CN101595641B - 弹性波元件 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种弹性波元件。其可改善谐振频率附近的谐振特性，难以产生指状电极间的短路故障或绝缘性的变差。该弹性波元件(1)以与压电体相接的方式形成IDT电极(3)，IDT电极(3)具有多个指状电极，该多个指状电极包括在弹性波传播方向上相邻并且连接于不同电位的第一、第二指状电极(31)、(32)和隔着配置于第一指状电极(31)的指状电极长度方向外侧的间隙(33)而对置的第一虚设指状电极(34)，在间隙附近，在第一指状电极(31)以及第一虚设指状电极(34)之中的至少一个，以从至少一个指状电极的侧缘向弹性波传播方向突出的方式形成了第一凸部(11)～(14)指状电极。

Description

弹性波元件
技术领域
本发明涉及例如用于谐振器或带通滤波器的弹性波元件，特别涉及改良了具有多个指状电极的IDT电极的构造的弹性波元件。
背景技术
现在，在谐振器或带通滤波器中广泛应用弹性波元件。作为弹性波元件，公知利用弹性表面波的弹性表面波元件，或利用弹性边界波的弹性边界波元件等。
在弹性边界波元件或弹性表面波元件等的弹性波元件中，为了激励弹性波，使用了具有多个指状电极的IDT电极。对该IDT电极，通过实施交叉宽度加权等，来实现改善滤波特性或谐振特性。然而，即使作为使用实施了加权的IDT电极，也难以得到充分的谐振特性或滤波特性。
在此，在下述的专利文献1中，为了进一步改善谐振特性或滤波特性，公开了改善IDT电极的形状的弹性波元件。
图28是示意地表示在专利文献1中记载的弹性波元件的IDT电极的主要部分的局部俯视图。如图28所示，在IDT电极1000中，连接于一个电位的多个指状电极1001与连接于另一个电位的多个指状电极1002在弹性波传播方向上被交替配置。
在图28中所示的部分中，在第一指状电极1001的前端，在指状电极长度方向上隔着间隙1003配置有虚设指状电极1004。在第二指状电极1002的侧缘，形成了凸部1005。在第二指状电极1002的一个侧缘，在与沿着上述间隙1003的指状电极长度方向的位置大致相等的位置配置了凸部1005。仅设置了上述凸部1005，就在间隙1003存在的部分，缩小了沿着不存在电极的区域的弹性波传播方向的宽度方向尺寸。为此，减小通过间隙1003的弹性波与传播不存在间隙1003的部分的弹性波的举动的差，由此，实现改善谐振特性或滤波特性。
此外，在上述IDT电极1000中，第一指状电极1001的前端即间隙1003侧端部与虚设指状电极1004的前端即间隙1003侧的端部，以越向前端宽度变得越细的方式具有锥形部1001a、1004a。通过设置该锥形部1001a、1004a，在设置了锥形部1001a、1004a的部分，从间隙1003侧向与间隙1003相反侧平缓地改变弹性波的传播环境。由此，实现改善谐振特性或滤波特性。
[专利文献1]WO2006/109591
如上所述，在使用了专利文献1中记载的IDT电极1000的弹性波元件中，与现有的弹性波元件相比，虽然通过对IDT电极的形状下功夫，暂且实现了谐振特性或滤波特性的改善，但仍不充分。即，强烈要求进一步改善谐振特性或滤波特性等。
此外，在专利文献1记载的构造中，在增大上述凸部1005、或增大锥形部1001a、1004a时，产生了与相邻的连接于其它电位的指状电极接触而短路、或绝缘性变差的问题。
而且，谐振点附近的特性，很大依赖于IDT电极的形状。因此，在这样的形状中，存在由于生产时的指状电极的形状偏差大，而往往谐振特性或滤波特性也偏差大的问题。并且，当为了提高谐振特性或滤波特性，而增大上述凸部1005时，产生了阻带(stop band)变窄的问题。
发明内容
本发明的目的，鉴于上述现有技术的现状，提供一种弹性波元件，其通过对IDT电极的形状下功夫，可进一步改善谐振特性或滤波特性，而且，难以产生短路或绝缘性变差，也难以产生特性的偏差。
根据本发明的弹性波元件，具有：压电体，和以与所述压电体相接触的方式形成的IDT电极，所述IDT电极，具有多个指状电极，该多个指状电极包括：在弹性波传播方向上相邻并且连接于不同电位的第一、第二指状电极；和隔着配置于所述第一指状电极前端的指状电极长度方向外侧的间隙而对置并且连接于与所述第二指状电极同电位的第一虚设指状电极，在所述间隙附近，在所述第一指状电极以及所述第一虚设指状电极之中的至少一方中，以从至少一方的侧缘向弹性波传播方向突出的方式形成有第一凸部。
在本发明的弹性波元件的某特定方面中，所述第一凸部以与所述间隙相接触的方式被配置。此时，抑制了在指状电极前端外侧所设置的所述间隙附近由于音响阻抗的不匹配而引起的弹性波的反射或散射。因此，可改善滤波特性或谐振特性。
不过，第一凸部也可与上述间隙相离，在本发明的其它特定的方面中，所述第一凸部与所述间隙相离，在所述第一凸部与所述间隙之间设置有锥形部，该锥形部中设置有该第一凸部的指状电极或虚设指状电极的宽度随着往前端逐渐变细。此时，可补偿由于间隙的衍射而引起的特性的变差，由此可更进一步改善滤波特性或谐振特性。
在本发明的弹性波元件中，在设置了上述第一凸部以及第一锥形部的情况下，从所述第一凸部与所述锥形部相连的指状电极侧缘部分可为凹状的形状，或者也可为凸状的形状。
在本发明的弹性波元件中，优选当从上述指状电极前端的第一凸部与锥形部相连的侧缘部分为凹状或凹状的形状时，上述侧缘部分弯曲，所以难以产生指状电极的制造时的形状偏差。即，由形状偏差而引起的特性的偏差难以产生。此外，即使缩小上述间隙的大小，即沿着指状电极的延伸方向的间隙的尺寸，难以发生短路故障。在所述第一、第二指状电极的至少一方的侧缘，形成向所述弹性波传播方向突出的第二凸部，该第二凸部在指状电极长度方向上，以位于设置有所述间隙的范围内的方式形成。此时，由于设置了第二凸部，所以可补偿间隙中的弹性波的相位与间隙以外的部分所传播的弹性波的相位的相位偏差，由此可更进一步改善滤波特性或谐振特性。
特别地，也设置了第一凸部，所以通过第一凸部的效果与第二凸部的作用效果，不缩窄阻带，就可更进一步提高滤波特性或谐振特性。
