CN101391864A - 基板热处理炉 - Google Patents

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CN101391864A CNA2008101490055A CN200810149005A CN101391864A CN 101391864 A CN101391864 A CN 101391864A CN A2008101490055 A CNA2008101490055 A CN A2008101490055A CN 200810149005 A CN200810149005 A CN 200810149005A CN 101391864 A CN101391864 A CN 101391864A
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大见忠弘
村冈祐介
宫路恭祥
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Abstract

本发明提供一种通过加热处理能够高效地分解在排出的热风中含有的有机物的基板热处理炉。通过向炉体主体部(10)的内部吹出热风，对玻璃基板(W)进行加热处理。从炉体主体部(10)排出的热风经由循环路径(20)再次返回炉体主体部(10)。在该路径中途，将热风的一部分排出至排气管道(23)。在排气管道(23)设置有在金属过滤器上担载催化剂而构成的催化剂过滤器部(71)。由此，被排出的热风与催化剂之间的接触效率变高，能够提高有机物的分解效率。而且，也能够捕集微粒状的有机物，从而能够提高总体上的有机物的分解效率。

Description

基板热处理炉
技术领域
本发明涉及一种对液晶显示装置用玻璃基板、PDP(等离子显示器)用玻璃基板、半导体晶片等薄板状电子部件用基板(下面仅称作“基板”)进行加热处理的基板热处理炉。
背景技术
在滤色器(Color Filter)的制造工序中，存在有对通过喷墨而着落了彩色墨水的玻璃基板进行烧成的工序。该烧成工序是通过在升温至规定的烧成温度的烧成炉内，在大气环境下将玻璃基板保持规定时间来进行的。另外，在玻璃基板上形成金属布线的情况下，在同样的烧成炉内，在氮气等非活性气体的环境下对玻璃基板进行烧成。在任意的烧成处理工序中都会因玻璃基板上的彩色墨水等被烧成物中所包含的有机溶剂挥发或者氧化并热分解，由此产生大量的有机物并扩散到环境中。
因此，在烧成处理中不断地向烧成炉送去清洁的热风，并且持续进行排气，使得有机物不滞留在烧成炉内。由于不能将含有大量的从烧成炉排出的有机物的气体直接排出到外部气体中，因此通过洗涤器(scrubber)等进行捕集排气中的有机物的处理。
另一方面，从节省能量的观点出发，进行着在从烧成炉排出的热风与向烧成炉内新供给的气体之间进行热交换的尝试。即，若通过洗涤器处理来自烧成炉的排气则被带走的热能量非常多，能量效率低，因此将被排出的气体和新供给的气体导入热交换器，通过在它们之间进行热交换，尝试着回收从烧成炉排出的热量。
若将从烧成炉排出的气体直接导入热交换器内，则会在热交换器内的构造物上附着有机物从而发生堵塞，因此需要在对排出气体进行催化处理而分解出有机物之后，再导向热交换器。关于在对从炉内排出的排气进行催化处理之后再导入热交换器的技术，例如在专利文献1中也已经公开。
专利文献1：JP特开2001-201271号公报。
然而，在现有技术中，为了减少排气管道中的通气障碍，将催化剂形成为格子状的板状构件，由此排出气体与催化剂之间的接触效率低，分解效率也随之降低。尤其是，以微粒形状通过的有机物以及衍生物固化后形成的物质分解极其困难。而且，排气的温度低下，从而分解效率也随之降低。因此，其结果是总体上有机物的分解效率会降低。
