CN101422986A - 功能液滴喷头的功能液填充方法、功能液供给装置 - Google Patents

Abstract

一种功能液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于，包括：初期填充工序，经由功能液流路从功能液箱向喷墨方式的功能液滴喷头导入功能液，对所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路进行功能液的初期填充；清洗液通液工序，在所述初期填充工序之前，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路中输通清洗液。

Description

功能液滴喷头的功能液填充方法、功能液供给装置

技术领域

本发明涉及一种往功能液箱到功能液滴喷头的功能液流路及功能液滴喷头的喷头内流路填充功能液的功能液滴喷头的功能液填充方法、功能液供给装置及液滴喷出装置还有电光学装置的制造方法及电光学装置。

背景技术

现有，这种油墨填充方法(功能液填充方法)已知一种方法是预先将界面活性剂溶液或去除了着色成分的油墨溶液作为保存液填充在喷墨头的喷头内流路中，从喷墨头的喷嘴面侧与油墨一同吸引，从而填充油墨(参照专利文献1)。这种填充方法由于利用界面活性剂减弱保存液的表面张力，从而提高了润湿性，能够使保存液遍布喷墨头的喷头内流路的各个角落，之后置换保存液和油墨(参照特开2004—114647号公报)。

这种现有的油墨填充方法，能够不留气泡地往喷墨头的喷头内流路填充油墨，不过，在油墨箱到喷墨头的油墨流路中，由于没有填充保存液，从而存在的问题是填充油墨时在流路内残留气泡。另外，若将界面活性剂作为保存液长时间事先填充在喷头内流路中，则有可能析出保存液中的杂质而发生堵塞。再有，保存液容易残留在喷头内流路的狭窄部分中，在初期填充时，保存液和油墨不置换而使保存液残留在喷墨头内。其结果是有可能在填充初期时白白流掉大量油墨，或者随着时间推移而使保存液和油墨的构成成分发生反应，生产出副生成物。

发明内容

本发明的课题在于提供能够往功能液箱到功能液滴喷头的功能液流路及功能液滴喷头的喷头内流路中不留气泡地进行功能液初期填充的功能液滴喷头的功能液填充方法、功能液供给装置及液滴喷出装置还有电光学装置的制造方法及电光学装置。

本发明的功能液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于，包括：初期填充工序，经由功能液流路从功能液箱向喷墨方式的功能液滴喷头导入功能液，对功能液流路及功能液滴喷头的喷头内流路进行功能液的初期填充；清洗液通液工序，在初期填充工序之前，向功能液流路及功能液滴喷头的喷头内流路中输通清洗液。

另外，本发明的功能液供给装置，其特征在于，包括：向喷墨方式的功能液滴喷头供给功能液的功能液箱；向功能液滴喷头供给清洗液的清洗液箱；连接功能液箱及清洗液箱和功能液滴喷头的功能液流路；将功能液流路的上游端在功能液箱和清洗液箱之间切换流路的流路切换装置；脱离连接自如地密接在功能液滴喷头的喷嘴面上并分别吸引功能液及清洗液的吸引装置；和控制流路切换装置及吸引装置的控制装置，控制装置在初期填充动作之前执行清洗液通液动作，初期填充动作是将功能液流路切换到功能液箱侧并且驱动吸引装置，向功能液流路及功能液滴喷头的喷头内流路填充功能液，清洗液通液动作是将功能液流路切换到清洗液箱侧并且驱动吸引装置，向功能液流路及功能液滴喷头的喷头内流路输通清洗液。

根据这些构成，在向功能液流路及功能液滴喷头的喷头流路内填充功能液之前，利用清洗液清洗这些流路内，从而，不仅能够冲洗这些流路内的异物，而且冲洗容易残留在接头角部等的气泡，作为膜残留在流路内面上。从而，接下来若填充功能液，则与功能液置换以使功能液冲洗清洗液，初期填充状态下，不会在功能液流路及喷头内流路中残留气泡。从而，能够有效地防止由于气泡造成的功能液滴喷头喷出不良。

这种情况下，优选是在清洗液通液工序中采用功能液的溶剂作为清洗液或采用含有界面活性剂的溶液作为清洗液。

另外，这种情况下，优选是清洗液为功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液的任意一种。

根据这些构成，能够提高功能液流路及功能液滴喷头的喷头内流路相对于功能液的亲和性，能够有效地防止气泡残留。还有，界面活性剂优选是丁基二甘醇醋酸酯。

这种情况下优选是清洗液通液工序中采用功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液作为清洗液，在输通溶剂后输通溶液。

另外这种情况下，优选是清洗液为功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液，清洗液箱由贮存溶剂的溶剂箱和贮存溶液的溶液箱构成，流路切换装置的构成是能够在功能液箱、溶剂箱和溶液箱相互间切换流路，控制装置在清洗液通液动作中，在溶剂通液动作之后执行溶液通液动作，溶剂通液动作是将功能液流路切换到溶剂箱侧并且驱动吸引装置，向功能液流路及功能液滴喷头的喷头内流路输通溶剂，溶液通液动作是将功能液流路切换到溶液箱侧并且驱动吸引装置，向功能液流路及功能液滴喷头的喷头内流路输通溶液。

根据这些构成，基于溶剂能够从喷头内流路中顺畅地冲洗喷出试验等使用的功能液，同时，基于溶液能够提高功能液流路及喷头内流路相对于功能液的亲和性。因而，能够有效地防止初期填充功能液时功能液流路及喷头内流路内残留气泡。

这种情况下，优选是清洗液通液工序中采用功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液作为清洗液，在输通溶剂后输通溶液，再次输通溶剂。

另外，这种情况下，优选是清洗液为功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液，清洗液箱由贮存溶剂的溶剂箱和贮存溶液的溶液箱构成，流路切换装置的构成是能够在功能液箱、溶剂箱和溶液箱相互间切换流路，控制装置在清洗液通液动作中，在溶剂通液动作之后执行溶液通液动作，然后再次执行溶剂通液动作，溶剂通液动作是将功能液流路切换到溶剂箱侧并且驱动吸引装置，向功能液流路及功能液滴喷头的喷头内流路输通溶剂，溶液通液动作是将功能液流路切换到溶液箱侧并且驱动吸引装置，向功能液流路及功能液滴喷头的喷头内流路输通溶液。

