CN101427382B - 受光装置的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供受光装置1的制造方法，其包括以下步骤：在透明基板13上设置包含光固化树脂的树脂层14，其中多个透明基板部分13A结合成一整体；对至少树脂层14进行选择性光照，然后进行显影，使所述树脂层14保留在透明基板13包围面向透明基板部分13A的受光部分11的区域；将所述透明基板13分割成透明基板部分13A单元，由此获得多个透明基板部分13A；将基底12分割成基底部分12A单元，由此获得多个基底部分12A；通过树脂层14将基底部分12A和透明基板部分13A接合。
Description
技术领域
本发明涉及受光装置的制造方法。
背景技术
众所周知，图10所示的固体图像传感器100为常规的受光装置，其具有半导体基板(基底部分)101和透光盖(lid)部分(透明基板部分(102))。制造该固体图像传感器100时，如图11(A)所示，制备例如具有多个有效像素区域(effective pixel regions)105的基板103。基板103成为半导体基板101。接着，在该基板103上形成粘结层104框，以包围该有效像素区域。其后，通过粘结层104将基板103和成为透光盖部分102的透光板材106粘贴在一起。此外，如图11(C)所示，将基板103和透光板材106切割。因而，获得具有半导体基板101和透光盖部分102的固体图像传感器100(见例如专利文件1)。 另外，作为固体图像传感器的制造方法，还可以是预先将透光板材106切割使得能够在基板103上设置多个透光盖部分102的方法。根据此方法，在基板103上放置多个透光盖部分102后切割基板103(见例如专利文件1)。 [专利文件1] 日本特开平2006-73546号公报
发明内容
根据在将基板103与透光板材106接合后将其切割的方法，当它们彼此接合，透光板材106相对于基板103位移或斜向于基板103时，半导体基板101和透光盖部分102位移或斜向于具有多个受光装置的半导 体基板101处。 因此，受光装置的生产率可能会下降。 此外，根据预先切割透光板材106使得在基板103上设置多个透光盖部分102的方法，多个透光盖部分102设置在基板103上后，基板103被切割，因此会出现一种可能性，该透光盖部分102在切割过程中可能会损坏，这样难以制造可靠性高的受光装置。因此，受光装置的生产率可能会下降。
本发明的目的在于提供受光装置的制造方法，其中生产率得到提高。
根据本发明，提供了受光装置的制造方法，包括受光部分的受光装置、设有受光部分的基底部分(base substrate portion)，和透明基板部分，该透明基板部分被放置使其面向基底部分和受光部分，其中在透明基板部分和基底部分之间设置包含光固化树脂的树脂层，以包围所述受光部分，其中受光装置的制造方法包括：在透明基板上设置包含光固化树脂的树脂层，其中多个透明基板部分结合成一整体；或在基底上设置包含光固化树脂的树脂层，所述基底上设有多个受光部分，且多个基底部分结合成一整体；由此使树脂层覆盖所述基底或透明基板；对树脂层选择性光照，然后进行显影，使所述树脂层保留在包围至少所述基底上各个受光部分的区域，或保留在所述透明基板包围面向对应于透明基板部分的受光部分的区域；将所述基底分割成基底部分单元，由此获得多个基底部分；将所述透明基板分割成透明基板部分单元，由此获得多个透明基板部分；通过树脂层将基底部分和透明基板部分接合。
根据本发明，将基底和透明基板分别分割，其后将基底部分和透明基板部分接合。因此，固定(positioned)了各受光装置的基底部分和透明基板部分，有别于现有技术，这样能够避免多个受光装置中透明基板部分和基底部分同时位移等。因而，提高生产率。 另外，所述部分在基底和透明基板被各自分割后接合，因此，当分割基底时，能够避免透明基板部分受到损害。从而进一步提高生产率。
此外，本发明提供受光装置的制造方法，所述受光装置包括支撑基板(support substrate)和透明基板部分；所述支撑基板装配了具有受光部分的受光元件，和设有所述受光部分的基底部分；所述透明基板部分被放置使其面向其上设有受光元件的支撑基板表面，其中在支撑基板和透明基板部分之间设置包含光固化树脂的树脂层，以包围所述受光元件，且所述受光装置的制造方法包括：在透明基板上设置包含光固化树脂的树脂层，其中所述多个透明基板部分结合成一整体，由此使树脂层覆盖所述透明基板；对树脂层进行选择性光照，然后进行显影，使对应于所述透明基板面向透明基板部分中的受光元件的区域的部分被保留的树脂层包围；将所述透明基板分割成透明基板部分单元，由此获得多个透明基板部分；且在所述支撑基板上装配受光元件后，通过树脂层将支撑基板和透明基板部分接合。
在本发明的该结构中，装配了具有基底部分的受光元件的支撑基板和通过分割透明基板获得的透明基板部分被接合。因此，能够精确地固定各受光装置的基底部分和透明基板部分，有别于现有技术，这样能够避免多个受光装置中透明基板部分和基底部分同时位移等。因而，提高生产率。
另外，透明基板部分和装配了受光元件的支撑基板是在分割透明基板后接合的，而不是在接合后进行分割的，因此，能够避免损害透明基板部分。因而，能够提高生产率。
此时，优选树脂层具有粘结性。
而且，优选树脂层由包括光固化树脂和填料的树脂组合物形成，且所述树脂层根据JIS Z0208 B法测定的透湿率为30[g/m2·24h]或更高。
当树脂层由包括光固化树脂和填料的树脂组合物形成，且所述树脂层根据JIS Z0208 B法测定的透湿率为30[g/m2·24h]或更高，能够确保受光装置由树脂层包围的内部空间与树脂层外面的外部空间之间的透气性。因而，能够避免透明基板部分和基底部分出现凝露(condensation)。
优选填料包括沸石。
因而，能够提高树脂层的透湿率。
而且，优选树脂层进一步包括能够通过光和热进行固化的固化树脂，且优选能够通过光和热进行固化的固化树脂包括(甲基)丙烯酸改性的酚醛树脂或含(甲基)丙烯酰基的(甲基)丙烯酸酯聚合物。
另外，上述在显影工序后保留树脂层的步骤可包括于稍后阶段在树脂层表面上设置粘结层，通过树脂层和粘结层将支撑基板和透明基板部分接合，或通过树脂层和粘结层将基底部分和透明基板部分接合，且树脂层可包括环状烯烃树脂作为光固化树脂。
特别是，优选环状烯烃树脂为降冰片烯树脂。
当树脂层包括环状烯烃树脂，能够避免湿气进入树脂层包围的内部空间。因而，能够避免透明基板部分和基底部分出现凝露。
附图说明
以下将通过优选的实施方式和附图进一步说明上述目的、其它目的、特征和优点。
图1示出本发明的第一实施方式的制造工艺中的受光装置；
图2的平面图示出透明基板上设置树脂层的状态；
图3示出制造工艺中的受光装置；
图4的横截面图示出第一实施方式的受光装置；
图5示出本发明的第二实施方式的制造工艺中的受光装置；
图6的平面图示出基底上设置树脂层的状态；
图7示出本发明的第三实施方式的制造工艺中的受光装置；
图8示出本发明的第三实施方式的制造工艺中的受光装置；
图9的横截面图示出第三实施方式的受光装置；
图10的横截面图示出常规的固体图像传感器；和
图11示出固体图像传感器的常规的制造工艺。
具体实施方式
以下将参照附图说明本发明的实施方式。
(第一实施方式)
参照图1-4说明本发明的实施方式。
首先，参照图1-4说明本发明的实施方式的受光装置的制造方法的概要。
本发明的受光装置1的制造方法是制造装有受光部分11、基底部分12A(装有受光部分11)，和透明基板部分13A(被放置使面向基底部分12A)的受光装置1的方法，其中将含有光固化树脂的树脂层14设置在透明基板部分13A和基底部分12A之间以包围受光部分11。
所述受光装置1的制造方法包括：
在透明基板13上设置含有光固化树脂的树脂层14，其中多个透明基板部分13A结合成一整体，由此使树脂层覆盖透明基板13；对树脂层14选择性光照，然后进行显影，使所述树脂层14保留在透明基板13包围至少面向透明基板部分13A的受光部分11的区域；将透明基板13分割成透明基板部分单元13A，由此获得多个透明基板部分13A；将基底12分割成基底部分单元12A，由此获得多个基底部分12A；通过所述树脂层14将基底部分12A和透明基板部分13A接合。
