CN101396831A - 工业用机器人 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种即使采用机械结构来把持搬运对象物也能实现小型化的工业用机器人。机器人(1)具有：手部(3、4)、以及包括保持手部的手部保持臂(7)在内的多关节臂部(5)。手部(3、4)具有：与晶片(2)抵接来把持晶片的把持部(42、52)、以及朝着把持晶片的方向对把持部施力的施力部件，手部保持臂(7)具有随着多关节臂部(5)的伸缩动作而相对于手部(3、4)相对转动的凸轮部件。在凸轮部件的内周侧形成有与把持部(42、52)抵接的凸轮面，该凸轮面形成为：将晶片从收纳部中搬出之前使把持部(42、52)从晶片退避，且随着将晶片从收纳部中搬出时多关节臂部(5)的伸缩动作而使把持部(42、52)朝着把持晶片的方向移动。

Description

工业用机器人

技术领域

本发明涉及一种搬运规定搬运对象物的工业用机器人。

背景技术

一直以来，将搬运对象物从收纳搬运对象物的收纳部搬出并将搬运对象物朝着收纳部搬入的工业用机器人得到了广泛利用。作为这种工业用机器人，已知有一种将作为搬运对象物的半导体晶片从作为收纳部的真空室搬出并将半导体晶片朝着真空室搬入的工业用机器人(例如参照专利文献1)。

在专利文献1中记载的工业用机器人组装在半导体设备的制造系统中使用，该工业用机器人将半导体晶片从加载锁定室(真空室，半导体晶片被从外部搬入其中)搬出，并将半导体晶片朝着用于对半导体晶片进行规定处理的处理室(真空室)搬入。另外，该工业用机器人也配置于在周围配置有加载锁定室和处理室的传送室(真空室)之中。

近年来，为了提高生产效率，要求工业用机器人搬运半导体晶片的速度高速化。另一方面，为了在搬运速度高速化时半导体晶片在供半导体晶片载放的手部上不产生错位，需要在手部上可靠地把持半导体晶片。对此，在大气中使用的工业用机器人广泛采用了通过真空吸附来把持半导体晶片的方法，但配置在真空室内的工业用机器人则无法通过真空吸附来把持半导体晶片。因此，在专利文献1中，作为用于响应搬运速度高速化要求的技术方案，提出了一种在手部上把持半导体晶片的机械式夹持机构。

在专利文献1中提出的夹持机构由安装在手部上并与半导体晶片抵接的杠杆机构以及安装在将手部可转动地保持的臂上并使杠杆机构动作的动作部件构成。另外，动作部件配置在偏离手部的转动中心的位置上。

专利文献1：日本专利特开2000—308988号公报

然而，在专利文献1所记载的夹持机构中，由于动作部件配置在偏离手部的转动中心的位置上，因此夹持机构在径向上大型化。因此，专利文献1所记载的工业用机器人很难在径向上使臂与手部之间的连结部分小型化，从而导致工业用机器人也很难实现小型化。

发明内容

因此，本发明的课题在于提供一种即使采用机械结构来把持搬运对象物也能实现小型化的工业用机器人。

为了解决上述技术问题，本发明的对搬运对象物进行搬运的工业用机器人，其特征在于，包括：装设搬运对象物的手部；具有包括将手部可转动地保持在前端侧的手部保持臂在内的两个以上的臂、在对搬运对象物进行搬运时伸缩的多关节臂部；以及将多关节臂部可转动地保持的本体部，手部包括装设部，该装设部具有：与搬运对象物抵接来把持搬运对象物的把持部、以及对把持部朝着把持搬运对象物的方向施力的施力部件，手部保持臂包括凸轮部件，该凸轮部件形成有与把持部抵接的凸轮面，并随着多关节臂部的伸缩动作以手部相对于手部保持臂的转动中心为中心相对于手部相对转动，凸轮面如下形成：在对搬运对象物进行搬运之前使把持部从搬运对象物退避，在对搬运对象物进行搬运时随着多关节臂部的伸缩动作使把持部朝着把持搬运对象物的方向移动。

在本发明的工业用机器人中，在对搬运对象物进行搬运之前使把持部从搬运对象物退避并在对搬运对象物进行搬运时随着多关节臂部的伸缩动作使把持部朝着把持搬运对象物的方向移动的凸轮面形成在以手部相对于手部保持臂的转动中心为中心相对于手部相对转动的凸轮部件上。即，在本发明的工业用机器人中，在凸轮部件上形成有凸轮面，因此，即使是采用机械结构来把持搬运对象物，也能使手部保持臂与手部之间的连结部分在径向上小型化。其结果是，本发明可使工业用机器人小型化。

在本发明中，最好手部包括作为把持部的、在手部的两端侧分别把持搬运对象物用的第一把持部和第二把持部，凸轮面包括：与第一把持部抵接的第一凸轮面、以及与第二把持部抵接的第二凸轮面。若这样构成，则即使手部包括在手部的两端侧分别把持搬运对象物用的第一把持部和第二把持部两个把持部，也能使手部保持臂与手部之间的连结部分在径向上小型化。另外，还可利用第一凸轮面和第二凸轮面使第一把持部和第二把持部独立地动作。

在本发明中，工业用机器人最好包括作为手部的、以相对于手部保持臂的转动中心相同的形态上下配置且彼此可相对转动的第一手部和第二手部。若这样构成，则可使用两个手部来使搬运对象物出入，因此，可缩短使搬运对象物出入时的作业时间。另外，若这样构成，则即使工业用机器人包括第一手部和第二手部两个手部，也能使第一手部及第二手部与手部保持臂之间的连结部分在径向上小型化。

在本发明中，手部保持臂最好包括作为凸轮部件的与第一手部的把持部抵接的第一凸轮部件以及与第二手部的把持部抵接的第二凸轮部件。若这样构成，则可利用第一凸轮部件和第二凸轮部件使第一手部的把持部和第二手部的把持部独立地动作。

在本发明中，把持部最好在所述手部的转动中心部具有与所述凸轮面抵接的凸轮面抵接部。若这样构成，则可在所述手部的转动中心部利用所述凸轮面容易地控制把持部的位置。另外，这种情况下若用可转动的凸轮面抵接滚筒来构成凸轮面抵接部，则可减小凸轮部件相对于手部相对转动时凸轮面与把持部之间的接触阻力。

在本发明中，最好装设部包括供搬运对象物载放的载放部件，把持部配置在作为转动中心侧的、载放部件的基端侧。另外，载放部件最好在前端侧具有与搬运对象物的端部抵接的抵接部。若这样构成，则可将装设部作为基座来构成所述把持部。另外，在将搬运对象物从收纳部中搬出时的多关节臂部的伸缩动作开始之际，即使把持部未把持搬运对象物，在伸缩动作开始时搬运对象物的端部也会与抵接部抵接，因此，可抑制搬运对象物的错位。另外，在将搬运对象物朝着收纳部搬入时的多关节臂部的伸缩动作结束之前，即使把持部未把持搬运对象物，在伸缩动作结束之前搬运对象物的端部也会与抵接部抵接，因此，可抑制搬运对象物的错位。

