JP5128835B2 - レーザ光受光位置検出センサ及びこれを用いたレベル装置 - Google Patents
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Description
この受光素子列11Xは複数個のフォトダイオード等からなる同一形状・同一大きさの受光素子PDXi(iは1からn+1までの正の整数)を上下方向又は左右方向(垂直方向又は水平方向)に例えば等間隔に並べて配列されている。
第n+1番目の受光素子PDXn+1の出力端子は出力線11bを介して第2増幅回路40Xに接続されると共に、抵抗器RXLを介してアースされている。各受光素子PDXiのカソードは共通線11cによってアースされている。
VXL=RXL×Ip/(抵抗器RXjから抵抗器RXnまでの抵抗値の総和)
従って、受光位置Pまでの距離Lpは、
Lp=(L/2)×(VXH−VXL)/(VXH+VXL)
の式を用いて、解析演算装置60により求めることができる。
その回転レーザ装置は、周知のように、例えば、回転軸回りに所定の角速度で水平方向にレーザ光を回転照射し、レベル装置は例えばこの回転レーザ装置から水平方向に例えば5m(近距離)から500m(遠距離)までの範囲のいずこかの箇所に設置されて、レーザ光を受光する。
たとえば、受光素子列11Xの他端の受光素子PDXn+1に着目してレーザビームがこの受光素子PDXn+1に当たっているものとすると、レーザビームスポットSmnが距離Lvだけ移動しても、この受光素子PDXn+1から出力される出力電流Ipは一定であり、従って、出力電圧に変化はない。受光素子列11Yの一端の受光素子PDX1についても同様であり、各受光素子列11X、11Yの残余の受光素子PDXiについても同様である。
また、レーザビームスポットSmnが一点鎖線で示すように隣接する受光素子PDXi同士の中間位置に存在する場合には、その中間位置に対応する出力が生じ、レーザビームスポットSmnの連続的移動に伴って出力が比例的に変換するので、レーザビームの上下方向の移動量と出力電圧との間には、折れ線的階段直線BDLが得られる。
また、受光素子列11Xの他端の受光素子PDXn+1と受光素子列11Yの一端の受光素子PDX1との間にレーザビームスポットSmnが存在する場合には、受光素子の出力が不連続に変化することになるので、原点Oは受光素子列11Yの受光素子PDX1の出力と受光素子列11Xの受光素子PDXn+1の出力とを加重平均して得られる。このようにレーザビームのスポットSの直径が受光素子のピッチPよりも小さい場合には、その原点Oの位置を加重平均により精度良く求めることができる。
前記各出力線は解析演算装置にそれぞれ接続され、該解析演算装置はいずれかの受光素子にレーザ光が当たったときに、前記各出力線から得られる出力に基づいて前記レーザ光の受光位置を演算により求めることを特徴とする。
請求項2に記載のレーザ光受光位置検出センサは、前記受光素子列は少なくとも三つ設けられ、前記複合配列体は中央に存在する受光素子列の両側に受光素子列を有し、両側に存在する受光素子列に属する受光素子の間に中央に存在する受光素子列に属する受光素子がこの中央に存在する受光素子列の中央の受光素子に対して対称的に配置されていることを特徴とする。
請求項3に記載のレーザ光受光位置検出センサは、前記解析演算装置が、ある受光素子列により得られた出力とこのある受光素子列に属する受光素子に隣接して存在する受光素子が属する受光素子列により得られた出力とを加重平均することによってレーザ光の受光位置を求めることを特徴とする。
請求項4に記載のレーザ光受光位置検出センサは、前記各受光素子列が同一構造であることを特徴とする。
請求項5に記載のレーザ光受光位置検出センサは、前記複合配列体を構成する各受光素子の形状が矩形であり、各受光素子の幅と各受光素子の間隔とが同じであることを特徴とする。
請求項6に記載のレーザ光受光位置検出センサは、前記レーザ光のビームスポット径が、ある受光素子列に属する受光素子とこの受光素子に隣接して存在する受光素子であって他の受光素子列に属する受光素子との間隔よりも大きいことを特徴とする。
請求項7に記載のレベル装置は、請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載のレーザ光受光位置検出センサが用いられていることを特徴とする。
図3は本発明に係わるレーザ光受光位置検出センサの第1実施例を説明するための要部説明図である。
すなわち、同一の受光素子列に属して隣り合う受光素子同士のピッチPは同一であり、ここでは、このピッチPは受光素子PXDiの幅Wの4倍とされ、受光素子PXDiとこの受光素子PXDiに隣り合う受光素子PXDi+1との隙間GLは受光素子PXDiの幅Wの3倍とされている。
各受光素子列11X、11Yの一方の端に存在する第1番目の受光素子PDX1の出力端子は出力線11aを介して図1に示す第1増幅回路20Xに接続されると共に、図1に示す抵抗器RXHを介してアースされている。
他方の端に存在する第n+1番目の受光素子PDXn+1の出力端子は出力線11bを介して図1に示す第2増幅回路40Xに接続されると共に、図1に示す抵抗器RXLを介してアースされている。各受光素子PDXiのカソードは図1に示す共通線11cによってアースされている。
受光素子列11Xの受光素子PDXiについても同様であり、各受光素子列の残余の受光素子PDXiについても同様である。また、レーザビームスポットSmnが一点鎖線で示すようにその受光素子列11Xに属する隣接受光素子同士の間で図3に矢印F1で示すように移動する場合には、出力電圧は生じない。従って、レーザビームのスポットSmnの連続的移動に伴って離散的に出力が変化し、レーザビームの上下方向の移動量と出力電圧との間には、離散直線DDL1、DDL2が得られる。
