CN101243263B - 具有经过改进的真空馈通的磁悬浮轴承装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种磁悬浮轴承装置(1)，其具有穿过其外壳(10)且经过改进的真空密封电馈通。该馈通(30)包括诸如刚性或柔性印刷电路板之类的扁平连接元件(31)，所述连接元件(31)优选地一直沿所述外壳的内周延伸穿过所述外壳(10)的壁。所述连接元件以气密方式密封至所述外壳。所述元件优选地具有用于容纳所述转子轴的中央孔口(36)。到轴承单元和传感器的连接可通过扁平带状线缆(51)或柔性印刷电路来实现。所述传感器也优选地设置成印刷传感器。因此能够获得非常紧凑且成本低廉的磁悬浮轴承装置。可替代实施方式中将所述外壳的侧壁上的连接元件用作到轴承部件的馈通。

Description

具有经过改进的真空馈通的磁悬浮轴承装置
技术领域
本发明涉及一种磁悬浮轴承装置，其包括外壳、设置在外壳内部的至少一个主动磁悬浮轴承元件、以及用于在所述外壳的内部和外部之间提供多个电连接的馈通。
背景技术
在现有技术中，磁悬浮轴承装置是公知的，其中转子由一组主动磁轴承支撑而绕转动轴线转动。这些主动磁轴承通常连同一组位移传感器设置在外壳内。传感器信号馈送给外壳外部的控制器，并且控制器根据这些信号将电流提供给磁悬浮轴承。因此，需要穿过外壳壁而在外壳内的轴承和传感器与外壳外部的控制器之间进行连接的电馈通。在多个应用中，必须以气密方式密封这种馈通，因为外壳的内部和外部之间存在压差。一个重要的应用是涡轮分子泵，涡轮分子泵的承载转子叶片的转子由磁悬浮轴承装置支撑。在这种泵运转的过程中，转子和外壳内部会处于高真空条件下-即在低于0.1毫巴的范围内，而外部大体上处于环境压力下。因此，必须高效地密封内部和外部之间的所有电馈通以防止真空度损失。
真空密封电馈通在现有技术中是公知的。特别地，所谓的多路馈通是公知的，其设置到外壳壁上的小的圆形孔口内并在单个馈通上提供多个连接。由于必须独立地密封多根导线，这种馈通的制造成本相对较高，馈通的成本因此大幅度地增加了磁悬浮轴承装置的总成本。另外，多路馈通是相当笨重的，这阻碍了小型、低成本磁悬浮轴承的开发。
WO-A 2005/038263中建议通过在树脂中浇铸一些控制电路并将这些电路设置在外壳内部而不是外壳外部来减少穿过外壳壁进行馈送所需的导线数目。然而，这些电路可能会暴露于外壳内的恶劣环境(真空或腐蚀性气体以及高温)下，这会降低电路的寿命，并且在需要维护时-例如在硬件产生故障进行更换的情况下，不能从外部触及所述电路。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种磁悬浮轴承装置，其中外壳的内部和外部之间的气密电连接以简单的方式和较低的成本来建立。
该目的通过一种用于支撑转子轴以便其绕转动轴线转动的磁悬浮轴承装置实现，该磁悬浮轴承装置包括：
-外壳，其具有内部和外部；
-至少一个主动磁悬浮轴承元件，其设置在所述外壳的内部；以及
-馈通，其用于在所述外壳的内部和外部之间提供多个电连接。
根据本发明，该馈通包括大体上扁平的连接元件，该连接元件垂直于转动轴线延伸穿过所述外壳的壁并且具有用于容纳所述转子轴的孔口。设置密封装置，用于以气密方式将所述连接元件与所述外壳密封。
术语“扁平的连接元件”意指包括连接外壳的内部和外部且被电绝缘的多个电导体的任何大体上扁平的元件。所述导体大体上设置在一个或多个平行层中的共同平面中。连接元件可以大体上呈平面状(即仅在一个平面中延伸)，或者可以具有弯曲部。优选地，至少该连接元件的延伸穿过外壳壁的区域大体上是平面状的。如果存在弯曲部，这些弯曲部优选地出现在外壳内部或外部。
特别地，连接元件可以是刚性、柔性或刚柔印刷电路板(PCB)。在本发明的上下文中，术语“印刷电路板”包括承载至少一个导电层的至少一个电绝缘衬底层的任何大致扁平的装置，其中所述层可以是刚性或柔性的。优选地，每个导电层-也称为迹线层在两个侧面上由衬底层覆盖。一种特殊的实施例是柔性PCB-有时称为“柔性印刷电路(flexprint)”或柔性电路，其允许具有半径大致小于PCB长度的弯曲部。这通过采用高度柔性衬底材料(例如
Figure DEST_PATH_GA20192457200680030408701D00021
制造的
Figure DEST_PATH_GA20192457200680030408701D00022
之类的聚酰亚胺材料的薄膜)和薄衬底层来实现。术语PCB还意指兼有刚性段和柔性段的所谓的刚柔PCB-有时也称为刚柔电路。
将扁平的连接元件用于电馈通大幅度地简化了馈通的构造，减少了馈通的成本。在印刷电路板或柔性印刷电路的情况下，衬底同时为所有导体提供密封和绝缘，而无需单独密封每个导体。多个导体能够同时承载于印刷电路板的一个或多个导电层上，并且通过在导电层上提供较宽或较细的迹线以及在导电层上的迹线之间提供较大或较小的间隙能够容易地将导体的电流和电压级别调节成实际需要的。特别地，根据馈通将用于其中的每个磁悬浮轴承装置所需的实际连接，可采用专门设计的PCB。由于PCB为扁平状，所以能够容易地密封至外壳。另外，根据本发明的馈通沿垂直于连接元件的平面的方向需要非常小的空间。
