JP2015079820A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】長手方向Lに延びたハンド10の先端側に幅方向Wに互いに離間して並設された断面円形状の先端側把持部20、20と、ハンド10の基端側に配置されて、断面円形状の基端側把持部30、30と、基端側把持部30を長手方向Lに往復動させて、先端側把持部20と基端側把持部30とで基板2の周縁を把持するクランプ機構40と、基端側把持部30を長手方向Lに微動させて基板2の厚みに応じて基板の把持力を調整する把持力調整機構と、を備えている基板搬送装置1。
【選択図】図1
Description
また、処理部は、厚み測定部の出力信号により、基板2の厚みに応じて予め設定された把持力に相当する圧力のエアーを供給するように、電空レギュレータ53の2次側圧力を調整する。
2 ・・・ 基板
3 ・・・ (ロボットアームの)軸
4 ・・・ アーム連結部
10・・・ ハンド(本体部)
10a・・・(ハンドの)先端部
10b・・・(ハンドの)基端部
10c・・・(ハンドの)表面
20・・・ 先端側把持部
20a・・・(先端側把持部の)周面
20b・・・(先端側把持部の)回転軸
30・・・ 基端側把持部
30a・・・(基端側把持部の)周面
30b・・・(基端側把持部の)回転軸
40・・・ クランプ機構
41・・・ プッシャー
42・・・ クランプ用ピストンロッド
43・・・ クランプ用シリンダ
44・・・ 電磁弁
50・・・ 把持力調整機構
51・・・ 基端側シリンダ
52・・・ 基端側ピストン
53・・・ 電空レギュレータ
54・・・ レギュレータ
55・・・ 精密レギュレータ
60・・・ 把持力調整機構
61・・・ 先端側シリンダ
62・・・ 先端側ピストン
63・・・ 基端側シリンダ
64・・・ 基端側ピストン
65・・・ 電空レギュレータ
66・・・ レギュレータ
67・・・ 精密レギュレータ
Claims (4)
- 基板の周縁を把持して基板を搬送する基板搬送装置であって、
長手方向に延びた本体部と、
前記本体部の先端側に前記長手方向に直交する幅方向に互いに離間して並設されて、断面円形状に形成された2つの先端側把持部と、
前記本体部の基端側に配置されて、断面円形状に形成された少なくとも1つの基端側把持部と、
前記基端側把持部を長手方向に往復動させて、前記先端側把持部と前記基端側把持部とで前記基板の周縁を把持するクランプ機構と、
前記先端側把持部及び前記基端側把持部の少なくとも一方を前記長手方向に微動させて、前記基板の厚みに応じて前記基板の把持力を調整する把持力調整機構と、
を備えていることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記把持力調整機構は、
前記先端側把持部及び前記基端側把持部の少なくとも一方に連結されて、シリンダ内を長手方向に往復動可能に収容されたピストンと、
前記基板の厚みに応じた前記基板の把持力を付与する空気圧を前記シリンダ内に供給して、前記ピストンを長手方向に往復動させる電空レギュレータと、
を備えていることを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。 - 前記先端側把持部及び基端側把持部の少なくとも一方が、前記本体部に対して垂直な回転軸まわりに回動可能に軸支されていることを特徴とする請求項1又は2記載の基板搬送装置。
- 前記回動可能な先端側把持部又は基端側把持部は、前記本体部にベアリングを介して軸支されていることを特徴とする請求項3記載の基板搬送装置。
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2013
- 2013-10-16 JP JP2013215275A patent/JP2015079820A/ja active Pending
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