CN101517721A

CN101517721A - 树脂封固装置

Info

Publication number: CN101517721A
Application number: CNA2007800342632A
Authority: CN
Inventors: 绪方健治; 永冈伸
Original assignee: Dai Ichi Seiko Co Ltd
Current assignee: I Pex Inc
Priority date: 2006-09-19
Filing date: 2007-09-13
Publication date: 2009-08-26
Anticipated expiration: 2027-09-13
Also published as: TWI415199B; US20100247697A1; CN101517721B; US8342837B2; JP4694615B2; TW200828460A; HK1133953A1; KR20090052866A; WO2008035613A1; KR101001096B1; JPWO2008035613A1

Abstract

本发明的树脂封固装置包括第一模具(2)以及可与第一模具(2)接触、分离的第二模具(1)。通过将树脂填充至由两模具(1、2)形成的模腔内，对配设于两模具(1、2)内的装设有电子器件的基板(70)进行树脂封固成形。第二模具(1)以可在水平方向上往复移动的形态配置于底板(9)上，包括：可与第一模具(2)接触、分离的模腔单元(7)；以及支撑模腔单元(7)，使模腔单元(7)与第一模具(2)接触、分离，从而进行合模的合模机构(16)。在底板(9)上设置有水平驱动机构(11)，该水平驱动机构(11)使第二模具(1)分别朝与第一模具(2)相对的相对位置以及从相对位置移动至侧方的非相对位置移动。

Description

树脂封固装置

技术领域

本发明涉及树脂封固装置。

背景技术

以往，作为树脂封固装置，有如下装置：通过驱动合模驱动装置使上模具和下模具开合，用前后移动伺服电动机使支撑下模具的下模具安装板前后移动，可在不使上模具和下模具在上下方向上大幅度分离的情况下进行材料的供给作业和成形品的取出作业(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利特开平6-252192号公报

发明的公开

发明所要解决的技术问题

然而，上述以往的树脂封固装置构成为利用使用伺服电动机的上下移动装置来使下模具及支撑下模具的下模具安装板整体升降。因此，装置自身大型化，且价格昂贵。

因此，本发明的课题是提供一种在减小开模量的同时可使合模所需的结构小型化、并能以低廉的价格制作的树脂封固装置。

解决技术问题所采用的技术方案

作为用于解决上述问题的手段，本发明是一种树脂封固装置，该装置包括第一模具以及可与该第一模具接触、分离的第二模具，通过使树脂材料熔融，将熔融树脂填充至由所述两模具形成的模腔内，由此对配设于所述两模具内的装设有电子器件的基板进行树脂封固成形，该装置的特征在于，所述第二模具以可在水平方向上往复移动的形态配置于底板上，包括：可与所述第一模具接触、分离的模腔单元；以及使所述模腔单元与所述第一模具接触、分离、从而进行合模的合模机构，在所述底板上设置有水平驱动机构，该水平驱动机构使所述第二模具分别朝与所述第一模具相对的相对位置以及从该相对位置移动至侧方的非相对位置移动。

利用该结构，在合模时只要使作为第二模具的一部分的模腔单元动作即可。因此，与使整个第二模具动作的情况相比，可抑制合模所需的力。所以可小型且廉价地制作。

最好所述合模机构具有至少1个活塞，该活塞支撑所述模腔单元，使所述模腔单元与所述第一模具接触、分离，从而进行合模。

此外，所述合模机构也可包括：第一楔形单元，该第一楔形单元设置于所述模腔单元，其下表面形成有倾斜面；第二楔形单元，该第二楔形单元设置成可在水平方向上往复移动，其上表面形成有倾斜面，该倾斜面与所述第一楔形单元的倾斜面滑动接触，通过所述第一楔形单元使所述模腔单元升降；以及驱动装置，该驱动装置使所述第二楔形单元在水平方向上往复移动。

最好所述底板具有垂直驱动机构，该垂直移动机构将所述模腔单元与所述合模机构分开驱动，使所述模腔单元以比所述合模机构高的速度与所述第一模具接触、分离；所述垂直驱动机构和所述第二模具具有在所述相对位置呈连结状态、在所述非相对位置呈非连结状态的接头。

利用该结构，可仅使第二模具在第一模具的相对位置和非相对位置之间水平移动，无需移动垂直驱动机构。而且，只需使第二模具水平移动至第一模具的相对位置，即可利用接头使第二模具与垂直驱动机构处于连结状态。

最好所述模腔单元是具有4个侧面的长方体形状，所述第二模具具有基座，该基座具有导向面，该导向面对所述模腔单元的4个侧面分别进行引导，使所述模腔单元的4个侧面可以滑动。