从而，即使对从玻璃基板的烧成炉排出的气体进行催化处理，也不能充分地去除有机物，其结果是在较短的时间内因附着物而堵塞热交换器，最终不能长时间地连续运转，从而装置的运转率降低，非常不经济。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种基板热处理炉，通过加热处理能够高效率地分解所排出的热风中含有的有机物。
为了解决上述问题，在本发明的技术方案1是一种基板热处理炉，对基板进行加热处理，其特征在于，具有：炉体主体部，其用于在内部容置基板，导出部，其用于将从所述炉体主体部排出的热风的至少一部分导出至比所述热风的温度低的部分，过滤器，其设置在所述导出部，并且该过滤器担载有催化剂；通过所述过滤器对导出至所述导出部中的所述热风所包含的有机物进行分解。
而且，本发明的技术方案2是根据本发明的技术方案1的基板热处理炉，其特征在于，所述过滤器是金属过滤器，并且该基板热处理炉附设有加热装置，所述加热装置对所述过滤器和被导入所述过滤器内的热风中的至少一方进行加热。
另外，本发明的技术方案3是根据技术方案1所述的基板热处理炉，其特征在于，所述过滤器是金属过滤器，并且该基板热处理炉附设有加热装置，所述加热装置对所述过滤器和被导入所述过滤器内的热风中的至少一方进行加热。
此外，本发明的技术方案4是根据技术方案1所述的基板热处理炉，其特征在于，具有至少包围所述炉体主体部的框体，并且在该框体外设置所述过滤器。
而且，本发明的技术方案5是根据技术方案1所述的基板热处理炉，其特征在于，具有至少包围所述炉体主体部及所述过滤器的框体。
另外，本发明的技术方案6是根据技术方案1所述的基板热处理炉，其特征在于，所述催化剂包含光催化剂。
此外，本发明的技术方案7是根据技术方案6所述的基板热处理炉，其特征在于，所述光催化剂包含钛氧化物。
而且，本发明的技术方案8是根据技术方案7所述的基板热处理炉，其特征在于，还具有向所述光催化剂照射光的光照射装置。
另外，本发明的技术方案9是根据技术方案1所述的基板热处理炉，其特征在于，所述催化剂包含铂。
此外，本发明的技术方案10是根据技术方案1～9中任一项所述的基板热处理炉，其特征在于，具有：循环路径，其使从所述炉体主体部排出的热风循环并再次供给至所述炉体主体部，循环鼓风机，其设置在所述循环路径上，并使热风循环，炉体用加热装置，其设置在所述循环路径上，并对热风进行加热，主过滤器部，其设置在所述循环路径上，并使热风通过；所述导出部从所述循环路径分支出来。
而且，本发明的技术方案11是根据技术方案10所述的基板热处理炉，其特征在于，具有：2个吸附塔，所述2个吸附塔并列地设置在所述循环路径的中途，用于吸附二氧化碳以及/或者水分，切换装置，其以择一的方式切换热风的流路，使得热风通过所述2个吸附塔中的任意一个，切换控制装置，其用于控制所述切换装置，使得热风交替地通过所述2个吸附塔。
另外，本发明的技术方案12是根据技术方案10所述的基板热处理炉，其特征在于，所述主过滤器部的热风出口与所述炉体主体部的热风供给口相连接。
此外，本发明的技术方案13是根据技术方案10所述的基板热处理炉，其特征在于，还具有向所述循环路径供给已加热的外部气体的外部气体供给装置。
而且，本发明的技术方案14是根据技术方案10所述的基板热处理炉，其特征在于，从所述循环路径向所述导出部导入热风的10％～15％，并且将该热风的剩余部分导向所述炉体主体部。
另外，本发明的技术方案15是根据技术方案10所述的基板热处理炉，其特征在于，所述基板具有被烧成膜，在所述炉体主体部的内部进行该被烧成膜的烧成。
