KR100588053B1 - 유리기판용 노광장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유리기판의 표면에 형성된 감광막의 특정부위를 제거하기 위한 노광장치에 관한 것으로, 그 목적은 유리기판의 크기와 상응하는 대형 광원램프를 이용하여 유리기판 및 패널셀의 주변부에 형성된 감광막에 빛을 직접 조사함으로써, 장치의 구성을 간소화함과 동시에 노광에 소요되는 시간을 단축할 수 있도록 한 유리기판용 노광장치를 제공함에 있다.

이에 본 발명은 유리기판 및 패널셀 주변부의 불필요한 감광막을 노광하기 위한 유리기판용 노광장치에 있어서, 상기 유리기판을 거치하는 테이블과, 상기 테이블의 상측에 위치하며 상기 유리기판의 크기에 상응하는 길이로 형성되어 그 길이만큼을 동시에 노광할 수 있는 주변노광유닛을 포함하되, 상기 주변노광유닛은 케이스와, 상기 케이스의 내부에 장착되는 광원램프와, 상기 광원램프의 상측에 구비되어 발산된 빛을 하향으로 반사하는 반사미러와, 상기 광원램프의 하측에 구비되어 상기 유리기판상에 조사되는 광폭을 조절하는 조리개를 포함하는 것을 특징으로 한다.

유리기판, 노광, 주변, 시간

Description

유리기판용 노광장치{STEPPER FOR GLASS-SUBSTRATE}

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 노광장치의 사시도.

도 2는 도 1의 A-A'선에 대한 단면도.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 노광장치의 평면도.

도 4는 본 발명에 따른 조리개의 폭조절부에 대한 개략도.

도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 요부 단면도.

도 6은 종래기술에 따른 노광장치의 사시도.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : 주변노광유닛 11 : 케이스

12 : 광원램프 13 : 반사미러

14a,14b : 조리개 20a,20b : 제1,2 구동부

30 : 구동수단 40 : 렌즈부

T : 테이블 S : 유리기판

P : 패널셀 PR : 감광막

본 발명은 유리기판의 표면에 형성된 감광막의 특정부위를 제거하기 위해 빛을 조사하는 유리기판용 노광장치에 관한 것이다.

일반적으로 유리기판은 액정표시장치(LCD)에 사용되는데, 상기 액정표시장치는 두장의 유리기판 사이에 액정을 충진하고 투명한 전극을 통해 전압을 가하여 액정분자의 배열방향을 바꾸어 빛을 통과 또는 반사하도록 함으로써 시각정보를 표시하는 장치이다.

이때, 상기 유리기판의 표면에는 정밀한 회로패턴을 형성해야 한다. 이를 위해 유리기판의 표면에 감광막(PR)을 형성하고, 회로패턴이 형성된 마스크를 이용하여 특정부분을 자외선에 노출(노광공정)시킨 후, 노광에 의해 변형된 감광막을 세정액으로 제거(현상공정)하는 포토에칭 작업을 거치게 된다.

한편, 회로패턴이 형성되지 않는 부분 즉, 가장자리에 형성된 감광막은 상기와 같은 노광공정 및 현상공정을 통해 제거해야 한다. 대한민국 특허출원 제2000-70953호에는 이와 같은 가장자리의 감광막을 노광하기 위한 노광장치에 대한 기술이 개시된 바 있다.

도 6은 종래의 일 예를 보인 사시도이다. 도시된 바와 같이, 테이블(T)상에 고정되는 유리기판(S)의 표면에는 다수개의 패널셀(P)이 분할 형성된다. 상기 유리기판 및 패널셀의 주변부에 형성된 감광막을 노광하는 노광장치는 상기 테이블의 상측에 설치되는 가이드대(100)와, 상기 가이드대상에 이송가능하게 설치되는 주변노광유닛(200)과, 광섬유(300)를 통해 상기 주변노광유닛으로 빛을 공급하는 광원(미도시)을 포함하여 구성된다.

이때, 상기 주변노광유닛(200)은 별도의 구동 및 제어수단에 의해 가이드대(100)상을 왕복운동하면서 유리기판(S)의 주변부에 형성된 불필요한 감광막을 노광하게 된다.

상기와 같은 종래의 노광장치는 유리기판 및 패널셀의 주변부에 형성된 감광막을 전부 노광하기 위해 테이블을 이동 및 회전시키며 노광작업을 수행해야 한다. 그러나, 유리기판이 갈수록 대형화되고 있는 현실에 비추어 볼 때, 유리기판을 고정한 테이블의 이동 및 회전을 위해서는 노광장치가 보다 대형화되어야 하는 것은 물론 작업효율이 현저하게 저하되는 문제점이 있었다.

또한, 주변노광유닛이 일정구간을 반복적으로 이동하면서 노광작업을 수행하기 때문에, 장시간 작동시 피로에 의해 광섬유가 열화되어 내면에 크랙이 발생될 우려가 있었으며, 이에 따라 광섬유를 주기적으로 교체해야 하는 문제점이 있었다.

