CN111348427B - 机械手 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种机械手，用于抓取晶圆，其包括机械手本体、手指、固定铲爪及活动铲爪；手指与机械手本体连接；固定铲爪设置于手指上，与手指固定连接，且固定铲爪位于机械手本体的远端；固定铲爪用于从晶圆的一侧将晶圆铲起；活动铲爪活动设置于手指上，与机械手本体活动连接，且活动铲爪位于机械手本体的近端；活动铲爪用于在晶圆被铲起之后，移动至晶圆的边缘，并与固定铲爪相配合，将晶圆卡固；固定铲爪及活动铲爪分别位于晶圆的相对两侧。本申请实施例的机械手抓取晶圆成功率较高，并且由于固定铲爪及活动铲爪的共同夹持作用，使得机械手可以由晶圆的上方或下方进行抓片，从而提高了通用性能以及扩展了使用范围。

Description

机械手

技术领域

本申请涉及半导体加工技术领域，具体而言，本申请涉及一种机械手。

背景技术

目前，在半导体加工设备领域，现有机械手大都采用下抓式或上抓式的方法来转运清洗前后的晶圆，在对清洗速度日益严苛的今天，机械手的抓取速度及移动速度被各厂商广泛关注。其中机械手的一次抓取成功率、机械手的通用性及机械手抓起硅片后牢固程度成为制约机械手工艺速度及工艺效果的关键。

在半导体清洗设备中，有些半导体工艺要求清洗晶圆的正面，此时大多数厂家应用下抓式机械手形式；当半导体工艺要求清洗晶圆的反面，一般需要使用上抓式机械手，两种机械手之间不可以通用。如果下抓式机械手从上方抓片，会造成掉片以及与晶圆夹持装置发生干涉、污染等损害。如果上抓式机械手从下方抓片，也会造成划片、干涉及工艺步骤复杂等损害。

因此，本专利针对这一问题，拟通过设计一种通用形式的机械手指来满足机械手的各方向的抓取要求，优化现有机械手指结构，提高机械手的工艺效率及稳定性。

发明内容

本申请针对现有方式的缺点，提出一种机械手，用以解决现有技术存在的晶圆抓取成率较低以及通用性能较差的技术问题。

第一个方面，本申请实施例提供了一种机械手，用于抓取晶圆，其包括机械手本体、手指、固定铲爪及活动铲爪；所述手指与所述机械手本体连接；所述固定铲爪设置于所述手指上，与所述手指固定连接，且所述固定铲爪位于所述机械手本体的远端；所述固定铲爪用于从所述晶圆的一侧将所述晶圆铲起；所述活动铲爪活动设置于所述手指上，与所述机械手本体活动连接，且所述活动铲爪位于所述机械手本体的近端；所述活动铲爪用于在所述晶圆被铲起之后，移动至所述晶圆的边缘，并与所述固定铲爪相配合，将所述晶圆卡固；所述固定铲爪及所述活动铲爪分别位于所述晶圆的相对两侧。

于本申请的一实施例中，所述机械手包括两个手指；每个所述手指的指尖端设置有一所述固定铲爪；并且两个所述活动铲爪并列设置于两个所述手指之间的根部位置。

于本申请的一实施例中，所述固定铲爪包括有限位部，用于在所述机械手的带动下与所述晶圆的边缘卡合；所述活动铲爪包括有夹持部，且所述夹持部的开口与所述限位部的开口相对设置。

于本申请的一实施例中，所述固定铲爪包括顶抵块、主导片及副导片；所述顶抵块设置于所述手指上，所述主导片及副导片的一端分别与所述顶抵块连接，另一端沿所述晶圆轴向延伸；所述主导片及副导片与所述顶抵块配合形成所述限位部；且所述主导片与所述副导片相对设置；所述主导片及所述副导片用于将所述晶圆导入所述限位部内。

于本申请的一实施例中，所述顶抵块与所述晶圆的外周面接触，用于向所述晶圆施加作用力；所述主导片及所述副导片的延伸方向上均设置第一凸棱，两个所述第一凸棱分别与所述晶圆正反面线接触，用于将所述晶圆导入所述限位部内。