以下将详细说明受光装置1的构造和受光装置的制造方法。
受光装置1可用作图像传感器，具体地，可用作固体图像传感器。
如图4的横截面图所示，受光装置1具有基底部分12A(在此形成微透镜阵列)、透明基板部分13A、由微透镜阵列形成的受光部分11、树脂层14(用于包围受光部分11)和支撑基板15(其上装有基底部分12A)。
这里，图4是垂直于基底部分12A、透明基板部分13A和支撑基板15的基板表面方向的横截面图。
基底部分12A例如是半导体基板，在其上形成微透镜阵列。微透镜 阵列的平面尺寸小于基底部分12A的平面尺寸，且基底部分12A的外周部分突出至微透镜阵列的外方。
放置透明基板部分13A使其面向基底部分12A和基底部分12A上的受光部分11，透明基板部分13A的平面尺寸略小于基底部分12A的平面尺寸。此透明基板部分13A覆盖受光部分11使其得到保护。透明基板部分13A例如是玻璃基板。
树脂层14直接粘附于基底部分12A和透明基板部分13A，由此将基底部分12A和透明基板部分13A接合。放置树脂层14使其包围基底部分12A上的受光部分11并成框状。树脂层14的外周部分的位置与透明基板部分13A的外周部分的位置大致相同。
在受光部分11的下表面，即基底部分12A上形成光电转换部分(未示出)，从而将受光部分11接收到的光转换成电信号。
支撑基板15是表面上形成有互连线(未示出)的基板，支撑基板15和基底部分12A通过焊线W连接。具体地，突出至微透镜阵列外面的基底部分12A的外周部分和支撑基板15通过焊线W连接。因此，焊线W放置在树脂层14外面。
接下来，将参照图1详细说明受光装置1的制造工艺。
首先，如图1(A)所示，制备透明基板13。透明基板13是一个大规模的玻璃板材，其中多个透明基板部分13A结合成一整体。
接着，在该透明基板13上设置粘结树脂层14，使其大致覆盖透明基板13的整个表面。
根据本发明的实施方式，该粘结树脂层14为光固化粘结膜。根据本发明的实施方式，将粘结膜粘合至透明基板13。
这里将说明该粘结膜的构造。
粘结膜是由包括固化树脂和填料的树脂组合物形成，且优选该粘结膜根据JIS Z0208 B法测定的透湿率为30[g/m2·24h]或更高。
优选粘结膜的透湿率为40[g/m2·24h]或更高，更优选50[g/m2·24h]至 200[g/m2·24h]。当透湿率低于下限值时，有时不能完全避免受光装置1的透明基板部分13A等中出现凝露。当透湿率超出上限值时，粘结膜的成膜性有时会变差。可以依照透湿杯法(water vapor permeability cupmethod)(JIS Z0208B法)在40℃/90％使用厚100μm的粘结膜评价透湿率。
作为光固化树脂，实例可以是主组分为丙烯酸类化合物的紫外线固化树脂、主组分为聚氨酯丙烯酸酯低聚物或聚酯聚氨酯丙烯酸酯低聚物的紫外线固化树脂，和主组分选自由环氧基类树脂和乙烯基酚类树脂组成的组中的至少一种的紫外线固化树脂。
其中，优选主组分为丙烯酸类化合物的紫外线固化树脂。光照时，丙烯酸类化合物的固化速度快，因此，能够以较小的曝光量将树脂图案化。
作为丙烯酸类化合物，可以是丙烯酸酯单体和甲基丙烯酸酯单体，具体地，可以是双官能丙烯酸酯，如乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯、甘油二丙烯酸酯、甘油二甲基丙烯酸酯、1，10-癸二醇二丙烯酸酯、1，10-癸二醇二甲基丙烯酸酯；多官能丙烯酸酯，如三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯和二季戊四醇六甲基丙烯酸酯。其中，优选丙烯酸酯，特别优选酯部分的碳数目为1-15的丙烯酸酯和甲基丙烯酸烷基酯。
尽管对于光固化树脂(紫外线固化树脂)的含量没有特别限制，优选含量为形成粘结膜的总树脂组合物的5wt％-60wt％，且更优选8wt％-30wt％。当含量低于下限值时通过照射紫外线有时不能将粘结膜图案化，当含量超过上限值时，树脂变得太软且照射紫外线前板材特性(sheet.properties)有时会变差。
而且，优选粘结膜包含光聚合引发剂。
因而，通过光聚合反应有效地将粘结膜图案化。
作为光聚合引发剂，实例可以是苯甲酮、苯乙酮、安息香、安息香异丁醚、安息香苯甲酸甲酯、安息香苯甲酸酯(benzoin benzoate)、安息香甲醚、苄基苯基硫醚、苄基、二苄基和二乙酰基。
尽管对于光聚合引发剂的含量没有特别限制，含量优选为总树脂组合物的0.5wt％-5wt％，更优选0.8wt％-2.5wt％。当含量低于下限值时，光聚合引发效果有时会变差，当含量超过上限值时，反应性会变高且保存性和清晰度(resolution)有时会降低。
而且，优选粘结膜进一步包括热固性树脂。
作为热固性树脂，实例可以是线性酚醛型酚醛树脂(novolac typephenolic resins)如苯酚线性酚醛树脂、甲酚线性酚醛树脂和双酚A线性酚醛树脂；酚醛树脂如甲阶酚醛树脂(resol phenolic resin)；双酚型环氧树脂如双酚A环氧树脂和双酚F环氧树脂；线性酚醛型环氧树脂如线性酚醛环氧树脂和甲酚醛环氧树脂；环氧树脂如联苯型环氧树脂、芪型环氧树脂；三苯酚甲烷型环氧树脂；烷基改性三苯酚甲烷型环氧树脂；含三嗪核的环氧树脂(triazine nucleus-containing epoxy resins)和二环戊二烯改性的苯酚型环氧树脂；具有三嗪环的树脂如尿素树脂和三聚氰胺树脂；不饱和聚酯树脂；双马来酰亚胺树脂；聚氨酯树脂；邻苯二甲酸二烯丙酯树脂；有机硅树脂(silicone resin)；具有苯并噁嗪环的树脂，以及氰酸酯树脂，它们可以单独使用或组合使用。其中，特别优选环氧树脂。因而，能够进一步提高耐热性和粘结性。
另外，优选同时使用室温下为固体的环氧树脂(特别是双酚型环氧树脂)和室温下为液体的环氧树脂(特别是室温下为液体的有机硅改性的环氧树脂)。因而，能够提供可挠性和清晰度优异同时耐热性得到维持的粘结膜。
尽管对于热固性树脂的含量没有特别限制，含量优选为形成粘结膜的总树脂组合物的10wt％-40wt％，更优选15wt％-35wt％。当含量低于下 限值时，提高耐热性的效果有时会变差，而当含量超过上限值时，提高粘结膜的韧性有时会变差。
此外，优选粘结膜包括能够通过光和热被固化的固化树脂。因而，能够提高光固化树脂和热固性树脂之间的兼容性，以及提高固化(光固化和热固化)后树脂膜的强度。
作为能够通过光和热被固化的固化树脂，实例可以是具有光反应性基团(如丙烯酰基、甲基丙烯酰基或乙烯基)的热固性树脂；以及具有热反应性基团(如环氧基、酚羟基、醇羟基、羧基、酸酐、氨基和氰酸酯基团)的光固化树脂。具体地，可以是(甲基)丙烯酸改性的酚醛树脂、侧链中具有羧基和丙烯基的丙烯基共聚物树脂，以及含(甲基)丙烯酰基的(甲基)丙烯酸酯聚合物。其中，优选(甲基)丙烯酸改性的酚醛树脂。因而，能够使用对环境负荷小的碱溶液代替有机溶剂作为显影剂，同时能够维持耐热性。
在具有光反应性基团的热固性树脂的情况中，尽管对于光反应性基团的改性率(取代率)没有特别限制，改性率优选为能够通过光和热被固化的固化树脂中总反应性基团(光反应性基团和热反应性基团的合计)的20％-80％，更优选30％-70％。当改性率在上述范围内，清晰度特别优异。
在具有热反应性基团的光固化树脂的情况中，尽管对于热反应性基团的改性率(取代率)没有特别限制，改性率优选为能够通过光和热被固化的固化树脂中总反应性基团(光反应性基团和热反应性基团的合计)的20％-80％，更优选30％-70％。当改性率在上述范围内，清晰度特别优异。
尽管对于通过光和热被固化的固化树脂的含量没有特别限制，含量优选为形成粘结膜的总树脂组合物的15wt％-50wt％，更优选20wt％-40wt％。当含量低于下限值时，提高兼容性的效果有时会变差，而当含量超过上限值时，显影性和清晰度有时会变差。