利用该结构，可通过简单的加工来提高各部件的精度。此外，不需要以往所不可或缺的系杆，可简化合模构造，制成廉价的结构。

最好所述基座具有由其它构件构成的调整间隔物，该调整间隔物构成所述导向面。

利用该结构，在模腔单元移动时，可将其侧面与基座的导向面之间的间隙维持在适当的间隔，实现顺畅的移动。

所述模腔单元也可由被至少1个活塞支撑的多个单元构成。

所述基板也可以是一块(日文：一枚取り)。

最好所述模具中的任一方具有使树脂材料熔融的罐部，所述罐部的开口部以与配设于所述两模具内的基板相对的形态形成。

利用该结构，不仅无需将已固化的废弃树脂全部从嵌入品中挤出，可形成为一体，而且可抑制合模力，因此可使树脂封固装置小型化。

发明效果

利用本发明，在合模时只要使作为第二模具的一部分的模腔单元动作即可，无需大型的合模机构。因此不仅可实现小型化，而且能以低廉的价格制作。此外，可利用垂直驱动机构高速地进行模具的开合，因此可缩短工序时间，提高成形循环的效率，结果能以低廉的价格得到成形品。

附图的简单说明

图1是本实施方式中的树脂封固装置的主视剖视图。

图2是图1的下模具组的俯视图。

图3(a)是表示使下模具组水平移动的状态的俯视图，(b)是其主视剖视图。

图4是图1的下模具组的放大图。

图5是图4的俯视图。

图6是表示利用上模具组和下模具组进行树脂封固前的状态的主视剖视图。

图7(a)是表示从图6开始进行合模的状态的图，(b)是表示向罐部内部供给树脂的状态的图。

图8是表示从图7(b)开始继续向模腔内填充树脂的状态的图。

图9是下模具组的主要部分的局部分解立体图。

图10A是实施方式2中的树脂封固装置的俯视图。

图10B是图10A的剖视图。

图11是表示图10B的A-A线下方侧的部分的俯视剖视图。

图12A是实施方式3中的树脂封固装置的俯视图。

图12B是图12A的剖视图。

图13A是实施方式4中的树脂封固装置的俯视图。

图13B是图13A的剖视图。

(符号说明)

1…下模具组

2…上模具组

2A、2B…支撑框架

3…滑动板

4…料缸单元

4a…凹部

5…下模具框架板

6…下模具基座

7…下模具模腔单元

8…架台

9…底板

10…滑动导向件

11…第一伺服电动机

11a…带轮

11b…同步带

12…滚珠丝杠

13…螺母

14…支撑板

15a、15b…下模具绝热板

16…活塞

17…活塞盖

18…液室

18a…上液室

18b…下液室

19a…大直径部

19b…小直径部

20a…上方侧配管

20b…下方侧配管

21…开口部

22…连接单元

23a、23b…连接板

23c…辅助绝热板

24…连接板

25…连结杆

26…第二伺服电动机

26a…带轮

26b…同步带

26c…滚珠丝杠

26d…螺母

27a、27b…接头

28…滑动轴

29…下模具加热器

30…下模具测温电阻

31A、31B…底座单元

31a、31b…台阶部

32…下模具背板

33…下模具支撑销

34…连结板

34a…连结单元

34b…槽部

35…下模具连结销

35a…凸缘部

36A、36B…调整板

37…下模具定位单元

38…上模具夹板

39…上模具框架板

40…上模具模套

41…上模具绝热板

42…上模具加热器

43…上模具测温电阻

44…上模具模套限位单元

45…上模具模套导向单元

46…上模具模腔单元

47…树脂供给单元

48…浇口

49…凹处

51…上模具支撑销

52…顶出板

53…销托板

54…套筒保持件

55…套筒单元

56…套筒

57…柱塞杆

58…柱塞冲头

59…罐部

60…柱塞顶板

61…柱塞杆

62…伺服电动机

62a…带轮

62b…同步带

63…滚珠丝杠

64…等压装置

65…树脂投入口

66…托架

67…气缸

70…基板

71…第一楔形单元

71a…第一倾斜面

72…滑动凹部

73…避让凹部

74…突条导向件

77…第二楔形单元

77a…第二倾斜面

78…滑动单元

80…支撑单元

81…螺母

82…轴承部

83…导向衬套

84…滚珠丝杠

85…带轮

86…第三伺服电动机

87…带轮

88…带

89…导向轴

实施发明的最佳方式

图1及图2表示的是本实施方式中的树脂封固装置。该树脂封固装置包括下模具组1和上模具组2。

(1下模具组1)

如图1所示，下模具组1的结构大致如下：在滑动板3的上表面依次层叠料缸单元4、下模具框架板5及下模具基座6，在下模具基座6上设置有下模具模腔单元7。

通过载置滑动板3，使其能在设置于架台8上的底板9上往复移动，下模具组1可在上模具组2的下方位置和侧方位置之间移动。即，在底板9的上表面设置有滑动导向件10，在该滑动导向件10上以能往复移动的形态配置有滑动板3。通过驱动第一伺服电动机11，通过带轮11a及同步带11b使滚珠丝杠12旋转，动力通过设置于滑动板3上的螺母13传递至滑动板3，使滑动板3往复移动。

