CN101275269B - 电解电容器用铝箔腐蚀工艺 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 67
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title abstract description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 7
- 239000011888 foil Substances 0.000 title abstract description 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims abstract description 141
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims abstract description 141
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 claims abstract description 13
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 125
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 78
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 74
- 239000005030 aluminium foil Substances 0.000 claims description 62
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 claims description 42
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 40
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 22
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 22
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 17
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 16
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 10
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 7
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims description 4
- WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N benzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1 WPYMKLBDIGXBTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 14
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 3
- 239000013049 sediment Substances 0.000 abstract 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 abstract 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 238000007669 thermal treatment Methods 0.000 description 4
- -1 aluminum ion Chemical class 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 241000370738 Chlorion Species 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 2
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 229910021502 aluminium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005518 electrochemistry Effects 0.000 description 1
- 206010016256 fatigue Diseases 0.000 description 1
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 230000016507 interphase Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000010358 mechanical oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000010907 mechanical stirring Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- ZODDGFAZWTZOSI-UHFFFAOYSA-N nitric acid;sulfuric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O.OS(O)(=O)=O ZODDGFAZWTZOSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- CTSLXHKWHWQRSH-UHFFFAOYSA-N oxalyl chloride Substances ClC(=O)C(Cl)=O CTSLXHKWHWQRSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
Abstract
本发明涉及一种电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，包括前处理、交流预腐蚀、中间处理、后级交流腐蚀、直流腐蚀、后处理六个步骤，其特征在于，在后级交流腐蚀过程中采用超声波进行辅助腐蚀；同时本发明中还将后级交流腐蚀分为多级，从第一级到最后一级腐蚀液温度逐步降低，而电流密度则逐步升高。本发明的工艺保持了腐蚀液在槽液中的传质畅通，有效防止在铝箔-腐蚀液界面处的浓差极化，促进了腐蚀沉积物的剥离，使腐蚀效率大大提高。
Description
【技术领域】
本发明涉及一种腐蚀工艺，尤其涉及一种电解电容用铝箔腐蚀工艺。
【背景技术】
电极箔是经过特殊的腐蚀化成工艺生产出来的电子产品，其生产难度大，技术含量高，高端产品(高比容和高强度)长期以来一直依赖进口。近几年，随着电子产品需求的高速增长，电解电容器的产量不断增加，对电极箔的需求也不断增加。获得高比容电解电容器的关键技术之一就是利用特殊的电化学扩面技术在铝箔表面往纵深方向腐蚀出大量蚀孔以提高比表面积。长期以来交流腐蚀是生产铝制件例如电容器铝箔的主要方法。中国专利文献CN1542881A即公开了一种硬态铝箔的腐蚀工艺方法。
在交流腐蚀过程中，正半周在电场的作用下铝箔发生电化学腐蚀，在局部微区剧烈反应生成铝离子和氢气等腐蚀产物。小孔内部腐蚀发展的尖端由于受到氢离子迁移的限制酸度下降而与铝离子结合形成类似于氢氧化铝的腐蚀沉积膜。因此在交流腐蚀过程中及时有效的保证物质的传输非常重要。在腐蚀箔生产过程中，通常使用高强度的机械搅拌以使腐蚀液形成对流。但是在铝箔表面近微米区域，腐蚀液基本处于静止状态，液体的流动只能靠腐蚀产生的氢气的气流来搅拌，腐蚀液在电解槽中的传动受到限制，而使得腐蚀后的铝箔表面不均匀。
【发明内容】
本发明的发明目的是提供一种先进的电解电容用铝箔腐蚀新工艺，如在常规的前处理、交流预腐蚀、中间处理、后级交流腐蚀、后处理等五步工艺增加了一个有效的直流腐蚀步骤，在前、后处理中使用了混和酸，达到克服现有技术中腐蚀后的铝箔表面不均匀的目的。
为达到上述发明目的，本发明提出以下的技术方案：一种电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，包括前处理、交流预腐蚀、中间处理、后级交流腐蚀、直流腐蚀、后处理六个步骤，并在后级交流腐蚀过程中新增加了超声波进行辅助腐蚀；所述后级交流腐蚀分为多级，从第一级到最后一级腐蚀液温度逐步降低，而电流密度则逐步升高。