优选粘结膜包括填料。填料是一个重要组分，其能够控制粘结膜的透湿率。
作为填料，实例可以是纤维状填料如氧化铝纤维和玻璃纤维；针状填料如钛酸钾、硅灰石、硼酸铝、针状氢氧化镁和晶须；板状填料如滑石、云母、绢云母、玻璃鳞片、鳞片状石墨和板状碳酸钙；球状(颗粒状)填料如碳酸钙、硅石、熔融硅石、烧结粘土和未烧结粘土；多孔填料如沸石和硅胶。这些填料可以单独使用或多种组合使用。其中，优选多孔填料。因而，能够提高粘结膜的透湿率。
尽管对于填料的平均粒径没有特别限制，粒径优选为0.01μm-90μm，更优选0.1μm-40μm。当平均粒径超过上限值，膜外表有时会变成得不正常，或者清晰度不好，而当平均粒径低于下限值，加热粘合时的粘结性有时会不好。
平均粒径例如可以使用激光衍射型粒径分布测量装置SALD-7000(Shimadzu公司出品)进行测量。
尽管对于填料的含量没有特别限制，含量优选为形成粘结膜的总树脂组合物的5wt％-70wt％，更优选20wt％-50wt％。当含量超过上限值时，加热粘合时的粘结性有时会变差，而当含量低于下限值时，透湿率有时会变低，使不能改善凝露。
优选使用多孔填料作为填料。当使用多孔填料作为填料时，多孔填料的平均孔径优选为0.1nm-5nm，更优选0.3nm-1nm。当平均孔径超过上限值时，部分树脂组分可能会渗入孔中，阻碍反应；而当平均孔径低于下限值时，吸水性能会下降，因此，粘结膜的透湿率有时会下降。
作为多孔填料的具体实例，可以是由结晶沸石构成的分子筛。结晶沸石由下述通式表示。
M2/nO·Al2O3·xSiO2·yH2O
M：金属阳离子 n：化合价
作为结晶沸石的结晶类型，可以是3A、4A、5A和13X，且优选使用3A型和4A型，这是由于其能够有效避免凝露。
尽管对于室温下填料的吸附力[Q1]没有特别限制，吸附力优选为7[g/100g填料]或更高，更优选15[g/100g填料]或更高。当室温下的吸附力低于下限值时，填料的吸水性能会降低且粘结膜的透湿率有时会降低。
室温下的吸附力[Q1]能够通过测量铝杯中通过加热被完全干燥，然后放置在25℃/50％的环境中168小时的填料重量的增加而获得。
而且，尽管对于60℃下填料的吸附力[Q2]没有特别限制，吸附力优选为3[g/100g填料]或更高，更优选10[g/100g填料]或更高。当60℃下仍能维持吸附力的值时，能够获得改善受光装置1的凝露效果。
60℃下的吸附力[Q2]能够通过测量铝杯中通过加热被完全干燥，然后放置在60℃/90％的环境中168小时的填料重量的增加而获得。
尽管对于室温下的吸附力[Q1]和60℃下的吸附力[Q2]没有特别限制，优选其满足以下条件。
0.4x[Q1]<[Q2]
当[Q1]和[Q2]满足上述关系式时，能够获得特别改善受光装置1内部的凝露效果。
因为填料即使在高温下能维持吸附力，因此，填充有该填料的膜即使在较高温度下能维持高透湿率，使利于气体水分渗入粘结膜。因此，瞬间降低了从高温降低到室温时受光装置1内部的水分，这样，不出现凝露现象。
除了上述的固化树脂和填料外，只要能够实现本发明的目的，形成粘结膜的树脂组合物还可包含添加剂如塑料树脂、均化剂、消泡剂或偶联剂。
另外，粘结膜的粘结性优选为进行下述切割时，粘结膜不会从透明基板13剥落的程度。
接下来，使用光掩膜对粘结膜选择性光照。因而，粘结膜用光照射的部分被光固化。曝光后，粘结膜在显影剂(例如碱溶液或有机溶剂等)中进行显影。没有光照的部分在显影剂中溶解，并被除去，同时，光照的部分在显影中不溶解，而被保留。根据本发明的实施方式，粘结膜保留在透明基板13上R部分以外的区域(见图1(B))，所述R部分对应于面向透明基板部分13A的受光部分11的区域；具体地，如图2的平面图所示，粘结膜以格子状保留，以包围对应于面向受光装置部分11的透明基板部分13A的区域的R部分。
然后，切割透明基板13，获得多个透明基板部分13A。根据本发明的实施方式，提供粘结膜以包围对应于面向受光装置部分11的区域的R部分，因此，当切割透明基板13时，还切割粘结膜(见图1(B)的切割线)。
因而，如图1(C)所示，获得具有框状树脂层14的透明基板部分13A。
然后，提供和制备具有由微透镜阵列形成的受光部分11的基底部分12A。
具体地，如图3所示，制备多个基底部分12A结合成一整体的基底12。
接下来，于指定间距下在基底12上形成多个微透镜阵列。
然后，将基底12切割成微透镜阵列单元(受光部分单元)(见图3的切割线B)。因而，获得具有受光部分11的基底部分12A。
接着，放置这些基底部分12A和透明基板部分13A，使它们相互对向，并固定如此。此时，在基底部分12A和透明基板部分13A之间设置树脂层14。
然后，向基底部分12A和透明基板部分13A施加压力，或者通过加热使它们互相挤压。因而，通过树脂层14将基底部分12A和透明基板部 分13A粘合。
另外，通过树脂层14被粘合的各基底部分12A和透明基板部分13A安装在支撑基板15上，且支撑基板15上的互连线和基底部分12A通过焊线W电连接。
通过上述工序，获得受光装置1。
接下来，将说明本实施方式的作用效果。
根据本实施方式，将基底12和透明基板13各自分割，然后将基底部分12A和透明基板部分13A接合。因此，在受光装置1的制造工艺中，基底部分12A和透明基板部分13A能够被准确固定，这样，有别于现有技术，能够避免多个受光装置的透明基板部分和基底部分同时位移。因而，能够提高生产率。
另外，将基底12和透明基板13，然后将它们的部分接合，因此，能够避免切割基底12时透明基板部分13A受到损害。因而，能够提高生产率。
此外，根据本实施方式，树脂层14(粘结膜)由包括光固化树脂和填料的树脂组合物形成，所述树脂层根据JIS Z0208 B法测定的透湿率为30[g/m2·24h]或更高。这样，能够确保受光装置1由树脂层14包围的内部空间与树脂层14外面的外部空间之间的透气性。因而，能够避免透明基板部分13A和基底部分12A出现凝露。
此外，光照时丙烯酸类化合物的固化速度高。因此，当粘结膜包括丙烯酸类化合物时，粘结膜能够在较少量的光中进行曝光。
而且，当粘结膜包括热固性树脂，粘结膜曝光和图案化后，能够通过热固化将基底部分12A和透明基板部分13A粘合，而没有出现失败。
此外，当热固性树脂为环氧树脂，能够提高受光装置1中树脂层14的耐热性，同时，能够树脂层14与基底部分12A之间和树脂层14与透明基板部分13A之间的粘结性。
而且，当粘结膜包括能够通过光和热被固化的固化树脂，能够提高光固化树脂与热固性树脂之间的兼容性，因而，能够提高固化(光固化和热固化)后粘结膜的强度。
(第二实施方式)
下面将参照图5说明本实施方式的受光装置1的制造方法。
本实施方式的受光装置1的制造方法包括：
在基底12上粘贴包含光固化树脂的树脂层14，基底12上设有多个受光部分11，且多个基底部分12A结合成一整体，使覆盖基底12；对树脂层14选择性光照，然后进行显影，使树脂层14保留在包围至少基底12上各个受光部分11的区域；将基底12分割成基底部分12单元，由此获得多个基底部分12A；将透明基板13分割成涵盖多个受光部分11的区域的单元，由此获得多个透明基板部分13A；通过树脂层14(用于包围受光部分11)将基底部分12A和透明基板部分13A接合。
本实施方式有别于上述实施方式，其中上述实施方式中粘结膜(树脂层14)粘贴到透明基板13，而在本实施方式(见图5(A)和5(B))中粘结膜粘贴到基底12。其它地方则与上述实施方式相同。
粘贴粘结膜以整体覆盖基底12上的多个受光部分11。
另外，对粘结膜选择性光照，通过显影工序除去没有光照的部分，使粘结膜保留在基底12上各个受光部分11以外的区域(见图5(C))中。这里，如图6所示，在多个部分中保留框状的粘结膜以包围各个受光部分11。之后，将基底12切割成个别的受光部分11单元。切割基底12时粘结膜没有被切割(见图5(C)的切割线C)。
这里，粘结膜的粘结性优选为进行切割(下述)时，粘结膜不会从基底12剥落的程度。
之后，将透明基板13分割成涵盖多个受光部分11的区域的单元。
然后，通过框状的树脂层14将透明基板部分13A和基底部分12A粘合。这样，能够获得与上述实施方式相同的受光装置1。
