CN104614834A - 曝光机自动更换滤波片装置及曝光机 - Google Patents

曝光机自动更换滤波片装置及曝光机 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种曝光机自动更换滤波片装置，用于装夹至少一个滤光片，所述曝光机自动更换滤波片装置包括支架、装于支架的转轴、驱动元件及至少一个夹爪，至少一个夹爪用于装夹所述滤光片；所述转轴外周缘相对应所述至少一个夹爪装有延伸臂，所述至少一个夹爪装于延伸臂上，所述驱动元件驱动所述转轴带动所述延伸臂转动，进而带动所述滤光片转动。本发明还提供一种曝光机。

Description

曝光机自动更换滤波片装置及曝光机
技术领域
本发明涉及一种曝光机自动更换滤波片装置及曝光机。
背景技术
液晶显示装置的TFT基板及CF基板在制作过程中需要进行多次曝光处理形成需要的图层。现有技术中的通过曝光机进行曝光。在曝光制程中，根据光阻特性等不同因素需要更换滤光片，在更换过程中需要先对曝光机的光照灯进行熄灯，冷却后再通过手动装卸滤光片，如此操作步进浪费作业时间，而且熄灯次数较多，减少光照灯的使用寿命。
发明内容
本发明的目的在于提供一种节省作业时间的曝光机自动更换滤波片装置及曝光机。
本发明提供一种曝光机自动更换滤波片装置，用于装夹至少一个滤光片，所述曝光机自动更换滤波片装置包括支架、装于支架的转轴、驱动元件及至少一个夹爪，至少一个夹爪用于装夹所述滤光片；所述转轴外周缘相对应所述至少一个夹爪装有延伸臂，所述至少一个夹爪装于延伸臂上，所述驱动元件驱动所述转轴带动所述延伸臂转动，进而带动所述滤光片转动。
其中，所述夹爪为四个，相应所述转轴上装设有四个延伸臂。
其中，所述驱动元件为驱动马达。
其中，所述四个延伸臂呈十字形设置。
本发明还提供一种曝光机，其包括微透镜阵列、多个滤光片及曝光机自动更换滤波片装置，所述曝光机自动更换滤波片装置包括支架、装于支架的转轴、驱动元件及至少一个夹爪，至少一个夹爪用于装夹所述滤光片；所述转轴外周缘相对应所述至少一个夹爪装有延伸臂，所述至少一个夹爪装于延伸臂上，所述曝光机自动更换滤波片装置装于所述微透镜阵列的出光方向，所述夹爪上的滤光片与所述微透镜阵列相对设置，所述驱动元件驱动所述转轴带动所述延伸臂转动，进而带动所述滤光片转动，实现更换相对应所述微透镜阵列的滤光片。
其中，所述驱动元件为驱动马达。
其中，所述曝光机包括控制装置、集光镜、装于所述集光镜的光照灯、及反光镜组，集光镜用于聚光并通过反光镜组传递光线，所述控制装置用于控制所述微透镜阵列、曝光机自动更换滤波片装置、集光镜及反光镜组工作。
其中，所述集光镜包括聚光面，所述聚光面上装有光照灯，光照灯光线通过聚光面聚光及传递。
其中，所述反光镜组包括第一反光镜、第二反光镜及第三反光镜，所述第一反光镜与所述聚光面相对，所述第二反光镜接收所述第一反光镜反射的光线并将光传递给所述第三反光镜，所述第三反光镜发射出曝光所用光线。
其中，所述曝光机包括控制装置与所述微透镜阵列位于所述第一反光镜与所述第二反光镜之间，并且所述曝光机的滤光片位于所述第二反光镜与所述微透镜阵列之间。
本发明所述的曝光机在工作工程中需要更换滤光片时，只需要驱动转轴162带动所述延伸臂转动，进而带动所述滤光片转动，使所述需要的滤光片对准所述微透镜阵列，实现自动更换滤波片，节省作业时间。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明较佳实施例的曝光机的示意图。
图2是图1所示的本发明的曝光机的自动更换滤波片装置示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明佳实施方式提供一种曝光机及曝光机自动更换滤波片装置。所述曝光机用于多CF基板或者TFT基板的图形进行曝光。所述曝光机自动更换滤波片装置用于自动更换滤光片，实现对用不同几班的光阻及时更换滤波片。本实施例中以制造CF基板为例进行说明曝光机工作原理。
请参阅图1与图2，其中，图一所示的标注II所指部分为曝光机自动更换滤波片装置16(见图2)的示意图。所述曝光机包括装在CF基板20的工作台10、控制装置(图未示)、集光镜12、反光镜组(图未标)、装于集光镜12的光照灯13、微透镜阵列14、多个滤光片15及曝光机自动更换滤波片装置16。所述集光镜12用于聚光并通过反光镜组传递光线。所述控制装置用于控制所述微透镜阵列14、曝光机自动更换滤波片装置16、集光镜12及反光镜组工作。