如图4所示，在滑动板3的上表面配设有支撑板14。在支撑板14与料缸单元4之间配设有下模具绝热板15a。此外，在料缸4与下模具框架板5之间配设有下模具绝热板15b。

(1-1料缸单元4)

如图4所示，在料缸单元4的上表面形成有横截面为圆形的凹部4a。在凹部4a内以可升降的形态收容有活塞16。此外，凹部4a的上方开口部被活塞盖17覆盖，形成液室18。活塞16由可沿液室18的内周面升降的圆柱形的大直径部19a、以及从该大直径部19a的上表面中央部突出的小直径部19b构成。大直径部19a将液室18的内部划分为上液室18a和下液室18b。如图4及图5所示，相邻的各液室18中，上液室18a之间彼此连通，下液室18b之间彼此连通。而且，通过上方侧配管20a向上液室18a供给液体或从上液室18a排出液体，通过下方侧配管20b向下液室18b供给液体或从下液室18b排出液体。藉此，可使任一活塞16都输出均等的力。活塞盖17是上端具有凸缘部的筒状的活塞盖，其中心的贯通孔内以可滑动的形态贯穿有所述活塞16的小直径部19b。在凹部4a的上端开口部附近的内周面上形成有圆周槽。在圆周槽内设置有未图示的密封件(packing)，以防止液体从上液室18a流出。

(1-2下模具框架板5)

如图4所示，在下模具框架板5上形成有连通上下表面的、俯视为矩形形状的开口部21，该开口部21处以可升降的形态配置有连接单元22。连接单元22中，用上下2块连接板23a、23b夹持辅助绝热板23c，并用螺栓紧固，从而形成夹层构造。来自垂直驱动机构的动力通过连结杆25传递至连接单元22，使连接单元22升降。连结杆25贯穿料缸单元4、支撑板14和滑动板3，其上端面通过螺钉固定于连接板23b的下表面。

所述垂直驱动机构由从第二伺服电动机26到连结杆25的一连串的构成部件构成。即，连结杆25与连接单元22的下表面连结，沿两侧部设置多根，连结杆25的下端部与连接板24连结。连接板24的下表面与接头27a一体化。接头27a形成为钩状，从侧方与接头27b卡合，连结成不能在上下方向上脱离的状态。在接头27b上连结有多根滑动轴28。滑动轴28通过第二伺服电动机26的驱动，通过带轮26a及同步带26b使与滚珠丝杠26c侧的带轮26a连结的螺母26d旋转，从而使滚珠丝杠26c升降。另外，所述接头27a、27b不限定于钩状，也可以是其它结构。接头27a、27b的结构只要是如下结构即可：在使滑动板3在水平方向上移动时，下模具模腔单元7在与上模具模腔单元46相对的相对位置上与上模具模腔单元46连结，在非相对位置上该连结解除。

此外，下模具框架板5内置有下模具加热器29及下模具测温电阻30。下模具加热器29在通电时通过下模具基座6对下模具模腔单元7加热。对下模具加热器29的通电控制基于由下模具测温电阻30检测出的温度来进行，将下模具模腔单元7的温度调节至规定温度。

(1-3下模具基座6)

如图4及图5所示，下模具基座6由4个底座单元31A、31B构成，这些底座单元31A、31B通过螺钉固定于下模具框架板5的上表面，呈矩形的框状。在各底座单元31A、31B的两端部分别形成有台阶部31a、31b，利用短边侧底座单元31B的两端部(台阶部31b)来夹住长边侧底座单元31A的两端部(台阶部31a)，从而提高整体的刚性。

(1-4下模具模腔单元7)

下模具模腔单元7大致为长方体形状，在其下表面与下模具背板32一体化的状态下，以可升降的形态配置于下模具基座6的矩形框内。在长边侧底座单元31A的一方的内侧面上配设有调整板36A，在短边侧底座单元31B的一方的内侧面上配设有调整板36B。调整板36A、36B用于提供适合于使下模具模腔单元7在下模具基座6的矩形框内顺畅地升降的间隙。因此，在将底座单元31A及31B安装于下模具框架板5的上表面之后，测定相对的内侧面的间隔，然后将可获得适合于使下模具模腔单元7顺畅地升降的间隙的厚度的调整板36A、36B固定于各底座单元31A、31B即可。而且，如果调整板36A、36B因使用而磨损，则只要换上新的调整板即可，如果下模具模腔单元7磨损，则只要通过研磨等恢复平整度，然后换上厚度大于调整板36A、36B的厚度的调整板即可。此外，不仅可在2个侧面上设置调整板36A、36B，也可在其余2个侧面上也设置调整板36A、36B，从而设置成将下模具模腔单元7的4个侧面包围的形态。