根据本实施方式，能够获得与上述实施方式相同的效果，此外，还能够获得以下效果。
根据本实施方式的结构，切割基底12时没有切割粘结膜。因此，能够避免切割基底12时粘结膜剥落。
(第三实施方式)
以下将通过图7-图9说明本实施方式的受光装置2的制造方法。
本实施方式的受光装置2的制造方法是制造受光装置2的方法，所述受光装置2具有
支撑基板15，其上装配了具有受光部分11的受光元件20，和设有受光部分11的基底部分12A；透明基板部分13A被放置使其面向其上设有受光元件20的支撑基板15表面，其中
在支撑基板15和透明基板部分13A之间设置包含光固化树脂的树脂层22，以包围受光元件20。
受光装置2的制造方法包括：
在透明基板13上设置包含光固化树脂的树脂层22，其中多个透明基板部分13A结合成一整体，使覆盖透明基板13；
对树脂层22选择性光照，然后进行显影，以保留树脂层22以包围透明基板13相应于面向透明基板部分13A中的受光元件20的区域；
将透明基板13分割成透明基板部分13A单元；且
在支撑基板15上装配受光元件20后，通过树脂层22将支撑基板15和透明基板部分13A接合。
以下将详细说明受光装置2的构造及其制造方法。
如图9的横截面图所示，受光装置2具有受光元件20，其具有形成受光部分11的微透镜阵列和装配了微透镜阵列的基底部分12A。
在受光元件20上安装与上述实施方式相同的支撑基板15。
另外，受光装置2具有透明基板部分13A。放置透明基板部分13A，使其面向支撑基板15，并覆盖支撑基板15上的受光元件20。
透明基板部分13A和支撑基板15通过框架部分21连接。
安放此框架部分21以包围支撑基板15上的受光元件20。框架部分21具有框状的光固化树脂层和框状的粘结层23。树脂层22与透明基底部分13A直接接触，此外，粘结层23与树脂层22和支撑基板15直接接触。
树脂层22和粘结层23的总高度大于受光元件20的高度，由此在受光元件20与透明基板部分13A之间形成空间。
这里，受光装置2中支撑基板15和基底部分12A通过焊线W电连接。设置框架部分21以包围焊线W外周。
接着，将参照图7和8详细说明受光装置2的制造方法。
首先，如图7A所示，制备透明基板13。透明基板13是一个大规模的玻璃板材，其中多个透明基板部分13A结合成一整体。
接着，在该透明基板13上设置粘结树脂层22，使其大致覆盖透明基板13的整个表面。
该树脂层22是包含光固化树脂的层，在这里，其为浆(paste)状(清漆状)的。树脂层22涂覆透明基板13的表面。作为涂覆方法，实例可以是使用旋涂器的旋涂、使用喷涂器的喷涂、浸渍、印刷和辊涂。
这里，将说明树脂层22。
树脂22含有环状烯烃树脂。
作为环状烯烃单体，实例可以是一般的单环物质如环己烯和环辛烯；多环物质如降冰片烯、降冰片二烯、二环戊二烯、二氢二环戊二烯、四环十二烷、三环戊二烯、二氢三环戊二烯、四环戊二烯和二氢四环戊二烯。也可以使用取代的物质，其官能团与上述单体中的一个连接。
作为环状烯烃树脂，可以是环状烯烃单体的聚合物。这里，作为聚合方法，可以使用公知的方法如无规聚合和嵌段聚合。
能够根据公知的方法制造环状烯烃树脂，作为聚合方法，可以是加成聚合方法和开环聚合方法。其中，优选通过降冰片烯单体的加成(共)聚合获得的聚合物。当树脂层22中使用降冰片烯树脂，能够获得以下优 点：制造受光装置2时，制造稳定性优异，图案化变得高度精确。
作为环状烯烃树脂的加成聚合物，可以是(1)通过降冰片烯型单体的加成(共)聚合获得的降冰片烯型单体的加成(共)聚物，以及(2)降冰片烯型单体、非共轭二烯和另一单体(如有需要)的加成共聚物。能够根据公知的聚合方法获得这些树脂。
尽管其中优选(1)通过降冰片烯型单体的加成(共)聚合获得的降冰片烯型单体的加成(共)聚物，本发明不限于上述的任何一种。
优选环状烯烃树脂包括反应性官能团。反应性官能团的具体实例是环氧基如缩水甘油醚基团、氧杂环丁烷基团、羧基、羟基、不饱和键和氨基等。其中，特别优选环氧基。
具有环氧基的环状烯烃树脂一般能够通过直接聚合分子中包括环氧基的单体，且相同类型的聚合物能够根据以下方法获得：聚合后通过改性反应将环氧基引入侧链中。作为改性反应，可以是公知的方法如含环氧基的不饱和单体与上述聚合物的接枝反应、具有环氧基的化合物与上述聚合物的反应性官能团位点的反应、以及使用环氧化剂如过氧化物或氢过氧化物将上述分子中具有碳碳双键的聚合物直接转换成环氧基的方法。
环状烯烃树脂的加成聚合物能够通过使用金属催化剂的配位聚合或自由基聚合获得。其中，在配位聚合中，在存在过渡金属催化剂的溶液中进行单体聚合获得聚合物(NiCOLE R.GROVE et al.Journal of PolymerScience：Part B，Polymer Physics，Vol.37，3003-3010(1999))。
在PCT WO 9733198和PCT WO 00/20472中提及镍和铂催化剂，其为配位聚合中常用的金属催化剂。作为配位聚合中的金属催化剂，实例可以是公知的金属催化剂如(甲苯)双(全氟苯基)镍、(亚甲基)双(全氟苯基)镍、(苯)双(全氟苯基)镍、双(四氢)双(全氟苯基)镍、双(乙酸乙酯)双(全氟苯基)镍和双(二噁烷)双(全氟苯基)镍。
Encyclopedia of Polymer Science，John Wiley & Sons，13，708(1998)中说明自由基聚合技术。
在一般的自由基聚合中，当温度从50℃升高至150℃时，单体在存在自由基引发剂的溶液中反应。作为自由基引发剂，可以是偶氮二异丁腈、苯甲酰过氧化物、月桂基过氧化物、偶氮二异己腈(azobisisocaptonitrile)、偶氮二异戊腈(azobisisoleronitrile)和t-丁基过氧化氢。
能够通过改变引发剂与单体的比例或改变聚合时间控制环状烯烃树脂的分子量。当使用上述配位聚合的树脂时，能够使用US专利号6,136,499中说明的链转移催化剂控制分子量。根据本发明，α-烯烃如乙烯、丙烯、1-己烷、1-癸烯和4-甲基-1-戊烯适于控制分子量。
环状烯烃树脂的重均分子量为10,000-500,000，优选80,000-200,000，更优选100,000-125,000。可以通过凝胶渗透色谱法(GPC)使用标准的聚降冰片烯(依照ASTMDS3536-91)测量重均分子量。
另外，当使用环状烯烃单体制造具有环氧基的环状烯烃树脂时，优选由通式(1)表示的降冰片烯型单体。
烷基的具体实例可以是甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、戊基、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十二烷基、环戊基、环己基和环辛基，烯基的具体实例可以是乙烯基、烯丙基和丁炔基，炔基的具体实例可以是乙炔基、1-丙炔基、2-丙炔基、1-丁炔基和2-丁炔基，芳基的具体实例可以是苯基、萘基和蒽基，芳烷基的具体实例可以是苄基和乙氧苯基，但本发明并不限制于此。
对于含酯的官能团、含酮的官能团和含醚的官能团的结构没有特别限制，只要它们是含有这些基团的官能团。含环氧基的官能团的优选具体实例可以是具有缩水甘油醚的官能团，但对于其结构没有特别限制， 只要它们是具有环氧基的官能团。
[在式(1)中，X是O、CH2或(CH2)2，n是0-5的整数。R1-R4是氢、烷基、烯基、炔基、烯丙基、芳基、芳烷基、含酯基的官能团、含酮基的官能团、含醚基的官能团或含环氧基的官能团。]