特别地，如果连接元件沿所述外壳的圆周整个横截外壳壁，则密封便得以大幅度地简化。在这种情况下，连接元件的边缘处无需进行密封，连接元件的边缘处的密封比连接元件平坦侧上的密封难得多。外壳可以由连接元件在横截面较大的区域横截，或者外壳可具有相对较小的突起，所述突起的壁由连接元件横截。
连接元件在大体上垂直于转动轴线的平面中延伸穿过外壳。在这种情况下，连接元件优选地具有用于容纳转子轴的孔口。两种方式都使得能够获得紧凑的设计。提供中央孔口还使得能够自由选择馈通沿转子轴线设置的位置。优选地，馈通在轴向轴承单元的朝向远离径向轴承单元的一侧设置在轴向轴承单元附近。
通常，转子轴将承载止推盘。如果连接元件的孔口的直径大于所述止推盘的直径，则磁悬浮轴承装置的组装将得以简化。另外，优选的是，所述孔口的尺寸大于任何轴向轴承单元的侧向尺寸。以这种方式，轴向轴承能够与已位于合适位置的馈通组装起来。因此像马达和径向轴承之类的其它零件能够在组装转子和轴向轴承之前被组装并用导线连接到馈通。
在可替代实施方式中，连接元件可沿外壳一侧(侧部)大体上平行于转子轴线延伸。在这种情况下，同一连接元件可沿外壳在不同位置形成多个独立的馈通。这大幅度地简化了外壳内部的导线布设，其代价是增加了连接元件与外壳之间的密封点。
密封装置优选地包括位于连接元件的第一平坦侧上的第一O形密封圈。另外，也可以具有位于连接元件的第二平坦侧上的第二O形密封圈。这些O形密封圈用于以气密方式将连接元件与外壳密封。外壳可具有至少一个面向连接元件的环形凹槽，用于接收所述第一O形密封圈或所述第二O形密封圈。由此，所述O形密封圈接收在准确限定的位置，密封作用因所述凹槽具有边缘而得到改善。可替代地，可采用一个或多个扁平密封垫圈。所述密封件还能够直接模制到连接元件-特别是印刷电路板。
为了提高密封度，连接元件还可以气密方式被敷以涂层。具体地说，涂层可以在连接元件的内周和/或外周处被施加到圆周边缘-特别是当连接元件是印刷电路板时。
如果磁悬浮轴承装置包括具有用于检测转子轴的位移(特别是轴向位移)和/或转动状态的至少一个传感器的传感器板并且所述传感器板借助于桥接馈通与所述传感器板之间的轴向间隙的连接器直接电连接到所述馈通，便可获得一种易于组装且非常简单的配置。该连接器优选的是可释放的并且包括用于容纳多个插脚的插座。在这种情况下，无需对设置在所述板上的传感器进行额外的线缆敷设，并且在需要对磁悬浮轴承装置进行维护的情况下所述板能够容易地被拆卸。传感器板还可包括用于轴承单元-特别是轴向(推力)轴承单元的连接件。所述轴承单元(特别是其线圈导线)可直接连接到传感器板，而无需进一步的线缆敷设。
为了将其它传感器和轴承单元连接到馈通，磁悬浮轴承装置有利地包括在所述外壳内部连接到馈通的至少一根扁平带状线缆或柔性印刷电路。该连接可以例如通过合适的连接器来实现，例如多路插座-插头型连接器。可替代地，所述连接可以是导线-端子型(德语：Schneidklemme)，或者线缆/柔性印刷电路可以例如通过焊接方法直接连接到馈通。
为了在外壳内简化电能和信号的分配，磁悬浮轴承装置可进一步包括一个或多个分配板，这些分配板通过扁平带状线缆或柔性印刷电路相互连接并且/或者连接到馈通。每个分配板垂直于转动轴线延伸，并且每个分配板具有用于接收转子轴的孔口并且包括用于分配由扁平带状线缆或柔性印刷电路所传送的信号的多个电导体。所述分配板适于例如通过导线端子将轴承单元的线圈导线直接连接到其上。
如果连接元件的至少一部分是柔性的(例如，柔性印刷电路或刚柔PCB)，则连接元件自身可用作外壳内部的线缆和/或分配板，而无需布设额外的导线。为此目的，连接元件可包括至少第一段、第二段和第三段，第一段大体上是平面状的并且在所述外壳的内部和外部之间延伸，第二段是柔性的并且具有至少一个大致弯曲的部分，第三段大体上是平面状的并且包括多个用于分配信号的电导体。所有段都可以是柔性的，或者第一和/或第三段大体上是刚性的。
有利地，分配板同时用作传感器板，即其包括用于检测转子轴的位移的位移传感器。有利地，该位移传感器直接设置在分配板/传感器板的导电层中。换句话说，分配板/传感器板有利地包括多个感应元件，所述多个感应元件为位于分配板的至少一个导电层内的印刷线圈。
本发明还涉及一种包括如上所述磁悬浮轴承装置的真空泵。
下面将结合附图中示出的示例性实施方式更详细地描述本发明，附图中：
附图说明
图1示出根据第一实施方式的磁悬浮轴承装置的示意性立体图，该图中局部以截面图示出；
图2示出图1中的磁悬浮轴承装置沿A-A平面的横截面；
图3示出图1中的磁悬浮轴承装置的局部分解图；
图4示出根据第二实施方式的带有馈通的磁悬浮轴承装置的外壳的高度简化的示意性局部截面图；
图5示出根据第三实施方式的磁悬浮轴承装置的示意性立体图；
图6示出图5中的装置的横截面；以及
图7示出磁悬浮轴承装置以及控制单元的立体图。
具体实施方式
图1至3示出适用于例如支撑涡轮分子泵(TMP)的转子叶片的磁悬浮轴承装置。转子轴120磁悬浮在该装置中，用于绕转动轴线123转动。为此目的，设置了多个磁悬浮轴承单元。一对轴向或推力轴承单元100、110与安装在转子轴120上的止推盘121相互作用并稳定该轴的位置，防止其沿轴向平移。第一径向轴承单元80和第二径向轴承单元90稳定所述轴的靠近这些轴承单元的部分的位置，防止其径向移动，从而实现稳定该轴，防止该轴沿径向平移以及绕径向斜移。马达单元70驱动该轴转动。在所述磁悬浮轴承断开或产生故障的情况下，设置成辅助急停轴承(touch-down bearing)的双滚珠轴承130、140将该轴保持在合适位置。可替代地，可采用其它类型的轴承，例如单滚珠轴承或滑动轴承。
