CN101510490B - 排气集管和真空排气处理装置 - Google Patents

排气集管和真空排气处理装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101510490B
CN101510490B CN2009101307020A CN200910130702A CN101510490B CN 101510490 B CN101510490 B CN 101510490B CN 2009101307020 A CN2009101307020 A CN 2009101307020A CN 200910130702 A CN200910130702 A CN 200910130702A CN 101510490 B CN101510490 B CN 101510490B
Authority
CN
China
Prior art keywords
tail pipe
cooling water
mentioned
big envelope
exhaust
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2009101307020A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101510490A (zh
Inventor
惠上寿雄
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chugai Ro Co Ltd
Original Assignee
Chugai Ro Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chugai Ro Co Ltd filed Critical Chugai Ro Co Ltd
Publication of CN101510490A publication Critical patent/CN101510490A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101510490B publication Critical patent/CN101510490B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20—Constructional details
    • H01J11/54—Means for exhausting the gas
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20—Constructional details
    • H01J11/46—Connecting or feeding means, e.g. leading-in conductors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J11/20—Constructional details
    • H01J11/48—Sealing, e.g. seals specially adapted for leading-in conductors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

一种排气集管(1)，其具有：可接受尾管(4)的尾管插入室(5)，在上述尾管插入室(5)的内侧全周连续露出并利用内部压力的上升封堵上述尾管插入室(5)和上述尾管(4)之间的间隙的膨胀封闭环(7)，与上述膨胀密封环(7)连通并包围上述尾管插入室(5)的封套(8)，用于排出上述尾管插入室(5)内部的气体的真空排气流路(11)，在上述封套(8)中供给冷却水的冷却水供给流路(12)，以及从上述封套(8)排出上述冷却水的冷却水排出流路(13)。本发明可提供需要连接的柔性管的数量少的排气集管。