此外，在下模具背板32的下表面上隔着下模具支撑销33配设有连结板34，下模具背板32与连结板34通过下模具连结销35连结。如图9所示，连结板34由一对连结单元34a构成，它们通过螺钉固定于连接单元22的上表面。在该螺钉固定状态下，在连结单元34a的相对部分形成有台阶状的槽部34b，所述下模具连结销35的凸缘部35a从侧方插入，防止其在上下方向上脱出。

另外，通过在下模具模腔单元7的上表面的3处分别突出设置定位销(未图示)，使其与在基板70上形成的定位孔(未图示)卡合，可将基板70定位。在下模具模腔单元7的上表面的3处分别设置有下模具定位单元37。下模具定位单元37用于与后述的上模具组2之间的定位。另外，利用定位销进行定位的基板70通过未图示的吸引孔吸附保持于下模具模腔单元7的上表面。

(2上模具组2)

如图3及图6所示，上模具组2的大致为如下结构：将上模具夹板38及上模具框架板39固定于支撑框架2B的下表面，以可取下的形态在该处装配上模具模套40，所述支撑框架2B固定于从所述底板9竖起的支撑框架2A。

(2-1上模具框架板39)

上模具框架板39隔着上模具绝热板34固定于上模具夹板38。上模具框架板39内置有上模具加热器42及上模具测温电阻43。在此，上模具加热器42配置成3列，在各上模具加热器42之间的从侧面观察位于内侧的2处(共4处)配置有上模具测温电阻43。

此外，如图6所示，在上模具框架板39的下表面固定有上模具模套限位单元44及上模具模套导向单元45。上模具模套限位单元44沿上模具框架板39的下表面的1边配置。上模具模套导向单元45从所述上模具模套限位单元44的两端部起分别以直角沿上模具框架板39的下表面的2边配置。

(2-2上模具模套40)

如图6所示，上模具模套40是将上模具模腔单元46与树脂供给单元47一体化而形成的结构。

(2-2-1上模具模腔单元46)

上模具模腔单元46大致为长方体形状，从其下表面边缘部起连续地形成有浇口48和俯视为矩形形状的凹处49。浇口48可采用侧浇口、薄膜浇口等各种形态(这里使用薄膜浇口)。在将模具闭合时，凹处49与下模具模腔单元7构成模腔。此外，在上模具模腔单元46上，与设置于所述下模具模腔单元7的下模具定位单元37对应地分别设置有未图示的上模具定位单元。

如图6所示，在上模具模腔单元46的上表面配置有上模具支撑销51、顶出板52和与之一体化的销托板53。由顶出板52和销托板53来保持未图示的顶出销。顶出销贯穿上模具模腔单元46。此外，通过未图示的回位销将模具闭合时，顶出板52及销托板53向上移动，使顶出销的前端面与凹处49的表面处于同一平面内。此外，由未图示的弹簧对销托板53向下方侧加力。藉此，在模具打开时，销托板53因弹簧施加的力而向下移动，可利用顶出销将凹处49内的树脂制品推出。

(2-2-2树脂供给单元47)

如图1及图6所示，树脂供给单元47包括套筒保持件54、套筒单元55、套筒56、柱塞杆57和柱塞冲头58。

套筒保持件54以其侧面与所述上模具模腔单元46的侧面抵接的状态固定。在套筒保持件54的侧面的与上模具模腔单元46的各凹处49对应的位置上分别形成有槽状的凹部。并且由该凹部与上模具模腔单元46的侧面构成罐部59。并且，在构成凹部的壁面的中心形成有连通孔，嵌合有后述的套筒56。另外，套筒保持件54使用的是粉末高速工具钢(硬度：HRC63左右)。

在罐部59中，柱塞顶板60升降，如后所述，柱塞顶板60在下降时将已在罐部59内熔融的树脂挤压至模腔。柱塞顶板60为宽度尺寸狭窄的长方体形状，在其下端面的附近部分沿整个周长形成有槽部。该槽部用于回收成形时产生的树脂残渣。

此外，柱塞顶板60的上端部与柱塞杆61连结。由伺服电动机62通过带轮62a及同步带62b使滚珠丝杠63旋转，动力通过等压装置64传递至柱塞杆61。然后，柱塞顶板60将罐部59内的熔融树脂挤出、填充至模腔内。此时，熔融树脂的填充压力为通过等压装置64预先设定好的定值。另外，柱塞顶板60使用的是高速工具钢(硬度：HRC59左右)。

套筒单元55安装于套筒保持件54的侧面。在套筒单元55上形成有与所述套筒保持件54的连通孔连续的连通孔，在该连通孔内嵌合有套筒56。此外，在套筒单元55的上表面分别形成有与各连通孔连通的树脂投入口65。在此，通过树脂投入口65投入圆柱形的树脂片。但是，通过改变套筒56的内周面形状，既可投入长方体形状的树脂片，也可投入颗粒状的树脂片。

