CN110249420B - 基板把持手及基板搬运装置 - Google Patents

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Abstract

本发明的基板把持手装设于机械手的手梢部且把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板，具备：底板，从固定于手梢部的基端侧向梢端侧扩展，且规定有把持位置；卡合爪，设置于底板的梢端侧，能与垂直或倾斜姿势的基板的比中心靠下方的缘卡合；移动部，在比把持位置靠基端侧处朝向梢端侧移动；及多个旋转体，设置于移动部的梢端侧，藉由移动部的移动，按压处于在比把持位置靠下方的位置与卡合爪卡合的状态的基板的缘，从而一边沿着基板的缘旋转，一边将基板向把持位置推升。

Description

基板把持手及基板搬运装置
技术领域
本发明涉及一种把持圆板状的基板的缘部的基板把持手、及具备该基板把持手的基板搬运装置。
背景技术
以往，已知有具备把持作为半导体组件基板材料的半导体基板的缘部的手、及装设有该手的机械手的基板搬运装置。这种基板搬运装置中，构成为以垂直姿势搬运基板的装置例如已在专利文献1中提出。这里，“垂直姿势”是指基板的主面朝向水平（即，基板的主面垂直）的姿势。
专利文献1中，揭示了具备夹持手的基板搬运装置，该夹持手能够进行垂直姿势的基板的取出及供给、和水平姿势的基板的取出及供给。该夹持手具备平板构件、能够与基板的缘卡合的两个固定卡合构件、可动卡合构件、及辅助卡合构件。
在利用上述结构的夹持手将垂直姿势的基板从放置有该基板的槽中取出的情况下，首先，以可动卡合构件位于基板的下部的形式控制夹持手的姿势，并且使夹持手移动至与基板对应的位置。使两个固定卡合构件与基板卡合，保持该状态使辅助卡合构件往向移动而与基板卡合，从而利用辅助卡合构件及固定卡合构件辅助地把持基板。然后，藉由使可动卡合构件往向移动，从而使基板向把持位置移动，利用可动卡合构件及固定卡合构件把持基板。
现有技术文献：
专利文献：
专利文献1：日本特开2002-141405号公报。
发明内容
发明要解决的问题：
上述基板搬运装置中，藉由使可动卡合构件相对于垂直或倾斜姿势的基板往向移动，从而将基板压入至两个固定卡合构件的槽内部并加以把持，但基板未必同时到达至两个固定卡合构件的槽内部。即，根据被可动卡合构件按压的基板的位置，存在先到达至两个固定卡合构件中的一固定卡合构件的槽内部的情况。该情况下，之后基板藉由进一步的可动卡合构件的往动而向把持位置移动，但有如下担忧：若基板与固定卡合构件的接触部位或可动卡合构件与基板的接触部位处的摩擦较大，则基板不会顺利地向把持位置移动，而在基板上产生不必要的应力。
因此，本发明的目的在于提供一种在把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板时，可减少与基板之间产生的摩擦力的基板把持手及基板搬运装置。
解决问题的手段：
本发明的一形态的基板把持手，是装设于机械手的手梢部且把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板的基板把持手，具备：底板，其从固定于上述手梢部的基端侧向梢端侧扩展，且规定有把持位置；卡合爪，其设置于上述底板的上述梢端侧，能与垂直或倾斜姿势的上述基板的比中心靠下方的缘卡合；移动部，其在比上述把持位置靠上述基端侧处朝向上述梢端侧移动；及多个旋转体，该多个旋转体设置于上述移动部的上述梢端侧，藉由上述移动部的移动，对处于在比上述把持位置靠下方的位置与上述卡合爪卡合的状态的上述基板的缘进行按压，从而一边沿着上述基板的缘旋转，一边将上述基板向上述把持位置推升。