在本发明中，把持部最好具有与搬运对象物抵接的搬运对象物抵接部。若这样构成，则可容易地与载放在载放部件上的搬运对象物抵接并将其把持。另外，这种情况下若用与搬运对象物抵接并可转动的搬运对象物抵接滚筒来构成搬运对象物抵接部，则在把持部与搬运对象物抵接时即使搬运对象物在手部上产生了错位，也可在不损伤搬运对象物的情况下将搬运对象物朝着规定位置适当地引导。

在本发明中，把持部最好朝着把持搬运对象物的把持方向和从搬运对象物退避的退避方向直线状移动。若这样构成，则可使把持部的配置空间变窄，可实现手部的小型化、薄型化。这种情况下，对于进行直线状移动而言，最好以将所述手部可转动地保持的手部保持臂的转动中心为中心来形成所述凸轮部件的所述凸轮面，并使所述把持部具有与所述凸轮面抵接的凸轮面抵接部。另外，最好所述凸轮面形成为：随着所述多关节臂部的伸缩动作、所述手部相对于所述手部保持臂转动的动作，在搬运所述搬运对象物之前，使所述把持部从所述搬运对象物退避，而且，所述凸轮面形成为：在所述多关节臂部为了搬运所述搬运对象物而进行了伸缩动作时，通过所述手部相对于所述手部保持臂转动，使所述把持部朝着把持所述搬运对象物的方向移动。

在本发明中，把持部最好包括被朝着把持方向和退避方向直线状引导的至少两个轴部件。若这样构成，则可利用两个轴部件来防止把持部以把持部的移动方向为轴中心进行旋转。

如上所述，本发明的工业用机器人即使采用机械结构来把持搬运对象物也能实现小型化。

附图说明

图1是表示本发明实施形态的工业用机器人的侧视图。

图2是表示图1所示的工业用机器人的第一手部和第二手部合拢后的状态的俯视图，图2(A)表示的是多关节臂部伸展后的状态，图2(B)表示的多关节臂部收缩后的状态。

图3是表示图1所示的工业用机器人的第一手部和第二手部张开后的状态的俯视图，图3(A)表示的是多关节臂部伸展后的状态，图3(B)表示的多关节臂部收缩后的状态。

图4是表示组装有图1所示的工业用机器人的半导体制造系统的概略结构的俯视图。

图5是用于对图1所示的多关节臂部和本体部内的动力的传递机构进行说明的概略剖视图。

图6(A)是图1所示的第一手部的俯视图，图6(B)是图1所示的第二手部的俯视图。

图7是用于从侧面对图6(A)的F部的结构进行说明的剖视图。

图8是用于从侧面对图6(A)的G部的结构进行说明的剖视图。

图9是表示图6(A)所示的第一把持部的图，图9(A)是俯视图，图9(B)是图9(A)的H-H截面的剖视图。

图10是表示图6(B)所示的第一把持部的图，图10(A)是俯视图，图10(B)是图10(A)的J-J截面的剖视图。

图11是用于对图1所示的第一手部及第二手部与第二臂之间的连结部分进行说明的剖视图。

图12是用于对图11所示的第一凸轮部件及第二凸轮部件与滚筒之间的位置关系进行说明的图。

图13是用于对图6所示的第一把持部的动作进行说明的图，图13(A)表示的是第一把持部从晶片退避后的状态，图13(B)表示的是第一把持部与晶片抵接并把持着晶片的状态。

(符号说明)

1 机器人(工业用机器人)

2 晶片(搬运对象物)

3 第一手部(手部)

4 第二手部(手部)

5 多关节臂部

6 本体部

7 第二臂(手部保持臂)

8 第一臂(臂)

10 交接室(收纳部)

11 处理室(收纳部)

38、58 第一装设部(装设部)

39、59 第二装设部(装设部)

41 载放部件

41a 抵接部

42、62 第一把持部(把持部)

43 压缩螺旋弹簧(施力部件)

44 滚筒(搬运对象物抵接滚筒)

46、56、66、76 滚筒(凸轮面抵接滚筒)

48、68 轴部件

52、72 第二把持部(把持部)

83 第一凸轮部件(凸轮部件)

83a、84a 凸轮面

83k、84k 第一凸轮面

83m、84m 第二凸轮面

84 第二凸轮部件(凸轮部件)

C 转动中心

具体实施方式

下面参照附图对本发明的实施形态进行说明。

(工业用机器人的概略结构)

图1是表示本发明实施形态的工业用机器人1的侧视图。图2是表示图1所示的工业用机器人1的第一手部3和第二手部4合拢后的状态的俯视图，图2(A)表示的是多关节臂部5伸展后的状态，图2(B)表示的多关节臂部5收缩后的状态。图3是表示图1所示的工业用机器人1的第一手部3和第二手部4张开后的状态的俯视图，图3(A)表示的是多关节臂部5伸展后的状态，图3(B)表示的多关节臂部5收缩后的状态。图4是表示组装有图1所示的工业用机器人1的半导体制造系统9的概略结构的俯视图。图5是用于对图1所示的多关节臂部5和本体部6内的动力的传递机构进行说明的概略剖视图。另外，图5表示的是从图2(A)的E-E方向看到的多关节臂部5等的概略截面。

本实施形态的工业用机器人1(下面称作“机器人1”)是用于搬运作为搬运对象物的薄圆盘状半导体晶片2(下面称作“晶片2”)的机器人。如图1～图3所示，该机器人1包括：装设晶片2的第一手部3和第二手部4两个手部、将第一手部3和第二手部4可转动地保持并在搬运晶片2时进行伸缩的多关节臂部5、以及将多关节臂部5可转动地保持的本体部6。本实施形态的多关节臂部5由第二臂7和第一臂8两个臂构成。另外，下面在统一表示第一手部3和第二手部4时，将第一手部3和第二手部4记作“手部3、4”。

本实施形态的机器人1例如组装在如图4所示的半导体制造系统9中进行使用。具体而言，机器人1组装到包括在半导体制造系统9与外部装置(未图示)之间进行晶片2的交接的交接室10、对晶片2进行规定处理的处理室11以及供机器人1配置的传送室12的半导体制造系统9中进行使用。

如图4所示，在半导体制造系统9中，传送室12形成为大致长方体形状。在传送室12的一个侧面例如相邻地配置有两个交接室10，在传送室12的另外三个侧面例如分别相邻地配置有两个处理室11。在相邻的交接室10之间以及处理室11之间形成有分隔壁13。另外，在交接室10或处理室11与传送室12之间配置有供晶片2出入的闸门(未图示)。