根据这些构成，由于向润湿性提高了的功能液流路及喷头内流路内再次输通功能液的溶剂，从而能够完全冲洗残留在流路内的界面活性剂，能够确实防止界面活性剂混入功能液中。

这种情况下，优选是初期填充工序中在将功能液流路连接到功能液箱的状态下，从功能液滴喷头的喷嘴吸引功能液，从而进行初期填充；清洗液通液工序中，在将功能液流路从功能液箱切换连接到清洗液箱的状态下，从功能液滴喷头的喷嘴吸引清洗液，从而进行通液。

根据该构成，能够用与功能液初期填充同样的吸引动作进行清洗液的通液，从而能够简化装置构成。

本发明的液滴喷出装置，其特征在于，具备上述所述的功能液供给装置和在使所述功能液滴喷头相对于工件相对移动的同时使其喷出功能液滴的描绘装置。

根据该构成，能够在清洗功能液流路及喷头内流路后填充功能液，对工件进行描绘，从而能够用一个装置进行一系列动作，从而能够缩短作业时间，同时能够将液滴喷出装置小型化。

本发明的电光学装置的制造方法，其特征在于，使用上述的液滴喷出装置，在工件上形成基于功能液滴的成膜部。

另外，本发明的电光学装置，其特征在于，使用上述的液滴喷出装置，在工件上形成基于功能液滴的成膜部。

根据这些构成，能够利用效率良好地进行功能液滴喷头的功能维持及功能恢复的液滴喷出装置进行制造，从而能够提高工件的生产性。还有，电光学装置(平板显示器：FPD)可考虑滤色片、液晶显示装置、有机EL装置、PDP装置、电子释放装置等。还有，电子释放装置的概念包括所谓的FED(Field Emission Display)和SED(Surface-conduction Electron-EmitterDisplay)装置等。再有，电光学装置可考虑包含形成金属布线、形成透镜、形成保护膜及形成光扩散体等的装置。

附图说明

图1是液滴喷出装置的俯视模式图。

图2是液滴喷出装置的侧视模式图。

图3是功能液滴喷头的外观立体图。

图4是功能液供给装置的系统图。

图5是说明滤色片制造工序的流程图。

图6A～图6E是按照制造工序表示的滤色片的模式剖视图。

图7是表示使用适用了本发明的滤色片制成的液晶装置概略构成的主要部分剖视图。

图8是表示使用适用了本发明的滤色片制成的第2例液晶装置概略构成的主要部分剖视图。

图9是表示使用适用了本发明的滤色片制成的第3例液晶装置概略构成的主要部分剖视图。

图10是一种有机EL装置、即显示装置的主要部分剖视图。

图11是说明一种有机EL装置、即显示装置的制造工序的流程图。

图12是说明无机物围堰层形成的工序图。

图13是说明有机物围堰层形成的工序图。

图14是说明形成空穴注入/输送层的过程的工序图。

图15是说明形成了空穴注入/输送层的状态的工序图。

图16是说明形成蓝色发光层的过程的工序图。

图17是说明形成了蓝色发光层的状态的工序图。

图18是说明形成了各色发光层的状态的工序图。

图19是说明阴极形成的工序图。

图20是一种等离子型显示装置(PDP装置)、即显示装置的主要部分分解立体图。

图21是一种电子释放装置(FED装置)、即显示装置的主要部分剖视图。

图22A是显示装置的电子释放部周边的俯视图、图22B是表示其形成方法的俯视图。

图中，1—液滴喷出装置，4—描绘装置，5—功能液供给装置，7—控制装置，17—功能液滴喷头，44—喷头内流路，46—喷嘴，62—清洗液箱，64—溶剂箱，65—溶液箱，71—清洗液切换阀，72—切换阀，56—吸引机构，61—功能液箱，67—箱侧管道，68—喷头侧管道，W—工件。

具体实施方式

以下参照附图，关于适用了本发明的功能液供给装置的液滴喷出装置及功能液滴喷头的功能液填充方法进行说明。该液滴喷出装置被装入平板显示器的制造生产线中，使用导入有例如特殊油墨和发光性树脂液等、即功能液的功能液滴喷头，形成液晶显示装置的滤色片和作为有机EL装置各像素的发光元件等。

如图1所示，液滴喷出装置1具备机座2、带有功能液滴喷头17并呈十字状放置在机座2上的描绘装置4、与描绘装置4连接的功能液供给装置5、附属于描绘装置4放置在机座2上的维护装置6和控制它们的控制装置7。液滴喷出装置1一面利用功能液供给装置5接受功能液的供给，一面根据利用控制装置7进行的控制，喷出所供给的功能液，在工件W上描绘规定的描绘图形。另外，维护装置6对功能液滴喷头17进行维护。

描绘装置4具有由对工件W进行主扫描(沿X轴方向移动)的X轴工作台11及与X轴工作台11正交的Y轴工作台12构成的X·Y移动机构13、移动自如地安装在Y轴工作台12上的主滑架13和垂设在主滑架13上并搭载有多个功能液滴喷头17的喷头单元14。

X轴工作台11的构成是具有构成X轴方向驱动系统的X轴马达(省略图示)驱动的X轴滑块15，在其上移动自如地搭载并由吸附工作台16及θ工作台3等构成的置位工作台21。同样，Y轴作台12的构成是具有构成Y轴方向驱动系统的Y轴马达(省略图示)驱动的Y轴滑块19，在其上沿Y轴方向移动自如地搭载支承喷头单元14的上述主滑架13。还有，X轴工作台11平行于X轴方向配置，直接支承在机座2上。另一方面，Y轴工作台12支承在竖立设置在机座2上的左右支柱20上，横跨着X轴工作台及维护装置6平行于Y轴方向延伸(参照图1及图2)。

在液滴喷出装置1中，X轴工作台11及Y轴工作台12交叉的区域成为进行工件W描绘的描绘区域27、Y轴工作台12及维护装置6交叉的区域成为对功能液滴喷头17进行功能回复及功能维持的处理(维护)的保养区域22，对工件W进行描绘时，使喷头单元14面向描绘区域27，进行维护时使喷头单元14面积保养区域22。

主滑架13如图2所示，由从下侧固定在Y轴工作台12的Y轴滑块19上的外观「I」形的吊设构件23、安装在吊设构件23下面用以进行喷头单元14相对于θ方向的位置修正的θ旋转机构24和吊设在θ旋转机构24下方进行安装的滑架主体(滑架)25构成。滑架主体25具有带定位机构的框状框架(省略图示)，在其上经由后述的支承框架26以定位状态固定喷头单元14。另外，后述的各箱61、64、65配置在主滑架13上，利用箱侧管道67与功能液滴喷头17连结。