作为制造环状烯烃树脂使用的环状烯烃单体，5-甲基-2-降冰片烯、5-乙基-2-降冰片烯、5-丁基-2-降冰片烯、5-己基-2-降冰片烯和5-癸基-2-降冰片烯可以是具有烷基的单体的实例；5-烯丙基-2-降冰片烯、5-亚甲基-2-降冰片烯、5-(2-丙烯基)-2-降冰片烯和5-(1-甲基-4-戊烯基)-2-降冰片烯可以是具有烯基的单体的实例；5-乙炔基-2-降冰片烯可以是具有炔基的单体的实例；二甲基双((5-降冰片烯-2-基)甲氧基)硅烷可以是具有烷氧基甲硅烷基的单体的实例；1，1，3，3，5，5-六甲基-1，5-二甲基双(2-(5-降冰片烯-2-基)乙基)三硅氧烷可以是具有甲硅烷基的单体的实例；5-苯基-2-降冰片烯和5-五氟苯基-2-降冰片烯可以是具有芳基的单体的实例；5-苄基-2-降冰片烯和5-乙氧苯基-2-降冰片烯可以是具有芳烷基的单体的实例；5-三甲氧基甲硅烷基-2-降冰片烯和5-(3-三甲氧基丙基)-2-降冰片烯可以是具有烷氧基甲硅烷基的单体的实例；5-降冰片烯-2-甲醇及其烷基醚、5-降冰片烯-2-甲基乙酸酯、5-降冰片烯-2-甲基癸酸酯、5-降冰片烯-2-叔丁基羧酸酯、5-降冰片烯-2-三甲基甲硅烷基羧酸酯、5-降冰片烯-2-2-羟基乙基羧酸酯、5-降冰片烯-2-甲基-2-甲基羧酸酯、5-降冰片烯-2-甲基- 肉桂酸酯、5-降冰片烯-2-甲基乙基碳酸酯、5-降冰片烯-2-甲基叔丁基碳酸酯和5-甲氧基-2-降冰片烯可以是具有羟基、醚基、羧基、酯基、丙烯酰基或甲基丙烯酰基的单体的实例；5-[(2，3-环氧基丙氧基)甲基]-2-降冰片烯可以是具有环氧基的单体的实例；8-甲氧基羰基四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8-叔丁氧基羰基四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8-环己氧基羰基四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8-苯氧基羰基四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8-四氢吡喃氧基羰基四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8-甲基-甲氧基羰基四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8-甲基-8-叔丁氧基羰基四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8-甲基-8-环己氧基羰基四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8-甲基-8-乙氧基四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8，9-二(甲氧基羰基)四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8，9-二(异丙氧基羰基)四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、8，9-二(叔丁氧基羰基)四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯、四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯-8-羧酸酯、8-甲基四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯和8-亚乙基四环[4.4.0.12,5.17,10]十二-3-烯可以是具有环氧基的单体的实例。
优选具有环氧基的环状烯烃是由通式(2)表示的降冰片烯型加成聚合物/共聚物。
[在式(2)中，X是O、CH2或(CH2)2，n是0-5的整数，m是10-10,000的整数。R1-R4是氢、烷基、烯基、炔基、烯丙基、芳基、芳烷基、含酯 基的官能团、含酮基的官能团、含醚基的官能团或含环氧基的官能团。尽管聚合的单体单元之间的R1-R4可以不同，但是聚合的单体单元之间的R1-R4中的至少一个或多个是具有环氧基的官能团。]
作为具有环氧基的环状烯烃树脂，考虑到固化后的膜性能，优选由式(3)和(4)表示的聚合物。当聚合物引入了由式(4)表示的具有芳烷基的降冰片烯单体，聚合物在负显影剂作为溶剂使用的极性溶剂(如环戊酮或己酮)中的溶解性会增加，这样，能够便于操作。
[在式(3)中，m和n是1或更大的整数。R1-R7是氢、烷基、烯基、炔基、烯丙基、芳基、芳烷基、含酯基的官能团、含酮基的官能团、含醚基的官能团或含环氧基的官能团。聚合的单体单元之间的R1-R7可以不同。]
[在式(4)中，m和n是1或更大的整数，p是0-5的整数。R1-R10是 氢、烷基、烯基、炔基、烯丙基、芳基、芳烷基、含酯基的官能团、含酮基的官能团、含醚基的官能团或含环氧基的官能团。聚合的单体单元之间的R1-R10可以不同。]
作为具有环氧基的环状烯烃树脂，考虑到固化后的膜特性，优选由式(5)表示的聚合物。能够通过引入具有癸基的单体获得弹性低的膜，通过引入具有苯乙基的单体，能够获得吸水性低、耐化学性优异且极性溶剂中溶解性高的膜。
[在式(5)中，m和n是1或更大的整数。]
共聚物中具有环氧基的单体的含量能够基于通过曝光是否发生交联和能够获得的耐受显影剂的交联密度来决定。聚合物中具有环氧基的单体的含量为5mol％～98mol％，优选20mol％～80mol％，且更优选30mol％～70mol％。获得的聚合物具有优异的物理特性，这样，吸水性低(<0.3wt％)，介电常数低(<2.6mol％)，介电损耗低(0.001)且玻璃转化点合适(170℃～400℃)。
作为将环状烯烃树脂交联的交联剂，可以使用光反应性物质。另外，除了光反应性物质，还可以使用通过加热等被活化的固化剂。
作为能够通过加热引发具有环氧剂的环状烯烃树脂的交联反应的固化剂，可以是脂肪族聚胺、环脂肪族聚胺、芳香族聚胺、双叠氮化物(bisazides)、酸酐、二羧酸、多酚和聚酰胺等。作为这些固化剂，实例可以是脂肪族聚胺如六亚甲基二胺、三亚乙基四胺、二亚乙基三胺和四亚乙基五胺；二氨基环己烷、3(4)，8(9)-双(氨甲基)三环[5，2，1，02,6]癸烷；环脂肪族聚胺如1，3-(二氨基甲基)环己烷、二氨基二苯基甲烷(mensendiamine)、异佛尔酮二胺、N-氨基乙基哌嗪、双(4-氨基-3-甲基环己基)甲烷和双(4-氨基环己基)甲烷；芳香族聚胺如4，4’-二氨基二苯基醚、4，4’-二氨基二苯基甲烷、α，α’-双(4-氨基苯基)-1，3-二异丙基苯、α，α’-双(4-氨基苯基)-1，4-二异丙基苯、4，4’-二氨基二苯基砜和间苯二胺(methaphenylenediamine)；双叠氮化物如4，4’-双叠氮苯亚甲基(4-甲基)环己酮(4，4’-bisazidebenzal(4-methyl)cyclohexanone)、4，4’-二叠氮查耳酮(4，4’-diazidecalcone)、2，6-双(4’-叠氮苯亚甲基)环己酮、2，6-双(4’-叠氮苯亚甲基)-4-甲基-环己酮、4，4’-二叠氮二苯基砜、4，4’-二叠氮二苯基甲烷和2，2’-二叠氮芪；酸酐如邻苯二甲酸酐、苯均四酸酐(pyromerit acidanhydride)、二苯甲酮、苯甲酮四羧酸酐、纳迪克酸酐(nasic acidanhydride)、1，2-环己烷二羧酸酐、马来酸酐改性的聚丙烯和马来酸酐改性的环状烯烃树脂；二羧酸如富马酸、邻苯二甲酸、马来酸、偏苯三甲酸(trimeritic acid)和异羟肟酸；多酚如苯酚线性酚醛树脂和甲酚醛树脂；以及聚酰胺如尼龙-6、尼龙-66、尼龙-610、尼龙-11、尼龙-612、尼龙-12、尼龙-46、甲氧基甲基化聚酰胺、聚六亚甲基二胺对苯二甲酰和聚六亚甲基间苯二甲酰(hexamethylene isophthalamide)。它们可以单独使用或两种或多种组合使用。