配置在传送室12内的机器人1将晶片2从交接室10或处理室11搬出，并将晶片2朝着交接室10或处理室11搬入。即，多关节臂部5通过伸缩来使晶片2出入交接室10和处理室11。具体而言，在搬入晶片2时，收缩着的多关节臂部5伸展，第一手部3和第二手部4穿过闸门，进入交接室10或处理室11的内部。另外，在搬出晶片2时，进入交接室10或处理室11内部的伸展的多关节臂部5收缩，第一手部3和第二手部4穿过闸门，返回传送室12中。在本实施形态中，交接室10和处理室11是收纳作为搬运对象物的晶片2的收纳部。

在本实施形态中，在第一手部3和第二手部4如后所述地合拢的状态(图2所示的状态)下，多关节臂部5伸缩，使晶片2出入交接室10。在第一手部3和第二手部4如后所述地张开的状态(图3所示的状态)下，多关节臂部5伸缩，使晶片2出入处理室11。另外，在处理晶片2时，使交接室10、处理室11和传送室12均成为真空状态。即，本实施形态的机器人1在真空状态下使用。

如图1～图3，第一手部3的大致中心部与第二臂7的前端侧可转动地连结。第二手部4的大致中心部也与第二臂7的前端侧可转动地连结。具体而言，第一手部3的大致中心部和第二手部4的大致中心部与第二臂7的前端侧连结，以使第一手部3相对于第二臂7的转动中心和第二手部4相对于第二臂7的转动中心成为相同的转动中心C。

另外，第一手部3和第二手部4相对于第二臂7可彼此地相对转动。即，第一手部3和第二手部4相对于第二臂7可独立转动。因此，本实施形态的第一手部3和第二手部4或者成为图2所示的在上下方向上重叠的状态(合拢的状态)，或者如图3所示不在上下方向上重叠，而是成为以大致X状配置的状态(张开状态)。在本实施形态中，图3所示的状态是第一手部3和第二手部4最为张开的状态，机器人1在第一手部3和第二手部4所形成的角度为图3所示的角度θ以下的状态下使用。

第二臂7的基端侧与第一臂8的前端侧可转动地连结。第一臂8的基端侧与本体部6可转动地连结。另外，在上下方向上，第一手部3、第二手部4、第二臂7、第一臂8和本体部6从上侧起依次配置。在本实施形态中，第二臂7是将第一手部3和第二手部4可转动地保持在前端侧的手部保持臂。

本体部6的外形形成为大致圆柱状。如图5所示，该本体部6包括：配置在径向的中心部的第一中空转轴15、以覆盖第一中空转轴15的外周面的形态与第一中空转轴15同心状配置的第二中空转轴16、以覆盖第二中空转轴16的外周面的形态与第一中空转轴15同心状配置的第三中空转轴17、以及以覆盖第三中空转轴17的外周面的形态与第一中空转轴15同心状配置的第四中空转轴18。第一中空转轴15～第四中空转轴18彼此可相对转动，本体部6包括用于使第一中空转轴15～第四中空转轴18分别独立转动的四个驱动电动机(未图示)。

如图5所示，第一臂8和第二臂7形成为具有中空部的大致中空状。

第一中空转轴15的上端与第一臂8的基端侧的上表面部分固定。在第二中空转轴16～第四中空转轴18的上端侧分别固定有带轮19、20、21。

在第一臂8基端侧的内部配置有第一中空转轴15～第四中空转轴18的上端侧，并从上侧起依次配置有带轮19～21。另外，在第一臂8前端侧的内部固定有固定轴22。在固定轴22上从上侧起依次套设有三个带轮23、24、25，带轮23～25以固定轴22为转动中心可转动地支撑在固定轴22上。带轮23～25彼此可相对转动。

带轮23固定在第二臂7基端侧的底面上。带轮23的带轮部(供皮带架设的部分)23a配置在第一臂8前端侧的内部。带轮24包括配置在第一臂8前端侧内部的第一带轮部24a和配置在第二臂7基端侧内部的第二带轮部24b。带轮25也一样，包括配置在第一臂8前端侧内部的第一带轮部25a和配置在第二臂7基端侧内部的第二带轮部25b。

在带轮19与带轮23(带轮部23a)之间架设有皮带27。另外，在带轮20与第一带轮部24a之间架设有皮带28，在带轮21与第二带轮部25a之间架设有皮带29。

在第二臂7基端侧的内部，第二带轮部25b、24b从上侧起依次配置。另外，在第二臂7前端侧的内部固定有固定轴30。在固定轴30上套设有两个带轮31、32，带轮31、32以固定轴30为转动中心可转动地支撑在固定轴30上。带轮31、32彼此可相对转动。

带轮31固定在第二手部4的大致中心部的底面上。带轮31的带轮部31a配置在第二臂7前端侧的内部。带轮32固定在第一手部3的大致中心部的底面上。带轮32的带轮部32a配置在第二臂7前端侧的内部。具体而言，带轮部32a配置在带轮部31a的下侧。在第二带轮部25b与带轮31之间架设有皮带33。在第二带轮部24b与带轮32之间架设有皮带34。

第一手部3及第二手部4的详细结构以及第一手部3及第二手部4与第二臂7之间的连结部分的详细结构在后面进行说明。

在本实施形态中，当第一中空转轴15、第三中空转轴17和第四中空转轴18在第二中空转轴16停止的状态下转动时，多关节臂部5在第一手部3与第二手部4之间的相对位置不变化的情况下伸缩。即，当第一中空转轴15的驱动电动机、第三中空转轴17的驱动电动机和第四中空转轴18的驱动电动机在第二中空转轴16的驱动电动机停止的状态下驱动时，多关节臂部5在第一手部3与第二手部4之间的相对位置不变化的情况下进行伸缩动作。

当第一中空转轴15～第四中空转轴18转动时，多关节臂部5在第一手部3与第二手部4之间的相对位置不变化且多关节臂部5不伸缩的情况下相对于本体部6旋转。即，当第一中空转轴15～第四中空转轴18各自的驱动电动机驱动时，多关节臂部5在第一手部3与第二手部4之间的相对位置不变化的情况下相对于本体部6进行旋转动作。

当第三中空转轴17和第四中空转轴18在第一中空转轴15和第二中空转轴16停止的状态下转动时，第一手部3和第二手部4在多关节臂部5不伸缩也不旋转的情况下相对于多关节臂部5旋转。即，当第三中空转轴17的驱动电动机和第四中空转轴18的驱动电动机在第一中空转轴15及第二中空转轴16的驱动电动机停止的状态下驱动时，第一手部3和第二手部4在多关节臂部5不伸缩也不旋转的情况下相对于多关节臂部5进行旋转动作。