又，本发明的一形态的基板搬运装置具备上述基板把持手、和在手梢部装设有上述基板把持手的机械手。
根据上述构成，在把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板时，从基端侧按压处于在比把持位置靠下方的位置与卡合爪卡合的状态的基板的旋转体一边沿着基板的缘旋转一边将基板向把持位置推升。因此，可减少在使基板移动至把持位置时的基板把持手与基板的接触部位产生的摩擦力，藉此，可使基板顺利地向把持位置移动，从而防止基板上产生不必要的应力。
发明效果：
根据本发明，可提供一种在把持垂直姿势的圆板状的基板时，能够减少与基板之间产生的摩擦力的基板把持手及基板搬运装置。
附图说明
图1是根据实施形态的基板搬运系统的概略结构图；
图2是示出基板搬运系统的控制结构的框图；
图3A是示出基板纵置容器的一例的基板纵置容器的俯视图；
图3B是作为图3A的IIIB-IIIB剖面图的图；
图4是基板把持手的概略俯视图；
图5是基板把持手的概略侧视图；
图6是图4的VI-VI剖面图；
图7是将图4所示的基板把持手的一部分放大后的俯视图；
图8是图7的VIII-VIII剖面图；
图9是图7的IX-IX剖面图；
图10是用于说明把持垂直姿势的基板的基板搬运装置的动作的图；
图11A是示意性地示出旋转体即将抵接于基板前的情况的图；
图11B是示意性地示出旋转体刚抵接于基板后的情况的图；
图12是根据变形例的基板把持手的概略俯视图；
图13是根据其他变形例的基板把持手的概略俯视图；
具体实施方式
接下来，参照附图对本发明的实施形态进行说明。图1是示出本发明的实施形态的基板搬运系统1的概略结构的图，图2是示出基板搬运系统1的控制结构的框图。本实施形态的基板搬运系统1具有：基板纵置容器2，其支持处于垂直姿势（即，主面垂直的姿势）的圆板状的基板10；及基板搬运装置3，其将收容于该基板纵置容器2的垂直姿势的基板10取出。基板搬运装置3例如将基板10移送至能横置放置的容器或装置等。但是，基板纵置容器2亦可支持并非垂直姿势而处于相对于垂直方向倾斜的姿势（倾斜姿势）的圆板状的基板10，又，基板搬运装置3亦可将收容于该基板纵置容器2的倾斜姿势的基板10取出。
〔基板纵置容器2〕
图3A及图3B是示出基板纵置容器2的一例的图，图3A是基板纵置容器2的俯视图，图3B是图3A的IIIB-IIIB剖面图。
如图3A所示，本实施形态中的基板纵置容器2是用于将多个基板10以垂直姿势支持并且归拢到一起搬运或保管的晶舟（boat）。但是，基板纵置容器2亦可并非晶舟，只要为能够将基板10以垂直姿势支持的容器即可。基板纵置容器2具有相互平行且沿水平方向延伸的三根支持构件21～23、以及将这些支持构件21～23的各端部连结的平板状的两个连结构件24、25。如图3B所示，三根支持构件21～23中的两根支持构件21、22在相同的高度在水平方向上隔开设置，在这些支持构件21、22的上方设置另一根支持构件23。
支持构件21～23上，分别以沿着支持构件21～23的延伸方向大致等间隔（例如，5～15 mm间隔）地排列的形式形成有用于载置基板10的多列载置用槽26。藉由多列载置用槽26，形成用于将基板10以垂直姿势保持的纵置架。支持构件21、22支持垂直姿势的基板10的下方的缘，支持构件23支持垂直姿势的基板10的侧方的一侧的缘。
本发明中，基板10例如是半导体基板及玻璃基板等成为半导体组件的基板的材料的圆形薄板。作为半导体基板，例如，有硅基板、蓝宝石（单晶氧化铝）基板、其他各种基板等。作为玻璃基板，例如，有FPD（平板显示器；Flat Panel Display）用玻璃基板、MEMS（微机电系统；Micro Electro Mechanical Systems）用玻璃基板等。
