，在具有这样的开口部21的实施方式中，出于与上述第一实施方式所述的托盘3相同的理由，优选罩2的壁厚为4～10mm的范围，更优选为5～8mm的范围。

在图4中的罩2上显示的虚线区域22a，表示向着箭头B的方向而将树脂板22固定在罩2的内侧的状态。在此，树脂板22并不限定为1片，也可以个别地在每个开口部21或共同地在多个开口部21设置多片。开口部21的形状不限于图4中所示范的矩形，也可以为例如圆形等的其它形状。另外，如果能够将开口部21完全地覆盖，那么，树脂板22可以为任何形状。而且，在图4的示例中，从开口部21的内侧安装树脂板22，但也可以从外侧安装。作为树脂板22的材质，除了能够使用ABS树脂之外，还能够使用丙烯树脂、聚碳酸酯树脂、PET树脂等的聚酯系树脂，PE、PP等的聚烯烃系树脂，或者聚苯乙烯树脂等。作为来自这些材质的选择，例如，在图4中所示范的罩2上具备树脂板22的情况下，为了能够辨认在内部收纳的薄膜4，优选选择ABS树脂、丙烯树脂、聚碳酸酯树脂等的透明性更优异的树脂。另外，更期望使用具有带电防止性的树脂板22。此外，也能够使用玻璃板等代替树脂板22，或者与树脂板22并用。

另一方面，虽然在该实施方式中并未示范，但也可以与罩2完全相同地在托盘3设置开口部，并用树脂板覆盖该开口部。在将树脂板安装于托盘3的情况下，为了确认附着在托盘3上的异物，期望树脂板是有色的，尤其是黑色的。作为它们的材质，能够使用将丙烯树脂、ABS树脂着色成烟棕色、烟灰色或黑色等而形成的材质。而且，对于这些材料，还更期望赋予带电防止性。另外，根据收纳物的形状，有时候能够使托盘3和罩2为相同的形态，成为托盘3和罩2无区别的构成。

3.第三实施方式

第三实施方式与第一实施方式相同，是由铝、铝合金或镁合金的铸造物形成托盘且罩为树脂制的实施方式，是用扣件将托盘和罩固定的方式的实施方式。

图5是第三实施方式的大型精密部件收纳容器的扣件附近的一部分截面图。

如图5(5A)和(5B)所示，能够使用扣件40作为将罩2和托盘3固定的扣件，该扣件由能够固定在罩2侧的大致垂直的端面24等上的固定部41和能够固定在托盘3侧的大致垂直的端面34等上的驱动部42构成。另外，在罩2侧是事先不能固定扣件的构成部件的形状的情况下，例如，如图5(5B)中所示，使用仅通过托盘3侧的大致垂直的端面34就能构固定的扣件50，能够将扣件50的一部分挂在罩2的端部25上，并连接罩2和托盘3。这样，能够根据罩2和托盘3的固定位置的形状而适当选择罩2和托盘3的连接手段。在该实施方式中，示范了固定在罩2和托盘3上或固定在托盘3上的扣件40、50，但通过能够从托盘3或罩2完全取下的夹子等，也能够连接罩2和托盘3。

另外，如图5(5A)和(5B)所示，在托盘3的突出面31a，固定有用于将薄膜4保持在托盘3的保持具5。虽然在图中仅显示了1个保持具5，但通常沿着托盘3的外缘31而固定有多个。只要能够可靠地固定使得薄膜4在输送中不在托盘3内移动，保持具5就能够利用各种的形式。在该示例中，通过将由保持具5支撑的销插入设在薄膜4的框架的侧面的非贯通的圆孔，从而固定薄膜4。

4.附属的构造例

图6是用于说明本发明的各实施方式的大型精密部件收纳容器的附随构造的一部分截面图。

作为防止异物从外部向大型精密部件收纳容器1内侵入的手段，在罩2和托盘3的嵌合面夹有以垫片60代表的密封件，优选通过如箭头F所示地将罩2和托盘3嵌合而使相互的接合面贴紧。作为同样的手段，能够选择其它的在外周的全周上贴附粘着带等的方法。

另外，当在大型精密部件收纳容器1的内外产生气压差时，为了使罩2和托盘3的嵌合解除变容易，设置用于调整内外气压的贯通孔，而且，为了防止空气的流入时的异物的侵入，也能够具备过滤器26。