于本申请的一实施例中，沿所述限位部的开口至根部方向，两个所述第一凸棱的间距逐渐变小。

于本申请的一实施例中，所述活动铲爪还包括有活动板、上导片、下导片、顶轮及伸缩机构，所述活动板通过所述伸缩机构设置于所述机械手本体上，所述上导片及下导片与所述活动板连接，另一端沿所述晶圆径向延伸，所述顶轮可旋转设置于所述上导片及下导片之间，且所述顶轮外周面与所述上导片及下导片共同构成所述夹持部。

于本申请的一实施例中，所述顶轮的外周面能与所述晶圆的外周面滚动接触，用于向所述晶圆施加作用力；所述上导片及所述下导片的延伸方向均设置有第二凸棱，两个所述第二凸棱分别与所述晶圆正反面线接触，用于将所述晶圆导入所述夹持部内。

于本申请的一实施例中，沿所述夹持部的开口至根部方向，两个所述第二凸棱的间距逐渐变小。

于本申请的一实施例中，所述伸缩机构包括电缸、气缸或者液压缸结构。

于本申请的一实施例中，所述机械手还包括有压片结构，所述压片结构位于所述固定铲爪及所述活动铲爪之间，并且靠近所述活动铲爪设置；所述压片结构包括固定块及压板，所述固定块设置于所述手指上，所述压板上形成有与所述手指轴向平行的第三凸棱，所述第三凸棱与所述晶圆表面线接触。

本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：

本申请实施例通过设置固定铲爪及活动铲爪，并且通过先将固定铲爪将晶圆的一侧铲起，然后活动铲爪移动后将晶圆另一边缘铲起并卡固，使得本申请的机械手抓取晶圆成功率较高，并且由于固定铲爪与活动铲爪的共同夹持作用，使得本申请实施例可以由晶圆的上方或下方进行抓片，从而提高了通用性能以及扩展了使用范围，进而还提高了工艺效率及稳定性。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1A为本申请实施例提供的一种机械手的仰视示意图；

图1B为本申请实施例提供的一种机械手与晶圆配合的仰视示意图；

图2A为本申请实施例提供的一种固定铲爪的立体放大示意图；

图2B为本申请实施例提供的一种固定铲爪的侧视放大示意图；

图2C为本申请实施例提供的一种固定铲爪与晶圆配合的侧视放大示意图；

图3A为本申请实施例提供的一种活动铲爪立体放大示意图；

图3B为本申请实施例提供的一种活动铲爪与晶圆配合的侧视示意图；

图4A为本申请实施例提供的一种压片结构的立体示意图；

图4B为本申请实施例提供的一种压片结构与晶圆配合的仰视示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。

本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。

下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。

本申请实施例提供了一种机械手，该机械手的结构示意图如图1A及图1B所示，包括：机械手本体1、手指部11、固定铲爪2及活动铲爪3；手指11与机械手本体1连接；固定铲爪2设置于手指11上，与手指11固定连接，且固定铲爪2位于机械手本体1的远端；固定铲爪2用于从晶圆的一侧将晶圆铲起；活动铲爪3活动设置于手指11上，与机械手本体1活动连接，且活动铲爪3位于机械手1近端；活动铲爪3用于在晶圆100被铲起之后，移动至晶圆100的边缘，并与固定铲爪2相配合，将晶圆100卡固；固定铲爪2及活动铲爪3分别位于晶圆100两相对侧。

如图1A及图1B所示，机械手本体1可以为采用金属材质制成的板状结构，左侧可以是机械手本体1的近端，右侧可以是机械手本体1的远端，近端可以与驱动装置运动以带动机械手移动。手指11与机械手本体1连接。固定铲爪2设置于手指11上，并且与手指固定连接。固定铲爪2位于机械手本体1的远端，固定铲爪能从晶圆100的一侧将晶圆100铲起。活动铲爪3活动的设置于手指11上，其可以与机械手本体活动连接，并且活动铲爪3位于靠机械手本体1的近端，在实际应用时，机械手可先带动固定铲爪2移动至晶圆100上方的右侧，然后使向下移动后再向左侧移动，以使晶圆100的边缘被固定铲爪2铲起，然后活动铲爪3可以向右侧移动至晶圆100的边缘，由此晶圆100在固定铲爪2及活动铲爪3的相互作用下卡固于机械手上，此时固定铲爪2及活动铲爪3可以位于晶圆100对称的两侧。