图3B中，用两点划线示出载置于基板纵置容器2的状态的基板10。本实施形态中，如图3B所示，基板10上，在其周缘的一部分形成有凹口11。凹口11是用于示出基板10的朝向的切口。
〔基板搬运装置3〕
如图1及图2所示，基板搬运装置3具备机械手4、装设于机械手4的手梢部的作为末端效应器的基板把持手5A、及对基板搬运装置3的动作进行控制的控制器6。以下，对基板搬运装置3的各构成要素进行说明。
〔机械手4〕
本实施形态的基板搬运装置3的机械手4是具备能回转的手腕47的水平多关节机器人。但是，机械手4并不限定于水平多关节机器人，亦可以垂直多关节机器人为基础。
机械手4具备：基台40；升降轴41，其从基台40沿上下方向伸缩；第一连杆43，其能绕通过升降轴41轴心的第一轴42旋动地连结于该升降轴41；第二连杆45，其能绕第二轴44旋动地连结于第一连杆43的梢端；手腕47，其能绕第三轴46旋动地连结于第二连杆45的梢端；及手基部49，其能绕第四轴48旋动地连结于手腕47的梢端。在该手基部49装设基板把持手5A。第一轴42及第二轴44为垂直轴，第三轴46为水平轴。又，第四轴48与第三轴46正交，常规姿势为垂直。
机械手4还具备伺服马达61～64及动力传递机构（未图示），作为用于使第一连杆43、第二连杆45、手腕47、及手基部49各自绕对应的轴旋转移动的驱动部。又，机械手4具备伺服马达65及动力传递机构（未图示），作为用于使升降轴41从基台40伸缩的驱动部。伺服马达61～65基于从控制器6输出的控制信号进行动作。
〔基板把持手5A〕
图4是基板把持手5A的概略俯视图，图5是基板把持手5A的概略侧视图。
如图4及图5所示，基板把持手5A具备成为其基础的底板51。底板51从固定于机械手4的手梢部的基端侧B向梢端侧F扩展。底板51上规定有将基板把持手5A的基端侧B与梢端侧F连接的假设的中心线C。基板把持手5A具有以中心线C为对称轴而大致对称的形状。但是，底板51亦可不具有相对于中心线C对称的形状。又，底板51上规定有基板10的中心位于中心线C上的假设的把持位置G。将把持位置G的中心表示为把持中心CG。处于把持位置G的基板10的中心与把持中心CG一致。另外，上述中心线C及把持位置G亦可对基板把持手5A规定。
基板把持手5A还具备设置于底板51的两个卡合爪52、53、在比把持位置G靠基端侧B处朝向梢端侧F往复移动的移动部54、以及使移动部54往复移动的致动器71。致动器71的动作由上述控制器6控制。
上述底板51为薄且平的铲状物，且藉由将通过中心线C的梢端部分大幅度地切出切口而整体上呈大致Y字（U字）形状。底板51的基端藉由紧固件等而固定于手基部49。
上述两个卡合爪52、53以能与处于把持位置G的基板10的缘卡合的形式，配置于底板51的比把持中心CG靠梢端侧F处。本实施形态的卡合爪52、53在底板51的比把持中心CG靠梢端侧F处隔着中心线C而分别设置于两侧。
这些卡合爪52、53中的一卡合爪52在基板把持手5A把持垂直姿势的基板10时，与垂直姿势的基板10的比中心靠上方的缘卡合。而且，另一卡合爪53在基板把持手5A把持垂直姿势的基板10时，与垂直姿势的基板10的比中心靠下方的缘卡合。以下，将卡合爪52称为“上侧卡合爪52”，将卡合爪53称为“下侧卡合爪53”。又，为了便于说明，将从基板把持手5A的中心线C朝向上侧卡合爪52的方向定义为“上方”，将朝向下侧卡合爪53的方向定义为“下方”而进行说明。
图6是示出上侧卡合爪52的剖面形状的图4的VI-VI剖面图。由于上侧卡合爪52与下侧卡合爪53具有实质上对应的形态特征，故而对上侧卡合爪52进行说明并省略下侧卡合爪53的说明。如图6所示，在上侧卡合爪52，一体地形成有以朝向把持中心CG往底板51的表面R靠近的形式倾斜的垫面521、朝向把持中心CG且与底板51的表面R平行地开口的槽部522、及对槽部522镶边的爪部523。处于把持位置G的基板10的缘嵌入至槽部522。嵌入至槽部522的基板10的缘以不会从槽部522脱落的形式藉由爪部523卡止。
