CN101051191A - 显示装置制造系统 - Google Patents

显示装置制造系统 Download PDF

Info

Publication number
CN101051191A
CN101051191A CNA2007100903323A CN200710090332A CN101051191A CN 101051191 A CN101051191 A CN 101051191A CN A2007100903323 A CNA2007100903323 A CN A2007100903323A CN 200710090332 A CN200710090332 A CN 200710090332A CN 101051191 A CN101051191 A CN 101051191A
Authority
CN
China
Prior art keywords
floating material
working fluid
display device
production system
unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2007100903323A
Other languages
English (en)
Inventor
朴熙珍
金圣培
尹锡壹
郑宗铉
许舜范
辛成健
郑世桓
许铉
金柄郁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dongjin Semichem Co Ltd
Original Assignee
Dongjin Semichem Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dongjin Semichem Co Ltd filed Critical Dongjin Semichem Co Ltd
Publication of CN101051191A publication Critical patent/CN101051191A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D24/00—Filters comprising loose filtering material, i.e. filtering material without any binder between the individual particles or fibres thereof
    • B01D24/02—Filters comprising loose filtering material, i.e. filtering material without any binder between the individual particles or fibres thereof with the filter bed stationary during the filtration
    • B01D24/20—Filters comprising loose filtering material, i.e. filtering material without any binder between the individual particles or fibres thereof with the filter bed stationary during the filtration the filtering material being provided in an open container
    • B01D24/22—Downward filtration, the filter material being supported by pervious surfaces
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
    • G02F1/133792—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by etching

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

本发明涉及一种在通过过滤装置过滤流体之前除去流体中浮游物的显示装置制造系统。本发明的显示装置制造系统包括：工作腔室，在其内部利用工作流体去除显示面板上工作层中的多余部分；浮游物过滤单元，其接收由工作腔室所排出的工作流体，并滤除工作流体中所含有的工作层浮游物；过滤装置，其接收由浮游物过滤单元所排出的工作流体，并滤除工作流体中所含有的工作层成分；流体储存槽，其用于储存通过过滤装置滤除工作层成分后的工作流体。

Description

显示装置制造系统
技术领域
本发明涉及一种显示装置制造系统，尤其涉及一种能够有效地过滤工作流体中浮游物的系统。
背景技术
目前广泛使用的显示装置，具体有液晶显示器、有机发光二极管显示器等各种装置。
其中，所述液晶显示装置由形成有电场产生电极的两块显示基板及夹在所述基板之间的液晶层构成。其通过向电极施加电压，重新排列液晶层的液晶分子，从而调节透过液晶层的光线穿透率。
制造这种液晶显示装置需经过对基板进行蒸镀(deposition)、清洗(cleaning)、涂覆光致抗蚀剂(photo resist coating)、曝光(exposure)、显影(development)、蚀刻(etching)、以及剥离光致抗蚀剂(photo resiststrip)等一系列工序。
其中，所述光致抗蚀剂分为正性和负性光致抗蚀剂。具体来说，为防止经过曝光工序图形化的光致抗蚀剂在随后的显影工序中被显影液剥落，在高温下，所述正性光致抗蚀剂则在其中未曝光部分被硬化，而所述负性光致抗蚀剂则在其中曝光部分被硬化。
另外，用于剥离图形化光致抗蚀剂的系统，包括：
剥离腔室，其用于接纳显示基板；
注入器，其用于向剥离腔室内注入剥离液，而所述剥离液用于溶解显示基板上的图形化光致抗蚀剂；
过滤装置，其用于过滤从剥离腔室排出的剥离液中光致抗蚀剂成分；以及
储存槽，其用于储存已滤除光致抗蚀剂成分的剥离液。
但是，现有的制造系统存在以下缺陷。
为了防止经曝光工序图形化的光致抗蚀剂在后续显影工序中被显影液剥落，在高温下对光致蚀刻剂层进行硬化处理，因此图形化的光致抗蚀剂的溶解性降低，而热特性、耐化学性等性能会大幅提高。由此，剥离时间将会延长，且在剥离过程中，剥离液中将会悬浮几μm至几百μm大小的光致抗蚀剂微粒。
由于所述浮游物的堵塞将会缩短过滤装置的使用寿命。因此，需要经常更换价格昂贵的过滤装置，这将导致费用的大幅增加。
发明内容
本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种在通过过滤装置过滤工作流体之前除去流体中浮游物的显示装置制造系统。
本发明的显示装置制造系统，包括：
工作腔室，在其内部利用工作流体去除形成在显示面板上的工作层中多余部分；
浮游物过滤单元，其接收工作腔室所排出的工作流体，并滤除含在所述工作流体中、并由所述工作层产生的浮游物；
过滤装置，其接收浮游物过滤单元所排出的工作流体，并滤除含在所述工作流体中的所述工作层成分；
流体储存槽，其用于储存通过过滤装置滤除工作层成分后的工作流体。
而且，所述浮游物过滤单元包括：
箱体，其内部形成有主腔室；
过滤器，其安装于主腔室内，且内部形成有辅助腔室，且其表面上形成有至少两个网眼；
流入管，其用于将从工作腔室排出的含有浮游物的工作流体导入辅助腔室；
流出管，其用于将通过过滤器的工作流体导入过滤装置；
排出单元，其用于将未通过过滤器的浮游物排放到外部。
另外，所述排出单元还包括：刷子，其与过滤器内表面可接触地装配；驱动装置，其用于驱动刷子，以去除蓄积在过滤器内表面上的浮游物；排出管，其用于将从过滤器内表面上被刷子刷落的浮游物排放到外部。
此外，过滤器呈圆筒状，而驱动装置为旋转电动机，且安装在箱体的一端，排出管则安装在箱体的另一端，而且刷子可以是螺旋状，用于将从过滤器内表面被刷落的浮游物移送至排出管。
而且，排出单元可进一步包括：检测装置，其用于测出蓄积在过滤器内表面上的浮游物清除时机；控制装置，其根据检测装置测得的数据来控制驱动装置。
另外，检测装置还可以是安装在流出管上的流量传感器。
而且，控制装置还可以包括根据设定程序运行的至少一个微处理器，且设定程序可执行以下步骤：
比较由所述流量传感器所测得的检测流量与设定流量，及
当所述检测流量大于所述设定流量时启动驱动装置。
此外，为防止浮游物通过排出管随时被排出到外部，排出单元可进一步包括阀门，而所述设定程序可进一步执行，从所述驱动装置被启动起预定时间之后打开阀门的步骤。
另外，所述工作腔室可以是用于将已完成显影的光致抗蚀剂从蒸镀膜剥离的腔室，而工作流体可以为剥离液，浮游物则可以是未被剥离液溶解而残存的光致抗蚀剂颗粒。
此外，过滤器可由不锈钢材料制成。
采用本发明可不会直接向过滤装置通过含有浮游物的工作流体，而是通过浮游物过滤单元除去浮游物之后，再将经过过滤的工作流体通过过滤装置，因此可延长过滤装置的使用寿命，进而可缩短过滤装置的更换周期，从而降低费用。
附图说明
图1是本发明一实施例所涉及的显示装置制造系统的概略示意图。
图2是图1所示显示装置制造系统之浮游物过滤单元示意图。
图3是用以说明图2所示浮游物过滤单元中的流量传感器、控制装置、旋转电动机、阀门之间关系的方框图。
图中：
300：工作腔室
100：浮游物过滤单元
110：箱体
120：过滤器
130：流入管
140：流出管
150：排出单元
151：刷子
152：驱动装置
153：排出管
154：阀门
155：检测装置(流量传感器)
156：控制装置
500：过滤装置
700：流体储存槽
900：浮游物储存槽
具体实施方式
下面，参照附图，在本领域技术人员能够实施本发明实施例的范围内进行详细说明。但本发明并不局限于下述实施例。
图1是本发明一实施例所涉及的显示装置制造系统示意图。
如图1所示，显示装置制造系统包括：工作腔室300、浮游物过滤单元100、过滤装置500、流体储存槽700。
在工作腔室300中，利用工作流体去除形成在显示面板(未图示)上的工作层中多余部分。例如，工作腔室300可以是利用剥离液从蒸镀膜层剥离已完成显影的光致抗蚀剂的腔室。此时，所述工作腔室300是从蒸镀膜层(未图示)剥离已完成显影的光致抗蚀剂的剥离腔室，而所述工作流体可以是剥离液。又如，工作腔室300可以是利用显影液进行显影的腔室。
浮游物过滤单元100接收工作腔室300所排出的工作流体，并滤除工作流体中所包含的浮游物。尤其是，当工作腔室300为所述剥离腔室时，浮游物是未被剥离液溶解而残存的光致抗蚀剂微粒。
过滤装置500接收由浮游物过滤单元100排出的工作流体(已滤除工作层浮游物，只含有工作层成分)，并滤除工作流体中的工作层成分。
流体储存槽700用于储存通过过滤装置500已滤除工作层成分的工作流体。尤其是，能够再利用储存于流体储存槽700的工作流体。浮游物储存槽900用于储存浮游物。
下面，参照图2详细说明所述浮游物过滤单元100。
图2表示本发明一实施例所涉及的显示装置制造系统之浮游物过滤单元100。
如图2所示，所述浮游物过滤单元100包括：箱体110、过滤器120、流入管130、流出管140、排出单元150。
箱体110内部形成有主腔室111。
过滤器120安装在主腔室111内，其内部形成有辅助腔室121，而且其表面上还形成有至少两个网眼122。所述网眼122的直径根据浮游物(未图示)的大小，可以设定为几μm至几百μm。而且，为防止浮游物粘着在表面上，过滤器120可由光滑的不锈钢材料制成。
流入管130将从工作腔室(参照图1的300)排出的含有浮游物的工作流体导入到过滤器120的辅助腔室121。具体而言，流入管130安装于箱体110上，且与过滤器120的辅助腔室121相通。
流出管140将通过过滤器120过滤的工作流体导入到过滤装置500。具体而言，流出管140安装于箱体110的底部，并且与主腔室111连通。排出单元150将未能通过过滤器120的浮游物排放到浮游物储存槽900中。
下面，参照图2详细说明所述排出单元150。
排出单元150包括刷子151、驱动装置152、排出管153。未能通过过滤器120的浮游物蓄积在过滤器120内表面上，为了顺利清除蓄积在过滤器120内表面上的浮游物，与过滤器120内表面可接触地装配刷子151。
驱动装置152用于驱动刷子151，以去除积累在过滤器120内表面上的浮游物。排出管153将从过滤器120内表面被刷落的浮游物导入浮游物储存槽900中。
尤其是，为了通过排出单元150更加顺利地将蓄积在过滤器120内表面上的浮游物移送到浮游物储存槽900，最好将过滤器120设成圆筒状；驱动装置152为旋转电动机，且安装于箱体110的一端；排出管153位于箱体110的另一端；刷子151呈螺旋状，使其能够将从过滤器内表面被刷落的浮游物移送至排出管153。
而且，为防止浮游物通过排出管153随时被排放到浮游物储存槽900，排出单元150可进一步包括安装在排出管153上的阀门154。
下面，参照图3进一步详细说明所述排出单元150。尤其是，可将排出单元150设计成能够自动控制的装置。
图3是用于表示本发明一实施例所涉及的显示装置制造系统之浮游物过滤单元中流量传感器、控制装置、旋转电动机、阀门之间关系的方框图
即，排出单元150可进一步包括检测装置155和控制装置156。具体而言，所述检测装置155用于测出蓄积在过滤器120内表面上的浮游物清除时机，作为所述检测装置155可使用流量传感器。控制装置156根据检测装置155测得的数据来控制驱动装置152。
所述控制装置156可以是根据设定程序运行的至少一个微处理器，而所述设定程序包括可执行下述各步骤的一系列指令。
首先，由控制装置156比较流量传感器155测得的检测流量与设定流量。当检测流量大于设定流量时，控制装置156就会启动驱动装置152。
而且，从驱动装置152被启动起经过设定时间以后，控制装置156将打开安装在排出管153上的阀门154，并把被刷子151刷落的浮游物排放到浮游物储存槽900中。
另外，虽然图3中未图示，浮游物过滤单元100还可采用将含有浮游物的工作流体灌入储存槽中，使浮游物沉淀的方式。
虽然在上面详细说明了本发明的优选实施例，但本发明所要求保护的范围并不局限于此，在本发明技术思想的基础上所作之各种修饰及变更，均属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种显示装置制造系统，其特征在于，包括：
工作腔室，在其内部利用工作流体去除形成在显示面板上的工作层中多余部分；
浮游物过滤单元，其接收工作腔室所排出的工作流体，并滤除含在所述工作流体中、并由所述工作层产生的浮游物；
过滤装置，其接收浮游物过滤单元所排出的工作流体，并滤除含在所述工作流体中的所述工作层成分；
流体储存槽，其用于储存通过过滤装置滤除工作层成分后的工作流体。
2.根据权利要求1所述的显示装置制造系统，其特征在于：
所述浮游物过滤单元包括：
箱体，其内部形成有主腔室；
过滤器，其安装在所述主腔室内，且内部形成有辅助腔室，且其表面上形成有至少两个网眼；
流入管，其用于将从工作腔室排出的含有浮游物的工作流体导入所述辅助腔室；
流出管，其用于将通过过滤器的工作流体导入过滤装置；
排出单元，其用于将未通过过滤器的浮游物排放到外部。
3.根据权利要求2所述的显示装置制造系统，其特征在于：
所述排出单元包括：
刷子，其与过滤器内表面可接触地装配；
驱动装置，其用于驱动刷子，而刷子则用于去除蓄积在过滤器内表面的浮游物；
排出管，其用于将从过滤器内表面被刷落的浮游物排放到外部。
4.根据权利要求3所述的显示装置制造系统，其特征在于：
所述过滤器为圆筒状；
所述驱动装置为旋转电动机，且位于箱体的一端；
所述排出管位于箱体的另一端；
所述刷子为螺旋状，其用于将从过滤器内表面被刷落的浮游物移送到排出管。
5.根据权利要求3所述的显示装置制造系统，其特征在于，
所述排出单元进一步包括：
检测装置，其用于测出蓄积在过滤器内表面的浮游物清除时机；
控制装置，其根据检测装置测得的数据来控制驱动装置。
6.根据权利要求5所述的显示装置制造系统，其特征在于，
所述检测装置为安装在流出管上的流量传感器。
7.根据权利要求6所述的显示装置制造系统，其特征在于，
所述控制装置包括根据设定程序运行的至少一个微处理器，
所述设定程序执行以下步骤：
比较由所述流量传感器所测得的流量和设定流量，
当所述流量大于设定流量时启动所述驱动装置。
8.根据权利要求7所述的显示装置制造系统，其特征在于，
所述排出单元进一步包括安装在排出管上的阀门，所述阀门用于防止浮游物通过排出管随时被排放到外部，
所述设定程序进一步执行以下步骤：
从所述驱动装置被启动起预定时间以后打开阀门。
9.根据权利要求2所述的显示装置制造系统，其特征在于，
所述工作腔室为剥离腔室，其用于从蒸镀膜层剥离已完成显影的光致抗蚀剂；
所述工作流体为剥离液；
所述浮游物是未被剥离液溶解而残存的光致抗蚀剂微粒。
10.根据权利要求9所述的显示装置制造系统，其特征在于，
所述过滤器由不锈钢材料制成。
CNA2007100903323A 2006-04-04 2007-04-04 显示装置制造系统 Pending CN101051191A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060030597A KR20070099310A (ko) 2006-04-04 2006-04-04 평판 표시 장치의 제조 시스템
KR1020060030597 2006-04-04

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101051191A true CN101051191A (zh) 2007-10-10

Family

ID=38682544

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2007100903323A Pending CN101051191A (zh) 2006-04-04 2007-04-04 显示装置制造系统

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2007281467A (zh)
KR (1) KR20070099310A (zh)
CN (1) CN101051191A (zh)
TW (1) TW200801669A (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101399163B1 (ko) * 2012-04-30 2014-05-27 엘지디스플레이 주식회사 표시장치의 박리장치 및 이를 이용한 박리방법
CN108054119B (zh) * 2017-12-06 2021-03-23 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 用于剥离工艺的剥离液机台及其工作方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW200801669A (en) 2008-01-01
JP2007281467A (ja) 2007-10-25
KR20070099310A (ko) 2007-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1122480C (zh) 清洗用旋转刷
CN1820230A (zh) 蚀刻构图的硅氧烷层的方法
CN1240264C (zh) 零件安装方法及零件安装装置以及存储介质
US10605525B2 (en) Cleaning device and cleaning method
CN1712567A (zh) 酸性蚀刻液再生方法和酸性蚀刻液再生装置
CN1672245A (zh) 基板处理装置及其基板处理方法
CN101068630A (zh) 基于双溶剂的精密组件清洗方法、设备及系统
CN1859966A (zh) 外压式中空纤维膜组件
CN101051191A (zh) 显示装置制造系统
CN1960814A (zh) 排水管清洗方法和排水管清洗装置
CN1790142A (zh) 液晶显示装置的制造方法及用该方法制造的液晶显示装置
CN1991594A (zh) 显影溶液回收处理方法以及显影溶液回收处理装置
CN1974459A (zh) 溶剂回收系统
CN1915869A (zh) 污泥脱水系统及压滤式污泥脱水机的滤布自动清洗方法
CN104614834A (zh) 曝光机自动更换滤波片装置及曝光机
CN1294275C (zh) 生化学分析用单元的制造方法
US20150047674A1 (en) Method and apparatus for removal of photoresist using improved chemistry
JP5496586B2 (ja) 印刷版の製造方法および製造装置
CN101596535A (zh) 一种滴灌带的超声波清洗装置及清洗方法
CN1315243C (zh) 制造主轴马达的方法
CN1652666A (zh) 制造布线衬底的方法及制造电子装置的方法
CN1285394C (zh) 有机废气的处理方法及装置
CN1930414A (zh) 流体供应装置以及具有该流体供应装置的燃料电池系统
CN1917216A (zh) 存储器结构及其制造方法
CN1940151A (zh) 含光触媒的短纤维及其制法及利用其的受污染流体净化方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Open date: 20071010