套筒56为圆筒状，嵌合于所述套筒保持件54及所述套筒单元55的连通孔。在套筒56上形成有开口部，在套筒56嵌合于所述连通孔的状态下，所述开口部与树脂投入口65连通。另外，套筒56使用的是粉末高速工具钢(硬度：HRC68左右)。

柱塞杆57可通过气缸67的作用在水平方向上往复移动，该气缸67安装在设置于上模具组2侧方的托架66上。

如图6所示，柱塞冲头58为圆柱形，固定于柱塞杆57的前端，可沿所述套筒56的内周面往复移动。在柱塞冲头58的前端部附近的外周面上形成有环状槽(未图示)，该环状槽的功能(回收树脂残渣)与所述柱塞顶板60的槽部相同。在此，柱塞冲头58使用的是超硬(硬度：HRC74左右)。

另外，如果用伺服电动机代替所述气缸67来使柱塞冲头58往复移动，则可调整柱塞冲头58的移动速度，因此可根据树脂的种类(例如熔融温度、热固化速度的不同)以适当的速度向罐部59内供给树脂并使树脂熔融。此外，利用伺服电动机，在使柱塞冲头58的前端面与柱塞顶板60的前端侧面抵接时，如果设置扭矩限制，则可防止对柱塞顶板60的动作造成妨碍的压力产生作用。

(组装方法)

另外，所述上模具组2可如下所述进行组装。

即，在所述上模具夹板38上隔着上模具绝热板41固定上模具框架板39，然后固定上模具模套限位单元44及上模具模套导向单元45。接着，从侧方将上模具模套40插入到在上模具模套导向单元45之间形成的空间内。利用在上模具模套导向单元45上形成的导向部(未图示)来引导上模具模套40的导向槽(未图示)，并同时使上模具模套40顺畅地水平移动。如果能使上模具模套40水平移动并定位于规定位置，则通过螺钉等将上模具模套40固定。

另外，之所以为所述套筒56、套筒保持件54、柱塞冲头58及柱塞顶板60选定具有高硬度的材料，是为了提高耐磨损性，只要是高硬度的材料即可，不必限定于上述材料。

此外，也可用热导电率低的材料构成套筒保持件54，或是将套筒保持件54制成具有绝热材料的夹层构造。利用该结构，可抑制对套筒56内的树脂材料造成的热影响。具体而言，可在模腔与罐部59之间形成约20℃的温差。即，可阻止熔融树脂在填充至模腔内之前热固化，有效地防止浇口处的树脂堵塞和未填充等成形缺陷的发生。而且，如果在模腔单元46和套筒保持件54上直接设置加热器，则可更精细地进行温度控制。

(动作)

下面，对上述结构的树脂封固装置的动作进行说明。

如图3所示，通过驱动第一伺服电动机11，通过滚珠丝杠12使下模具组1沿滑动导向件10在水平方向上移动。藉此将下模具组1从位于上模具组2下方的相对位置定位到位于上模具组2侧方的非相对位置。此时，驱动第二伺服电动机26，预先使下模具模腔单元7下降。

接着，将安装有半导体元件的基板70安放于下模具模腔单元7的上表面。此时，通过将基板70的定位孔与下模具模腔单元7的定位销(未图示)卡合，即可准确地定位基板70。

将基板70安放在下模具组1上后，驱动第一伺服电动机11反转，使下模具组1向原来的相对位置移动。此时，预先对上模具加热器42和下模具加热器29通电，从而预先将上模具模腔单元46和下模具模腔单元7加热至规定温度。

下模具模腔单元7移动至上模具模腔单元46的相对位置后，由于接头27a与接头27b连结，因此通过驱动第二伺服电动机26反转，使下模具模腔单元7接近上模具模腔单元46。此外，在料缸单元4中，通过下方侧配管20b以规定压力向下液室18b内供给液体，并通过上方侧配管20a将上液室18a内的液体排出，使活塞16上升，从而进行合模。各液室18a之间及各液室18b之间相互连通，活塞16可隔着下模具模腔单元7来夹持基板70的力在4处都均等。藉此，即使基板70(特别是树脂制基板)的厚度发生了偏差，也可自动地调整各下模具模腔单元7的压接位置，吸收厚度的偏差，实现合适的夹持状态。因此，可防止在后述的树脂封固时产生树脂毛刺。另外，同时对多个基板70进行树脂封固时，通过使用分割成多个部分的模腔单元7来同时夹持多个基板70，也可进行树脂封固。

接着，利用未图示的树脂材料供给单元等，通过在树脂供给单元47的套筒单元55上形成的树脂投入口65来供给树脂片(可以是市售的树脂片)。所供给的树脂片位于套筒56内。在此，如图7(b)所示，驱动气缸67，使柱塞杆57水平移动，通过设置于其前端的柱塞冲头58来挤压树脂片。受到挤压的树脂片在套筒56内移动，直至罐部59。