另外，本说明书及权利要求书中，将基板10的缘抵接于上侧卡合爪52（或下侧卡合爪53）的槽部522的状态定义为“基板10与上侧卡合爪52（或下侧卡合爪53）卡合的状态”，将基板10的缘与上侧卡合爪52（或下侧卡合爪53）的槽部522的接触部位定义为“基板10与上侧卡合爪52（或下侧卡合爪53）的卡合部位”。
移动部54被致动器71驱动，从而在比把持位置G靠基端侧B处在中心线C的延长线上往复移动。本实施形态中，移动部54是沿着中心线C延伸且与底板51平行的板状体。
图7是将图4所示的移动部54的梢端侧放大后的俯视图。在移动部54的梢端侧F，设置有绕与底板51垂直的轴旋转自如的至少一个旋转体55。旋转体55可藉由移动部54朝向梢端侧F往向移动而作用于基板10的基端侧B的缘。如下所述，旋转体55藉由作用于基板10的缘，从而与上侧卡合爪52及下侧卡合爪53协作地把持基板10。如图7所示，本实施形态中，两个旋转体55在移动部54的梢端侧F在与中心线C正交的方向上排列配置。
图8是图7的VIII-VIII剖面图，图9是图7的IX-IX剖面图。如图8所示，上述旋转体55具有作用部551及设置于作用部551的缘的爪部552。作用部551可以是以与使底板51的表面R延长而成的面相向的形式倾斜的斜面。但是，作用部551也可以是相对于底板51的表面R正交的面。作用部551可在旋转体55向梢端侧F移动时作用在处于把持位置G的基板10的缘。作用部551作用于基板10的缘期间，以不会从作用部551脱落的形式藉由爪部552进行卡止。
本实施形态中，旋转体55的直径d例如为40 mm以内，且至少比基板10的凹口11的宽度（参照图11A）n长。如图9所示，两个旋转体55相互邻近地配置。具体而言，两个旋转体55间的间隙的距离g为10 mm以内。较佳地，两个旋转体55间的间隙的距离g比基板10的凹口11的宽度n短。旋转体55的中心间距离p大于凹口11的宽度n且比凹口11的宽度n的三倍小。
另外，两个旋转体55以两个旋转体55中的至少一个切实地与基板10的缘的除凹口11以外的部分抵接的形式配置于移动部54，从而在与基板10抵接时不会嵌入至凹口11。关于这点，详细情况将于下文叙述。
本实施形态中，驱动移动部54的致动器71是支持于手基部49的空气气缸。但是，致动器71并不限定于空气气缸，例如，可为电动马达和齿条齿轮或滚珠螺杆等动力传递机构、气压缸、油压缸等中选择的一个。致动器71的动作由控制器6控制。
如图4所示，致动器71具备杆72及供杆72进退的套筒73。以杆72的延伸方向与中心线C平行，且杆72配置于中心线C的延长线上的形式，将套筒73固定于手基部49。藉此，杆72与移动部54排列于中心线C及其延长线上，可使从杆72经由移动部54向基板10传递的按压力朝向基板10的中心产生。
藉由利用致动器71进行的杆72的伸缩动作，使移动部54与中心线C平行地往复移动。在杆72收缩时，移动部54处于退避位置。藉由杆72伸长，从而移动部54往向移动，最后移动部54到达至作用位置。而且，藉由杆72缩短，从而移动部54复向移动，最后返回至退避位置。
杆72的伸缩轨道藉由引导件74引导。引导件74由固定于手基部49的轨道构件741及固定于杆72的滑块构件742构成。而且，藉由使滑块构件742在轨道构件741滑动，从而以与中心线C平行地伸缩的形式对杆72进行引导。如此引导杆72的轨道，结果抑制与杆72连结的移动部54的往复移动的轨道偏向。
如上所述进行往复移动的移动部54的位置由位置传感器75检测。本实施形态中，位置传感器75的检测部751固定于手基部49，被检测部752一体地设置于滑块构件742。另外，检测部751为接触式或非接触式的物体检测装置，藉由检测被检测部752的位置，从而检测移动部54的位置。位置传感器75的检测信号向控制器6输出。
