CN101746101A - 软硬复合涂层刀具及其制备方法 - Google Patents

软硬复合涂层刀具及其制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明属于机械切削刀具制造技术领域,特别是涉及一种软硬复合涂层刀具及其制备方法。该刀具为基体材料为高速钢或硬质合金,其特征是涂层材料为:ZrN和MoS2;刀具表面为MoS2软涂层,MoS2软层与刀具基体之间有Ti过渡层和ZrN硬涂层。属于多层结构,这种软硬复合涂层综合了MoS2软涂层和ZrN硬涂层的优点,既具有较低的摩擦系数,又具有较高的硬度,使涂层刀具的性能有了较大提高。该刀具进行干切削时,刀具表面能形成具有润滑作用的连续固态润滑层,从而可达到减小摩擦、阻止粘结、降低切削力和切削温度、减小刀具磨损的目的。该软硬复合涂层刀具可广泛应用于干切削和难加工材料的切削加工。

Description

软硬复合涂层刀具及其制备方法
技术领域
本发明属于机械切削刀具制造技术领域,特别是涉及一种软硬复合涂层刀具及其制备方法。
背景技术
根据涂层材料的性质,涂层刀具又可分为两大类,即:“硬”涂层刀具和“软”涂层刀具。“硬”涂层刀具追求的主要目标是高的硬度和耐磨性,其主要优点是硬度高、耐磨性能好,典型的“硬”涂层物质有TiC、TiN、TiCN、Al2O3和TiAlN等。“软”涂层刀具追求的目标是低摩擦系数,也称为自润滑刀具,典型的“软”涂层物质是具有低摩擦系数的固体润滑材料(如:MoS2、WS2、BN、TaS2等)。当前刀具涂层的发展趋势是:涂层成分趋于多元化和复合化。复合涂层可综合单涂层的优点,复合多涂层及其相关技术的出现,使涂层既可提高与基体的结合强度又具有多种材料的综合性能,使涂层刀具的性能有了很大提高。
中国专利(专利号ZL 200610068975.3)报道了“自润滑复合软涂层刀具及其制备方法”,它是采用中频磁控+多弧法镀膜方法制备的MoS2/Zr/Ti复合涂层刀具,刀具表面为MoS2层,MoS2层与刀具基体之间具有Ti、MoS2/Zr/Ti和MoS2/Zr过渡层。该刀具进行干切削时,刀具表面能形成具有润滑作用的连续固态润滑层,从而实现刀具的自润滑功能。文献(International Journal of Refractory Metals&Hard Materials.2008,26(3):164-172)报道了ZrN硬涂层刀具。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的不足,提供一种MoS2/ZrN软硬复合涂层刀具及其制备方法。该刀具表面的涂层为MoS2软涂层和ZrN硬涂层的复合,属于多层结构。这种软硬复合涂层综合了MoS2软涂层和ZrN硬涂层的优点,既具有较低的摩擦系数,又具有较高的硬度,使涂层刀具的性能有了较大提高。
本发明是通过以下方式实现的。
软硬复合涂层刀具的制备方法,其特征在于沉积方式为:中频磁控沉积MoS2软涂层+电弧法镀Ti过渡层和ZrN硬涂层,其制备方法的步骤为:
(1)前处理:将刀具基体材料抛光至镜面,去除表面污染层,依次放入酒精和丙酮中,超声清洗各15min,去除表面汗渍和油污,干燥充分后迅速放入镀膜机真空室,真空室本底真空7.0×10-3Pa,加热至200℃,保温30~40min;
(2)离子清洗:通Ar气,其压力为0.6~1.5Pa,开启偏压电源,电压800~900V,占空比0.2,辉光放电清洗15min;偏压降低至200V/0.2,开启离子源离子清洗15min,开启电弧源,偏压400V,靶电流50A,离子轰击Ti靶0.5min;
(3)沉积Ti:调整Ar气压至0.4~0.5Pa,偏压降低至150V,电弧镀Ti 2~6min;
(4)沉积ZrN:调整工作气压为0.4~0.5Pa,偏压150V,Zr靶的靶电流80~100A;开启N2,调整N2与Ar气的分压为1∶1,沉积温度220~260℃,电弧镀ZrN60~80min;
(5)沉积MoS2:开启MoS2靶,偏压调至200V,关闭离子源,关闭Zr靶,沉积温度150~220℃,中频磁控沉积MoS280~150min。
(6)后处理:关闭MoS2靶,开离子源轰击5~8min。关闭各电源、离子源及气体源,涂层结束。
通过上述方法制备的软硬复合涂层刀具,刀具表面为MoS2软涂层,MoS2层与刀具基体间有Ti过渡层和ZrN硬涂层。Ti过渡层可减小残余应力,增加涂层与刀具基体间的结合强度。这种软硬复合涂层综合了MoS2软涂层和ZrN硬涂层的优点,既具有较低的摩擦系数,又具有较高的硬度,使涂层刀具的性能有了较大提高。该刀具进行干切削时,刀具表面能形成具有润滑作用的连续固态润滑层,从而可达到减小摩擦、阻止粘结、降低切削力和切削温度、减小刀具磨损的目的。该软硬复合涂层刀具可广泛应用于干切削和难加工材料的切削加工。
附图说明
图1为本发明的软硬复合涂层刀具的涂层结构示意图。图中:1为刀具基体、2为Ti过渡层、3为ZrN硬涂层、4为MoS2软涂层。
具体实施方式:
下面给出本发明的二个最佳实施例:
实施例一:一种软硬复合涂层刀具及其制备方法,该刀具的基体材料为:W18Cr4V高速钢;涂层材料为:ZrN和MoS2;沉积方式为:中频磁控MoS2软涂层+电弧法镀膜Ti过渡层和ZrN硬涂层。其制备方法的步骤如下:
(1)前处理:将W18Cr4V高速钢刀具基体材料抛光至镜面,去除表面污染层,依次放入酒精和丙酮中,超声清洗各15min,去除表面汗渍和油污,干燥充分后迅速放入镀膜机真空室,真空室本底真空7.0×10-3Pa,加热至200℃,保温30min;
(2)离子清洗:通Ar气,其压力为0.8Pa,开启偏压电源,电压800V,占空比0.2,辉光放电清洗15min;偏压降低至200V/0.2,开启离子源离子清洗15min,开启电弧源,偏压400V,靶电流50A,离子轰击Ti靶0.5min;
(3)沉积Ti:调整Ar气压至0.4~0.5Pa,偏压降低至150V,电弧镀Ti 3min;
(4)沉积ZrN:调整工作气压为0.4~0.5Pa,偏压150V,Zr靶的靶电流80A;开启N2,调整N2与Ar气的分压为1∶1,沉积温度220℃,电弧镀ZrN 65min;
(5)沉积MoS2:开启MoS2靶,偏压调至200V,关闭离子源,关闭Zr靶,沉积温度160℃,中频磁控沉积MoS2 80min。
(6)后处理:关闭MoS2靶,开离子源轰击5min。关闭各电源、离子源及气体源,涂层结束。
实施例二:一种软硬复合涂层刀具及其制备方法,该刀具的基体材料为:YT14硬质合金;涂层材料为:ZrN和MoS2;沉积方式为:中频磁控MoS2软涂层+电弧法镀膜Ti过渡层和ZrN硬涂层。其制备工艺步骤如下:
(1)前处理:将YT14硬质合金基体材料抛光至镜面,去除表面污染层,依次放入酒精和丙酮中,超声清洗各15min,去除表面汗渍和油污,干燥充分后迅速放入镀膜机真空室,真空室本底真空7.0×10-3Pa,加热至200℃,保温40min;
(2)离子清洗:通Ar气,其压力为1.0Pa,开启偏压电源,电压900V,占空比0.2,辉光放电清洗15min;偏压降低至200V/0.2,开启离子源离子清洗15min,开启电弧源,偏压400V,靶电流50A,离子轰击Ti靶0.5min;
(3)沉积Ti:调整Ar气压至0.4~0.5Pa,偏压降低至150V,电弧镀Ti 5min;
(4)沉积ZrN:调整工作气压为0.4~0.5Pa,偏压150V,Zr靶的靶电流90A;开启N2,调整N2与Ar气的分压为1∶1,沉积温度250℃,电弧镀ZrN 80min;
(5)沉积MoS2:开启MoS2靶,偏压调至200V,关闭离子源,关闭Zr靶,沉积温度160℃,中频磁控沉积MoS2 120min。
(6)后处理:关闭MoS2靶,开离子源轰击8min。关闭各电源、离子源及气体源,涂层结束。

Claims (2)

1.软硬复合涂层刀具,基体材料为高速钢或硬质合金,其特征是涂层材料为:ZrN和MoS2;刀具表面为MoS2软涂层,MoS2软层与刀具基体之间有Ti过渡层和ZrN硬涂层。
2.软硬复合涂层刀具的制备方法,其特征在于沉积方式为中频磁控沉积MoS2软涂层+电弧法镀Ti过渡层和ZrN硬涂层,其制备方法的步骤为:
(1)前处理:将刀具基体材料抛光至镜面,去除表面污染层,依次放入酒精和丙酮中,超声清洗各15min,去除表面汗渍和油污,干燥充分后迅速放入镀膜机真空室,真空室本底真空7.0×10-3Pa,加热至200℃,保温30~40min;
(2)离子清洗:通Ar气,其压力为0.6~1.5Pa,开启偏压电源,电压800~900V,占空比0.2,辉光放电清洗15min;偏压降低至200V/0.2,开启离子源离子清洗15min,开启电弧源,偏压400V,靶电流50A,离子轰击Ti靶0.5min;
(3)沉积Ti:调整Ar气压至0.4~0.5Pa,偏压降低至150V,电弧镀Ti 2~6min;
(4)沉积ZrN:调整工作气压为0.4~0.5Pa,偏压150V,Zr靶的靶电流80~100A;开启N2,调整N2与Ar气的分压为1∶1,沉积温度220~260℃,电弧镀ZrN 60~80min;
(5)沉积MoS2:开启MoS2靶,偏压调至200V,关闭离子源,关闭Zr靶,沉积温度150~220℃,中频磁控沉积MoS2 80~150min;
(6)后处理:关闭MoS2靶,开离子源轰击5~8min。关闭各电源、离子源及气体源,涂层结束。
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