另外，当第三中空转轴17和第四中空转轴18在第一中空转轴15和第二中空转轴16停止的状态下转动时，第一手部3和第二手部4在多关节臂部5不伸缩也不旋转的情况下合拢(在上下方向上重叠)或张开(在上下方向上不重叠，配置成大致X状)。即，当第三中空转轴17的驱动电动机和第四中空转轴18在第一中空转轴15及第二中空转轴16的驱动电动机停止的状态下转动时，第一手部3和第二手部4在多关节臂部5不伸缩也不旋转的情况下进行开合动作。

在本实施形态中，第一中空转轴15和固定轴22的中心间距与固定轴22和固定轴30的中心间距相等。另外，在本实施形态中，带轮20～21、23、31、32的直径、第一带轮部24a、25a的直径以及第二带轮部24b、25b的直径相同。带轮19的直径是带轮20等的直径的两倍。

因此，当多关节臂部5进行伸缩动作时，第一手部3及第二手部4与第二臂7之间的角度以及第二臂7与第一臂8之间的角度虽产生变化，但第一手部3和第二手部4在连结第一中空转轴15的中心(即本体部6的中心)与固定轴30的中心(即第一手部3及第二手部4的转动中心C)的假想直线上以一定的朝向进行移动。即，本实施形态的机器人1是多关节臂部5伸缩时第一手部3和第二手部4以朝向一定方向的状态辐射状移动的所谓的圆筒形机器人。

图2(A)和图3(A)表示的是多关节臂部5最为伸展的状态，在此状态下，开始将晶片2从交接室10或处理室11中搬出。图2(B)和图3(B)表示的是多关节臂部5最为收缩的状态，在此状态下，开始将晶片2朝着交接室10或处理室11搬入。

(第一手部及第二手部的结构)

图6(A)是图1所示的第一手部3的俯视图，图6(B)是图1所示的第二手部4的俯视图。图7是用于从侧面对图6(A)的F部的结构进行说明的剖视图。图8是用于从侧面对图6(A)的G部的结构进行说明的剖视图。图9是表示图6(A)所示的第一把持部42的图，图9(A)是俯视图，图9(B)是图9(A)的H-H截面的剖视图。图10是表示图6(B)所示的第一把持部62的图，图10(A)是俯视图，图10(B)是图10(A)的J-J截面的剖视图。另外，在对第一手部3和第二手部4的结构进行的说明中，为了方便，将图6(A)的X方向设为前后方向，将图6(A)的Y方向设为左右方向。

如图6(A)等所示，第一手部3包括：在前后方向的两端侧分别用于装设晶片2的作为装设部的第一装设部38和第二装设部39、以及供第一装设部38和第二装设部39固定的基座部件40。如图6(A)所示，该第一手部3相对于从上下方向看时的第一手部3的中心成大致点对称。

第一装设部38包括：用于载放晶片2的载放部件41、与晶片2的端部抵接来把持晶片2的第一把持部42、朝着把持晶片2的方向对第一把持部42施力的作为施力部件的压缩螺旋弹簧43(参照图9)。

载放部件41是薄板状的部件，例如由陶瓷形成。载放部件41形成为朝着朝着前后方向的外侧(前端侧)开口的大致U形形状。载放部件41的基端侧与基座部件40的端部固定。

在载放部件41的前端侧形成有与晶片2的端部抵接的抵接部41a。具体而言，如图7所示，抵接部41a由在载放部件41的前端形成并具有与晶片2的端部抵接的铅垂面41b的突起部41c以及与晶片2端部的下端抵接的倾斜面41d构成。抵接部41a以沿着晶片2外周的形态形成为大致圆弧状。

倾斜面41d从铅垂面41b的下端朝着载放部件41的基端侧形成，并形成为朝着基端侧缓缓下降。如后所述，铅垂面41b起到与第一把持部42一起把持晶片2的功能。另外，如后所述，铅垂面41b还起到搬出、搬入晶片2时抑制晶片2错位的功能。

另外，在载放部件41的基端侧还形成有与晶片2端部的下端抵接的倾斜面41e。具体如图8所示，倾斜面41e形成为朝着前端侧缓缓下降。倾斜面41e以沿着晶片2外周的形态形成为大致圆弧状。

第一把持部42配置在载放部件41的基端侧。具体而言，第一把持部42安装在基座部件40上表面侧的、基座部件40的前后方向上的大致一半的范围内。第一把持部42配置在第一手部3的左右方向的大致中心位置上。

如图9所示，该第一把持部42包括：作为搬运对象物抵接部的、与晶片2抵接并可转动的两个搬运对象物抵接滚筒44；将两个滚筒44可转动地保持的大致块状的保持部件45；作为凸轮面抵接部件的、与后述的第一凸轮部件83的第一凸轮面83k抵接并可转动的凸轮面抵接滚筒46；将滚筒46可转动地保持的大致块状的保持部件47；以及在前后方向上引导滚筒44、46和保持部件45、47的两个轴部件48。保持部件45固定在两个轴部件48的一端侧(前端侧)，保持部件47固定在两个轴部件48的另一端侧(基端侧)。搬运对象物抵接滚筒44和凸轮面抵接滚筒46最好是滚筒以减少抵接摩擦，但如果抵接摩擦不会变得很大，则也可不使用滚筒而采用直接抵接的结构。

两个滚筒44以在左右方向上空开规定间隔的状态可转动地安装在保持部件45的前端侧。另外，滚筒44以比保持部件45的前端稍微向前端侧突出的形态安装在保持部件45上，以可与晶片2抵接。

如图9(B)所示，保持部件47配置在后述的贯穿孔40a中，该贯穿孔40a形成在基座部件40的中心侧。另外，滚筒46以比基座部件40的底面更向下方突出的形态可转动地安装在保持部件47上。

轴部件48形成为细长的圆柱状。在该轴部件48上固定有与压缩螺旋弹簧43的一端(图9中的左端)抵接的弹簧抵接部件49。具体而言，一个弹簧抵接部件49固定在两个轴部件48上。

两个轴部件48以在左右方向上空开规定间隔的状态被固定于基座部件40上表面的滑动轴承50保持。具体而言，在以沿前后方向空开规定间隔的状态配置的三个滑动轴承50上保持着各个轴部件48。在本实施形态中，两个轴部件48被滑动轴承50沿着前后方向直线状地引导。即，两个轴部件48被滑动轴承50朝着把持晶片2的把持方向(图9中的左方向)和从晶片2退避的退避方向(图9中的右方向)直线状引导。因此，本实施形态的第一把持部42朝着把持方向或退避方向直线状移动。