本申请实施例通过设置固定铲爪及活动铲爪，并且通过先将固定铲爪将晶圆的一侧铲起，然后活动铲爪移动后将晶圆另一边缘铲起并卡固，使得本申请的机械手抓取晶圆成功率较高，并且由于固定铲爪与活动铲爪的共同夹持作用，使得本申请实施例可以由晶圆的上方或下方进行抓片，从而提高了通用性能以及扩展了使用范围，进而还提高了工艺效率及稳定性。

需要说明的是，本申请实施例并不限定机械手的移动方向以及机械手本体的近端及远端定义的位置，上述定义仅限于对本申请实施例说明之用，并非用以限定本申请，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，如图1A所示，机械手包括两个手指11；每个手指11的指尖端设置有一固定铲爪2；并且两个活动铲爪3并列设置于两个手指11之间的根部位置。采用上述设计，使得本申请的机械手结构简单，能有效降低成本及故障率，并且还便于对其的拆装维护。

于本申请的一实施例中，如图1A及图1B所示，固定铲爪2包括有限位部24，用于在机械手的带动下与晶圆100的边缘卡合；活动铲爪3包括有夹持部35，且夹持部35的开口与限位部24的开口相对设置。具体来说，固定铲爪2上包括有限位部24，限位部24的开口可以面向晶圆100的轴心所在的方向设置。活动铲爪3包括夹持部35，夹持部35的开口同样可以面向晶圆100的轴心所在的方向设置，即限位部24与夹持部35的开口方向相对设置。在实际应用时，机械手1可先带动固定铲爪2移动至晶圆100上方的右侧，然后向下移动后再向左侧移动，以使晶圆100的边缘由进入限位部24内从而卡合晶圆100，然后活动铲爪3可以向右侧移动，使得晶圆100的边缘进入夹持部35内，由此晶圆100在固定铲爪2及活动铲爪3的相互作用下卡固于机械手上，此时固定铲爪2及活动铲爪3可以位于晶圆100对称的两侧。采用上述设计，由于限位部及夹持部均卡合晶圆的边缘，从而进一步提高抓取晶圆成功率。

于本申请的一实施例中，固定铲爪2包括顶抵块21、主导片22及副导片23，顶抵块21设置于手指11上，主导片22及副导片23的一端与顶抵块21连接，另一端沿晶圆100轴向延伸；主导片22及副导片23与顶抵块21配合形成限位部24；主导片22与副导片23相对设置，主导片22及副导片23用于将晶圆100导入限位部24内。

如图2A至2C所示，顶抵块21可以为采用金属材质制成的如图2A所示的块状结构，顶抵块21可以通过紧固件与手指11采用螺接方式连接。顶抵块21面向晶圆100的侧面可以为顶抵面，在该顶抵面可以一体形成有主导片22及副导片23，主导片22与副导片23之间的空间以及顶抵面共同构成限位部24，并且主导片22及副导片23采用三角形的片状结构，三角形的片状结构的任意一锐角远离顶抵面设置，即主导片22及副导片23位于限位部24开口处为尖角设置，以便于将晶圆100铲起并导入至限位部24内。在实际应用时，主导片22可以位于晶圆100的上方，而副导片23则可以位于晶圆100的下方。可选地，主导片22及副导片23为具有斜坡的楔型片刃状，且与顶抵块21相配合，使得限位部24形成为楔形凹陷状；沿限位部24的开口至限位部的凹陷方向，主导片22及副导片23上斜坡的坡度逐渐增大。

需要说明的是，本申请实施例并不限定固定铲爪2的材质及结构，只要其可以形成有限位部24即可，另外主导片22及副导片23与顶抵块21之间也可以采用分体式结构。本申请实施并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，顶抵块21与晶圆100的外周面接触，用于向晶圆100施加作用力；主导片22及副导片23的延伸方向上均设置有第一凸棱25，两个第一凸棱25分别与晶圆100正反面线接触，用于将晶圆100导入限位部24内。

