CN101718955B - 基板处理系统及基板处理方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板处理系统(1)，其容易对联合涂敷装置(3)与搬出装置(5)的动作时机进行控制，并能够缩短时间。具有：涂敷装置(3)，其具有为了交接涂敷了涂敷液的基板(W)而在载置该基板(W)的状态下上下动作的销(14)；搬出装置(5)，其具有为了搬出所述基板(W)而相对于涂敷装置(3)进行接近远离移动的手部(31)。涂敷装置(3)与搬出装置(5)之间由通信线(L5)进行信号的发送接收。基于通过通信线(L5)在涂敷装置(3)与搬出装置(5)之间发送的信号，通过在用于交接基板(W)的销(14)的动作结束前使手部(31)开始移动，而使销(14)的动作与手部(31)的移动并行。

Description

基板处理系统及基板处理方法
技术领域
本发明涉及相对于基板实施处理的基板处理系统及基板处理方法。 
背景技术
在液晶显示器或等离子显示器等平板显示器中使用有涂敷抗蚀剂液的玻璃基板(以下，也称为涂敷基板)。用于得到该涂敷基板的基板处理系统具有相对于玻璃基板涂敷抗蚀剂液的涂敷装置(例如，参照专利文献1)、相对于涂敷装置输送玻璃基板的输送装置、以及集中控制这些装置的主控制装置。 
通过专用通信线将涂敷装置及输送装置分别与主控制装置连接，如果输送装置接收从主控制装置发送的指令信号，则输送装置向涂敷装置输送玻璃基板。结束输送玻璃基板的输送装置向主控制装置发送输送结束信号，如果主控制装置接收到输送结束的信号，则向涂敷装置发送指令信号。接收到指令信号的涂敷装置开始向玻璃基板涂敷抗蚀剂液的处理，如果涂敷结束，则向主控制装置发送涂敷结束的信号。接收到涂敷结束的信号的主控制装置向输送装置发送向下一工序输送涂敷基板的指令信号。这样，输送装置及涂敷装置构成为等待来自主控制装置的指令信号而动作，通过使玻璃基板的输送及向玻璃基板的处理(抗蚀剂液的涂敷)自动化，实现涂敷基板的制造时间的缩短。 
专利文献1：(日本)特开2008-205120号公报 
如上所述，在现有的基板处理系统中，主控制装置向输送装置及涂敷装置发送指令信号，并根据该指令信号控制开始输送玻璃基板的时机及/或开始涂敷抗蚀剂液的时机。但是，这种情况下，由于主控制装置中的扫描时间的产生或主控制装置与输送装置及涂敷装置之间需要通信时间等的原因，不易进行精密地联合输送装置与涂敷装置的动作时机的控制。因此，在现有的系统中，在缩短从向涂敷装置搬入玻璃基板到抗蚀剂液的涂敷作业结束、搬出涂敷基板为止的时间方面存在限度。 
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种基板处理系统及基板处理方法，其容易控制联合基板处理装置与输送装置的动作时机，并能够进一步缩短时间。 
用于解决所述课题的本发明的基板处理系统具有：基板处理装置，其具有为了处理基板的目的而进行动作的动作部；输送装置，其具有为了输送所述基板而相对于所述基板处理装置进行接近远离移动的输送部，通过向所述基板处理装置及所述输送装置发出指令信号的主控制部来集中控制所述基板处理装置及所述输送装置，所述基板处理系统的特征在于，具有：传输路径，其在所述基板处理装置与所述输送装置之间进行信号的发送接收；控制部，其基于通过所述传输路径在所述基板处理装置与所述输送装置之间发送的信号，在所述动作部的动作结束前开始所述输送部的移动，从而使该动作部的动作与该输送部的移动并行。 
并且，由该基板处理系统执行的基板处理方法使用输送装置并使动作部进行动作，其中所述输送装置为了输送基板而使输送部相对于基板处理装置进行接近远离移动，所述基板处理装置所具有的所述动作部为了处理所述基板而进行动作，所述基板处理方法的特征在于，基于在所述基板处理装置与所述输送装置之间通过传输路径发送的信号，在所述动作部的动作结束之前开始所述输送部的移动，从而使该动作部的动作与该输送部的移动并行。 
根据所述基板处理系统及基板处理方法，由于通过基板处理装置与输送装置之间的传输路径进行信号的输送接收，因此容易控制联合基板处理装置的动作部与输送装置的输送部的动作时机。并且，作为该联合的控制，基于通过传输路径在基板处理装置与输送装置之间发送的信号，在动作部的动作结束前使输送部开始移动，由此使动作部的动作与输送部的移动同时进行，由此，能够在时间方面使动作部的动作与输送部的移动重叠(重合)，从而能够缩短时间。 
另外，在所述基板处理系统中，优选所述动作部能够向目标位置及超程位置移动，其中所述目标位置与为了交接所述基板而接近的所述输送部不干涉，所述超程位置沿移动方向超过所述目标位置且与所述输送部不干涉，所述基板处理装置具有超程控制部，所述超程控制部进行如下控制：使所述动作部沿所述移动方向通过所述目标位置并在所述超程位置的附近减速，并且从该超程位置向该目标位置返回。 
这种情况下，由于超程控制部使动作部沿移动方向通过目标位置并在超程位置的附近减速，因此能够使动作部迅速地超过目标位置。 
与此相对，在不使动作部移动到超程位置而直接到达目标位置时，在使动作部移动的通常的设备的结构中，由于需要在目标位置的附近使动作部减速后停止在目标位置，因此使动作部到达目标位置需要时间。 
