CN101332696A - 层压成形装置以及层压成形方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够由中间层压制品成形为厚度均匀的层压成形制品的层压成形装置以及层压成形方法。其中，具备：对层压件(A1)和被层压件(A2)进行层压而成形中间层压制品(A3)的层压装置(1)；以预定温度对中间层压制品(A3)进行加压、将其表面成形得平坦的平面压力机(2)；和运送单元(3)，平面压力机(2)具备：固定模板(20)以及可动模板(21)；导引可动模板(32)使得可动模板(21)在与该对向面垂直的方向上直线移动的直动单元(23)，直动单元(23)具备：多个滚珠花键轴(24)；和设置在可动模板(21)的角部、分别被滚珠花键轴(24)插通的滚珠花键筒(25)。

Description

层压成形装置以及层压成形方法

技术领域

本发明涉及层压成形装置以及层压成形方法，更加具体而言，层压成形装置具备：通过对层压件和被层压件进行加热以及加压来层压中间层压制品的层压装置；以预定的温度对由该层压装置所层压的中间层压制品进行加压并将其表面成形为平面的平面压力机；和将所述中间层压制品从层压装置运送至平面压力机的运送单元，以及，层压成形方法是由层压装置对层压件和被层压件进行加热并且加压而层压中间层压制品，将该中间层压制品从层压装置运送至平面压力机，由平面压力机以预定的温度对所述中间层压制品进行加压并将其表面成形为平面的方法。

背景技术

例如，在制造由多层构成的组合基板的情况下，反复进行：在由绝缘材料构成的基板上形成电路图案的工序；在该基板的电路图案上层压绝缘材料的工序；使绝缘材料固化的工序；在绝缘材料的表面形成电路图案的工序。为了在层压于基板的电路图案上的绝缘材料上还形成电路图案并层压绝缘原材料，有必要将在基板(被层压件)的电路图案上层压有绝缘材料(层压件)的制品的表面成形为平滑且整体的厚度均匀。另外，为了在基板(被层压件)的表面的绝缘材料上形成电路图案，在层压光致抗蚀剂(层压件)的情况下，也有必要将光致抗蚀剂的表面成形为平滑且整体的厚度均匀。

但是，一般来说，作为在成为被层压件的基板的电路图案上所层压的层压件的绝缘材料，成形为薄膜状。基板的表面由于电路图案而形成有凹凸，为了使薄膜状的绝缘材料紧贴该表面而进行层压，则绝缘材料对应电路图案的凹凸而埋入，其表面并不平滑。

于是，众所周知的层压成形装置(专利文献1以及专利文献2)是，与对层压件和被层压件进行加热并加压而层压在表面具有凹凸的中间层压制品的层压装置相邻，设置有以预定的温度对中间层压制品进行加压而使表面平滑地成形的平面压力机。

在专利文献1公开了一种层压板的层压装置，其由在减压空间通过膜体对层压件和被层压件进行加压而成形中间层压制品的真空层压装置和配设在该真空层压装置的下一个工序的、对所述中间层压制品进行加压的平面压力机装置构成，其特征在于，在所述平面压力机装置具备：配设有热板的固定模板；配设有热板并与所述固定模板相对向的可动模板；在所述热板间对所述中间层压制品进行加热的多个加压机构；和将所述多个加压机构分为两个以上单独地进行控制的控制机构，或者使所述多个加压机构有选择地动作的控制机构等。另外，在专利文献1中还公开了一种层压板的层压装置，其特征在于，具备有配设在可动模板上的对角线的交点附近的第一加压机构；以及配设于所述可动模板的所述对角线的交点附近和所述可动模板的角部之间的、相对于被加压的中间层压制品的平面投影重叠的位置的第二加压机构等。而且，在专利文献1中记载有：进行在使可动模板上升的合模工序中只使配设于可动模板的大体中央的升压缸机构动作(0026)，在热板间夹持中间层压制品的大体同时，进行利用副气缸和主气缸的中间层压制品加压工序(0027)的内容。