设置多个传感器单元，用于检测该轴的位移。轴向位移传感器形成在第一传感器板40上，而径向位移传感器形成在第二和第三传感器板50、60上。这些传感器检测该轴沿预定方向的位移。
轴承单元以及传感器板由外壳10包封。来自传感器的信号馈送给设置在外壳10外部的控制单元(图1中未示出)。在控制单元中，用于轴承单元的合适的控制电压或电流决定于这些信号并从控制单元馈送给轴承单元。
为了在控制单元和磁悬浮轴承装置之间馈送信号和电流，设置穿过外壳10的壁的电馈通30。馈通30清楚地示出在图3的局部分解图中。在该图中，省略了该磁悬浮轴承装置的多个部件，以便更好地示出其余部件。具体而言，马达单元70、轴向轴承单元100、110以及急停轴承130、140在图3中没有示出。
馈通30包括大体上垂直于外壳10的长轴线(即垂直于转动轴线)延伸的印刷电路板(PCB)31。该电路板延伸穿过外壳10的壁并沿外壳的内周整个切断外壳壁，即其将外壳分成两个部分。电路板沿其延伸的横截面垂直于转动轴线。
印刷电路板31包括至少三层。一个或多个内部导电迹线层在两个侧面上由绝缘衬底层覆盖。沿环绕其圆周的边缘，该电路板被气密涂层覆盖，例如其被喷涂金属。同样，该电路板的中央孔口的内周优选地以这种方式涂敷，下文将对此进行进一步描述。
第一(外部)连接器34在外壳10外部安装在PCB上。其用于将控制单元连接到PCB。控制单元可直接连接或通过线缆连接。两个内部连接器设置在外壳内部，用于将传感器板40、50、60、轴承单元80、90、100、110以及马达70连接到PCB，图3中仅能够观察到连接器35。迹线层形成多个介于外部连接器和内部连接器之间的电连接(迹线)，因此在外壳的内部和外部之间提供期望的电馈通。
电路板31将外壳10分为主体11和盖20。螺钉21将盖20紧固到主体11，从而电路板31也被保持在主体11和盖20之间的合适位置。主体11上的小突起14和盖上相似的小突起连同电路板31上相应的凹部确保电路板31沿径向正确地定心。
在主体11上设置径向凸缘12，用于将磁悬浮轴承装置安装到例如泵外壳。可在凸缘12左侧与泵外壳之间设置O形密封圈或别的形式的密封垫圈，以便提供磁悬浮轴承装置在泵外壳上的真空密封安装。这样泵外壳朝外部封闭磁悬浮轴承装置的外壳10的内部。
电路板31借助于两个O形密封圈32、33以气密方式密封至主体11和盖20。第一O形密封圈32部分地容纳在形成于主体11上的圆形凹槽13中。同样，第二O形密封圈33部分地容纳在形成于盖20上的圆形凹槽23中。这些凹槽确保O形密封圈被保持在它们的位置上，并且这些凹槽通过提供O形密封圈能够密封的圆形边缘来提高防止气体泄漏的密封度。除O形密封圈之外，也可使用其它类型的密封件，例如扁平密封件(垫圈)或直接模制到印刷电路板的密封件。
第一传感器板40通过内部连接器35直接并可释放地连接到馈通30。该传感器板40不仅包括形成在传感器板40的导电层上的轴向位移传感器，还包括用于轴向轴承单元100、110的连接件。轴承单元100、110借助于图1至3中未图示的另一连接器连接到传感器板40。另外，转动传感器(脉冲传感器或解算器)形成在第一传感器板40的导电层上。
第二传感器板50借助于扁平带状线缆51连接到馈通30。第一径向轴承单元80的线圈导线通过图1至3中未图示的导线端子连接部连接到第二传感器板50。图1至3中未图示的第二扁平带状线缆从馈通30延伸到第三传感器板60。第二径向轴承单元的线圈导线通过图1至3中未图示的另一导线端子连接部连接到该板。在第二和第三传感器板上，用于分配轴承电流和传感器信号所需的所有电连接件都设置成位于导电(迹线)层内的合适的迹线。
使用扁平带状线缆(或可替代地，柔性印刷电路)以及诸如用于分配由扁平带状线缆传送的信号/电流的传感器板50、60之类的印刷电路分配板使得能够获得非常整洁的电缆敷设。通过在扁平带状线缆和印刷电路板之间使用可释放(插座-插头型)连接器或者通过在所述板上提供用于这些线缆的导线端子连接部，磁悬浮轴承装置的电缆敷设和磁悬浮轴承组装被进一步简化。
径向位移传感器优选地是WO-A2004/048883中公开的类型，该申请公开的全部内容通过引用纳入本文中，用于教导一种以非接触方式沿多个方向测量轴的位移的装置。这种多轴线径向位移传感器包括绕该轴设置的主感应元件和设置在该主感应元件附近的多个次感应元件。通过给主感应元件提供随时间变化的电流并检测次感应元件中的感应电压，该轴的位移便得以确定。所有感应元件可便捷地设置成位于单个共同印刷电路板上的印刷线圈。因而，能够获得高效且非常简单的径向位移传感器。具体而言，第二和第三传感器板50、60中每个优选地在其导电(迹线)层上设置这种多轴线径向位移传感器。
轴向位移传感器可同样设置在第一传感器板的导电层上。这种传感器可以是常规的单线圈或多线圈涡流传感器类型，其确定第一传感器板与轴120的端部处的螺帽122上的径向凸缘之间的距离。可替代地，轴向位移传感器可以是2005年1月11日提交的欧洲申请第05405009.1号中公开的类型，该申请的全部内容通过引用纳入本文中，用于教导一种轴向位移传感器和转动传感器。这种轴向位移传感器包括两个同心且基本上共面的线圈，所述两个线圈被通入频率相同但是相位相反(绕转动轴线相反的方向)的AC电流。因而，传感器的感应区域基本上限于所述线圈之间的区域，大幅度地减少了干扰。