但是，根据所述超程控制部，由于能够从动作部迅速地超过目标位置而在早的时机得到动作部与输送部不干涉的状态，因此能够为了输送基板而在早的时机使输送部与基板处理装置开始接近，能够进一步缩短时间。并且，所述超程控制部通过使动作部从超程位置返回目标位置，能够使动作部到达目标位置，从而能够准备下一个动作。 
另外，优选在所述基板处理装置具有所述超程控制部时，所述控制部在所述动作部返回而到达所述目标位置的动作结束前，开始所述输送部的移动，从而使该动作部的移动与该输送部的移动并行。 
这种情况下，控制部在动作部完成返回并到达目标位置的动作前，通过使输送部开始移动，能够使动作部到达目标位置的动作与用于输送基板的输送部的移动在时间方面重叠。其结果，在由使动作部的动作与输送部的移动同时进行的控制产生的缩短时间的效果中，相乘地加上由超程控制部产生的缩短时间的效果。 
另外，在所述基板处理装置具有所述超程控制部时，可以控制速度为使动作部通过所述目标位置后该动作部达到最大移动速度，但是，优选所述超程控制部进行速度控制，使所述动作部在达到最大移动速度后通过所述目标位置。 
此时，动作部能够迅速地超过目标位置，能够在更早的时机使输送部开始接近基板处理装置。 
发明效果 
根据本发明，通过使基板处理装置的动作部的动作与输送装置的输送部的移动在时间方面重叠能够缩短时间，从而能够缩短基板的输送时间并提高基板的生产效率(处理效率)。 
附图说明
图1是示出本发明的基板处理系统的一实施方式的概略结构图。 
图2是从上方观察基板处理系统的概略结构图。 
图3是由本发明的基板处理系统进行的涂敷处理的说明图。 
图4是由本发明的基板处理系统进行的涂敷处理的说明图。 
图5是由本发明的基板处理系统进行的涂敷处理的说明图。 
图6是销前端的位置的说明图。 
图7是销的移动速度的说明图。 
图8是另一实施方式的基板处理系统执行并行动作的说明图。 
[符号说明] 
1  基板处理系统 
2  主控制装置(主控制部) 
3  涂敷装置(基板处理装置) 
4  搬入装置(第一输送装置) 
5  搬出装置(第二输送装置) 
7  超程控制部 
13  龙门框架(动作部) 
14  销(动作部) 
16  涂敷用控制装置 
21  手部(输送部) 
23  搬入用控制装置 
31  手部(输送部) 
33  搬出用控制装置 
40  干燥装置(基板处理装置) 
42  盖(动作部) 
45  干燥用控制装置 
L1～L5  专用通信线(传输路径) 
W  基板 
具体实施方式
以下，基于附图说明本发明的实施方式。 
(基板处理系统1的整体结构) 
图1是示出本发明的基板处理系统1的一实施方式的概略结构图。该基板处理系统1是能够在基板(玻璃基板)W涂敷药液或抗蚀剂液等液状物(以下，称为涂敷液)而制造涂敷基板的装置，具有主控制装置2、作为基板处理装置的涂敷装置3、作为输送装置的搬入装置4及搬出装置5。主控制装置2由总括涂敷装置3、搬入装置4及搬出装置5的程控逻辑控制器(PLC)构成，涂敷装置3、搬入装置4及搬出装置5能够基于来自主控制装置2的指令信号进行动作。 
涂敷装置3具有：涂敷装置主体10，其为了在基板W上涂敷涂敷液而进行动作；涂敷用控制装置16，其控制该涂敷装置主体10的动作。搬入装置4具有：搬入机器人20，其为了从图外的区域向涂敷装置主体10搬入基板W而相对于该涂敷装置主体10进行接近远离移动；搬入用控制装置23，其控制该搬入机器人20的动作。搬出装置5具有：搬出机器人30，其为了从涂敷装置主体10向图外的区域搬出基板W而相对于该涂敷装置主体10进行接近远离移动；搬出用控制装置33，其控制该搬出机器人30的动作。搬入机器人20与搬出机器人30隔着涂敷装置主体10配置。 
涂敷用控制装置16、搬入用控制装置23及搬出用控制装置33经由专用通信线L1、L2、L3分别与主控制装置2连接而在两者间能够进行通信。并且，在该基板处理系统1中，涂敷用控制装置16与搬入用控制装置23通过专用通信线L4连接，通过该通信线L4，在涂敷用控制装置16与搬入用控制装置23之间进行信号(下述的各种动作信号)的输送接收。进而，涂敷用控制装置16与搬出用控制装置33通过专用通信线L5连接，通过该通信线L5，在涂敷用控制装置16与搬出用控制装置33之间进行信号(下述的各种动作信号)的输送接收。通信线的具体例子有CC-Link(注册商标)通信用电缆、以太网(注册商标)通信用电缆、数据输入输 出用电缆。 
(涂敷装置3) 
涂敷装置主体10具有基台11、配置在基台11的中央并放置有基板W的台架12、在该台架12上沿水平方向移动的龙门框架13。龙门框架13具有喷出涂敷液的模唇部(未图示)，能够沿与基板W的输送方向(图1中左右方向)正交的方向移动。龙门框架13通过在放置在台架12的上表面的基板W上进行移动，在该基板W涂敷涂敷液。 