在本发明的弹性波元件中，优选形成所述第二凸部，以便在配置有所述第一、第二指状电极的部分经过所述间隙传播表面波时的有效传播距离，与在设置有所述第一、第二指状电极的部分在所述间隙以及所述第一凸部以外的部分传播弹性波时的有效距离大致相等。
在本发明中，优选所述第二凸部，在所述第一、第二指状电极中的一方的指状电极上，以从与在另一方的指状电极的前端所设置的间隙相对置一侧的侧缘向该间隙突出的方式形成。此时，通过设置第二凸部，缩小了设置有间隙的部分和在与间隙在指状电极长度方向上相隔的位置上不存在弹性边界波传播路径中的电极的部分的长度的差。因此，可更进一步改善谐振特性或滤波特性。
优选所述第一、第二凸部为梯形的平面形状，所述梯形的下底是形成有该凸部的指状电极的侧缘的一部分，且连结梯形的上底与下底的侧缘与下底形成的内角为小于90°的角度。此时，由于能够使音响阻抗缓慢地发生变化，因而可更进一步抑制弹性波所不希望的反射或散射，所以能够更进一步改善谐振特性或滤波特性。
更优选沿着所述第二凸部的所述下底的中点的指状电极长度方向的位置，是与所述另一方的指状电极的前端的间隙的指状电极长度方向中心位置在指状电极长度方向上大致相同的位置，所述下底的长度设置得大于沿着所述间隙的指状电极的长度方向的尺寸即间隙宽度，所述上底的长度设置得小于该间隙宽度。由此，在凸部的侧缘折射的弹性波几乎不受间隙前端的电极的影响地通过间隙，所以可更有效地抑制衍射损失，由此能够更进一步改善谐振特性或滤波特性。
在本发明中，虽然不特别限定于上述第一、第二凸部的形状，但在本发明的某特定的方面中，所述第一、第二凸部为等角梯形的平面形状。
此外，第一、第二凸部具有多个角部，且该多个角部被弄圆。即使此时，也同样能够抑制弹性波的反射或散射。
在本发明的弹性波元件的其它特定方面中，所述第二凸部也形成于所述第一、第二指状电极中的另一方。
在本发明的弹性波元件中，可对所述IDT电极实施交叉宽度加权。使用了交叉宽度加权时，虽然可抑制横模寄生(spurious)，但在IDT的弹性波传播区域内会产生间隙，易于产生基于该间隙的谐振特性或滤波特性的性能变差。使用了本发明时，即使实施了交叉宽度加权，也相同地能够抑制弹性波的反射或散射，所以能够更进一步改善或调整谐振特性或滤波特性。
在本发明中，作为弹性波，可使用弹性表面波或弹性边界波，不特别地进行限定。
在本发明的弹性波元件中，优选还具有以覆盖所述压电基板上所设置的至少一个所述IDT电极的方式设置的介质层，所述IDT电极的密度，设置为大于等于所述压电基板的密度以及所述介质层的密度，并且所述IDT电极的密度与所述介质层的密度的比也大于1.22。
此外，在本发明的弹性波元件的其它特定的方面中，以覆盖所述压电基板上所设置的至少一个IDT电极的方式层叠有介质层，所述IDT电极的密度，大于等于所述压电基板的密度以及所述介质层的密度，并且IDT电极的密度与压电基板的密度以及介质层的密度之中的高的一方的密度比也大于1.22。
(发明效果)
在本发明的弹性波元件中，IDT电极具有包括连接于不同电位的第一、第二指状电极的多个指状电极，在第一指状电极的指状电极长度方向外侧配置有间隙，在间隙附近，以从第一指状电极的至少一个侧缘沿弹性波传播方向突出的方式形成第一凸部。因此，通过形成该第一凸部，抑制了在设置有间隙的区域以及间隙附近的区域的弹性波所不希望的反射或散射，由此，能有效地改善谐振特性或滤波特性。
此外，在形成有上述第一凸部的指状电极中，由于指状电极前端的形状的变化而引起的特性的变化很少，因此由于指状电极的形状的制造偏差而引起的特性的变化难以产生。并且，即使在指状电极前端的间隙大的情况下，也能够改善谐振特性或滤波特性，所以可扩大上述间隙，由此，能够抑制连接于不同电位的指状电极间的短路故障。
由此，根据本发明，仅通过对IDT电极的形状下功夫，特别地，仅通过在第一指状电极的侧缘设置第一凸部，就可有效地改善谐振特性或滤波特性。此时，当通过第一凸部的形成来谋求特性的改善时，第一凸部如由以下的实施方式的说明所明确的那样，并不需要多大，所以也难以产生不希望的短路或绝缘电阻的变差。
附图说明
图1(a)是示意地表示本发明的第一实施方式的弹性表面波元件的电极构造的俯视图、(b)是放大表示其主要部分的局部截取俯视图、(c)是在第一实施方式中，示意地表示第一、第二凸部的外缘变形为带有圆形的构造的俯视图。
图2是表示本发明的第一实施方式的弹性表面波元件的正面剖面图。
图3(a)是表示本发明的第一实施方式弹性表面波元件的阻抗特性以及相位特性的示意图、(b)是表示阻抗的阻抗史密斯图。
图4是表示为了比较而准备的第一现有例的弹性表面波元件的电极构造的主要部分的局部截取俯视图。
图5是表示为了比较而准备的第一比较例的弹性表面波元件的电极构造的主要部分的局部截取俯视图。
图6是表示第一实施方式、第一现有例以及第一比较例的弹性表面波元件的反射的相位θ与反射的绝对值|Γ|的关系的示意图。
图7是示意地表示使用了第一实施方式的弹性表面波元件的发送过滤器装置的电极构造的俯视图。
图8是表示图7中表示的发送滤波器的衰减量频率特性的示意图。
图9是表示使用图7表示的发送滤波器以及为了比较而准备的第一现有例以及使用了第一比较例的弹性表面波元件的各发送滤波器的衰减量频率特性的示意图。
图10是表示第一实施方式的弹性表面波元件的电极构造的前端部的实际形状的扫描型电子显微镜照片。
图11是示意地表示第一实施方式的电极构造的第一指状电极前端的间隙周边的状态的俯视截面图。
图12(a)是表示为了比较而准备的第一现有例的弹性表面波元件的间隙周边的电极构造的局部截取俯视图、(b)是示意地表示第一比较例的弹性表面波元件的间隙周边的电极构造的局部截取俯视图。
图13是表示第一实施方式、第一现有例以及第二比较例的各弹性表面波元件的间隙宽度G与反射的绝对值|Γ|的关系的示意图。
图14是用于示意地说明使第一实施方式的弹性表面波元件的第二凸部的面积改变后的构造的局部截取俯视图。
图15是用于示意地说明使第一比较例的弹性表面波元件的第二凸部的面积改变后的构造的局部截取俯视图。
图16是表示第一实施方式、第一现有例以及第一比较例的弹性表面波元件的第二凸部的面积与反射的绝对值|Γ|的关系的示意图。