支承框架26形成大致方形的框状，如图2所示，从下侧按照喷头单元14、压力调节阀31的顺序以定位状态搭载有它们。还有，在支承框架26上安装有一对把手(没有图示)，以这一对把手作为手持部位，以使能够将支承框架26相对于主滑架13进行拆装。

如图2所示，喷头单元14具备功能液滴喷头17和经由喷头保持构件(省略图示)搭载功能液滴喷头17的喷头板。喷头板拆装自如地支承在支承框架26上，喷头单元14经由支承框架26定位搭载在滑架主体25上。

如图3所示，功能液滴喷头17是所谓的双联喷墨头，包括具有双联连接针41(功能液导入口)的功能液导入部42、与功能液导入部42相连的双联喷头基板43和与喷头基板43下方相连内部形成充满功能液的喷头内流路44的喷头主体45。连接针41与图外的功能液供给管道63连接，向功能液滴喷头17的喷头主体45供给功能液。喷头主体45包括喷嘴板48、设有压电元件(省略图示)的压力室(省略图示)和以流路连接各压力室和各喷嘴46的分支流路(省略图示)，喷嘴板48具有开口有多个喷嘴46的喷嘴面47。在喷嘴面47上形成与各分支流路相连的由多个(180个)喷嘴46构成的喷嘴列49。即，由通到连接针41(功能液导入口)、压力室、分支流路及喷嘴46的流路构成喷头内流路44。若喷出驱动功能液滴喷头17，则压力室像泵一样作用，从喷嘴46喷出功能液滴。

接下来，参照图1，关于维护装置6进行说明。维护装置6具有保管·吸引单元51和擦拭单元52，保管·吸引单元51是在液滴喷出装置1不工作时，将功能液滴喷头17的喷嘴面密封，防止喷嘴46干燥，同时，从功能液滴喷头17的喷嘴46吸引去除增粘了的功能液，擦拭单元52是擦拭附着在功能液滴喷头17的喷嘴面47上的污物。这两个单元51、52的构成是搭载在沿X轴方向延伸地放置于机座2上的移动工作台53上，利用该移动工作台53沿X方向能够移动。

保管·吸引单元51具有接受功能液滴喷头17的废弃喷出兼具冲刷盒功能的密封帽54、升降密封帽54的帽升降机构55、在与密封帽54连接的状态下吸引功能液滴喷头17的由喷射器和吸引泵等构成的吸引机构56、回收由吸引机构56吸引去除的废液的废液箱57。描绘暂停时，功能液滴喷头17移动到移动工作台53上的保养区域22，密封帽54在稍离开功能液滴喷头17的位置接受功能液滴喷头17的冲刷(废弃喷出)。然后，若功能液滴喷头17成为工作待机状态，则密封帽54完全上升，进行功能液滴喷头17的喷嘴面47的封盖，密封各功能液滴喷头17的全部喷嘴46。接下来，在再驱动封盖状态的功能液滴喷头17之际，为了防止由于功能液增粘造成的喷嘴堵塞，根据需要进行吸引机构56的驱动，从喷嘴46吸引增粘了的功能液。还有，详情后述，该吸引机构56及废液箱57也用于向功能液滴喷头17初期填充功能液之际。

如该图所示，在擦拭单元52上抽送自如且缠绕自如地设置擦拭片58，一面供给抽送的擦拭片58，一面利用移动工作台53将擦拭片58沿X轴方向移动，以擦拭功能液滴喷头17的喷嘴面47。从而，基于上述吸引动作等，清除了附着在功能液滴喷头17的喷嘴面上的功能液，防止喷出的功能液滴曲线飞行等。还有，作为维护装置6，除了上述两单元51、52以外，优选是搭载喷出检测单元(省略图示)等，以检测从功能液滴喷头17喷出的功能液滴的飞行状态。

接下来，参照图4的系统图，关于功能液供给装置5周边的构成进行说明。功能液供给装置5支承在支承框架26上，具有贮存功能液的功能液箱61、贮存清洗液的清洗液箱62、连接功能液箱61及清洗液箱62和功能液滴喷头17的功能液供给管道(功能液供给流路)63、设置于功能液供给管道63的压力调节阀31。这种情况下，清洗液箱62在装置组装时和喷头单元14更换时等所谓的功能液向功能液滴喷头17初期填充之际使用，由作为清洗液贮存功能液的溶剂的溶剂箱64和作为清洗液贮存含有界面活性剂的溶液的溶液箱65构成。还有，功能液箱61也可以填塞式箱，也可以是从图外的主箱接受功能液供给的副箱。

功能液供给管道63具有从各箱61、64、65到接头66的箱侧管道67和从接头66经由压力调节阀31到功能液滴喷头17的喷头侧管道68。喷头侧管道68被装入喷头单元14，与喷头单元14一起运入装置中。另一方面，各箱61、64、65及箱侧管道67搭载在主滑架13上，在喷头单元14更换时等，箱侧管道67和喷头侧管道68经由接头66(一次连接的联接器)θ进行脱离和连接。

箱侧管道67由以下各管道构成，即上游端与溶剂箱64连接的溶剂箱侧短管道69，上游端与溶液箱65连接的溶液箱侧短管道70，经由清洗液切换阀71从两箱侧短管道69、70的下游端到达接头66的主箱侧管道67，上游端与功能液箱61连接、同时下游端经由切换阀72与主箱侧管道67连接的功能液箱侧短管道73。并且，在主箱侧管道67的下游端连接接头66，接头66将主箱侧管道67和箱侧管道67一次连接。还有，技术方案中所说的流路切换装置由清洗液切换阀71及切换阀72构成。

喷头侧管道68其上游端与接头66连接，同时下游端与功能液滴喷头17连接，在中间位置设置压力调节阀31。详情后述，贮存在各箱61、64、65中的各液体通过切换两阀71、72，同时通过驱动上述保管·吸引单元51的吸引机构56(喷射器或吸引泵)，从而经由功能液供给管道63向功能液滴喷头17输通或填充。还有，技术方案的功能液供给装置1是在实施方式的功能液供给装置5上附加了保管·吸引单元51。

压力调节阀31配置在功能液滴喷头17的上游侧附近，没有特别图示，不过具有与功能液箱61、溶剂箱64及溶液箱65相连的1级室，与功能液滴喷头17相连并且液体被减压的2级室，连通1级室和2级室的连通流路和设置在连通流路上的阀体，构成所谓的大气压基准的减压阀。即使功能液箱61处于高位置，也能够利用该压力调节阀31将功能液滴喷头17的喷嘴面47上的功能液的水位差调节成适当的值。另外，1级室侧和2级室侧经由阀体而被切边，防止在功能液箱61侧发生的脉动等传递到功能液滴喷头17(缓冲功能)。即，随着对工件W的描绘，被输送到压力调节阀31的功能液的液压随着时间推移而发生变化，不过，功能液滴喷头17基于压力调节阀31的作用始终以一定的压力喷出液滴。