此外，根据本发明的技术方案16是根据技术方案15所述的基板热处理炉，其特征在于，所述被烧成膜是抗蚀剂涂覆膜、有机物涂敷膜或者喷墨涂布膜。
根据本发明，在导出热风的一部分的导出部具有担载催化剂的过滤器，因此排出的热风与催化剂之间的接触效率变高，并且也能够捕集微粒状的有机物，而且通过加热处理能够高效地分解所排出的热风中含有的有机物。
尤其根据技术方案2的发明，附设对过滤器以及导入过滤器的热风中的至少一方进行加热的加热装置，因此能够进一步提高过滤器对有机物的分解效率。
而且，尤其根据技术方案4的发明，由于在包围炉体主体部的框体以外设置过滤器，因此对过滤器的维护变得容易。
另外，尤其根据技术方案5的发明，具有将炉体主体部以及过滤器包围的框体，因此能够用来自炉体主体部的热量来加热过滤器，从而无需特别的过滤器用再加热装置。
此外，尤其根据技术方案6的发明，担载在过滤器上的催化剂包含光催化剂，因此能够完全分解在过滤器上残留的有机物。
而且，尤其根据技术方案11的发明，在循环路径的中途并列地设置有2个吸附塔，并且热风能够交替地通过2个吸附塔，因此能够从热风中除去因加热处理而产生的二氧化碳以及/或者水分，而且能够长时间地连续运转基板热处理炉。
另外，尤其根据技术方案14的发明，从循环路径将热风的10％～15％导向导出部，因此能够充分地控制循环的热风的环境，而且能够抑制运转成本随着导入新的外部气体而上升。
附图说明
图1是表示本发明的基板热处理炉的主要部分的结构的图。
图2是表示基板热处理炉的主要部分的其它例子的图。
具体实施方式
下面参照附图详细说明本发明的实施方式。
图1是表示本发明的基板热处理炉的主要部分的结构的图。该基板热处理炉是对形成有喷墨涂布膜等被烧成膜的方形的玻璃基板W进行加热处理，对涂敷膜进行烧成处理的热风炉。基板热处理炉具有：炉体主体部10，其在内部容置玻璃基板W并对玻璃基板W进行加热处理；循环路径20，其使热风循环；吸附塔30，其对热风中所包含的水分以及二氧化碳进行吸附；循环鼓风机40；主加热器50；主过滤器60；设置在排气管道23上的催化剂单元70以及热交换器80。而且，本实施方式的基板热处理炉设置有控制部90。而且，在图1所示的结构中，框体A包围炉体主体部10、循环路径20、吸附塔30、蝶形气流调节器(butterfly damper)31a、31b、32a、32b、循环鼓风机40、主加热器50以及主过滤器60，而催化剂单元70设置在框体A的外部。
炉体主体部10是能够多层(在本实施方式中为40层)容置玻璃基板W的箱体。炉体主体部10的内侧成为大致四棱柱形状的热处理空间。在炉体主体部10的内壁面内设有省略图示的多个叉板(fork)。各叉板从炉体主体部10的内壁面向热处理空间沿着水平方向延伸设置。由沿着水平方向排列的多个叉板构成1层的架子，而这样的架子形成为40层。在各层的架子上，能够以水平姿势装载一个玻璃基板W。
在炉体主体部10的正面一侧(图1的纸面的左侧)，设置有百页窗式的闸门11。闸门11由多个挡板层叠为多层而构成。各挡板附设有省略了图示的升降驱动机构，从而每个挡板都能够升降。在未图示的搬运机械手对炉体主体部10搬入搬出玻璃基板W时，为了仅使与搬入搬出对象的架子相对的部位成为访问用开口，使与该架子几乎相同高度位置的挡板上升。这样使搬入搬出玻璃基板W时的开口的数量成为所需的最小限度，从而能够将伴随着搬入搬出造成的热能的泄漏抑制为最小限度。此外，当驱动闸门11的比较下部的挡板时，该挡板上层的挡板也被连动驱动，因此，需要设置越靠近下部的挡板就越能够得到大的输出功率的驱动机构。