图17是用于示意地说明使第一实施方式的弹性表面波元件的第一凸部的面积改变后的构造的部分截取俯视图。
图18是用于示意地说明使第一比较例的弹性表面波元件中指状电极以及虚设指状电极前端的电极形状发改变后的构造的局部截取俯视图。
图19是表示第一实施方式以及第一比较例的弹性表面波元件的指状电极前端部分的面积与反射的绝对值|Γ|的关系的示意图。
图20是表示用于说明第一实施方式的弹性表面波元件的谐振点、反谐振点以及阻带的关系的阻抗特性以及相位特性的示意图。
图21是表示第一实施方式、第一现有例以及第一比较例的反射的绝对值|Γ|与谐振频率-阻带上端频率间隙的关系的示意图。
图22(a)(b)是分别用于说明除了第一、第二凸部还在指状电极前端设置有锥形部的变形例的弹性表面波元件的局部截取俯视图。
图23是用于示意地说明第二实施方式的弹性边界波元件的间隙周边的电极构造的尺寸关系的局部截取俯视图。
图24是表示第二实施方式的弹性边界波元件以及为了比较而准备的第一现有例的弹性边界波元件的阻抗特性以及相位特性的示意图。
图25是示意地表示作为本发明的第三实施方式的弹性边界波滤波器装置的电极构造的俯视图。
图26是表示第三实施方式的弹性边界波滤波器装置的衰减量频率特性的示意图。
图27是表示作为第二现有例的弹性边界波滤波器装置的衰减量频率特性的示意图。
图28是表示现有的弹性边界波滤波器装置的一例的IDT电极的主要部分的局部截取俯视图。
图中：1-弹性表面波元件，2-压电基板，3-IDT电极，3a，3b-导电条，4-反射器，5-反射器，11～14-第一凸部，15，16-第二凸部，21，22-锥形部，31-第一指状电极，32-第二指状电极，33，33A-间隙，34-第一虚设指状电极，35-间隙，36-第二虚设指状电极，41-发送过滤器，42-输入端，43-输出端子，51-弹性边界波谐振器，71-弹性边界波滤波器装置，72-不平衡端子，73，74-平衡端子，75，76-弹性边界波滤波器，75a～75c-第一～第三IDT，76a～76c-第一～第三IDT，77，78-弹性边界波谐振器，S1～S4-串联臂谐振器，P1～P4-并联臂谐振器。
具体实施方式
以下，通过参照附图，说明本发明的具体的实施方式，明确本发明。
(第一实施方式的构造)
图2是表示本发明的第一实施方式的弹性表面波元件的正面剖面图，图1(a)是示意地表示该弹性表面波元件的电极构造的俯视图、(b)是放大表示其主要部分的局部截取俯视图。
如图2所示，弹性波元件1具有压电基板2、形成于压电基板2上面2a的IDT电极3、反射器4、5以及覆盖了IDT电极3和反射器4、5的介质层6。
即，IDT电极3形成于压电基板2与介质层6的界面。
在本实施方式中，压电基板2由0°旋转Y板X传播的LiNbO3基板形成。不过，压电基板2也可由其它结晶方位的LiNbO3基板形成，或者，也可由LiTaO3或水晶等其它压电单晶形成。此外，压电基板2也可由压电陶器形成。由LiNbO3基板形成的压电基板2的密度是4.64g/cm3。
另一方面，介质层6在本实施方式中由SiO2形成，其密度是2.2g/cm3。并且，构成介质层6的材料不限定为SiO2，也可由SiN等其它绝缘性材料形成介质层6。
在本实施方式中弹性表面波装置被激励。
IDT电极3以及反射器4、5，能够由Cu、Ag等适当的金属形成。在本实施方式中，IDT电极3以及反射器4、5，由将Cu作为主体的电极材料形成。更具体地，从LiNbO3侧，由将Ti膜、Cu膜以及AlCu膜以该顺序层叠形成的层叠金属膜形成IDT电极3以及反射器4、5。当设为所传播的弹性表面波的波长λ时，以Ti膜、Cu膜以及AlCu膜的λ进行标准化而形成的标准化膜厚h/λ，分别是1.0％、5.0％以及0.5％。因此，该层叠金属膜由将Cu为主体的电极材料形成。
当制造弹性表面波元件1时，在上述LiNbO3基板上，形成标准化膜厚h/λ为6.5％的SiO2膜。接着，通过光刻法，在去除形成IDT电极3以及反射器4、5的区域后而残留下的区域中形成光刻胶图案。接着，通过反应性离子蚀刻等，对未被光刻胶图案覆盖的区域去除SiO2膜。接着，在由将Cu作为主体的上述电极材料形成IDT电极3以及反射器4、5之后，去除残留的光刻胶图案。此后，将标准化膜厚h/λ为27％的厚度的SiO2膜在整个面上成膜。如此，得到弹性表面波元件1。并且，IDT电极3的占空比(duty)是0.50。
如图1(a)所示，在IDT电极3中，具有沿弹性表面波传播方向延伸的一对导电条(bus bar)3a，3b。多个第一指状电极31与多个第二指状电极32在弹性表面波传播方向上交替配置。第一指状电极31以及第二指状电极32的延伸方向，是与弹性表面波传播方向正交的方向。而且，多个第一指状电极31的一端连接于第一导电条3a，另一端向第二导电条3b侧延伸。在多个第一指状电极31的前端的指状电极长度方向外侧，配置了间隙33。而且，以隔着间隙33与第一指状电极31对置的方式，在第一指状电极31的长度方向延长线上，设置了第一虚设指状电极34。第一虚设指状电极34与导电条3b连接。
另一方面，多个第二指状电极32的一端，与导电条3b连接，另一端向第一导电条3a侧延伸。而且，在第二指状电极32的前端，在指状电极长度方向外侧配置了间隙35。隔着间隙35，以与第二指状电极32对置的方式，配置了第二虚设指状电极36。虚设指状电极36与导电条3a连接。
在本实施方式中，通过具有上述多个第一指状电极31及导电条3a的第一梳齿状电极和具有多个第二指状电极32及导电条3b的第二梳齿状电极，构成了IDT电极3。在IDT电极3中，上述多个第一指状电极31与多个第二指状电极32相互交插。
如图1(a)所示，在IDT电极3中，上述间隙33、35的位置沿着弹性表面波传播方向被改变。换言之，相邻的第一、第二指状电极31、32，在弹性表面波传播方向上，以重合的部分即交叉区域的尺寸即交叉宽度在弹性表面波传播方向上变化的方式实施了交叉宽度加权。
反射器4、5分别是将多个指状电极的两端短路而形成的格栅(grating)反射器。反射器4、5配置于IDT电极3的弹性表面波传播方向两侧。并且，作为反射器，也可使用两端未被短路的开放式反射器。