另外，在专利文献2中公开了一种层压方法，其特征在于，使用具有设置了附设挠性薄板3的上部板1以及附设挠性薄板4的下部板2的真空腔的真空层压装置6，在该腔内的上下板间成形由具有凹凸的基板5a和薄膜状树脂层5b构成的层压体5之后，使用具有上下冲压块的平面压力机装置9，在该上下冲压块之间一边对所得到的层压体5进行加热一边进行表面仿形加工，以及另一种层压方法，其特征在于，进一步在上下冲压块的至少一方的冲压块附设头部可以摇动的支持点结点10，该支持点结点10与油压缸或者气压缸11连接，使该冲压块动作，进而还公开了另一种特征在于头部可以摇动的支持点结点11是轴连接器的层压方法。而且，在专利文献2中记载有，“所谓表面仿形加工是指，从被冲压的工件即基板的厚度较厚位置的部分开始与冲压块的冲压面的一部分面接触，工件的厚度较薄位置的部分按顺序与冲压块的冲压面接触，在基板的整个表面与冲压面紧贴后以均匀的压力进行冲压加工的加工，而单纯的冲压不能够以沿着基板的厚度不均的形式将绝缘树脂成形为均匀厚度”等(0006)。还有，在专利文献2中记载有，通过所述构成，“对于基板的厚度不均，下部冲压块通过它们的气缸从基板的厚度较厚位置朝向较薄位置顺次地进行接触，由上下冲压块夹持进行冲压，能够沿着基板的厚度不均，形成均匀厚度的树脂厚度”等(0036)。还有，在专利文献2中记载有，“现有的层压方法，如图9所示，因为在基板上所层压的树脂组成物层的厚度并不一定(x≠Y)，所以在层压基板时基板间的绝缘性不同，在本发明中，在如图10所示的基板上所层压的树脂组成物层的厚度一定(x＝Y)”等(0069)。

专利文献1：特开2005-66967号公报

专利文献2：特开2002-36272号公报

在专利文献1中，由于具备多个加压机构或者第一以及第二加压机构，能够提高热板之间的平行度、均匀地成形层压板的板厚，但是，存在花费平面冲压的制造成本，另外各加压机构的控制杂烦等问题。另外，在专利文献1中，在立设的四根连接杆上可滑动地配设可动模板，在可动模板和连接杆之间有细小的间隙(0015)，因此，由于可动模板相对于各连接杆的滑动而发生错位等导致不能够保证固定模板和可动模板之间的平行度，因此，有存在整体的厚度均匀地成形变得困难的可能性这样的问题。还有另外，在专利文献1中，由于从油压源通向四个副气缸的输油管的长度、弯曲程度的不同、气缸的密封装置的磨耗程度不同等问题，有在中间层压制品加压工序难以使四个副气缸完全地同步动作这样的问题。因此，在专利文献1中，当从合模工序向中间层压制品加压工序过渡时，即大体在热板14、15之间夹持中间层压制品的同时，开始利用所述副气缸的加压，在此时的加压初期，存在对中间层压制品不能均等地施加加压压力的可能性。

另外，在专利文献2中，因为是在平面压力机的冲压块附设了头部可以摇动的支持点结点的构造，所以当冲压块因为支持点结点而摇动头部时，不能平行地保持两冲压块的加压面。还有，在专利文献2中，因为是通过“表面仿形加工”而将树脂组成层的厚度成形为一定的装置(参照专利文献2的图10)，所以不能够将基板和树脂组成层层压的部件的整体厚度成形为一定(参照专利文献2的图9)。另外，专利文献2中，因为从基板的厚度较厚位置的部分开始与冲压块的冲压面的一部分接触(0006)，所以存在被加热变得容易变形的树脂组成层从基板层溢出那样地流出，不能形成具有预定厚度的树脂组成层这样的问题。

发明内容

本发明是为了优先解决上述的问题而做出的，其目的在于提供层压成形装置以及层压成形方法，通过简单的构成，在维持固定模板和可动模板的相互的加压面的平行度的状态下，可以相对于固定模板使可动模板在与对向面垂直的方向上直线移动，由此，能够由中间层压制品成形为均匀厚度的层压成形品。

为了实现上述目的，技术方案一的层压装置所涉及的发明是一种层压成形装置，具备：通过对层压件和被层压件进行加热以及加压而层压中间层压制品的层压装置；以预定温度对由该层压装置所层压的中间层压制品进行加压并将其表面成形为平面的平面压力机；和将所述中间层压制品从层压装置运送至平面压力机的运送单元，其特征在于，所述平面压力机具备：相对向地配置、在相互的对向面具有平滑的加压面的固定模板及可动模板；使可动模板相对于固定模板可以靠近/远离地移动并对所述层压装置所层压的中间层压制品加压的成形单元；和导引可动模板的直动单元，使可动模板相对于固定模板在与该对向面垂直的方向上直线移动，该直动单元具备：沿着使可动模板直线移动的方向延伸地配设的多个滚珠花键轴，和设置在可动模板的角部、分别被所述滚珠花键轴插通的滚珠花键筒。