控制装置7由CPU(Central Processing Unit)、ROM(Read Only Memory)及RAM(Random Access Memory)等构成主要部分，按照相对于工件W的描绘动作、功能液滴喷头17的维护及后述的各种运转方式，分别切换两阀71、72且驱动吸引机构56、控制通液动作等。

接下来，关于使用了上述功能液供给装置5及上述保管·吸引单元51的功能液滴喷头17的一系列功能液填充方法，参照图4进行说明。在喷头单元14更换时等，已经从接头66(内螺纹侧)往上游侧的箱侧管道67中分别填充了功能液和清洗液，这里的功能液填充方法是指向接头66(外螺纹侧)以后的喷头侧管道68及功能液滴喷头17的喷头内流路44内填充功能液，技术方案所说的功能液流路为接头66以后的包括压力调节阀31在内的喷头侧管道及喷头内流路44。这种情况下，功能液填充方法执行输通清洗液的清洗动作和填充功能液的初期填充动作，初期填充动作相当于利用吸引进行的一般性功能液滴喷头17的初期填充。

清洗动作通过向喷头侧管道68及功能液滴喷头17的喷头内流路44输通功能液的溶剂的第1溶剂通液动作、将溶剂和具有界面活性剂的溶液往流路内输通的溶液通液动作和再次往流路内输通功能液的溶剂的第2溶剂通液动作来进行。

第1溶剂通液动作中，首先将清洗液切换阀71切换到溶剂箱64侧，同时将切换阀72切换到清洗液箱62侧，经由功能液供给管道63连通溶剂箱64和功能液滴喷头17，之后驱动吸引机构56。从而贮存在溶剂箱64中的溶剂经由溶剂箱侧短管道69及主箱侧管道67，向包括压力调节阀31在内的喷头侧管道68及功能液滴喷头17的喷头内流路44输通。

同样，在溶液通液动作中，首先将清洗液切换阀71切换到溶液箱65侧，同时将切换阀72切换到清洗液箱62侧，经由功能液供给管道63连通溶液箱65和功能液滴喷头17，之后驱动吸引机构56。从而将贮存在溶液箱65中的溶液向包括压力调节阀31在内的喷头侧管道68及功能液滴喷头17的喷头内流路44输通。

第2溶剂通液动作中，再次将清洗液切换阀71切换到溶剂箱64侧，同时将切换阀72切换到清洗液箱62侧，经由功能液供给管道63连通溶剂箱64和功能液滴喷头17，之后驱动吸引机构56。从而将贮存在溶剂箱64中的溶剂向包括压力调节阀31在内的喷头侧管道68及功能液滴喷头17的喷头内流路44输通。

若以上的清洗动作结束，则接着转移到初期填充动作。初期填充动作中，将切换阀72切换到功能液箱61侧，经由功能液供给管道63连通功能液箱61和功能液滴喷头17。然后驱动吸引机构56，从而将贮存在功能液箱61中的功能液向包括压力调节阀31在内的喷头侧管道68及功能液滴喷头17的喷头内流路44输通。该通液进行了规定时间后，停止吸引机构56，结束初期填充。还有，初期填充后，进行功能液滴喷头17的擦拭，使功能液滴喷头17成为描绘待机状态。

根据以上，通过向喷头侧管道68及功能液滴喷头17的喷头内流路44输通功能液的溶剂，从而是在喷头侧管道68及喷头内流路44相对于功能液提高了亲和性后，输通含有界面活性剂的溶液，从而能够遍布到流路内的角部，同时能够去除异物。其后，再次输通功能液的溶剂，从而冲洗残留在流路内的界面活性剂，将流路内的界面活性剂与功能液置换。从而，特别是能够在接头66和压力调节阀31等内部狭窄的部分不残留气泡地向喷头侧管道68及功能液滴喷头17中填充功能液。

还有，清洗动作也可以只是输通功能液的溶剂或溶液，并不限定清洗的顺序及清洗的次数。

接下来，作为使用本实施方式的液滴喷出装置1制造的电光学装置(平板显示器)，以滤色片、液晶显示装置、有机EL装置、等离子显示器(PDP装置)、电子释放装置(FED装置、SED装置)、还有在这些显示装置上形成的有源矩阵基板等为例，关于这些结构及其制造方法进行说明。还有，所谓的有源矩阵基板说的是形成薄膜晶体管及与薄膜晶体管电连接的源线、数据线的基板。

首先，关于装入液晶显示装置和有机EL装置等中的滤色片的制造方法进行说明。图5是表示滤色片的制造工序的流程，图6是按照制造工序表示的本实施方式的滤色片500(滤片基体500A)的模式剖视图。

首先，黑色矩阵形成工序(S101)中如图6A所示，在基板(W)501上形成黑色矩阵502。黑色矩阵502由金属铬、金属铬和氧化铬的层叠体、或碳黑树脂等形成。要形成由金属薄膜构成的黑色矩阵502能够使用溅射法和蒸镀法等。另外，要形成由树脂薄膜构成的黑色矩阵502时能够使用凹版印刷法、光刻法、热转印法等。

接下来，在围堰形成工序(S102)中，以重叠在黑色矩阵502上的状态形成围堰503。即，首先如图6B所示，覆盖着基板501及黑色矩阵502形成由负型透明感光性树脂构成的抗蚀层504。然后，在由形成矩阵图形形状的掩膜505包覆其上面的状态下进行曝光处理。

再如图6C所示，通过蚀刻处理抗蚀层504的未曝光部分从而对抗蚀层504形成图形，形成围堰503。还有，利用碳黑树脂形成黑色矩阵时，能够兼用黑色矩阵和围堰。

该围堰503和其下的黑色矩阵502成为划分各像素区域507a的划分壁部507b，在后面的着色层形成工序利用功能液滴喷头17形成着色层(成膜部)508R、508G、508B之际规定功能液滴的着落区域。

经过以上的黑色矩阵形成工序及围堰形成工序，从而获得上述滤片基体500A。

还有，本实施方式中，作为围堰503的材料采用涂膜表面疏液(疏水)性的树脂材料。并且，基板(玻璃基板)501的表面为亲液(亲水)性，因而，在所述的着色层形成工序中能够自动修正液滴向由围堰503(划分壁部507b)包围的各像素区域507a内着落的着落位置的偏离。