转动传感器也可以例如上述欧洲申请第05405009.1号中描述的方式设置在第一传感器板的导电层上。这种多轴线径向位移传感器的配置与上述多轴线径向位移传感器非常相似，即其包括绕轴设置的主感应元件和设置在主感应元件附近的多个另一种感应元件。具体而言，主感应元件绕轴120的端部处的螺帽122的一部分设置，该部分不是旋转对称的，而是具有至少一个凹口或凹部。通过给主感应元件提供随时间变化的电流-特别是高频AC电流并检测次元件中的感应电压，便可确定转子的转动状态。再者，感应元件可便捷地实施为位于第一传感器板的导电层上的印刷线圈。特别地，主感应元件可以与轴向位移传感器的线圈之一完全相同，从而进一步简化配置。
在可替代实施方式中，径向位移传感器之一可以与轴向位移传感器设置在轴向轴承100、110的同一侧上，这些传感器甚至可以结合在单个复合感测单元中，如WO 2005/026557中所述。
应当理解的是，本发明不限于传感器设置在印刷电路板的导电层上并且这些电路板通过扁平带状线缆连接的实施方式。另一方面，即便穿过外壳壁的电馈通以不同于上述方式的另一方式建立，传感器及所建议的导线布设的这种设置也都是有利的。
所有印刷电路板(传感器板40、50、60以及馈通30的PCB)具有用于容纳该轴的同心孔口。具体而言，馈通30的电路板31具有孔口36，孔口36的直径大于轴向轴承单元100、110的直径和止推盘121的直径。以这种方式，可以容易地组装磁悬浮轴承装置，并且在需要维修的情况下能够容易地触及轴向轴承以及轴。
相对于外壳10设置电馈通30的可替代方式示意性地示出在图4中。相似的零件以与图1至3中相同的标号标示。与在外壳的直径较大的区域截断外壳不同，通过截断外壳的小直径部分-例如位于外壳一侧处的突起或位于端盖上的突起，即可获得尺寸减小的馈通。而且，馈通30包括外部连接器34和内部连接器35。并且电路板31密封到外壳的方式与图1至3的实施方式中的方式相同。外壳10中的孔口最终由盖14来封闭。无疑，在该实施方式中，电路板31无需具有中央孔口，这简化了配置并提供了附加的优点-即不会在中央孔口处发生泄漏。如果板上没有其它孔，则所述电路板的面向外壳10外部的一面不需要密封件，密封件33可以省略。用于将所述电路板与连接器或其它电路元件装配起来的小孔可以由填充焊料的熔滴来封闭。馈通的这种可替代设置特别适用于外壳能够从侧面触及的应用场合，因此无需使所有的导线都靠近转子的一端。
图5和6中示出了磁悬浮轴承装置的可替代实施方式的局部视图。而且，相似的零件以与图1至4中相同的标号来标示。多个馈通30(在该具体示例中是3个)设置成单个印刷电路板31，印刷电路板31沿外壳的一侧平行于转子轴线设置。该可替代设置简化了外壳10内的导线布设，其代价是增加了密封点。外壳内的每个单元(传感器板50、60，轴承单元80、90，马达70)都有自己独立的连接器35，这使得完全不需要进行任何电缆敷设。这大幅度地简化了磁悬浮轴承装置的组装。特别地，马达单元70具有自己的分配板71。当然，外壳内的若干单元也可以共用一个馈通。每个连接器35可包括柔性印刷电路以使得能够具有一些柔性和侧向可动性。在将所述单元组装到外壳10内之后，仍能够从外壳的侧面通过最终将由馈通30和盖14封闭的孔触及连接器35。单个印刷电路板31在外壳外部以平行于转子轴线的方式安装到这些连接器并由盖14保持在这些孔的顶部。因此单个电路板31用作每个孔处的馈通。所述盖可如图所示地由螺钉21保持在合适位置，或者通过诸如夹紧装置之类的其它合适装置保持在合适位置。
由于简化了其电连接并且获得了紧凑的尺寸，根据本发明的磁悬浮轴承装置可便捷地与其控制单元相结合，如图7中通过示例所示。此处，根据本发明的磁悬浮轴承装置1直接安装到控制单元2。所有的导线布设都能够由扁平带状线缆或柔性印刷电路来完成。
如果将根据本发明的磁悬浮轴承装置设置在真空泵-特别是涡轮分子真空泵中，其将是特别有用的，在真空泵中转子轴承载多个泵叶片。一种不同的应用可以是用于例如空调中的气体压缩机的涡轮泵。然而，应当理解的是，本发明不限于这些应用。
参考标号列表
1     磁悬浮轴承装置
2     控制单元
10    外壳
11    主体
12    凸缘
13    圆形凹槽
14    盖
20    盖
21    螺钉
23    圆形凹槽
30    电馈通
31    印刷电路板
32    第一O形密封圈
33    第二O形密封圈
34    第一印刷连接器
35    第二印刷连接器
36    孔口
40    第一传感器板
50    第二传感器板
60    第三传感器板
70    马达
71    分配板
80    第一径向轴承
90    第二径向轴承
100   第一轴向轴承
110   第二轴向轴承
120   转子
121   转子盘
122   螺帽
123   转动轴线
130  第一辅助轴承
140  第二辅助轴承

Claims (13)

1.一种磁悬浮轴承装置(1)，用于支撑转子轴(120)以便其绕转动轴线(123)转动，所述磁悬浮轴承装置包括：
-外壳(10)，其具有内部和外部；
-至少一个主动磁悬浮轴承元件(80、90、100、110)，其设置在所述外壳的内部；以及
-馈通(30)，其用于在所述外壳的内部和外部之间提供多个电连接，
