JPS62132340A - ウエハ移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、ウェハを熱処理、化学処理する炉に挿入す
る際に用いられるウェハ移載装置に関する。

〈従来の技術〉 従来より、ウェハにＣＶＤ（化学的気相析出法）処理を
を施すにあたり、キャリアカセットに収納したウェハを
石英、ＳｉＣ，または金属製のボートに移しかえるウェ
ハ移載装置としては枚葉式と一括式がある。この枚葉式
ウェハ移載装置は、直交型ロボットまたはこれに類似す
る機構で構成された装置でロボットのハンドに真空チャ
ックを取付け、ウェハを一枚ずつキャリアカセットから
ボートに移しかえるものがある。一方、一括式つエバ移
載装置は、キャリアカセットに収納されている枚数分を
一括してボートに移載するものである。

しかしながら、上記二つのウェハ移載装置のいずれの場
合でも、第１２図に示すように、ウェハ１．１・・・の
処理面である表面１ａを同じ方向に向けてボートに移載
するため、１枚当たりのウェハｌ。

■・・・の占めるスペースが大きくなって、所定スペー
ス内で一度に処理するウェハ１，１・・・の枚数に制限
があるという問題がある。

また、ウェハｌをＣＶＤ処理する場合、処理する必要の
ないウェハｌの背面１ｂまで処理され、背面１ｂに酸化
膜、絶縁膜が被覆されるため、後工程で背面エツチング
の工程が加わって工程数が多くなるという問題がある。

〈発明の目的〉 そこで、この発明の目的は、ウェハをボートに移載する
場合、１度に多くのウェハを背合わせに自動的かつ迅速
に移載でき、かつ、ウェハの後工程数を削減できるウェ
ハ移載装置を提供することにある。

〈発明の構成〉 上記目的を達成するため、この発明のウェハ移載装置は
、ウェハを収納したカセットからウェハのみを持ち上げ
て１８０度回転し得る装置と、上記カセットから持ち上
げられたウェハのうち順方向に配列したウェハの群と１
８０度回転して逆方向に配列したウェハの群とを中間サ
ポート上に互い違いになるように搬送オろ搬送手段と、
上記中間サポート上に交互に配列したウェハを背合わせ
に密着させる密着手段とを備えることを特徴としている
。

〈実施例〉 以下、この発明を図示の実施例により詳細に説明する。

第１図は上記実施例のウェハ移載装置の詳細図、第２図
は上記実施例の全体概略図である。第２図において、Ｉ
０は本体、１１．１１・・・は本体１０上に５台配列さ
れたキャリアカセット、この５台のキャリアカセット１
１．１１・・・のうち、一端のキャリアカセットＩＩＡ
は予備である。また、１２は上記４台のキャリアカセッ
ト１１．ＩＩ・・・に収納したウェハ、Ｉ４はウェハ１
２を複数枚、表面と裏面とが互い違いになるように配設
する中間サポート、２０はウェハ１２をキャリアカセッ
ト１１から中間サポート１４に搬送する搬送手段、１５
は本体ＩＯに配置されたボートである。

第１．２図において、上記本体１０は、その上部にＬ字
形状の段部１６を形成し、箱型のケーシング１８で形成
されている。上記段部１６の下面１６ａの下部には、本
体１０の長手方向のＸ軸方向に沿ってブラケット（図示
せず）で固定した固定用駆動モータ１９，１９・・・を
互いに一定間隔をあけて５台配置している。上記固定用
駆動モータ１９．１９・・・には棒ネジ２１．２１・・
・を上下方向に連結している。上記５台の固定用駆動モ
ータ１９゜Ｉ９・・・のうち、一端の固定用駆動モータ
１９Ａを除く４台の固定用駆動モータＩ　９．１９・・
・の棒ネジ２１．２１・・・には、ブラケット２２．２
２・・・を噛合している。このブラケット２２．２２・
・・に固定用駆動モータ２４，２４・・・を連結してい
る。この４台の回転用駆動モータ２４，２４・・・には
、上記棒ネジ２１．２１・・・に平行に棒材２５，２５
・・・を連結して、上記棒材２５，２５・・・の先端に
ウェハサポート２６．２６・・・を固定している。この
ウェハサポート２６．２６・・・は回転用駆動モータ２
４．２Ａ、１．νψしＭＩＯ／ｌ＃ｐＩ’Ｗヒキ枳ツｂ
二）−す１−嘗、ブ一方、上記一端の予備用固定用駆動
モータ１９Ａの捧ネジ２１Ａには、ブラケット２２Ａを
噛合している。このブラケット２２Ａに棒材２５Ａを上
記捧ネジ２１Ａに平行に連結している。上記棒材２５Ａ
の先端に予備用ウェハサポート２６Ａを固定している。