作为光反应性物质，可以使用光产酸剂。可以使用任何公知的化合物作为光产酸剂。光产酸剂使环氧基交联，并其后固化，使其与基板的粘结性增加。作为优选的光产酸剂，可以是鎓盐、卤化物化合物、硫酸盐及它们的混合物。鎓盐的实例是重氮盐、铵盐、錪盐、锍盐、鏻盐、砷鎓盐和氧鎓盐，对于反离子(counteranion)没有特别限制，只要化合物能够生成反离子和上述鎓盐。反离子的实例是硼酸、砷酸、磷酸、锑酸、 硫酸盐和羧酸及它们的氯化物，然而并非将反离子限制于此。作为鎓盐光产酸剂，可以是三苯基四氟硼酸锍、三苯基六氟砷酸锍、三苯基六氟磷酸锍、三苯基锍二苯基四(五氟苯基)硼酸錪、4-硫代苯氧基二苯基四氟硼酸锍、4-硫代苯氧基二苯基六氟锑酸锍、4-叔丁基苯基二苯基四氟硼酸锍、三(4-甲基苯基)四氟硼酸锍、三(4-甲基苯基)六氟磷酸锍、三(4-甲氧基苯基)四氟硼酸锍、三(4-甲基苯基)六氟锑酸锍、三(4-甲基苯基)六氟磷酸锍、三(叔丁基苯基)四(五氟苯基)硼酸锍、二苯基四氟硼酸錪、二苯基六氟锑酸錪、二苯基四(五氟苯基)硼酸錪、4，4’-二叔丁基苯基四(五氟苯基)硼酸錪、4-甲基苯基-4-(1-甲基乙基)苯基四(五氟苯基)硼酸錪、3，3-二硝基二苯基四氟硼酸錪、4，4-二硝基二苯基四氟硼酸錪和4，4-二硝基二苯基六氟锑酸錪。它们可以被单独使用或组合使用。
含卤化物的光产酸剂的实例是2，4，6-三(三氯甲基)三嗪、2-烯丙基-4，6-双(三氯甲基)三嗪、α，β，α-三溴甲基苯基砜、α，α-2，3，5，6-六氯二甲苯、2，2-双(3，5-二溴-4-羟基苯基)-1，1，1，3，3，3-六氟二甲苯、1，1，1-三(3，5-二溴-4-羟苯基)乙烷和它们的混合物。
磺酸盐类光产酸剂的实例是4，4’-二叔丁基苯基三氟甲磺酸錪(4，4’-di-t-butylphenyliodonium trifurate)、4，4’，4”-三(叔丁基苯基)三氟甲磺酸锍、2-硝基苄基甲苯磺酸盐(2-nitrobenzyl tocylate)、2，6-二硝基苄基甲苯磺酸盐、2，4-二硝基苄基甲苯磺酸盐、2-硝基苄基磺酸盐、2-硝基苄基醋酸盐、9，10-二甲氧基蒽-2-磺酸盐、1，2，3-三(甲烷磺酰氧基)苯、1，2，3-三(乙烷磺酰氧基)苯和1，2，3-三(丙烷磺酰氧基)苯等，但没有限制磺酸盐类光产酸剂于此。
优选的光产酸剂是4，4’-二叔丁基苯基三氟甲磺酸錪、4，4’，4”-三(叔丁基苯基)三氟甲磺酸锍、二苯基四(五氟苯基)硼酸錪、三苯基锍二苯基四(五氟苯基)硼酸錪、4，4’-二叔丁基苯基四(五氟苯基)硼酸錪、三(叔丁基苯基)四(五氟苯基)硼酸锍、4-甲基苯基-4-(1-甲基乙基)苯基四(五氟苯基)硼酸錪和它们的混合物。
根据本发明，光产生剂的混合比率为每100重量份聚合物0.1重量份-100重量份，优选0.1重量份-10重量份。
可以在环状烯烃树脂组合物中使用增感剂(sensitizing agent)，以提高感光性(如有需要)。增感剂能够扩大能够活化光产酸剂的波长的范围，以及扩大容许添加的增感剂的量的范围而不会直接影响聚合物的交联反应。最佳的增感剂是对于与来自所使用的光源的光接近的光具有最大吸光系数的化合物，使吸收的能量能够有效转移至光产酸剂。光产生剂用的增感剂的实例是环芳香族系(cycloaromatic series)如蒽、芘和聚对二甲苯等。实例有2-异丙基-9H-9-噻吨(2-isopropyl-9H-thioxanthen-9-en)、4-异丙基-9H-噻吨-9-酮、1-氯-4-丙氧基噻吨、吩噻嗪和它们的混合物。光产酸剂的混合比率为每100重量份聚合物0.1重量份-100重量份，优选0.2重量份-5重量份。当光源具有长波长，例如在g线(436nm)或i线(365nm)下，增感剂有效活化光产酸剂。
能够通过加入少量酸捕获剂提高清晰度。酸捕获剂吸收光化反应期间扩散至没有曝光的部分的酸。作为光捕获剂，可以是二级胺和三级胺如吡啶、卢剔啶(lutidine)、吩噻嗪、三-n-丙胺和三乙胺等，但酸捕获剂并非限制于此。酸捕获剂的混合比率为每100重量份聚合物0.1重量份-100重量份。
另外，可以向包括具有环氧基的环状烯烃树脂和光产酸剂(如有需要)的树脂组合物加入添加剂如均化剂、抗氧化剂、阻燃剂、增塑剂或硅烷偶联剂。
在本实施方式中，这些组分溶解在溶剂中并以清漆状使用。作为溶剂，可以是非反应性溶剂和反应性溶剂，且非反应性溶剂用作聚合物或添加剂的载体，并在涂覆和固化工序中被除去。反应性溶剂包括与添加至树脂组合物的固化剂兼容的反应性基团。非反应性溶剂为烃系或芳香族系。实例可以是烷烃(alcane)和环烷(cycloalcane)烃溶剂如戊烷、己烷、 庚烷、环己烷和十氢萘，但非反应性溶剂并不限制于此。芳香族溶剂是苯、甲苯、二甲苯或均三甲苯。乙醚、四氢呋喃、苯甲醚、醋酸酯、酯、内酯、酮和酰胺也是有效用的。作为反应性溶剂，可以是环醚化合物如环氧环己烷和α-环氧蒎烷，芳香族环醚化合物如[亚甲基双(4，1-亚苯基氧亚甲基)双环氧乙烷]，环脂肪族乙烯醚化合物如1，4-环己烷二甲醇二乙烯醚，芳香族系如双(4-乙烯基苯基)甲烷，它们可以被单独使用或组合使用。优选均三甲苯和十氢萘，它们有利于在基板如硅、氧化硅、氮化硅或者氮氧化硅上进行涂覆。
树脂组合物中用于形成树脂层22的树脂固体约为5wt％-60wt％。优选约30wt％-55wt％，，更优选约35wt％-45wt％。溶液粘度为10cP-25,000cP，优选100cP-3,000cP。
用于形成树脂层22的树脂组合物能够简单地通过将具有环氧基的环状降冰片烯树脂和光产酸剂以及，如有需要，溶剂、增感剂、抗氧化剂、阻燃剂、增塑剂和硅烷偶联剂混合而获得。
接下来，树脂层22在90℃-140℃下预烘焙使干燥。
然后，利用光掩膜对树脂层22选择性照射波长200nm-700nm的光。作为照射用光，优选例如紫外线。
因而，光照的树脂层22的部分被光固化。然后，将树脂层22烘焙。此工序增加了环氧基交联的反应比率。烘焙环境为50℃-200℃。优选80℃-200℃，更优选90℃-130℃。
接着，树脂层22在显影剂中显影。作为显影剂，可以使用烃类如烷烃或环烷，包括如戊烷、己烷、庚烷和环己烷，芳香族烃类溶剂如甲苯、均三甲苯、二甲苯和均三甲苯。另外，可以使用萜烯类如柠檬烯、二戊烯、蒎烯和mecrine，酮类如环戊酮、环己酮和2-庚酮，且添加了适量表面活性剂的有机溶剂也是适合使用的。
因而，没有光照的部分在显影剂中溶解和被除去，同时，光照的部分保留而没有溶解在显影剂中。在本实施方式中，树脂层22保留在透明 基板13上R部分以外的区域中(见图7(B))，所述R部分对应于面向透明基板部分13A上的受光元件20的区域。保留树脂层22以包围R部分。
接着，如图8(A)所示，粘结层23以格子状涂覆至树脂层22。优选粘结层23被硅石填料、室温下为液体的环氧树脂和固化剂形成，使组分中包括1wt％-10wt％硅石填料，另外，优选硅石填料为平均粒径为2nm-5000nm的超微细硅石粉末。
当环氧树脂于室温下并非液体状，需要溶剂与硅石填料进行混练(kneading)。溶剂可以生成气泡和降低固化材料的粘结强度和导热性，因此溶剂不是优选的。
环氧树脂的实例包括双酚A、双酚F、通过苯酚线性酚醛和表氯醇之间的反应获得的聚缩水甘油醚(室温下为液体)，环脂肪族环氧化合物如二氧化乙烯基环己烷(vinyl cyclohexane dioxide)、二氧化双环戊二烯和脂环族二环氧基-己二酸酯，可以使用上述中的一种，或使用上述中的多种，但对其没有特别限制。而且，能够使用常规的环氧树脂如n-丁基缩水甘油醚、叔碳酸缩水甘油酯、氧化苯乙烯、苯基缩水甘油醚、甲苯基缩水甘油醚或丁基苯基缩水甘油醚。
另外，优选使用双酚F以及潜在型胺化合物如双氰胺或酰肼己二酸酯(hydrazide adipate)作为固化剂，优选粘结剂包括2wt％-30wt％双酚F。当低于2wt％，混合量会太小，粘结强度不足，而当大于30wt％，酚羟基相对于环氧基的量会变过量，因此在固化材料中保留未反应的酚羟基，这不是优选的。
硅石填料是平均粒径为2nm-500nm的超微细硅石粉末，优选粘结剂中含有1wt％-10wt％超微细硅石粉末。
当树脂层23中硅石填料的总量大于1wt％，可解决涂覆期间出现的问题，如浆液流挂(sagging of the paste)，而当量低于10wt％，能够避免降低工作效率如堵塞丝网印刷用的掩膜。
此外，如有需要，可以在粘结层23中使用添加剂如固化促进剂、增挠剂(flexibility providing agent)、颜料、染料或消泡剂。