在套筒56内及之后的罐部59内，树脂片被加热器充分地加热，因此开始熔融。熔融树脂被柱塞冲头58挤压，充满罐部59。柱塞冲头58在其前端面的一部分与柱塞顶板60的前端侧面抵接的时刻停止移动。

接着，如图8所示，通过驱动等压装置64，通过柱塞杆61使柱塞顶板60下降。此时，所述柱塞冲头58的前端面相对于柱塞顶板60的侧面被准确地定位。因此，树脂不会残留在柱塞冲头58的前端面上，而是全部被推下。接着，通过浇口48将罐部59内的熔融树脂填充至模腔内。在柱塞顶板60的前端面下降至高于浇口深度的规定位置的时刻使柱塞顶板60停止。接着，使熔融树脂热固化，得到树脂成形品。

然后，将液体从活塞16的下液室18b排出，并向上液室18a内供给液体，从而解除利用活塞16产生的合模状态。此外，通过驱动第二伺服电动机26使下模具模腔单元7下降，从而打开模具。即使成形品保持在模腔单元46的凹处49内，也可利用由弹簧加力的顶出销(未图示)将其推出，因此可确实地将其向下模具模腔单元7的上表面排出。

在此，驱动第一伺服电动机11，使下模具组1从相对位置向非相对位置移动，利用未图示的卸载单元等来输送成形品。此时，最好根据需要驱动等压装置64，使柱塞顶板60向上移动，从而对形成于其前端部分的槽部(未图示)进行清扫，或是驱动气缸64，使柱塞冲头58后退，从而对形成于其前端部分的环状槽(未图示)进行清扫。此外，所述槽部和环状槽的清扫残渣只要用未图示的清扫装置来回收即可。

由此，利用所述树脂封固装置，在使下模具组1滑移至水平方向的非相对位置的状态下，可进行基板的安放、成形品的取出或模具的清扫，因此不仅容易进行作业，而且可实现装置的小型化(特别是抑制上下方向的尺寸)。此外，由于仅使作为下模具组1的一部分的下模具模腔单元升降，因此不仅可抑制驱动力，高速地进行升降，还可使驱动用的结构、即活塞和垂直驱动机构(第二伺服电动机26)小型化。而且，可以仅利用活塞来进行合模，不仅可使装置小型化，还可制成廉价的结构。

另外，在成形加工中需要进行模具表面的确认等的情况下，如图6及图7(a)所示，驱动第二伺服电动机26，通过连结杆25、连接单元22以及连结销35使下模具模腔单元7向下移动。藉此，可在上下模具组1、2之间形成足够的间隙，可通过肉眼观察来确认模具的状态。

此外，在进行模腔形状不同的成形时，只要取下上模具模套40，换上具有形成有用于形成对应模腔的凹部的上模具模腔单元46的上模具模套40即可。藉此，除上模具模套40以外的构成部件可以共用，仅通过更换上模具模套40即可廉价地应对各种成形品的加工。而且，只要将上模具模套40从侧方插入到在上模具模套导向单元45之间形成的空间内、利用导向部来引导上模具模套40的导向槽、使上模具模套40滑动，即可进行上模具模套40的更换，因此可迅速地进行应对。

(实施方式2)

图10A、图10B及图11表示的是实施方式2中的树脂封固装置。该树脂封固装置中，使下模具模腔单元7升降的机构与上述实施方式不同。

即，在设置于下模具模腔单元7的下方侧的连接板23b上安装有第一楔形单元71。第一楔形单元71是在长方体的下表面形成相对于水平面倾斜的第一倾斜面71a(图10B中，越向右侧越缓缓地向上方侧倾斜)。

此外，如图11所示，在料缸单元4的上表面的中央部形成有俯视为矩形形状的滑动凹部72，在其侧方形成有避让凹部73。滑动凹部72在其长边方向上以规定间隔形成有沿宽度方向(图11中的左右方向)延伸的2个突条导向件74。此外，在滑动凹部72的底面的6处分别贯穿有连结杆25。滑动凹部72和避让凹部73彼此的中央部及两侧部分别连通。

在所述滑动凹部72内配设有第二楔形单元77。第二楔形单元77是在长方体的上表面形成第二倾斜面77a。该第二倾斜面77a以与所述第一楔形单元71的第一倾斜面71a相同的方向和相同的角度倾斜。而且，通过使第二楔形单元77在水平方向上往复移动，第二倾斜面77a与第一倾斜面71a滑动接触。第二楔形单元77以将中央部2处的连结杆25夹住的形态分别配置于2处。各第二楔形单元77分别在2处通过螺钉固定于滑动单元78。在滑动单元78的前表面(图11中的左侧的侧面)分别形成有与各第二楔形单元77的端面抵接的抵接面。在抵接面的两侧边缘部分别突出设置有用于引导第二楔形单元77的导向边缘部78a。此外，在抵接面之间形成有圆弧状的避让槽78b，如后所述，可回避滑动单元78移动时受到所述中央部的一个连结杆25的干扰的问题。在第二楔形单元77和滑动单元78的下表面以一体化的状态分别形成有导向槽，这些导向槽可供形成在所述滑动凹部72内的各突条导向件74滑动。