为达到上述发明目的，本发明还提出另一技术方案：
一种电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，包含以下步骤：
前处理：将铝箔在浓度为0.1wt％～1wt％的磷酸、苯甲酸、草酸中的一种或两种以上的混和液浸泡；
交流预腐蚀：将前处理后的铝箔放置在浓度为10wt％～20wt％的盐酸、0.5wt％～5wt％的草酸、0.1wt％～0.5wt％的硫酸混合液中进行交流电解预腐蚀处理；
中间处理：将经交流预腐蚀后的铝箔放置在浓度为10wt％～25wt％的盐酸、0.5wt％～10wt％的草酸、0.1～0.5wt％的硫酸混合液中进行中间处理；
交流腐蚀：将中间处理后的铝箔在超声波辅助下放置在浓度为10wt％～25wt％的盐酸、1wt％～10wt％的草酸、0.1wt％～0.5wt％的硫酸、0～10wt％的三氯化铝混合溶液中进行交流腐蚀处理；
直流腐蚀：将经后级交流腐蚀后的铝箔在浓度为10wt％～25wt％的盐酸、0wt％～10wt％的草酸、0.1wt％～0.5wt％的硫酸、0～10wt％的三氯化铝混合溶液中进行直流腐蚀处理；
1wt％～5wt％硫酸、硝酸和草酸中的一种或两种以上的混和酸性液中浸泡；
其中，40℃降低至25℃，而电流密度则逐步由5A/dm2升高至50A/dm2。
上述电解电容器用铝箔的腐蚀工艺中，还包括将经过后处理的铝箔在200℃～450℃下进行热处理1～3分钟的步骤。
上述电解电容器用铝箔的腐蚀工艺中，所述前处理过程的温度60℃～80℃，处理时间2～5分钟。
上述电解电容器用铝箔的腐蚀工艺中，所述交流预腐蚀过程中，混合液的温度30℃～40℃，腐蚀电流密度10～40A/dm2，电量200～800C/dm2。
上述电解电容器用铝箔的腐蚀工艺中，所述中间处理过程中，混合液的温度60℃～80℃，处理时间2～5分钟。
上述电解电容器用铝箔的腐蚀工艺中，所述后级交流腐蚀过程中，混合液温度25℃～40℃，腐蚀电流密度5～50A/dm2，电量6000～10000C/dm2。
上述电解电容器用铝箔的腐蚀工艺中，所述后级交流腐蚀过程中，超声波的频率为20KHz～100KHz。
上述电解电容器用铝箔的腐蚀工艺中，所述直流腐蚀过程中，混合液温度25℃～40℃，腐蚀电流密度10～80A/dm2，电量2000～5000C/dm2
上述电解电容器用铝箔的腐蚀工艺中，所述后处理过程中，酸性液溶液温度为30℃～50℃，处理时间1～3分钟。
从以上技术方案可以看出，在后级交流腐蚀过程中采用了超声波进行辅助腐蚀，由于超声波是一种由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质，而在介质液体中疏密相间地向前辐射，使液体流动产生数以万计的微小气泡，这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区迅速闭合，形成“空化”效应。将超声波应用到本腐蚀工艺中时，在“空化”效应下在腐蚀液内形成瞬间高压，连续不断的冲击铝箔，降低铝箔-腐蚀液体界面的浓度极化，同时使腐蚀孔内的沉积物剥落，从而达到扩孔的目的；同时在铝箔腐蚀过程中超声波通过其在腐蚀液体中的传播而在界面上产生强烈的冲击和空化现象，协助铝离子的扩散和传质从而达到辅助腐蚀的目的。同时，本发明的工艺，在后级交流腐蚀过程中采用多级腐蚀，从第一级到最后一级温度从高到低下降，而电流密度与温度相反，从低到高，这样可以减少腐蚀过程中再次发孔的机会，保证了铝箔的机械强度。
【具体实施方式】
本发明的电解电容器用铝箔的腐蚀工艺中各处理步骤详述如下：
前处理
前处理主要是对铝箔表面进行预处理，去除铝箔表面的油污、杂质以及自然氧化膜，使铝箔表面均匀活化，有利于在预腐蚀时形成均匀分布的初始蚀孔。前处理液为0.1wt％～1wt％的磷酸、苯甲酸、草酸中的一种或两种以上的混和液浸泡，处理时间2到5分钟，温度为60～80℃。酸液浓度过高、温度过高和处理时间过长都容易使铝箔失重，反之则达不到效果。
交流预腐蚀