上記４台の固定用駆動モータ１９゜１９・・・と回転用
駆動モータ２４，２４・・・とウェハサポート２６．２
６・・・とから装置２０が構成されている。上記ウェハ
サポート２６．２６・・・の上面と上記予備用ウェハサ
ポート２６Ａの上面にはウェハ１２を垂直に載置する溝
を設けている。

上記段部Ｉ６の下面１６ａには、キャリアカセラ）ＩＩ
、１１・・・が配置される位置にウェハサポート２６．
２６・・・が下方から上方へ通過する開口を設ける一方
、ボート１５が配置される位置に中間サポート１４が下
方から上方へ通過する開口を設けている。上記キャリア
カセット１１は、上面が開口した箱型であって、その端
面にウェハサポート２６が通過する開口を設けている。

一方、ボート１５は上半部を切欠いた長尺の円筒形状で
、その底面を中間サポート１４が通過する開口を設けて
いる。ボート１５の内部には、ウェハサポート１２が垂
直に配置できる溝が設けられている。上記中間サポート
１４は長尺の角柱であって、本体１０内に設けられた駆
動モータ２８と棒ネジ２９とにより棒材３１を介して昇
降させるようになっている。上記中間サポート１４の上
面１４ａには、ウェハサポート１２．１２・・・を垂直
にして２枚分のウェハ１２，１２を収納する溝と１枚分
のウェハ１２を収納する溝を交互に一定間隔をあけて設
けている。

また、上記段部１６の上面１６ｂの一端には、Ｙ軸方向
に長い箱型のＸ軸直線移動部３２の一端ヲＸ？Ｉ１１方
向に沿って摺動可能に取付けている。上記Ｘ軸直線移動
部３２の一端の下部には、上記段部１６の上面１６ｂの
内側に突出してブラケット３４を設け、このブラケット
３４に棒ネジ３５を噛合している。この棒ネジ３５の一
端にＸ軸移動用駆動モータ３６を連結している。上記Ｘ
軸直線移動部３２の前面３２ａには、上下方向に長い箱
型のＹ軸直線ケ多動部３８をＹ軸方向に沿って摺動可能
に取付けている。上記Ｙ軸直線移動部３８の裏面３８ａ
には、Ｘ軸直線移動部３２の内側に突出してブラケット
３９を設けている。このブラケット３９にＹ軸方向に噛
合する棒ネジ４１を設け、この棒ネジ４１の一端にＹ軸
移動用駆動モータ４２を連結している。上記Ｙ軸直線移
動部３８の表面３８ｂには、第３図に示すように、ウェ
ハ１２の外周上りら少し大きい径の円筒Ｃ上の両側にウ
ェハ支持部４４．４４をウェハ１２に対して垂直になる
ように設けている。上記ウェハ支持部４４は、第４図中
アーム４５と角状の連結バー４６と周知の揺動機構から
なる。上記アーム４５は、第５．６．７図に示すように
略角柱形状で、内面４５ａをウェハ１２の外周に垂直に
沿え得るように湾曲に形成している。上記湾曲面の内面
４５ａには、ウェハ１２の外周端部を嵌合させるＶ溝４
８．４８をウェハ１２を１枚おきに保持できるように長
手方向に沿って互いに一定間隔をあけて形成している。

上記アーム４５を第３図に示すように六方向に揺動させ
る揺動機構はＹ軸直線移動部３８内に装着されている。

上記アーム４５の一端を連結バー４６を介して揺動機構
に連結している。上記Ｘ軸直線移動部３２とＹ軸直線移
動部３８とウェハ支持部４４とから搬送手段３０が構成
されている。

第３．８図に示すように、Ｙ軸直線移動部３８の前面３
８ｂの円周Ｃ上には、上記ウェハ支持部４４を境として
上部に１本の円筒溝カム５１ａと下部両側に２本の円筒
溝カム５１ｂ、５１ｃを設けている。これらの円筒溝カ
ム５１ａ、５　ｌｂ、５１ｃは、互いに平行かつ一定角
度をあけて設けられている。