接下来，在着色层形成工序(S103)中如图6D所示，利用功能液滴喷头17喷出功能液滴，着落在由划分壁部507b包围的各像素区域507a内。这种情况下，使用功能液滴喷头17，导入R·G·B三色功能液(滤片材料)，进行功能液滴的喷出。还有，作为R·G·B三色的排列图形，有条纹排列、嵌镶排列及三角形排列等。

其后，经过干燥处理(加热等处理)粘固功能液，形成三色的着色层508R、508G、508B。如果形成了着色层508R、508G、508B就转移到保护膜形成工序(S104)，如图6E所示，覆盖着基板501、划分壁部507b及着色层508R、508G、508B的上面形成保护膜509。

即，向基板501的形成着色层508R、508G、508B的整个面喷出保护膜用涂布液后，经过干燥处理，形成保护膜509。

并且，在形成保护膜509后，滤色片500转移到下一工序、即透明电极ITO(Indium Tin Oxide)等的贴膜工序。

图7是表示使用了上述滤色片500制成的作为液晶显示装置一例的无源矩阵型液晶装置(液晶装置)概略构成的主要部分剖视图。往该液晶装置520上安装液晶驱动用IC、背光灯、支承体等附带要素，从而获得作为最终制品的透过型液晶显示装置。还有，滤色片500与图12所示的相同，因此对应的部位附以相同的符号，省略其说明。

该液晶装置520大致由滤色片500、由玻璃基板等构成的对置基板521及夹持在它们之间的STN(Super Twisted Nematic)液晶组成物构成的液晶层522构成，将滤色片500配置在图中上侧(观测者侧)。

还有，尽管没有图示，不过在对置基板521及滤色片500的外面(与液晶层522侧相反侧的面)分别配置偏光板，另外在位于对置基板521侧的偏光板的外侧配置背光灯。

滤色片500的保护膜509(液晶层侧)上以规定间隔形成多个沿图13中左右方向长条的长方形第1电极523，覆盖着该第1电极523的与滤色片500侧相反侧的面形成第1取向膜524。

另一方面，在对置基板521的与滤色片500对置的面上，以规定间隔形成多个沿着与滤色片500的第1电极523正交的方向长条的长方形第2电极526，覆盖着该第2电极526的液晶层522侧的面形成第2取向膜527。这些第1电极523及第2电极526由ITO等透明导电材料形成。

设置在液晶层522内的衬垫528是用来保持液晶层522厚度(单个帽)为一定的构件。另外，密封件529是用来防止液晶层522内的液晶组成物向外部漏出的构件。还有，第1电极523的一端部作为引线523a延伸到密封件529的外侧。

并且，第1电极523和第2电极526交叉的部分为像素，其构成是使滤色片500的着色层508R、508G、508B位于该成为像素的部分。

通常的制造工序中，在滤色片500上进行第1电极523的图形形成及第1取向膜524的涂布，制成滤色片500侧的部分，同时与之分开在对置基板521上进行第2电极526的图形形成及第2取向膜527的涂布，制成对置基板521侧的部分。其后，在对置基板521侧的部分上镶入衬垫528及密封件529，在此状态下将滤色片500侧的部分粘贴在一起。接下来，从密封件529的注入口注入构成液晶层522的液晶，封闭注入口。其后将两偏光板及背光灯层叠。

实施方式的液滴喷出装置1能够涂布例如构成上述单个帽的衬垫材料(功能液)，同时能够在将滤色片500侧的部分粘贴在对置基板521侧的部分之前，往由密封件529包围的区域均匀地涂布液晶(功能液)。另外，还能够用功能液滴喷头17进行上述密封件529的印刷。再有，还能够用功能液滴喷头17进行第1·第2两取向膜524、527的涂布。

图8是表示使用了本实施方式制造的滤色片500制成的第2例液晶装置概略构成的主要部分剖视图。

该液晶装置530与上述液晶装置520最大的不同点在于将滤色片500配置在图中下侧(观测者侧相反侧)。

该液晶装置530大致构成是在滤色片500和由玻璃基板等构成的对置基板531之间夹持由STN液晶构成的液晶层532。还有，尽管没有图示，不过在对置基板531及滤色片500的外面分别配置偏光板等。

在滤色片500的保护膜509上(液晶层532侧)以规定间隔形成多个沿图中向内方向长条的长方形第1电极533，覆盖着该第1电极533的液晶层532侧的面形成第1取向膜534。

在对置基板531的与滤色片500对置的面上，以规定间隔形成多个沿着与滤色片500侧的第1电极533正交的方向延伸的长方形第2电极536，覆盖着该第2电极536的液晶层532侧的面形成第2取向膜537。

在液晶层532中设置用来保持该液晶层532厚度为一定的衬垫538和用来防止液晶层532内的液晶组成物向外部漏出的密封件539。

并且，与上述液晶装置520同样，第1电极533和第2电极536交叉的部分为像素，其构成是使滤色片500的着色层508R、508G、508B位于该成为像素的部分。

图9表示使用适用了本发明的滤色片500构成第3例液晶装置，是透过型TFT(Thin Film Transistor)型液晶装置的概略构成的分解立体图。

该液晶装置550将滤色片500配置在图中上侧(观测者侧)。

该液晶装置550大致由滤色片500、与之对置配置的对置基板551、夹持在它们之间的没有图示的液晶层、配置在滤色片500上面侧(观测者侧)的偏光板555和配置在对置基板551下面侧的偏光板(没有图示)构成。

在滤色片500的保护膜509表面(对置基板551侧的面)形成用于液晶驱动的电极556。该电极556由ITO等透明导电材料构成，成为覆盖着形成后述像素电极560的整个区域的整面电极。另外，在覆盖该电极556的与像素电极560相反侧的面的状态下设置取向膜557。

在对置基板551的与滤色片500对置的面上，形成绝缘层558，在该绝缘层558上以相互正交的状态形成扫描线561及信号线562。并且，在由这些扫描线561和信号线562包围的区域内形成像素电极560。还有，实际的液晶装置中在像素电极560上配置取向膜，不过，省略了图示。

另外，形成的构成是在由像素电极560的缺口部、扫描线561和信号线562包围的部分装入包括源电极、漏电极、半导体及门电极的薄膜晶体管563。并且，形成的构成是能够通过对扫描线561和信号线562外加信号从而能够接通·断开薄膜晶体管563，对像素电极560进行通电控制。