交流预腐蚀的目的是在铝箔表面引发均匀腐蚀孔，蚀孔孔径的大小应该与腐蚀箔化成时所加电压匹配，化成电压越低要求孔径越小。蚀孔孔径的大小可以通过交流预腐蚀的电流密度、温度来控制。本发明工艺中交流预腐蚀时的腐蚀液为10wt％～20wt％盐酸、0.5wt％～5wt％草酸、0.1wt％～0.5wt％硫酸的混合液，预腐蚀工艺条件为温度30℃～40℃，电流密度10～40A/dm2，电量200～800C/dm2。预腐蚀液中，盐酸主要起侵蚀作用，浓度过高表面溶解快造成发黑，过低则侵蚀作用弱；草酸和硫酸协同起成膜作用。电流密度的增加会导致蚀孔孔径的增加，电流密度过小容易造成蚀孔在后续的腐蚀过程中合并而损失比容；电量过高容易造成表面掉粉发黑，过低则发孔效果差。
中间处理
中间处理的目的是除去铝箔表面的在发孔过程中生成的不溶解的沉积膜并活化表面。本发明工艺的中间处理液为10wt％～25wt％的盐酸、0.5wt％～10wt％的草酸以及0.1～0.5wt％的硫酸混合液，工艺条件为温度60～80℃，时间2～5分钟。中间处理的温度过高、时间过长容易造成化学溶解而损失比容。
后级交流腐蚀
后级交流腐蚀主要是将预腐蚀时形成的初始蚀孔进行进一步扩大和加深，使最终蚀孔的孔径满足高压赋能要求。
本发明工艺的后级交流腐蚀是：在超声波辅助下，在10wt％～25wt％盐酸1wt％～10wt％草酸0.1wt％～0.5wt％硫酸0～10wt％三氯化铝的混合溶液中分多级进行深度交流腐蚀，工艺条件为温度25～40℃，电流密度5～50A/dm2，电量为6000～10000C/dm2。混合溶液中，盐酸中的氯离子主要起深度腐蚀侵蚀作用，盐酸浓度低则腐蚀作用弱，过高则容易造成化学腐蚀对提高比容不利；草酸和硫酸配比作为表面缓蚀的添加剂，其浓度过高容易造成箔表面挂花、流挂甚至发黑等。腐蚀过程中，铝箔的比表面积不断增加，化学腐蚀越来越容易发生，所以腐蚀的温度应慢慢降低。本发明在后级交流腐蚀步骤中采用多级腐蚀的方式，温度从高到低下降，而电流密度则与温度相反，从低到高，这样可以减少腐蚀过程中再次发孔的机会。腐蚀过程中电量过低达不到比容要求，过高则过腐蚀，损失机械强度。
同时，本发明的工艺中引进超声波辅助后级交流腐蚀，在于保持腐蚀液在槽液中的传质畅通，有效防止在铝箔-腐蚀液界面处的浓差极化，同时通过“空化”效应促进腐蚀沉积物的剥离，使腐蚀效率大大提高。
直流腐蚀
直流腐蚀的目的是进一步扩孔，使铝箔达到所需比容。
本发明工艺的直流腐蚀是：在10wt％～25wt％盐酸、0wt％～10wt％草酸、0.1wt％～0.5wt％硫酸、0～10wt％三氯化铝的混合溶液中进行直流腐蚀，工艺条件为温度25～40℃，电流密度10～80A/dm2，电量为2000～5000C/dm2。直流腐蚀的混合液中，草酸和三氯化铝可视情况适当添加，其在混合液中的浓度均不大于10wt％。
后处理
后处理主要是为了消除铝箔表面残留的金属杂质和蚀孔中的氯离子，去除淤积于蚀孔中的氢氧化铝等。本发明的工艺中，后处理是将经过后级交流腐蚀的铝箔放置在在浓度为1wt％～5wt％硫酸、硝酸和草酸中的一种或两种以上的混和酸性液中浸泡，温度30℃～50℃，处理时间1～3分钟。后处理的温度过低、处理时间较短则效果不明显，而温度过高或处理时间过长则容易发生铝箔表面溶解。
实施例1：(以新疆众和105μm光箔为例)
取光箔依次进行如下处理：
(1)将光箔在0.5wt％的磷酸溶液中，60℃下浸泡3分钟；
(2)将步骤(1)处理后的光箔在40℃下，含有15wt％盐酸、0.1wt％硫酸、0.5wt％草酸的混合液中交流预腐蚀30秒，电流密度为20A/dm2，电量为200C/dm2，电源频率50Hz；
(3)将步骤(2)处理后的箔在60℃下，含有20wt％盐酸、0.15wt％硫酸、0.5wt％草酸混合液的中化学处理2分钟；
(4-1)将步骤(3)处理后的箔在40℃下，含有22wt％盐酸、0.15wt％硫酸、1wt％草酸的混合液中后级交流深度腐蚀，腐蚀过程中含有混合液的腐蚀槽放在超声波浴中，频率为28KHz。腐蚀电流密度为5A/dm2，电量为6000C/dm2，时间为3分钟，电源频率为50Hz；
(4-2)将步骤(4-1)处理后的箔在34℃下，含有22wt％盐酸0.15wt％硫酸、1wt％草酸的混合液中后级交流深度腐蚀，腐蚀过程中含有混合液的腐蚀槽放在超声波浴中，频率为28KHz。腐蚀电流密度为15A/dm2，电量为8000C/dm2，时间为3分钟，电源频率为50Hz；
(4-3)将步骤(4-2)处理后的箔在30℃下，含有22wt％盐酸、0.15wt％硫酸、1wt％草酸的混合液中后级交流深度腐蚀，腐蚀过程中含有混合液的腐蚀槽放在超声波浴中，频率为28KHz。腐蚀电流密度为35A/dm2，电量为10000C/dm2，时间为7分钟，电源频率为50Hz；