接下来，切割透明基板13，由此获得多个透明基板部分13A。切割透明基板13时，也切割树脂层22和粘结层23(见图8(A)的切割线D)。因而，如图需(B)所示，能够获得具有框架部分21的透明基板部分13A。
这里，优选光固化树脂层22的粘结性为切割透明基板13时，粘结膜不会从透明基板13剥落的程度。
其后，制备其上装有受光元件20的支撑基板15。然后，放置透明基板部分13A和支撑基板15使它们相互面向。此时，支撑基板15与框架部分21的粘结层23接触。然后，进行加热或通过加热施压，使支撑基板15通过框架部分21粘附到透明基板部分13A。
通过上述工序，制得受光装置2。
接下来，将说明本实施方式的作用效果。
在本实施方式中，分割透明基板13，然后，将透明基板部分13A与具有基底部分12A的支撑基板15接合。因此，有别于现有技术，这样能够避免多个受光装置中透明基板部分和基底部分同时位移。因而，提高生产率。
另外，透明基板部分13A和其上装有受光元件20的支撑基板15在分割透明基板13后接合，这样，接合后不而进行分割等，因此，能够避免透明基板部分13A受到损害。因而，能够提高生产率。
此外，受光装置2中的树脂层22包括环状烯烃树脂，这样能够避免湿气渗入由树脂层22包围的内部空间。
因而，通过避免湿气渗入由树脂层22包围的空间，能够避免透明基板部分13A和基底部分12A中出现凝露。
这里，本发明不受限于这些实施方式，本发明包括变型和改良，只要其能够实现本发明的目的。
尽管在第一和第二实施方式中，粘结膜例如粘贴到透明基底13或基底12，本发明没有受限于此，如第三实施方式，清漆状树脂层22可以涂覆到透明基板13或基底12，然后，可形成格子状树脂层22，可以在格子状树脂层22上提供粘结层23。
此外，在第一实施方式中，切割透明基板13时，切割粘结膜。以相同的方式，在第三实施方式中，切割透明基板13时，树脂层22和粘结层23被切割。然而，切割透明基板13时，粘结膜、树脂层22和粘结层23可能没有被切割。在此情况下，如第二实施方式的相同方式，在例如透明基板13上可能保留多个粘结膜块或框状树脂层22。多个粘结膜块或框状树脂层22包围覆盖透明基板13上受光装置部分11的部分。
[实施例]
接下来，将说明本发明的实施例。
(实施例1)
1.能够通过光和热被固化的固化树脂
(合成丙烯酸改性的酚醛树脂)
将600g MEK溶液(具有70％酚醛线性酚醛非挥发性组分)(PhenoliteTD-2090-60M，Dainippon Ink and Chemicals，Incorporated出品)(约4当量OH)放置在2L烧瓶中，并加入1g三丁胺和0.2g氢醌，将混合物加热至110℃。于30分钟内，向混合物滴加284g(2mol)甲基丙烯酸缩水甘油酯，然后在110℃下搅拌该混合物5小时，以引发反应，这样，获得含有80％甲基丙烯酰基的酚醛线性酚醛(非挥发性组分)(甲基丙烯酰基的转化率：50％)。
2.制备树脂清漆
称取5.1g丙烯基树脂化合物(室温下为液体)(三乙二醇二甲基丙烯酸酯：Neomer PM201，Sanyo Chemical Industries Ltd.出品)作为光固化树脂，12.9wt％环氧树脂(Epiclon N-865，Dainippon Ink and Chemicals，Incorporated出品)和5.4wt％有机硅环氧树脂(BY16-115，Dow corning Toray Co.，Ltd出品)作为热固性树脂，28.2wt％上述合成的(甲基)丙烯酸改性的酚醛树脂作为能够通过光和热被固化的固化树脂，1.9wt％光聚合引发剂(Irgacure651(2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙-1-酮)，Ciba SpecialtyChemicals Co.，Ltd.出品)，31.8wt％多孔填料(分子筛3A，Union showa K.K.出品)作为填料，以及14.7wt％甲乙酮作为溶剂，利用分散器以5000rpm搅拌1小时，由此制得树脂清漆。
3.制造粘结膜
利用comma涂覆器将树脂清漆涂覆到支撑基材聚酯膜(T100G，Mitsubishi Polyester Film GmbH出品，厚：25μm)，在80℃下干燥10分钟，由此获得膜厚度为50μm的粘结膜。
(实施例2)
实施例2与实施例1相同，不同的是使用了能够通过光和热固化的树脂。
作为能够通过光和热固化的树脂，使用了侧链具有羧基和丙烯基的丙烯基共聚物树脂(Cyclomer P，Daicel Chemical Industries，Ltd出品)，获得厚50μm的粘结膜。
(实施例3)
实施例3与实施例1相同，不同的是树脂清漆如下混合。
混合6.8wt％丙烯酰基树脂(acryl resin)单体(室温下为液体)(NeomerPM201，Sanyo Chemical Industries Ltd.出品)作为光固化树脂，13.7wt％双酚A线性酚醛型环氧树脂(Epiclon N-865，Dainippon Ink and Chemicals，Incorporated出品)作为热固性树脂，2.5wt％有机硅环氧树脂(BY16-115，Dow corning Toray Co.，Ltd出品)，27.4wt％实施例1合成的(甲基)丙烯酸改性的酚醛线性酚醛树脂，0.9wt％光聚合引发剂(Irgacure651(2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙-1-酮)，Ciba Specialty Chemicals Co.，Ltd.出品)，23.4wt％硅石填料(SE2050，Admatechs Co.，Ltd.出品)作为无机填料，以及25.3wt％甲乙酮作为溶剂。
利用此树脂清漆获得厚50μm的粘结膜。
依照如下方式测量各实施例中获得的粘结膜的透湿性。
将粘结膜粘贴在一起，这样，利用温度设在60℃的层压机制得膜厚度为100μm的膜，利用曝光机使用量为750mJ/cm2的光(波长:365nm)照射膜，然后，分别在120℃和180℃下对膜进行热固化1小时。依照水蒸汽透过性杯式法(JIS Z0208)在40℃/90％和25℃/50％的环境中评价固化后获得的膜，由此获得透湿率。
[表1]
| 实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | |
| 透湿性25℃/50％[g/m<sup>2</sup>·24h] | 8.5 | 8.4 | 2.3 |
| 透湿性40℃/90％[g/m<sup>2</sup>·24h] | 81.2 | 78.3 | 19.3 |
接下来，依照第一实施方式所述方法制造多个使用各实施例的粘结膜的受光装置。
这里，用750mJ/cm2的光(波长:365nm)进行曝光工序，在以下条件：0.1MPa喷射压，90秒显影时间使用3％TMAH(四甲基氢氧化铵)进行显影。此外，将粘结膜图案化成格子状，且布置图案使以框状(宽100μm)包围涵盖各受光部分的区域。
此外，通过加热和施压(温度：110℃，时间：10秒，压力：1MPa)将透明基板部分和基底部分粘贴在一起。然后，在120℃将粘结膜固化1小时，其后，在180℃将粘结膜固化2小时。
在各实施例中获得所有受光装置具有良好的特性，且确定操作没有任何问题。如上所述，在所有受光装置具有良好的特性，因此，发现根据本发明的制造方法能够提高生产率。
(实施例4)
1.制造环状烯烃树脂组合物(形成树脂层用的组合物)
实例可以是共聚物(A-1)，其中癸基降冰片烯/缩水甘油基甲基醚降冰片烯＝70/30共聚物。