本实施方式的弹性表面波元件1的特征，如图1(b)中放大所示，在间隙33的附近，在第一指状电极31以及第一虚设指状电极34上，以至少从一个侧缘向弹性表面波传播方向突出的方式，形成了第一凸部11、12、13、14。即，在第一指状电极31上，在间隙33的附近，以向弹性表面波传播方向突出的方式，在第一指状电极31的两侧缘设置了第一凸部11、12。同样地，在第一虚设指状电极34上，也以从两侧缘向弹性表面波传播方向突出的方式设置了第一凸部13、14。
并且，在第一指状电极31上，在第一凸部11、12之中，也可只设置其中之一的第一凸部。同样地，在第一虚设指状电极34上，在两侧缘所设置的第一、第二凸部13、14之中，也可只设置其中之一的第一凸部。
而且，在间隙33的附近，也可只在第一指状电极31侧，设置有第一凸部，或者，也可只在第一虚设指状电极34侧设置有第一凸部。
而且，在图1(b)中，在第一指状电极31的前端所设置的间隙33的附近，在第一指状电极31以及第一虚设指状电极34上，虽然设置了上述第一凸部11、12、13、和14，但在第二指状电极32的前端所设置的间隙附近，同样，在第二指状电极32的前端以及/或者第二虚设指状电极36的前端也同样地设置了第一凸部。
本实施方式的弹性表面波元件1的其它特征，如图1(b)所示，在面对第二指状电极32的间隙33的部分，设置了第二凸部15、16。第二凸部15，从面对第二指状电极32的间隙33侧的侧缘，向间隙33突出。第二凸部16也同样地，以从面对间隙33的侧缘向间隙33突出的方式被设置。
并且，如图1(a)所示，也在第二指状电极32的前端所设置的间隙中，在面对两侧的第一指状电极31、31的间隙的部分，形成了第二凸部。
参照图1(b)，更具体地说明上述第一凸部11、12、13、14以及第二凸部15、16的形状。
在本实施方式中，沿着上述第二凸部15、16的指状电极长度方向的位置，与沿着间隙33的指状电极长度方向的位置大致相等。
而且，针对凸部15、16的位置与间隙33的位置的关系，虽然优选沿着指状电极31、32的长度方向的位置相等，但若是不损害基于第二凸部15、16的作用效果的程度，也可不相等。
第一凸部11、12在本实施方式中，具有等角梯形的平面形状。即，具有与第一指状电极31的侧缘相连的部分是下底的等角梯形的平面形状。上底是第一凸部11、12的突出前端部分，下底和上底通过一对侧缘连结。第一凸部13、14也具有与第一凸部11、12相同的形状。不过，第一凸部11～14也可具有等角梯形以外的平面形状。此外，虽然第一凸部11、12与在虚设指状电极34上所设置的第一凸部13、14不必相同，但优选相同。由此，可将间隙33的指状电极长度方向两侧的弹性表面波传播状况设为相同，可得到更进一步良好的谐振特性或滤波特性。
第二凸部15、16具有等角梯形的平面形状。被连接于指状电极的侧缘的部分相当于等角梯形的下底，在第二凸部15、16的前端侧，具有上底。上底和下底，由以相对于下底具有内角α的方式倾斜的一对侧缘所连结。这样的第二凸部15、16与上述的专利文献1中记载的凸部相同。
上述等角梯形的下底的指状电极长度方向中心，与间隙33的指状电极长度方向中心一致。换言之，将间隙33在指状电极长度方向上二等分的指状电极长度方向位置与下底的沿指状电极长度方向的中点在指状电极长度方向上一致。而且，由于是等角梯形，所以内角α小于90度。
而且，在以下的说明中，将沿着间隙33的指状电极长度方向的尺寸设为间隙宽度G，将沿着第二凸部15的指状电极方向的最大尺寸，即在上述凸部15的情况下，将下底的指状电极长度方向尺寸设为W，将第二凸部15的突出高度即从指状电极32的侧缘向间隙侧突出的弹性表面波传播方向尺寸设为突出高度H。
接着，在图3(a)以及(b)中表示设置了上述第一凸部11、12、13、14以及第二凸部15、16的本实施方式的弹性表面波元件1的相位特性以及阻抗特性。图3(b)中的|Γ|及θ，当将1端口型弹性表面波谐振器1的输入阻抗设为Z，将测定系统的特性阻抗设为Z0时，以|Γ|ejθ＝(Z-Z0)/(Z+Z0)来表示。Γ和θ分别表示反射的绝对值|Γ|和反射的相位。而且，优选反射的绝对值|Γ|越大，作为谐振器的特性越好。此外，反射的相位θ是180°的点，表示谐振点的特性，反射的相位0°的点表示反谐振点的特性。
图6以实线表示图3(b)的反射的相位θ与反射的绝对值|Γ|的关系。为了比较，在图6中分别以虚线以及点划线表示使用了图4以及图5表示的形状的IDT电极时的反射的相位θ与反射的绝对值|Γ|的关系。
而且，图4以及图5表示为了比较而准备的第一现有例以及第一比较例的弹性表面波谐振器的IDT电极的主要部分的局部截取俯视图，表示相当于上述实施方式的图1(b)表示的部分的部分。
在第一实施方式中，虽然设置了第一凸部11～14以及第二凸部15、16，但在图4表示的现有例中，未设置第一、第二凸部。对于其它点，第一现有例与第一实施方式相同。
另一方面，在图5表示的第一比较例中，在间隙33A的附近，在第一指状电极31的前端以及第一虚设指状电极34的前端，设置了随着往前端而变细的锥形部21、22。此外，在第二指状电极32、32上，与第一实施方式相同，设置了第二凸部15、16。
因此，第一比较例未设置上述第一凸部11～14，取而代之，除了设置有上述锥形部21、22之外，与上述实施方式为相同结构。
如从图6所示，与第一现有例相比，根据上述实施方式，从谐振点即θ＝180°的位置到反谐振点即θ＝0°的反射的绝对值|Γ|大。因此，可知大幅改善了作为谐振器的特性。
此外，第一比较例与上述第一现有例相比，与上述实施方式相同，从θ＝180°到θ＝0°的反射的绝对值|Γ|大，可知比第一现有例更改善了谐振特性。然而，与第一比较例相比，根据上述实施方式，谐振附近，即θ＝180°～90°附近的反射的绝对值|Γ|相当大，因此可知能更加改善谐振特性。
如上所述，由第一现有例与第一比较例的比较，可知在具有第一凸部11～14以及第二凸部15、16的上述实施方式的构造中，能够大幅改善谐振特性。这些可考虑基于以下的理由。