한편, 주변노광유닛의 이송을 위한 구동 및 제어수단이 구비되어 구성이 매우 복잡할 뿐만 아니라, 이동시 발생되는 진동으로 인해 상기 주변노광유닛에 내장된 정밀부품인 렌즈나 필터 등이 손상되어 수명이 단축되는 등 많은 문제점이 있었다.

이에, 본 발명은 상술한 바와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 유리기판의 크기와 상응하는 대형 광원램프를 이용하여 유리기판 및 패널셀의 주변부에 형성된 감광막에 빛을 직접 조사함으로써, 장치의 구성을 간소화함과 동시에 노광에 소요되는 시간을 단축할 수 있도록 한 유리기판용 노광장치를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 유리기판이 거치된 테이블을 이동할 필요없이 노광작업을 신속하게 수행할 수 있도록 한 유리기판용 노광장치를 제공함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 조리개 사이의 간격을 조절하여 유리기판상의 조사면적을 조절할 수 있도록 한 유리기판용 노광장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 목적을 이루기 위해 본 발명은 유리기판 및 패널셀 주변부의 불필요한 감광막을 노광하기 위한 유리기판용 노광장치에 있어서, 상기 유리기판을 거치하는 테이블과, 상기 테이블의 상측에 위치하며 상기 유리기판의 크기에 상응하는 길이로 형성되어 그 길이만큼을 동시에 노광할 수 있는 주변노광유닛을 포함하되, 상기 주변노광유닛은 케이스와, 상기 케이스의 내부에 장착되는 광원램프와, 상기 광원램프의 상측에 구비되어 발산된 빛을 하향으로 반사하는 반사미러와, 상기 광원램프의 하측에 구비되어 상기 유리기판상에 조사되는 광폭을 조절하는 조리개를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상술한 본 발명의 양상은 첨부된 도면을 참조하여 설명되는 바람직한 실시예들을 통하여 더욱 명백해질 것이다. 이하에서는 바람직한 실시예를 통해 당업자가 본 발명을 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 노광장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A'선에 대한 단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 노광장치는 유리기판(S)과 그 표면에 형성된 다수개의 패널셀(P) 주변부의 불필요한 감광막을 노광하 기 위한 것으로, 유리기판을 거치하는 테이블(T)과, 상기 테이블의 상측에 위치하며 상기 유리기판의 크기에 상응하는 길이로 형성되어 그 길이만큼을 동시에 노광할 수 있는 주변노광유닛(10)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 주변노광유닛(10)은 케이스(10)와, 상기 케이스의 내부에 장착되는 광원램프(12)와, 상기 광원램프의 상측에 구비되어 발산된 빛을 하향으로 반사하는 반사미러(13)와, 상기 광원램프의 하측에 구비되어 상기 유리기판상에 조사되는 광폭을 조절하는 조리개(14a,14b)로 구성된다.

이에 따라, 테이블(T)이 지정된 위치에 셋팅되면 광원램프(12)가 점등되고, 발산된 빛은 조리개(14a,14b)의 사이를 통과하여 유리기판(S)의 일측 주변부에 형성된 감광막(PR)을 동시에 노광하게 된다.

한편, 도 1에 도시된 바와 같이 주변노광유닛(10)을 유리기판(S)의 세로축 및 가로축에 각각 대응되도록 제1노광유닛(10a)과 제2노광유닛(10b)으로 구성할 수 있다.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 노광장치의 평면도이다. 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 노광장치는 상술한 제1 실시예의 구성을 모두 포함하며, 특히 상기 주변노광유닛(10)은 유리기판(S)의 세로축 및 가로축에 각각 대응되는 제1노광유닛(10a)과 제2노광유닛(10b)으로 구성되고, 상기 제1노광유닛을 가로방향으로 구동하기 위한 제1구동부(20a)와, 상기 제2노광유닛을 세로방향으로 구동하기 위한 제2구동부(20b)가 더 구비된 것을 특징으로 한다.

즉, 제1 및 제2노광유닛(10a)(10b)을 유리기판(S)상에서 각각 가로 및 세로 방향으로 이송할 수 있도록 구성하고, 제어부를 통해 제1 및 제2구동부(20a)(20b)를 각각 제어하여 지정된 위치에서 정확히 노광작업을 수행할 수 있도록 구성한다.

이에 따라, 테이블(T)을 이동시킬 필요없이 유리기판(S) 및 패널셀(P) 주변부의 감광막을 신속하게 노광할 수 있게 된다. 한편 상기 제1,2구동부(20a)(20b) 및 제어부는 당업자라면 공지수단을 이용하여 다양한 방식으로 용이하게 실시할 수 있는 기술이므로 상세한 설명을 생략하기로 한다.

도 1 및 도 3에서는 주변노광유닛(10)을 유리기판(S)의 가로축과 세로축에 대응되도록 각각 하나씩 설치한 것이나, 가로축 혹은 세로축에 하나만 설치하고 테이블(T)을 90도로 회전시키는 방식으로도 노광작업을 수행할 수 있다. 또한 주변노광유닛(10)은 고정하고 테이블(T)을 이동 및 회전시키면서 노광작업을 수행할 수도 있음은 자명할 것이다.