在炉体主体部10的侧面，相向设置有用于向内部的热处理空间供给热风的供给口12以及用于排出热风的排气口14。即，从炉体主体部10的一侧侧面供给的热风沿着玻璃基板W的面在热处理空间内以水平方向流动，并流到相反一侧的侧面。，供给口12以及排气口14设置在炉体主体部10的内壁面中至少与容置玻璃基板W的多层架子整体相对应的高度位置。因此，向容置在炉体主体部10内的多个玻璃基板W均匀地供给热风，从而能够进行均匀的烧成处理。
循环路径20是与炉体主体部10的排气口14和供给口12相连通，并使炉体主体部10所排出的热风循环进而能够再度向炉体主体部10供给的气体能够通过的流路。在循环路径20上设置有吸附塔30、循环鼓风机40以及主加热器50。在本实施方式中，从循环路径20的上游侧依次设置吸附塔30、循环鼓风机40以及主加热器50。而且，循环线路20的上游侧是靠近炉体主体部10的排气口14的一侧，与此相反，下游侧是靠近供给口12的一侧。
另外，从循环路径20分支形成排气管道23以及供气管道26。排气管道23是用于从循环路径20排出一部分热风的气体管道路径，供气管道26是用于吸入与所排出的热风相当的量的新鲜的外部气体(空气)并向循环路径20供给的气体管道路径。排气管道23以及供气管道26分别从循环路径20的主加热器50的下游部分以及循环鼓风机40的上游部分分支。
此外，在本实施方式中，2个吸附塔30、30并列地设置在循环路径20的途中。即，循环路径20的一部分分支为2个流路，在该分支的2个流路上分别设置吸附塔30。各吸附塔30将用于吸附二氧化碳(CO2)以及水分(H2O)的吸附剂(在本实施方式中为活性碳)填充于内部。在循环路径20中流动的热风通过吸附塔30，由此从热风中除去二氧化碳以及水分。
2个吸附塔30、30择一使用。即，有选择地仅打开分支的2个流路中的一个，从而在循环路径20中流动的热风仅通过2个吸附塔30中的任意一个。通过四个蝶形气流调节器31a、31b、32a、32b来进行这样的流路切换。当打开蝶形气流调节器31a、31b且关闭蝶形气流调节器32a、32b时，有选择地仅使用图1的纸面上侧的吸附塔30。相反，当打开蝶形气流调节器32a、32b且关闭蝶形气流调节器31a、31b时，有选择地仅使用图1的纸面下侧的吸附塔30。
循环鼓风机40具有省略图示的马达和旋转翼，马达使旋转翼旋转从而在循环路径20中产生从上游侧向下游侧的循环气流(即，从排气口14向供给口12的气流)。
主加热器50通过通电而发热，对在循环路径20中流动的热风进行加热。在循环路径20的终点，即炉体主体部10的供给口12的上游侧附近设置主过滤器60。因而，主过滤器60的热风出口与炉体主体部10的供给口12连接。主过滤器60例如由耐热HEPA(High Efficiency Particulate Air：高效微粒空气)过滤器构成，使经由循环路径20送来的热风通过，去除包含在热风中的微粒使其成为洁净的热风。
在本实施方式中，由循环路径20的循环鼓风机40送出的气体在被主加热器50加热之后，主过滤器60对其进行净化，并从供给口12向炉体主体部10内部的热处理空间供给。然后，炉体主体部10的排气口14排出的热风在被吸附塔30除去二氧化碳以及水分之后，再次被循环鼓风机40向循环路径20的下游侧送出。
然而，若加热玻璃基板W则玻璃基板W上的被烧成膜(喷墨涂布膜等)所包含的有机溶剂挥发或者氧化热分解，由此产生很多有机物。在炉体主体部10的内部空间不断地形成热风的气流，因此从玻璃基板W游离出的有机物与气流一起从排气口14流入循环路径20。若基板热处理炉的热风循环系统为完全封闭的系统，则因大量的有机物而抑制新的有机物的烧成，或者主过滤器60迅速堵塞而劣化，因此在本实施方式中从供气管道26向循环路径20供给新的气体，同时通过排气管道23从循环路径20排气。另外，在热风中除了有机物以外也产生极少量的二氧化碳以及水分。