技术方案二的层压成形装置所涉及的发明，是技术方案一所记载的发明，其特征在于，所述平面压力机的成形单元单一地与可动模板的中央接合。

技术方案三的层压成形装置所涉及的发明，是技术方案一或者二所记载的发明，其特征在于，在所述平面压力机的可动模板的各角部设置多个滚珠花键筒，该多个滚珠花键筒相对于各滚珠花键轴分别插通。

另外，技术方案四的层压成形方法所涉及的发明，是一种层压成形方法，其中由层压装置对层压件和被层压件进行加热并且加压而层压中间层压制品，将该中间层压制品从层压装置向平面压力机运送，由平面压力机以预定的温度对所述中间层压制品进行加压，其表面成形为平面，其特征在于，所述平面压力机具备：相对向地配置、在相互的对向面具有平滑的加压面的固定模板及可动模板；使可动模板相对于固定模板可靠近·远离地移动并对所述层压装置所层压的中间层压制品加压的成形单元；和导引可动模板的直动单元，使可动模板相对于固定模板在与该对向面垂直的方向上直线移动，该直动单元具备：沿着使可动模板直线移动的方向延伸地配设的多个滚珠花键轴，和设置在可动模板的角部、分别被所述滚珠花键轴插通的滚珠花键筒，将所述中间层压制品从层压装置运送至平面压力机的固定模板和可动模板之间，一边通过由在所述滚珠花键轴插通滚珠花键筒而构成的直动单元，在与所述对向面垂直的方向上导引所述可动模板，一边通过成形单元使可动模板移动并靠近固定模板，以预定温度对中间层压制品进行加压，其表面成形为平面。

在技术方案一的层压成形装置所涉及的发明中，通过层压装置对层压件和被层压件进行加热以及加压而层压中间层压制品，通过运送单元将中间层压制品从层压装置运送至平面压力机的固定模板和可动模板之间。平面压力机，在固定模板和可动模板的相互的对向面具有平滑的加压面。直动单元通过在可动模板的各角部设置滚珠花键筒并沿着可动模板的直线移动方向延伸地设置多个滚珠花键轴，且将滚珠花键筒插通滚珠花键轴而构成。因此，当通过成形单元使可动模板相对于固定模板靠近那样地移动，以预定的温度进行加压使中间层压制品的表面成形为平面时，通过直动单元导引可动模板，使其在与该对向面垂直的方向上可靠地直线移动，因此，因为从加压初期可靠地保持设置于固定模板和可动模板的对向面的加压面的平行度，所以能够可靠且均等地对中间层压制品进行加压，从而成形为平坦的均匀的厚度。

在技术方案二的层压成形装置所涉及的发明是在技术方案一所记载的发明中，通过平面压力机的成形单元单一地与可动模板的中央接合，使设置于可动模板的滚珠花键筒相对于滚珠花键轴分别均等地滑动，而且由于对中间层压制品进行加压所导致的固定模板和可动模板的变形不会产生不均，所以能够可靠且均等地对中间层压制品进行加压、成形为平坦的均匀的厚度。

在技术方案三的层压成形装置所涉及的发明是在技术方案一或者二所记载的发明中，通过在平面压力机的可动模板的各角部分别设置有多个滚珠花键筒并使多个滚珠花键筒在轴向方向连续并相对于各滚珠花键轴分别插通，从而使滚珠花键筒相对于滚珠花键轴变长，因此可导引可动模板，使其在与该对向面垂直的方向上可靠地进行直线移动。

另外，在技术方案四的层压成形方法所涉及的发明中，平面压力机构具备：相对向地配置、在相互的对向面具有平滑的加压面的固定模板及可动模板；使可动模板相对于固定模板可靠近·远离地移动并对所述层压装置所层压的中间层压制品加压的成形单元；和导引可动模板的直动单元，使可动模板相对于固定模板在与该对向面垂直的方向上直线移动，该直动单元具备：沿着使可动模板直线移动的方向延伸地配设的多个滚珠花键轴，和设置在可动模板的角部、分别被所述滚珠花键轴插通的滚珠花键筒。由层压装置对层压件和被层压件进行加热并且加压而层压中间层压制品，将该中间层压制品从层压装置向平面压力机的固定模板和可动模板之间运送。平面压力机中，通过成形单元使可动模板移动并靠近固定模板，以预定的温度进行加压将中间层压制品的表面成形为平面。此时，直动单元通过在可动模板的各角部设置滚珠花键筒并沿着可动模板的直线移动方向延伸地设置多个滚珠花键轴，且将滚珠花键筒插通滚珠花键轴而构成，因此，导引可动模板，使其在与该对向面垂直的方向上可靠地进行直线移动，因此，从加压初期可靠地保持设置于固定模板和可动模板的对向面的加压面的平行度，可靠且均等地对中间层压制品进行加压并成形为平坦的均匀的厚度。