在图5表示的第一比较例中，与上述第一实施方式相同，设置了第二凸部15、16。设置了第二凸部15、16的结构，已被记载于上述专利文献1中，且具有以下作用效果。即，通过设置第二凸部15、16，在间隙33、33A中，弹性表面波的有效传播距离与未设置间隙33、33A的部分，例如存在指状电极31的部分的弹性表面波的有效传播距离几乎相同，由此，设置了间隙33、33A的部分与此之外的部分之间的弹性表面波的相位偏差变小，从而改善了特性。
若更具体地进行说明，如图4所示，在不具有第二凸部15、16的第一现有例中，在第一指状电极存在的部分，如箭头X1所示弹性表面波进行传播，且在设置间隙133的区域，弹性表面波如箭头X2所示进行传播。此时，在以箭头X1表示的传播路径中，弹性表面波从点A1向点B1进行传播。对此，在设置了间隙133的部分，从点A2向点B2传播。因此，虽然点A1～点B1之间的距离与点A2～点B2之间的距离相等，但在以箭头X2表示的传播路径中，电极完全不存在，在以箭头X1表示的传播路径中，第一指状电极在其间存在。因此，如箭头X1所示地传播的弹性表面波的相位与如箭头X2所示地传播的弹性表面波的相位产生偏差。
对此，在第一比较例以及上述实施方式中，只设置了第二凸部15、16的部分，就使在设置了间隙33、33A的部分传播的弹性表面波的相位接近于在间隙以外的区域传播的弹性表面波的相位，优选使其几乎相同，由此改善谐振特性。
与第一比较例相比，在上述实施方式中，进一步改善了特性是基于以下的理由。
指状电极的前端的间隙附近的音响阻抗的不匹配，由于上述第一凸部11～14的存在而被抑制，由此，可认为这是由于抑制了弹性表面波所不希望的反射或散射。
而且，第一凸部11～14以及第二凸部15、16都具有等角梯形的形状，且被设为以多条直线包围的区域，但当通过光刻法等形成IDT电极时，如图1(c)所示，第一凸部11～14以及第二凸部15、16也可形成带有圆形的形状。即，第一、第二凸部11～16的外形，未必需要具有以多条直线包围的多角形状，也可由曲线形成。当作为具有这样的曲线的外缘的形状时，可抑制由于指状电极形成时的形状偏差而引起的特性的变化。这是因为即使当在指状电极长度方向上发生了一些位置偏移时，或者，沿着弹性表面波传播方向形成位置发生了偏移，也由于在曲线情况下指状电极周边的位置偏差会连续地变化，所以难以发生由形状偏差而产生的形状的变动。由此，优选第一、第二凸部外缘最好具有曲线状的形状。
上述弹性表面波元件1，可用于各种谐振器或滤波器装置等。作为一例，图7示意地表示手机的双工器(duplexer)DPX中所使用的发送滤波器的电路结构。该发送滤波器41，是WCDMA方式的手机的双工器DPX中所使用的发送滤波器。发送滤波器41具有输入端42和输出端43。连结输入端42与输出端43的串联臂，连接了多个串联臂谐振器S1～S4。此外，在串联臂与接地电位之间分别连接了并联臂谐振器P1、P2、P3、P4。作为该串联臂谐振器S1～S4，使用了上述实施方式的弹性表面波谐振器。此外，作为并联臂谐振器P1～P4，使用了第一现有例的弹性表面波谐振器。
图8表示这样构成的发送滤波器衰减量频率特性。
此外，图9是放大表示上述图8表示的衰减量频率特性的主要部分的示意图。为了比较，除了在上述第一现有例中构成了串联臂谐振器，还在图9中以虚线表示与上述发送滤波器41同样构成的发送滤波器的衰减量频率特性。此外，除了将上述第一比较例的弹性表面波谐振器作为串联臂谐振器来使用，还在图9中以点划线表示同样构成的发送滤波器的衰减量频率特性。
如从图9所示，在发送滤波器41中，通频带内的高带域侧的频率区域的插入损失，与使用了第一现有例以及第一比较例的弹性表面波谐振器的相当的发送滤波器相比，可知能减小0.05～0.1dB。这个可认为是由于弹性表面波谐振器的谐振点附近的反射的绝对值|Γ|被上述实施方式的弹性表面波谐振器增大了。
此外，图10表示上述实施方式的弹性表面波元件1的IDT电极的前端部分的扫描型电子显微镜照片。在图10表示的扫描型电子显微镜照片中，可知上述第一凸部以及第二凸部带有圆形。
此外，对上述实施方式的发送滤波器41、使用了第一现有例的弹性表面波谐振器的发送滤波器以及使用了第一比较例的弹性表面波谐振器的发送滤波器的静电破坏耐压进行了测定。
其结果，在使用了第一现有例的弹性表面波谐振器的发送滤波器中，故障概率5％电压是180V，在使用了第一比较例的弹性表面波谐振器的发送滤波器是175V，相对于此，在上述实施方式的发送滤波器中，是175V。因此，可知在设置了上述第一、第二凸部的弹性表面波谐振器中，耐电涌(surge)电压与使用了上述第一现有例以及第一比较例的各弹性表面波谐振器时相同。
(间隙宽度G的影响)
接着，在第一实施方式的弹性表面波谐振器中，通过间隙33的间隙宽度G确认了谐振特性是否变化。
作为第一实施方式的变形例制作了具有图11表示的电极构造的弹性表面波元件。而且，图11表示的弹性表面波元件51，除了第一、第二凸部的外缘为曲线之外，与上述第一实施方式为相同结构，即，是与图1(c)表示的相同的弹性表面波谐振器。为了比较，同样地构成为具有图12(a)表示的第一现有例以及图12(b)表示的第一比较例的电极构造的弹性表面波谐振器。而且，在图12(a)以及(b)中表示的各弹性表面波谐振器201、202中，以指状电极的外缘设为带有圆形的形状的方式，将第一实施方式的用于比较而准备的所述第一现有例以及第一比较例的指状电极的形状进行了一些变更指状电极。
在上述弹性表面波谐振器51、201、202中，使间隙宽度变化，并测定了谐振点附近的反射的绝对值|Γ|。图13表示结果。
而且，上述间隙宽度G，由通过扫描型电子显微镜观察所制作的弹性表面波谐振器的IDT电极而求出。
如从图13所示，可知在第一现有例以及第一比较例中，如果不减小间隙宽度G，则反射的绝对值|Γ|不变大，不会提高特性。然而，若减小间隙宽度G，则由于制造时的偏差等会有短路故障产生的可能。
相对于此，可知在本实施方式中，即使假设使间隙宽度G变化，反射的绝对值|Γ|也不怎么变化。因此，可知能将间隙宽度G变得较大，由此不会导致特性的变差，能够防止短路故障。
(基于第二凸部的影响)