排气管道(导出部)23连接在循环路径20的主加热器50的下游侧。而且，排气管道23的另一端与热交换器80连通连接。在排气管道23的路径中途插入有流量调整阀24以及催化剂单元70。流量调整阀24调整在排气管道23中流动的排气流量。
另一方面，供气管道26连接在循环路径20的循环鼓风机40的上游侧(吸附塔30与循环鼓风机40之间)。供气管道26的另一端也与热交换器80连通连接。在供气管道26的路径中途插入有流量调整阀27。流量调整阀27调整在供气管道26中流动的排气流量。
热交换器80是在气体与气体之间进行热交换的设备，例如能够使用通过交替向旋转的蓄热体供气和排气来进行热交换的蓄热式热交换器等。本实施方式的热交换器80从在排气管道23中流动的热排气向通过供气管道26吸入的新的气体转移热量，从而进行热量回收。热交换器80也可以是气体交替地流动的多层板式热交换器等压降(pressure drop)少的热交换器。
催化剂单元70具有催化剂过滤器部71、再加热加热器72以及光源73。催化剂过滤器部71是用金属制网眼(在本实施方式中为不锈钢制网眼)构成的金属过滤器担载作为催化剂起作用的铂(Pt)或者铂铑(Pt—Rh)的粒子的器件。而且，在本实施方式中，在所担载的催化剂的一部分中混入有起光催化剂作用的氧化钛(TiO2)。催化剂过滤器部71兼备如下两个功能，即，作为用于分解热排气所包含的有机物的催化剂的功能和作为去除微粒的过滤器的功能。另外，也可以在金属过滤器与催化剂层之间形成氧化铝(Al2O3)或者氧化铬(Cr2O3)的中间层。通过设置这样的陶瓷的中间层，能够提高不锈钢的耐久性以及耐热性，而且能够延长金属过滤器的寿命。
再加热加热器72是基于通电发热而对通过催化剂单元70的热排气进行加热的热源。在催化剂单元70中，从排气管道23的上游侧依次连接配置有再加热加热器72以及催化剂过滤器部71。从而，由再加热加热器72加热的热排气直接流入催化剂过滤器部71。另外，光源73向催化剂过滤器部71照射光。催化剂过滤器部71所担载的光催化剂通过接受光源73的光而表现出催化作用。设置在基板热处理炉的控制部90的作为硬件的结构与一般的计算机相同。即，控制部90具有进行各种运算处理的CPU、存储基本程序的作为只读存储器的ROM、存储各种信息的作为可自由存取的存储器的RAM以及存储有控制用应用程序或者数据等的磁盘等。控制部90分别与4个蝶形气流调节器31a、31b、32a、32b电连接，并且控制它们的动作。另外，控制部90也控制基板烧成炉整体的各动作机构(循环鼓风机40、主加热器50、再加热加热器72、光源73、流量调整阀24、27以及闸门11的升降驱动机构等)的动作。
接下来，对具有上述结构的基板热处理炉的动作内容进行说明。首先，在加热处理中，未图示的搬运机械手以一定间隔依次将玻璃基板W搬入炉体主体部10并搬运至规定层的架子上。在构成架子的叉板上装载的玻璃基板W因来自供给口12的热风而升温至烧成温度。然后，在炉体主体部10内经过规定的烧成时间后的玻璃基板W被该搬运机械手搬出。
在本实施方式中，对在其上面形成喷墨涂布膜等被烧成膜的方形的玻璃基板W进行加热处理，从而进行该被烧成膜的烧成处理。作为被烧成膜并不限于喷墨涂布膜，也可以是抗蚀剂涂覆膜或有机物涂覆膜。无论被烧成膜为其中的任意一种，都会因玻璃基板W上的被烧成膜所包含的有机溶剂挥发或者氧化而产生大量的有机物并扩散到炉体主体部10内的环境中。而且，因烧成处理而产生极少量的水分以及二氧化碳。然后，包含有机物等的热环境中的气体作为热风从炉体主体部10的排气口14排出。从排气口14排出的热风因循环鼓风机40而在循环路径20内循环，并且由主加热器50加热之后，经过主过滤器60再次从供给口12供给到炉体主体部10的内部。