另外，平面压力机优选是可动模板升降移动地构成的纵型压力机。另外，平面压力机的相对于固定模板的可动模板的升降行程中，优选将中间层压制品的成形时的开启量设定在维护时等的最大开启量的10～20％的范围。平面压力机中，优选将滚珠花键筒的轴向方向长度设定在相对于滚珠花键轴的轴向方向长度的60～70％的范围，另外，优选将滚珠花键筒的轴向方向长度设定在相对于可动模板的厚度的200～250％的范围。

根据本发明的层压成形装置，直动单元具备：由沿着使可动模板直线移动的方向延伸地配设的多个滚珠花键轴；和设置在可动模板的角部、分别被所述滚珠花键轴插通的滚珠花键筒，从而，在高精度地维持平面压力机的固定模板和可动模板的相互的加压面的平行度的状态下，能够相对于固定模板，使可动模板在与该对向面相垂直的方向上直线移动，因此，可提供能够可靠地将中间层压制品成形为均匀的厚度的层压成形装置。

另外，根据本发明的层压成形方法，平面压力机的直动单元具备：沿着使可动模板直线移动的方向延伸地配设的多个滚珠花键轴；和设置在可动模板的角部、分别被所述滚珠花键轴插通的滚珠花键筒，将中间层压制品配置在平面压力机的固定模板和可动模板之间，一边通过在滚珠花键轴插通滚珠花键筒而成的直动单元，在与对向面垂直的方向上导引可动模板，一边通过成形单元使可动模板移动并靠近固定模板，以预定的温度对中间层压制品进行加压，从而，在维持固定模板和可动模板的相互的加压面的平行度的状态下，能够使可动模板相对于固定模板在与该对向面相垂直的方向上直线移动，因此，可提供能够可靠地将中间层压制品成形为均匀的厚度的层压成形装置。

附图说明

图1是用于说明本发明的层压成形装置的一个实施方式的概念图。

图2是以平面压力机的正面图表示中间层压制品加压的状态的图。

图3是表示平面压力机的可动模板的平面图。

图4是平面压力机的部分放大图。

图5是表示构成平面压力机的各部分的尺寸关系的说明图。

图6是表示相对于平面压力机的固定模板及可动模板的热板的安装的部分放大剖面图。

图7是表示本发明的平面压力机的、由设置在连接杆的滚珠花键轴和设置在可动模板的滚珠花键筒所构成的直动单元的剖面图。

符号说明

A1：绝缘层(层压件)          A2：基板层(被层压件)

A3：中间层压制品

A4：成形为表面平坦的均匀厚度的成形品

F：运载膜                   1：层压装置

2：平面压力机               3：运送单元

20：固定模板                21：可动模板

22：合模气缸(成形单元)      23：直动单元

24：滚珠花键轴              25：滚珠花键筒

26：基础模板                27：连接杆

40：热板                    41：镜面板(加压面)

具体实施方式

以下，基于图1～图7详细地说明本发明的一个实施方式。在图中，对同样的部分或者相当的部分附加同样的符号。在以下的说明中，对在作为被层压件、形成有电路图案、表面呈凹凸的基板层上，层压作为层压层的绝缘层，使得绝缘层的表面成形为平面，最终制造组合基板的情况进行说明。

本发明的层压成形装置，大致具备：通过对层压件A1和被层压件A2进行加热以及加压而层压中间层压制品A3的层压装置1；以预定温度对由该层压装置1所层压的中间层压制品A3进行加压将其表面成形为平面的平面压力机2；和将中间层压制品A3从层压装置1运送至平面压力机2的运送单元3。还有，平面压力机2具备：相对向地配置、在相互的对向面具有平滑的加压面的固定模板20以及可动模板21；使可动模板21相对于固定模板20可以靠近/远离地移动并加压由层压装置1所层压的中间层压制品A3的成形单元22；和导引可动模板21的直动单元23，使可动模板21相对于固定模板20在与该对向面垂直的方向上直线移动。直动单元23具备：沿着使可动模板21直线移动的方向延伸地配设的多个滚珠花键轴24，和设置在可动模板21的角部、分别被各滚珠花键轴24插通的滚珠花键筒25。另外，成形单元22由单一的成形气缸构成，合模气缸22的活塞22a与可动模板21的中央接合。还有，在平面压力机2的可动模板21的各角部纵向配设多个滚珠花键筒25、25，分别相对于各滚珠花键轴24插通。