도 4는 본 발명에 따른 조리개의 폭조절부에 대한 개략도로서, 케이스(11)의 하부에 구비된 조리개(14a,14b) 사이의 간격(D)을 조절하여, 유리기판(S)상의 조사면적을 조절하는 폭조절부를 설명한다.

도시된 바와 같이, 폭조절부는 각각의 조리개(14a,14b)를 수평방향으로 이송하는 구동수단(30)과, 상기 구동수단의 작동을 제어하는 제어부로 구성되며, 사용자는 상기 제어부를 통해 상기 조리개를 동시에 전,후진시킴으로써 그 사이의 간격(D)을 정밀하게 조절할 수 있다.

상기와 같이 조리개(14a,14b) 사이의 간격을 조절하면 광원램프의 위치 또는 조리개와 유리기판 사이의 간격 등을 조정할 필요없이 유리기판상의 조사면적을 손 쉽게 조절할 수 있게 된다.

한편, 본 실시예에서는 조리개의 구동수단으로 실린더장치를 이용하였으나, 모터를 이용한 장치를 포함하여 산업에서 이용되고 있는 다양한 구동수단이 적용가능하며, 이는 당업자가 용이하게 채택하여 실시할 수 있는 것이다.

도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 요부 단면도이다. 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 노광장치는 상술한 제1 실시예 또는 제2 실시예의 구성을 모두 포함하며, 특히 케이스(11)의 내부에 광원램프(20)의 하측으로 집광용 렌즈부(40)가 더 구비된 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 광원램프(12)에서 발산된 빛은 렌즈부(40)를 통해 1차적으로 집광된 상태로 조리개(14a,14b)의 사이를 통과하게 됨으로써, 상기 제1 실시예와 같이 유리기판상에 빛을 직접 조사하는 방식에 비해 빛의 퍼짐이 감소되어 집광이 보다 효율적으로 이루어지게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명은 유리기판의 크기와 대응되는 대형 광원램프를 이용하여 빛을 직접 조사함으로써, 종래와는 달리 노광에 필요한 구성이 간소화됨에 따라 제조원가가 절감되며, 광원램프를 제외한 모든 부품을 반영구적으로 사용할 수 있으므로 유지비용을 절감할 수 있는 효과를 가진다.

아울러, 빛의 조도 및 조사면적이 증가되어 노광시간이 단축됨으로써, 유리기판이 갈수록 대형화되고 있는 현실에 비추어 볼 때 작업효율을 현저하게 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

또한, 주변노광유닛을 유리기판상의 가로 및 세로방향에 각각 설치하고 이를 이동시키면서 노광작업을 수행하도록 구성하여, 테이블의 위치를 고정한 상태에서 노광작업을 신속하게 수행할 수 있으므로, 테이블의 이동에 따른 문제점을 해소할 수 있음은 물론 작업효율을 더욱 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

또한, 조리개 사이의 간격을 조절하는 폭조절부를 구비하여 유리기판상의 조사면적을 필요에 따라 조절할 수 있으므로, 테이블을 움직이거나 다른 부품의 위치를 조정할 필요없이 신속하게 노광작업을 수행할 수 있는 효과를 가진다.

또한, 조리개와는 별도로 집광용 렌즈부를 구비하여 빛을 집광함으로써, 유리기판상에 빛을 직접 조사하는 방식에 비해 빛의 퍼짐이 감소되어 집광이 보다 효율적으로 이루어지게 된다.

한편, 본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.

Claims (5)

1. 유리기판(S) 및 패널셀(P) 주변부의 불필요한 감광막을 노광하기 위한 유리기판용 노광장치에 있어서,

   상기 유리기판을 거치하는 테이블(T)과, 상기 테이블의 상측에 위치하며 상기 유리기판의 크기에 상응하는 길이로 형성되어 그 길이만큼을 동시에 노광할 수 있는 주변노광유닛(10)을 포함하되,

   상기 주변노광유닛은 케이스(10)와, 상기 케이스의 내부에 장착되는 광원램프(12)와, 상기 광원램프의 상측에 구비되어 발산된 빛을 하향으로 반사하는 반사미러(13)와, 상기 광원램프의 하측에 구비되어 상기 유리기판상에 조사되는 광폭을 조절하는 조리개(14a,14b)를 포함하고;

   상기 주변노광유닛(10)은 상기 유리기판(S)의 세로축에 대응되는 적어도 하나 이상의 제1노광유닛(10a)과, 가로축에 대응되는 적어도 하나 이상의 제2노광유닛(10b)을 포함하며;

   상기 제1노광유닛을 가로방향으로 구동하기 위한 제1구동부(20a)와, 상기 제2노광유닛을 세로방향으로 구동하기 위한 제2구동부(20b)를 더 포함하고;

   상기 조리개(14a,14b) 사이의 간격을 조절하기 위하여 조리개(14a,14b)를 수평으로 이송하는 구동수단(30)과, 상기 구동수단의 작동을 제어하는 제어부로 구성된 폭조절부가 더 구비되며;

   상기 케이스(11)의 내부에는 상기 광원램프(12)의 하측으로 집광용 렌즈부(40)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 유리기판용 노광장치.
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