另外，在托盘3的底面固定小轮70，能够使得大型精密部件收纳容器1的移动容易。

5.第四实施方式

第四实施方式与第一实施方式相同，是由铝、铝合金或镁合金的铸造物形成托盘且罩为树脂制的实施方式，是收纳代替薄膜的光掩模的实施方式。

在第一、第二以及第三的各实施方式中已经示范了关于收纳大型的薄膜4的示例，但是，作为成为对象的收纳物，不仅可以应用薄膜4，还可以应用要求高度的清洁性的部件，例如光掩模或光掩模用玻璃基板等。但是，光掩模等和薄膜4的两者存在着大的重量差。例如，1620mm×1780mm×17mm的石英玻璃基板的重量是大约110kg，但与该石英玻璃基板相应的1526mm×1748mm×8mm的薄膜4的重量是大约3kg。因此，对收纳光掩模等的玻璃部件的容器而言，使其为按照第一、第二以及第三的各实施方式的构成，同时，有必要对个别的部件进行对应于光掩模等的玻璃部件的设计。

图7是收纳作为大型精密部件的光掩模时的第四实施方式的大型精密部件收纳容器的分解立体图。

如图7所示，第四实施方式的大型精密部件收纳容器1与第一实施方式相同，是薄的大致箱型的容器，具备罩2和托盘3。罩2和托盘3能够开闭，在将它们嵌合关闭的状态下所形成的空间内，能够收纳光掩模6。另外，为了在输送时使光掩模6不移动，在托盘3设置固定机构，使用该固定机构，将光掩模6固定在托盘3。与罩2和托盘3的材质、构造、尺寸等相关的内容，与第一实施方式相同，因而省略其说明。

6.第五实施方式

第五实施方式与第二实施方式相同，是构成大型精密部件收纳容器的托盘和罩的两者为铝、铝合金或镁合金的铸造物的实施方式，是收纳代替薄膜的光掩模的实施方式。

图8是收纳作为大型精密部件的光掩模时的第五实施方式的大型精密部件收纳容器的分解立体图。

在该实施方式中，罩2和托盘3具有与在第二实施方式中说明的罩和托盘相同的材质和构造。另外，在罩2设有开口部21，而且，以完全覆盖该开口部21的方式安装有树脂板22。优选树脂板22和罩2的间隙由粘结性树脂等填充而被完全地密封，从而不从该间隙产生灰尘且不因与外部通气而导致异物侵入大型精密部件收纳容器1内。而且，也能够使树脂板22为透明度高的材质，由此能够从外部容易地辨认内部的光掩模6的收纳状况。出于与上述第一实施方式所述的托盘3相同的理由，优选罩2的壁厚为4～10mm的范围，更优选为5～8mm的范围。

图9是图7或图8中所示的大型精密部件收纳容器中的光掩模的固定机构附近的一部分截面图。

如在图9(9A)和(9B)中所示，在托盘3的突出面31a，固定有用于将光掩模6保持在托盘3的保持具7。虽然在图中仅显示了1个保持具7，但为了固定重量比上述的薄膜4大的光掩模6，优选在托盘3具备薄膜4的固定所需要的个数以上的保持具7。如图9(9C)放大所示，保持具7具有以分别用倾斜面夹着光掩模6的上下两面的外周缘的方式固定的固定机构。保持具7具有：本体部71，固定在突出面31a；上方突出部72，插入该本体部71的内部的空间并突出至该本体部71的上方；下方突出部73，从该本体部71的下方向着托盘3的内侧突出；可动突出部74，从本体部71的内部的空间向着托盘3的内侧突出，并构成为能够在上方突出部72和下方突出部73之间移动；弹性体(例如，弹簧)75，使该可动突出部74偏向上方；以及螺钉76，贯通设在上方突出部72的螺丝孔，并抵接于可动突出部74的上面。下方突出部73具有其上面向着托盘3的内侧而向下倾斜的倾斜面。另外，可动突出部74具有其下面向着托盘3的内侧而向上倾斜的倾斜面。如果旋转螺丝76而向着可动突出部74拧入，则可动突出部74抗拒弹性体75而移动至下方。另一方面，如果沿与上述相反的方向旋转螺丝76，则可动突出部74随着弹性体75的复原力而移动至上方。如此，通过调节可动突出部74的高度，从而能够在与下方突出部73之间，从上下方向夹着各种厚度的光掩模6的上下两面的外周缘，可靠地固定光掩模6。此外，与上述不同，弹性体75也可以位于上方突出部72和可动突出部74之间而使可动突出部74偏向下方。

