CN101821520A - 电铸轴承及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电铸轴承，使微粒子(6)分散保持于电铸部(4)，形成使从电铸部(4)的外周面(4a2)露出的微粒子(6)熔融并与树脂部(5)一体化而得到的微小突部(60)。该微小突部(60)进入在电铸部(4)上形成的微粒子痕(4c)而发挥锚效果，由此能够提高树脂部(5)与电铸部(4)的固定力。

Description

电铸轴承及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种具备电铸部且在该电铸部与轴构件之间形成有径向轴承间隙的电铸轴承。

背景技术

例如，专利文献1中公开的电铸轴承通过如下方法形成：使金属在靠模轴的外周析出而形成电铸部，并将该电铸部插入而利用树脂进行注塑成形。

专利文献1：日本特开2003-56552号公报。

发明内容

通常，由于树脂与金属的密着力不高，因此在上述那样将电铸部插入而利用树脂进行注塑成形的电铸轴承中，电铸部与树脂部的固定力存在问题。尤其如专利文献1所示的电铸轴承那样，在电铸部的外周面与树脂部的内周面都为圆筒面的情况下，需要采取提高两者的固定力的措施。但是，若要将树脂部由与电铸部的固接力高的材料形成，则树脂部的材料选择的范围窄，存在不能够满足树脂部所要求的轴承特性的顾虑。

另外，若不能够确保电铸部与模成形部之间有充分的结合力，则在将模成形部成形后的脱模时或靠模的分离时等，由于通过推出销等挤压机构对电铸轴承的端面、实质上模成形部的端面施加的相当量的加压力，或者在使用中由于施加的轴向的冲击载荷等，可能使电铸部与模成形部分离。如此，若不能够确保两部分之间有充分的结合力，则制造时需要特别的注意，从而可能导致制造成本昂贵，另外存在不能够确保轴承装置所需要的耐久寿命的顾虑。以提高两部件之间的结合力为目的，也可以另外实施粗糙面加工等，但是不能够避免制造成本的昂贵。

本发明的课题在于提供一种将电铸部与树脂部牢固地固定的电铸轴承。

为了解决上述课题，本发明提供一种电铸轴承，其具备内表面形成轴承面的电铸部和将电铸部作为插入部件进行注塑成形而形成的树脂部，所述电铸轴承的特征在于，使微粒子分散保持于电铸部，并使从电铸部中的与树脂部接触的面露出的微粒子熔融而与树脂部一体化。

如此，本发明的电铸轴承中，使保持在电铸部且从与树脂部接触的面露出的微粒子熔融而与树脂部一体化。由此，在电铸部的外表面中存在微粒子的部位形成有凹部(微粒子痕)，该微粒子痕被与树脂部一体化的微粒子(微小突部)填满。通过进入该电铸部的微粒子痕的树脂部的微小突部发挥着锚效果，能够提高树脂部与电铸部的固定力。

此时，若由同种树脂材料形成微粒子与树脂部，则在树脂部的注塑成形时，通过使树脂材料与从电铸部的表面露出的微粒子接触而能够使微粒子熔融。之后，通过使熔融的材料冷却固化，能够不需要另外的工序就将微粒子与树脂部一体化。此外，所谓同种树脂材料是指基底树脂、填充材料及基底树脂与填充材料的配合比例中至少基底树脂的种类一致的材料。

上述的轴承可以如下这样制造。首先，使微粒子分散保持于电铸部，使该微粒子的一部分从电铸部的表面露出。例如通过在分散有微粒子的溶液中析出电铸部，能够使微粒子分散保持于电铸部。将该电铸部配置在模具的内腔内，若将树脂部的材料注射到该内腔内，则通过注射材料使在电铸部的表面露出的微粒子熔融。之后，熔融的微粒子冷却固化而与树脂部一体化，从而将电铸部与树脂部一体成形。

另外，为了解决上述课题，本发明提供一种电铸轴承，其具备：轴构件；电铸部，其内周面与轴构件的外周面隔着径向轴承间隙对置；树脂部，其覆盖电铸部且与电铸部密接，所述电铸轴承的特征在于，在树脂部中的至少与电铸部接触的面设置高密着力部，所述高密着力部比树脂部的其它区域相对于电铸部的密着力大。

如此，通过在树脂部的与电铸部接触的面设置高密着力部，能够确保电铸部与树脂部之间高的防脱耐力，另一方面，树脂部的其它区域可以由满足成形性、低排气性、耐油性等树脂部所要求的轴承特性的树脂形成，能够使防脱耐力与轴承特性两者并存。

当在树脂部与电铸部的接触部随机地设置高密着力部时，由于树脂部的其它部分(低密着力部)进入高密着力部之间的间隙而发挥锚效果，因此能够进一步提高电铸部与树脂部之间的防脱耐力。

为了提高与成形模具的脱模性，在树脂部的材料中大多含有脱模剂。相对于此，由于在本发明的电铸轴承的树脂部中的与电铸部的接触面上设置的高密着力部与成形模具未接触，因此高密着力部中的脱模剂的含有比例能够为0或者比树脂部的其它区域小，从而能够得到树脂部与电铸部的高密接性。

这样的电铸轴承例如能够在使树脂分布于电铸部的表面而形成高密着力部之后，通过镶嵌成形来形成树脂部的其它区域。此时，若将高密着力部与树脂部的其它部分(低密着力部)由同种树脂材料形成，则接触注射材料而使高密着力部的一部分熔融，之后进行冷却固化，从而能够将电铸部与树脂部一体化。此外，所谓同种树脂材料是指基底树脂、填充材料及基底树脂和填充材料的配合比例中至少基底树脂的种类一致的材料。

如上所述，当通过注射材料使高密着力部熔融时，若高密着力部完全熔融而与注射材料混合，则可能高密着力部相对于电铸部的密着力下降。因此，若将高密着力部由具有比低密着力部熔点高的材料形成，则通过低密着力部的注射材料能够避免高密着力部熔融的情况。进而，若将高密着力部由具有比低密着力部的材料的注射温度高的熔点的材料形成，则能够更加可靠地避免上述的不良情况。

另外，为了解决上述课题，在本发明中提供一种电铸轴承，其具备在内周具有轴承面的电铸部和将电铸部插入进行模成形的模成形部，所述电铸轴承的特征在于，在电铸部的一端外周形成有径向尺寸朝向所述一端逐渐缩小的缩径面。此外，在此所说的电铸部除了通过按照电解镀的方法形成的电铸部以外，还包括通过按照非电解镀的方法形成的电铸部。

如此，若在电铸部的一端外周形成径向尺寸向所述一端逐渐缩小的缩径面，则模成形部与插入的电铸部的外周面中的缩径面以面对的形式一体地模成形。因此，即使在脱模时或靠模分离时对模成形部施加轴向的加压力的情况，或在使用中施加轴向的冲击载荷的情况，都能够通过电铸部与模成形部在轴向上卡合来限制两者的轴向的相对移动。由此，能够实现电铸部与模成形部之间的结合力的提高，有效地防止两者的分离。

可以在电铸部的一端内周形成径向尺寸向所述一端逐渐扩大的扩径面。该扩径面能够作为将轴插入电铸轴承的内周时的引导面使用，另外，尤其将该电铸轴承用于流体轴承装置使用时，能够在该扩径面与插入电铸轴承的内周的轴之间形成呈锥形形状的空间。呈锥形形状的空间能够作为以填满轴承内部的润滑流体(例如，润滑油)的泄漏防止为目的而设置的锥形密封部使用，另外还能够作为向轴承间隙供给润滑油的油积存部使用。

扩径面的表面性状可以与轴承面的表面性状不同。这样的结构如后所述，能够通过如下方法得到：相对于能够由电铸部的与靠模的分离面构成的轴承面，而由电铸部的与在靠模表面设置的掩蔽部的分离面构成扩径面。在专利文献1中记载有伴随电铸部的析出成形，在电铸部的端部内周自然地形成锥面(扩径面)的主旨，但是该方法很难高精度地形成扩径面，尤其是假设将电铸部的扩径面作为形成密封部或油积存部中的一方的面使用时，很难进行适当的油量管理，由此不优选。相对于此，在本发明的结构中，通过预先将掩蔽部的一端形成高精度的扩径面，以与其相对应的形状使电铸部的扩径面高精度化。因此，能够适当地进行油量管理等，因而优选。