其特征在于，所述馈通(30)包括：大体上扁平的连接元件(31)，其具有连接所述内部和所述外部且大体上设置在共同平面中的多个第一电导体，所述连接元件(31)延伸穿过所述外壳(10)的壁、沿大体上垂直于所述转动轴线(123)的方向延伸并且具有用于容纳所述转子轴(120)的孔口(36)；以及密封装置(32、33)，其用于以气密方式密封所述连接元件(31)与所述外壳(10)。
2.根据权利要求1所述的磁悬浮轴承装置(1)，其特征在于，所述连接元件(31)是刚性印刷电路板、柔性印刷电路板或刚柔印刷电路板。
3.根据权利要求1所述的磁悬浮轴承装置(1)，其特征在于，所述连接元件(31)沿所述外壳(10)的圆周整个横截所述外壳(10)的壁。
4.根据权利要求1所述的磁悬浮轴承装置(1)，其特征在于，所述转子轴(120)承载具有一直径的止推盘(121)，并且所述连接元件(31)的所述孔口(36)的直径大于所述止推盘(121)的直径。
5.根据权利要求1所述的磁悬浮轴承装置(1)，其特征在于，所述连接元件具有以气密方式涂敷的外周和/或内周。
6.根据权利要求1所述的磁悬浮轴承装置(1)，其特征在于，所述磁悬浮轴承装置包括传感器板(40)，所述传感器板(40)包括至少一个用于检测所述转子轴(120)的位移和转动状态中至少一个的传感器，所述传感器板(40)借助于桥接所述馈通(30)和所述传感器板(40)之间的轴向间隙的连接器(35)直接电连接到所述馈通(30)。
7.根据权利要求1所述的磁悬浮轴承装置(1)，其特征在于，所述磁悬浮轴承装置包括在所述外壳(10)的内部连接到所述馈通(30)的扁平带状线缆(51)和柔性印刷电路中的至少一个。
8.根据权利要求7所述的磁悬浮轴承装置(1)，其特征在于，所述磁悬浮轴承装置包括连接到所述扁平带状线缆(51)或柔性印刷电路的分配板(50)，所述分配板(50)垂直于所述转动轴线(123)延伸，所述分配板(50)具有用于容纳所述转子轴(120)的孔口并且包括用于分配由所述扁平带状线缆(51)或柔性印刷电路所传送的信号的多个第二电导体。
9.根据权利要求1所述的磁悬浮轴承装置(1)，其特征在于，所述连接元件包括第一段、第二段和第三段，所述第一段大体上呈平面状并且在所述外壳的内部和外部之间延伸，所述第二段是柔性的并且具有至少一个弯曲的部分，所述第三段大体上呈平面状并且构成包括用于分配信号的多个第二电导体的分配板。
10.根据权利要求8或9所述的磁悬浮轴承装置(1)，其特征在于，所述分配板(50)包括用于检测所述转子轴(120)的位移的位移传感器。
11.根据权利要求10所述的磁悬浮轴承装置(1)，其特征在于，所述位移传感器包括多个感应元件，所述多个感应元件为位于所述分配板(50)的至少一个导电层内的印刷线圈。
12.一种真空泵，包括根据权利要求1所述的磁悬浮轴承装置。
13.根据权利要求12所述的真空泵，该真空泵是涡轮分子泵。
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Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE602005023866D1 (de) * 2005-08-24 2010-11-11 Mecos Traxler Ag Magnetlagereinrichtung mit verbesserter Gehäusedurchführung bei Vakuum
DE102006016405A1 (de) * 2006-04-07 2007-10-11 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe mit Antriebsgerät
DE202007012070U1 (de) * 2007-08-30 2009-01-08 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Stromdurchführung einer Vakuumpumpe
MY163687A (en) * 2008-04-17 2017-10-13 Synchrony Inc High-speed permanent magnet motor and generator with low-loss metal rotor
JP2011520410A (ja) 2008-04-18 2011-07-14 シンクロニー，インコーポレイテッド 集積電子工学を用いた磁力スラスト軸受
EP2154386A1 (de) * 2008-08-11 2010-02-17 Siemens Aktiengesellschaft Lagerbock mit einem geteilten magnetischen Radiallager und einem geteilten Fanglager in einem gemeinsamen geteilten Lagergehäuse
JP5281916B2 (ja) * 2009-02-10 2013-09-04 山洋電気株式会社 小型モータ
US20100230901A1 (en) * 2009-03-12 2010-09-16 Ferrotec (Uk), Ltd. Magnetic fluid rotary feedthrough with sensing and communication capability