在循环路径20内循环的热风所包含的微粒等由主过滤器60来处理。而且，在循环路径20的中途并列设置有2个吸附塔30，并且通过4个蝶形气流调节器31a、31b、32a、32b择一地切换热风的流路，以便热风仅通过2个吸附塔30中的任意一个。吸附塔30吸附除去烧成时产生的热风中所包含的水分以及二氧化碳。通过主过滤器60除去微粒等，并且通过吸附塔30除去水分以及二氧化碳，从而能够对在循环路径20内循环的热风进行清洁，而且能够在炉体主体部10的内部稳定形成适合烧成处理的环境。
在热风通过的一侧的吸附塔30中，由于活性碳的吸附能力逐渐下降，从而不能充分地吸附除去水分以及二氧化碳。因此，在适当的时机切换所使用的吸附塔30。即，控制部90控制4个蝶形气流调节器31a、31b、32a、32b的开闭，以便热风交替地通过2个吸附塔30。作为切换所使用的吸附塔30的时机，可以在吸附塔30的运转时间经过规定时间的时间点切换，或者也可以在热风中含有的水蒸气或者二氧化碳的浓度超过规定值的时间点切换。
在进行完将要使用的吸附塔30的切换之后，对到此为止使用的吸附塔30进行再生处理。作为再生处理，例如可以在吸附塔30中设置再生用的加热器，并由此来加热活性碳，使吸附的水以及二氧化碳脱离，从而恢复吸附能力即可。也可以在此时由控制部90自动进行加热器的温度控制。而且，作为再生处理也可以是仅仅将吸附塔30的活性碳更换为新的活性碳的方式。另外，并未图示该加热器、所需的作为外部气体流通装置的鼓风机以及再生用流路。
然后，再生处理结束后为了使热风通过已恢复吸附能力的吸附塔30，再次切换4个蝶形气流调节器31a、31b、32a、32b。然后，同样进行另一侧的吸附塔30的再生处理。这样，不需停止而能够连续运转基板热处理炉。
而且，在循环路径20内循环的热风的一部分流入排气管道23而被排出到外部。在本实施方式中，控制部90调整流量调整阀24、27，使得在循环路径20内循环的热风中的10～15％被导向排气管道23，其余则被导向炉体主体部10。若从排气管道23排出的热风不足10％，则仅仅通过主过滤器60以及吸附塔30不能充分地控制在循环路径20内循环的热风的环境，而且若超过15％则伴随来自供气管道26的新的外部气体的导入而使运转成本增加。
流入到排气管道23内的热风被再加热加热器72再次加热。在本实施方式中，再加热加热器72将导出到排气管道23内的热风再加热至200℃至400℃。然后，被再加热的该热风通过催化剂过滤器部71。在此，代替对热风的加热，或者对热风进行加热的基础上，也可以将催化剂过滤器部71加热至200℃～400℃。在此情况下，也可以通过感应加热、灯加热或者电阻加热等来加热催化剂过滤器部71。
导出到排气管道23内的热风通过催化剂过滤器部71，从而包含在热风中的有机物的加热分解和氧化分解同时发生。具体而言，有机物被氧化而分解为水和二氧化碳。在本实施方式中，由金属制的网眼构成的金属过滤器担载有催化剂，因此被排出的热风与催化剂之间的接触效率变高，并且能够提高有机物的分解效率。而且，即使热风中包含有以微粒状态通过的有机物及衍生物固化形成的物质，但因为用金属过滤器来构成催化剂过滤器部71，所以这种物质也被催化剂过滤器部71捕集。