底板51上，设置有至少一个支持爪80。该支持爪80用于从下方支持位于比把持位置G靠下方且靠基端侧B处的垂直姿势的基板10。支持爪80例如发挥在使移动部54移动前暂时地支持基板10、或防止基板10从基板把持手5A掉落的作用。
本实施形态中，作为支持爪80，在底板51的比把持中心CG靠下方且梢端侧F处设置有第一支持爪81，在底板51的比把持中心CG靠下方且基端侧B处设置有第二支持爪82及第三支持爪83。第一支持爪81设置于紧靠下侧卡合爪53的下方。而且，第一支持爪81、第二支持爪82及第三支持爪83以从下方支持位于比把持位置G靠下方且基端侧B处的垂直姿势的基板10的形式配置。
但是，支持爪80的数量或配置并不限定于本实施例。又，本实施形态中，第一支持爪81与上述下侧卡合爪53分开设置，但第一支持爪81亦可与下侧卡合爪53一体地设置。又，亦可不在底板51设置第一支持爪81，下侧卡合爪53具备作为支持爪80的功能。
进一步地，底板51上设置有至少一个抑制爪84。该抑制爪84用于在万一基板10突出至比把持位置G靠上方的情况下抵接于基板10的上方的缘而限制基板10突出。本实施形态中，抑制爪84配置于底板51的比把持中心CG靠上方且基端侧B处。
这些支持爪80以及抑制爪84具有与上述上侧卡合爪52及下侧卡合爪53实质上对应的形态特征，分别具有垫面、槽部、爪部。
〔基板搬运装置3的动作〕
接着，参照图10对将收容于基板纵置容器2的垂直姿势的基板10取出时的基板搬运装置3的动作进行说明。另外，以下，虽未特别记载，但机械手4及基板把持手5A的动作由控制器6控制。
首先，机械手4进行动作，垂直姿势的基板把持手5A朝向与放置在基板纵置容器2的垂直姿势的基板10对应的取出开始位置移动。图10的（A）中示出处于垂直姿势的基板10的取出开始位置的基板把持手5A与基板10的位置关系。如图10的（A）所示，基板把持手5A在取出开始位置，采取其中心线C与水平方向一致的姿势。另外，在基板把持手5A移动至取出开始位置后至把持基板10为止的期间，维持该姿势。在移动至取出开始位置的时间点，基板把持手5A未与基板10接触，基板10仅支持于基板纵置容器2，更详细而言仅支持于三根支持构件21～23。又，移动部54处于退避位置。
接着，机械手4进行动作，以使基板10藉由支持爪80支持的形式，基板把持手5A从取出开始位置稍微向上方移动。图10的（B）中示出利用支持爪80支持垂直姿势的基板10的基板把持手5A的情况。在处于基板10藉由支持爪80支持的位置（支持位置）时，上侧卡合爪52及下侧卡合爪53与基板10的缘并未抵接而是稍微隔开对峙。但是，下侧卡合爪53亦可抵接于处于支持位置的基板10的缘。
然后，致动器71进行动作，移动部54与中心线C平行地向梢端侧F往向移动。藉此，旋转体55按压处于支持位置的基板10的缘，基板1从支持位置向把持位置G移动。
图10的（C）中示出基板10被旋转体55按压而移动至把持位置G的情况。如图10的（C）所示，藉由旋转体55作用于基板10，从而使如下的力作用于基板10：以与处于梢端侧F的第一支持爪81的卡合部位为中心向上旋转的力。其结果是，处于支持位置的基板10以与第一支持爪81的卡合部位为中心进行旋动而被向上推升。此时，抵接于基板10的周缘的旋转体55也旋转，以引导基板10的移动。
如此，旋转体55一边旋转一边将基板10向上推升，从而基板10从第二支持爪82及第三支持爪83离开，不久与下侧卡合爪53卡合，并从第一支持爪81离开。之后也同样，基板10受旋转体55作用，以与下侧卡合爪53的接触部位（卡合部位）为中心进行旋动而被向上推升，最后到达至由上侧卡合爪52限制的把持位置G。另外，在基板10到达把持位置G为止的期间，基板10可以一边在下侧卡合爪53的槽中滚动一边旋动，基板10亦可一边在与下侧卡合爪53的槽的接触部位滑动一边旋动。