在避让凹部73内固定有支撑单元80。在支撑单元80的中央部设置有具有螺母81的轴承部82，在形成于支撑单元80的两端部的贯通孔中设置有导向衬套83。

在滑动单元78的中央部通过从由所述避让槽78b形成的圆弧面旋入螺钉而连结有滚珠丝杠84。在滚珠丝杠84上旋有螺母81，螺母81固定于轴承部82。藉此，由螺母81来支撑滚珠丝杠84，使其能旋转。轴承部82的一端部与带轮85一体化。在该带轮85与设置在第三伺服电动机86的转轴上的带轮87之间张设有带88，将第三伺服电动机86的驱动力传递至螺母81。藉此，滚珠丝杠84可相对于螺母81沿轴方向进退，通过滑动单元78使第二楔形单元77在水平方向上往复移动。另外，如果所述滚珠丝杠84的端部由未图示的轴承支撑，使其能自由地旋转及滑动，则可使旋转及进退动作稳定。

此外，在滑动单元78的两侧部连结有导向轴89。各导向轴89以能滑动的形态由所述导向衬套83支撑。通过由导向衬套83将导向轴89以能滑动的形态支撑，可使第二楔形单元77及滑动单元78的往复移动稳定。

下面，以下模具模腔单元7的升降动作为中心，对所述实施方式2中的树脂封固装置的动作进行说明。但是，由于与下模具模腔单元7的升降动作没有直接关系的内容与上述实施方式相同，因此省略其说明。

首先，通过垂直驱动机构(在图10A、图10B及图11中未图示)的作用使下模具模腔单元7向上移动，使下模具模腔单元7接近上模具模腔单元46。此时，与下模具模腔单元7一体化的第一楔形单元71也上升。在此，驱动第三伺服电动机86，使第二楔形单元77水平移动，从而使第二楔形单元77的第二倾斜面77a维持与第一楔形单元71的第一倾斜面71a接触或接近的状态。

下模具模腔单元7接近上模具模腔单元46后，使通过垂直驱动机构的作用而产生的下模具模腔单元7的向上移动动作停止。另一方面，继续驱动第三伺服电动机86，使第二楔形单元77继续水平移动。藉此，第二楔形单元77的第二倾斜面77a挤压第一楔形单元71的第一倾斜面71a，将下模具模腔单元7继续向上方推动。藉此将基板夹持于上模具模腔单元46与下模具模腔单元7之间，然后进行合模。

合模后，进行树脂的填充，制成成形品后，驱动第三伺服电动机86反转，使第二楔形单元77后退。藉此解除第二倾斜面77a对第一倾斜面71a的挤压状态。此外，驱动垂直驱动机构反转，进行开模，取出成形品。

利用上述实施方式2，通过垂直驱动机构的作用而产生的下模具模腔单元7的上升动作在将基板夹住之前停止，因此垂直驱动机构不需要很大的力，可使用小型且廉价的垂直驱动机构。此外，可在第二楔形单元77的第二倾斜面77a与第一楔形单元71的第一倾斜面71a接触的状态下使下模具模腔单元7升降，不仅可使升降动作稳定，还可使停止状态稳定。而且，不需要像上述实施方式那样向活塞供给液体(油等)，也不需要为此去确保高密封性的流路，仅通过机械动力的传递即可简单且廉价地应对。

(实施方式3)

图12A及图12B表示的是实施方式3中的树脂封固装置。该树脂封固装置与实施方式2中的树脂封固装置的主要不同点在于，第二楔形单元77及其驱动机构不是设置于下模具模腔单元7的下方侧的一方，而是设置于两侧。另外，对与上述实施方式2中的树脂封固装置相同的部分标以相同的符号，省略其说明。

即，在连接板23b的下表面两侧部分别形成有第一倾斜面90。并且，在下模具模腔单元7的两侧分别配设有第二楔形单元77，该第二楔形单元77具有与各第一倾斜面90滑动接触的第二倾斜面77a。

实施方式3中的树脂封固装置中，通过垂直驱动机构(在图12A及图12B中未图示)的作用而产生的下模具模腔单元7的向上移动动作进行至将基板夹持在其与上模具模腔单元46之间的位置。接着，在将基板夹持在两个模腔单元46、7之间后，使两侧的第二楔形单元77向接近的方向水平移动(各第二楔形单元77的动作与上述实施方式2相同)。藉此，第二楔形单元77的第二倾斜面77a分别与形成于连接板23b的下表面两侧部的各第一倾斜面90滑动接触，下模具模腔单元7向上移动，进行合模。