DE102009022835B3 (de) * 2009-05-27 2011-03-03 Schaeffler Kg Verfahren zur Überwachung des Zustands eines Fanglagers einer Maschine
US9583991B2 (en) * 2009-06-24 2017-02-28 Synchrony, Inc. Systems, devices, and/or methods for managing magnetic bearings
WO2011163456A1 (en) 2010-06-23 2011-12-29 Synchrony, Inc. Split magnetic thrust bearing
FR2962602B1 (fr) * 2010-07-08 2013-08-30 Mecanique Magnetique Sa Procede et dispositif de liaison electrique a traversee etanche entre deux milieux differents
US20130129482A1 (en) * 2010-08-06 2013-05-23 Shimadzu Corporation Vacuum pump
DE102011004919A1 (de) * 2011-03-01 2012-09-06 Robert Bosch Gmbh Verbindungselement zwischen Motor und Steuereinheit
CN102425562B (zh) * 2011-12-05 2014-04-30 北京中科科仪股份有限公司 一种磁悬浮分子泵动平衡方法
WO2013152061A2 (en) 2012-04-04 2013-10-10 Carrier Corporation Multiple-axis magnetic bearing and control of the magnetic bearing with active switch topologies
DE102012105969A1 (de) * 2012-07-04 2014-01-09 Hella Kgaa Hueck & Co. Drehwinkelsensor
JP6735526B2 (ja) * 2013-08-30 2020-08-05 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
RU2545146C1 (ru) * 2013-09-17 2015-03-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Комсомольский-на-Амуре государственный технический университет" (ФГБОУ ВПО "КнАГТУ") Способ работы управляемого газомагнитного подшипникового узла и подшипниковый узел
US9941766B2 (en) 2014-04-04 2018-04-10 Solar Turbines Incorporated Penetrator power connector for an integrated rotary machine
EP3026278B1 (en) * 2014-11-27 2020-03-18 Skf Magnetic Mechatronics Magnetic bearing, rotary apparatus comprising such a magnetic bearing and method for manufacturing such a magnetic bearing
JP6912196B2 (ja) * 2016-12-28 2021-08-04 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び該真空ポンプに適用されるコネクタ、制御装置
IT201700040835A1 (it) * 2017-04-12 2017-07-12 Agilent Tech Inc A Delaware Corporation Pompa da vuoto provvista di un passante elettrico da vuoto migliorato
CN107887721B (zh) * 2017-11-03 2019-12-13 珠海格力电器股份有限公司 磁悬浮轴承的接线结构及压缩机及空调
RU2677387C1 (ru) * 2017-11-27 2019-01-16 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "ОРЛОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ имени И.С. ТУРГЕНЕВА" (ОГУ им. И.С. Тургенева) Управляемый газомагнитный подшипниковый узел
CN109281863A (zh) * 2018-11-21 2019-01-29 珠海格力电器股份有限公司 一种新型磁悬浮压缩机结构
EP3660319B1 (de) * 2018-11-27 2021-11-03 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe mit schneidklemmen
JP7454928B2 (ja) * 2019-08-23 2024-03-25 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び真空ポンプに用いられる電磁石ユニット
WO2021059838A1 (ja) * 2019-09-27 2021-04-01 日本電産株式会社 回転電機および診断装置
EP3808988B1 (de) * 2020-03-27 2024-01-10 Pfeiffer Vacuum Technology AG Vakuumpumpe und verfahren zum überwachen einer vakuumpumpe
GB2616264A (en) * 2022-03-01 2023-09-06 Edwards Ltd Electrical feedthrough, vacuum apparatus and method for assembly

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4490614A (en) * 1982-04-30 1984-12-25 Interad Systems, Inc. Housing for an ionization detector array in a tomographic scanner
CN1038859A (zh) * 1988-06-23 1990-01-17 弗拉基米尔帕夫罗维奇萨金夫 涡轮式分子真空泵
US5061193A (en) * 1988-12-23 1991-10-29 Lucas Industries Public Limited Company Electrical connection arrangement and method of providing an electrical connection
DE4038394A1 (de) * 1990-12-01 1992-06-04 Bosch Gmbh Robert Anordnung zur dichten durchfuehrung eines leiters durch die wand eines gehaeuses
US6267386B1 (en) * 1998-06-23 2001-07-31 Firma Carl Freudenberg Ring seal
CN2597738Y (zh) * 2002-12-11 2004-01-07 中国科学院电工研究所 混合磁悬浮轴承
EP1517042A1 (en) * 2003-09-17 2005-03-23 Mecos Traxler AG Magnetic bearing device and vacuum pump

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1255190B (it) * 1992-06-30 1995-10-20 Giuseppe Marchisi Dispositivo di interfaccia di comando per un motore elettrico
WO1997033359A1 (fr) * 1996-03-07 1997-09-12 Seiko Epson Corporation Moteur et son procede de fabrication
JPH10184685A (ja) * 1996-12-25 1998-07-14 Fuji Xerox Co Ltd 磁気軸受
JPH11101235A (ja) * 1997-07-30 1999-04-13 Nippon Seiko Kk 磁気軸受
JP2002122137A (ja) * 2000-10-10 2002-04-26 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd 軸受装置
US6503050B2 (en) * 2000-12-18 2003-01-07 Applied Materials Inc. Turbo-molecular pump having enhanced pumping capacity
JP4462525B2 (ja) * 2001-03-14 2010-05-12 株式会社リコー 動圧空気軸受型ポリゴンスキャナおよびその加工方法
JP3593102B2 (ja) * 2002-01-08 2004-11-24 三菱電機株式会社 電動パワーステアリング装置
JP3894853B2 (ja) * 2002-07-11 2007-03-22 株式会社日本自動車部品総合研究所 回転機
EP1422492A1 (en) 2002-11-22 2004-05-26 Mecos Traxler AG Device for contact-less measurement of distances in multiple directions