これらの離散的階段直線DDL1、DDL2から折れ線的階段直線BLD’を得ることができ、折れ線的階段直線BLD’から補間直線SL1を得ることができ、折れ線的階段直線BLD1、BLD2から補間直線SL2を得ることができる。
Lxp=(Lx/2)×(VXH−VXL)/(VXH+VXL)
×αx+Lxoffset
Lyp=(Ly/2)×(VYH−VYL)/(VYH+VYL)
×αy+Lyoffset
ここで、αはレーザ光のスポットの中心位置を算出するために用いる補正値である。
Lp=(Vx×Lxp+Vy×Lyp)/(Vx+Vy)
ただし、Vx=VXH+VXL、Vy=VYH+VYL
すなわち、レーザ光のスポットの実際の中心位置Lpは、
受光素子列11Xにより求められた推定中心位置Lxpと受光素子列11Yにより求められた推定中心位置Lypとに重みづけを行って加重平均することにより求められる。
Lp=(Lxp+Lyp)
により求めることができる。
(実施例2)
図4はこの発明の実施の形態の第2の実施例を説明するための受光素子列の配置図であって、ここでは、三つの受光素子列から複合配列体が構成されている。
この複合配列体は中央に存在する受光素子列11Yの両側に受光素子列11X、11Zを対称的に有する。各受光素子列は同一構造であり、受光素子の個数はここでは5個、抵抗器の個数は4個である。その各受光素子にはPDX1からPDX5の符号が付され、各抵抗器にはRX1からRX4の符号が付されている。
中央に存在する受光素子列11Yの受光素子PDX4は受光素子列11Zの受光素子PDX1と受光素子PDX2との間に配置され、中央に存在する受光素子列11Yの受光素子PDX5は受光素子列11Zの受光素子PDX2と受光素子PDX3との間に配置されている。
Lxp=(Lx/2)×(VXH−VXL)/(VXH+VXL)
×αx+Lxoffset
Lyp=(Ly/2)×(VYH−VYL)/(VYH+VXL)
×αy+Lyoffset
Lzp=(Lz/2)×(VZH−VZL)/(VZH+VZL)
×αz+Lzoffset
レーザ光の受光位置Lpは、
Lp=(Vx×Lxp+Vy×Lyp+Vz×Lzp)
/(Vx+Vy+Vz)
ただし、
Vx=VXH+VXL
Vy=VYH+VYL
Vz=VZH+VZL
ここで、例えば、受光素子列11Zに属するいずれの受光素子にもレーザ光が当たっていないとすると、Lzpは実質的に値として意味を有さないので、計算上、Lzpは不要となる。
Lp=(Vx×Lxp+Vy×Lyp)
/(Vx+Vy)
の式を用いて、レーザ光の受光位置Lpが求められる。すなわち、受光素子列が2個の場合と同じとなる。
LQkp=(LQk/2)×(VQkH−VQkL)/(VQkH+VkQLl)×αQk+LQkoffset
VQk=VQkH+VQkL
として、
Lp=(VQ1×LQ1p+VQ2×LQ2p+…VQk×LQkp
+…+VQn×LQnp)/(VQ1+VQ2+…VQk+…+VQn)
によって求めることができる。
RXj…抵抗器
11X、11Y…受光素子列
11a、11b…出力線
Claims (7)
- 等間隔を開けて配置されかつ隣り合う受光素子が抵抗器を介して互いに接続されしかも両端に存在する受光素子にそれぞれ出力線が接続された受光素子列を少なくとも二つ有し、少なくとも二つの受光素子列は、一方の受光素子列の互いに隣り合う受光素子の間に他方の受光素子列の受光素子がそれぞれ配置された複合配列体を構成し、
前記各出力線は解析演算装置にそれぞれ接続され、該解析演算装置はいずれかの受光素子にレーザ光が当たったときに、前記各出力線から得られる出力に基づいて前記レーザ光の受光位置を演算により求めることを特徴とするレーザ光受光位置検出センサ。 - 前記受光素子列は少なくとも三つ設けられ、前記複合配列体は中央に存在する受光素子列の両側に受光素子列を有し、両側に存在する受光素子列に属する受光素子の間に中央に存在する受光素子列に属する受光素子がこの中央に存在する受光素子列の中央の受光素子に対して対称的に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のレーザ光受光位置検出センサ。
- 前記解析演算装置は、ある受光素子列により得られた出力とこのある受光素子列に属する受光素子に隣接して存在する受光素子が属する受光素子列により得られた出力とを加重平均することによってレーザ光の受光位置を求めることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレーザ光受光位置検出センサ。
- 前記各受光素子列は同一構造であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレーザ光受光位置検出センサ。
- 前記複合配列体を構成する各受光素子の形状は矩形であり、各受光素子の幅と各受光素子の間隔とが同じであることを特徴とする請求項4に記載のレーザ光受光位置検出センサ。
- 前記レーザ光のビームスポット径は、ある受光素子列に属する受光素子とこの受光素子に隣接して存在する受光素子であって他の受光素子列に属する受光素子との間隔よりも大きいことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレーザ光受光位置検出センサ。
- 請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載のレーザ光受光位置検出センサが用いられていることを特徴とするレベル装置。
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