Description

排气集管和真空排气处理装置
技术领域
本发明涉及排气集管和真空排气处理装置。
背景技术
在等离子体显示面板的制造过程中等，要使用在安装于产品的尾管上安装排气集管来进行抽真空的真空排气装置。
例如，在专利文献1中，记载了如图5所示的用于对等离子体显示面板41抽真空的真空排气装置用的以往的排气集管42。以往的排气集管42包括：划定接受尾管43的尾管插入室44的杯形部件45，设置在尾管插入室44的口部、内部被供给加压空气而膨胀、将杯形部件45和尾管43之间的间隙密封的膨胀密封环46，以及紧贴地设置在杯形部件45和膨胀密封环46的外周的、为了使杯形部件45和膨胀密封环46冷却而通入冷却水的封套47。
此外，以往的排气集管42包括：作为将尾管插入室44内的空气排出的流路的真空排气管48、作为向膨胀密封环46供给压缩空气的流路的压缩空气连接管49，作为向封套47供给冷却水的流路的冷却水供给管50，以及作为从封套47流出冷却水的流路的冷却水排出管51。排气集管42需要在安装于尾管43上时以及尾管43熔断时移动。因此，真空排气管48、压缩空气连接管49、冷却水供给管50和冷却水排出管51分别通过柔性管(未图示)连接在与其他排气集管共用的总管配管上。
由于是在加热炉内进行处理，因此要求与排气集管42连接的4个柔性管具有耐热性，从而可挠性不够。因此，这些柔性管限制了排气集管42的可动范围，使得排气集管42的动作调整很困难。
专利文献1：特许第3670997号公报
发明内容
针对上述问题，本发明的目的是，提供一种需要连接的柔性管的数量少的排气集管和柔性管的连接数少的真空排气装置。
为了解决上述问题，本发明的排气集管包括：能够接受尾管的尾管插入室，在上述尾管插入室内侧的全周上露出、利用内部压力的上升而将上述尾管插入室和上述尾管之间的间隙封堵的膨胀封闭环，与上述膨胀密封环连通、包围上述尾管插入室的封套，用于排出上述尾管插入室内部的气体的真空排气流路，向上述封套供给冷却水的冷却水供给流路，以及从上述封套排出上述冷却水的冷却水排出流路。
根据这样的结构，由于可以利用冷却水的水压使膨胀密封环膨胀，且将尾管插入室和尾管之间的间隙封闭，因此不必供给用于使膨胀密封环膨胀的压缩空气等，使连接到排气集管的柔性管减少。
此外，在本发明的排气集管中，可以是上述膨胀密封环的外周和上述封套的内壁抵接。
根据这样的结构，膨胀密封环容易和封套连接，此外，由于封套限制了膨胀密封环向外侧扩大直径，因此可以利用膨胀密封环内压的上升有效地缩小内径。
此外，在本发明的排气集管中，上述封套的内壁也可以构成上述尾管插入室的内壁。
根据这样的结构，能够减少排气集管的部件数量，简化装置。
此外，本发明的真空排气装置包括上述任一排气集管。
如果采用这样的结构，不必供给使膨胀密封环膨胀的压缩空气等，且连接到排气集管的柔性管减少，因此柔性管对排气集管动作的限制减少，使排气集管能够精密地移动。
此外，本发明的真空排气装置也可以进一步包括调节上述封套内压力的压力调节装置。
根据这样的结构，由于能够利用压力调节装置调节膨胀密封环的膨胀力，因此可以利用膨胀密封环恰当地密封尾管。
发明效果
由于利用冷却水的水压使膨胀密封环膨胀，从而封闭尾管插入室和尾管之间的间隙，因此其优点是不必供给用于使膨胀密封环膨胀的压缩空气等，使连接到排气集管上的柔性管变少。因此排气集管能够精密地移动。
附图说明
图1是本发明第1实施例的排气集管的剖视图。
图2是具有图1的排气集管的真空排气装置的概略图。
图3是本发明第2实施例的排气集管的剖视图。
图4是本发明第3实施例的排气集管的剖视图。
图5是以往的排气集管的剖视图。
符号说明
1、1a、1b-排气集管
2-玻璃面板
4-尾管
5-尾管插入室
7-膨胀密封环
7a-加压孔
8-封套
8a-连通孔
8b-内筒(内壁)
11-真空排气管(真空排气流路)
12-冷却水供给管(冷却水供给流路)
13-冷却水排出管(冷却水排出流路)
19-柔性管
21、22-柔性管
30-调节阀(压力调节装置)
33-膨胀密封环
具体实施方式
现在参照附图说明本发明的实施例。图1示出了本发明第1实施例的排气集管1。排气集管1用于通过尾管4对等离子体显示面板用的玻璃面板2的内部抽真空，尾管4用玻璃浆(熔接密封)3与玻璃面板2的开口端2a连接。
排气集管1包括：形成接受尾管4的尾管插入室5的杯形部件6，布置在杯形部件6的上端并在尾管插入室5内侧露出的膨胀密封环7，嵌装在杯形部件6和膨胀密封环7的外周的封套8，以及从上下方向夹持杯形部件6、膨胀密封环7和封套8的上端板9和下端板10。
膨胀密封环7由成型为中空环状的耐热性橡胶构成，并在外周形成有使内部空间开口的加压孔7a。封套8由封闭了两端的双重管构成，并形成有与膨胀密封环7的加压孔7a连通的连通孔8a。加压孔7a和连通孔8a气密地连接。