US6897587B1 (en) * 2003-01-21 2005-05-24 Calnetix Energy storage flywheel with minimum power magnetic bearings and motor/generator
US6882072B2 (en) * 2003-06-13 2005-04-19 Honeywell International Inc. Energy storage flywheel system with a power connector that integrally mounts one or more controller circuits
JP4293185B2 (ja) * 2003-07-04 2009-07-08 三菱電機株式会社 磁気軸受装置
JP2005033924A (ja) * 2003-07-14 2005-02-03 Honda Motor Co Ltd 電動機および電動機を搭載した電動パワーステアリング装置
US6921998B2 (en) * 2003-10-15 2005-07-26 Honeywell International, Inc. Energy storage flywheel auxiliary bearing system and method
FR2861142B1 (fr) 2003-10-16 2006-02-03 Mecanique Magnetique Sa Pompe a vide turbo moleculaire
JP4292983B2 (ja) * 2003-12-24 2009-07-08 市光工業株式会社 モータ駆動装置及び電動格納式ドアミラー
DE202004021791U1 (de) * 2004-05-29 2011-02-10 Krones Ag Maschine zum Ausrichten und Ausstatten von Gegenständen
EP1679492A1 (en) 2005-01-11 2006-07-12 Mecos Traxler AG Eddy-current sensor and magnetic bearing device
DE602005023866D1 (de) * 2005-08-24 2010-11-11 Mecos Traxler Ag Magnetlagereinrichtung mit verbesserter Gehäusedurchführung bei Vakuum

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4490614A (en) * 1982-04-30 1984-12-25 Interad Systems, Inc. Housing for an ionization detector array in a tomographic scanner
CN1038859A (zh) * 1988-06-23 1990-01-17 弗拉基米尔帕夫罗维奇萨金夫 涡轮式分子真空泵
US5061193A (en) * 1988-12-23 1991-10-29 Lucas Industries Public Limited Company Electrical connection arrangement and method of providing an electrical connection
DE4038394A1 (de) * 1990-12-01 1992-06-04 Bosch Gmbh Robert Anordnung zur dichten durchfuehrung eines leiters durch die wand eines gehaeuses
US6267386B1 (en) * 1998-06-23 2001-07-31 Firma Carl Freudenberg Ring seal
CN2597738Y (zh) * 2002-12-11 2004-01-07 中国科学院电工研究所 混合磁悬浮轴承
EP1517042A1 (en) * 2003-09-17 2005-03-23 Mecos Traxler AG Magnetic bearing device and vacuum pump

Also Published As

Publication number Publication date
CN101243263A (zh) 2008-08-13
ATE483114T1 (de) 2010-10-15
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US7932655B2 (en) 2011-04-26
JP2009506733A (ja) 2009-02-12
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JP5059005B2 (ja) 2012-10-24
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