在台架12形成有向其上表面开口的多个吸引孔，在这些吸引孔连接有吸引泵(未图示)。如果在台架12的上表面放置有基板W的状态下使吸引泵工作，则将基板W吸引到台架12的上表面。而且，在台架12形成有多个沿上下方向贯通的销孔，在该销孔设置有作为能够沿上下方向移动的动作部的销(提升销)14。多根销14配置为俯视格子状。在基台11设置有使多根销14上下运动的销驱动机构15。销驱动机构15能够由例如电动促动器构成，其结构可以采用现有公知的设备。 
处于初始位置的销14的前端处于台架12的上表面以下的高度。在台架12上放置有基板W的状态下，如果通过销驱动机构15同时使多根销14上升，则销14的前端向上按压基板W，能够使基板W移动到规定的高度，并通过销14将基板W保持在规定的高度位置(图1的状态)。 
龙门框架13的移动、龙门框架13的涂敷液的喷出、由吸引泵进行的基板W的吸附及销驱动机构14的动作由涂敷用控制装置16控制。 
(搬入装置4及搬出装置5) 
搬入机器人20具有载置接下来进行涂敷液的涂敷的基板W的手部(输送部)21和使手部21相对于涂敷装置主体10沿接近远离方向(水平方向)及上下方向移动的搬入驱动机构22，并具有将基板W向上升的销14的上表面交接的功能。因此，手部21能够从与龙门框架13不干涉的位置移动到台架12的上方的规定位置，并且，成为与配置成格子状并上升的销14不干涉的梳齿形状。使手部21移动的搬入驱动机构22的动作由搬入用控制装置23控制。 
搬出机器人30具有载置结束涂敷涂敷液的基板W的手部(输送部)31和使手部31相对于涂敷装置主体10沿接近远离方向(水平方向)及上 下方向移动的搬出驱动机构32，并具有从上升而载置基板W的销14接收该基板W的功能。因此，手部31能够从与龙门框架13不干涉的位置移动到台架12的上方的规定位置，并且，成为与配置成格子状并上升的销14不干涉的梳齿形状。使手部31移动的搬出驱动机构32的动作由搬出用控制装置33控制。 
此外，搬入驱动机构22及搬出驱动机构32能够由电动促动器构成，其结构可以采用现有公知的设备。 
(关于各控制装置) 
涂敷用控制装置16、搬入用控制装置23及搬出用控制装置33由具有CPU及存储部(RAM、ROM)的计算机构成。在存储部存储有用于执行规定的各功能的程序，涂敷用控制装置16、搬入用控制装置23及搬出用控制装置33分别具有位置检测部6a、6b、6c作为根据所述程序而执行的功能部。而且，涂敷用控制装置16具有对销14的升降动作、即销驱动机构15的动作进行控制的超程控制部7作为根据所述程序而执行的功能部。关于该超程控制部7的功能在下面进行说明。 
涂敷用控制装置16的位置检测部6a具有检测销14(的前端)的高度位置的功能及检测龙门框架13的位置的功能。搬入用控制装置23的位置检测部6b具有检测手部21相对于台架12的位置的功能，搬出用控制装置33的位置检测部6c具有检测手部31相对于台架12的位置的功能。由所述位置检测部6a进行的销14的位置检测能够基于销驱动机构15的动作量进行，通过与具有例如销驱动机构15并使销14升降的马达等连接的编码器能够进行位置检测。而且，关于其它的位置检测也能够通过同样的结构实现。此外，关于手部21、31，也可以通过分开设置的非接触式的传感器(例如图3的传感器17a～17d)进行位置检测。 
在此，对传感器17a～17d进行说明。这些传感器17a～17d作为联锁装置起作用。这些传感器17a～17d的检测结果的信号输入涂敷用控制装置16。传感器17a是用于防止手部31与龙门框架13接触的部件，传感器17d是用于防止手部21与龙门框架13接触的部件。即，通过使手部31或手部21不位于后述的临近位置，而位于台架12侧，如果传感器17a、17d成为接通状态而成为检测手部31、21的状态，则涂敷用控制装置16 停止(禁止)龙门框架13的移动。 
另外，传感器17b是用于防止手部31与销14上的基板W接触的部件，传感器17c是用于防止手部21与销14上的基板W接触的部件。由此，能够确认手部31、21从台架12退让的情况。即，通过使手部31、21位于台架12上，如果传感器17b、17c成为接通状态而成为检测手部31、21的状态，则涂敷用控制装置16停止(禁止)销14的移动。 
(关于向基板W涂敷涂敷液的动作) 
说明通过如上所述构成的基板处理系统1进行的向基板W涂敷涂敷液的处理。图2是从上方观察基板处理系统1的概略结构图。而且，图3、图4及图5是说明涂敷处理的说明图。 
(1.涂敷液的涂敷工序) 
在图2中，对龙门框架13，为了在基板W涂敷涂敷液而从初始位置E移动到结束涂敷作业的作业结束位置F，进而，进行从作业结束位置F向初始位置E返回的动作。即，龙门框架13从初始位置E开始移动并在到达作业结束位置F后，进行向初始位置E返回的往复动作。该往复动作由涂敷用控制装置16控制。初始位置E是基台11的一端部的位置，是即使手部21、31进入台架12上，手部21、31也与龙门框架13不干涉的位置。相反在龙门框架13的移动中，如果手部21、31进入台架12上，则两者冲突。作业结束位置F是基台11的另一端部的位置。龙门框架13的各位置由涂敷用控制装置16的所述位置检测部6a(参照图1)检测。 