(5)将步骤(4-3)处理后的箔在35℃下，含有22wt％盐酸、0.15wt％硫酸、0.5wt％草酸的混合液中直流腐蚀，腐蚀电流密度为50A/dm2，电量为2000C/dm2，时间为2分钟；
(6)将步骤(5)处理后的箔在40℃，含有5wt％硫酸的溶液中浸泡3分钟；
(7)将步骤(6)处理后的箔自然晾干后在400℃热处理2分钟。
性能测定：
检验方法按照RC-2364标准，化成电压为20V，测得经按上述实施例处理后的铝箔的比容为77μF/cm2，失重为1.08g/dm2，抗拉力为18.5N/cm，抗折弯次数为85次。
对比例1：(以新疆众和105μm光箔为例)
取光箔依次进行如下处理：
(1)将光箔在0.5wt％的磷酸溶液中，60℃下浸泡3分钟；
(2)将步骤(1)处理后的光箔在40℃，含有15wt％盐酸、0.1wt％硫酸、0.5wt％草酸的混合液中前级交流预腐蚀30秒，电流密度为20A/dm2，电量为200C/dm2，电源频率为50Hz；
(3)将步骤(2)处理后的箔在60℃，含有20wt％盐酸、0.15wt％硫酸、0.5wt％草酸的混合液中化学处理2分钟；
(4)将步骤(3)处理后的箔在40℃，含有22wt％盐酸、0.15wt％硫酸、1wt％草酸的混合液中后级交流深度腐蚀，电流密度为5A/dm2，电量为6000C/dm2，时间为3分钟，电源频率为50Hz；
(5)将步骤(4)处理后的箔在34℃，含有22wt％盐酸、0.15wt％硫酸、1wt％草酸的混合液中后级交流深度腐蚀，电流密度为15A/dm2，电量为6000C/dm2，时间为3分钟，电源频率为50Hz；
(6)将步骤(5)处理后的箔在30℃，含有22wt％盐酸、0.15wt％硫酸、1wt％草酸混合液中后级交流深度腐蚀，电流密度为35A/dm2，电量为8000C/dm2，时间为7分钟，电源频率为50Hz；
(7)将步骤(6)处理后的箔在35℃下，含有22wt％盐酸、0.15wt％硫酸、0.5wt％C草酸的混合液中直流腐蚀，腐蚀电流密度为50A/dm2，电量为2000C/dm2时间为2分钟；
(8)将步骤(7)处理后的箔在40℃，含有5wt％硫酸的溶液中浸泡3分钟；
(9)将步骤(8)处理后的箔自然晾干后在400℃热处理2分钟。
性能测定：
检验方法按照RC-2364标准，化成电压为20V，测得经按上述比较例处理后的铝箔的比容为70μF/cm2，失重为1.10g/dm2，抗拉力为21.5N/cm，抗折弯次数为90次。
由上述实施例与对比例的结果可以看出，本发明的电解电容器用铝箔的腐蚀工艺中，由于采用了超声波辅助腐蚀，可以在保持铝箔的机械性能基本不变的情况下，使其比容提高了10％。
实施例2：(以新疆众和105μm光箔为例)
取光箔依次进行如下处理：
(1)将光箔在0.1wt％的磷酸溶液中，80℃下浸泡5分钟；
(2)将步骤(1)处理后的光箔在30℃下，含有10wt％盐酸、0.3wt％硫酸、1wt％草酸的混合液中交流预腐蚀30秒，电流密度为10A/dm2，电量为400C/dm2，电源频率50Hz；
(3)将步骤(2)处理后的箔在70℃下，含有10wt％盐酸、0.1wt％硫酸、5wt％草酸混合液的中化学处理3分钟；
(4-1)将步骤(3)处理后的箔在40℃下，含有10wt％盐酸、0.1wt％硫酸、5wt％的草酸、0.1wt％的三氯化铝混合液中后级交流深度腐蚀，腐蚀过程中含有混合液的腐蚀槽放在超声波浴中，频率为50KHz。腐蚀电流密度为5A/dm2，电量为6000C/dm2，时间为3分钟，电源频率为50Hz；
(4-2)将步骤(4-1)处理后的箔在34℃下，含有10wt％盐酸0.1wt％硫酸、5wt％的草酸、0.1wt％的三氯化铝混合液中后级交流深度腐蚀，腐蚀过程中含有混合液的腐蚀槽放在超声波浴中，频率为50KHz。腐蚀电流密度为25A/dm2，电量为8000C/dm2，时间为3分钟，电源频率为50Hz；
(4-3)将步骤(4-2)处理后的箔在25℃下，含有10wt％盐酸、0.1wt％硫酸、5wt％的草酸、0.1wt％的三氯化铝混合液中后级交流深度腐蚀，腐蚀过程中含有混合液的腐蚀槽放在超声波浴中，频率为50KHz。腐蚀电流密度为50A/dm2，电量为10000C/dm2，时间为7分钟，电源频率为50Hz；
(5)将步骤(4-3)处理后的箔在40℃下，含有10wt％盐酸、0.1wt％硫酸、10wt％草酸、10wt％三氯化铝的混合液中直流腐蚀，腐蚀电流密度为10A/dm2，电量为5000C/dm2，时间为2分钟；