还有，上述各例的液晶装置520、530、550形成透过型的构成，也能够设置反射层或半透过反射层，而形成反射型的液晶装置或半透过反射型的液晶装置。

接下来，图10是有机EL装置的显示区域(以下，只称为显示装置600)的主要部分剖视图。

该显示装置600大致以在基板(W)601上层叠电路元件部602、发光元件部603及阴极604的状态构成。

在该显示装置600中，从发光元件603向基板601侧发出的光，透过电路元件部602及基板601向观测者侧射出，同时从发光元件603向基板601的相反侧发出的光，经由阴极604反射后，透过电路元件部602及基板601向观测者侧射出。

在电路元件部602和基板601之间形成由硅氧化膜构成的底层保护膜606，在该底层保护膜606上(发光元件部603侧)形成由多晶硅构成的岛状半导体膜607。在该半导体膜607的左右区域中通过高浓度阳离子射入分别形成源区域607a及漏区域607b。并且，没有射入阳离子的中央部成为通道区域607c。

另外，在电路元件部602上形成覆盖底层保护膜606及半导体膜607的透明门绝缘膜608，在该门绝缘膜608上与半导体膜607的通道区域607c对应的位置，形成由例如Al、Mo、Ta、Ti、W等构成的门电极609。在该门电极609及门绝缘膜608上，形成透明的第1层间绝缘膜611a和第2层绝缘膜611b。另外，贯穿第1、第2层间绝缘膜611a、611b形成与半导体膜607的源区域607a、漏区域607b分别连通的接点通孔612a、612b。

并且，在第2层间绝缘膜611b上呈规定形状形成由ITO等构成的透明的像素电极613，该像素电极613通过接点通孔612a与源区域607a连接。

另外，在第1层间绝缘膜611a上配置电源线614，该电源线614通过接点通孔612b与漏区域607b连接。

如此，在电路元件部602上分别形成与各像素电极613连接的用于驱动的薄膜晶体管615。

上述发光元件部603大致由层叠在各多个像素电极613上的功能层617、设置在各像素电极613及功能层617之间对各功能层617进行划分的围堰部618构成。

由这些像素电极613、功能层617及配置在功能层617上的阴极604构成发光元件。还有，像素电极613形成平面看大致矩形状图形，在各像素电极613之间形成围堰部618。

围堰部618包括由例如SiO、SiO₂、TiO₂等无机材料形成的无机物围堰层618a(第1围堰层)和层叠在该无机物围堰层618a上、由丙烯树脂、聚酰亚胺树脂等耐热性、耐溶剂性优异的抗蚀剂形成的截面梯形状的有机物围堰层618b(第2围堰层)而构成。该围堰部618的一部分以搭在像素电极613周缘部上的状态形成。

并且，在各围堰部618之间形成相对于像素电极613向上方逐渐扩开的开口部619。

上述功能层617由开口部619内以层叠状态在像素电极613上形成的空穴注入/输送层617a、在该空穴注入/输送层617a上形成的发光层617b构成。还有，也可以邻接该发光层617b再形成具有其他功能的其他功能层。例如，还可形成电子输送层。

空穴注入/输送层617a具有的功能是从像素电极613侧输送空穴并向发光层617b注入。该空穴注入/输送层617a通过喷出含有空穴注入/输送层形成材料的第1组成物(功能液)而形成。作为空穴注入/输送层形成材料采用公知的材料。

发光层617b发出红色(R)、绿色(G)或蓝色(B)任意一种光，通过喷出含有发光层形成材料(发光材料)的第2组成物(功能液)而形成。作为第2组成物的溶剂(非极性溶剂)优选是采用不溶于空穴注入/输送层617a的公知的材料，由于在发光性617b的第2组成物中采用这种非极性溶剂，从而能够不会再溶解空穴注入/输送层617a地形成发光层617b。

并且，发光层617b的构成是使从空穴注入/输送层617a注入的空穴和从阴极604注入的电子在发光层再结合并发光。

阴极604以覆盖发光元件部603整个面的状态形成，与像素电极613成对，发挥向功能层617流通电流的作用。还有，在该阴极604的上部配置没有图示的封闭构件。

接下来，参照图11～图19说明上述显示装置600的制造工序。

该显示装置600如图11所示，经过围堰部形成工序(S111)、表面处理工序(S112)、空穴注入/输送层形成工序(S113)、发光层形成工序(S114)及对置电极形成工序(S115)而制造。还有，制造工序并不限于例示，也有根据需要去除、或添加其他工序的情况。

首先，围堰部形成工序(S111)如图12所示，在第2层间绝缘膜611b上形成无机物围堰层618a。该无机物围堰层618a通过在形成位置形成无机物膜后、利用影印技术等将该无机物膜形成图形从而形成。此时，无机物围堰层618a的一部分与像素电极613的周缘部重叠。

如果形成了无机物围堰层618a，如图13所示，在无机物围堰层618a上形成有机物围堰层618b。该有机物围堰层618b也与无机物围堰层618a同样利用影印技术等形成图形从而形成。

这样一来就形成围堰部618。另外，随之在各围堰部618间形成相对于像素电极613向上方开口的开口部619。该开口部619规定像素区域。

在表面处理工序(S112)中，执行亲液化处理及疏液化处理。实施亲液化处理的区域是无机物围堰层618a的第1层叠部618aa及像素电极613的电极面613a，这些区域通过例如以氧作为处理气体的等离子处理而使表面处理成亲液性。该等离子处理也兼执行像素电极613即ITO的清洗等。

另外，疏液化处理是对有机物围堰层618b的壁面618s及有机物围堰层618b的上面618t实施，通过例如以四氟化甲烷作为处理气体的等离子处理而使表面氟化处理(处理成疏液性)。

由于进行该表面处理工序，从而利用功能液滴喷头17形成功能层617之际，能够使功能液滴更可靠地着落在像素区域，另外，还能够防止着落于像素区域的功能液滴从开口部619溢出。

并且，经过以上工序而获得显示装置基体600A。该显示装置基体600A放置在图1所示的液滴喷头装置1的置位工作台21上，进行以下的空穴注入/输送层形成工序(S113)及发光层形成工序(S114)。

如图14所示，在空穴注入/输送层形成工序(S113)中，从功能液滴喷头17向作为像素区域的各开口部619内喷出含有空穴注入/输送层形成材料的第1组成物。其后，如图15所示，进行干燥处理及热处理，将第1组成物中含有的极性溶剂蒸发，在像素电极(电极面613a)613上形成空穴注入/输送层617a。

接下来，关于发光层形成工序(S114)进行说明。在该发光层形成工序中，如上所述，为了防止空穴注入/输送层617a的再溶解，作为发光层形成之际使用的第2组成物的溶剂，采用不溶于空穴注入/输送层617a的非极性溶剂。