在图1中，如果从主控制装置2通过通信线L1向涂敷用控制装置16发送使涂敷液的涂敷作业开始的开始信号作为指令信号，则确认所述传感器17a、17d为断开状态(未检测到手部31、21的状态)的情况，龙门框架13通过涂敷用控制装置16的控制在基台11上进行往复动作，并在此期间在台架12上的基板W涂敷涂敷液。在涂敷涂敷液期间，基板W吸附在台架12上。 
另外，在龙门框架13进行所述往复动作期间，从主控制装置2通过通信线L2、L3向搬入用控制装置23及搬出用控制装置33预先发送容许基板W的搬入及搬出动作的输送可能信号作为指令信号。由此，搬入用控制装置23及搬出用控制装置33成为等待使处于退让位置的手部21、31 向台架12侧开始进入的信号的状态。 
进而，在所述往复动作中，主控制装置2通过通信线L1向涂敷用控制装置16发送用于使处于退让位置的手部21、31进入到下述的临近位置的准备信号。涂敷用控制装置16通过接收所述准备信号，成为能够发出使手部21、31向临近位置开始进入的信号的状态。 
然后，接收所述准备信号的涂敷用控制装置16在所述往复动作中的规定的时机，通过通信线L5向搬出用控制装置33发送进入准备信号作为动作信号。搬出用控制装置33在接收所述进入准备信号之后，马上使处于待机位置的手部31移动到基台11的临近位置(图2中的双点划线所示的位置)。在此，手部31的临近位置在该手部31的轨道上是相对于台架12成为最短距离的位置，并且是与龙门框架13不干涉而与龙门框架13最接近的位置。处于该临近位置的手部31存在于比龙门框架13的轨迹靠外侧(台架12的相反侧)。 
该手部31的移动在龙门框架13的所述往复动作中进行。并且，位于临近位置的手部31与移动中的龙门框架13不干涉(参照图3(a))。即，通过传感器17a能够防止手部31与龙门框架13干涉。具体来说，手部31由搬出用控制装置33的位置检测部6c驱动控制为位于临近位置。假设手部31位于比临近位置靠台架12侧时，通过接通传感器17a来停止龙门框架13的移动。由此，能够事先避免手部31与龙门框架13冲突。 
然后，如果手部31向临近位置移动结束，则搬出用控制装置33通过通信线L5向涂敷用控制装置16发送进入准备结束信号作为动作信号。 
这样，接收到所述进入准备信号的搬出用控制装置33以该进入准备信号作为契机(即，进入准备信号成为触发器)，在龙门框架13的所述往复动作结束前，使处于待机位置的手部31向临近位置开始移动，使龙门框架13的往复动作与手部31的进入准备动作一部分并行。进而，在往复动作中，手部31到达临近位置。这样，通过使手部31预先向临近位置移动，能够预先缩短从待机位置到台架12上的位置的手部31的移动行程。进而，在龙门框架13的往复动作结束之前，通过使手部31的进入准备动作开始，能够使用于在基板W涂敷涂敷液处理的龙门框架13的往复动作与用于接收基板W的手部31的移动在时间方面重叠，从而能够缩短用于 接收基板W的时间。 
这样，本发明的基板处理系统1能够执行的并行动作中的一个是在龙门框架13与搬出机器人30(手部31)之间的并行动作，其中所述龙门框架13具有涂敷装置3并作为为了相对于基板W实施涂敷液的涂敷处理而进行动作的动作部，其中所述搬出机器人30(手部31)具有搬出装置5并为了搬出基板W而相对于涂敷装置主体10进行接近远离移动。涂敷用控制装置16与搬出用控制装置33通过专用通信线L5连接，由此能够经由该通信线L5在涂敷用控制装置16与搬出用控制装置33之间直接进行信号的发送接收，精密地联合龙门框架13与搬出机器人30的动作时机，能够进行执行所述并行动作的控制。 
(2.搬出工序) 
说明将涂敷涂敷液的基板W从台架12搬出的搬出工序。 
如果涂敷用控制装置16检测到在台架12上解除基板W的吸附且龙门框架13返回到所述初始位置E(参照图2)的情况，则在确认传感器17a成为断开状态的基础上，开始搬出工序。如果龙门框架13返回到初始位置E，则涂敷用控制装置16控制销驱动机构15，且如图3(b)所示，销14上升。由此，基板W成为离开台架12而载置在销14的前端的状态。 
在此，在销14上升时，通过涂敷用控制装置16确认传感器17b成为断开的情况。假设在手部31超过临近位置而位于台架12侧时，通过接通传感器17b来停止销14的上升。即，在手部31位于比临近位置靠台架12侧的状态下驱动销14而使基板W上升时，有手部31与基板W干涉而基板W损伤的可能性。因此，在使销14上升时，通过确认传感器17b成为断开的情况，能够避免基板W损伤。 
销14设置为其前端部能够向台架12的上方的目标位置、进而该上目标位置的更上方的上超程位置移动，为了进行将基板W向手部31交接的处理而进行后述的上超程动作。此外，上目标位置是手部31(手部21)能够进入台架12上的位置，且是为了输送基板W而在比该手部31靠上配置该基板W以使载置在销14的前端的基板W不与沿水平方向接近到台架12上的手部31干涉的位置。并且，上超程位置是比上目标位置更靠上方的位置，即使销14的前端在处于上超程位置的状态下，该前端上的 基板W也与手部31不干涉。 