如图2A至2C所示，顶抵块21的顶抵面与晶圆100的外周面之间可以是点接触或者线接触，由于晶圆100的尺寸不同因此顶抵面与晶圆100外周面接触状态不同，当活动铲爪3卡固晶圆100时，顶抵面可以始终向晶圆100施加一垂直于切线的作用力。主导片22及副导片23的延伸方向上均设置有第一凸棱25，并且两个第一凸棱25分别位于主导片22及副导片23两相对的侧面上，第一凸棱25可以与晶圆100的径向平行延伸设置，即该第一凸棱25位于限位部24内，主导片22及副导片23均通过该第一凸棱25与晶圆100的正反面线性接触。由于采用线性接触，可以有效降低固定铲爪2与晶圆100的接触面积，从而避免了污染晶圆100表面，进而有效提高了工艺效率及稳定性。

需要说明的是，本申请实施例并不限定第一凸棱的具体结构及延伸方向，第一凸棱可以沿其它方向延伸并且与晶圆线接触即可，本申请实施例不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，在固定铲爪2的横截面中，沿限位部24的开口至根部方向，两个第一凸棱的间距逐渐变小。

如图2B所示，固定铲爪2的侧视图中，主导片22及副导片23均为直角三角形结构，两个斜角边可以是上述实施例中描述第一凸棱25，并且还将限位部24形成了类似梯形结构，即沿限位部24的开口至根部方向，两个第一凸棱25的间距逐渐变小。采用上述设计，可以便于将晶圆100导入至限位部24内，并且还可以进一步减少固定铲爪2与晶圆100的正反面接触面积，从而进一步避免污染晶圆100表面。需要说明的是，固定铲爪2即可以包括第一凸棱25结构或者限位部24梯形结构，还可以同时包括上述两种结构。本申请实施并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，活动铲爪3还包括有活动板31、上导片32、下导片33、顶轮34及伸缩机构4，活动板31通过一伸缩机构4设置于机械手本体1上，上导片32及下导片33的一端与活动板31连接，另一端沿晶圆100径向延伸，顶轮34可旋转设置于上导片32及下导片33之间，且顶轮34外周面与上导片32及下导片33共同配合形成夹持部35。可选地，伸缩机构4包括电缸、气缸或者液压缸结构。

如图1A、图3A及图3B所示，活动板31可以为采用金属材质制成的板状结构，其可以滑动设置于两个手指11之间。伸缩机构4设置于机械手本体1上，并且其伸缩杆41与活动板31连接，以带动活动板31相对于机械手本体1活动。上导片32及下导片33采用金属材质制成的板状结构，两者的一端均可以通螺栓固定设置于活动板31上，顶轮34位于上导片32及下导片33之间，紧固件依次穿过下导片33、顶轮34及上导片32之后与活动板31螺接，顶轮34能以该紧固件为轴自转，顶轮34外周面与上导片32及下导33共同配合形成夹持部35。上导片32及下导片33采用三角形的片状结构，三角形的片状结构的任意一锐角远离顶轮34设置，即上导片32及下导片33位于夹持部35开口处为尖角设置，以便于将晶圆100铲起并导入至夹持部35内，顶轮34可以与晶圆100滚动接触以避免污染晶圆100。在实际应用时，上导片32可以位于晶圆100的上方，而下导片33则可以位于晶圆100的下方。可选地，上导片32及下导片33为具有斜坡的楔型片刃状，且与顶轮34的外周面相配合，使得夹持部35形成为楔形凹陷状；沿夹持部35的开口至夹持部35的凹陷方向，上导片32及下导片33上斜坡的坡度逐渐增大。

需要说明的是，本申请实施例并不限定紧固件的具体连接方式，紧固件可以采用卡接或以焊接的方式与活动板31连接。本申请实施并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，顶轮34的外周面能与晶圆100的外周面滚动接触，用于向晶圆100施加作用力；上导片32及下导片33的延伸方向均设置有第二凸棱36，两个第二凸棱36分别与晶圆100正反面线接触，用于将晶圆100导入夹持部35内。