上記円筒溝カム５１ａ、５　ｌｂ、５１ｃの３本のうち
円筒溝カム５１ａを代表してその形状を説明する。

上記円筒溝カム５１ａの外周には、第９．１０図に示す
ように７字形状のＶ７Ｗ５２を長手方向に互いに一定間
隔をあけて複数個形成している。上記Ｖ溝５２は二叉部
分５２ａと合流部分５２ｂからなっている。上記ＶＭ５
２の二叉部分５２ａは円周の略１／２を占め、残りの合
流部分５２ｂは円周の略１／２を占めている。上記円筒
溝カム５１ａ、’５１ｂ、５１ｃのうち上記円周Ｃ上の
上部に位置する円筒溝カム５１ａは、Ｙ軸直線移動部３
８の内部に設けた周知のバネ機構により第３図中Ｂ方向
に移動可能になっている。この移動により、上記円筒溝
カム５１ａはバネ力でウェハ１２の外周端部をｖｒ？Ｈ
２の二叉部分５２ａに嵌合させて接線方向にウェハ１２
を押え付けるようになっている。

また上記円筒溝カム５１ａはＹ軸直線移動部３８内部に
設けた周知の駆動機構によりＥ、Ｆ方向に所定角度回転
するようになっている。円筒溝カム５１ａ、５　ｌｂ、
５１ｃのうち上記円周Ｃ上の雨下部に位置する円筒溝カ
ム５１ｂ、５１ｃは、Ｙ軸直線移動部３８の内部に設け
た今一つの周知の駆動機構によりＤ方向に移動可能かつ
Ｅ、Ｆ方向と逆方向のＥ“１Ｆ°方向に所定角度回転可
能になっている。この移動により、上記円周Ｃ上の雨下
部の円筒溝カム５１ｂ、５１ｃは、ウェハ１２の外周端
部をＶ溝５２の二叉部分５２ａ、５２ａに嵌合させて下
方よりウェハ１２を支持する一方、円筒溝カム５１ｂ、
５１ｃのＥ方向への所定角度回転により、■溝５２の二
叉部分５２ａ、５２ａに嵌合した２枚のウェハ１２．１
２を合流部分５２ｂに案内して密着させ、また上述と反
対方向のＦ方向への所定角度の回転により合流部分５２
ｂから二叉部分５２ｂにウェハ１２を案内してウェハ１
２，１２を相互に離反させるようになっている。上記円
筒溝カム５１’ａ、５　ｌｂ、５１ｃと上記バネ機構と
上記駆動機構により密着手段４０が構成されている。

上記構成のウェハ移載装置において、ウェハカセット］
　１，１１・・・に収納したウェハｌ　２，１２・・・
をＣＶＤ処理を行うため、ウェハ１２，１２・・・をウ
ェハカセットＩ　１，１１　・・からボートＩ５に移載
するとする。第１．２図に示すように、ウェハ１２．１
２・・・を順方向、つまり表面１２ａ、１２ａ・・・を
一方向に向けて配列して収納した４台のキャリアカセッ
トＩ　１，１１・・・を本体ＩＯの段部１６の下面１６
ａの所定位置に配置する。一方、空の状態の予備用キャ
リアカセットＩＩＡを上記下面１６ａの所定位置に配置
する。さらに、ダミーウェハ１２Ａ、１２Ａを両端に配
置したボート１５を上記下面１６ａの所定位置に配置す
る。そして、第１図中右側から１番目と３番目の固定用
駆動モータ１９，１９を駆動して、ウェハサポート２６
゜２６をキャリアカセット１１．１１の底面の開口を通
過させる。上記キャリアカセット１１．ＩＩ内のウェハ
１２．ｔ２・・・をウェハサポート２６．２６に垂直に
載置させてウェハカセットＩ１．．１１より上方ヘウエ
ハサポート２６．２６を上昇させろ。固定用駆動モータ
Ｉ　９，１９を停止して回転用駆動モータ２４，２４を
駆動し、ウェハサポート２Ｇ、２６を１８０度回転させ
る。再度、固定用駆動モータ１９，１９を駆動してウエ
ハサボー）２６．２６を下降さｄ”、ウェハ１２，１２
・・・を逆方向、つまり裏面１２ｂ、１２ｂ・・・を一
方向に向けて配列してウェハカセット１１．ＩＩ内に収
納する。次に、Ｘ軸直線移動部３２およびＹ軸直線移動
部３８がＸ軸移動用駆動モータ３６、Ｙ軸移動用駆動モ
ータ４２の駆動により中間サポー）１４上に移動される
。中間サポート１４は、固定用駆動モータ２８の駆動に
より、ボート１５の底面の開口を通ってボート１５上の
ダミウェハ＋２Ａを垂直に載せて下方から上方へ上昇さ
れる。Ｙ軸直線移動部３８内の揺動機構が駆動してアー
ム４５を第３図中揺動向に揺動させ、ダミウェハ１２Ａ
。