所述“上超程动作”是涂敷用控制装置16的所述超程控制部7通过控制销驱动机构15而执行的动作，且是如下的动作，即，如图6(销14前端的位置的说明图)所示，使初始位置(前端在台架12的上表面以下)的销14上升，在使销14的前端向上方通过上目标位置且到达上超程位置后，通过使销14下降，而使销14的前端从上超程位置返回而到达上目标位置。 
涂敷用控制装置16(位置检测部6a)由于能够取得关于销14(的前端)的高度位置的信息，因此能够检测销14的前端到达上目标位置的情况。因此，如果位置检测部6a在所述上超程动作中检测到处于初始位置的销14的前端成为上目标位置以上的情况，则涂敷用控制装置16通过通信线L5(参照图1)向搬出用控制装置33发送使手部31从所述临近位置向台架12上开始进入的进入开始信号作为动作信号。 
接收到进入开始信号的搬出用控制装置33以该进入开始信号为契机(即，进入开始信号成为触发器)，在所述超程动作结束前，使手部31向台架12上开始进入，能够使销14的上超程动作与手部31向台架12上的进入动作一部分同时进行(包括第一超程动作的并行动作)。并且，如图3(c)所示，在手部31进入台架12上的途中，销14的前端从上超程位置向上目标位置返回而到达上目标位置。这样，通过在销14的上超程动作结束前使手部31开始进入，能够使为了交接基板W的处理而使销14的前端到达上目标位置的动作与用于搬出基板W的手部31的移动在时间方面重叠，从而能够缩短用于接收输送基板W的时间。 
另外，根据图7说明所述上超程动作时的销14的移动速度。停止在初始位置的销14在上升开始的同时其速度加速到规定值(最大移动速度)(时刻t1)，以该规定值成为等速。此外，在使销14以高速升降的销驱动机构15的机械的结构方面，为了使销14在规定位置停止，需要在其停止位置的附近使其减速。因此，在本发明中，通过所述超程控制部7的控制，在销14的前端到达上超程位置的附近使销14减速(时刻t2～t3)。这样，由于在销14的前端到达上超程位置的跟前使销14减速，因此处于初始位置的销14的前端能够迅速地超过上目标位置。 
此外，作为比较例，如图7的虚线所示，在不使销的前端移动到上超程位置而使其直接到达上目标位置时，需要使销的前端在到达上目标位置之前减速，从而在上目标位置停止(速度为零)。因此，比较例的情况下，使销的前端最初到达上目标位置的时间与实施例相比延迟Δt时间。 
根据实施例，通过使销14的前端提前到达上目标位置，能够在早的时机得到销14的前端上的基板W与手部31不干涉的状态。因此，能够为了交接基板W而使手部31在早的时机在台架12上开始接近，从而能够缩短为了输送基板W所需的时间。然后，通过使销14从上超程位置向上目标位置返回，能够使销14到达上目标位置(时刻t4)，从而能够准备接下来进行的基板W的交接动作。 
另外，由于超程控制部7控制速度为使销14达到最大移动速度后通过上目标位置，因此销14的前端能够迅速地超过上目标位置，能够以更早的时机使手部31与台架12上开始接近。而且，超程控制部7也可以延长图7的等速(最大移动速度)区间(即，对减速开始进行延迟)，使销14以最大移动速度通过上目标位置。超程控制部7具有能够调整(改变)销14的上升及下降的速度以及加减速的功能。 
如图3(d)所示，如果手部31沿水平方向向台架12上移动而到达销14上的基板W的下方位置，则搬出控制装置33的位置检测部6c(参照图1)检测到该到达，通过搬出驱动机构32控制使手部31上升，同时搬出用控制装置33通过通信线L5向涂敷用控制装置16发送销下降开始信号作为动作信号。如果涂敷用控制装置16接收到销下降开始信号，则处于上目标位置的销14开始下降(图6和图7的时刻t5)。即，手部31的上升与销14的下降同时进行，通过使手部31的上表面向上超过销14的前端，位于上侧，而将销14上的基板W向手部31上交接。通过使手部31上升的同时使销14下降，能够缩小交接基板W所需的手部31的上升距离。而且，在位于临近位置的手部31从开始移动到接收基板W期间，搬出用控制装置33通过通信线L5向涂敷用控制装置16发送进入动作中信号作为动作信号。 
另外，在图6和图7中，在时刻t5处于上目标位置的销14开始下降后，在时刻t6开始减速，此后，实际上进行基板W的输送。即，在进行 基板W的输送时，使销14的下降速度为低速。这是为了减弱输送基板W时对该基板W的冲击。然后，如果结束输送(时刻t7)，则对下降的销14进行加速而将下降速度切换为高速，超过下目标位置(时刻t8)使其减速，到达下超程位置(时刻t9)，此后，使销14的移动方向向上升反转，到达下目标位置(时刻t10)。这样，使前端处于上目标位置的销14下降，使销14的前端向下方通过下目标位置且到达下超程位置后，通过使销14上升进行使销14的前端从下超程位置返回而到达下目标位置的下超程动作。关于下目标位置及下超程位置在下面说明。 
在搬出机器人30的手部31设置有检测是否有基板W的传感器(未图示)，搬出用控制装置33能够检测手部31上是否有基板W。 
如果将销14上的基板W向手部31交接，则搬出用控制装置33通过通信线L5向涂敷用控制装置16发送基板接收结束信号作为动作信号。搬出用控制装置33通过所述传感器检测手部31上载置基板W的情况，由此能够输出所述基板接收结束信号。 