另外，为了解决上述的其它课题，提供一种电铸轴承的制造方法，其中，电铸轴承具备在内周具有轴承面的电铸部和将电铸部插入而进行模成形的模成形部，所述电铸轴承的制造方法的特征在于，在成为电铸部的形成母材的靠模表面上设置掩蔽部，其中该掩蔽部在一端外周具有径向尺寸沿拔出靠模方向逐渐扩大的扩径面，且沿着该掩蔽部的扩径面将电铸部析出形成，由此在电铸部的一端外周形成径向尺寸向电铸部的所述一端逐渐缩小的缩径面，并且在电铸部的一端内周形成径向尺寸向电铸部的所述一端逐渐扩大的扩径面。

如此，若在电铸部的析出成形时在电铸部的一端外周形成上述的缩径面，则能够避免工序数的增加带来的制造成本的增大，并且能够提高电铸部与模成形部之间的结合强度。另外，由于在形成缩径面的同时，在电铸部的一端内周形成上述的扩径面，因此能够以低成本得到能够起到上述的作用效果的电铸轴承。

在上述那样形成电铸部时，若掩蔽部的扩径面相对于靠模的外周面(严格来说为掩蔽部粘附的靠模的外周面)的倾斜角比15°小，则掩蔽部一端的强度不足，在除去掩蔽部时，可能在电铸部的扩径面的内周残存掩蔽部。另一方面，若所述倾斜角比60°大，则存在不可能在电铸部的一端外周形成扩径面的顾虑。因此，优选掩蔽部的锥形面相对于靠模的外周面的倾斜角为15°以上且60°以下。

需要在靠模表面设置的掩蔽部从使电铸轴承(电铸部)的制造成本低廉化的观点出发，优选尽可能通过简单的方法形成及除去，例如，考虑将在一端外周将具有上述形态的扩径面的非导体管压入靠模。但是，在压入非导体管时，存在由于压入阻力，非导体管的一端内周卷入非导体管的内周侧，在非导体管与靠模之间形成微小的间隙的情况。若在存在这样的间隙的状态下进行电铸加工，则在电铸部的一端形成飞边，需要将其另外除掉，可能反而使制造成本昂贵。另外，电铸加工后，在模成形部的成形前将非导体管除去(取出)时，很难在不损伤完成了的电铸部的情况下除去压入的非导体管。

因此，在本发明中，通过如下方法形成上述方式的掩蔽部：通过浸渍使掩蔽材料附着于靠模表面后，将靠模反转，在附着的掩蔽材料形成规定形状时使掩蔽材料固化。若这样进行，则由于通过附着于靠模表面的掩蔽材料中的表层部分流动而使掩蔽部形成为规定形状，因此在形成掩蔽部时，在掩蔽部与靠模之间不产生间隙。因此，能够有效地消除上述的飞边的产生问题。另外，上述那样形成的掩蔽部例如可以通过将掩蔽部浸渍于溶剂中，使掩蔽部膨润而除去，能够有效地避免在除去掩蔽部时损伤电铸部。

作为掩蔽材料，可以使用通过加热而固化的具有热固化性的材料(热固化型)或通过光线的照射而固化的具有光固化性的材料(光固化型)等具有各种固化特性的树脂材料，但是对于通过上述顺序形成规定形状的掩蔽部来说，需要在附着的掩蔽材料形成规定形状时快速使掩蔽材料固化。因此，掩蔽材料优选固化速度优良的材料，优选通过光线的照射而固化的光固化型。光固化型的掩蔽材料分为紫外线固化型、红外线固化型、可视光固化型等，但是其中尤其优选固化速度优良且低成本的紫外线固化型。另外，由于光固化型的掩蔽材料从被光线照射的部分即附着于靠模的掩蔽材料的表层部分进行固化，能够极力防止掩蔽部的形状恶化，因此从高精度地形成规定形状的掩蔽部的观点来说也优选。

另外，在上述方式中形成掩蔽部时，若掩蔽材料粘度低，则很难确保掩蔽部的厚度，另外，在反转靠模使掩蔽材料形成规定形状后，直到使掩蔽材料的表层部分固化之前的期间很难将掩蔽材料保持为规定形状。另一方面，若掩蔽部粘度高，则反转靠模后，掩蔽材料不流动，很难将掩蔽部、尤其掩蔽部的一端形成为规定形状。本发明者反复锐意研究，结果发现通过使用粘度在5Pa·s以上且12Pa·s以下的掩蔽材料能够避免上述的问题。

以上所示的电铸轴承能够适合构成在内周插入轴构件，且将该轴能够相对旋转地支承的流体动压轴承装置或滑动轴承装置。

如以上所述，根据本发明，能够得到将电铸部与树脂部牢固地固定的电铸轴承。

附图说明

图1是装入了本发明的轴承的风扇电动机的剖面图。

图2是轴承装置的剖面图。

图3是示出电铸加工工序的剖面图。

图4是示出电铸轴的剖面图。

图5是示出注塑成形工序的剖面图。

图6是另一实施方式的轴承装置的剖面图。

图7是另一实施方式的轴承装置的剖面图

图8是本发明的电铸轴承的剖面图。

图9是示出电铸轴的剖面图。

图10a是示出电铸部形成工序的剖面图。

图10b是示出电铸部形成工序的剖面图。

图10c是示出电铸部形成工序的剖面图。

图11是示出注塑成形工序的剖面图。

图12是示意性示出装入了轴承装置的主轴电动机的含轴剖面图。

图13是示意性示出本发明的轴承装置的一实施方式的含轴剖面图。

图14a是示出将靠模浸渍于掩蔽材料的状态的图。

图14b是示出将靠模从掩蔽材料中拉起的状态的图。

图14c是示出从图14b所示的状态反转靠模的状态的图。

图14d是示出使掩蔽层固化的状态的图。

图15是示意性示出电铸加工工序的主要部分放大剖面图。

图16a是示出在靠模粘附有电铸部及掩蔽部的状态的图。

图16b是示出电铸构件的图。

图17是示意性示出模成形部的插入成形工序的剖面图。

[符号说明]

1 轴承装置(电铸轴承)

2 轴构件

3 轴承构件

4 电铸部

4c 微粒子痕

5 树脂部

50 基底部

60 微小突部

6 微粒子

R1、R2 径向轴承部

T 推力轴承部

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的第一实施方式进行说明。

图1是示意性示出装入有本发明的一实施方式的电铸轴承1的电动机的图。该电动机为在个人计算机中等装入，用于发热源的冷却的风扇电动机，该电动机具备：支承轴构件2且旋转自如的轴承装置1；与轴构件2设为一体或另行设置且一体地具有风扇35的转子31；例如隔有径向的间隙而对置的定子线圈32及转子磁体33；托架34。转子线圈32安装在托架34的外周，转子磁体33安装在转子31的内周。当对转子线圈32通电时，由于定子线圈32与转子磁体33之间的电磁力而转子磁体33旋转，由此，转子31及风扇35与轴构件2一体地旋转而产生气流，进行发热源的冷却。

图2所示的轴承装置1作为主要构成构件具备轴构件2和在内周插入了轴构件2的轴承构件3。

轴承构件3由电铸部4和树脂部5形成为有底筒状，其中电铸部4通过电铸加工使镍或铜等金属离子在靠模表面析出而形成，树脂部5通过将电铸部4嵌入而进行注塑成形而形成。

电铸部4通过使例如镍等金属材料析出而形成，并形成为由侧部4a和底部4b构成的有底筒状。在电铸部4的侧部4a的内周面4a1的沿轴向分离的两个部位形成有排列成人字形状的动压槽4a11、4a12。电铸部4的底部4b的上侧端面4b1形成为没有凹凸的平坦面。另外，电铸部4如图2放大所示，在内部分散保持有微粒子6，并且，在外周面4a2及底部4b的下侧端面4b2、即与树脂部5接触的面具有微粒子痕4c。

树脂部5一体地具备从外周及下方保持电铸部4的基底部50和向电铸部4侧突出的无数个微小突部60。树脂部5的微小突部60进入电铸部4的微粒子痕4c，由此，微粒子痕4c的内部由微小突部60填满。