(6)将步骤(5)处理后的箔在30℃，含有4wt％的和硫酸硝酸的溶液中浸泡2分钟；
(7)将步骤(6)处理后的箔自然晾干后在200℃热处理3分钟。
性能测定：
检验方法按照RC-2364标准，化成电压为20V，测得经按上述实施例处理后的铝箔的比容为80μF/cm2，失重为1.07g/dm2，抗拉力为19.3N/cm，抗折弯次数为89次。
实施例3：(以新疆众和105μm光箔为例)
取光箔依次进行如下处理：
(1)将光箔在1wt％的磷酸溶液中，70℃下浸泡2分钟；
(2)将步骤(1)处理后的光箔在35℃下，含有20wt％盐酸、0.5wt％硫酸、5wt％草酸的混合液中交流预腐蚀30秒，电流密度为40A/dm2，电量为800C/dm2，电源频率50Hz；
(3)将步骤(2)处理后的箔在80℃下，含有25wt％盐酸、0.5wt％硫酸、10wt％草酸混合液的中化学处理5分钟；
(4-1)将步骤(3)处理后的箔在40℃下，含有25wt％盐酸、0.5wt％硫酸的混合液中后级交流深度腐蚀，腐蚀过程中含有混合液的腐蚀槽放在超声波浴中，频率为100KHz。腐蚀电流密度为5A/dm2，电量为6000C/dm2，时间为3分钟，电源频率为50Hz；
(4-2)将步骤(4-1)处理后的箔在34℃下，含有25wt％盐酸0.5wt％硫酸的混合液中后级交流深度腐蚀，腐蚀过程中含有混合液的腐蚀槽放在超声波浴中，频率为100KHz。腐蚀电流密度为25A/dm2，电量为8000C/dm2，时间为3分钟，电源频率为50Hz；
(4-3)将步骤(4-2)处理后的箔在25℃下，含有25wt％盐酸、0.5wt％硫酸的混合液中后级交流深度腐蚀，腐蚀过程中含有混合液的腐蚀槽放在超声波浴中，频率为50KHz。腐蚀电流密度为50A/dm2，电量为10000C/dm2，时间为7分钟，电源频率为50Hz；
(5)将步骤(4-3)处理后的箔在20℃下，含有25wt％盐酸、0.5wt％硫酸的混合液中直流腐蚀，腐蚀电流密度为80A/dm2，电量为4000C/dm2，时间为2分钟；
(6)将步骤(5)处理后的箔在50℃，含有1wt％的硫酸、硝酸和草酸的溶液中浸泡1分钟；
(7)将步骤(6)处理后的箔自然晾干后在450℃热处理1分钟。
性能测定：
检验方法按照RC-2364标准，化成电压为20V，测得经按上述实施例处理后的铝箔的比容为83μF/cm2，失重为1.06g/dm2，抗拉力为19.3N/cm，抗折弯次数为91次。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，包括前处理、交流预腐蚀、中间处理、后级交流腐蚀、直流腐蚀、后处理六个步骤，其特征在于，在后级交流腐蚀过程中采用超声波进行辅助腐蚀；所述后级交流腐蚀分为多级，从第一级到最后一级腐蚀液温度逐步降低，而电流密度则逐步升高。
2.一种电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，包含以下步骤：
前处理：将铝箔在浓度为0.1wt％～1wt％的磷酸、苯甲酸、草酸中的一种或两种以上的混和液浸泡；
交流预腐蚀：将前处理后的铝箔放置在浓度为10wt％～20wt％的盐酸、0.5wt％～5wt％的草酸、0.1wt％～0.5wt％的硫酸混合液中进行交流电解预腐蚀处理；
中间处理：将经交流预腐蚀后的铝箔放置在浓度为10wt％～25wt％的盐酸、0.5wt％～10wt％的草酸、0.1～0.5wt％的硫酸混合液中进行中间处理；
后级交流腐蚀：将中间处理后的铝箔在超声波辅助下放置在浓度为10wt％～25wt％的盐酸、1wt％～10wt％的草酸、0.1wt％～0.5wt％的硫酸、0～10wt％的三氯化铝混合溶液中进行交流腐蚀处理；
直流腐蚀：将经后级交流腐蚀后的铝箔在浓度为10wt％～25wt％的盐酸、0wt％～10wt％的草酸、0.1wt％～0.5wt％的硫酸、0～10wt％的三氯化铝混合溶液中进行直流腐蚀处理；
后处理：最后将经过直流腐蚀的铝箔放置在浓度为1wt％～5wt％硫酸、硝酸和草酸中的一种或两种以上的混和酸性液中浸泡；
其中，所述后级交流腐蚀过程分为多级，从第一级到最后一级腐蚀液温度逐步由40℃降低至25℃，而电流密度则逐步由5A/dm2升高至50A/dm2。
3.根据权利要求2所述的电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，其特征在于，还包括将经过后处理的铝箔在200℃～450℃下进行热处理1～3分钟。