接着，对基于上述实施方式的第二凸部15、16的大小以及有无的影响进行了评价。
如图14所示，将上述实施方式的弹性表面波谐振器的第一凸部15、16的面积进行了各种变更。在图14中，虽然以交叉的阴影表示了第一凸部15、16，但固定第一凸部11～14的形状，并使上述第一、第二凸部15、16的面积发生各种变化，来制作了多种第一实施方式的弹性表面波谐振器1。
为了比较，制作了图15表示的第一比较例的弹性表面波元件203。在弹性表面波元件203中，未设置第一凸部，第一指状电极以及第一虚设指状电极的前端带有圆形。另一方面，针对第二凸部15、16，虽然以交叉的阴影来表示，但使其面积发生各种变化，来制作了多种弹性表面波元件203。
图16表示如上述所制作的实施方式的弹性表面波谐振器以及第一比较例的弹性表面波谐振器203的第二凸部的面积与谐振点附近的反射的绝对值|Γ|的关系。
而且，由扫描型电子显微镜照片进行观察，求出了第二凸部的面积。图16的横轴表示一个凸部的面积。
如从图16所示，可知随着第一凸部的面积变大，在实施方式以及第一比较例的任一个中，反射的绝对值|Γ|都变大，特性良好。因此，可知优选将第二凸部15、16的面积设为某种程度以上。
不过，可知在第一比较例中，若不相当大地增大第一凸部面积，也就不能怎么增大反射的绝对值|Γ|。
此外，可知在相当于未设置第二凸部，即未设置带有图15的交叉的阴影的凸部的所述第一现有例的弹性表面波装置中，反射的绝对值|Γ|小至0.932以下。
相对于此，可知在上述实施方式中，与第一比较例相比，反射的绝对值|Γ|与第二凸部的大小无关，而足够大，以及即使在未设置第二凸部的情况下，即在第二凸部的面积为0的情况下，反射的绝对值|Γ|也为非常大的0.939。
因此，由图6可知，根据本发明，即使不设置上述第二凸部，通过设置了第一凸部，也能充分增大反射的绝对值|Γ|，可得到良好的谐振特性。
此外，可知更优选通过设置上述第二凸部15、16，并增大该第二凸部15、16的面积，能够更进一步提高谐振特性。
(由第一凸部的形状的变化而引起的特性的变化)
接着，在上述实施方式中，如图17示意地所示，将第二凸部15、16固定形状，并将带有交叉的阴影表示的第一凸部11～14进行各种变更，来对特性的变化进行了评价。
为了比较，在相当于图18表示的第一比较例的电极结构中，将第二凸部的面积与上述实施方式的情况同样地固定，并使第一指状电极以及第一虚设指状电极的前端的带有交叉的阴影而表示的锥形部21、22的面积进行各种变化，来求得了特性的变化。
图19表示结果，表示使第一指状电极以及第一虚设指状电极前端的第一凸部11～14的面积或者它们的前端的锥形部21、22的面积改变时的谐振点附近的反射的绝对值|Γ|的变化的示意图。
如从图19所示，可知在上述第一比较例中，在使指状电极前端的锥形部21、22的面积改变，并且使其形状改变时，特性发生很大偏差。即，可知在上述第一比较例中，谐振特性很大程度依赖于指状电极前端的形状。
相对于此，可知在上述实施方式中，随着第一凸部11～14的面积变大，反射的绝对值|Γ|变大，因此，特性变得良好。由此，可知优选在弹性表面波谐振器的绝缘性不变差的程度下，增大第一凸部11～14的面积。
此外，可知在本实施方式中，难以产生由制造时的电极形状的偏差而引起的特性的偏差。
因此，由于难以产生由制造时的电极形状的偏差而引起的特性的偏差，所以能够提供稳定的特性的弹性表面波谐振器。
(阻带与特性的关系)
在上述实施方式的弹性表面波谐振器中，优选基于IDT电极的弹性表面波的反射系数较大，其越大越能够得到宽的阻带。若基于IDT电极的弹性表面波的反射系数变小，阻带变窄，则例如在图20表示的谐振特性中，以箭头B表示的位于阻带上端的频率的波动(ripple)B有接近谐振频率以及反谐振频率的危险。
图21表示上述实施方式的弹性表面波谐振器的、谐振频率和IDT电极的阻带上端的频率的间隔、与谐振点附近即θ＝150°时的反射的绝对值|Γ|的关系。而且，图21的纵轴，是将谐振频率设为fr、阻带上端的频率设为fstop时，将谐振频率与IDT电极的阻带上端的频率间隔设为(fstop-fr)/fr而求出的值(％)。
为了比较，针对第一现有例以及第一比较例的弹性表面波谐振器，也同样地求出了反射的绝对值|Γ|与谐振频率-阻带上端频率间隔的关系。在图21中一起表示结果。
如从图21所示，可知在第一比较例中，若增大反射的绝对值|Γ|，则谐振频率-阻带上端频率间隔变窄。
此外，可知在第一现有例中，如从图21所示，虽然谐振频率-阻带上端频率间隔较宽，但反射的绝对值|Γ|也没变得多大。
相对于此，可知在本实施方式中，即使增大了反射的绝对值|Γ|，谐振频率-阻带上端频率间隔也不会变窄。即，可知不缩窄阻带，也能够改善谐振特性。
(变形例)
图22(a)示意地用于说明上述实施方式的弹性表面波谐振器的变形例的局部截取俯视图。
在上述实施方式的弹性表面波谐振器中，虽然设置了所述第一、第二凸部11～16，但如图22(a)表示的变形例，除了第一凸部11～14以及第二凸部15、16，还可设置锥形部61、62。锥形部61是在第一指状电极31的前端，指状电极宽度随着往前端而变细的部分。同样地，锥形部62是在第一虚设指状电极34中带有锥形的部分。第一凸部11～14设置于与指状电极31或虚设指状电极34的前端相离的位置。锥形部61、62，与第一凸部11、12或第一凸部13、14相间隔地设置。在此，从第一凸部11、12至锥形部61的指状电极侧缘部分弯曲成凹状。同样地，从第一凸部13、14至锥形部62的指状电极侧缘部分弯曲成凹状。
在图22(a)中，虽然表示了第一指状电极31以及第一虚设指状电极34的锥形部61、62，但在第二指状电极以及第二虚设指状电极的前端也可同样地设置锥形部。
在本变形例中，通过设置上述锥形部61、62，可减小设置了间隙33的部分与在间隙33以外的区域传播的弹性表面波的相位差，由此可更进一步改善谐振特性。
即，第一凸部11～14为了缩小以图4的箭头X1以及X2所表示的弹性表面波的传播路径的差而被设置，由此，通过缩小设置了间隙33的部分与弹性表面波的相位偏差，实现了谐振特性的提高。如本变形例，通过设置上述锥形部61、62，能够稳定从设置了间隙3的部分开始，随着远离指状电极长度方向的方向的弹性表面波传播的变动，并且能够缩小弹性表面波有效传播距离的差。