另外，返回图3(b)进行说明，涂敷用控制装置16在销14的所述上超程动作中，通过通信线L4向搬入用控制装置23发送使处于退让位置的搬入机器人20的手部21向台架12的临近位置移动的进入准备信号作为动作信号。由此，搬入用控制装置23使处于待机位置的手部21向台架12的临近位置移动。由此，预先缩短从待机位置到台架12上的位置的手部21的移动行程。 
所述搬入机器人20的手部21的“临近位置”是台架12的正前面的位置，在该点上，与将基台11的临近的位置作为“临近位置”的搬出机器人30的手部31不同。即，如上所述，由于需要在进行涂敷动作后的龙门框架13移动到初始位置E时避免龙门框架13与手部31的接触，因此搬出机器人30的手部31的“临近位置”设定在比龙门框架13的移动路径靠外的位置。但是，在龙门框架13向初始位置E(参照图2)移动结束后，由于搬入机器人20的手部21在位于初始位置E的状态下移动，因此不影响龙门框架13的移动。因此，即使在龙门框架13的移动路径上，也可以在台架12的临近的位置(最近的位置)设置手部21的“临近位置”。 
在该手部21的临近位置中，手部21与基板W不干涉。具体来说， 通过搬入用控制装置23的位置检测部6b驱动控制为手部21从退让位置位于临近位置。假设位于比临近位置靠台架12侧时，通过接通传感器17c，锁定销14的动作。由此，能够事先避免手部21与基板W冲突。 
然后，如图4(e)所示，手部31接收基板W，涂敷用控制装置16接收所述基板接收信号，并且，检测销14的前端到达下目标位置的情况(图6和图7的时刻t8)，由此，通过通信线L5向输送用控制装置33发送使手部31从台架12上向所述待机位置侧开始退让动作的退让开始信号(退让开始的触发器)作为动作信号。接收到所述退让开始信号的搬出用控制装置33通过搬出驱动机构32使手部31退让(参照图4(f))。 
发送所述退让开始信号的同时，涂敷用控制装置16通过通信线L4向搬入用控制装置23发送使手部21从台架12的临近位置向台架12上开始进入动作的进入开始信号(进入开始的触发器)作为动作信号。接收到所述进入开始信号的搬入用控制装置23通过搬入驱动机构22使载置了下一个基板W的手部21进入台架12上(参照图4(f))。 
由此，手部31的退让动作与使手部21进入台架12上且向涂敷装置主体10搬入下一个基板W的动作同时进行。 
在手部31返回到待机位置期间，搬出用控制装置33通过通信线L5向涂敷用控制装置16发送退让动作中信号作为动作信号。如果手部31超过临近位置而退让到待机位置(图4(g))，则搬出用控制装置33通过通信线L5向涂敷用控制装置16发送退让结束信号作为动作信号。并且，主控制装置2成为能够对发出容许搬出机器人30的动作开始的指令信号进行控制的状态。而且，如果通过所述传感器(未图示)检测到在手部31上存在基板W，则搬出用控制装置33通过通信线L5向涂敷用控制装置16、进一步通过通信线L3向主控制装置2发送基板存在信号，从而主控制装置2更新涂敷了涂敷液的基板W的POS数据。然后，从台架12搬出的基板W向由下一工序的干燥装置(VCD)进行的干燥工序前进。 
(3.搬入工序) 
说明将涂敷涂敷液的下一个基板W向台架12搬入的搬入工序。 
在所述下超程动作中，如果销14的前端到达最初的下目标位置(图6和图7的时刻t8)且成为该下目标位置以下，则如上所述，涂敷用控制装 置16发送使手部31从台架12上向待机位置侧开始退让动作的退让开始信号，并且涂敷用控制装置16通过通信线L4(参照图1)向搬入用控制装置23发送使手部21从临近位置向台架12上开始进入的进入开始信号作为动作信号。如果搬入用控制装置23接收到所述进入开始信号，则如图4(f)所示，使处于临近位置的手部21向台架12上移动。 
如图4(f)所示，所述下目标位置是载置基板W的手部21能够进入台架12上的位置，且是在手部31上的基板W的下方存在有销14的前端以使通过手部21向台架12上搬入的基板W与销14的前端不干涉的位置。并且，在比下目标位置靠更下方设置有所述下超程位置，在该下超程位置，手部31上的基板W也与销14的前端不干涉。 
如上所述，接收到进入开始信号的搬入用控制装置23以该进入开始信号为契机(即，进入开始信号成为触发器)，在所述下超程动作结束前，使手部21开始进入台架12上。由此，为了进行搬入基板的处理，能够使销14的下超程动作与手部21向台架12上的进入动作一部分同时进行(包括第二超程动作的并行动作)。并且，在手部21进入台架12上的途中，销14的前端从下超程位置向下目标位置返回而到达下目标位置。此外，下超程动作通过涂敷用控制装置16的所述超程控制部7控制销驱动机构15来执行。 
这样，通过在销14的下超程动作结束前使手部21开始进入，能够使为了进行交接基板W的处理而使销14的前端到达下目标位置的动作与用于将下一个基板W向销14交接的处理的手部21的移动在时间方面重叠，从而能够缩短为了输送基板W所需的时间。而且，如图7所示，通过使销14在下超程位置的附近(时刻t8～t9)减速，销14的前端能够迅速地超过下目标位置。因此，由于能够在早的时机得到手部21上的基板W与销14的前端不干涉的状态，因此能够在早的时机使手部21与台架12上开始接近，从而能够缩短用于输送基板W的时间。 