而且，由再加热加热器72再加热到200℃至400℃的热风流入催化剂过滤器部71，因此催化剂过滤器部71的催化温度也成高温，从而能够高効率地分解在热风中包含的有机物。即，通过从上游侧起连续配置再加热加热器72和催化剂过滤器部71，能够将从再加热加热器72到催化剂过滤器部71的热风的温度下降抑制到最小限度，进而能够最大限度地提高催化剂过滤器部71的分解效率。
通过催化剂过滤器部71而被去除了有机物的热风流入热交换器80。另一方面，为了补偿经过排气管道23排出的热风，从供气管道26供给新的气体。该新供给的气体也通过热交换器80。在热交换器80中，从排气管道23排出的热风与经过供气管道26新供给的气体之间进行热交换。由此，在排出气体的温度下降的同时，供气气体被加热，其温度上升。此时，从排气管道23排出的热风所包含的有机物大部分被分解，因此附着于热交换器80内的构造物上的有机物变得非常少，从而能够防止热交换器80堵塞，能够使热交换器80长时间稳定地运转。
将通过热交换器80而温度下降的排出气体向外部的排热导管(duct)等排出。不言而喻，在该排气气流中几乎不含有机物。另一方面，通过热交换器80而温度上升的供气气体通过流量调整阀27流入循环路径20。新供给的气体流入主加热器50的上游侧，因此不存在供给到炉体主体部10的热风的温度下降的情况，并且由主加热器50加热之后从供给口12供给到炉体主体部10的内部。这样，若使用热交换器80能够在供气气体与排气气体之间进行热交换，则能够提高基板热处理炉的能量效率。
如上所述，在本实施方式中，在排气管道23上设置在金属过滤器上担载有催化剂的催化剂过滤器部71，因此与现有技术相比，能够提高被排出的热风与催化剂之间的接触效率，而且能够提高有机物的分解效率。而且，也能够捕集微粒状的有机物，从而能够提高作为总的有机物的分解效率。另外，通过再加热加热器72将流入催化剂过滤器部71的热风再加热到200℃至400℃，因此进一步提高有机物的分解效率，从而能够可靠地分解从排气管道23排出的热风所包含的有机物。而且，在框体A的外部设置催化剂单元70，因此对包括催化剂过滤器部71的催化剂单元70的维护变得容易。
而且，本实施方式的催化剂单元70具有光源73，并且催化剂过滤器部71担载的催化剂的一部分包含有光催化剂。若在适当的时机从光源73向催化剂过滤器部71照射光，则催化剂过滤器部71的光催化剂受光而表现出催化作用，从而能够高效率地分解在一部分金属过滤器上残留附着的有机物。即，通过光源73向催化剂过滤器部71照射光，能够进行一种清洁处理。另外，也可以不设置光源73，而利用来自室内照明器具等的光使催化剂过滤器71发挥催化作用。
以上对本发明的实施方式进行了说明，但是本发明在不超出其宗旨的范围内，能够进行除了上述实施方式以外的各种各样的变形。例如，在上述实施方式中，具有热交换器80而在热排气与新供给的外部气体之间进行热交换，但是也可以在不具有热交换器80的排气管道上设置催化剂单元70。即使这样也能够通过加热处理高效率地对排出的热风所包含的有机物进行分解。总之，若在导出部配置担载催化剂的金属过滤器，则能够高效率地分解所排出的热风中所包含的有机物，其中，所述导出部用于将从炉体主体部10排出的热风中的至少一部分导出至比该热风的温度低的部分。
而且，也可以使催化剂过滤器部71担载的催化剂全部为光催化剂。在此情况下，当从排气管道23排出热风时，光源73总是向催化剂过滤器部71照射光。
另外，也可以代替催化剂过滤器部71的金属过滤器，在烧结陶瓷的过滤器上担载催化剂。
此外，在上述实施方式中，作为吸附塔30的吸附剂使用了活性碳，但并不限于此，只要是可吸附二氧化碳以及/或者水分的材料即可，例如也能够使用硅胶(silica gel)或者沸石(zeolite)。
而且，热交换器80并不限于蓄热式热交换器，也可以是具有供气及排气交替通过的流路的板式热交换器等。