所有玻璃装置在0.1托，60℃下干燥18小时。然后，将玻璃装置移至手套式操作箱(glow box)，并与手套式操作箱连接。将乙酸乙酯(917g)，环己烷(917g)，癸基降冰片烯(192g，0.82mol)和缩水甘油基甲基醚降冰片烯(62g，0.35mol)置于反应烧瓶中。从手套式操作箱取出反应烧瓶，并向烧瓶引入干燥氮气。通过向溶液通氮气30分钟对反应中间体化合物进行脱气。将25ml的注射器中的9.36g(19.5mmol)镍催化剂，即溶解在15ml甲苯中的双(甲苯)双(全氟苯基)镍，从手套式操作箱取出，并将溶液放进反应烧瓶中。在20℃下搅拌混合物5小时，直至反应完成。然后，加入过氧乙酸酸溶液(975mmol)，并搅拌混合物18小时。停止搅拌后，将溶液分成水层和溶剂层。分离水层后，加入1升蒸馏水，将混合物搅拌20分钟。分离水层，将其除去。连续用1升蒸馏水进行3次洗涤。之后，将聚合物放进甲醇中，通过过滤收集沉淀物，并用水将其充分洗涤，然后在真空下将其干燥。干燥后收集到243g(产率为96％)聚合物。根据GPC的测定，获得的聚合物的分子量Mw＝115，366，Mn＝47,000，且Mw/Mn＝2.45。对于聚合物的组成，通过H-NMR分析，发现其含有70mol％癸基降冰片烯和30mol％环氧基降冰片烯。
将228g上述合成的树脂溶解在342g十氢萘中，然后加入和溶解4-甲基苯基-4-(1-甲基乙基)苯基四(五氟苯基)硼酸錪(0.2757g，2.71x10-4mol)，1-氯-4-丙氧基-9H-噻吨酮(0.826g，2.71x10-4mol)，吩噻嗪(0.054g，2.74x10-4mol)和3，5-二叔丁基-4-羟基氢化肉桂酸酯(0.1378g，2.60x10-4mol)，然后，用氟树脂制成的过滤器将混合物过滤，由此获得环状烯烃树脂组合物。
2.制造粘结剂(形成粘结层用的组合物)
将平均粒径约为12nm的超微细硅石粉末(3.0g)和通过双酚F和表氯醇之间的反应获得的二缩水甘油醚(环氧当量：180，室温下为液体)(91.0g)，双酚F(5.0g)和双氰胺(1.0g)混合，用三辊进行混练，由此获得绝缘树脂浆。在2mmHg的真空室中对绝缘树脂浆进行30分钟消泡，由此获得粘结剂。
3.制造受光装置
根据第三实施方式所述方法制造多个受光装置。
具体地，利用旋涂器将环状烯烃树脂组合物涂覆在透明物基板上，然后利用110℃的电热板将其干燥5分钟，由此获得膜厚度约40μm的树脂层。通过宽带步进曝光机(broadband stepper exposuremachine)(Ultratech Stepper Inc.出品)的十字线(reticle)将树脂曝光(1500mJ/cm2)。然后，利用电热板将其加热4分钟，以加快曝光部分的交联反应。
接下来，将基板浸没在柠檬烯中30秒，藉此溶解和除去没有曝光的部分，然后，用异丙酮清洗基板20秒。因而，树脂层保留在覆盖透明基板上的受光元件的区域以外的区域，并加工成格子状。图案中没有观察到剥落，由此确定显影时的粘结性优异。然后，在160℃下固化树脂层60分钟，这样，完成交联反应。树脂层的吸水率为0.2％。
然后，通过丝网印刷将粘结剂涂覆到树脂层，形成粘结层。之后，切割透明基板，获得多个透明基板部分。而且，放置透明基板部分和其上装有受光元件的支撑基板，使它们相互面向，在100℃将它们加热60分钟。因而，使透明基板部分和支撑基板部分粘贴在一起。
获得的受光装置具有良好的特性，并确认受光装置的操作没有任何问题。以此方式制得的所有受光装置具有良好的特性，因此，根据本发明的制造方法能够提高生产率。
(实施例5)
以实施例4的相同方式获得癸基降冰片烯/缩水甘油基甲基醚降冰片烯/乙氧苯基降冰片烯＝55/30/15的三元共聚物(A-2)，不同的是使用了癸 基降冰片烯(129g，0.55mol)，缩水甘油基甲基醚降冰片烯(177g，0.30mol)和乙氧苯基降冰片烯(29.7g，0.15mol)代替实施例4的癸基降冰片烯(192g，0.82mol)，缩水甘油基甲基醚降冰片烯(62g，0.35mol)。三元共聚物再次聚合和沉淀，干燥后，收集到309g聚合物。根据GPC的测定，获得的聚合物的分子量Mw＝68000，Mn＝30000，Mw/Mn＝2.3。对于聚合物的组成，根据H-NMR的分析，发现其含有54mol％癸基降冰片烯，31mol％环氧基降冰片烯和15mol％乙氧苯基降冰片烯，
依照实施例4的相同工序获得多个受光装置。
获得的受光装置具有良好的特性，并发现受光装置的操作没有出现任何问题。如上所述，所有受光装置具有良好的特性，并发现根据本发明的制造方法能够提高生产率。
Claims (16)
1.受光装置的制造方法，
所述受光装置包括受光部分、装配有受光部分的基底部分、和透明基板部分，所述透明基板部分面向所述基底部分和受光部分，其中
在所述透明基板部分和基底部分之间设置包含光固化树脂的树脂层，以包围所述受光部分，其中
受光装置的制造方法包括：
在透明基板或基底上设置包含光固化树脂的树脂层，其中多个透明基板部分结合成一整体，所述基底上装配有多个受光部分，且多个基底部分结合成一整体；由此使树脂层覆盖所述基底或透明基板；
对树脂层进行选择性光照，然后进行显影，使所述树脂层保留在至少包围所述基底上各个受光部分的区域，或保留在所述透明基板包围对应于面向透明基板部分的受光部分的区域；
将所述基底分割成所述基底部分单元，由此获得多个基底部分；
将所述透明基板分割成所述透明基板部分单元，由此获得多个透明基板部分；
通过所述树脂层将基底部分和透明基板部分接合。
2.根据权利要求1所述的受光装置的制造方法，其中所述树脂层具有粘结性。
3.根据权利要求2所述的受光装置的制造方法，其中所述树脂层由包括所述光固化树脂和填料的树脂组合物形成，且所述树脂层根据JISZ0208B法测定的透湿率为30[g/m2·24h]或更高。
4.根据权利要求3所述的受光装置的制造方法，其中所述填料包括沸石。
5.根据权利要求2所述的受光装置的制造方法，其中所述树脂层包括能够通过光和热固化的固化树脂。
6.根据权利要求5所述的受光装置的制造方法，其中所述能够通过光和热固化的固化树脂进一步包括(甲基)丙烯酸改性的酚醛树脂或含(甲基)丙烯酰基的(甲基)丙烯酸酯聚合物。
7.根据权利要求1所述的受光装置的制造方法，其中
显影工序后保留树脂层的所述步骤包括于稍后阶段在所述树脂层表面上设置粘结层；
通过所述树脂层和粘结层将所述基底部分和透明基板部分接合；且
所述树脂层包括作为所述光固化树脂的环状烯烃树脂。
8.根据权利要求7所述的受光装置的制造方法，其中所述环状烯烃树脂是降冰片烯树脂。
9.受光装置的制造方法，
所述受光装置包括支撑基板和透明基板部分；所述支撑基板装配了具有受光部分和设有该受光部分的基底部分的受光元件；所述透明基板部分面向所述支撑基板设有受光元件的表面，其中
在所述支撑基板和透明基板部分之间设置包含光固化树脂的树脂层，以包围所述受光元件，其中
受光装置的制造方法包括：
在透明基板上设置包含光固化树脂的树脂层，其中多个透明基板部分结合成一整体，由此使树脂层覆盖所述透明基板；
对树脂层进行选择性光照，然后进行显影，使透明基板部分上保留的树脂层包围透明基板面向受光元件的相应区域；
将所述透明基板分割成透明基板部分单元，由此获得多个所述透明基板部分；且
在所述支撑基板上装配所述受光元件后，通过所述树脂层将所述支撑基板和透明基板部分接合。
10.根据权利要求9所述的受光装置的制造方法，其中所述树脂层具有粘结性。
11.根据权利要求10所述的受光装置的制造方法，其中所述树脂层由包括所述光固化树脂和填料的树脂组合物形成，且所述树脂层根据JISZ0208B法测定的透湿率为30[g/m2·24h]或更高。
12.根据权利要求11所述的受光装置的制造方法，其中所述填料包括沸石。
13.根据权利要求10所述的受光装置的制造方法，其中所述树脂层包括能够通过光和热进行固化的固化树脂。
14.根据权利要求13所述的受光装置的制造方法，其中所述能够通过光和热进行固化的固化树脂进一步包括(甲基)丙烯酸改性的酚醛树脂或含(甲基)丙烯酰基的(甲基)丙烯酸酯聚合物。
15.根据权利要求9所述的受光装置的制造方法，其中
显影工序后保留树脂层的所述步骤包括于稍后阶段在所述树脂层表面上设置粘结层；
通过所述树脂层和粘结层将所述支撑基板和透明基板部分接合；且
所述树脂层包括作为所述光固化树脂的环状烯烃树脂。
16.根据权利要求15所述的受光装置的制造方法，其中所述环状烯烃树脂是降冰片烯树脂。
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