轴部件48插通在压缩螺旋弹簧43的内周侧。弹簧抵接部件49配置在以沿前后方向空开规定间隔的状态配置的滑动轴承50之间，压缩螺旋弹簧43的另一端(图9中的右端)与滑动轴承50抵接。因此，轴部件48被压缩螺旋弹簧43朝着把持晶片2的方向施力。即，第一把持部42被压缩螺旋弹簧43朝着把持晶片2的方向施力。另外，滚筒46因压缩螺旋弹簧43的施力而与后述的第一凸轮面83k以规定的抵接力抵接。上述压缩螺旋弹簧43虽朝着把持晶片2的方向施力，但也可利用上述压缩螺旋弹簧43朝着从晶片2离开的方向对滚筒46施力，利用第一凸轮面83k朝着把持晶片2的方向移动。

如上所述，第一手部3相对于从上下方向看时的第一手部3的中心成大致点对称。即，第二装设部39与第一装设部38结构相同，相对于基座部件40的前后方向上的中心与第一装设部38对称地配置。因此，在此省略第二装设部39的详细说明。

第二装设部39包括与第一把持部42结构相同的第二把持部52。该第二把持部52包括作为凸轮面抵接部的、相当于上述滚筒46并与后述的第一凸轮部件83的第二凸轮面83m抵接的可转动的凸轮面抵接滚筒56(参照图11)。在图6(A)等中，对第二装设部39的结构、即与上述结构相同的结构标记了与上述结构相同的符号。

基座部件40形成为将前后方向作为长度方向的大致矩形的板状。如图9(B)所示，在该基座部件40的中心侧以沿上下方向贯穿的形态形成有供保持部件47配置的贯穿孔40a。

如图6(B)等所示，第二手部4包括：在前后方向的两端侧分别用于装设晶片2的第一装设部58和第二装设部59、以及供第一装设部58和第二装设部59固定的基座部件60。该第二手部4与第一手部3一样，相对于从上下方向看时的第二手部4的中心成大致点对称。另外，在本实施形态中，第一手部3的前后方向上的长度与第二手部4的前后方向上的长度相等。

第一装设部58与上述第一装设部38结构大致相同。具体而言，第一装设部58包括上述载放部件41和压缩螺旋弹簧43，并包括与第一把持部42结构大致相同的第一把持部62。

如图10所示，第一把持部62除了包括代替上述滚筒46的作为凸轮面抵接滚筒的滚筒66这点以及两个轴部件68比轴部件48短这点外，与第一把持部42结构相同，滚筒66作为凸轮面抵接部，与后述的第二凸轮部件84的第一凸轮面84k抵接并可转动。因此，在此省略第一把持部62的详细说明。另外，在图6(B)、图10等中，对第一装设部58的结构、即与上述结构相同的结构标记了与上述结构相同的符号。

如上所述，第二手部4相对于从上下方向看时的第二手部4的中心成大致点对称。即，第二装设部59与第一装设部58结构相同，相对于基座部件60的前后方向上的中心与第一装设部58对称地配置。因此，在此也省略第二装设部59的详细说明。

第二装设部59包括与第一把持部62结构相同的第二把持部72。该第二把持部72包括作为凸轮面抵接部的、相当于上述滚筒66并与后述的第二凸轮部件84的第二凸轮面84m抵接的可转动的凸轮面抵接滚筒76(参照图11)。另外，在图6(B)等中，对第二装设部59的结构、即与上述结构相同的结构标记了与上述结构相同的符号。

如上所述，轴部件68比轴部件48短，滚筒66、76相对于滚筒46、56配置在前后方向上的外侧。即，如图6所示，保持滚筒66、76的保持部件47相对于保持滚筒46、56的保持部件47配置在前后方向上的外侧。

基座部件60形成为将前后方向作为长度方向的大致矩形的板状。如图10(B)所示，在该基座部件60的中心侧以沿上下方向贯穿的形态形成有供保持部件47配置的贯穿孔60a。如上所述，由于保持滚筒66、76的保持部件47相对于保持滚筒46、56的保持部件47配置在前后方向上的外侧，因此贯穿孔60a相对于贯穿孔40a形成在前后方向上的外侧(参照图11)。

另外，如后所述，在基座部件60的中心以沿上下方向贯穿的形态形成有供带轮32的上端部分等进行配置的贯穿孔60b。具体而言，半径比第一手部3的转动中心C至贯穿孔40a的形成部分的距离大的圆形贯穿孔60b形成在基座部件60的中心。

(第一手部及第二手部与第二臂之间的连结部分的结构)

图11是用于对图1所示的第一手部3及第二手部4与第二臂7之间的连结部分进行说明的剖视图。图12是用于对图11所示的第一凸轮部件83及第二凸轮部件84与滚筒46、56、66、76之间的位置关系进行说明的图。图13是用于对图6所示的第一把持部42的动作进行说明的图，图13(A)表示的是第一把持部42从晶片2退避后的状态，图13(B)表示的是第一把持部42与晶片2抵接并把持着晶片2的状态。另外，图11表示的是与图2的K-K截面相应的截面。

如上所述，带轮31固定在第二手部4的大致中心部的底面上，带轮32固定在第一手部3的大致中心部的底面上。具体而言，如图11所示，带轮31固定在基座部件60的贯穿孔60b的周缘上，带轮32固定在基座部件40的贯穿孔40a的周缘上。

如上所述，带轮31、32可转动地支撑在固定轴30上。具体而言，如图11所示，带轮32通过轴承80可转动地支撑在固定轴30上。带轮31配置在带轮32的外周侧，通过配置在带轮31与带轮32之间的轴承81、带轮32和轴承80可转动地支撑在固定轴30上。

如图11、图12所示，第二臂7包括：内周侧形成有与滚筒46、56抵接的凸轮面83a的大致环状的第一凸轮部件83；以及内周侧形成有与滚筒66、76抵接的凸轮面84a的大致环状的第二凸轮部件84。如图12所示，第二凸轮部件84的内径侧形成得比第一凸轮部件83的外径大。下面在统一表示第一凸轮部件83和第二凸轮部件84时，将第一凸轮部件83和第二凸轮部件84记作“凸轮部件83、84”。在本实施形态中，由于滚筒46、56等被朝着外侧施力，因此凸轮面83a形成在第一凸轮部件83的内周侧，但若对滚筒46、56等朝着固定轴30的中心方向施力，则可将凸轮面83a形成在第一凸轮部件83的外周面上。

第一凸轮部件83以被规定的保持部件保持的状态固定在固定轴30的上端。具体而言，第一凸轮部件83以使固定轴30的轴中心(即转动中心C)与第一凸轮部件83的径向中心大致对齐的形态固定在固定轴30的上端。因此，当多关节臂部5进行伸缩动作时，第一凸轮部件83以转动中心C为中心相对于第一手部3相对转动。因此，在第一凸轮部件83的内周侧形成的凸轮面83a形成为：在第一手部3随着多关节臂部5的伸缩动作而相对于第二臂7转动的动作下，在搬运搬运对象物之前，使第一把持部42从所述搬运对象物退避，同时，凸轮面83a形成为：当多关节臂部5为了搬运搬运对象物而进行了伸缩动作时，通过第一手部3相对于第二臂7转动，使第一把持部42朝着把持搬运对象物的方向移动。第一凸轮部件83配置在带轮32的上端部分的内周侧。而且，第一凸轮部件83和带轮32的上端部分配置在贯穿孔60b的内周侧。

如图12所示，在第一凸轮部件83的内周侧形成的凸轮面83a形成为以第一手部3和第二手部4的转动中心C为中心成点对称。具体而言，凸轮面83a包括：小径曲面部83b；与小径曲面部83b的一端(图12中的下端)相连形成并朝着径向外侧倾斜的第一平面部83c；与第一平面部83c相连形成且曲率半径比小径曲面部83b大的大径曲面部83d；与大径曲面部83d的一端(图12中的右端)相连形成并朝着径向内侧倾斜的第二平面部83e；以及相对于小径曲面部83b、第一平面部83c、大径曲面部83d和第二平面部83e分别以转动中心C为中心成点对称配置的小径曲面部83f、第一平面部83g、大径曲面部83h和第二平面部83j。

如图12所示，构成第一把持部42的滚筒46与小径曲面部83b、第一平面部83c和大径曲面部83d抵接。即，在本实施形态中，由小径曲面部83b、第一平面部83c和大径曲面部83d构成了与第一把持部42抵接的第一凸轮面83k。另外，构成第二把持部52的滚筒56与小径曲面部83f、第一平面部83g和大径曲面部83h抵接。即，在本实施形态中，由小径曲面部83f、第一平面部83g和大径曲面部83h构成了与第二把持部52抵接的第二凸轮面83m。

第二凸轮部件84以被形成第二臂7的外侧面的规定保持部件保持的状态固定在第二臂7前端侧的外周侧部分上。具体而言，第二凸轮部件84以使固定轴30的轴中心(即转动中心C)与第二凸轮部件84的径向中心大致对齐的形态固定在第二臂7的前端侧。因此，当多关节臂部5进行伸缩动作时，第二凸轮部件84以转动中心C为中心相对于第二手部4相对转动。第二凸轮部件84也与第一凸轮部件83一样，若朝着固定轴30的中心方向对滚筒66、76等施力，则可将凸轮面84a形成在第二凸轮部件84的外周面上。

如图12所示，第二凸轮部件84的内周侧形成的凸轮面84a形成为以转动中心C为中心成点对称。具体而言，凸轮面84a包括：小径曲面部84b；与小径曲面部84b的一端(图12中的下端)相连形成并朝着径向外侧倾斜的第一平面部84c；与第一平面部84c相连形成且曲率半径比小径曲面部84b大的大径曲面部84d；与大径曲面部84d的一端(图12中的右端)相连形成并朝着径向内侧倾斜的第二平面部84e；以及相对于小径曲面部84b、第一平面部84c、大径曲面部84d和第二平面部84e分别以转动中心C为中心成点对称配置的小径曲面部84f、第一平面部84g、大径曲面部84h和第二平面部84j。

如图12所示，构成第一把持部62的滚筒66与小径曲面部84b、第一平面部84c和大径曲面部84d抵接。即，在本实施形态中，由小径曲面部84b、第一平面部84c和大径曲面部84d构成与第一把持部62抵接的第一凸轮面84k。另外，构成第二把持部72的滚筒76与小径曲面部84f、第一平面部84g和大径曲面部84h抵接。即，在本实施形态中，由小径曲面部84f、第一平面部84g和大径曲面部84h构成与第二把持部72抵接的第二凸轮面84m。

在本实施形态中，在图2(A)所示的第一手部3和第二手部4处于合拢状态的多关节臂部5的伸展状态下(即在开始从交接室10或处理室11搬出晶片2之前)，第一把持部42处于从晶片2退避的状态。即，在此状态下，如图13(A)所示，滚筒44处于从晶片2离开的状态。同样地，在此状态下，第一把持部62和第二把持部52、72处于从晶片2退避的状态。

在本实施形态中，在图3(A)所示的第一手部3和第二手部4处于张开状态的多关节臂部5的伸展状态下，第一把持部42也处于从晶片2退避的状态。同样地，在此状态下，第一把持部62和第二把持部52、72处于从晶片2退避的状态。即，在本实施形态中，可在第一把持部42、62和第二把持部52、72(下面在统一表示第一把持部42、62和第二把持部52、72时，记作“把持部42等”)保持退避的状态下进行第一手部3和第二手部4的开闭动作。

具体而言，如图2(A)所示，当第一手部3和第二手部4处于合拢状态时，滚筒46、56、66、76被配置在图12中的粗实线所示的位置上，滚筒46、56、66、76分别与小径曲面部83b、83f、84b、84f的中心位置附近抵接。另外，如图3(A)所示，当第一手部3和第二手部4处于张开状态时，滚筒46、56、66、76被配置在图12中的虚线所示的位置上，滚筒46、56、66、76分别与小径曲面部83b、83f、84b、84f的端部抵接。

像这样，在多关节臂部5的伸展状态下，滚筒46、56、66、76与小径曲面部83b、83f、84b、84f抵接，因此，把持部42等克服压缩螺旋弹簧43的施力而被朝着转动中心C拉引，处于从晶片2退避的状态。

另一方面，如图2(B)所示，在多关节臂部5的收缩状态(即在开始将晶片2朝着交接室10或处理室11搬入之前)下，第一把持部42与晶片2抵接而把持着晶片2。即，在此状态下，如图13(B)所示，滚筒44与晶片2抵接而把持着晶片2。同样地，在此状态下，第一把持部62和第二把持部52、72也与晶片2抵接而把持着晶片2。

在本实施形态中，如图3(B)所示，即使是在多关节臂部5的收缩状态下，把持部42等也与晶片2抵接而把持着晶片2。即，在本实施形态中，可在把持部42等把持着晶片2的状态下进行第一手部3和第二手部4的开闭动作。

具体而言，如图2(B)所示，当第一手部3和第二手部4处于合拢状态时，滚筒46、56、66、76被配置在图12中的细实线所示的位置上，滚筒46、56、66、76分别与大径曲面部83d、83h、84d、84h的一端部抵接。另外，如图3(B)所示，当第一手部3和第二手部4处于张开状态时，滚筒46、56、66、76被配置在图12中的双点划线所示的位置上，滚筒46、56、66、76分别与大径曲面部83d、83h、84d、84h的另一端部抵接。

像这样，在多关节臂部5的收缩状态下，滚筒46、56、66、76与大径曲面部83d、83h、84d、84h抵接，因此，把持部42等在压缩螺旋弹簧43的施力作用下与晶片2抵接而把持着晶片2。

另外，当把持部42等把持着晶片2时，晶片2也与载放部件41的铅垂面41b抵接。即，由把持部42等和铅垂面41b把持着晶片2。在本实施形态中，如图3所示，由以大致120°的间距配置的把持部42等和铅垂面41b把持着晶片2。