4.根据权利要求2或3所述的电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，其特征在于，所述前处理过程的温度60℃～80℃，处理时间2～5分钟。
5.根据权利要求2或3所述的电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，其特征在于，所述交流预腐蚀过程中，混合液的温度30℃～40℃，腐蚀电流密度10～40A/dm2，电量200～800C/dm2。
6.根据权利要求2或3所述的电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，其特征在于，所述中间处理过程中，混合液的温度60℃～80℃，处理时间2～5分钟。
7.根据权利要求2或3所述的电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，其特征在于，所述后级交流腐蚀过程中，混合液温度25℃～40℃，腐蚀电流密度5～50A/dm2，电量6000～10000C/dm2。
8.根据权利要求2或3所述的电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，其特征在于，所述后级交流腐蚀过程中，超声波的频率为20KHz～100KHz。
9.根据权利要求2或3所述的电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，其特征在于，所述直流腐蚀过程中，混合液温度25℃～40℃，腐蚀电流密度10～80A/dm2，电量2000～5000C/dm2。
10.根据权利要求2或3所述的电解电容器用铝箔的腐蚀工艺，其特征在于，所述后处理过程中，温度为30℃～50℃，处理时间1～3分钟。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2008100666676A CN101275269B (zh) | 2008-04-22 | 2008-04-22 | 电解电容器用铝箔腐蚀工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2008100666676A CN101275269B (zh) | 2008-04-22 | 2008-04-22 | 电解电容器用铝箔腐蚀工艺 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101275269A CN101275269A (zh) | 2008-10-01 |
| CN101275269B true CN101275269B (zh) | 2010-09-22 |
Family
ID=39995110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2008100666676A Expired - Fee Related CN101275269B (zh) | 2008-04-22 | 2008-04-22 | 电解电容器用铝箔腐蚀工艺 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101275269B (zh) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101964256A (zh) * | 2010-11-04 | 2011-02-02 | 南通华冠电子科技有限公司 | 一种中高压阳极铝箔的制造方法 |
| CN101950688A (zh) * | 2010-11-04 | 2011-01-19 | 南通华冠电子科技有限公司 | 用于铝电解电容器的中高压阳极铝箔的制造方法 |
| CN102061508A (zh) * | 2010-12-03 | 2011-05-18 | 浙江丰川电子科技有限公司 | 一种中高压电极箔腐蚀扩面方法 |
| CN102983008A (zh) * | 2012-11-28 | 2013-03-20 | 广西贺州市桂东电子科技有限责任公司 | 铝电解电容器用超高压阳极箔腐蚀方法 |
| CN103187176B (zh) * | 2013-03-22 | 2015-12-02 | 常州大学 | 一种电解电容器阳极铝箔的腐蚀工艺 |