可是另一方面，空穴注入/输送层617a对非极性溶剂的亲和性低，因而，即使向空穴注入/输送层617a上喷出含有非极性溶剂的第2组成物，也有可能无法将空穴注入/输送层617a和发光层617b密接、或无法均匀涂布发光层617b。

于是，为了提高空穴注入/输送层617a表面相对于非极性溶剂还有发光层形成材料的亲和性，优选是在发光层形成之前进行表面处理(表面改性处理)。该表面处理通过在空穴注入/输送层617a上涂布与发光层形成之际使用的第2组成物的非极性溶剂相同的溶剂或与此类似的溶剂、即表面改性材料，使其干燥从而进行。

通过实施这样的处理，从而使空穴注入/输送层617a表面与非极性溶剂容易亲和，能够在以后的工序中将含有发光层形成材料的第2组成物均匀地涂布在空穴注入/输送层617a上。

然后接下来，如图16所示，将含有与各色中任意一种(图16中的例中是蓝色(B))对应的发光层形成材料的第2组成物作为功能液滴，向像素区域(开口部619)内射入规定量。射入像素区域内的第2组成物在空穴注入/输送层617a上蔓延，充满开口部619内。还有，即使万一第2组成物偏离像素区域而着落在围堰部618的上面618t上，也由于该上面618t如上所述实施了疏液处理，因而第2组成物容易滚入开口部619内。

其后进行干燥工序等，从而将喷出后的第2组成物干燥处理，使第2组成物中含有的非极性溶剂蒸发，如图17所示，在空穴注入/输送层617a上形成发光层617b。该图中的情况是形成与蓝色(B)对应的发光层617b。

同样，利用功能液滴喷头17如图18所示，依次进行与上述蓝色(B)对应的发光层617b的情况同样的工序，形成与其他色(红色(R)及绿色(G))对应的发光层617b。还有，发光层617b的形成顺序并不限于例示的顺序，以哪种顺序形成均可。例如，也可以对应于发光层形成材料确定形成的顺序。另外，作为R·G·B三色的排列图形，有条纹排列、嵌镶排列及三角形排列等。

如以上那样，在像素电极613上形成功能层617、即空穴注入/输送层617a及发光层617b。然后，转移到对置电极形成工序(S115)。

在对置电极形成工序(S115)中，如图19所示，利用蒸镀法、溅射法、CVD法等在发光层617b及有机物围堰层618b的整个面形成阴极604(对置电极)。该阴极604在本实施方式中是层叠例如钙层和铝层而构成。

在该阴极604的上部适宜设计作为电极的Al膜、Ag膜和用来防止其氧化的SiO₂、SiN等保护层。

像这样形成阴极604后，通过实施利用密封构件将该阴极604上部密封的密封处理和布线处理等其他处理等，从而获得显示装置600。

接下来，图20是等离子型显示装置(PDP装置：以下只称为显示装置700)的主要部分分解立体图。还有，该图中以局部切开的状态表示显示装置700。

该显示装置700的大致构成是包括相互对置配置的第1基板701、第2基板702及在它们之间形成的放电显示部703。放电显示部703由多个放电室705构成。这些多个放电室705的配置是其中红色放电室705R、绿色放电室705G、蓝色放电室705B三个放电室705成组构成1个像素。

在第1基板701的上面以规定间隔呈条纹状形成地电极706，覆盖着该地电极706和第1基板701上面形成电介体层707。在电介体层707上位于各地电极706间且沿着各地电极706竖立设置隔壁708。该隔壁708包括如图所示向地电极706的横向两侧延伸的部分和向与地电极706正交方向延伸的没有图示的部分。

并且，由该隔壁708分隔开的区域成为放电室705。

在放电室705内配置荧光体709。荧光体709发出红(R)、绿(G)、青(B)任意一种色的荧光，分别是在红色放电室705R的底部配置红色荧光体709R，绿色放电室705G的底部配置绿色荧光体709G，在蓝色放电室705B的底部配置蓝色荧光体709B。

在第2基板702的图中下侧的面上，在与上述地电极706正交的方向上呈条纹状以规定间隔形成多个显示电极711。并且，覆盖着它们形成电介体层712及由MgO等构成的保护膜713。

第1基板701和第2基板702以地电极706和显示电极711相互正交的状态对置粘贴在一起。还有，上述地电极706和显示电极711与没有图示的交流电源连接。

并且，通过对各电极706、711通电，从而放电显示部703上的荧光体709受激发光，能够显示色彩。

本实施方式中，能够采用图1所示的液滴喷出装置1形成上述地电极706、显示电极711及荧光体709。以下，例示第1基板701上的地电极706的形成工序。

这种情况是在第1基板701放置在液滴喷出装置1的置位工作台21上的状态下进行以下工序。

首先，利用功能液滴喷头17以含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴着落在地电极形成区域上。该液体材料作为导电膜布线形成用材料，是将金属等导电性微粒子分散在分散剂中。作为该导电性微粒子采用含有金、银、铜、钯或镍等的金属微粒子和导电性聚合物等。

如果对作为补充对象的所有地电极形成区域都完成了液体材料的补充，就将喷出后的液体材料干燥处理，将液体材料中含有的分散剂蒸发，从而形成地电极706。

上述中例示了地电极706的形成，不过，关于上述显示电极711及荧光体709都能够经过上述各工序形成。

形成显示电极711的情况与地电极706的情况同样，以含有导电膜布线形成用材料的液体材料(功能液)作为功能液滴着落在显示电极形成区域。

另外，形成荧光体709的情况是从功能液滴喷头17以液滴喷出含有与各色(R、G、B)对应的荧光材料的液体材料(功能液)，着落在对应色的放电室705内。

接下来，图21是电子释放装置(也叫做FED装置或SED装置，以下只称为显示装置800)的主要部分剖视图。还有，该图中以局部为截面表示显示装置800。

该显示装置800的大致构成是包括相互对置配置的第1基板801、第2基板802及在它们之间形成的电场释放显示部803。电场释放显示部803由配置成矩阵状的多个电子释放部805构成。

在第1基板801的上面相互正交地形成构成阴极电极806的第1元件电极806a及第2元件电极806b。另外，在由第1元件电极806a及第2元件电极806b分隔开的部分形成带间隙808的导电性膜807。即，由第1元件电极806a、第2元件电极806b及导电性膜807构成多个电子释放部805。导电性膜807由例如氧化钯(PdO)等构成，另外，间隙808是在形成导电性膜807后，经发泡等形成。