轴构件2由金属材料直径一定地形成，且在其下端形成有球面状凸部2b。当轴构件2旋转时，在轴构件2的外周面2a与电铸部4的内周面4a1之间形成有径向轴承间隙，动压槽4a11及4a12对该径向轴承间隙的润滑流体(例如，润滑油)产生动压作用，由此形成在径向支承轴构件2的径向轴承部R1、R2。另外，通过轴构件2的下端的球面状凸部2b的前端部与电铸部4的底部4b的上侧端部4b1接触构成枢轴轴承，由此，形成在推力方向支承轴构件2的推力轴承部T。

以下，基于附图对上述轴承构件3的制造工序的一个例子进行说明。

轴承构件3顺次经过在靠模轴20的外表面将作为电铸外壳的电铸部4析出成形的工序(电铸加工工序)、将电铸部4及靠模轴20作为插入部件进行树脂部5的模成形的工序(镶嵌成形工序)以及分离电铸部4和靠模轴20的工序(分离工序)而制造。

图3是示意性示出电铸加工工序的一个例子的图，在填满浴槽10内的电解质溶液11中配设有需要实施电铸加工的靠模轴20(阴极)及阳极12。靠模轴20及阳极12经由电线等与电力供给部13电连接，通过该电力供给部13在双方的电极20、12之间施加规定电压。

成为电铸部4的成形母体的靠模轴20由例如经淬火处理的不锈钢形成。在该实施方式中，靠模轴20的外周面20a形成为圆筒形状，且在该外周面20a中的与形成于电铸部4的内周面4a1的动压槽4a11、4a12的丘部对应的区域形成有凹部20a1、20a2(参照图4)。作为靠模轴20的材料，除了不锈钢以外，例如铬合金或镍合金等具有掩蔽性、导电性、耐药品性的材料即可，不论金属、非金属都能够任意选择。

由于靠模轴20的外周面精度直接控制成为轴承构件3的径向轴承面的电铸部4的内周面4a1的表面精度，因此优选尽可能预先高精度地进行加工。

如图3所示，在靠模轴20的外周面20a中的除了电铸部4的形成预定区域的部位预先形成非导电性的掩蔽部14。掩蔽部14的形成材料可以选择使用具有非导电性及对于电解质溶液的抗蚀性的材料。

电解质溶液11可以使用含有成为电铸部4的析出材料的金属(例如镍离子)的溶液。上述析出金属的种类可以根据成为径向轴承面的电铸部4的内周面4a1所要求硬度或所要求的耐油性等特性而进行适当选择。另外，在电解质溶液11中分散有由与轴承构件3的树脂部5的材料同种的树脂材料构成的微粒子6(参照图3的放大图)。另外，电解质溶液11中根据需要还可以含有碳等滑动材料或邻磺酰本酰亚胺等应力缓和材料。

阳极12是例如将与靠模轴20的外周面20a对置的面形成为仿形外周面20a的形状(横截面圆弧形状)的板状构件，且在成为阴极的靠模轴20的周围多个且等间隔地(例如以90°间隔四片)配设。在该状态下，通过电力供给部13向靠模轴(阴极)20及阳极12施加直流电压，对双方的电极20、12间的电解质溶液11通电。由此，离子化了的金属在靠模轴20的外周面20a中的除了掩蔽部14的区域析出，形成图4所示的电铸部4和靠模轴20的一体件。此时，电铸部4仿形在靠模轴20的外周面20a形成的凹部20a1、20a2而析出，由此在电铸部4的内周面4a1形成动压槽4a11、4a12。

另外，通过将微粒子6分散在溶液11中，在电铸部4析出的同时使微粒子6分散保持在电铸部4的内部。详细地说，微粒子6中的一部分完全进入电铸部4的内部(如图4放大图中6(A)所示)，其它从电铸部4的外表面(外周面4a2及底部4b的下侧端面4b2)露出(如图4放大图中6(B)所示)。此外，当微粒子6过大时，由于很难在电铸部4析出的同时使微粒子6保持于电铸部4，因此优选微粒子6的直径形成为由电铸部4能够保持的尺寸。

将经过上述工序制作的在外周设置有电铸部4的靠模轴20(以下，称为电铸轴15)作为插入部件供给配置到将树脂部5注塑成形的模具内。

图5示意性示出树脂部5的镶嵌成形工序。该工序中使用的模具由动模16和定模17构成。在定模17上设置有直浇道、横浇道(都省略图示)及浇口18。在将电铸轴15固定于动模16的状态下，使动模16接近定模17，当将双方的模具16、17合模时，在双方的模具16、17内部形成内腔19。另外，在双方的模具16、17中的开模时残留有插入成形件的一侧(在本实施方式中，动模16)设置有用于将成形件压出而向模外排出的推出机构。在本实施方式中，作为推出机构设置有多个挤压销21，该挤压销21构成为相对于动模16能够沿轴向相对移动。此外，浇口18在本实施方式中为点状浇口，形成在例如定模17中的与树脂部5的底部中央对应的位置。与填充的熔融树脂的粘度和成形件的形状对应而将浇口18的浇口面积设定为适当的值。

作为树脂部5的材料、即向内腔19内注射的树脂材料例如可以将作为非结晶性树脂的聚砜(PSF)、聚醚砜(PES)、聚苯砜(PPSU)、聚醚酰亚胺(PEI)等、作为结晶性树脂的液晶聚合物(LCP)、聚醚醚酮(PEEK)、聚对苯二甲酸丁二醇酯(PBT)、聚苯硫醚(PPS)等作为基底树脂使用。当然上述材料只不过是一个例子，只要能够适合于轴承的用途和使用环境，可以选择任意的树脂材料。根据需要也可以使用将上述或上述以外的树脂多个混合而成的材料。另外，通过在上述树脂中加入强化材料(纤维状、粉末状等形态不限)、润滑剂、导电化剂等各种填充材料，也能够实现特性的改善。

在上述结构的模具中，在将电铸轴15插入到规定位置的状态下使动模16接近定模17而进行合模。接下来，在合模的状态下经由直浇道、横浇道及浇口18将熔融树脂注射、填充到内腔19内，将树脂部5与电铸轴15一体地成形。由此，形成覆盖电铸部4的外表面的树脂部5。

此时，由于从电铸部4的表面露出的微粒子6(B)由与树脂部5的注射材料同种的材料形成，因此通过与熔融的注射材料接触，微粒子6(B)的一部分或全部熔融。之后，当熔融树脂冷却固化时，微粒子6(B)与树脂部5一体化，如图2的放大图所示，形成从树脂部5的基底部50向电铸部4侧突出的无数个微小突部60。该微小突部60进入在电铸部4的外表面形成的微粒子痕4c而发挥锚效果，使电铸部4与树脂部5的固定力提高。特别是，在电铸部4的表面露出的微粒子6(B)中的一半以上保持于电铸部4的微粒子6(B)(如图4的放大图60(B)1所示)与树脂部5一体化而形成的微小突部60(如图2的放大图60(C)所示)发挥着优良的锚效果，对电铸部4与树脂部5的固接力的提高产生重大的贡献。

成形后进行开模，将靠模轴20、电铸部4及树脂部5成为一体的成形件从动模16脱模。详细地说，开模后，通过将在一方的模具(在此为动模16)上设置的推出机构的挤压销21向内腔19内挤压，将成形件从动模16排出。

这样脱模而得到的成形件在之后的分离工序中被分离成由电铸部4及树脂部5构成的轴承构件3(参照图2)和靠模轴20。在该分离工序中，例如通过对靠模轴20、电铸部4或树脂部5施加冲击，使电铸部4的内周面4a1从靠模轴20的外周面20a剥离。由此，将靠模轴20从电铸部4及树脂部5拔出，得到轴承构件3。

在本发明中，如上所述，由于在与树脂部5一体化的微粒子6(微小突部60)与电铸部4之间发挥锚效果而使两者牢固地固定，因此在将靠模轴20与轴承构件3分离时，能够避免电铸部4与树脂部5分离的顾虑。特别是，如本实施方式所示，通过在靠模轴20的外周面20a形成的凹部20a1、20a2而在电铸部4的内周面4a1形成动压槽4a11、4a12的情况下，在上述的分离工序中，凹部20a1、20a2与动压槽4a11、4a12的丘部在轴向卡合，从而存在施加将要使电铸部4与树脂部5的固定面剥离的大的载荷的顾虑。在这种情况下，通过本发明，在提高电铸部与树脂部5的固定力上尤其有效。