另外，本发明的层压成形方法，由层压装置1对层压件A1和被层压件A2进行加热并且加压而层压中间层压制品A3，将中间层压制品A3从层压装置1向平面压力机2运送，由平面压力机2以预定的温度对中间层压制品A3进行加压，其表面成形为平面，平面压力机2具备：相对向地配置、在相互的对向面具有平滑的加压面41的固定模板20以及可动模板21；使可动模板21相对于固定模板20可以靠近/远离地移动并加压中间层压制品A3的成形单元22；和导引可动模板21的直动单元23，使其相对于固定模板20在与其的对向面相垂直的方向上直线移动，直动单元23具备：沿着使可动模板21直线移动的方向延伸地配设的多个滚珠花键轴24，和设置在可动模板21的角部、分别由所述滚珠花键轴24插通的滚珠花键筒25，将中间层压制品A3从层压装置1运送至平面压力机2的固定模板20和可动模板21之间，一边通过由在滚珠花键轴24插通滚珠花键筒25而构成的直动单元23，在与其对向面相垂直的方向上导引可动模板21，一边通过成形单元22使可动模板21移动靠近固定模板20，以预定温度对中间层压制品A3进行加压，将其表面成形为平面。

作为层压件的绝缘层A1是由例如环氧系等的热固化树脂构成的，成形为厚度为例如30～100μm左右的薄膜状，最初的状态是在一方的面上可剥离地粘着有由聚对苯二甲酸乙二(醇)酯等构成的薄膜状的支持体，在另一方的面上可剥离地粘着有保护膜。另外，绝缘层A1也可以由环氧系树脂之外的，例如聚酰亚胺、液晶聚合物、聚对苯二甲酸乙二(醇)酯等构成的热塑性或者热固化性的绝缘性材料(配合各种树脂、漆的物质等)构成。层压了绝缘层的基板层A2的表面，由于由铜箔制成的电路图案而形成有凹凸。基板层A2具有例如1～2mm左右的厚度。另外，在图1、图4中，表示在基板层A2的两面层压绝缘层A1的情况，但是本发明也适用于在基板层A2的单面层压绝缘层A1的情况。另外，绝缘层A1也可以是连续的带状的薄膜。

如图1所示，层压成形装置中，相邻配设有层压装置1和平面压力机2。还有，在层压装置1的与平面压力机2的相反侧(上一工序侧)，上下配置有卷起运载膜F而成的供给辊子30，在平面压力机2的与层压装置1的相反侧(下一工序侧)上下配置有收卷运载膜F的收卷辊子31。运载膜F，例如由聚对苯二甲酸乙二(醇)酯构成，成形为连续的带状。在收卷辊子31设置有伺服电机(省略图示)，其旋转速度是可控制的。另外，在供给辊子30设置有用于施加膜张力的伺服电机(省略图示)。通过一边由供给辊子30的伺服电机在收卷方向施加较弱转矩一边使收卷辊子31旋转，上方和下方的运载膜F在同步被施加张力的状态下，被从供给辊子30朝向收卷辊子31、即从图1的右方向左方运送。

绝缘层A1被切割为对应于只剥离了保护膜的、被层压基板层A2的大小的尺寸，在绝缘层A1与基板层A2的上下表面接触、支持体成为加压面那样地重叠、暂时贴合的状态下，在供给辊子30的附近由下方的运载膜F承载，运送两个运载膜F、F，由此，在被夹在和上方的运载膜F之间的状态下被运送到层压装置1，由层压装置1层压为中间层压制品A3。通过运送两个运载膜F、F将中间层压制品A3运送至平面压力机2，得到将包括作为支持体的聚对苯二甲酸乙二(醇)酯层的绝缘层A1的表面成形为平面的成形品A4，之后将其运送至收卷辊子31附近。即，在本实施方式中，由运载膜F、该供给辊子30以及收卷辊子31，构成了运送单元3。另外，运载膜F不仅运送绝缘层A1、基板层A2、中间层压制品A3以及成形品A4，也具有防止由于绝缘层A1在层压装置1被加热、中间层压制品A3中的绝缘层A1在平面压力机2被加热至预定温度而熔融附着于周围的功能。平面压力机2并不限定于一台，也有在层压装置1和收卷辊子31之间排列多台平面压力机2的情况。

该实施方式中的层压装置1，具备：相对向配置的上模板10和下模板11；用于使下模板11相对于上模板10靠近·远离地升降移动的开闭气缸12；对由于关闭上模板10和下模板11而形成的腔室内进行减压的减压装置(省略图示)；设置于上模板10和下模板11、对绝缘层A1和基板层A2进行加压的膜体13(后述)；以及加热至预定温度的热板14。膜体13是由例如肖氏A硬度为20～60度、厚度为1～4mm左右的硅酮橡胶构成的。热板14安装有例如筒式加热器。另外，代替在热板14上安装筒式加热器，也可以在膜体13或者热板14的表面上粘着橡胶加热器。