如图3A及图3B所示，顶轮34的外周面与晶圆100的外周面之间可以是点接触或者线接触，由于晶圆100的尺寸不同因此顶抵面与晶圆100外周面接触状态不同，当活动铲爪3卡固晶圆100时，顶轮34可以始终向晶圆100施加一垂直于切线的作用力。上导片32及下导片33的延伸方向上均设置有第二凸棱36，并且两个第二凸棱36分别位于上导片32及下导片33两相对的侧面上，第二凸棱36可以与晶圆100的径向平行的方向延伸设置，即该第二凸棱36均位于夹持部35内，上导片32及下导片33均通过该第二凸棱36与晶圆100的正反面线性接触。由于采用线性接触，可以有效降低固定铲爪2与晶圆100的接触面积，从而避免了污染晶圆100表面，进而有效提高了工艺效率及稳定性。

需要说明的是，本申请实施例并不限定第二凸棱的具体结构及延伸方向，第二凸棱可以沿其它方向延伸并且与晶圆线接触即可，本申请实施例不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，在活动铲爪3的横截面中，沿夹持部35的开口至根部方向，两个第二凸棱的间距逐渐变小。

如图3A及图3B所示，并且结合参如图2B所示，上导片32及下导片33的结构可以与固定铲爪2的主导片22及副导片23的结构类似，即上导片32及下导片33的侧面均为直角三角形结构。两个斜角边可以是上述实施例中描述的第二凸棱36，并且还将夹持部35形成了类似梯形结构，即沿夹持部35的开口至根部方向，两个第二凸棱36的间距逐渐变小。采用上述设计，可以便于将晶圆100导入至夹持部35内，并且还可以进一步减少活动铲爪3与晶圆100的正反面接触面积，从而进一步避免污染晶圆100表面。需要说明的是，活动铲爪3即可以包括第二凸棱36结构或者夹持部35梯形结构，还可以同时包括上述两种结构。本申请实施并不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

于本申请的一实施例中，机械手还包括有压片结构5，压片结构5位于固定铲爪2及活动铲爪3之间，并且靠近活动铲爪3设置。可选地，压片结构5包括固定块51及压板52，固定块51设置于手指11上，压板52上形成有与手指11轴向平行的第三凸棱53，第三凸棱53与晶圆100表面线接触。

如图1A、图1B、图4A及4B所示，压片结构5为两个且分别设置于两个手指11上。压片结构5位于固定铲爪2与活动铲爪3之间，并且靠近活动铲爪3设置。在实际应用过程中，当固定铲爪2与晶圆100的边缘卡固时，压片结构5对晶圆100的另一侧压抵，从而可以防止晶圆100由于不水平造成的与机械手1接触导致废片，进而有效提高机械手的在传送过程中的废片率。压片结构5可以为采用金属材质制成的板状结构，其可以包括一体成型的固定块51及压板52，固定块51可以通过紧固件与手指11采用螺接方式连接。压板52采用直角三角形的板状结构，其中较短的直角边位于固定块51一侧，较长的直角边手指11边缘平齐，并且该较长的直角边可以形成第三凸棱53，第三凸棱53可以沿与手指11轴向平行的方向延伸设置。第三凸棱53通过与晶圆100线接触，可以有效减少与晶圆100的接触面积，从而避免对晶圆100表面造成污染。但是本申请实施例并不限定压片结构5的形状及材质，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

需要说明的是，本申请实施例并不限定第三凸棱的具体结构及延伸方向，第三凸棱可以沿其它方向延伸并且与晶圆线接触即可，本申请实施例不以此为限，本领域技术人员可以根据实际情况自行调整设置。

在某些单片晶圆清洗设备上，例如背面清洗设备在对晶圆进行清洗过程中，需要将晶圆翻转180°后清洗背面。目前的解决方案是利用中转翻片机构完成翻片工作，或利用两个机械手中间传接的方式来完成翻片，但是这些方法都会影响整机清洗效率，且在翻转阶段存在掉片风险。而本申请实施例中，只需将机械手翻转180°即可完成翻片工艺，不需重新拆装机械手，不需安装多余翻转机构，可实现上抓下取相结合的复合取放片功能，大幅提高单个机械手应用面及传片效率。