在第2基板802的下面，形成与阴极电极806对峙的阳极电极809。在阳极电极809的下面形成格子状的围堰部811，在由该围堰部811包围的向下的各开口部812中与电子释放部805对应着配置荧光体813。荧光体813发出红(R)、绿(G)、青(B)任意一种色的荧光，在各开口部812上按照上述规定的图形配置红色荧光体813R、绿色荧光体813G、蓝色荧光体813B。

并且，如此构成的第1基板801和第2基板802保持微小间隙粘贴在一起。在该显示装置800中，经由导电性膜(间隙808)807，将从作为阴极的1元件电极806a或第2元件电极806b放出的电子与在作为阳极的阳极电极809上形成的荧光体813对撞而受激发光，能够显示色彩。

这种情况也与其他实施方式同样，能够采用液滴喷出装置1形成第1元件电极806a、第2元件电极806b、导电性膜807及阳极电极809，同时能够采用液滴喷出装置1形成各色的荧光体813R、813G、813B。

第1元件电极806a、第2元件电极806b及导电性膜807具有图22A所示的平面形状，将这些成膜时，如图22B所示，预留出镶入第1元件电极806a、第2元件电极806b及导电性膜807的部分，形成(光刻法)围堰部BB。接下来，在由围堰部BB构成的槽部分形成(利用液滴喷出装置1进行的喷墨法)第1元件电极806a及第2元件电极806b，将其溶剂干燥进行成膜，之后，形成(利用液滴喷出装置1进行的喷墨法)导电性膜807。然后，在形成导电性膜807后，除掉(蚀刻剥离处理)围堰部BB。转移到上述的发泡处理。还有，与上述有机EL装置的情况同样，优选是进行相对第1基板801及第2基板802的亲液化处理和相对围堰部811、BB的疏液化处理。

另外，作为其他电光学装置考虑形成金属布线、形成透镜、形成保护膜及形成光扩散体等的装置。由于将上述液滴喷头装置1用于各种电光学装置(设备)的制造，从而能够有效地制造各种电光学装置。

Claims (13)

1.一种功能液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于，包括：

初期填充工序，经由功能液流路从功能液箱向喷墨方式的功能液滴喷头导入功能液，对所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路进行功能液的初期填充；

清洗液通液工序，在所述初期填充工序之前，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路中输通清洗液。

2.根据权利要求1所述的功能液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于，

所述清洗液通液工序中，作为所述清洗液采用所述功能液的溶剂。

3.根据权利要求1所述的功能液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于，

所述清洗液通液工序中，作为所述清洗液采用含有界面活性剂的溶液。

4.根据权利要求1所述的功能液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于，

所述清洗液通液工序中，作为所述清洗液采用所述功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液，

在输通所述溶剂之后，输通所述溶液。

5.根据权利要求1所述的功能液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于，

所述清洗液通液工序中，作为所述清洗液采用所述功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液，

在输通所述溶剂之后，输通所述溶液，再次输通所述溶剂。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的功能液滴喷头的功能液填充方法，其特征在于，

所述初期填充工序中，在将所述功能液流路连接到所述功能液箱的状态下，从所述功能液滴喷头的喷嘴吸引功能液，从而进行所述初期填充，

所述清洗液通液工序中，在将所述功能液流路从所述功能液箱切换连接到清洗液箱的状态下，从所述功能液滴喷头的喷嘴吸引清洗液，从而进行所述输通。

7.一种功能液供给装置，其特征在于，包括：

向喷墨方式的功能液滴喷头供给功能液的功能液箱；

向所述功能液滴喷头供给清洗液的清洗液箱；

连接所述功能液箱及所述清洗液箱和所述功能液滴喷头的所述功能液流路；

将所述功能液流路的上游端在所述功能液箱和所述清洗液箱之间切换流路的流路切换装置；

脱离连接自如地密接在所述功能液滴喷头的喷嘴面上并分别吸引所述功能液及所述清洗液的吸引装置；和

控制所述流路切换装置及所述吸引装置的控制装置，

所述控制装置在初期填充动作之前执行清洗液通液动作，

所述初期填充动作是将所述功能液流路切换到所述功能液箱侧并且驱动所述吸引装置，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路填充功能液，

所述清洗液通液动作是将所述功能液流路切换到所述清洗液箱侧并且驱动所述吸引装置，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路输通清洗液。

8.根据权利要求7所述的功能液供给装置，其特征在于，

所述清洗液为所述功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液的任意一种。

9.根据权利要求7所述的功能液供给装置，其特征在于，

所述清洗液为所述功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液，

所述清洗液箱包括贮存所述溶剂的溶剂箱和贮存所述溶液的溶液箱，

所述流路切换装置能够在所述功能液箱、所述溶剂箱和所述溶液箱相互间切换流路，

所述控制装置在清洗液通液动作中，在溶剂通液动作之后执行溶液通液动作，

所述溶剂通液动作是将所述功能液流路切换到所述溶剂箱侧并且驱动所述吸引装置，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路输通所述溶剂，

所述溶液通液动作是将所述功能液流路切换到所述溶液箱侧并且驱动所述吸引装置，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路输通所述溶液。

10.根据权利要求7所述的功能液供给装置，其特征在于，

所述清洗液为所述功能液的溶剂及含有界面活性剂的溶液，

所述清洗液箱包括贮存所述溶剂的溶剂箱和贮存所述溶液的溶液箱，

所述流路切换装置能够在所述功能液箱、所述溶剂箱和所述溶液箱相互间切换流路，

所述控制装置在清洗液通液动作中，在溶剂通液动作之后执行溶液通液动作，然后再次执行所述溶剂通液动作，

所述溶剂通液动作是将所述功能液流路切换到所述溶剂箱侧并且驱动所述吸引装置，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路输通所述溶剂，

所述溶液通液动作是将所述功能液流路切换到所述溶液箱侧并且驱动所述吸引装置，向所述功能液流路及所述功能液滴喷头的喷头内流路输通所述溶液。

11.一种液滴喷出装置，其特征在于，

具备权利要求7～10中任意一项所述的功能液供给装置和在使所述功能液滴喷头相对于工件相对移动的同时使其喷出功能液滴的描绘装置。

12.一种电光学装置的制造方法，其特征在于，

使用权利要求11所述的液滴喷出装置在所述工件上形成基于功能液滴的成膜部。

13.一种电光学装置，其特征在于，

使用权利要求11所述的液滴喷出装置在所述工件上形成有基于功能液滴的成膜部。

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