由此，可更进一步有效地补偿相位偏差，由此可更进一步改善谐振特性。
此外，如图22(b)表示的变形例，第一凸部11、12带有圆形，锥形部61也可带有圆形。此外，此时，第一凸部13、14以及锥形部62也带有圆形。如此，锥形部61、62与第一凸部11～14相同，其外缘也可带有圆形。而且，在图22(b)中，从第一凸部11、12到锥形部61的指状电极侧缘部分，以及从第一凸部13、14连于锥形部62的指状电极侧缘部分弯曲成凸状。如此，从第一凸部至锥形部的指状电极侧缘部分，也可弯曲成凹状，或者也可是弯曲成凸状。即使在任一情况下，在指状电极侧缘部分为弯曲的情况下，难以产生指状电极的制造时的形状偏差。即，由形状偏差而引起的特性的偏差难以产生。因此，能够提供特性稳定的弹性表面波元件。
(第二实施方式)
与第一实施方式相同，制作了1端口型弹性边界波谐振器。不过，在本实施方式中在由15°Y切割X传播LiNbO3构成的压电基板2上，形成了IDT电极以及反射器4、5，且也形成了SiO2膜。设上述LiNbO3基板的厚度是350μm，由SiO2形成的介质层的膜厚是6μm。与第一实施方式不同，由于充分增厚了SiO2，所以在本实施方式中弹性边界波被激励。此外IDT电极以及反射器由将NiCr/Au/NiCr按照此顺序层叠了的层叠金属膜形成，其厚度设为NiCr/Au/NiCr＝10nm/75nm/10nm。
设IDT电极的指状电极的对数是60对，反射器的指状电极的个数是51个。此外，设IDT电极3的交叉宽度是30λ，开口宽度是30.4λ。此外，在IDT电极中，中央的交叉宽度是30λ，随着往两端交叉宽度变小，并实施交叉宽度加权以使两端的交叉宽度成为15λ。
设以IDT电极的指状电极的间距定义的波长λ是1.6μm，并将IDT电极的指状电极的宽度设为L，0.44μm，将相邻的指状电极间的空间(space)宽度设为S，S＝0.36μm。此外，图23中放大主要部分来表示的间隙的间隙宽度G设为0.3μm。
并且，如图23所示，形成了第一凸部11～14和第二凸部15、16。第一凸部11～14以及第二凸部15、16的图中的各尺寸如下。
TL＝0.188μm、TW1＝0.329μm、TW2＝0.188μm、SW1＝0.47μm、SH＝0.166μm、SW2＝0.094μm。
为了比较，除了未设置第一、第二凸部，制作了与上述第二实施方式结构相同的第二现有例的弹性边界波谐振器。
将如上所述所准备的第二实施方式以及第二现有例的弹性边界波谐振器的阻抗频率特性以及相位特性在图24中分别用实线以及虚线表示。
如从图24所示，与第二现有例相比，根据上述第二实施方式，可知能够从第二现有例的阻抗比60dB到第二实施方式的阻抗比63dB地增大峰谷比即反谐振点的阻抗相对于谐振点的阻抗的比。
(第三实施方式)
制作了图25表示的弹性边界波滤波器装置71。在弹性边界波滤波器装置71中，构成为具备不平衡端子72、第一、第二平衡端子73、74的、具有平衡-不平衡转换功能的带通滤波器。在此，不平衡端子72上连接了第一、第二纵结合谐振器型弹性边界波滤波器75、76。纵结合谐振器型弹性边界波滤波器75、76是分别具有第一IDT75a、76a和在第一IDT的弹性边界波传播方向两侧所配置的第二、第三IDT75b、75c、76b、76c的3IDT型的纵结合谐振器型弹性边界波滤波器装置。在设置有IDT75a～75c、76a～76c的区域的边界波传播方向两侧，配置了反射器75d、75e、76d、76e。
第一IDT75a、76a的各一端被公共连接，且与不平衡端子72连接，各另一端连接于接地电位。
第二、第三75b、75c的各一端被公共连接，且经由第一1端口型弹性边界波谐振器77，连接于第一平衡端子73。IDT75b、75c的各另一端连接于接地电位。
同样地，第二、第三IDT76b、76c的各一端被公共连接，且经由1端口型弹性边界波谐振器78连接于第二平衡端子74。IDT76b、76c的各另一端连接于接地电位。
上述弹性边界波滤波器75、76以及弹性边界波谐振器77、78都通过SiO/IDT电极/15°Y切割X传播LiNbO3的层叠结构形成。设LiNbO3基板的厚度是350μm，SiO2的厚度为6μm。
电极作为将Al/Ti/Ni/Au/Ni作为按照此顺序从上顺序地层叠的构造，其厚度设为Al/Ti/Ni/Au/Ni＝100/10/10/55/10nm。
IDT指状电极的对数，在弹性边界波滤波器装置75、76中，在中央第一IDT75a、76a中，设为10.5对，在第二、第三IDT75b、75c、76b、76c中，设为各6.5对。反射器的指状电极的个数设为15个。
设IDT电极的指状电极交叉宽度是25λ，开口宽度是25.4λ，在IDT电极中，实施了交叉宽度加权，以使IDT电极中央的指状电极交叉宽度为25λ、两端交叉宽度为20λ地从中央随着往两端交叉宽度变小。
至于弹性边界波谐振器77、78，电极构造也同样，但中央的IDT电极的加权，设交叉宽度在中央30λ，且随着往两端变小，两端的交叉宽度是12λ。设λ＝1.6μm，且设指状电极的宽度L＝0.4μm，相邻的指状电极间的空间宽度S＝0.4μm，在指状电极前端的指状电极长度方向上所配置的间隙的宽度G＝0.3μm。
为了比较，作为第三现有例准备了除未设置上述第一、第二凸部以外构成相同的弹性边界波滤波器装置以及使用了弹性边界波谐振器的弹性边界波滤波器装置。
图26表示如上所述所准备的第三实施方式的弹性边界波装置的衰减量频率特性，图27表示为了比较而准备的第三现有例的弹性边界波装置的衰减量频率特性。
根据比较图26与图27所示，可知在设置了上述第一、第二凸部的第三实施方式中，可将通频带的最小插入损失减小0.2dB，因此，可实现插入损失的降低，并且可谋求通频带的滤波特性的平坦化。