本实施例中，所述曝光机还包括收容控制装置(图未示)、集光镜12、反光镜组(图未标)、装于集光镜12的光照灯13、微透镜阵列14、多个滤光片15及曝光机自动更换滤波片装置16的箱体(图未标)。所述集光镜12为弧形结构，其包括圆弧形的聚光面121。所述聚光面121上装有所述光照灯13。光照灯13的光线通过聚光面121聚光并传递出所述集光镜12。
所述反光镜组包括第一反光镜111、第二反光镜112及第三反光镜113。所述第一反光镜111与所述聚光面121相对，所述第二反光镜112接收所述第一反光镜111反射的光线并将光传递给所述第三反光镜113，所述第三反光镜113发射出曝光所用光线。本实施例中，所述第二反光镜112具有弧形的反光面1121。所述第一反光镜111与第三反光镜113倾斜设置并相互平行。所述第三反光镜113的反射面(图为标)朝向所述CF基板设有光阻的表面。并且位于CF基板20的光阻与所述第三反光镜113之间还设有光罩治具(图未示)。
本实施例中，所述微透镜阵列14位于所述第一反光镜111与所述第二反光镜112之间，并且所述滤光片位于所述第二反光镜112与所述微透镜阵列14之间。
本实施例中，所述曝光机自动更换滤波片装置包括支架161、装于支架161的转轴162、驱动元件(图未示)及至少一个夹爪165。至少一个夹爪165用于装夹所述滤光片15。所述转轴162外周缘相对应所述至少一个夹爪165装有延伸臂164，所述至少一个夹爪165装于延伸臂164上，所述驱动元件驱动所述转轴162带动所述延伸臂164转动，进而带动所述滤光片15转动。
本实施例中，所述夹爪165为四个，相应所述转轴162上装设有四个延伸臂164。并且所述四个延伸臂呈十字形设置在所述转轴外周面上。所述驱动元件为驱动马达。
在其它实施例中，所述夹爪165为1个，用于曝光机上，在需要装夹所述滤光片和不需要装夹滤光片时方便更换。
本发明所述的曝光机在工作工程中需要更换滤光片15时，只需要驱动转轴162带动所述延伸臂164转动，进而带动所述滤光片15转动，使所述需要的滤光片15对准所述微透镜阵列14，实现自动更换滤波片，节省作业时间。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种曝光机自动更换滤波片装置，用于装夹至少一个滤光片，其特征在于，所述曝光机自动更换滤波片装置包括支架、装于支架的转轴、驱动元件及至少一个夹爪，至少一个夹爪用于装夹所述滤光片；所述转轴外周缘相对应所述至少一个夹爪装有延伸臂，所述至少一个夹爪装于延伸臂上，所述驱动元件驱动所述转轴带动所述延伸臂转动，进而带动所述滤光片转动。
2.如权利要求1所述的曝光机自动更换滤波片装置，其特征在于，所述夹爪为四个，相应所述转轴上装设有四个延伸臂。
3.如权利要求1或2所述的曝光机自动更换滤波片装置，其特征在于，所述驱动元件为驱动马达。
4.如权利要求3所述的曝光机自动更换滤波片装置，其特征在于，所述四个延伸臂呈十字形设置。
5.一种曝光机，其包括微透镜阵列、多个滤光片及曝光机自动更换滤波片装置，其特征在于，所述曝光机自动更换滤波片装置包括支架、装于支架的转轴、驱动元件及至少一个夹爪，至少一个夹爪用于装夹所述滤光片；所述转轴外周缘相对应所述至少一个夹爪装有延伸臂，所述至少一个夹爪装于延伸臂上，所述曝光机自动更换滤波片装置装于所述微透镜阵列的出光方向，所述夹爪上的滤光片与所述微透镜阵列相对设置，所述驱动元件驱动所述转轴带动所述延伸臂转动，进而带动所述滤光片转动，实现更换相对应所述微透镜阵列的滤光片。
6.如权利要求5所述的曝光机，其特征在于，所述驱动元件为驱动马达。
7.如权利要求6所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机包括控制装置、集光镜、装于所述集光镜的光照灯、及反光镜组，集光镜用于聚光并通过反光镜组传递光线，所述控制装置用于控制所述微透镜阵列、曝光机自动更换滤波片装置、集光镜及反光镜组工作。
8.如权利要求7所述的曝光机，其特征在于，所述集光镜包括聚光面，所述聚光面上装有光照灯，光照灯光线通过聚光面聚光及传递。
9.如权利要求8所述的曝光机，其特征在于，所述反光镜组包括第一反光镜、第二反光镜及第三反光镜，所述第一反光镜与所述聚光面相对，所述第二反光镜接收所述第一反光镜反射的光线并将光传递给所述第三反光镜，所述第三反光镜发射出曝光所用光线。
10.如权利要求9所述的曝光机，其特征在于，所述曝光机包括控制装置与所述微透镜阵列位于所述第一反光镜与所述第二反光镜之间，并且所述曝光机的滤光片位于所述第二反光镜与所述微透镜阵列之间。
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