此外，排气集管1包括：贯穿下端板10且连接到杯形部件6上、与尾管插入室5连通的真空排气管11，以及贯穿下端板10、与封套8连接成与其内部空间连通的状态的冷却水供给管12和冷却水排出管13。
下端板10具有插入导向筒15的导向轴16，该导向筒15固定在固定台架14上，排气集管1安装成可相对于固定台架14上下动作。此外，上端板9和固定台架14之间配设有压缩弹簧17，能给排气集管1施加向上的力。
真空排气管11提供将尾管插入室5内部的空气抽真空、并通过尾管4使玻璃面板2的内部成为真空的真空排气流路，冷却水供给管12和冷却水排出管13提供为了使冷却水通到封套8中而供给冷却水的冷却水供给流路和排出冷却水的冷却水排出流路。供给到封套8的冷却水的压力通过连通孔8a和加压孔7a从内部对膨胀密封环7加压而使其膨胀。
此外，图2示出了具有多个排气集管1的真空排气装置18的结构。各排气集管1的真空排气管11分别通过耐受真空的耐热性的柔性管19与真空支集管20连接，冷却水供给管12和冷却水排出管13分别通过耐热性的柔性管21、22与冷却水供给支集管23和冷却水返回支集管24连接。
真空支集管20通过截止阀25与真空主集管26连接，该真空主集管26向并设的多个真空排气装置18提供真空源。冷却水供给支集管23通过截止阀27与冷却水供给主集管28连接，冷却水返回支集管24通过截止阀29和调节阀(压力调节装置)30或通过使截止阀29和调节阀30被旁路的旁通阀31与冷却水返回支集管32连接。调节阀30用于限制冷却水的流量，在冷却水返回支集管24中形成背压，调节封套8的内部压力。
真空排气装置18中，首先以装载了玻璃浆3的状态将尾管4插入尾管插入室5，由于截止阀27、29、31是打开的，因此可以使冷却水在各排气集管1的封套8内循环。通过关闭旁通阀31，利用调节阀30使封套8的内部压力升压到设定的值，例如0.4MPa。由此，膨胀密封环7的内部压力也同样地上升，膨胀密封环7向内侧膨胀(内径收缩)，与尾管4的外周压接。由此将尾管插入室5和尾管4之间的间隙封闭，从而使尾管插入室5闭塞，并将尾管4保持在排气集管1上。此时，膨胀密封环7由于外周与封套8的内壁抵接而不能向外侧扩大直径，内部压力的上升可以有效地使内径缩小。
接着，利用未图示的自动机械等确定玻璃面板2的位置，从而将其装载成开口部2a位于尾管4和玻璃浆3的上端的状态。此时，由于压缩弹簧17被压缩，因此可以确保尾管4和玻璃浆3与玻璃面板2之间的压接力。在加热炉中，通过加热玻璃面板2使玻璃浆3溶化，保证玻璃面板2和尾管4之间的气密性。接着，打开截止阀25，通过尾管4和尾管插入室5进而通过真空支集管20来吸取玻璃面板2内的空气，将玻璃面板2的内部抽成高真空。当将玻璃面板2充分地抽成真空时，一边用气体燃烧器等将在排气集管1上露出的尾管4的中部加热，一边拉下排气集管1，将尾管4熔断而将其封闭。此外，在熔断尾管4以将其封闭之前，利用在抽真空中使用的路径导入氙等气体，并将其封入在玻璃面板2内。
由于在排气集管1的封套8中有冷却水循环，因此即使在加热炉内也不会形成高温，不会因热膨胀导致的变形等使尾管4折断。此外，由于冷却水可以施加使膨胀密封环7膨胀的压力，因此没有必要提供用于密封尾管4的压缩空气等等。由此，排气集管1可以只与用于冷却水供给和排出的柔性管21、22以及用于抽真空的柔性管19这3个柔性管连接。因此，排气集管1的可动范围扩大，且由于只承受来自3根柔性管19、21、22的弹力造成的外力，因此排气集管1的位置确定动作以及尾管4熔断时去除尾管4的下端的动作更加容易而且能够精密地进行。
此外，图3示出了本发明实施例第2实施例的排气集管1a。此外，在以下的说明中，与前面说明过的元件结构相同的部件赋予相同的符号，省略了重复说明。排气集管1a形成为，用上端板9和下端板10将封套8的形成连通孔8a的内筒8b与布置在内筒8b外侧的外筒8c之间的两端封闭。此外，尾管插入室5的内壁由内筒8b也就是由封套8的内壁构成。
本实施例的排气集管1a与第1实施例相比，具有部件数量少，结构简单，制造成本低的优点。
此外，图4示出了本发明第3实施例的排气集管1b。排气集管1b中，在内筒8b和上端板9之间形成一定宽度的间隙，并利用膨胀密封环33封堵该间隙，该膨胀密封环33由带状的或者成型为可嵌合在该间隙中的形状的耐热橡胶构成。随着封套8内部压力的上升，本实施例的膨胀密封环33也会膨胀并突出到尾管插入室5的内部，气密地保持尾管4，并将尾管插入室5封闭。因此，只要是膨胀密封环33在尾管插入室5内侧的全周上露出，并利用封套8的内部压力向内侧膨胀，其形状不受限制。
此外，本实施例的封套8在内筒8b和外筒8c之间具有其上部没有到达上端板9的稍微短些的分隔筒8d，在外筒8c和分隔筒8d之间连接冷却水供给管12，在内筒8b和分隔筒8d之间连接冷却水排出管13。由此，当将排气集管1b与冷却水供给支集管23和冷却水返回支集管24连接时，从冷却水供给管12供给的冷却水在到达分隔筒8d的上端之前，不会流入冷却水排出管13。这样做可省去排出空气的程序。