而且，在上述LiNbO3或LiTaO3等的压电基板上形成了IDT电极、并进一步将SiO2膜进行层叠来构成了弹性边界波装置时，SiO2与IDT电极的弹性边界波的音速比成为所述的相位偏差或衍射的原因。为此，音响阻抗比成为指状电极前端的偏差的主要原因。由此，在音速比或音响阻抗大的结构中，这样的问题表现得更明显。因此，根据本发明，通过设置第一凸部，或者通过设置第一、第二凸部的两者，可更进一步改善谐振特性或滤波特性。通常，材料的密度比越大音速比或音响阻抗比越大。在SiO2/IDT电极/压电基板构造中，当由Al设置了IDT电极时，虽可得到本发明的效果，但此效果比较小。这是由于若SiO2的密度是2.2g/cm3，Al的密度是2.69g/cm3则密度比2.69/2.2＝1.22，很小。
另一方面，当使用了密度为8.93g/cm3的Cu或密度为19.3g/cm3的Ag时，相对于SiO2的密度比变大。因此，如上述第三实施方式所示，可大大改善谐振特性或滤波特性。
由此，在本发明中，优选至少一方的介质与IDT电极的密度比大于1.22。
IDT电极如上所述，可以是将多个金属膜进行了层叠的构造，也可通过单一的金属膜形成。不过，在层叠金属膜中，优选将Ni、NiCr或Ti形成密接层或扩散阻挡层的构造。例如，优选NiCr/Au/NiCr构造等。此外，作为主电极层叠Al与Au，或形成了上述密接层或扩散阻挡层的构造也有效，通过利用密度小的Al和密度大的Au，可更加期待本发明的效果。
而且，对于覆盖IDT电极的介质，并不限于所述的SiO2，也可使用SiN等其它材料，或者也可为层叠多个材料的构造。例如，也可使用SiN/SiO2或SiO2/SiN/SiO2的层叠构造。
此外，在所述第一实施方式中，虽然就弹性表面波元件进行了说明，但也适用于弹性边界波元件。而且，可适用于不具备覆盖IDT电极的介质的弹性表面波装置。
此外，在所述第二、第三实施方式中，虽然就弹性边界波元件进行了说明，但也可适用于弹性表面波元件以及使用了弹性表面波元件的弹性表面波滤波器装置等。

Claims (19)

1.一种弹性波元件，具有：
压电体；和
以与所述压电体相接触的方式形成的IDT电极，
所述IDT电极，具有多个指状电极，该多个指状电极包括：在弹性波传播方向上相邻并且连接于不同电位的第一、第二指状电极；和隔着配置于所述第一指状电极前端的指状电极长度方向外侧的间隙而对置并且连接于与所述第二指状电极同电位的第一虚设指状电极，
在对所述IDT电极进行了交叉宽度加权的交叉区域中的所述间隙附近，按照使所述IDT电极的指状电极的宽度在弹性波传播方向上呈不同的方式，在所述第一指状电极以及所述第一虚设指状电极之中的至少一方中，以从至少一方的侧缘向弹性波传播方向突出的方式形成有第一凸部。
2.根据权利要求1所述的弹性波元件，其特征在于，
所述第一凸部以与所述间隙相接触的方式被配置。
3.根据权利要求1所述的弹性波元件，其特征在于，
所述第一凸部与所述间隙相离，在所述第一凸部与所述间隙之间设置有锥形部，该锥形部中设置有该第一凸部的指状电极或虚设指状电极的宽度随着往前端逐渐变细。
4.根据权利要求3所述的弹性波元件，其特征在于，
从所述第一凸部与所述锥形部相连的指状电极侧缘部分具有凹状的形状。
5.根据权利要求3所述的弹性波元件，其特征在于，
从所述第一凸部与所述锥形部相连的指状电极侧缘部分具有凸状的形状。
6.根据权利要求1所述的弹性波元件，其特征在于，
在所述第一、第二指状电极的至少一方的侧缘，形成向所述弹性波传播方向突出的第二凸部，该第二凸部在指状电极长度方向上，以位于设置有所述间隙的范围内的方式形成。
7.根据权利要求6所述的弹性波元件，其特征在于，
形成所述第二凸部，以便在配置有所述第一、第二指状电极的部分经过所述间隙传播表面波时的有效传播距离，与在设置有所述第一、第二指状电极的部分在所述间隙以及所述第一凸部以外的部分传播弹性波时的有效传播距离相等。
8.根据权利要求6所述的弹性波元件，其特征在于，
所述第二凸部，在所述第一、第二指状电极中的一方的指状电极上，以从与在另一方的指状电极的前端所设置的间隙相对置一侧的侧缘向该间隙突出的方式形成。
9.根据权利要求6所述的弹性波元件，其特征在于，
所述第一、第二凸部为梯形的平面形状，所述梯形的下底是形成有该凸部的指状电极的侧缘的一部分，且连结梯形的上底与下底的侧边与下底形成的内角为小于90°的角度。
10.根据权利要求9所述的弹性波元件，其特征在于，
沿着所述第二凸部的所述下底的中点的指状电极长度方向的位置，是与另一方的指状电极的前端的间隙的指状电极长度方向中心位置在指状电极长度方向上相同的位置，所述下底的长度设置得大于沿着所述间隙的指状电极的长度方向的尺寸即间隙宽度，所述上底的长度设置得小于该间隙宽度。
11.根据权利要求9所述的弹性波元件，其特征在于，
所述第一、第二凸部为等腰梯形的平面形状。
12.根据权利要求9或10的任一项所述的弹性波元件，其特征在于，
所述第一、第二凸部具有多个角部，且该多个角部被弄圆。
13.根据权利要求6-11所述的弹性波元件，其特征在于，
所述第二凸部也形成于所述第一、第二指状电极中的另一方。
14.根据权利要求12所述的弹性波元件，其特征在于，
所述第二凸部也形成于所述第一、第二指状电极中的另一方。
15.根据权利要求1所述的弹性波元件，其特征在于，
对所述IDT电极实施了交叉宽度加权。
16.根据权利要求1所述的弹性波元件，其特征在于，
作为所述弹性波使用了弹性表面波。
17.根据权利要求1所述的弹性波元件，其特征在于，
作为所述弹性波使用了弹性边界波。
18.根据权利要求16或17所述的弹性波元件，其特征在于，
还具有以覆盖所述压电体上所设置的至少一个所述IDT电极的方式设置的介质层，所述IDT电极的密度，设置为大于等于所述压电体的密度以及所述介质层的密度，并且所述IDT电极的密度与所述介质层的密度的比也大于1.22。
19.根据权利要求17所述的弹性波元件，其特征在于，
以覆盖所述压电体上所设置的至少一个IDT电极的方式层叠有介质层，所述IDT电极的密度，大于等于所述压电体的密度以及所述介质层的密度，并且IDT电极的密度、与压电体的密度及介质层的密度当中的密度较高的一方的密度之比也大于1.22。
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