| CN104715929B (zh) * | 2013-12-15 | 2017-09-29 | 江苏荣生电子有限公司 | 一种直流与交流混合加电发孔的中高压电极箔制造方法 |
| CN104711663B (zh) * | 2013-12-15 | 2017-05-31 | 江苏荣生电子有限公司 | 一种采用七级不同发孔条件的中高压电极箔制造方法 |
| CN104480520B (zh) * | 2014-11-24 | 2017-02-22 | 肇庆华锋电子铝箔股份有限公司 | 一种电化学腐蚀生产高纯度负极箔的制造方法 |
| CN104611760B (zh) * | 2014-12-15 | 2017-05-10 | 肇庆华锋电子铝箔股份有限公司 | 一种电子铝箔的节能环保电化学腐蚀扩容方法 |
| CN104630871B (zh) * | 2015-01-13 | 2017-08-18 | 肇庆华锋电子铝箔股份有限公司 | 一种低压硬质高比容铝电极箔的腐蚀工艺方法 |
| CN105006367B (zh) * | 2015-05-25 | 2017-05-31 | 厦门大学 | 电解电容器用低压阳极铝箔阶梯非正弦波变频腐蚀方法 |
| CN105420803A (zh) * | 2015-11-27 | 2016-03-23 | 广西贺州市桂东电子科技有限责任公司 | 中高压阳极铝箔超声波辅助腐蚀的方法 |
| CN105401209B (zh) * | 2015-12-09 | 2018-03-30 | 广西贺州市桂东电子科技有限责任公司 | 一种中高压阳极铝箔腐蚀处理的方法 |
| CN105862116A (zh) * | 2016-04-10 | 2016-08-17 | 江苏荣生电子有限公司 | 一种利用超声波处理制造储能箔的方法 |
| CN108274685A (zh) * | 2017-01-06 | 2018-07-13 | 优尔材料工业（深圳）有限公司 | 不锈钢件与塑料件的复合体及其制备方法 |
| CN107123549A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-09-01 | 扬州宏远电子有限公司 | 一种提高固态电容器用电极铝箔比容的前处理方法 |
| CN107488871B (zh) * | 2017-08-16 | 2018-12-25 | 乳源瑶族自治县东阳光化成箔有限公司 | 铝箔的发孔腐蚀方法及腐蚀箔的制造方法 |
| CN108000794B (zh) * | 2017-12-03 | 2019-08-27 | 无锡市恒利弘实业有限公司 | 一种高结合力铝或铝合金表面纳米注塑成型的方法 |
| CN108000795B (zh) * | 2017-12-03 | 2019-08-27 | 无锡市恒利弘实业有限公司 | 一种用于纳米注塑成型的复合材料的制备方法和应用 |
| CN108486645B (zh) * | 2018-03-19 | 2020-09-22 | 南通海星电子股份有限公司 | 一种贴片式铝电解电容器低压电极箔的腐蚀方法 |
| CN110783110A (zh) * | 2019-11-07 | 2020-02-11 | 南通海星电子股份有限公司 | 一种固态电容器用电极箔的制造方法 |
| CN111519239B (zh) * | 2020-05-18 | 2021-12-07 | 南通海星电子股份有限公司 | 一种超高压腐蚀箔的腐蚀方法 |
| CN112941524A (zh) * | 2021-01-28 | 2021-06-11 | 恒扬（韶关）工业有限公司 | 一种电解电容器阳极铝箔的腐蚀工艺 |
-
2008
- 2008-04-22 CN CN2008100666676A patent/CN101275269B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101275269A (zh) | 2008-10-01 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20100922 Termination date: 20160422 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |