CN101270984B

CN101270984B - 激光受光位置检测传感器和使用它的校平装置

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Publication number: CN101270984B
Application number: CN2008100854957A
Authority: CN
Inventors: 片山康隆
Original assignee: Topcon Corp
Current assignee: Topcon Corp
Priority date: 2007-03-20
Filing date: 2008-03-19
Publication date: 2011-05-18
Anticipated expiration: 2028-03-19
Also published as: EP1972890A3; JP5128835B2; CN101270984A; EP1972890B1; EP1972890A2; JP2008232792A; US7982171B2; US20080231838A1

Abstract

一种激光受光位置检测传感器，其具有：等间隔配置的相邻的受光元件(PDX_i)经由电阻器(RX_j)相互连接，且位于两端的受光元件分别与输出线(11a)、(11b)连接的受光元件列(11X)、(11Y)，受光元件列(11X)、(11Y)构成为在一个受光元件列的相互相邻的受光元件之间分别配置有另一个受光元件列的受光元件的复合配列体，各输出线分别与解析运算装置连接，解析运算装置在激光照射到任一个受光元件时，根据从各输出线得到的输出通过运算求出激光的受光位置。

Description

激光受光位置检测传感器和使用它的校平装置

技术领域

本发明涉及激光受光位置检测传感器和使用它的校平装置的改进。

背景技术

现有知道把多个受光元件上下并排配列的激光受光位置检测传感器(例如参照特开2004-309440号公报)。知道使用该激光受光位置检测传感器的校平装置。

该激光受光位置检测传感器把从各受光元件输出的受光信号由各放大器分别放大，把从各放大器输出的受光信号由各比较器与界限值进行比较，并根据从各比较器输出的比较信号来求激光(激光光束)的中心位置。

该现有的激光受光位置检测传感器必须把各放大器和各比较器与各受光元件连接，由于电路结构复杂化和电路元件个数多，所以有价格高的问题。

因此，提出了能够谋求电路结构简单化和减少电路元件个数的激光受光位置检测传感器的方案。

该激光受光位置检测传感器把多个受光元件并排配列，把相互邻接的受光元件的输出端子由电阻器连接，根据从与并排配列的受光元件中位于两端的受光元件连接的输出线所输出的各输出信号来进行运算而求出激光的受光位置。

图1是上述提案的激光受光位置检测传感器的方块电路图，该激光受光位置检测传感器10具备受光元件列11X。

该受光元件列11X把由多个光电二极管构成的同一形状同一大小的受光元件PDX_i(i是从1到n+1的正整数)在上下方向或左右方向(垂直方向或水平方向)上例如等间隔地并排配列。

在此，等间隔的意思是：假定受光元件PDX_i的形状是正方形，则从该正方形的中心到中心的距离P相互相等，且相互相邻的受光元件PDX_i与受光元件PDX_i+1之间的间隙GL与受光元件的宽度W相等。

邻接的各受光元件的输出端子(阳极)彼此之间由电阻器(电阻值)RX_j(j是从1到n的正整数)相互连接。第一号受光元件PDX₁的输出端子经由输出线11a与第一放大电路20X连接，且经由电阻器RXH接地。

第n+1号受光元件PDX_n+1的输出端子经由输出线11b与第二放大电路40X连接，且经由电阻器RXL接地。各受光元件PDX_i的阴极通过共用线11c接地。

从第一放大电路20X输出的放大信号向第一峰值保持电路12X输入，从第二放大电路40X输出的放大信号向第二峰值保持电路13X输入，两峰值保持电路12X、13X使各放大信号的峰值分别保持，各峰值信号被向解析运算装置60输入。解析运算装置60至少由把模拟信号转换成数字信号的转换部和运算部构成。

受光元件列11X的长度L由于经由电阻器RX_j而和与输出线11a、11b连接的电阻器RXH、RXL所产生的电压有关系，所以能够如以下说明那样地来求激光受光位置。

为了便于说明，把电阻器RXL的电阻值与电阻器RXH的电阻值设定为相互相等，把各电阻值RX_j也设定为相互相等。把受光元件列11X的长度设定为L，把第一号受光元件PDX₁和第n+1号受光元件PDX_n+1的中间位置设定为原点O。

当激光光束点S照射到受光元件列11X的某受光元件PDX_i时，则该受光元件PDX_i上有输出电流Ip流动。该电流Ip被电阻器RX_j的电阻值所分配而在电阻器RXL和电阻器RXH流动，通过电阻器RXL在输出线11b上产生电压VXL，且通过电阻器RXH在输出线11a上产生电压VXH。

在此，VXH＝RXH×Ip/(从电阻器RX₁到电阻器RX_j+1的电阻值的总和)

VXL＝RXL×Ip/(从电阻器RX_j到电阻器RX_n的电阻值的总和)

因此，到受光位置P的距离Lp能够使用下式由解析运算装置60求出。

Lp＝(L/2)×(VXH-VXL)/(VXH+VXL)

具备这种受光位置检测传感器的校平装置例如在对从旋转激光装置射出的激光受光来测定距离水平基准面的高度时使用。

如周知那样，该旋转激光装置例如绕旋转轴以规定的角速度向水平方向旋转照射激光，把校平装置设置在例如距离该旋转激光装置在水平方向的例如5m(近距离)到500m(远距离)范围的任何地方来对激光受光。

激光的光束径(点径)在近距离小，随着变成远距离而变大，横穿受光元件PDX_i的时间也随着变成远距离而变短。因此，为了也能够进行远距离的测定而考虑增大受光元件PDX_i的受光面积，但一般来说若受光元件PDX_i的受光面积变大，则对于激光的频率响应变低，且受光元件PDX_i的个数越多，则频率响应就越低。电阻器RX_j的个数变多时也是同样。

因此，根据对于激光的响应频率、激光的光量与所使用的受光元件PDX_i 的关系，一个受光元件列11X所使用的受光元件PDX_i的个数和电阻器RX_j 的个数是有界限的。

若增大电阻器RX_j的电阻值，则能够提高位置检测精度，但在激光的受光输出小的阶段由于受光元件PDX_i的输出饱和，所以从所要求的激光有最大功率的观点看，增大电阻器RX_j的电阻值也有限度。

即，根据作为激光受光位置所要求的精度和环境而决定了受光元件PDX_i的大小和其个数以及电阻器RX_j的个数和其电阻值，因此，在一个受光元件列11X的长度L不足所要求的检测长度时，则需要把该受光元件列11X串联并列多个。

激光受光位置检测传感器构成为能够检测激光(激光光束)点S的重心位置，但激光光束的光量分布特性有正规分布或同样的亮度或成为扁平而不一定局限于具有固定的光量分布特性，当激光光束点S从受光元件PDX_i的检测区域(从位于受光元件列11X一端的受光元件PDX₁到位于另一端的受光元件PDX_n+1之间)偏离时，则检测精度恶化。

因此，如图2所示，考虑把受光元件列11X、11Y在上下方向上串联并列，把位于上侧受光元件列11X另一端的受光元件PDX_n+1与位于下侧受光元件列11Y一端的受光元件PDX₁的中间位置作为顶点O，通过两个受光元件列11X、11Y的加权平均来检测激光的受光位置。

为了便于说明，图2绘出了具有与间距P同一长度的直径的激光光束点Smn和间距P的1.5倍直径的激光光束点Smn′。在其右侧把横轴作为激光光束的移动量、把纵轴作为输出电压，并且绘出了激光光束移动量与输出电压的关系。在此所说的输出电压应被理解为与VXH和VXL的相对比相当。例如着眼于受光元件列11X另一端的受光元件PDX_n+1且激光光束照射到该受光元件PDX_n+1时，则即使激光光束点Smn仅移动距离Lv，从该受光元件PDX_n+1输出的输出电流Ip也是一定的，因此，输出电压不变化。对于受光元件列11Y一端的受光元件PDX₁也是同样，各受光元件列11X、11Y其余的受光元件PDX_i也是同样。

如激光光束点Smn由点划线所示那样位于邻接的受光元件PDX₁彼此之间的中间位置的情况下，产生与该中间位置对应的输出，由于随着激光光束点Smn的连续移动而输出成比例地变换，所以在激光光束上下方向的移动量与输出电压之间得到折线式的台阶直线BDL。

在激光光束点Smn位于受光元件列11X另一端的受光元件PDX_n+1与受光元件列11Y一端的受光元件PDX₁之间的情况下，由于受光元件的输出变成不连续变化，所以把受光元件列11Y的受光元件PDX₁的输出和受光元件列11X的受光元件PDX_n+1的输出进行加权平均就能够得到原点O。在激光光束点S的直径比受光元件的间距P小的情况下，通过加权平均则能够高精度地求出该原点O的位置。

例如在是间距P的1.5倍的直径的激光光束点Smn′时，如图2所示例如着眼于受光元件列11Y，则由于激光光束点Smn′向除了原点O附近以外照射到属于该受光元件列11Y的任何受光元件，所以直线变化，因此得到直线SDL，但从受光元件列11Y的受光元件PDX₂随着激光光束点Smn′的朝向原点O而属于受光元件列11Y的受光元件PDX₂就逐渐不被激光光束点Smn′照射到，所以从受光元件列11Y的输出线11a、11b输出的输出电压产生变化，因此，若激光光束点Smn′的直径比间距P大，则在原点O附近即使使用加权平均，也存在不能高精度地求出原点O的位置的问题。

也可以考虑把位于受光元件列11X另一端的受光元件PDX_n+1与位于受光元件列11Y一端的受光元件PDX₁在高度方向上重叠，但若激光光束的点径变大，则必须把重叠量变多，存在不能有效活用受光位置检测传感器的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够一边谋求提高激光光束受光位置的检测精度一边把受光元件列作为整体加长的激光受光位置检测传感器和使用它的校平装置。

为了达到上述目的，本发明一实施例的激光受光位置检测传感器至少具有两个受光元件列，该至少两个受光元件列的各个受光元件列中的等间隔配置的相邻的受光元件经由电阻器相互连接且位于两端的受光元件分别与输出线连接，至少这两个受光元件列构成为在一个受光元件列的相互相邻的受光元件之间分别配置有另一个受光元件列的受光元件的复合配列体，所述各输出线分别与解析运算装置连接，该解析运算装置在激光照射到任一个受光元件时，根据从所述各输出线得到的输出通过运算求出所述激光的受光位置。

附图说明

图1是用于说明本发明现有技术激光受光位置检测传感器主要部分结构的电路方块图；

图2是用于说明图1所示激光受光位置检测传感器改进结构的电路方块图；

图3是用于说明本发明激光受光位置检测传感器第一实施例主要部分结构的电路方块图；

图4是用于说明本发明激光受光位置检测传感器第二实施例主要部分结构的电路方块图；

图5是用于说明本发明激光受光位置检测传感器第二实施例的变形例主要部分结构的电路方块图。

具体实施方式

参考附图对本发明的具体实施例进行详细的说明。

第一实施例

图3是用于说明本发明激光受光位置检测传感器第一实施例的主要部分说明图。

图3所示的激光受光位置检测传感器具备同一结构的两个受光元件列11X、11Y。各受光元件列11X、11Y分别具有受光元件PDX_i(i是从1到n+1的正整数)。在此，各受光元件列11X、11Y的受光元件的个数是6个。该受光元件PDX_i的形状、大小相同，在此是矩形例如是正方形。各受光元件列11X、11Y的受光元件PDX_i(i是从1到n+1的正整数)在上下方向或左右方向(垂直方向或水平方向)上例如等间隔地并排配列。

即，属于同一受光元件列的相邻受光元件彼此之间的间距P相等，在此，该间距P被设定为是受光元件PDX_i的宽度W的四倍，受光元件PDX_i 与相邻在该受光元件PDX_i的受光元件PDX_i+1的间隙GL被设定为是受光元件PDX_i的宽度W的三倍。

在此，假定受光元件PDX_i的形状是正方形，把从该正方形的中心到中心的距离定义为间距P，但受光元件PDX_i的形状也可以是圆形。

邻接的各受光元件PDX_i的输出端子(阳极)彼此之间由电阻器(电阻值)RX_j(j是从1到n的正整数)相互连接。在此，电阻器RX_j的个数是5个。

位于各受光元件列11X、11Y一侧端的第一号受光元件PDX₁的输出端子经由输出线11a与图1所示的第一放大电路20X连接，且经由图1所示的电阻器RXH接地。位于另一端的第n+1号受光元件PDX_n+1的输出端子经由输出线11b与图1所示的第二放大电路40X连接，且经由图1所示的电阻器RXL接地。各受光元件PDX_i的阴极通过图1所示的共用线11c接地。

从第一放大电路20X输出的放大信号向图1所示的第一峰值保持电路12X输入，从第二放大电路40X输出的放大信号向图1所示的第二峰值保持电路13X输入，两峰值保持电路12X、13X使各放大信号的峰值分别保持，各峰值信号被向图1所示的解析运算装置60输入。

即，与各受光元件列11X、11Y连接的电路结构元件与图1所示的电路结构元件相同。

两个受光元件列11X、11Y构成为在受光元件列11X的相互相邻的受光元件PDX_i之间分别配置有另一个受光元件列11Y的受光元件PDX_i的复合配列体。

在此，一个受光元件列11X的受光元件PDX_i与另一个受光元件列11Y的受光元件PDX_i的间隙GL″被设定为与各受光元件PDX_i的宽度W相等。

各受光元件列11X、11Y的传感器长度Lx、Ly由于经由电阻器RX_j而和与输出线11a、11b连接的各电阻器RXH、RXL所产生的电压有关系，所以能够如以下说明那样地来求激光受光位置。

为了便于说明，把各电阻器RXL的电阻值与各电阻器RXH的电阻值设定为相互相等，把各电阻值RX_j也设定为相互相等。把构成复合配列体的受光元件列11X的第四号受光元件PDX₁与构成复合配列体的受光元件列11Y的第三号受光元件PDX_n+1的中间位置设定为原点O。

当激光光束点S照射到受光元件列11X、11Y的某受光元件PDX_i时，则该受光元件PDX_i上有输出电流Ip流动。该电流Ip被电阻器RX_j的电阻值所分配而在电阻器RXL和电阻器RXH流动，通过电阻器RXL在输出线11b上产生电压VXL，且通过电阻器RXH在输出线11a上产生电压VXH。关于这点，与如参照图1所说明的内容相同。

在该图1所示的激光受光位置检测传感器中，各受光元件列11X、11Y的间距P是图2所示受光元件列的间距P的两倍，所以即使图2所示的激光光束的点径与图3所示的激光光束的点径相同，其相对的大小也不同，各受光元件列的输出与激光光束移动量的关系也不同。

例如当具有属于各受光元件列11Y的受光元件PDX_i的间距P的二分之一直径的激光光束点Smn(具有与图2所示的受光元件PDX_i的间距P相同长度的直径的激光光束点)照射到受光元件PDX_i时，即使激光光束点Smn仅移动距离Lv，从该受光元件PDX_i输出的输出电流Ip也是一定的，因此，输出电压不变化。

对于受光元件列11X的受光元件PDX_i也是同样，各受光元件列其余的受光元件PDX_i也是同样。如激光光束点Smn由点划线所示那样在属于该受光元件列11X的邻接受光元件彼此之间如图3箭头F1所示那样移动时，不产生输出电压。因此，随着激光光束点Smn的连续移动而输出离散变化，在激光光束上下方向的移动量与输出电压之间得到离散直线DDL1、DDL2。

相对地，当具有属于受光元件列11X的受光元件PDX_i的间距P的四分之三直径的激光光束点Smn′(具有与图2所示的受光元件PDX_i的间距P的1.5倍的直径的激光光束点Smn′)照射到受光元件PDX_n+1时，即使激光光束点Smn仅移动距离Lv′，从该受光元件PDX_n+1输出的输出电流Ip也是一定的，因此，输出电压不变化。对于受光元件列11Y的受光元件PDX_n+1也是同样，各受光元件列11X、11Y其余的受光元件PDX_i也是同样。

例如如激光光束点Smn′由点划线所示那样位于受光元件列11Y邻接的受光元件PDX₁与PDX₂的中间位置处的情况下，把该中间位置作为中心，当激光光束点Smn′向任一侧移动方向F2位移时，则产生与该位移对应的输出，由于随着激光光束点Smn′的连续移动而输出成比例地变换，所以在激光光束上下方向的移动量与输出电压之间得到折线式的台阶直线 BDL1、BLD2。

从这些离散台阶直线DDL1、DDL2能够得到折线式的台阶直线BLD′，从折线式的台阶直线BLD′能够得到内插直线SL1，从折线式的台阶直线BLD1、BLD2能够得到内插直线SL2。

即，把根据受光元件列11X的输出从运算推定的激光光束点的推定中心位置设定为Lxp、把根据受光元件列11Y的输出从运算推定的激光光束点的推定中心位置设定为Lyp时，则Lxp、Lyp能够由以下所示的式求出。

Lxp＝(Lx/2)×(VXH-VXL)/(VXH+VXL)×αx+Lxoffset

Lyp＝(Ly/2)×(VYH-VYL)/(VYH+VYL)×αy+Lyoffset

在此，α是为了计算激光光束点的中心位置所使用的校正值。

Lxoffset、Lyoffset是从受光部11X、11Y的原点O(几何学的中心位置)偏离的量，通过把该偏离量设定成正或负的值来适当地变更原点的位置。

激光点的实际中心位置(受光位置)Lp

Lp＝(Vx×Lxp+Vy×Lyp)/(Vx+Vy)

其中，Vx＝VXH+VXL，Vy＝VYH+VYL

即激光点的实际中心位置Lp由对从受光元件列11X求出的推定中心位置Lxp和从受光元件列11Y求出的推定中心位置Lyp进行加权，并由加权平均求出。

在此，把实际的中心位置Lp通过激光光束的光量加权平均求出，但激光光束的光量分布特性(光束分布图)一样，只要把激光光束一定照射到两个受光元件列11X、11Y，则激光的实际中心位置Lp就能够由根据两受光元件列所推定的推定中心位置的平均值，即，

Lp＝(Lxp+Lyp)的式求出。

根据该第一实施例，具有等间隔配置的相邻的受光元件经由电阻器相互连接且位于两端的受光元件分别与输出线连接的两个受光元件列，两个受光元件列构成为在一个受光元件列的相互相邻的受光元件之间分别配置有另一个受光元件列的受光元件的复合配列体，各输出线分别与解析运算装置连接，解析运算装置在激光照射到任一个受光元件时，根据从各输出线得到的输出能够通过运算求出激光的受光位置，因此，能够一边谋求提高激光光束受光位置的检测精度一边把受光元件列作为整体加长。

第二实施例

图4是用于说明本发明第二实施例激光受光位置检测传感器的受光元件列的配置图，在此，由三个受光元件列构成复合配列体。

该复合配列体在位于中央的受光元件列11Y的两侧对称地具有受光元件列11X、11Z。各受光元件列是相同结构，受光元件的个数在此是5个，电阻器的个数是4个。该各受光元件付与从PDX₁到PDX₆的符号，各电阻器付与从RX₁到RX₄的符号。

位于中央的受光元件列11Y中央的受光元件PDX₃被配置在一个受光元件列11X另一端的受光元件PDX₅与另一个受光元件列11Z一端的受光元件PDX₁之间。

位于中央的受光元件列11Y的受光元件PDX₂被配置在受光元件列11X的受光元件PDX₅与受光元件PDX₄之间，位于中央的受光元件列11Y的受光元件PDX₁被配置在受光元件列11X的受光元件PDX₄与受光元件PDX₃ 之间。位于中央的受光元件列11Y的受光元件PDX₄被配置在受光元件列11Z的受光元件PDX₁与受光元件PDX₂之间，位于中央的受光元件列11Y的受光元件PDX₅被配置在受光元件列11Z的受光元件PDX₂与受光元件PDX₃之间。

在此，在受光元件列11X的受光元件PDX₃与受光元件PDX₂之间、受光元件列11X的受光元件PDX₂与受光元件PDX₁之间、受光元件列11Z的受光元件PDX₃与受光元件PDX₄之间、受光元件列11Z的受光元件PDX₄ 与受光元件PDX₅之间没有配置中央的受光元件列11Y的受光元件PDX₁，但如虚线所示能够配置其他的受光元件列的受光元件，能够根据要求增长激光受光位置检测传感器的长度。

即至少关注三个受光元件列，通过相对其中央的受光元件列来对称地配置受光元件列，则能够增长激光受光位置检测传感器的长度。

在此，复合配列体具有三个受光元件，说明求激光光束实际的中心位置Lp的情况。省略表示激光光束的移动量与输出关系的曲线。这是由于在原理上与使用图3说明过的相同而不变的缘故。

把受光元件列11X、11Y、11Z的激光推定中心位置分别设定为Lxp、Lyp、Lzp时，

Lxp＝(Lx/2)×(VXH-VXL)/(VXH+VXL)×αx+Lxoffset

Lyp＝(Ly/2)×(VYH-VYL)/(VYH+VXL)×αy+Lyoffset

Lzp＝(Lz/2)×(VZH-VZL)/(VZH+VZL)×αz+Lzoffset

激光的受光位置Lp由下式求。

Lp＝(Vx×Lxp+Vy×Lyp+Vz×Lzp)/(Vx+Vy+Vz)

其中，Vx＝VXH+VXL

Vy＝VYH+VYL

Vz＝VZH+VZL

在此，例如属于受光元件列11Z的任何受光元件没被激光照射，则Lzp实质上作为值不具有意义，所以在计算上不要Lzp。

即，VZH＝VZL＝0，Vz＝0，因此使用

Lp＝(Vx×Lxp+Vy×Lyp)/(Vx+Vy)来求激光的受光位置Lp。即与受光元件列是两个的情况相同。

一般来说，把受光元件列的配列个数设定为是n个时，把受光元件列表现为11Qk(k＝从1到n的正整数)，把由受光元件列11Qk的推定中心位置LQkp作为

LQkp＝(LQk/2)×(VQkH-VQkL)/(VQkH+VQkL1)×αQk+LQkoffset VQk＝VQkH+VQkL能够通过下式求

Lp＝(VQ1×LQ1p+VQ2×LQ2p+...VQk×LQkp+...+VQn×LQnp)/(VQ1+VQ2+...VQk+...+VQn)。

在此，LQk是第k号受光元件列11Qk的传感器长度，VQkH、VQkL是从与第k号受光元件列11Qk连接的输出线11a、11b输出的输出电压，αQk是用于通过第k号受光元件列11Qk来计算激光光束点中心位置时所使用的校正值。LQkoffset是从第k号受光元件列11Qk的原点O(几何学的中心位置)偏离的量。

本实施例把属于受光元件列11X的受光元件PDX₃与邻接在该受光元件的受光元件PDX₂的间隔、属于受光元件列11X的受光元件PDX₂与邻接在该受光元件的受光元件PDX₁的间隔设定为与属于受光元件列11X的受光元件PDX₄与属于受光元件列11X的受光元件PDX₅的间隔相同，但如图5所示，也可以把这些PDX₃与PDX₂的间隔、PDX₂与PDX₁的间隔设定为比其余的受光元件的间隔小，来检测端。属于受光元件列11Z的受光元件PDX₃与邻接在该受光元件的受光元件PDX₄的间隔、属于受光元件列11Z的受光元件PDX₄与邻接在该受光元件的受光元件PDX₅的间隔也是同样。

该第二实施例说明了受光元件列11Y的受光元件个数与受光元件列11X、11Y的受光元件个数相同，但受光元件列11X、11Z的受光元件个数相同比受光元件列11Y的受光元件个数多或少都不要紧。

主要的是，把属于受光元件列11Y的受光元件相对该受光元件列11Y中央的受光元件而对称配置在位于中央的受光元件列11Y两侧的属于受光元件列11X、11Z的受光元件之间便可。

根据该第二实施例，能够按照希望把激光受光位置检测传感器整体的传感器长度加长。

如上所述，根据本发明的激光受光位置检测传感器，能够有一边谋求提高激光光束受光位置的检测精度一边把受光元件列作为整体加长的效果。

根据本发明的校平装置，能够更加谋求提高水平基准面的原点位置的精度。

本发明基于2007年3月20日的日本专利JP2007-72099，并且要求优先权，并且把上述的专利的全部内容引入到该发明中。

Claims

1.一种激光受光位置检测传感器，其中，具备：

至少两个受光元件列，该至少两个受光元件列的各个受光元件列中的等间隔配置的相邻的受光元件经由电阻器相互连接，且位于两端的受光元件分别与输出线连接；

解析运算装置，

所述至少两个受光元件列构成为复合配列体，该复合配列体在一个受光元件列的相互相邻的受光元件之间分别配置有另一个受光元件列的受光元件，

所述输出线分别与所述解析运算装置连接，该解析运算装置在激光照射到任一个受光元件时，根据从所述各输出线得到的输出通过运算求出所述激光的受光位置。

2.如权利要求1所述的激光受光位置检测传感器，其中，至少设置三个受光元件列，所述复合配列体在位于中央的受光元件列的两侧具有受光元件列，把属于位于中央的受光元件列的受光元件相对该位于中央的受光元件列中央的受光元件对称配置在属于位于两侧的受光元件列的受光元件之间。

3.如权利要求1所述的激光受光位置检测传感器，其中，所述解析运算装置把由一个受光元件列得到的输出和由与属于该一个受光元件列的受光元件邻接配置的受光元件所属的受光元件列所得到的输出进行加权平均，而求激光的受光位置。

4.如权利要求2所述的激光受光位置检测传感器，其中，所述解析运算装置把由一个受光元件列得到的输出和由与属于该一个受光元件列的受光元件邻接配置的受光元件所属的受光元件列所得到的输出进行加权平均，而求激光的受光位置。

5.如权利要求1所述的激光受光位置检测传感器，其中，所述各受光元件列是同一结构。

6.如权利要求1所述的激光受光位置检测传感器，其中，构成所述复合配列体的各受光元件的形状是矩形，各受光元件的宽度和各受光元件的间隔相同。

7.如权利要求1所述的激光受光位置检测传感器，其中，所述激光光束点的直径被设定为大于：属于一个受光元件列的受光元件与邻接配置在该受光元件且属于其他受光元件列的受光元件之间的间隔。

8.如权利要求2所述的激光受光位置检测传感器，其中，所述激光光束点的直径被设定为大于：属于一个受光元件列的受光元件与邻接该受光元件进行配置且属于其他受光元件列的受光元件之间的间隔。

9.一种校平装置，其中，包括权利要求1所述的激光受光位置检测传感器。