CN101216672A - 流体喷射装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种在进行平板显示面板用基板的制造工序中的蚀刻或剥离作业时，可向基板均匀供给蚀刻用流体或剥离用流体的流体喷射装置。这种流体喷射装置包括：具有作业空间的作业槽；用于喷射流体的喷嘴；相隔配置在所述作业空间的多个喷射管；与所述喷射管相连接且通过连杆运动使所述喷嘴的喷射角度发生变化的动力传递机构；以及为使所述动力传递机构进行连杆运动而产生动力的驱动源。

Description

流体喷射装置

技术领域

本发明涉及一种流体喷射装置，尤其涉及一种可适用于利用喷射流体制造平板显示面板基板的工艺(蚀刻(etching)、剥离(strip))中的流体喷射装置，特别是以基于喷嘴摆动(swing)动作的可变式喷射方式均匀供给流体的流体喷射装置。

背景技术

LCD等液晶显示装置一般利用随着基于电信号的施加电压发生变化的液晶透射率来显示影像信号，其一般包括背光模块、液晶显示面板及外壳。

所述液晶显示面板使用具有多层结构的功能性薄膜的基板。该基板通过薄膜蒸镀工序、照相平版印刷工序以及蚀刻及剥离工序制成。其中，所述照相平版印刷工序对镀膜进行曝光及显影作业后形成光刻胶掩膜图案；所述蚀刻及剥离工序则用于在基板上实际形成薄膜图案。

在所述各工序中，蚀刻及剥离工序是直接把具有预定图案的功能性薄膜真正形成在基板上的工序，该工序采用向基板喷射蚀刻液或剥离液等流体的公知方式。

即，所述蚀刻工序通过蚀刻液的化学反应作用而在基板上留下薄膜的必要部分，并有选择地去除不必要的部分；而所述剥离工序则利用剥离液去除蚀刻工序后残留在基板蚀刻层上的光刻胶掩膜。

因此，所述蚀刻及剥离工序在具有用于喷射蚀刻液或剥离液等流体的喷射装置(喷射管及喷嘴)的作业槽内进行。其中，所述喷射装置的喷嘴位置或喷射角度对基板的蚀刻及剥离质量产生较大的影响。

但是，绝大部分的喷射装置采用的是由固定的喷嘴喷射流体的方式。这种结构在进行基板制造工序中蚀刻或剥离作业时存在下述缺点。

首先，向基板喷射流体时，会使流体集中供给到各喷嘴的喷射角度所覆盖的区域中。

因此，在对基板进行蚀刻或剥离作业时，难以对基板的整个表面均匀喷射流体，由此在蚀刻或剥离作业后会产生过多的次品。

例如，如果对基板的整个表面喷射的流体不均匀，会使基板的蚀刻面呈不规则状，或者难以从基板的整个表面顺利去除残留的光刻胶。

而且，在所述固定喷嘴相隔配置的状态下，会导致相邻喷嘴的喷射角度在基板上重叠的区域中流体供给过多的现象。

因此，如果利用所述固定式喷射装置对基板进行蚀刻或剥离作业，由于流体的供给不均匀，难以获得令人满意的作业及生产效率。

发明内容

鉴于现有技术中所存在的上述问题，本发明提供一种可对基板的整个表面上均匀供给流体的流体喷射装置。该装置通过喷嘴的摆动动作，实现可变式喷射方式。

为了实现上述目的，本发明采取以下技术手段。本发明的流体喷射装置包括：具有作业空间的作业槽；具有用于喷射流体的喷嘴且相隔配置在所述作业空间的多个喷射管；与所述喷射管相连接且通过连杆运动使所述喷嘴的喷射姿势发生变化的动力传递机构；为使所述动力传递机构进行连杆运动而产生动力的驱动源。

本发明的流体喷射装置具备能够在基板的制造工艺中如蚀刻或剥离等需要喷洒流体的工序中向基板的某一个表面的全部区域均匀喷射流体的机构，因此可进一步提高作业效率。

特别是，所述机构可使喷嘴在横穿基板的输送方向上改变姿势，并产生连续的摆动动作，从而通过可变的喷射方式来均匀喷射流体，因此可解决现有技术中利用固定喷嘴的固定式喷射方式所导致的质量问题。

附图说明

图1是本发明的流体喷射装置的整体结构示意图。

图2是用以说明本发明流体喷射装置的喷射管排列状态的示意图。

图3是图1所示流体喷射装置的侧面剖视图。

图4是用以说明本发明流体喷射装置的喷射管固定状态的示意图。

图5是用以说明本发明流体喷射装置的动力传递机构结构的示意图。

图6是用以说明图5所示动力传递机构作用的示意图。

图7是用以说明在图5所示动力传递机构作用下的喷射管摆动状态的示意图。

图8是用以说明本发明流体喷射装置的驱动源的另一实施例的示意图。

符号说明

2：作业槽      4：输送装置              6：支架

8：轴承        10：动力传递机构         12：移动杆

G：基板        P：喷射管                N：喷嘴

T：储存槽      M、M1：驱动源            W：流体

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的较佳实施例，并在本领域的技术人员能够容易实施本发明的范围内进行说明。由于本发明的实施例可以用多种形式实施，因此本发明的权利要求范围并不局限于下述实施例。

图1是本发明的一实施例所涉及的流体喷射装置的整体结构示意图。图中标记2表示作业槽。

所述作业槽2由常规结构构成，其内部具有作业空间S，可进行用于制造平板显示器面板基板G(以下称为基板)的工序中的蚀刻或剥离作业。

所述作业槽2的内部设有用于输送基板G的输送装置4。

所述输送装置4采用包括多个输送辊R的常规结构的辊筒式输送机。

所述输送装置4可通过常规方法从电机(未图示)接收动力以使所述输送辊R旋转，并借此从所述作业空间S的左侧向右侧输送基板G(以图1为基准时)。

所述基板G在其接受蚀刻或剥离处理的某一个被处理面G1朝上的状态下，按照如图1所示方式沿着所述输送装置4移动。

另外，所述本发明的一实施例所涉及的流体喷射装置包括用于在所述作业槽2的内部喷射流体W的多个喷射管P。

所述多个喷射管P的每一个分别具有一个以上喷嘴N，且如图1所示，所述喷射管P位于所述作业空间S中所述输送装置4的上方。

如图2所示，所述喷射管P在基板G输送区的前后两处相隔一定距离，并在基板G的移动方向上按照图中所示方式排列。

这种结构与所述喷射管P例如以横穿基板G移动方向的状态配置的结构(未图示)相比，即使在基板G的输送过程中发生时间差，也可以最大限度地减少流体W在基板G上的分布不均匀的现象。

所述喷射管P，其内部具有流体流动通道，并且如图3所示，与供给管L相连接。

而且，所述供给管L与盛有流体W的储存槽T相连接，从而使得用于常规蚀刻或剥离作业的流体W从所述储存槽T供给到所述喷射管P。

所述喷嘴N在与所述喷射管P的内部通道连通的状态下结合在喷射管P的外表面，从而以预定压力喷射供给到所述喷射管P的流体W。

如图2所示，一个以上所述喷嘴N结合于所述各喷射管P上，且呈“之”字型排列。所述喷嘴N以可向沿所述输送装置4移动的基板G上面喷射流体W的状态位于所述作业空间S内部。

虽然未图示，结合于所述喷射管P的喷嘴N具有能够以辐射状喷洒流体W的喷嘴孔。

如图1所示，所述多个喷射管P的两端分别插入并固定于设置在所述作业槽2内部的支架6的支承孔H内，使得喷射管P可以以其中心轴线为基准旋转。

所述各支架6的一端分别固定于所述作业空间S的上方，从而把各喷射管P以水平悬挂于所述作业空间S上方的状态固定及支承。

而且，如图4所示，所述支承孔H内可进一步安装有轴承8。

所述轴承8可使用常规的径向轴承(radial bearing)，其用于支承所述喷射管中被插入的端部，以使所述喷射管P的旋转更为顺利。

所述各喷射管P在所述作业空间S内部以其两端分别插入于所述支架6的状态获得固定及支承，并且以其轴线为基准可旋转。

本发明的一实施例所涉及的所述流体喷射装置包括动力传递机构10。

所述动力传递机构10可传递动力，以使所述多个喷射管P通过连杆运动以其中心轴线为基准旋转。

为此，如图5所示，本实施例中设置有通过所述连杆14与所述各喷射管P的一端相连接的移动杆12，从而通过所述连杆14和移动杆12的连杆运动传递动力。

所述移动杆12在所述作业槽2中，横穿设置在所述基板G的输送区域中前后配置的喷射管P之间。

而且，所述连杆14的一端与所述移动杆12铰接，另一端与所述喷射管P的一端固定连接。

以图6为基准，所述移动杆12做左右方向往返运动时，所述连杆14的连接姿势发生变化，从而做连杆运动。而所述动力传递机构10则通过所述连杆运动使所述每个喷射管P以其中心为基准旋转。

本发明一实施例所涉及的所述流体喷射装置包括驱动源M，其产生能够驱使所述动力传递机构10做连杆运动的动力。

所述驱动源M可使用常规的电机，并且如图3所示，为了把动力传递到所述移动杆12，所述驱动源M与所述移动杆12的某一端相连接并设置在所述作业槽2的外侧。

如图6所示，所述驱动源M可通过旋转盘16和联结部件18向所述移动杆12传递动力。

所述旋转盘16的中心与所述驱动源M的电机轴相连，而所述联结部件18的一端固定连接于偏离所述旋转盘16中心的位置。

而且，所述联结部件18的另一端固定连接在所述移动杆12的一端。

所述联结部件18可使用能够改变连接角度的常规的万向联轴节(universal joint)，其两端分别与所述旋转盘16和所述移动杆12铰接。

所述联结部件18用于变换所述旋转盘16和所述移动杆12的连接角度，从而顺利传递动力。

所述旋转盘16起到偏心盘作用，其根据所述驱动源M所产生的旋转动力，以其中心为基准旋转，从而向一个方向推拉所述联结部件18的一端。

即，以图6为基准，当所述驱动源M驱动时，所述移动杆12通过所述联结部件18的推拉力向左右方向做一定位移的往返运动。

而且，如上所述，当所述移动杆12做直线往返运动时，所述喷射管P通过所述连杆14的连杆运动接收动力，从而以其中心轴线为基准左右转动，如图7所示。

因此，所述喷嘴N可通过所述喷射管P的转动，在一定的可变角度A范围内改变其姿势，完成连续摆动动作。

因此，可利用通过结合于所述喷射管P的多个喷嘴N的摆动动作所实现的可变式喷射方式，对所述作业空间S中移动的基板G上表面进行蚀刻或剥离作业。

这种可变式喷射结构可解决利用具有多个固定喷嘴的现有喷射装置进行蚀刻或剥离作业时，由于流体W对基板G的喷射量不均匀而引起的诸多问题。

而且，根据基板G的尺寸或作业环境，可适当调节所述喷嘴N的可变喷射角度A，并在此状态下进行喷射作业，因此可进一步提高作业兼容性。

另外，根据所述移动杆12的往返移动间距，可适当调节所述喷嘴N的可变角度A。

例如，如果所述移动杆12的往返移动间距设定得较长，所述喷嘴N可变角度A就变大，反之亦然。

另外，所述移动杆12的移动间距可通过连接所述联结部件18的一端与所述旋转盘16时调节偏心距离等方式来予以改变。

上述内容中以驱动源M采用电机并通过该电机的旋转动力来使所述动力传递机构10进行连杆运动的方式为例进行了说明，并把这种结构表现在图中，但本发明并不局限于此。

例如，如图8所示，所述驱动源M1也可使用常规的气缸。

即本发明也可以按照图8所示的方式，连接气缸的活塞杆与所述动力传递机构10的移动杆12的一端，从而通过气缸的驱动实现连杆运动。

这种动力传递方式直接连接气缸的活塞杆，从而直接把直线移动动力传递到动力传递机构10。

另外，虽然未图示，除了电机或气缸以外，还可以使用能够满足本发明目的的各种动力产生装置。

Claims (5)

1.一种流体喷射装置，其特征在于，包括：

具有作业空间的作业槽；

具有用于喷射流体的多个喷嘴且相互隔开设置在所述作业空间的多个喷射管；

与所述喷射管相连接，并通过连杆运动使所述喷嘴的喷射姿势发生变化的动力传递机构；

为使所述动力传递机构做连杆运动而产生动力的驱动源。

2.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于：

所述多个喷射管相隔排列设置，并可旋转地被支承，以使所述喷嘴的喷射角度能够发生变化。

3.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于：

在所述每个喷射管上隔开设置有一个以上所述喷嘴，所述喷嘴被配置成其可向基板的上表面喷射流体。

4.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于，所述动力传递机构包括：以预定间距进行往返运动的移动杆，以及连接所述移动杆与所述多个喷射管以进行连杆运动的连杆，

在所述移动杆通过所述驱动源的动力进行直线往返运动时，所述多个喷射管通过所述连杆的连杆运动，以轴线为中心旋转预定角度。

5.根据权利要求1所述的流体喷射装置，其特征在于，所述驱动源为电机或气缸。

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