然后，如图4(g)所示，如果手部21沿水平方向移动并到达销14的前端的上方位置，则搬入用控制装置23通过通信线L4向涂敷用控制装置16发送销上升开始信号作为动作信号。此时，传感器17b断开，由此能够确认在台架12上不存在手部31。即，防止手部31与基板W的干涉。 然后，接收到销上升开始信号的涂敷用控制装置16使销14上升，通过使销14的前端向上超过手部21的上表面，位于上侧，而将手部21上的基板W向销14上交接(参照图4(h))。此外，在该销14的上升中，通过超程控制部7，进行与所述上超程动作相同的动作。 
涂敷用控制装置16在该上超程动作中，如果检测到上升的销14的前端成为上目标位置以上的情况，则通过通信线L4向搬入用控制装置23发送使手部21从台架12上向退让位置侧退让的退让开始信号作为动作信号。接收到该退让开始信号的搬入用控制装置23以该退让开始信号为契机(即，退让开始信号成为触发器)，在所述上超程动作结束前，使手部21从台架12上开始退让。由此，使销14的上超程动作与手部21从台架12上的退让动作一部分同时进行(含有第三超程动作的并行动作)。并且，如图5(i)所示，在手部21从台架12上退让途中，销14的前端从上超程位置向上目标位置返回而到达上目标位置。 
这样，通过在销14的上超程动作结束前使手部21开始退让，能够使为了进行搬入基板W的处理而使销14的前端到达上目标位置的动作与搬入基板W后的手部21的移动在时间方面重叠，从而能够缩短输送基板W所需的时间。而且，在所述上超程动作中，通过使销14的前端在上超程位置的跟前减速，能够使销14的前端迅速地超过上目标位置，能够使手部21在早的时机从台架12上退让，从而能够缩短用于输送基板W的时间。 
另外，在手部21向台架12上移动并向到销14交接基板W期间，搬入用控制装置23通过通信线L4向涂敷用控制装置16发送进入动作中信号作为动作信号。然后，如果将手部21上的基板W向销14交接，则搬入用控制装置23通过通信线L4向涂敷用控制装置16发送基板输送结束信号作为动作信号。 
然后，如图5(j)所示，搬入用控制装置23使手部21向待机位置侧退让。在手部21返回到待机位置期间，搬入用控制装置23通过通信线L4向涂敷用控制装置16发送退让动作中信号作为动作信号。如果手部21成为超过临近位置而退让到待机位置的状态，则搬入用控制装置23通过通信线L4向涂敷用控制装置16发送退让结束信号作为动作信号。 
如果涂敷用控制装置16接收所述退让结束信号，则如图5(k)所示，成为使载置基板W的销14下降且将基板W载置在台架12上的状态。此时，通过确认传感器17c为断开的情况，能够避免手部21与基板W的干涉。然后，使基板W吸附于台架12，开始所述涂敷工序。而且，如果手部21到达待机位置，则主控制装置2成为能够对发出容许搬入机器人20的动作开始的指令信号进行控制的状态。 
根据如上所述构成的基板处理系统1，由于涂敷装置3与搬出装置5无需经由主控制装置2而能够通过通信线L5直接通信，并且涂敷装置3与搬入装置4通过通信线L4无需经由主控制装置2而能够直接通信，因此容易对精密地联合涂敷装置3与搬出装置5的动作时机进行控制，以及容易对精密地联合涂敷装置3与搬入装置4的动作时机进行控制。 
然后，搬出用控制装置33及搬入用控制装置23以从涂敷装置3通过通信线L5、L4发送的动作信号为契机，在销14(龙门框架13)到达目标位置(作业结束位置)的动作结束前，通过使手部开始移动，能够使销14(龙门框架13)到达目标位置(作业结束位置)的动作与用于接收基板W的手部的移动在时间方面重叠。因此，能够缩短搬入基板W、在该基板W涂敷涂敷液、到搬出基板W的工序所需的时间，从而能够提高基板W的生产效率(处理效率)。 
说明另一实施方式的基板处理系统51执行的并行动作。如图8所示，该基板处理系统51具有作为基板处理装置的干燥装置(VCD)40、搬入装置4及搬出装置5作为基板处理装置。干燥装置40是使由所述涂敷装置3涂敷涂敷液的基板W上的涂敷膜干燥的部件。干燥装置40具有(与所述涂敷用控制装置16相当的)干燥用控制装置45和干燥机器人46，干燥机器人46除具有与所述涂敷装置3相同的基台41及进行升降的销44之外，还具有从上覆盖基台41上的基板W的盖42和使该盖42升降的盖驱动机构43。搬入装置4及搬出装置5与在图1的方式中使用的部件相同。 
通过干燥机器人46使基板W干燥时，如图8(a)所示，盖42在基台41上处于最下位置，由盖42与基台41的上表面形成有密闭状态的干燥用空间V。而且，销44的上端处于基台41的上表面以下的位置。 
如果基板W的干燥处理结束，则盖42移动到基台41的上方的上升 位置(目标位置)。在该上升位置中，即使搬入机器人20的手部21及搬出机器人30的手部31成为进入台架12上的状态，盖42也与手部21、31不干涉。相反在该42到达上升位置之前，如果手部21、31进入台架12上则两者冲突。盖42的位置能够由具有干燥用控制装置45的位置检测部(与在所述实施方式中说明的部件相同)进行检测。 