１２Ａの外周端部をＶｉＭ４８，４８に嵌合させてダミ
ウェハ１２Ａ、１２Ａをウェハ支持部４４で保持する。

第１図に示す中間サポート１４は固定用駆動モータ２８
により下降される。Ｘ軸直線移動部３２とＹ軸直線移動
部３８は予備用ウェハサポート２６Ａ上に移動される。

予備用ウェハサポート２６Ａが固定用駆動モータ１９Ａ
により上昇される。ウェハ支持部４４の保持しているダ
ミウェハ１２Ａ、１２Ａは予備用ウェハサポート２６Ａ
上に載置され、ウェハ支持部４４はダミウェハ＋２Ａ、
１２Ａから離れる。予備用ウェハサポート２６Ａは固定
用駆動モータ１９Ａにより下降される。ダミウェハ１２
Ａ、１２Ａは予備用キャリアカセットＩＩＡ内に収納さ
れる。また、Ｘ軸直線移動部３２．Ｙ軸直線移動部３８
はＸ軸移動用駆動モータ３６．Ｙ軸移動用駆動モータ４
２により第１図中布から４番目のキャリアカセット１１
上に移動される。ウェハサポート２６が固定用駆動モー
タ１９によりキャリアカセット１１内に順方向に配置さ
れたウェハ１２，１２・・・を載せてウエハカセツ）１
１より上方へ上昇される。ウェハ支持部４４のアーム４
５が第３図中揺動機構により六方向に揺動されて上記ウ
ェハサポート２５上にウェハ１２，１２・・・を１枚お
きにＶ溝４８．４８・に嵌合してウェハＩ　２．１２・
・を保持する。ウェハサポート２６が固定用駆動モータ
１９により下降される。第１図に示すＸ軸直線移動部３
２およびＹ軸直線移動部３８はウェハ１２，１２・・・
を保持した状態で中間サポート１４上に移動される。

中間サポート１４は、固定用駆動モータ２８の駆動によ
り上昇される。中間サポート１４の１枚分の溝にウェハ
支持部４４が保持したウェハ１２゜１２・・・を嵌入す
る。ウェハ保持部４４のアーム４５が揺動機構によりウ
ェハ１２，１２・・・から離れる。中間サポート＋４は
、固定用駆動モータ２８によりウェハ１２，１２・・・
を順方向に配置した状態で下降される。次に、Ｘ軸直線
径動部３２およびＹ軸直線移動部３８か右から３番目の
キャリアカセットｌｌ上に移動される。ウェハサポート
２６がキャリアカセット１１内に逆方向に配置されたウ
ェハｌ　２．＋　２・・・をキャリアカセット１１より
上方へ持ち上げる。ウェハ保持部４４のアーム４５が１
枚おきにウェハ１２．１２・・・を保持する。

上記ウェハサポート２６が下降される。Ｘ軸直線′　移
動部３２およびＹ軸直線移動部３８は逆方向に配列した
ウェハ１２．１２・・・を保持した状態で中間サポート
１４上に移動される。中間サポート１４は上昇される。

このとき、中間サポート１４には既に順方向のウェハｌ
　２，１２・・・が配置されている。このウェハ１２．
１２・・・の間の１枚分の溝に上記逆方向のウェハ１２
，１２・・・を嵌合させる。

ウェハ保持部４４のアーム４５はウェハ１２，１２・・
・から離れる。こうして、中間サポート１４の１枚分の
溝には、順方向のウェハ１２と逆方向のウェハ１２とが
交互に配置させる。すなわち、中間サポートＩ４上のウ
ェハには互いに背面１２ｂとうじを対向さけて配置され
ろ。