作为电铸部4的分离方法，不限于上述方法，还可以使用例如通过将电铸部4和靠模轴20加热或冷却，使两者间产生热膨胀量差的方法或者并用上述的方法等。另外，分离工序也可以与通过推出机构进行的成形件的脱模同时进行。

在上述那样形成的轴承构件3的内周插入例如设置有转子31的轴构件2，从轴承构件3的大气打开侧(一端开口侧)向轴构件2的外周面2a与电铸部4的内周面4a1之间的含有径向间隙的轴承内部空间注入润滑油。由此，由润滑油填满轴承内部空间的轴承装置(电铸轴承)1完成。

本发明不局限于上述实施方式。以下，对本发明的其它实施方式进行说明。此外，在以下的说明中，在具有与上述的实施方式相同的结构、功能的部位标注相同的符号，并省略说明。

在上述实施方式中，将微粒子6由与树脂部5同种的材料形成，但是，不局限于此，也可以将微粒子6与树脂部5由不同种类材料形成。例如，若将微粒子6由比树脂部5的材料熔点低的材料形成，则通过与树脂部5的注射材料接触能够可靠地使微粒子6熔融。

另外，在上述实施方式中，作为电铸部4的形成方法示出了通过向电解质溶液11通电的所谓电解镀的方法，但是不局限于此。例如，也可以采用将靠模轴浸渍于含有目的金属的溶液中，通过溶液中的物质的化学反应使电铸部4析出的所谓非电解镀的方法。

另外，在上述实施方式中，电铸部4由一层构成，但是不局限于此，例如也可以由多层构成电铸部4。在图6所示的例子中，电铸部4由内侧的电铸层41和外侧的电铸层42这两层构成。在该情况下，只要在电铸部4中的至少与树脂部5接触的外侧的电铸层42分散保持有微粒子6即可。通过该微粒子6从外侧的电铸层42的外表面露出，与树脂部5一体化，能够得到与上述实施方式相同的效果。如此，通过将电铸部4由多层构成，且仅在与树脂部5接触的电铸层(在图6中，外侧的电铸层42)分散保持有微粒子6，能够维持从电铸部4的外表面露出而有助于电铸部4与树脂部5的固定力提高的微粒子6的密度，并且能够减少微粒子6的使用量，因而能够实现材料成本的降低。

另外，如图6所示，在将电铸部4由多层形成时，可以使用相同的方法形成各电铸层，但是也可以通过分别不同的方法例如电解镀法和非电解镀法形成。通常通过电解镀法形成电铸部时，形成速度快，但是电铸部的硬度不那么高。另一方面，通过非电解镀法形成电铸部时，形成速度慢但是能够得到高硬度的电铸部。因此，与轴构件2接触的内侧的电铸层41由于要求有高硬度而可以通过非电解镀法形成，不要求那样高硬度的外侧的电铸层42可以通过电解镀来形成，从而能够高效地制造具有高硬度的轴承面的电铸部。

另外，在图6所示的实施方式中，仅在外侧的电铸层42分散保持有微粒子6，但是不局限于此，在内侧的电铸层41也可以分散保持有微粒子(图示省略)。若这样，则由于从内侧的电铸层的外表面露出的微粒子陷入外侧的电铸层的内表面，微粒子在内外的电铸层间发挥锚效果，因此能够提高上述电铸层之间的固定力。

另外，在上述实施方式中，轴承构件3呈有底筒状，但是不局限于此，例如图7所示，也可以使用在轴向两侧开口的轴承构件3。在该情况下，可以将用于形成电铸部4的靠模轴作为轴构件2使用。在该情况下，由于能够将电铸部4从作为靠模轴的轴构件2剥离时形成的间隙作为轴承间隙，因此能够高精度地设定轴承间隙。另一方面，当与上述实施方式同样分别独立地形成靠模轴与轴构件2时，由于能够反复使用相同的靠模轴，因此通过高精度地加工靠模轴，能够使每个产品的品质均匀。

另外，在上述实施方式中，作为对径向轴承部R1、R2的轴承间隙的润滑流体产生动压作用的径向动压发生部，形成有人字形状的动压槽4a11、4a12，但是不局限于此，例如可以采用螺旋形状的动压槽、阶梯(step)轴承或多圆弧轴承。或者也可以不设置动压发生部，而构成将轴构件2的外周面2a及电铸部4的内周面4a1都形成圆筒面的所谓正圆轴承。特别是，如阶梯轴承、多圆弧轴承或正圆轴承那样，只要轴构件2的外周面2a及电铸部4的内周面4a1的横截面形状在轴向上一定，则在分离靠模轴与轴承时，靠模轴的外周面与电铸部4的内周面4a1不卡合，因此能够可靠地避免电铸部4与轴承部5的剥离。

另外，在上述中，由枢轴轴承构成推力轴承部T，但是不局限于此，例如可以在电铸部4的内底面4b1形成作为推力动压发生部的螺旋形状或人字形状的动压槽、阶梯轴承或波型轴承(阶梯型成为波形的轴承)等。该推力动压发生部通过对电铸部4的内底面4b1与轴端部2的端面之间的推力轴承间隙的润滑流体产生动压作用而形成推力轴承部(省略图示)。

另外，在上述中，在电铸部4的内周面4a1或内底面4b1形成动压发生部，但是可以在与各自隔有轴承间隙对置的面、即轴构件2的外周面2a或下端面设置动压发生部。

另外，在以上实施方式中，将径向轴承部R1、R2在轴向上分离设置，但是，也可以将上述轴承部R1、R2在轴向连续地设置。或者也可以仅设置上述轴承部R1、R2中的任一方。

另外，在以上实施方式中，作为在轴承装置1的内部填满，且在径向轴承间隙或推力轴承间隙产生动压作用的流体例示了润滑油，但是除此以外也可以使用能够在各轴承间隙产生动压作用的流体例如空气等气体、磁性流体或润滑脂等。

另外，在上述实施方式中，将本发明的电铸轴承使用于风扇电动机的旋转轴支承用，但是，不局限于此。例如也可以作为HDD等磁盘驱动用的主轴电动机、光盘或光磁盘驱动用的主轴电动机或激光打印机的多面扫描仪电动机等要求有高旋转精度的信息机械用的小型电动机中的旋转轴支承而使用。另外，本发明的电铸轴承对支承与轴之间的直线的相对滑动的滑动用的轴承、支承相对滑动和相对旋转这两者的滑动旋转用的轴承或者支承轴的三维方向的运动的摆动用的轴承中的任一种都能够适用。

以下，基于附图对本发明的第二实施方式进行说明。

图8示出轴承装置(电铸轴承)101。该轴承装置101作为主要构成构件具备轴构件102和在内周插入轴构件102且由电铸部104和树脂部105构成的轴承构件103。

电铸部104通过使例如镍等金属材料析出而形成，并形成为由侧部104a和底部104b构成的有底筒状。在电铸部104的侧部104a的内周面104a1的沿轴向分离的两个部位形成有以人字形状排列的动压槽104a11、104a12(如图8中虚线所示)。电铸部104的底部104b的上侧端面104b1形成为没有凹凸的平坦面。

树脂部105覆盖电铸部104的外表面(指侧部104a的外周面104a2及底壁104b的下侧端面104b2，以下相同)且与电铸部104的外表面密接而形成。树脂部105具备：设置于与电铸部104接触的面且相对于电铸部104的密着力高的高密着力部151；比高密着力部151相对于金属的密着力低的低密着力部152。如此，通过在树脂部105设置高密着力部151，能够提高电铸部104与树脂部105的密接性，从而能够提高上述部件之间的防脱耐力。另外，低密着力部152由于不要求与电铸部104的密接性而材料选择的范围广，可以使用满足成形性和低排气性等树脂部105所要求的轴承特性的树脂材料。

高密着力部151在电铸部104的外表面随机分布成独立的岛状，并且低密着力部152的材料进入高密着力部151之间(参照图8放大图的A部)。由此，在电铸部104与树脂部105之间发挥着锚效果，能够进一步提高上述部件之间的防脱耐力。