应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：

本申请实施例通过设置固定铲爪及活动铲爪，并且通过先将固定铲爪将晶圆的一侧铲起，然后活动铲爪移动后将晶圆另一边缘铲起并卡固，使得本申请的机械手抓取晶圆成功率较高，并且由于固定铲爪与活动铲爪的共同夹持作用，使得本申请实施例可以由晶圆的上方或下方进行抓片，从而提高了通用性能以及扩展了使用范围，进而还提高了工艺效率及稳定性。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (11)

1.一种机械手，用于抓取晶圆，其特征在于，包括机械手本体、手指、固定铲爪及活动铲爪；

所述手指与所述机械手本体连接；

所述固定铲爪设置于所述手指上，与所述手指固定连接，且所述固定铲爪位于所述机械手本体的远端；所述固定铲爪用于从所述晶圆的一侧将所述晶圆铲起；

所述活动铲爪活动设置于所述手指上，与所述机械手本体活动连接，且所述活动铲爪位于所述机械手本体的近端；

所述活动铲爪用于在所述晶圆的一侧被固定铲爪铲起之后，移动至所述晶圆的另一边缘，将所述晶圆的另一边缘铲起，并与所述固定铲爪相配合，将所述晶圆卡固；

所述固定铲爪及所述活动铲爪分别位于所述晶圆的相对两侧。

2.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述机械手包括两个手指；每个所述手指的指尖端设置有一所述固定铲爪；并且两个所述活动铲爪并列设置于两个所述手指之间的根部位置。

3.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述固定铲爪包括有限位部，用于在所述机械手的带动下与所述晶圆的边缘卡合；所述活动铲爪包括有夹持部，且所述夹持部的开口与所述限位部的开口相对设置。

4.如权利要求3所述的机械手，其特征在于，所述固定铲爪包括顶抵块、主导片及副导片；

所述顶抵块设置于所述手指上，所述主导片及副导片的一端分别与所述顶抵块连接，另一端沿所述晶圆轴向延伸；所述主导片及副导片与所述顶抵块配合形成所述限位部；

且所述主导片与所述副导片相对设置；

所述主导片及所述副导片用于将所述晶圆导入所述限位部内。

5.如权利要求4所述的机械手，其特征在于，所述顶抵块与所述晶圆的外周面接触，用于向所述晶圆施加作用力；所述主导片及所述副导片的延伸方向上均设置第一凸棱，两个所述第一凸棱分别与所述晶圆正反面线接触，用于将所述晶圆导入所述限位部内。

6.如权利要求5所述的机械手，其特征在于，沿所述限位部的开口至根部方向，两个所述第一凸棱的间距逐渐变小。

7.如权利要求3所述的机械手，其特征在于，所述活动铲爪还包括有活动板、上导片、下导片、顶轮及伸缩机构，所述活动板通过所述伸缩机构设置于所述机械手本体上，所述上导片及下导片与所述活动板连接，另一端沿所述晶圆径向延伸，所述顶轮可旋转设置于所述上导片及下导片之间，且所述顶轮外周面与所述上导片及下导片共同构成所述夹持部。

8.如权利要求7所述的机械手，其特征在于，所述顶轮的外周面能与所述晶圆的外周面滚动接触，用于向所述晶圆施加作用力；所述上导片及所述下导片的延伸方向均设置有第二凸棱，两个所述第二凸棱分别与所述晶圆正反面线接触，用于将所述晶圆导入所述夹持部内。

9.如权利要求8所述的机械手，其特征在于，沿所述夹持部的开口至根部方向，两个所述第二凸棱的间距逐渐变小。

10.如权利要求7所述的机械手，其特征在于，所述伸缩机构包括电缸、气缸或者液压缸结构。

11.如权利要求1至10的任一所述的机械手，其特征在于，所述机械手还包括有压片结构，所述压片结构位于所述固定铲爪及所述活动铲爪之间，并且靠近所述活动铲爪设置；所述压片结构包括固定块及压板，所述固定块设置于所述手指上，所述压板上形成有与所述手指轴向平行的第三凸棱，所述第三凸棱与所述晶圆表面线接触。

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