次に、上部の円筒溝カム５１ａと下部両側の円筒溝カム
５１ｂ、５１ｃが、バネ機構と駆動機構によってＢ、Ｄ
方向に夫々移動されて、中間サポート！４上の順方向と
逆方向に順次配列されたウェハ１２，１２・・・を７字
形状の二叉部分の１１５２ａ。

５２ａ・・・に嵌合する。上記駆動機構によって上部の
円筒溝カム５１ａはＥ方向に所定角度回転される一方、
下部両側の円筒溝カム５１ｂ、５１ｃはＥ方向と逆方向
のＥ゛方向所定角度回転されるので、ウェハｌ　２，１
２・・・は二叉部分の溝５２ａ、５２ａ・・・から合流
部分の溝５２ｂ、５２ｂ・・・に案内されて、背面１２
ｂ、＋２ｂどうしか密着されて２枚１組のウェハＩ　２
，１２・・・が作られる。

このように、円筒溝カム５１ａと円筒溝カム５１ｂ。

５１ｃとは夫々逆方向に回転されて２枚のウェハ１２．
１２が密着されるので、ウェハ１２．＋　２の回転を防
止できて、安定してウェハ１２．＋２・・・を密着でき
る。この２枚１組のウェハ１２，１２・・・は中間サポ
ート１４の２枚用の溝に嵌入される。

次に、第２図中布から２番目と３番目のキャリアカセッ
ト１１．１１・・・内のウェハ１２，１２・・・につい
ても、上述と同様の作動により背面どうしを密着した２
枚１組のウェハが作られて、中間サポート１４の２枚用
の溝に嵌入される。上述した予備用キャリアカセットＩ
ＩＡに収納されたダミウェハ＋２Ａ、Ｉ２ＡはＸ軸直線
径動部３２およびＹ軸直線移動部３８により中間サポー
ト１４に搬送されて中間サポート１４の両側の溝に嵌合
される。

最後に、中間サポート１４は固定用駆動モータ２８によ
り下降されて、中間サポート１４上２枚１組のウェハと
ダミウェハ１２Ａ、１２Ａはボート１５上に移載される
。このように、ボート１５上の２枚１組のウェハは、第
１１図に示すように配置されるので、ウェハ１２．１２
・・・の占めるスペースが小さくなって一度に処理でき
るウェハ１２゜Ｉ２・・・の数を増加させることができ
る。また、処理されないウェハ１２の背面１２ｂ、１２
ｂどうしを合わせているので、ウェハ１２の背面１２ｂ
に酸化膜や絶縁膜が被覆されることはない。したがって
、後工程でウェハＩ２の背面エツチングの工程を省略で
きる。ウェハ１２のボート１５への移載を自動的に行う
ので、移載作業を迅速かつ簡単にでき、かつゴミの発生
量を削減できる。

次に、ボート１５上の処理済みのウェハをキャリアカセ
ット２．２・・・に収納するとする。第１．２図におい
て、Ｘ軸直線径動部３２およびＹ軸直線移動部３８は中
間サポート１４上に移動する。中間サポート１４はボー
ト１５上に配列された処理済ウェハｌ　２，１２・・・
を載置してボート１５上に上昇される。ウェハ支持部４
４が両側のダミウェハ１２Ａ、１２Ａを保持する。ダミ
ウェハ１２Ａ、１２Ａは、Ｘ軸直線径動部３２、Ｙ軸直
線移動部３８により予備用キャリアカセット１１Ａに搬
送されて収納される。次にＸ軸直線径動部３２、Ｙ軸直
線移動部３８は中間サボー）１４上に移動されろ。

円筒溝カム５１ａ、５　ｌｂ、５１ｃが合流部分の溝５
２ａに２枚１組のウェハ１２，１２を嵌合してこのウェ
ハ１２．１２を保持する。円筒溝カム５１ａが下方向に
所定角度回転される一方、下部両側の円筒７１４カム５
１ｂ、５１ｃは下方と逆方向のＦ′方向に所定角度回転
されるので、２枚１組のウェハ１２．１２・・・は合流
部分の溝５２ｂ、５２ｂ・・・から二叉部分の１５２ａ
、５２ａ・・・に案内されて１枚づつに分離される。円
筒溝カム５１ａと円筒溝カム５１ｂ、５１ｃとは逆方向
に回転するので、ウェハ１２．１２は安定して分離され
る。上記分離されたウェハ１２．１２・・・はウェハ支
持部４４により保持される。中間サポート１４が上昇し
て円筒溝カム５１ａ、５　ｌｂ、５１ｃはウェハ１２，
１２・・・から離れる。分離されたウェハ１２，１２・
・・の半分を中間サポート１４の１枚用の溝に嵌入して
配置する。