另外，将垂直姿势的基板10取出时的基板搬运装置3的动作并不限定于上述动作。例如，上述动作中，在基板10移动至藉由支持爪80支持的支持位置之后，使致动器71进行动作，但并不限定于此，亦可在基板10移动至支持位置前使致动器71进行动作。
例如，亦可与基板把持手5A从取出开始位置向上方移动同时，或在从取出开始位置向上方移动前，使致动器71进行动作。该情况下，基板10亦可在与支持爪80接触前，与旋转体55接触，然后藉由旋转体55和下侧卡合爪53支持。
但若朝向基板10移动的旋转体55嵌入至基板10的凹口11，则有如下担忧：无法将基板10向把持位置G推升，或在基板10产生不必要的应力而导致基板10的损伤。这里，一边参照图11A及图11B，一边对凹口11位于旋转体55因移动部54的移动而移动的方向的情况进行说明。
图11A是示意性地示出藉由移动部54的移动而移动的旋转体55即将抵接于基板10的缘之前的情况的图。图11B是示意性地示出藉由移动部54的移动而移动的旋转体55刚抵接于基板10的缘之后的情况的图。另外，图11A及图11B中，示出在与基板10抵接的部位切断的旋转体55的剖面图。
在图11A所示的图例中，凹口11位于两个旋转体55a、55b中的一个旋转体55a藉由移动部54的移动而移动的方向上。然而，如图11B所示，藉由在移动部54往向移动时另一个旋转体55b先抵接于基板10的缘，从而防止旋转体55a嵌入至凹口11。
如此，本实施形态中，两个旋转体55a、55b以其中的至少一个切实地抵接于基板10的缘的除凹口11以外的部分的形式配置于移动部54。更详细而言，两个旋转体55a、55b以即便在凹口11位于其中的一个旋转体55a藉由移动部54的移动而移动的方向上的情况下，另一个旋转体55b也会先与基板10的缘的除凹口11以外的部分接触的形式配置于移动部54。藉此，可防止旋转体55嵌入至基板10的凹口11。
又，由于两个旋转体55相互邻近地配置，故而在基板10从支持位置移动至把持位置期间，两个旋转体55的各者与基板10的缘的距离不会产生较大的差。因此，在基板10从支持位置移动至把持位置期间，一旋转体55看上去要嵌入至凹口11时，藉由另一旋转体55抵接于基板10的缘，能够实现平顺的移动。
如以上所说明地，本实施形态的基板把持手5A在把持垂直姿势的圆板状的基板10时，从基端侧B对在比把持位置G靠下方的位置与第一支持爪81或下侧卡合爪53接触的状态下的基板10进行按压的旋转体55一边沿着基板10的缘旋转一边将基板10向把持位置G推升。因此，可减少使基板10移动至把持位置G时在基板把持手5A与基板10的接触部位产生的摩擦力，藉此，可防止基板10上产生不必要的应力。
本发明并不限定于上述实施形态，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变形。
例如，上侧卡合爪52及下侧卡合爪53的数量、配置并不限定于上述实施形态。又，亦可在底板51设置以在其梢端侧F跨越中心线C的形式设置的一个卡合爪，该卡合爪亦可兼具作为上侧卡合爪52及下侧卡合爪53的功能。又，上述实施形态的基板把持手5A～5C中，设置有多个支持爪80，但支持爪80亦可为一个。
又，上述实施形态中，设置于底板51的比把持中心CG靠梢端侧F处的下侧卡合爪53和第一支持爪81为分别独立的构件。但是，亦可代替下侧卡合爪53与第一支持爪81，而将兼具它们的功能的一个构件设置于底板51。
又，上述实施形态中，设置有两个旋转体55，但旋转体55亦可为三个以上。