另外，基板烧成炉的炉体主体部10可容置的玻璃基板W的个数并不限于40个，而能够设定为任意的个数。
此外，如图2所示，也可以将催化剂单元70与炉体主体部10、吸附塔30、循环鼓风机40、主加热器50、主过滤器60一起用公共的框体B包围住。这样，能够通过来自炉体主体部10的热量加热催化剂过滤器部71，因此无需设置再加热加热器72。另外，图2的其余结构与图1相同。
而且，作为由本发明的基板热处理炉进行烧成处理的对象的基板并不限于玻璃基板W，也可以是半导体晶片。

Claims (16)

1.一种基板热处理炉，对基板进行加热处理，其特征在于，具有：
炉体主体部，其用于在内部容置基板，
导出部，其用于将从所述炉体主体部排出的热风的至少一部分导出至比所述热风的温度低的部分，
过滤器，其设置在所述导出部，并且该过滤器担载有催化剂；
通过所述过滤器对导出至所述导出部中的所述热风所包含的有机物进行分解。
2.根据权利要求1所述的基板热处理炉，其特征在于，
所述过滤器是金属过滤器，
并且该基板热处理炉附设有加热装置，所述加热装置对所述过滤器和被导入所述过滤器内的热风中的至少一方进行加热。
3.根据权利要求2所述的基板热处理炉，其特征在于，所述加热装置将所述过滤器和被导入所述过滤器内的热风中的至少一方加热到200℃至400℃。
4.根据权利要求1所述的基板热处理炉，其特征在于，具有至少包围所述炉体主体部的框体，并且在该框体外设置所述过滤器。
5.根据权利要求1所述的基板热处理炉，其特征在于，具有至少包围所述炉体主体部及所述过滤器的框体。
6.根据权利要求1所述的基板热处理炉，其特征在于，所述催化剂包含光催化剂。
7.根据权利要求6所述的基板热处理炉，其特征在于，所述光催化剂包含钛氧化物。
8.根据权利要求7所述的基板热处理炉，其特征在于，还具有向所述光催化剂照射光的光照射装置。
9.根据权利要求1所述的基板热处理炉，其特征在于，所述催化剂包含铂。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的基板热处理炉，其特征在于，具有：
循环路径，其使从所述炉体主体部排出的热风循环并再次供给至所述炉体主体部，
循环鼓风机，其设置在所述循环路径上，并使热风循环，
炉体用加热装置，其设置在所述循环路径上，并对热风进行加热，
主过滤器部，其设置在所述循环路径上，并使热风通过；
所述导出部从所述循环路径分支出来。
11.根据权利要求10所述的基板热处理炉，其特征在于，具有：
2个吸附塔，所述2个吸附塔并列地设置在所述循环路径的中途，用于吸附二氧化碳以及/或者水分，
切换装置，其以择一的方式切换热风的流路，使得热风通过所述2个吸附塔中的任意一个，
切换控制装置，其用于控制所述切换装置，使得热风交替地通过所述2个吸附塔。
12.根据权利要求10所述的基板热处理炉，其特征在于，所述主过滤器部的热风出口与所述炉体主体部的热风供给口相连接。
13.根据权利要求10所述的基板热处理炉，其特征在于，还具有向所述循环路径供给已加热的外部气体的外部气体供给装置。
14.根据权利要求10所述的基板热处理炉，其特征在于，从所述循环路径向所述导出部导入热风的10％～15％，并且将该热风的剩余部分导向所述炉体主体部。
15.根据权利要求10所述的基板热处理炉，其特征在于，
所述基板具有被烧成膜，
在所述炉体主体部的内部进行该被烧成膜的烧成。
16.根据权利要求15所述的基板热处理炉，其特征在于，所述被烧成膜是抗蚀剂涂覆膜、有机物涂敷膜或者喷墨涂布膜。
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