在多关节臂部5为了将晶片2从交接室10或处理室11中搬出而从伸展状态收缩时，滚筒46、56、66、76从图12中的粗实线所示的位置朝着细实线所示的位置、或者从图12中的虚线所示的位置朝着双点划线所示的位置移动。即，凸轮部件83、84随着将晶片2搬出时的多关节臂部5的动作而相对于手部3、4相对转动，以使把持部42等朝着把持晶片2的方向移动。在本实施形态中，在多关节臂部5从伸展状态收缩时，滚筒46、56、66、76从图12中的粗实线所示的位置朝着细实线所示的位置、或者从图12中的虚线所示的位置朝着双点划线所示的位置向图示的逆时针方向移动。

另一方面，在多关节臂部5为了将晶片2朝着交接室10或处理室11搬入而从收缩状态伸展时，滚筒46、56、66、76从图12中的细实线所示的位置朝着粗实线所示的位置、或者从图12中的双点划线所示的位置朝着虚线所示的位置移动。即，凸轮部件83、84随着将晶片2搬入时的多关节臂部5的动作而相对于手部3、4相对转动，以使把持部42等朝着从晶片2退避的方向移动。在本实施形态中，在多关节臂部5从收缩状态伸展时，滚筒46、56、66、76从图12中的细实线所示的位置朝着粗实线所示的位置、或者从图12中的双点划线所示的位置朝着虚线所示的位置向图示的顺时针方向移动。

如上所述，在本实施形态中，凸轮面83a、84a形成为以转动中心C为中心成点对称，第一凸轮面83k、84k和第二凸轮面83m、84m以转动中心C为中心成点对称配置。因此，在本实施形态中，为了使把持部42等进行合适的把持动作和退避动作，凸轮部件83、84相对于手部3、4相对转动规定范围的角度，以使滚筒46、56、66、76在图12中的粗实线所示的位置和细实线所示的位置之间、或者在图12中的虚线所示的位置和双点划线所示的位置之间移动。

另外，在将晶片2搬出时多关节臂部5的动作的加速中，在晶片2上产生朝着手部3、4前端侧的相对惯性力。在将晶片2搬入时多关节臂部5的动作的减速中，也在晶片2上产生朝着手部3、4前端侧的相对惯性力。当在这种状况下把持部42等未把持晶片2时，由于晶片2与载放部件41的铅垂面41a抵接，因此可抑制晶片2的错位。

(本实施形态的主要效果)

如上所述，在本实施形态中，在搬出晶片2前使把持部42等从晶片2退避并在搬出晶片2时随着多关节臂部5的动作使把持部42等朝着把持晶片2的方向移动的凸轮面83a、84a形成在凸轮部件83、84上，该凸轮部件83、84以手部3、4相对于第二臂7的转动中心C为中心相对于手部3、4相对转动。因此，即使是采用机械结构来把持晶片2，也能使第二臂7与手部3、4之间的连结部分在径向上小型化。其结果是，本实施形态可使机器人1小型化。

尤其是在本实施形态中，凸轮面83a、84a包括：与第一把持部42、62抵接的第一凸轮面83k、84k；以及与第二把持部52、72抵接的第二凸轮面83m、84m。因此，即使是在手部3、4为在手部3、4的两端侧分别把持晶片2而包括第一把持部42、62和第二把持部52、72时，也可使第二臂7与手部3、4之间的连结部分在径向上小型化。另外，可利用第一凸轮面83k、84k和第二凸轮面83m、84m来使第一把持部42、62和第二把持部52、72独立地动作。

在本实施形态中，彼此可相对转动的第一手部3的转动中心和第二手部4的转动中心为相同的转动中心C。因此，即使是包括第一手部3和第二手部4的机器人1，也可使第一手部3及第二手部4与第二臂7之间的连结部分在径向上小型化。另外，由于使用两个手部3、4来使晶片2出入，因此可缩短将晶片2搬入、搬出时的作业时间。在本实施形态中，由于第二臂7包括第一凸轮部件83和第二凸轮部件84，因此可利用第一凸轮部件83和第二凸轮部件84来使第一手部3的第一把持部42及第二把持部52和第二手部4的第一把持部62及第二把持部72独立地动作。

在本实施形态中，把持部42等包括与凸轮面83a、84a抵接并可转动的滚筒46、56、66、76。因此，可减小凸轮部件83、84相对于手部3、4相对转动时凸轮面83a、84a与把持部42等之间的接触阻力。

在本实施形态中，把持部42等配置在载放部件41的基端侧，在载放部件41的前端侧形成有与晶片2的端部抵接的抵接部41a。因此，在搬出晶片2时的多关节臂部5的伸缩动作开始之际，即使把持部42等未把持晶片2，在伸缩动作开始时晶片2的端部也会与抵接部41a抵接，可抑制晶片2错位。另外，在搬入晶片2时的多关节臂部5的伸缩动作结束之前，即使把持部42等未把持晶片2，在伸缩动作结束之前晶片2的端部也会与抵接部41a抵接，可抑制晶片2错位。

在本实施形态中，把持部42等包括与晶片2抵接并可转动的滚筒44。因此，即使在把持部42等与晶片2抵接时晶片2在载放部件41上产生了错位，也可通过滚筒44的作用在不损伤晶片2的情况下将晶片2朝着规定位置定位。

在本实施形态中，把持部42等朝着把持晶片2的把持方向和从晶片2退避的退避方向直线状移动。因此，与使用上述专利文献1所记载的杠杆机构时相比，可使把持部42等的配置空间变窄，可实现手部3、4的小型化、薄型化。另外，在本实施形态中，把持部42等包括被滑动轴承50直线状引导的两个轴部件48、68。因此，可利用两个轴部件48、68来防止把持部42等以把持部42等的移动方向为轴中心进行旋转。

(其它实施形态)

上述实施形态是本发明的最佳实施形态的一例，但本发明并不局限于此，在不变更本发明主旨的范围内可进行各种变形实施。

在上述实施形态中，第一凸轮面83k、84k和第二凸轮面83m、84m以转动中心C为中心成点对称配置，为了使把持部42等进行合适的把持动作和退避动作，多关节臂部5相对于本体部6朝着一定的方向进行伸缩。除此之外，例如也可将凸轮面83a、84a形成为如下形状，也就是即使是在多关节臂部5相对于本体部6朝着两个方向进行伸缩时也可使把持部42等进行合适的把持动作和退避动作的形状。这种情况下，由于可一边使把持部42等进行合适的把持动作和退避动作一边例如使多关节臂部5朝着图2、图3中图示的左右两个方向伸缩，因此可缩短机器人1将晶片2搬出、搬入的作业时间。

上述实施形态中形成有凸轮面83a、84a，以在多关节臂部5伸展状态下把持部42等从晶片2退避，而在多关节臂部5收缩状态下把持部42等把持晶片2。此外，例如也可形成有凸轮面83a、84a，以在多关节臂部7的伸缩动作过程中把持部42等把持晶片2，而在多关节臂部5伸展状态和收缩状态下把持部42等从晶片2退避。

在上述实施形态中，把持部42等包括两个轴部件48、68。除此之外，把持部42等例如也可包括三个以上的轴部件48、68。另外，把持部42等也可仅包括一个轴部件48、68。这种情况下，可将形成为V形的保持部件固定在轴部件48、68的前端侧来代替保持部件45。在仅使用一个轴部件48、68时，为了防止轴部件48、68旋转，轴部件48、68最好形成为多角柱状而不是圆柱状。

在上述实施形态中，第二臂7包括第一凸轮部件83和第二凸轮部件84。除此之外，第二臂7例如也可包括形成有与滚筒46、56、66、76中的任一个均抵接的凸轮面的一个凸轮部件。

在上述实施形态中，机器人1包括第一手部3和第二手部4两个手部，但机器人1也可仅包括第一手部3和第二手部4中的任一方。另外，在上述实施形态中，手部3、4在手部3、4的两端侧包括第一装设部38、58和第二装设部39、59，但手部3、4也可仅包括第一装设部38、58和第二装设部39、59中的任一方。这种情况下，凸轮面83a、84a可仅包括第一凸轮面83k、84k和第二凸轮面83m、84m中的任一方。

在上述实施形态中，机器人1是多关节臂部5伸缩时手部3、4以朝向一定方向的状态辐射状移动的所谓的圆筒形机器人。除此之外，可应用本发明的结构的机器人例如也可以不是圆筒形机器人。即，也可将本发明的结构应用于手部3、4的朝向随着多关节臂部的伸缩而变化的机器人。另外，在上述实施形态中，多关节臂部5由第二臂7和第一臂8两个臂构成，但多关节臂部5也可由三个以上的臂构成。

在上述实施形态中，对把持部42等朝着把持晶片2的方向施力的施力部件是压缩螺旋弹簧43。除此之外，对把持部42等施力的施力部件例如也可以是拉伸螺旋弹簧或板簧等其它弹簧部件或者橡胶等的弹性部件。另外，在上述实施形态中，手部3、4的大致中心部与第二臂7的前端侧可转动地连结，但也可使手部3、4的任意部分与第二臂7的前端侧可转动地连结。在上述实施形态中，把持部42等包括与凸轮面83a、84a抵接的滚筒46、56、66、76。除此之外，把持部42等例如也可包括与凸轮面83a、84a抵接的突起来代替滚筒46、56、66、76。

在上述实施形态中，机器人1是在真空状态下使用的所谓的真空机器人，但机器人1也可以是在大气中使用的机器人。即，可应用本发明的结构的机器人并不局限于真空机器人。另外，在上述实施形态中，由机器人1来搬运的搬运对象物是圆盘状的晶片2，但由机器人1来搬运的搬运对象物既可以是晶片2以外的形成为圆盘状的基板，也可以是形成为矩形形状等多角形状的基板等。

Claims (14)

1.一种工业用机器人，用于对搬运对象物进行搬运，其特征在于，包括：

装设所述搬运对象物的手部；

多关节臂部，该多关节臂部具有包括将所述手部可转动地保持在前端侧的手部保持臂在内的两个以上的臂，并在搬运所述搬运对象物时进行伸缩；以及

将所述多关节臂部可转动地保持的本体部，

所述手部包括装设部，该装设部具有：与所述搬运对象物抵接来把持所述搬运对象物的把持部、以及对所述把持部施力的施力部件，

所述手部保持臂包括凸轮部件，该凸轮部件形成有与所述把持部抵接的凸轮面，并随着所述多关节臂部的伸缩动作以所述手部相对于所述手部保持臂的转动中心为中心相对于所述手部相对转动，

所述凸轮面如下形成：在搬运所述搬运对象物之前使所述把持部从所述搬运对象物退避，在搬运所述搬运对象物时随着所述多关节臂部的伸缩动作使所述把持部朝着把持所述搬运对象物的方向移动。

2.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，

所述手部包括作为所述把持部的、在所述手部的两端侧分别把持所述搬运对象物用的第一把持部和第二把持部，

所述凸轮面包括：与所述第一把持部抵接的第一凸轮面、以及与所述第二把持部抵接的第二凸轮面。

3.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，作为所述手部，包括以相对于所述手部保持臂的转动中心相同的形态上下配置且彼此可相对转动的第一手部和第二手部。

4.如权利要求3所述的工业用机器人，其特征在于，所述手部保持臂包括作为所述凸轮部件的与所述第一手部的所述把持部抵接的第一凸轮部件以及与所述第二手部的所述把持部抵接的第二凸轮部件。

5.如权利要求1所述的工业用机器人，其特征在于，所述装设部包括供所述搬运对象物载放的载放部件，所述把持部配置在作为所述转动中心侧的、所述载放部件的基端侧。

6.如权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，所述把持部在所述手部的转动中心部具有与所述凸轮面抵接的凸轮面抵接部。

7.如权利要求6所述的工业用机器人，其特征在于，所述凸轮面抵接部是与所述凸轮面抵接并可转动的凸轮面抵接滚筒。

8.如权利要求7所述的工业用机器人，其特征在于，所述把持部具有与所述搬运对象物抵接并可转动的搬运对象物抵接滚筒。

9.如权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，所述把持部在所述载放部件的基端侧具有与所述搬运对象物抵接的搬运对象物抵接部。

10.如权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，所述载放部件在前端侧具有与所述搬运对象物的端部抵接的抵接部。

11.如权利要求5所述的工业用机器人，其特征在于，所述把持部朝着把持所述搬运对象物的把持方向和从所述搬运对象物退避的退避方向直线状移动。

12.如权利要求11所述的工业用机器人，其特征在于，所述把持部包括被朝着所述把持方向和所述退避方向直线状引导的至少两个轴部件。

13.如权利要求11所述的工业用机器人，其特征在于，所述凸轮部件的所述凸轮面以将所述手部可转动地保持的手部保持臂的转动中心为中心形成，所述把持部具有与所述凸轮面抵接的凸轮面抵接部。

14.如权利要求13所述的工业用机器人，其特征在于，

所述凸轮面形成为：随着所述多关节臂部的伸缩动作、所述手部相对于所述手部保持臂转动的动作，在搬运所述搬运对象物之前，使所述把持部从所述搬运对象物退避，

所述凸轮面还形成为：在所述多关节臂部为了搬运所述搬运对象物而进行了伸缩动作时，通过所述手部相对于所述手部保持臂转动，使所述把持部朝着把持所述搬运对象物的方向移动。

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