在这样构成的层压装置1中，当通过运送运载膜F将绝缘层A1以及基板层A2运送至上模板10和下模板11之间时，通过开闭气缸12使上模板10和下模板11对接而形成腔室，对腔室内进行减压，向下方和上方的至少一方的膜体13的背面侧供给压缩空气并使该膜体13膨胀，由此，以例如0.3～0.9MPa左右对绝缘层A1和基板层A2进行加压，并且通过热板加热至例如90～120℃左右的温度，并维持30～60秒。薄膜状的绝缘层A1没有在和基板层A2之间发生间隙的情况，紧密贴合基板层A2的表面的凹凸地被层压。另外，本发明的层压装置1，并不限定于上述那样通过膜体13进行加压的装置，也可以采用在真空腔室内设置加压辊子而成的真空辊子层压装置。

平面压力机2具备：设置在下方的大体矩形的基础模板26；和分别立设于位于该基础模板26的上方的大体矩形的固定模板20的各角部(包括其附近)之间的连接杆27。即，平面压力机2是可动模板21能够在基础模板26和固定模板20之间升降移动的所谓纵型压力机。另外，如图3中的虚线所示，在基础模板26上，立设有限制可动模板21的下降的挡块26a。

在固定模板20和可动模板21的对向面分别设置有热板40。在热板40的表面，隔着由例如肖氏A硬度为30～70度、厚度0.1～2mm左右的硅酮橡胶等制成的缓冲层42，安装有由例如板厚为0.5～3mm左右、具有板厚不均为30～40μm的平面度的不锈钢等制成的镜面板41，另外，在固定模板20以及可动模板21的对向面，隔着例如10～20mm左右的厚度的隔热材料43安装有热板40。热板40的平面方向的大小，在例如550～700mm左右，可以根据层压成形的中间层压制品A3或者成形后的成形品A4的大小适当地设定。在热板40的内部，形成有容纳筒式加热器等的加热单元的孔40a。镜面板41构成平滑的加压面。热板40优选为如图3以及图6所示，为了吸收热膨胀，在热板40的非加压部40c的部分，在相对于面的直角方向上形成有孔40b，在该孔40b中插通与其直径相比轴径较小的轴肩螺栓45并通过与设置于固定模板20以及可动模板21的螺纹孔拧合而进行安装。另外，孔40b还可以是长孔或者椭圆孔。在可动模板21的上表面与运载膜F交叉的边缘部分，设置有可以旋转的导引辊子46。

在连接杆27的周围，形成有多组(在本实施方式中为三组)以预定长度沿着轴向方向延伸的一对槽，在这些各一对槽之间形成有花键轴突起部24a。该连接杆27的形成花键轴突起部24a的部分，构成滚珠花键轴24。在滚珠花键轴24的表面，实施硬质铬电镀。另一方面，在可动模板21的各角部(包括其附近)形成有罩壳部21a，在该实施方式的情况下，在罩壳部21的内孔收容有一对滚珠花键筒25，使其纵向排列且相互的筒端面之间接触，与所述筒端面相反侧的各凸缘25a通过螺栓28分别连接到罩壳部21a的上下端面。因此，滚珠花键筒25安装成其轴向方向朝向相对于可动模板21的加压面垂直的方向。在各滚珠花键筒25的内部，设置有夹持花键轴突起部24a的相向的两条球列(省略图示)。由罩壳部21a纵向排列地保持的各滚珠花键筒25采用这样的构造：由于插通了滚珠花键轴24，在球列以相互例如接触角为20度来夹持花键轴突起部24a而施加比较小的压力或者没有施加压力的状态下，消除了相对于花键轴突起部24a的周边方向的角冲突的角接触构造。

如图5以及图7所示那样，罩壳部21a形成得相对于可动模板21上方短、下方长而突出。因此，即便在成形比较薄的中间层压制品的情况下，也没有罩壳部21a的上方与固定模板20的下表面缓冲的情况。而且，由于在罩壳部21a内纵向排列设置了两个滚珠花键筒25、25，对形成于连接杆27的滚珠花键轴24的卡合长度，与单一地设置滚珠花键筒25的情况相比比较长，因此，能够稳定地导引可动模板21的升降移动。更加具体而言，可动模板21的厚度L21例如为120mm，设各滚珠花键筒25的长度为例如125mm时，在纵向排列配置两个的情况下，整体长度L25为250mm，与可动模板21的厚度L21相比较可以大幅地增长。优选将多个滚珠花键筒25整体的长度L25，设定为可动模板21的厚度L21的1.3倍～3.0倍。在这种情况下，如后所述，当设可动模板21的最大行程LM(参照图5中心线右方)为130mm时，形成于连接杆27的滚珠花键轴24的长度L24为380mm，能够使滚珠花键筒25实际移动的实效行程为385mm左右。优选将多个滚珠花键筒25整体的轴向方向长度L25设定在相对于滚珠花键轴24的轴向方向长度L24的50～70％的范围。另外，平面压力机2还可以设置多个不同于圆柱形的连接杆27的、可动模板导引用的滚珠花键轴24。

在图5中，中心轴线C-C左方表示在通常成形时开启可动模板21的状态，中心轴线C-C的右方表示在维护时等可动模板21开启至最大的状态。滚珠花键轴24的长度L24设定为，与可动模板21相对于固定模板20的最大升降行程LM和纵向排列配置的多个滚珠花键筒25、25的整体长度L25相加的长度相当或者在其以上的长度。相对于固定模板20的可动模板21的升降行程中，将中间层压制品A3的表面成形为平面时的开启量设定为维护时等的最大开启量的10～20％的范围。

另外，在固定模板20和可动模板21，还可以设置有用于使制冷剂流通的通道、输送空气的冷却风扇等冷却单元(省略图示)，在连接杆27的固定模板20的附近形成有小径部27a。在设置有冷却单元的情况下，能够抑制固定模板20和可动模板21的热膨胀，因此，能够防止固定模板20、可动模板21以及连接杆27受热所导致的变形。另外，由于在连接杆27的固定模板20附近形成有小径部27a，则即便在由于可动部21的热膨胀、中间层压制品A3的加压导致连接杆27变形的情况下，也能够通过小径部27a缓和由该变形所导致的应力集中。

成形单元22由使活塞22a伸长·缩短的单一的合模气缸构成。合模气缸22由基础模板26保持，如图3所示，活塞22a的顶端与可动模板21的下表面的中央接合。设定根据合模气缸22的可动模板21的升降行程，使得固定模板20的镜面板41和可动模板21的镜面板41，在进行成形时相互离开例如LS＝15～30mm左右，在进行维护时相互离开例如LM＝110～130mm左右。因此，在进行成形时行程LS较短，能够缩短成形周期，另外在进行维护时，使可动模板21充分地从固定模板20离开，从而能够容易地对可动模板20和固定模板21的对向面进行维护。另外，成形单元22，还可以是升压式合模气缸、电动式合模气缸装置等其他的机构。

以上构成的平面压力机2中，在通常的成形时，固定模板20和可动模板21的镜面板41间的间隔LS变得比较窄。当通过运载膜F的运送将在层压装置1中紧密贴合基板层A2的表面的凹凸地层压绝缘层A1并加热的状态下的中间层压制品A3(参照图4)，运送至固定模板20和可动模板21的镜面板41之间时，使合模气缸22的活塞22a伸长移动，温度稍微降低，但依然将绝缘层A1处于容易变形的温度状态下的中间层压制品A3，通过镜面板41与加压部40d相对应的部分以预定时间进行加压。此时，通过在纵向排列设置于该罩壳部21a的滚珠花键筒25插通形成于连接杆27的滚珠花键轴24，在可靠地保持与固定模板20的平行度的状态下，顺利地导引可动模板21使之向固定模板20靠近移动，如图2所示，在固定模板20和可动模板21的镜面板41之间短时间夹持中间层压制品A3。此时，平面压力机2的成形单元的控制，最初通过位置控制进行合模气缸22的活塞22a的上升控制。然后，如果可动模板21的位置，稍后变成在固定模板20和可动模板21的镜面板41、41之间对中间层压制品A3进行加压的位置，则可动模板21的速度从高速切换为低速。而且另外，可动模板21上升，检测出通过可动模板21的加压面开始加压的位置，将合模气缸22的控制从速度控制切换至压力控制，以预定的压力对中间层压制品A3进行加压。另外，也可从可动模板21的速度从高速切换至低速的时刻起进行低速的压力控制，在成为开始加压的位置后进行增压。

通过这样对合模气缸22进行控制并对中间层压制品A3进行加压，在可动模板21还没有接近固定模板20的区域，能够将可动模板21的速度定为高速，而不延长成形周期。还有，当不能控制可动模板21的速度时，可动模板21高速移动，对中间层压制品A3施加了超过必要的初始加压力，导致中间层压制品A3的容易向外部变形的树脂流出，但是在本发明中没有这种情况。而且，在加压时，有能够通过压力控制以预期的加压力进行中间层压制品A3的加压这样的好处。

而且，在本发明中，由于活塞22a与可动模板21的中央结合，因此不会产生按压可动模板21的中央部以外的部分而处于部分接触中间层压制品A3状态的情况。另外，尤其是没有对中间层压制品A3的初始加压力施加不均匀的情况。而且，因为可动模板21的中央部被按压，所以不会产生可动模板21挠曲变形，使波及中间层压制品A3的中心附近的加压力与波及周边附近的加压力相比较变低的情况。因此，构成中间层压制品A3的绝缘层A1，通过热板40被调整至预定的温度，并且使在隔着缓冲层42而安装的镜面板41上不产生初始加压力较弱的部分，大体均匀地加压，没有绝缘层A1的可容易变形的树脂向中间层压制品A3的外部流动的情况，从而成形为表面平坦、厚度均匀的成形品A4。

当通过以30～60秒、70～120℃的条件对中间层压制品A3进行加压，成形为表面平坦厚度均匀的成形品A4时，驱动合模气缸22的活塞22a退缩，如从图5的中心轴线C-C左方所示，可动模板21仅下降比较小的行程LS就从固定模板20离开。之后，成形品A4通过运载膜F被从固定模板20和可动模板21的镜面板41之间向图1中的左方运送。根据需要，剥离粘着于成形品A4的绝缘层A1的表面的支持体。而且，在成形品A4是组合基板用的情况下，在使绝缘层A1固化的工序之后，在绝缘层A1的表面形成电路图案，再次重叠绝缘层A1，重复本发明的层压成形方法。

另一方面，在维护平面压力机2的情况下，驱动合模气缸22的活塞22a后退，如图5的中心轴线C-C右方所示，可动模板21以比较大的行程LM下降，远离固定模板20。因此，能够容易地进行平面压力机2的维护。

另外，本发明并不限定于上述的实施方式，适用于在作为被层压件的、表面具有铜箔等的导电层的基板层上层压作为层压件的光致抗蚀剂层，在将该中间层压制品的表面成形为平面的等情况，也可以适用于其它制品的层压成形。平面压力机2还可以配置为固定模板20在下方、可动模板21在上方。而且，本发明并不限定于组合基板的制造，还可以适用于将中间层压制品的表面成形为平坦、厚度均匀的情况。

Claims (4)

1.一种层压成形装置，具备：通过对层压件和被层压件进行加热以及加压而层压中间层压制品的层压装置；以预定温度对由该层压装置所层压的中间层压制品进行加压、将其表面成形为平面的平面压力机；和将所述中间层压制品从层压装置运送至平面压力机的运送单元，其特征在于，

所述平面压力机具备：相对向地配置、在相互的对向面具有平滑的加压面的固定模板及可动模板；使可动模板相对于固定模板可以靠近/远离地移动、对所述层压装置所层压的中间层压制品加压的成形单元；和导引可动模板使得可动模板相对于固定模板在与该对向面垂直的方向上直线移动的直动单元，

该直动单元具备：沿着使可动模板直线移动的方向延伸地配设的多个滚珠花键轴；和设置在可动模板的角部、分别被所述滚珠花键轴插通的滚珠花键筒。

2.根据权利要求1所记载的层压成形装置，其特征在于，

所述平面压力机的成形单元单一地与可动模板的中央接合。

3.根据权利要求1或2所记载的层压成形装置，其特征在于，

在所述平面压力机的可动模板的各角部设置多个滚珠花键筒，该多个滚珠花键筒被各滚珠花键轴分别插通。

4.一种层压成形方法，其中，由层压装置对层压件和被层压件进行加热并且加压而层压中间层压制品，将该中间层压制品从层压装置向平面压力机运送，由平面压力机以预定的温度对所述中间层压制品进行加压，其表面成形为平面，其特征在于，

所述平面压力机具备：相对向地配置、在相互的对向面具有平滑的加压面的固定模板及可动模板；使可动模板相对于固定模板可以靠近/远离地移动、对所述层压装置所层压的中间层压制品加压的成形单元；和导引可动模板的直动单元，使得可动模板相对于固定模板在与该对向面垂直的方向上直线移动，

该直动单元具备：沿着使可动模板直线移动的方向延伸地配设的多个滚珠花键轴；和设置在可动模板的角部、分别被所述滚珠花键轴插通的滚珠花键筒，

将所述中间层压制品从层压装置运送至平面压力机的固定模板和可动模板之间，

一边通过由在所述滚珠花键轴插通滚珠花键筒而构成的直动单元，在与所述对向面垂直的方向上导引所述可动模板，一边通过成形单元使可动模板移动并靠近固定模板，以预定温度对中间层压制品进行加压，其表面成形为平面。

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