如此，利用实施方式3，仅利用第二楔形单元77及其驱动机构来进行合模即可，可缩短到合模结束为止的时间。而且，在合模过程中，可使下模具模腔单元7在由第二楔形单元77支撑着其两侧的状态下向上移动，可使下模具模腔单元7的合模动作稳定。此外，在填充树脂时，第二楔形单元77的第二倾斜面77a分别与形成于下模具模腔单元7的下表面两侧的各第一倾斜面90抵接，因此与上述实施方式2相比，还可确实地防止下模具模腔单元7的位置偏移。

(实施方式4)

图13A及图13B表示的是实施方式4中的树脂封固装置。该树脂封固装置与实施方式3中的树脂封固装置的不同之处在于，用第二楔形单元77向上方推动的位置是连接板23b，还是与下模具模腔单元7的下表面一体化的下模具背板32。其它结构与上述实施方式3中的树脂封固装置相同，因此对相对应的部分标以相同的符号，省略其说明。

即，在下模具背板32的下表面两侧部分别形成有第一倾斜面32a。此外，在第二楔形单元77的前端部分分别形成有多个凹部77b，这些凹部77b用于回避下模具支撑销33的干扰。

另外，在上述实施方式2～4中，为了使第二楔形单元77在水平方向上往复移动，使用了第三伺服电动机86，但也可使用气缸等其它驱动装置。

此外，在上述实施方式3、4中，两侧的各第二楔形单元77分别用不同的第三伺服电动机86来驱动，但也可以通过未图示的转轴使两个带轮85、85连动，用1个伺服电动机(未图示)来驱动各第二楔形单元77。藉此，可使各第二楔形单元77的动作连动，因此可使下模具模腔单元7以更稳定的状态升降。

此外，在上述实施方式3、4中，也可以预先使第二楔形单元77退出下模具模腔单元7的升降范围(升降区域)。而且，在下模具模腔单元7向上模具模腔单元46接近至规定位置的时刻，也可使第二楔形单元77向所述升降区域前进，使第二倾斜面77a与第一倾斜面32a接触。

Claims

1.一种树脂封固装置，该树脂封固装置包括第一模具以及可与该第一模具接触、分离的第二模具，通过使树脂材料熔融，将熔融树脂填充至由所述两模具形成的模腔内，由此对配设于所述两模具内的装设有电子器件的基板进行树脂封固成形，其特征在于，

所述第二模具以可在水平方向上往复移动的形态配置于底板上，包括：

可与所述第一模具接触、分离的模腔单元；以及

使所述模腔单元与所述第一模具接触、分离，从而进行合模的合模机构，

在所述底板上设置有水平驱动机构，该水平驱动机构使所述第二模具分别朝与所述第一模具相对的相对位置以及从该相对位置移动至侧方的非相对位置移动。

2.如权利要求1所述的树脂封固装置，其特征在于，所述合模机构具有至少1个活塞，该活塞支撑所述模腔单元，使所述模腔单元与所述第一模具接触、分离，从而进行合模。

3.如权利要求1所述的树脂封固装置，其特征在于，

所述合模机构包括：

第一楔形单元，该第一楔形单元设置于所述模腔单元，下表面形成有倾斜面；

第二楔形单元，该第二楔形单元设置成可在水平方向上往复移动，上表面形成有倾斜面，该倾斜面与所述第一楔形单元的倾斜面滑动接触，通过所述第一楔形单元使所述模腔单元升降；以及

驱动装置，该驱动装置使所述第二楔形单元在水平方向上往复移动。

4.如权利要求1～3中任一项所述的树脂封固装置，其特征在于，

所述底板具有垂直驱动机构，该垂直移动机构将所述模腔单元与所述合模机构分开驱动，使所述模腔单元以比所述合模机构高的速度与所述第一模具接触、分离；

所述垂直驱动机构和所述第二模具具有接头，该接头在所述相对位置呈连结状态，在所述非相对位置呈非连结状态。

5.如权利要求1所述的树脂封固装置，其特征在于，

所述模腔单元是具有4个侧面的长方体形状，

所述第二模具具有基座，该基座具有导向面，该导向面对所述模腔单元的4个侧面分别进行引导，使所述模腔单元的4个侧面可以滑动。

6.如权利要求5所述的树脂封固装置，其特征在于，所述基座具有由其它构件构成的调整间隔物，该调整间隔物构成所述导向面。

7.如权利要求2所述的树脂封固装置，其特征在于，所述模腔单元由被至少1个活塞支撑的多个单元构成。

8.如权利要求1所述的树脂封固装置，其特征在于，所述基板为一块。

9.如权利要求1所述的树脂封固装置，其特征在于，

所述模具中的任一方具有使树脂材料熔融的罐部，

所述罐部的开口部以与配设于所述两模具内的基板相对的形态形成。