7.各实施方式的作用和效果

依照上述各实施方式，在大型精密部件收纳容器1中，由于由铝、铝合金或镁合金构成托盘3和罩2中的至少托盘3，因而能够获得轻型且高刚性的收纳容器。另外，尤其是通过利用铸造法来制造大型精密部件收纳容器1，从而能够不使用复杂的增强部件，通过一次的铸造就获得接近于最终形状的形状且高刚性的收纳容器。所以，能够获得装配工时极少的低成本的收纳容器。另外，通过使利用铸造来制造的托盘3或托盘3和罩2的两者的平面部的厚度为4～10mm(更优选为5～8mm)，能够抑制缺陷的产生，提高强度和生产性并谋求轻型化。而且，通过向涂膜赋予导电性，能够有效地防止带电异物附着于大型精密部件，并且，能够有效地防止将收纳的大型精密部件取出时的带电和静电破坏。除此之外，通过施加用带电防止性涂料使得表面粗糙度成为Ra10μm以下的涂装，能够大幅地减少异物向收纳的大型精密部件的附着。另外，通过使托盘3的外缘31从托盘3的内底面32突出并使其背侧33为凹形状，能够减少伴随着铸造时的收缩而产生的缺陷，并且，能够谋求托盘3的轻型化。而且，通过在铸造物(托盘3或者罩2和托盘3的两者)设置开口部21，用树脂板22将该开口部21密闭，并用粘结性树脂将间隙完全地封闭，能够防止异物向大型精密部件的附着并获得更进一步的轻型化。如果树脂板22为透明度高的材质，那么，能够从外容易地确认收纳物(薄膜4、光掩模6等)的收纳状况。

以下，说明本发明的实施方式。但是，本发明不限于该实施例。

以收纳薄膜4为目的，制作如图1中所示的外观的大型精密部件收纳容器1。该容器的大小为宽1900mm、深1700mm、高度(从托盘3的底面至罩2的顶面)180mm。以下说明罩2和托盘3的详细情况。

在图10中，与收纳的薄膜一起，显示了在该实施例中制造的大型精密部件收纳容器的分解立体图。

使用厚度3mm的经过带电防止处理的透明丙烯树脂，通过真空成形法而一体成形罩2。成形后，在进行罩2的周围的修边之后，除去毛刺和飞边，在两短边的侧面，用螺栓(图中未显示)从内侧将用于搬运的把手20安装在各两个位置。使用Al-Si-Mg系的铸造用铝合金(JIS AC4CH)通过砂型铸造来制造托盘3。

在铸造中，使用硅碳棒电炉在大气中进行Al-Si-Mg系的铸造用铝合金(JIS AC4CH)的母材熔解，出于减少成形后的气体孔等的多孔性缺陷的目的，通过真空泵对坩埚内进行减压，在减少熔融液内的气体后进行铸造。砂型，尤其是考虑使得中央的薄壁部的熔融液流动良好，在中央部和两短边的周缘部的合计三个位置设置直浇道，另外，为了防止缩孔而确保充足的冒口。在三个位置同时进行熔解液供给，冷却后，从砂型取出托盘3，通过大型加工中心而进行直浇道的除去、外尺寸的精加工、搭载薄膜4的突出面31a的平面加工以及用于安装固定具5的孔加工。然后，使用界面活性剂和自来水进行洗净，除去铸造和机械加工时附着的铸砂、切削油、异物，而且，通过大型的烤炉进行加热，完全地除去水分。

接着，进行铸造物的外观检查，在确认没有裂痕和缩孔等的铸造缺陷之后，在清洁的环境下，将托盘3保持竖立，通过喷雾法而涂布黑色的带电防止性涂料(商品名：EC-06/Nagase chemteX株式会社制)并使其干燥。在涂装时，将一次的涂布量控制为涂膜10μm程度，从而不发生因垂落而引起的涂膜的厚度不均和外观不良。干燥后，反复进行再次涂装，3次涂装后的最终膜厚为大约30～40μm。

在托盘3的4个位置的开口部37，从上侧覆盖另外准备的1480mm×1650mm×3mm的带电防止黑色ABS树脂板36(商品名：Toyolacparel/东丽株式会社制)，由环氧系粘结剂(商品名：MOS7/小西株式会社制)粘结固定。此外，在此时，为了在树脂板36和托盘3不产生间隙，以充分地遍布至端部的方式涂布粘结剂。而且，在粘结剂硬化后，在托盘3上将固定具5调整至能够嵌合在薄膜4的框架的指定安装孔的位置，并用螺栓进行安装。然后，安装把手30和扣件40，作为托盘3和罩2的连接手段。

关于托盘3，在用触针式表面粗糙度测定机来测量涂装面的表面粗糙度之后，Ra＝3μm，为不反映出原来的铸造表面的、平滑且清洁的平面。另外，外观上也是适度的无光泽状，目视异物检查是容易且适宜的。另外，关于重量测量的结果，罩2为大约23kg，托盘3和ABS树脂板(8kg)合起来为41kg，大型精密部件收纳容器1的总重量为64kg，能够极度轻型地进行精加工。而且，除了由专业技术者进行的铸造工序和机械加工工序之外，即使包含ABS树脂板36的粘结，组装所需的工时为作业者2人进行大概1小时，相对于现有产品，能够大幅地缩短工时。

将如此地制造的大型精密部件收纳容器1的罩2和托盘3搬入等级10的洁净室内，在使用界面活性剂和PVA制海绵而充分地擦洗干净后，用纯水进行洗涤，再通过自然干燥而使其完全干燥。然后，在暗室内进行异物检查和外观检查。由于罩2是树脂制大型真空成形品，因而尤其没有问题。关于托盘3，在涂装面、ABS树脂板36的表面以及铸造物和ABS树脂板36的接合部的全部中，也均为清洁的状态，除了缩孔、熔融液流动痕迹、气泡等的铸造缺陷之外，也完全看不见接合部的粘结缺陷，为良好的外观。

因此，进而，对大型精密部件收纳容器1进行将另外制作的薄膜4收纳并输送的试验。关于在此所使用的薄膜4，使用外尺寸为1526mm×1748mm、内尺寸为1493mm×1711mm、高度为6.2mm的实施过黑色氧化铝处理的A5052铝合金制薄膜框架，并在其单端面形成作为掩模粘着层的宽6mm、高2mm的硅酮粘着层，而且在相反侧的端面用硅酮粘着剂贴附通过金属型涂料法而成膜的厚度为6μm的氟树脂薄膜。此外，掩模粘着层由被切断加工成与上述薄膜框架大致相同尺寸的形状且涂布有氟变性硅酮分型剂的厚度为125μm的PET薄膜制的分离层保护。在暗室内对该薄膜4进行异物检查，将附着的异物的位置正确地记载到图中之后，将该薄膜4收纳于所制造的大型精密部件收纳容器1内。

在薄膜4的收纳之后，尝试由两名作业员搬送该大型精密部件收纳容器1，在通常的处置中，完全感觉不到该容器1的变形或发声。于是，进而，在两长边侧各配置3名作业者，由这6个担当人对该大型精密部件收纳容器1故意试着施加扭曲，但内部的薄膜依然保持平面，没有看见该膜发生褶皱或松弛等的暗示容器1的变形的征兆。

接着，用带电防止PE制包装带对收纳薄膜4的大型精密部件收纳容器1进行二重包装，然后，从洁净室搬出，并用强化瓦楞纸板箱进行包装。实施三次输送试验，该输送试验是将该包装物用货车运送从群马县高崎市至福冈县北九州市为止的往复距离(大概1100公里，使用高速公路)并包含装卸，然后，再将包装物收容在洁净室内，对内部的薄膜4进行外观检查和检查附着异物的有无的试验。结果，在薄膜框架和薄膜上均完全没有发现损伤。另外，关于膜上的异物，位置、个数均为与输送前相比完全没有变化的状态。从这些结果确认了大型精密部件收纳容器1轻型，制造时的装配工时少，同时，对于以清洁的状态输送以薄膜4为代表的大型精密部件而言，具有充分的刚性。

产业上的利用可能性

能够利用本发明来收纳或搬运例如薄膜或玻璃制光掩模等的精密基板。

Claims (8)

1.一种大型精密部件收纳容器，收纳大型精密部件并具备将该大型精密部件的全体覆盖而嵌合的托盘和罩，其中，

所述托盘和所述罩中的至少所述托盘由铝、铝合金或镁合金构成。

2.根据权利要求1所述的大型精密部件收纳容器，其特征在于，所述托盘和所述罩中的至少所述托盘通过铸造而制造。

3.根据权利要求2所述的大型精密部件收纳容器，其特征在于，所述托盘或所述罩的厚度在平面部中为4～10mm的范围。

4.根据权利要求1所述的大型精密部件收纳容器，其特征在于，所述托盘或所述罩的表面被涂装，并且，该涂膜的表面粗糙度为Ra10μm以下。

5.根据权利要求4所述的大型精密部件收纳容器，其特征在于，所述涂膜含有导电性物质。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的大型精密部件收纳容器，其特征在于，在所述托盘中，所述托盘的外缘是比位于该外缘的内侧的内底面更突出至所述罩侧的凸形状，该凸形状的外缘的背侧是凹形状。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的大型精密部件收纳容器，其特征在于，在所述托盘或由所述铝、铝合金或镁合金构成的所述罩中的至少一个中，具有至少一个开口部，并在该开口部安装有覆盖该开口部的整个面的树脂板或玻璃板。

8.根据权利要求7所述的大型精密部件收纳容器，其特征在于，覆盖所述开口部的所述树脂板或所述玻璃板和所述托盘或所述罩的间隙由粘结性树脂完全地密封。

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