又，上述实施形态中，两个旋转体55在与中心线C正交的方向上排列配置于沿着中心线C延伸的作为移动部54的板状体，但移动部54的形状、多个旋转体55的配置并不限定于此。例如，移动部54亦可具有朝向梢端侧F分支为多个的形状，亦可在分支出的部分分别设置旋转体55。
例如，如图12所示，移动部54亦可设为具有沿着中心线C延伸的部分及从其中途向下侧分支的部分的形状，亦可在各部分的梢端各设置一个旋转体55。又，例如，如图13所示，移动部54亦可为在沿着中心线C延伸的部分的梢端向上方及下方分支后向梢端侧F延伸的形状，亦可在各部分的梢端各设置一个旋转体55。另外，也可以是，在图12及图13所示的基板把持手5B、5C中，两个旋转体55以即便在凹口11位于一个旋转体55藉由移动部54的移动而移动的方向上的情况下，也使另一旋转体55先与基板10的缘的除凹口11以外的部分接触的形式，将多个旋转体55配置于移动部。
又，上述实施形态中，移动部54在中心线C的延长线上往复移动，但移动部54例如亦可在比底板51的把持中心CG靠下方处，在与中心线C平行的直线上移动，亦可不与中心线C平行地往复移动。又，上述实施形态中，基板搬运装置3以使基板把持手5的姿势成为其中心线C与水平方向平行而把持基板10的形式进行动作，但基板把持手5把持基板时的姿势亦并不限定于此，能够适当变更。
符号说明：
1：基板搬运系统
2：基板纵置容器
3：基板搬运装置
4：机械手
5A、5B、5C：基板把持手
6：控制器
10：基板
11：凹口
49：手基部
51：底板
52：上侧卡合爪
53：下侧卡合爪
54：移动部
55：旋转体
80：支持爪
81：第一支持爪
82：第二支持爪
83：第三支持爪
B：基端侧
C：中心线
F：梢端侧
G：把持位置。

Claims (3)

1.一种基板把持手，其特征在于，是装设于机械手的手梢部且把持垂直或倾斜姿势的圆板状的基板的基板把持手，具备：
底板，该底板从固定于上述手梢部的基端侧向梢端侧扩展，且规定有把持位置；
下侧卡合爪，该下侧卡合爪设置于上述底板的上述梢端侧，且能与垂直或倾斜姿势的上述基板的比中心靠下方的缘卡合；
上侧卡合爪，该上侧卡合爪与上述下侧卡合爪相分离，设置于上述底板的上述梢端侧，且能与垂直姿势或倾斜姿势的上述基板的比中心靠上方的缘卡合；
致动器；
移动部，该移动部被上述致动器驱动，在比上述把持位置靠上述基端侧处朝向上述梢端侧移动；
至少一个支持爪，该支持爪在使上述移动部向上述梢端侧移动之前，在不与上述上侧卡合爪卡合的状态下，支持位于比上述把持位置靠下方且靠上述基端侧处的垂直或倾斜姿势的上述基板，且设置于上述底板；以及
多个旋转体，该多个旋转体设置于上述移动部的上述梢端侧，藉由上述移动部的移动，对处于在比上述把持位置靠下方的位置与上述下侧卡合爪卡合且不与上述上侧卡合爪卡合的状态的上述基板的缘进行按压，从而一边沿着上述基板的缘旋转，一边将上述基板以从上述至少一个支持爪离开的形式向上述把持位置推升，与上述上侧卡合爪和上述下侧卡合爪协作把持上述基板；
在通过上述上侧卡合爪、上述下侧卡合爪和上述多个旋转体把持垂直或倾斜姿势的上述基板的状态下，上述上侧卡合爪处于比多个旋转体靠上方的位置，上述下侧卡合爪及上述至少一个支持爪处于比多个旋转体靠下方的位置。
2.根据权利要求1所述的基板把持手，其特征在于，上述基板的缘上形成有凹口，
以如下形式将上述多个旋转体配置于上述移动部：在上述凹口位于上述多个旋转体中的一个上述旋转体藉由上述移动部的移动而移动的方向上的情况下，也使其他上述旋转体先与上述基板的缘的除上述凹口以外的部分接触。
3. 一种基板搬运装置，其特征在于，具备：
根据权利要求1或2的基板把持手；以及
在手梢部装设有上述基板把持手的机械手。
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