Claims (5)

1.一种排气集管，其特征在于，包括：
能够接受尾管的尾管插入室，
在上述尾管插入室内侧的全周上露出、利用内部压力的上升而将上述尾管插入室和上述尾管之间的间隙封堵的膨胀密封环，
与上述膨胀密封环连通、包围上述尾管插入室的封套，
用于排出上述尾管插入室内部的气体的真空排气流路，
向上述封套供给冷却水的冷却水供给流路，以及
从上述封套排出上述冷却水的冷却水排出流路。
2.如权利要求1所述的排气集管，其特征在于，上述膨胀密封环的外周和上述封套的内壁抵接。
3.如权利要求1所述的排气集管，其特征在于，上述封套的内壁构成上述尾管插入室的内壁。
4.一种真空排气处理装置，其特征在于，具有如权利要求1至3中的任何一项记载的排气集管。
5.如权利要求4所述的真空排气处理装置，其特征在于，还包括调节上述封套内压力的压力调节装置。
CN2009101307020A 2008-02-15 2009-02-15 排气集管和真空排气处理装置 Expired - Fee Related CN101510490B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008-034498 2008-02-15
JP2008034498 2008-02-15
JP2008034498A JP2009193850A (ja) 2008-02-15 2008-02-15 排気ヘッドおよび真空排気装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101510490A CN101510490A (zh) 2009-08-19
CN101510490B true CN101510490B (zh) 2012-07-18

Family

ID=41002839

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2009101307020A Expired - Fee Related CN101510490B (zh) 2008-02-15 2009-02-15 排气集管和真空排气处理装置

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2009193850A (zh)
KR (1) KR20090088794A (zh)
CN (1) CN101510490B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7175122B2 (ja) * 2018-08-02 2022-11-18 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、および基板処理方法
CN113446188B (zh) * 2021-06-30 2024-08-30 李文 一种消防车用消防水泵

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0743668A1 (en) * 1995-04-20 1996-11-20 Gianluca Bardi Television tube exhaust cart not employing a water cooling circuit
CN200944391Y (zh) * 2006-09-07 2007-09-05 镇江金盛机械有限公司 排气机水冷工位头

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3966606B2 (ja) * 1998-03-30 2007-08-29 大亜真空株式会社 真空管の排気装置
JP2000090833A (ja) * 1998-09-11 2000-03-31 Fujitsu Ltd 放電パネルの製造方法
JP3670997B2 (ja) * 2001-10-31 2005-07-13 中外炉工業株式会社 チップ管の封着方法およびそれに使用する排気ヘッド
JP3950328B2 (ja) * 2001-12-10 2007-08-01 中外炉工業株式会社 チップ管封止・切断装置
JP2003232449A (ja) * 2002-02-06 2003-08-22 Nippon Valqua Ind Ltd 膨張式弾性シール装置および膨張式弾性シール装置を使用したプラズマディスプレイパネル製造用パネル排気ヘッド装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0743668A1 (en) * 1995-04-20 1996-11-20 Gianluca Bardi Television tube exhaust cart not employing a water cooling circuit
CN200944391Y (zh) * 2006-09-07 2007-09-05 镇江金盛机械有限公司 排气机水冷工位头

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090088794A (ko) 2009-08-20
CN101510490A (zh) 2009-08-19
JP2009193850A (ja) 2009-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101510490B (zh) 排气集管和真空排气处理装置
CN201190860Y (zh) 一种空调连接管的快速连接器
CN108468816A (zh) 高气密性真空阀
CN109942179A (zh) 压差式热弯成型系统及热弯成型方法
CN105222626B (zh) 重力热管常温排真空加工设备
CN101276715B (zh) 一种无排气管电弧管的制作工艺
CN205991879U (zh) 一种发动机试验台排气装置
CN210135305U (zh) 一种脉冲阀
CN203656330U (zh) 空气系统转换用电磁阀
CN102211401A (zh) 一种管材扩径器
CN108644611A (zh) 一种用于高纯硅烷供气的脉冲反吹装置
CN203703245U (zh) 排气阀
CN215559019U (zh) 一种制氮机的通气组件
CN202733042U (zh) 一种用于高温易结焦介质的球阀
CN102840363A (zh) 一种用于高温易结焦介质的四通球阀
CN218972410U (zh) 一种储气机构
CN210786326U (zh) 一种固相萃取装置的正压补偿装置
CN215256663U (zh) 一种真空数码管生产加工用抽真空装置
CN213520677U (zh) 一种激光管用抽真空装置
CN220744722U (zh) 一种设备移栽部分真空保持装置
CN209100233U (zh) 夹套式隔膜泵
CN220250797U (zh) 一种热交换器的集管器
CN214120906U (zh) 再生气加热器双管板隔离腔结构
CN220634251U (zh) 一种多管式spg膜壳
CN217964698U (zh) 一种压铸模具外接抽真空装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20120718

Termination date: 20160215