中間サポート１４は下降する。ウェハ支持部４４に保持
されたウェハ１２．１２・・・は、Ｘ軸直線移動部３２
、Ｙ軸直線径動部３８により第２図中右から１番目のキ
ャリアカセット１１に搬送されて収納される。次にＸ軸
直線移動部３２、Ｙ軸直線径動部３８は中間サポート１
４に移動されて、上述した１枚用の溝に嵌合されたウェ
ハ１２．＋２・・・をウェハ支持部・１４により保持し
て第２図中右から２番目のキャリアカセット１１に搬送
されて収納されろ。こうして順次処理済みのウェハ１２
゜１２・・・はキャリアカセット１１．１１・・・に収
納される。

〈発明の効果〉 以上述べたように、この発明のウェハ移載装置は、ウェ
ハを収納したカセットからウェハのみを持ち上げて１８
０度回転し得る装置と、上記カセットから持ち上げられ
たウェハのうち順方向に配列したウェハの群と１８０度
回転して逆方向に配列したウェハの群とを中間サポート
上に互い違いになるように搬送する搬送手段と、上記中
間サポート上に交互に配列したウェハを背合わせに互い
に密着させる密着手段とを備えるものである。したがっ
て、この発明によれば、２枚のウェハを背合わせに密着
して処理するので、一定のスペース内に多（のウェハを
収納できて、一度に処理するウェハの数を増加できる。

また、処理の不要な背面は互いに密着されているので、
背面に酸化膜や絶縁膜が被覆されることはなく、従来例
の如く背面の酸化膜等をエツチングする工程を省略する
ことかできる。加えて、ウェハをカセットからボートに
搬送手段を利用して自動的に搬送することができるので
、ウェハの移載を簡単かつ迅速に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例を示す詳細図、第２図は上記
実施例の外観斜視図、第３図は密着手段の作動説明図、
第４図は搬送手段の平面図、第５図は搬送手段のウェハ
保持部の立面図、第６図は第５図の■−■線矢視図、第
７図は第５図のｌ１ｌ−■線矢視図、第８図は密着手段
の模式図、第９図は密着手段の円筒溝カムを示す図、第
１Ｏ図は第９図の■−■線凸線図面図１１図はウェハを
背合わせに密着して配置した図、第１２図は従来例のウ
ェハの配置図である。 １１・・・カセット、１２・・・ウェハ、１４・・・中
間サポート、２０・・・装置、３０・・・搬送手段、４
０・・・密着手段。 特許出願人　光洋リンドバーグ株式会社代理人弁理士　
前出　葆ほか２名 第１図 第２図 第５図 Ｉ［ＩＩ 第８図 第９図 第１０図 第１Ｉ図 手続補正書 昭和６１年　１月１４日 昭和６０年特許願第　　２７４２２１　　　号２発明の
名称 ウェハ移載装置 ３補正をする者 事件との関係　特許出願人 代表者　　岸　　将　朋 ４、代理人 ５、補正命令の日付：自発 ７、　補正の内容 （１）明細書中、次の箇所を訂正します。 発明の詳細な説明の欄 第２頁第７行目 「処理をを」とあるを、「処理を１と訂正します。 （２）委任状：別紙の通り。 以上

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェハを収納したカセットからウェハのみを持ち
   上げて１８０度回転し得る装置と、上記カセットから持
   ち上げられたウェハのうち順方向に配列したウェハの群
   と１８０度回転して逆方向に配列したウェハの群とを中
   間サポート上に互い違いになるように搬送する搬送手段
   と、上記中間サポート上に交互に配列したウェハを背合
   わせに互いに密着させる密着手段とを備えることを特徴
   とするウェハ移載装置。
2. （２）上記特許請求の範囲第１項に記載するウェハ移載
   装置において、 上記密着手段は、上記ウェハの外周端部が嵌合するＹ字
   形状の溝を有して回転によりウェハを背合わせに密着さ
   せる少なくとも２個の円筒溝カムを備えていることを特
   徴とするウェハ移載装置。