CN101244810A - 超高纯过氧化氢的制备工艺及其装置 - Google Patents
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Abstract
Description
类别 | SEMI-C12 | 实施例2 |
H2O2含量(%) | 30.0-32.0% | 30.5% |
颗粒(≥0.2μm≤0.5μm,个/ml),max | TBD | 7 |
色度;APHA,max | 10 | 5 |
蒸发残渣;ppm,max | 1.0 | 0.5 |
总有机碳(TOC);ppm,max | - | 5.62 |
氯化物(Cl);ppb,max | 50 | 10 |
硫酸盐(SO4);ppb,max | 50 | 14 |
硝酸盐(NO3);ppb,max | 50 | 25 |
磷酸盐(PO4);ppb,max | 50 | 28 |
铝(Al);ppb,max | 0.1 | 0.06 |
砷(As);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
金(Au);ppb,max | - | /未检出 |
银(Ag);ppb,max | - | /未检出 |
钡(Ba);ppb,max | 0.1 | 0.07 |
硼(B);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
镉(Cd);ppb,max | - | /未检出 |
钙(Ca);ppb,max | 0.1 | 0.05 |
铬(Cr);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
钴(Co);ppb,max | - | /未检出 |
铜(Cu);ppb,max | 0.1 | 0.05 |
铁(Fe);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
镓(Ga);ppb,max | - | / |
锗(Ge);ppb,max | - | / |
钾(K);ppb,max | 0.1 | 0.08 |
铟(In);ppb,max | - | / |
锂(Li);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
镁(Mg);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
锰(Mn);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
钼(Mo);ppb,max | - | /未检出 |
钠(Na);ppb,max | 0.1 | 0.08 |
镍(Ni);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
铂(Pt);ppb,max | - | / |
铅(Pb);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
锑(Sb);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
锡(Sn);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
锶(Sr);ppb,max | - | /未检出 |
钛(Ti);ppb,max | 0.1 | 0.03 |
锌(Zn);ppb,max | 0.1 | 0.06 |
锆(Zr);ppb,max | - | / |
钒(V);ppb,max | 0.1 | /未检出 |
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