高密着力部151及低密着力部152由同种树脂材料形成。例如可以使用将作为非结晶性树脂的聚砜(PSF)、聚醚砜(PES)、聚苯砜(PPSU)、聚醚酰亚胺(PEI)等、作为结晶性树脂的液晶聚合物(LCP)、聚醚醚酮(PEEK)、聚对苯二甲酸丁二醇酯(PBT)、聚苯硫醚(PPS)等作为基底树脂的树脂材料。当然上述材料只不过是一个例子，只要能够适合轴承的用途和使用环境，能够选择任意的树脂材料。根据需要也可以使用将上述或上述以外的多种树脂混合而成的材料。另外，通过在上述树脂材料中加入强化材料(纤维状、粉末状等形态不限)、润滑剂、导电化剂等各种填充材料，也能够实现特性的改善。考虑与模具的脱模性而在低密着力部152的材料中含有PTFE粉末或聚乙烯等脱模剂。另一方面，高密着力部151的材料可以使用脱模剂的含有比例为0或者与低密着力部152的材料相比脱模剂的含有比例小的材料。

轴构件102具有圆筒面状的外周面102a，在其下端形成有球面状凸部102b。当轴构件102旋转时，在轴构件102的外周面102a与电铸部104的内周面104a1之间形成有径向轴承间隙，动压槽104a11及104a12对该径向轴承间隙的润滑流体(例如，润滑油)产生动压作用，由此形成在径向支承轴构件102的径向轴承部R1、R2。另外，通过轴构件102的下端的球面状凸部102b的前端部与电铸部104的底部104b的上侧端部104b1接触而构成枢轴轴承，由此，形成在推力方向上支承轴构件102的推力轴承部T。

以下，基于附图，以轴承构件103的制造工序为中心，对轴承装置101的形成方法的一个例子进行说明。

轴承构件103依次经过在靠模轴120的外表面析出形成作为电铸外壳的电铸部104的工序(电铸部析出工序)、在电铸部104的外表面形成高密着力部151的工序(高密着力部形成工序)、将电铸部104、高密着力部151及靠模轴120作为插入部件进行低密着力部152的注塑成形的工序(插入成形工序)以及分离电铸部104和靠模轴120的工序(分离工序)而制造。

在电铸部析出工序中，在电解质溶液中配设有靠模轴(阴极)及阳极，在上述的电极之间施加规定电压。由此，形成在图9所示的靠模轴120的外表面析出电铸部104而得到的一体件(以下，称电铸轴115)。

靠模轴120由例如经淬火处理的不锈钢形成。在本实施方式中，在靠模轴120的外周面120a设置有用于在电铸部104的内周面104a1形成动压槽104a11、104a12(参照图8)的成形模120a1、120a2。成形模120a1、120a2由与动压槽104a11、104a12的丘部对应的形状的凹部构成。作为靠模轴120的材料，除了不锈钢以外，例如铬合金或镍合金等具有掩蔽性、导电性、耐药品性的材料即可，不管金属、非金属都能够任意选择。此外，由于靠模轴120的外周面精度直接控制成为轴承材料103的径向轴承面的电铸部104的内周面104a1的表面精度，因此优选尽可能预先高精度地进行加工。

在靠模轴120的外周面120a中的除了电铸部104的形成预定区域的部位预先形成有非导电性的掩蔽部114。掩蔽部114的形成材料可以选择使用具有非导电性及对电解质溶液的抗蚀性的材料。

电解质溶液可以使用含有成为电铸部104的析出材料的金属(例如镍离子)的溶液。上述析出金属的种类可以根据成为径向轴承面的电铸部104的内周面104a1所要求硬度或所要求的耐油性等特性而进行适当选择。另外，根据需要，电解质溶液中还可以含有碳等滑动材料或邻磺酰本酰亚胺等应力缓和材料。

将如此制作的电铸轴115移送到高密着力部形成工序，在该工序中，首先，如图10(a)所示，将电铸轴115浸渍于处理液110中。该处理液110为在乙醇等液体中悬浊有树脂粉末111的膏剂，优选树脂粉末111的直径在1μm以上200μm以下的范围内，且其平均直径在30μm以上100μm以下的范围内。

当从处理液110拉起电铸轴115时，树脂粉末111附着在电铸轴104的外周面104a2及底部104b的下侧端面104b2(参照图10(b))。在该状态下，通过热风等使电铸轴115升温，由此使电铸轴115干燥且使树脂粉末111熔融，在电铸部104的外表面形成高密着力部151(参照图10(c))。此时，若附着于电铸部104的外表面的树脂粉末111的密度过高，则高密着力部151均匀地覆盖电铸部104的整个外表面，存在不能够充分发挥高密着力部151与低密着力部152之间的锚效果的顾虑。因此，优选通过调整投入处理液110中的树脂粉末111的浓度，在电铸部104的外表面随机地形成高密着力部151。或者，也能够通过使用粒径的不均大的树脂粉末111，在高密着力部151的外周积极地形成厚度方向的凹凸，得到锚效果。

将如此形成有高密着力部151的电铸轴115作为插入部件供给于将低密着力部152注塑成形的模具内。

图11示意性示出低密着力部152的镶嵌成形工序。该工序中使用的模具由动模116和定模117构成。在定模117上设置有直浇道、横浇道(同时省略图示)及浇口118。在将电铸轴115固定于动模116的状态下，使动模116接近定模117，当将双方的模具116、117合模时，在双方的模具116、117内部形成内腔119。另外，在双方的模具116、117中的开模时残留有插入成形件的一侧(在本实施方式中，动模116)设置有用于将成形件挤出而向模外排出的推出机构。在本实施方式中，作为推出机构设置有多个挤压销121，该挤压销121构成为相对于动模116能够沿轴向相对移动。此外，浇口118在本实施方式中为点状浇口，形成在例如定模117中的与树脂部105的底部中央对应的位置。与填充的熔融树脂的粘度和成形件的形状对应而将浇口118的浇口面积设定为适当的值。

在上述结构的模具中，在将电铸轴115插入到规定位置的状态下使动模116接近定模117而进行合模。接下来，在合模的状态下经由直浇道、横浇道及浇口118将熔融树脂注射、填充到内腔119内，将低密着力部152与电铸轴115一体成形。通过以上方法，形成保持电铸部104的树脂部105。此时，低密着力部152的注射材料进入在电铸部104的外表面随机地形成的高密着力部151之间而发挥锚效果，使电铸部104与树脂部105的防脱耐力提高。

在本实施方式中，由于高密着力部151及低密着力部152由同种树脂材料形成，因此通过低密着力部152的注射材料与高密着力部151接触，而使高密着力部151的一部分熔融，之后通过固化使由高密着力部151及低密着力部152构成的树脂部105一体地成形。此外，在该情况下，若高密着力部151由于与注射材料接触而完全熔融并与注射材料混合，则可能在成形后的树脂部105中没有残留有高密着力部151。因此，需要通过调整注射材料的温度或高密着力部151的树脂材料中配合的填充剂等，以免高密着力部151完全熔融。

成形后进行开模，将靠模轴120、电铸部104及树脂部105成为一体的成形件从动模116脱模。详细地说，开模后，通过将在一方的模具(在此为动模116)上设置的推出机构的挤压销121向内腔19内挤出，将成形件从动模116排出。此时，通过在树脂部105中的与模具接触的低密着力部152的注射材料中预先混入脱模剂，能够提高模具与树脂部105的脱模性，使脱模变得容易。此外，不局限于此，通过在模具上预先喷涂喷射类型的PTFE或硅微粉末的状态下，将低密着力部152注塑成形，也能够提高模具与树脂部105的脱模性。

如此脱模而得到的成形件在之后的分离工序中被分离成由电铸部104及树脂部105构成的轴承构件103(参照图8)和靠模轴120。在该分离工序中，例如通过对靠模轴120、电铸部104或树脂部105施加冲击，将电铸部104的内周面104a1从靠模轴120的外周面120a剥离。由此，将靠模轴120从电铸部104及树脂部105拔出，得到作为完成件的轴承构件103。

在本发明中，如上所述，通过在树脂部105设置高密着力部151，能够提高树脂部105与电铸部104的防脱耐力，因此在将靠模轴120与轴承构件103分离时，能够避免电铸部104与树脂部105分离的顾虑。并且，低密着力部152的材料进入在电铸部104的外表面随机地设置的高密着力部151之间而发挥锚效果，从而能够将两者更加牢固地固定。特别是，在本实施方式中，在靠模轴120的外周面120a形成的凹部120a1、120a2与在电铸部104的内周面104a1形成的动压槽104a11、104a12的丘部在轴向上卡合，从而存在施加将要使电铸部104与树脂部105的固定面剥离的大的载荷的顾虑，因此，通过本发明能够有效地提高电铸部104与树脂部105的固定力。

作为电铸部104的分离方法，不限于上述方法，还能够使用例如通过将电铸部104和靠模轴120加热或冷却，使两者间产生热膨胀量差的方法或者并用上述方法等。另外，分离工序也可以与通过推出机构进行的成形件的脱模同时进行。

在如上述形成的轴承构件103的内周插入例如设置有转子131的轴构件102，从轴承构件103的大气开放侧(一端开口侧)向轴构件102的外周面102a与电铸部104的内周面104a1之间的含有径向间隙的轴承内部空间注入润滑油。由此，由润滑油填满轴承内部空间的电铸装置(流体动压轴承装置)101完成。

本发明不局限于上述实施方式，以下，对本发明的其它实施方式进行说明。此外，在以下的说明中，在具有与上述实施方式同样的结构、功能的部位标注相同的符号，并省略说明。

在上述实施方式中，作为高密着力部151的树脂材料即树脂粉末111的树脂材料可以使用与低密着力部152同种的树脂材料，但是不局限于此。例如，若使用比低密着力部152熔点高的树脂材料形成高密着力部151，则在低密着力部152的注塑成形时，注射到内腔内的熔融树脂与高密着力部151接触时，能够避免高密着力部151完全熔融的情况。另外，在注塑成形时，在将熔融树脂加热到比熔点高的温度的状态下向内腔内注射，但是若由具有比该注射温度高的熔点的树脂材料形成高密着力部151，则能够可靠地避免上述不良情况。

另外，在上述实施方式中，高密着力部151在电铸部104的外表面随机地形成，但是在不是特别需要锚效果的情况下，也可以将高密着力部151例如形成为圆筒状。在该情况下，以将与电铸部104另行形成的圆筒状的高密着力部151的内周面通过粘接等固定在电铸部104的外周面104a2的状态，进行低密着力部152的镶嵌成形而形成轴承构件103。

另外，在上述实施方式中，作为电铸部104的形成方法示出了通过向电解质溶液通电的所谓电解镀的方法，但是不局限于此。例如，也可以采用将靠模轴浸渍于含有目的金属的溶液中，通过溶液中的物质的化学反应使电铸部104析出的所谓非电解镀的方法。除此以外，也可以通过机械加工或塑性加工形成电铸部104。

以下，基于附图对本发明的第三实施方式进行说明。

图12是示意性示出装入了本发明的一实施方式的轴承装置(电铸轴承)201的电动机的一个例子的剖面图。该图所示的电动机是例如作为HDD等盘驱动用的主轴电动机使用的电动机，其具备：支承轴构件202且使其旋转自如的轴承装置201；在轴构件202上设置的盘毂203；例如隔有径向的间隙而对置的定子线圈204及转子磁体205；以及在内周固定轴承装置201的轴承构件207的托架206。定子线圈204安装在托架206的圆筒部外周，转子磁体205安装在盘毂203的内周。在盘毂203保持有一张或多张(图示例中为两张)磁盘等盘D。在以上结构中，当对定子线圈204通电时，由于定子线圈204与转子磁体205之间的电磁力而转子磁体204旋转，由此，盘毂203及保持于盘毂203的盘D与轴构件202一体地旋转。

图13所示的轴承装置201作为主要的结构具备轴构件202和在内周插入轴构件202的轴承构件207。轴承构件207具备电铸部208和将电铸部208插入而与电铸部208一体模成形的模成形部209。在本实施方式中，电铸部208形成为上端开口的有底筒状，模成形部209以覆盖该电铸部208的外表面的形式也形成为有底筒状。此外，与模成形部209的厚度相比，实际的电铸部208的厚度特别小，但是为了容易理解，在图示例中将电铸部208的厚度夸张描绘。

轴构件202例如由不锈钢等金属材料形成为实心轴。轴构件202的外周面202a在整个轴向全长形成为直的圆筒面，轴构件202的下端面202b形成为向下方突出成圆弧状的凸曲面。

在电铸部208的内周面形成有直径一定的圆筒面208a和扩径面208c，其中圆筒面208a为与后述的轴承构件207(电铸部208)的制造工序中使用的靠模212的分离面，扩径面208c位于比圆筒面208a更靠开口侧的位置，且径向尺寸向上方锥状地逐渐扩大。电铸部208的圆筒面208a作为在其与轴构件202的外周面202a之间形成有径向的轴承间隙210的轴承面而发挥功能，电铸部208的扩径面208c作为在其与轴构件202的外周面202a之间形成径向尺寸向下方逐渐缩小的锥形形状的密封空间211的密封面而发挥作用。

在电铸部208的上端外周形成有径向尺寸向上方(将靠模212拔出的方向)逐渐缩小的呈凸曲面状的缩径面208d，模成形部209覆盖该缩径面208d而与电铸部208一体地模成形。电铸部208的内底面208b形成为平滑的平坦面。

在包括轴承间隙在内的轴承内部空间填满作为润滑流体的润滑油，润滑油的油面始终维持在密封空间211内。此外，轴承间隙210及密封空间211的径向尺寸实际上与轴构件202或轴承构件207的径向尺寸相比特别微小，但是为了容易理解，在图示例中将轴承间隙210及密封空间211的径向尺寸夸张描绘。

在由以上结构构成的轴承装置201中，当轴构件202与轴承构件207相对旋转(在本实施方式中轴构件202旋转)时，在轴承间隙210形成润滑油的油膜，经由该油膜将轴构件202相对于轴承构件207在径向支承为旋转自如。同时，轴构件202的下端面202b经由润滑油而由轴承构件207的内底面(电铸部208的内底面208b)接触支承，由此，将轴构件202相对于轴承构件207在推力方向上支承为旋转自如。

另外，在轴构件202旋转时，由于密封空间211呈向轴承内部侧逐渐缩径的锥形形状，因此，密封空间211内的润滑油由于基于毛细管力的牵引作用，被向密封空间211变窄的方向、即轴承构件207的内部侧牵引。由此，能够有效地防止润滑油从轴承构件207的内部的泄露。

另外，与轴承间隙210的上方相邻而设置密封空间211，该密封空间211除了作为上述那样防止润滑油的泄露的密封部(锥形密封部)的功能以外，还具有作为油积存部的功能。因此，在轴承运转时能够向轴承间隙210稳定供给润滑油。由此，能够防止轴承间隙210内的润滑油不足引起的油膜间断，能够维持高的旋转性能。

以下，基于附图，以轴承构件207的制造工序为中心，对由上述结构形成的轴承装置201的制造工序进行说明。

轴承构件207主要依次经过(A)制作成为电铸部208的成形母体的靠模的工序、(B)在靠模表面形成掩蔽部的工序、(C)对形成有掩蔽部的靠模实施电铸加工而析出形成电铸部208的工序、(D)将设置有电铸部208的靠模插入而将模成形部209与电铸部208一体地注塑成形的工序、以及(E)从靠模将具有电铸部208的轴承材料207分离的工序。

(A)靠模制作工序

在靠模制作工序中，利用导电性材料例如实施了淬火处理的不锈钢制作实心轴状的靠模212。作为靠模212的形成材料，只要是满足所要求的导电性和耐药品性等的材料，除了不锈钢以外，还可以采用镍系合金、铬系合金等金属材料、或实施导电处理(例如，在表面形成导电性的被膜)的陶器等非金属材料。靠模212的表面中的电铸部208的析出成形区域(以下，称为析出形成部M)的表面精度直接控制作为轴承面而发挥作用的电铸部208的圆筒面208a及内底面208b精度。因此，析出形成部M的表面精度根据轴承面所要求的精度而进行高精度地加工。此外，在靠模212的表面中的除了析出形成部M的区域还可以预先实施用于提高掩蔽材料的附着性的表面处理。

(B)掩蔽工序

在掩蔽工序中，在靠模212的外表面中的除了析出形成部M的区域形成掩蔽部215。作为形成掩蔽部215的掩蔽材料213，考虑后述的电铸加工而使用具有绝缘性及对于电解质溶液的抗蚀性的树脂材料。并且，在本实施方式中，在通过以下所示的方法形成掩蔽部215时，使用光固化性树脂、其中优选使用固化速度优良且根据后述的理由而粘度在5Pa·s以上且12Pa·s以下的紫外线固化树脂。具体地说，例如可以使用三悠树脂株式会社制(サンユレツク株式会社製)的SUV-103(粘度：10Pa·s)或SUV-381(粘度：8Pa·s)，在本实施方式中使用SUV-103。此外，根据需要，也可以在上述树脂材料中适当配合光聚合引发剂等各种添加剂。

以下，基于图14对掩蔽部215的形成顺序进行详细叙述。

首先，如图14(a)所示，在容器等中填满上述的掩蔽材料213，将靠模212的除了析出形成部M的区域浸渍于该填满的掩蔽材料213中，之后拉起靠模212(浸渍)。当拉起靠模212时，如图14(b)所示，在靠模212表面形成以规定厚度附着掩蔽材料213而成的掩蔽层213’。掩蔽层213’通过附着的掩蔽材料213的自重，形成其厚度向析出形成部M的轴向相反侧逐渐增大的形态。

接下来，如图14(c)所示，将靠模212的上下反转，使靠模212形成倒立状态。当靠模212形成倒立状态时，掩蔽层213’中的析出形成部M相反侧的掩蔽材料213通过其自重而向析出形成部M侧逐渐流动。并且，如该图所示，在掩蔽层213’的一端部(析出形成部M侧端部)形成锥形面214，且在锥形面214相对于靠模212外周面(轴线)的倾斜角α达到规定值时，如图14(d)所示，从未图示的紫外线灯等固化装置照射光线(紫外线)216，使掩蔽层213’固化。掩蔽层213’的固化以从其表层部向内部逐渐推进的方式进行，当掩蔽层213’完全固化时，在靠模212的除了析出形成部M的区域形成掩蔽部215。如此，若使用紫外线固化树脂作为掩蔽材料213，则附着在靠模212上的掩蔽层213’的表层部首先固化，因此能够极力防止掩蔽层213’的形状的崩溃而得到规定形状的掩蔽部215。

在此，对于在掩蔽部215的一端设置的锥形面214的倾斜角α而言，若其比15°小，则掩蔽部215的强度不足情况显著，在后述的电铸加工之后除掉掩蔽部215时，在电铸部208的扩径面208c的内周残存掩蔽部215的前端的顾虑变高。另一方面，若倾斜角α比60°大，则在后述的电铸加工时，很难在电铸部208的一端外周形成扩径面208d。鉴于这样的情况，优选倾斜角α为15°以上且60°以下(15°≤α≤60°)，更加优选倾斜角α为15°以上且45°以下。

通过例如根据使用的掩蔽材料213的粘度而对靠模212翻转后且开始照射光线216前的时间等进行管理，能够精度良好地形成这样的掩蔽部215的一端形状。此外，在电铸部208的一端内周形成的扩径面208c的倾斜角为与掩蔽部215的锥形面214的倾斜角α相对应的角度，直接控制密封空间211的容积，因此，锥形面214的倾斜角α只要在上述范围内，则可以根据需要的密封空间211的容积而设定为任意的值。

另外，由于通过上述的顺序形成掩蔽部215，因此存在将使用的掩蔽材料213的粘度限定在5Pa·s以上且12Pa·s以下的范围的意义。即，无论是掩蔽材料213的粘度比5Pa·s小的情况及比12Pa·s大的情况中的任一种情况，都很难形成规定形状的掩蔽部215。具体地说，前者的情况，由于掩蔽材料213的流动性比较好，因此很难在将掩蔽层213’保持为规定形状的状态下使其完全固化，另外，掩蔽层213’的膜厚变薄，需要在掩蔽部215上设置的锥形面214的倾斜角α不到15°的顾虑变高。另一方面，后者的情况，由于掩蔽材料213的流动性低，因此在图14(c)所示的阶段中掩蔽层213’不顺利地流动，存在不能够形成需要在掩蔽部215的一端设置的锥形面214的顾虑，另外，即使能够形成锥形面214，其倾斜角α也变得过于大。

若以上那样形成掩蔽部215，则在掩蔽部215与靠模212之间不形成间隙，在以下所示的电铸加工时，能够防止在电铸部208的一端产生飞边，从而能够低成本地形成高精度的电铸部208。

(C)电铸加工工序

将形成有掩蔽部215的靠模212移送到电铸加工工序。在该工序中，将靠模212浸渍于含有Ni或Cu等金属离子的电解质溶液中，之后对靠模212通电，通过在靠模212的析出形成部M析出目的金属(电解析出)而形成电铸部208。电解质溶液中根据需要还可以含有碳或氟系粒子等滑动材料或邻磺酰本酰亚胺等应力缓和材料。电沉积金属的种类可以根据作为轴承面发挥作用的圆筒面208a所要求的硬度、疲劳强度等物理性质或化学性质而适当选择。

电铸部208以逐渐堆积到靠模212的析出形成部M的方式析出成形，在电铸加工的初始阶段，如图15所示，直到与掩蔽部215的一端的边界部为止析出形成电铸层(第一电铸层281)。随着进行电铸加工，以覆盖第一电铸部281的一端的方式且其一端内周仿形掩蔽部215的锥形面214而形成第二电铸层282。

再次进行电铸加工时，与上述同样以覆盖第二电铸层282的方式堆积电铸层。通过这样将规定厚度的电铸层析出形成，能够在靠模212的析出形成部M上形成有底筒状的电铸部208。在上述方式中将电铸部208析出成形的结果是，在完成的电铸部208的一端内周形成径向尺寸沿拔出靠模212的方向锥状地逐渐扩大的扩径面208c，并且在一端外周形成径向尺寸沿拔出靠模212的方向以凸曲面状逐渐缩小的缩径面208d。此外，对于电铸部208的厚度，若其过于厚，则从靠模202的剥离性降低，相反若过于薄，则与电铸部208的耐久性降低相关联，因此根据所要求的轴承性能、轴承尺寸及用途等，最适合的厚度例如为10μm～200μm左右的厚度。

此外，电铸部208除了按照以上叙述的电解镀(电镀)的方法以外，还可以通过按照非电解镀(化学镀)的方法形成。

将电铸部208向靠模212的析出成形部M上析出成形后，将在靠模212上设置的掩蔽部215除去。掩蔽部215的除去例如可以通过如下方法进行：将靠模212在丙酮或甲苯等有机溶剂中浸渍规定时间，使掩蔽部215膨润，之后将靠模212从有机溶液中取出并将掩蔽部215拔出。这样，当除去掩蔽部215时，如图16(b)所示，形成由靠模212与电铸部208的一体件构成的电铸构件217。在这样的方式中，若除去掩蔽部215，则在除去掩蔽部215时能够有效地防止电铸部208损伤的情况。

如此，当除去掩蔽部215时，由于电铸部208的扩径面208c成为电铸部208与设置在靠模212上的掩蔽部215(的锥形面214)的分离面，因此电铸部208的扩径面208c形成为仿形掩蔽部215的锥形面214的高精度的面。因此，在将电铸部208的锥形面208c作为形成密封空间211的一方的面使用的本实施方式中，能够高精度地进行油量管理等，能够实现轴承性能的稳定化。此外，通过这样形成扩径面208c，扩径面208c的表面性状与成为电铸部208与靠模212的分离面的圆筒面208a的表面性状不同。

(D)插入成形工序

将以上那样形成的电铸构件217移送到插入成形工序，并将电铸构件217作为插入部件供给配置到使模成形部209插入成形的成形模内。

图17是示意性示出模成形部209插入成形工序的图。该图所示的成形模具作为主要结构具备能够相对地在轴向上移动的上模218及下模219，在将两模218、219合模的状态下，在两模218、219之间形成与模成形部209的形状对应的内腔221。在本实施方式中，下模219为固定侧，在其轴心上设置有浇口220，其中该浇口220用于将熔融材料、在此为熔融树脂注射到内腔221内。另一方面，在成为可动侧的上模218设置有用于保持靠模212(电铸构件217)的保持孔218a，并且沿圆周方向设置有多个作为将成形件排出模外的排出机构的推出销222。推出销222能够通过未图示的驱动机构而相对于上模218相对地上下移动。此外，在本实施方式中，浇口220形成为点状的浇口，但是也可以采用圆环状的浇口(膜浇口)等其它的浇口形状。另外，可以根据注射的熔融树脂的粘度等而将浇口220的浇口面积设定为适当的值。

在由以上的结构构成的成形模具中，将电铸轴217定位配置于上模218的保持孔218a中后，使下模219接近上模218而进行合模。合模后，经由直浇道、横浇道(都省略图示)及浇口220将熔融树脂注射、填充到内腔221内，将模成形部209与电铸轴217一体地模成形。由此，形成覆盖电铸部208的外表面的有底形状的模成形部209。

用于模成形部209的成形的树脂材料除了例如液晶聚合物(LCP)、聚苯硫醚(PPS)、聚醚醚酮(PEEK)、聚缩醛(POM)、聚酰胺(PA)等结晶性树脂以外，还可以将聚苯砜(PPSU)、聚醚砜(PES)、聚醚酰亚胺(PEI)、聚酰胺酰亚胺(PAI)等非结晶性树脂作为基底树脂。例示的上述的基底树脂不仅可以使用一种，还可以将两种以上混合使用。另外，根据需要，还可以在上述的基底树脂中加入一种或两种以上的强化材料(不限纤维状、粉末状等形态)、润滑剂、导电材料等各种填充材料。

模成形部209成形后，进行开模，将靠模212、电铸部208及模成形部209成为一体的成形件从上模218脱模。详细地说，开模后，使在上模218上设置的推出销222相对于上模218向下模219侧进行相对移动，将残留在上模218的成形件向下模219侧挤出，由此将成形件排出模外。

(E)分离工序

将如上述那样成形并且从成形模具脱模的成形件移送到分离工序，将其分离成电铸部208及模成形部209一体化而成的轴承构件207和靠模212。在该分离工序中，例如通过对靠模212或轴承构件207(电铸部208及模成形部209中的任一方或双方)施加冲击，使电铸部208的内周面(圆筒面208a)扩径少许量，而将电铸部208从靠模212的表面剥离。由此，能够将靠模212从轴承构件207分离，若拔出靠模212，则得到作为成形件的轴承构件207。

此外，作为电铸部208的剥离方法，除了上述方法以外，还可以使用例如通过将电铸部208和靠模212加热(或冷却)，使两者间产生热膨胀量差的方法或者并用两种方法(冲击和加热)的方法等。

在上述那样形成的轴承构件207的内周插入与靠模212分别准备的轴构件202，并使作为润滑流体的润滑油填满轴承构件207的内部空间，由此，完成图13所示的轴承装置201。另一方面，分离的靠模212能够反复用于电铸加工。

如上所述，由于将模成形部209与在镶嵌成形的电铸部208的一端外周设置的缩径面208d以面对的形式一体成形，因此在成形件从成形模具脱模时，由图17可知，模成形部209在受到由推出销222产生的挤压力(加压力)的方向上与电铸部208卡合，限制两者的轴向的相对移动。由此，能够实现电铸部208与模成形部209之间的结合力的提高，在脱模时能够有效地防止电铸部208与模成形部209分离。另外，根据相同的观点，在拔出靠模212时，能够有效地防止由于在模成形部209上作用的对靠模212的拉拔力(例如，由夹具产生的约束力)而使电铸部208与模成形部209分离的情况。

另外，在电铸加工的特性上，成为向靠模212的析出开始面(与靠模212的分离面)的电铸部208的圆筒面208a成为高精度地转印靠模212(析出成形部M)的表面精度的致密面。另一方面，析出结束侧的面、即电铸部208的外表面形成为粗糙面。因此，在模成形部209成形时，熔融树脂进入电铸部208表面的微小的凹凸，通过所谓的锚效果使电铸部208与模成形部209的结合力进一步提高。

另外，由于在电铸加工时形成电铸部208的缩径面208d，因此不产生由于设置缩径面208d而带来的特别的成本增加。因此，能够低成本地制造电铸部208与模成形部209的结合强度高的轴承构件207。

以上，对于将模成形部209通过树脂注塑成形的情况进行了说明，但是模成形部209也可以使用树脂以外的熔融材料例如镁或铝等金属材料进行注塑成形。但是，在该情况下，从防止作为插入部件的电铸部208的形状精度恶化的观点出发，用于模成形部209的成形的金属材料必须比电铸部208(电铸金属)熔点低。此外，电铸金属为镍(Ni)或铜(Cu)时，由于镁和铝比电铸金属熔点低，因此能够没有问题地使用。此外，由金属粉末和粘合剂的混合物进行注塑成形后，可以采用进行脱脂、烧结的所谓MIM成形来将模成形部209成形。当然在该情况下，使用的金属粉末也需要选择比电铸金属熔点低的材料。

另外，以上，对使用了与用于电铸加工的靠模212分别准备的轴构件202的轴承装置201进行了说明，但是也可以将靠模212直接作为轴构件202使用。在该情况下，如图14等所示的靠模212那样，不将两端面形成平坦面，而制作一端为凸曲面的靠模，若在该凸曲面侧形成掩蔽部，则能够使用该靠模构成图13所示的轴承装置201。

另外，以上，对由所谓的正圆轴承构成轴构件202相对于轴承构件207的径向的支承的轴承装置201进行了说明，但是也可以采用除此以外的轴承。例如，虽然图示省略，但是通过在轴构件202的外周面202a或轴承构件207的内周面(电铸部208的圆筒面208a)中的任一方设置产生润滑油的动压作用的径向动压发生部，能够由所谓的动压轴承构成轴构件202的径向的支承。此外，作为径向动压发生部，除了人字形状或螺旋形状的动压槽以外，还可以采用在圆周方向上设置多个的圆弧面或轴向槽等。

另外，以上，对由所谓的枢轴轴承构成轴构件202相对于轴承构件207的径向的支承的轴承装置201进行了说明，但是例如通过使轴构件202的下端面202b形成为平坦面，且在该平坦面或与其对置的轴承构件207的内底面(电铸部208的内底面208b)设置推力动压发生部，能够由所谓的动压轴承构成轴构件202的推力方向的支承。作为推力动压发生部可以采用人字形状或螺旋形状的动压槽、多个径向槽等(以下，图示省略)。

另外，以上，作为在轴承装置201的内部空间填充的润滑流体使用了润滑油，但是也可以将能够形成润滑流体膜的其它流体、例如润滑脂或磁性流体及空气等气体等作为润滑流体使用。

另外，以上说明的轴承装置201不局限于图12所示的盘驱动装置用的主轴电动机，也能够适合组装于其它的电动机、例如组装于个人计算机(PC)用的风扇电动机中进行使用。

Claims (6)

1.一种电铸轴承，具备：

轴构件；

电铸部，其内周面与轴构件的外周面隔着径向轴承间隙对置；

树脂部，其是将电铸部作为插入部件进行注塑成形而形成的，

所述电铸轴承的特征在于，

微粒子分散保持于电铸部，电铸部中的从与树脂部接触的面露出的微粒子熔融而与树脂部一体化。

2.一种电铸轴承，具备：

轴构件；

电铸部，其内周面与轴构件的外周面隔着径向轴承间隙对置；

树脂部，其是将电铸部作为插入部件进行注塑成形而形成的，

所述电铸轴承的特征在于，

电铸部的内部分散保持有微粒子，且在该电铸部的与树脂接触的面具有微粒子痕，微粒子痕被与树脂部一体化的微小突部填满。

3.根据权利要求1或2所述的电铸轴承，其特征在于，

所述微粒子及树脂部由同种树脂材料构成。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的电铸轴承，其特征在于，

电铸部由多层电铸层构成，在最外层的电铸层分散有所述微粒子。

5.一种电铸轴承的制造方法，其特征在于，

所述电铸轴承具备：轴构件；电铸部，其内周面与轴构件的外周面隔着径向轴承间隙对置；树脂部，其是将电铸部作为插入部件进行注塑成形而形成的，在制造所述电铸轴承时，

通过使微粒子在分散的溶液中析出而形成分散保持微粒子的电铸部，将树脂材料注射到配置了该电铸部的内腔中，从而通过注射材料使在电铸部的表面露出的微粒子熔融而与树脂部一体化。

6.一种电铸轴承，具备：

轴构件；

电铸部，其内周面与轴构件的外周面隔着径向轴承间隙对置；

树脂部，其覆盖电铸部且与电铸部密接，

所述电铸轴承的特征在于，

在树脂部中的至少与电铸部接触的面设置高密着力部，所述高密着力部比树脂部的其它区域相对于电铸部的密着力大。

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