并且，该实施方式的并行动作是所述盖42与手部31之间的动作，其中所述盖42作为为了实施使基板W干燥的处理而上下动作的动作部，其中所述手部31具有所述搬出装置5且为了输送基板W而相对于基台41进行接近远离移动。 
为了实现该并行动作，与所述实施方式(图1)相同，干燥用控制装置45与搬出用控制装置33通过专用通信线L5连接。并且，通过该通信线L5，在干燥用控制装置45与搬出用控制装置33之间进行信号的发送接收，由此，能够对联合盖42与搬出用机器人30的动作时机进行控制。 
说明由如此构成的基板处理系统51进行的基板W的干燥处理。通过涂敷装置涂敷了涂敷液的基板W经由搬入装置4搬入干燥机器人46的基台41上，盖42下降成为最下位置，在所述干燥用空间V内使基板W干燥(参照图8(a))。如果基板W的干燥结束，则盖42移动到基台41的上方的上升位置(目标位置)，并且为了向搬出机器人30交接基板W而使销44上升并抬高该基板W。在盖42的上升动作期间，主控制装置2通过通信线向干燥用控制装置45发送用于使手部31进入干燥机器人46的临近位置(图8的双点划线表示的位置)的准备信号。 
接收到准备信号的干燥用控制装置45在盖42的上升动作中，通过通信线L5向搬出用控制装置33发送使处于退让位置的手部31进入到干燥机器人46的临近位置的进入准备信号作为动作信号。接收到进入准备信号的搬出用控制装置33以该进入准备信号为契机(即，进入准备信号成为触发器)，在盖42的所述上升动作结束之前，使处于待机位置的手部31向所述临近位置开始移动。此外，处于所述临近位置的手部31与上升中的盖42不干涉。由此，能够使盖42的上升动作与搬出机器人30的准备进入动作一部分同时进行。通过使处于待机位置的手部31向临近位置开始移动，能够预先缩短从待机位置到基台41上的位置的手部31的移动行 程。进而，在盖42的上升动作结束前，通过使搬出机器人30开始进入，能够使盖42的上升动作与用于进行接收基板W的处理的手部31的移动在时间方面重叠，从而能够缩短用于输送基板W的时间。 
然后，干燥用控制装置45如果检测到盖42到达了所述上升位置，则通过通信线L5向搬出用控制装置33发送使手部31从所述临近位置向基台41上开始进入的进入开始信号作为动作信号，搬出用控制装置33以该进入开始信号为契机，使手部31向基台41上开始进入(图8(c))。并且，与所述方式相同，手部31能够接收销44上的基板W并搬出该基板W。 
此外，本发明的基板处理系统1并不局限于图示的方式而在本发明的范围内也可以为其它的方式。在所述实施方式中，将在装置间发送接收信号的传输路径作为通信线(电缆)进行了说明，但是该传输路径也可以由无线构成。而且，主控制装置2与涂敷用控制装置16也可以是不分体而收纳于共通的筐体内的装置。 

Claims (4)

1.一种基板处理系统，具有：
基板处理装置，其具有为了处理基板而进行动作的动作部；
输送装置，其具有为了输送所述基板而相对于所述基板处理装置进行接近远离移动的输送部，
通过向所述基板处理装置及所述输送装置发出指令信号的主控制部来集中控制所述基板处理装置及所述输送装置，
所述基板处理系统的特征在于，具有：
传输路径，其在所述基板处理装置与所述输送装置之间进行信号的发送接收；
控制部，其基于通过所述传输路径在所述基板处理装置与所述输送装置之间发送的信号，在所述动作部的动作结束前开始所述输送部的移动，从而使该动作部的动作与该输送部的移动并行，
所述动作部能够向目标位置及超程位置移动，其中所述目标位置与为了交接所述基板而接近的所述输送部不干涉，所述超程位置沿移动方向超过所述目标位置且与所述输送部不干涉，
所述基板处理装置具有超程控制部，所述超程控制部进行如下控制：使所述动作部沿所述移动方向通过所述目标位置并在所述超程位置的附近减速，并且从该超程位置向该目标位置返回。
2.根据权利要求1所述的基板处理系统，其中，
所述控制部在所述动作部返回而到达所述目标位置的动作结束前，开始所述输送部的移动，从而使该动作部的移动与该输送部的移动并行。
3.根据权利要求2所述的基板处理系统，其中，
所述超程控制部进行速度控制，使所述动作部在达到最大移动速度后通过所述目标位置。
4.一种基板处理方法，其使用输送装置并使动作部进行动作，其中所述输送装置为了输送基板而使输送部相对于基板处理装置进行接近远离移动，所述基板处理装置所具有的所述动作部为了处理所述基板而进行动作，
所述基板处理方法的特征在于，
基于在所述基板处理装置与所述输送装置之间通过传输路径发送的信号，在所述动作部的动作结束之前开始所述输送部的移动，从而使该动作部的动作与该输送部的移动并行，
所述动作部能够向目标位置及超程位置移动，其中所述目标位置与为了交接所述基板而接近的所述输送部不干涉，所述超程位置沿移动方向超过所述目标位置且与所述输送部不干涉，
所述基板处理装置具有超程控制部，所述超程控制部进行如下控制：使所述动作部沿所述移动方向通过所述目标位置并在所述超程位置的附近减速，并且从该超程位置向该目标位置返回。
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