KR101266612B1 - 노광장치 - Google Patents

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KR101266612B1
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Abstract

본 발명은 액정표시장치의 제조공정에 사용되는 노광장치에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은 울트라 미러로부터 탈부착이 용이한 광투과 박막을 울트라 미러의 하단에 장착된 광학렌즈와 기판 사이에 위치시킴으로써, 기판으로부터 증발된 포토레지스트 증기가 상기 광학렌즈에 증착되는 것을 방지할 수 있는 노광장치를 제공하는 것이다. 이러한 노광장치는 포토레지스트 도포 공정을 거친 기판에 노광을 위한 빛을 발산시키기 위한 광원; 및 상기 광원으로부터 발산된 빛의 촛점을 거울을 이용하여 맞추어 상기 기판으로 출사기키기 위한 울트라 미러를 포함하며, 상기 울트라 미러는, 상기 광원으로부터 발산된 빛의 촛점을 맞추기 위한 거울들과; 상기 거울들이 실장되어 있는 울트라 미러 프레임과; 상기 울트라 미러 프레임의 면들 중, 상기 울트라 미러 프레임의 하단에 위치하는 스테이지에 놓여진 기판과 대면하는 면에 형성되어 상기 거울들로부터 반사된 빛이 상기 기판으로 향할 수 있도록 하기 위한 광학렌즈와; 상기 기판으로부터 증발되어 상기 광학렌즈로 진행되는 포토레지스트를 차단시키기 위해 상기 울트라 미러 프레임에 탈부착이 가능하도록 상기 광학렌즈와 상기 기판 사이에 삽입되는 포토레지스트 차단부를 포함한다.

Description

노광장치{EXPOSURE APPARATUS}
도 1은 일반적인 액정표시장치의 액정패널을 나타낸 예시도.
도 2는 일반적인 노광장치의 일실시예 사시도.
도 3은 일반적인 노광장치의 일실시예 측면도.
도 4는 본 발명에 따른 노광장치의 일실시예 측면도.
도 5는 본 발명에 따른 노광장치 중 포토레지스트 차단부를 나타낸 예시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
11 : 기판 20 : 스테이지
40 : 광원 30, 50 : 울트라 미러
33, 53 : 사다리꼴 거울 34, 54 : 볼록 거울
35, 55 : 오목 거울 36, 56 : 마스크
31, 51 : 광학렌즈 60 : 포토레지스트 차단부
61 : 광투과 박막 62 : 광투과 박막 프레임
63 : 광투과 박막 프레임 고정기 62a, 62b : 프레임
64 : 프레임 고정기 65 : 홈
본 발명은 액정표시장치의 제조공정에 사용되는 노광장치에 관한 것으로서, 특히, 조도 투과율의 저하를 방지할 수 있는 노광장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display ; 이하 "LCD"라 함)는 영상신호에 대응하도록 광빔의 투과량을 조절함에 의해 화상을 표시하는 대표적인 평판 표시장치이다. 특히, LCD는 경량화, 박형화, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있으며, 이러한 추세에 따라 LCD는 사무자동화(Office Automation) 장치 및 노트북 컴퓨터의 표시장치로 이용되고 있다.
도 1은 일반적인 액정표시장치의 액정패널을 나타낸 예시도이다.
즉, 도 1에 도시된 바와 같은 액정표시장치의 액정패널은 구동신호를 입력받는 박막트랜지스터 기판(이하, 간단히 'TFT 기판'이라 함)(11), 칼라필터층을 포함한 칼라필터기판(이하, 간단히 'C/F 기판'이라 함)(12) 및 박막트랜지스터기판과 칼라필터기판 사이에 개재된 액정층(13)으로 구성된다.
상기와 같은 액정패널을 포함하는 액정표시장치의 제조공정은 크게 기판 제조공정, 액정패널 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나뉘어진다.
먼저, 기판 제조공정은 세정된 기판을 사용하여 TFT 기판을 제조하는 공정 및 C/F 기판을 제조하는 공정으로 각각 나뉘어지는데, TFT 기판 제조공정은 하부 유리기판 상에 신호라인과, 복수의 박막트랜지스터 및 화소전극을 형성하는 공정을 말하며, C/F 기판 제조공정은 상부 유리기판 상에 블랙매트릭스(Blackmatirx)와, 칼라필터층과, 공통전극(ITO)을 순차적으로 형성하는 공정을 말한다. 여기서, 상기 기판 제조공정은 다시 세정(PPCLN), 수분건조(DHP/DSP), 포토레지스트 도포(photoresist Coating), 사진 식각, 솔벤트 제거(VCD), 열경화(SHP), 노광, 현상(Developer), 하드 베이크(Hard Bake) 및 검사 공정들로 세분화될 수 있다.
다음으로, 액정패널 공정은 TFT 기판과 C/F 기판을 합착하고 그 사이에 액정을 주입하여 액정패널을 제조하는 공정으로서, 상기 액정패널 공정은 다시 배향막 형성 공정, 러빙(Rubbing)공정, 셀 갭(Cell Gap)형성 공정, 어셈블리(Assembly) 공정, 셀 절단(Cell Cutting) 공정, 액정주입 공정, 편광 필름(Film) 부착 공정 등의 많은 단위공정으로 이루어진다.
마지막으로, 모듈공정은 액정패널과 신호처리 회로부를 연결시키는 공정으로서, 상기 모듈공정 역시 수많은 단위공정으로 이루어진다.
한편, 상기한 바와 같이 액정표시장치의 하부 기판인 TFT 기판은 박막 트랜지스터와 박막 트랜지스터에 연결된 화소 전극이 행렬 방식으로 배열된 형태로서, 박막을 증착하고 마스크를 이용하여 사진 식각하는 공정을 여러 번 반복함으로써 형성된다.
이때, 상기 사진 식각 공정은 다시 세정, 감광막 도포, 노광 및 현상, 그리고 식각 등의 여러 공정을 포함한다.
여기서, 노광 공정은 원하는 패턴을 형성하기 위해 감광막에 광원을 조사하는 것으로서, 노광 방법으로는 근접(proximity) 방식, 렌즈 투영(lense projection) 방식, 거울 투영(mirror projection) 방식이 이용되고 있다.
먼저, 근접 방식은 가장 오래된 노광 방식으로서, 일반적으로 광마스크(photo mask)를 유리기판과 일정 간격 이격되도록 배치한 후 평행광을 쪼여줘 노광하는 방법이 이용되는데, 이외에도, 기판과 마스크를 접촉시켜 노광하는 콘택(contact) 방법도 있다. 상기 근접 방식은 장치비가 싸고 한 번에 대면적을 노광할 수 있어 생산성이 높으나, 평행광을 사용하므로 간섭에 의해 패턴이 흐려질 수 있기 때문에, 해상도가 10 ㎛정도로 낮아 주로 컬러 필터 기판 형성시 블랙 매트릭스를 만들거나 컬러 필터 제조에 사용된다. 한편, 콘택 방법은 미세한 패턴을 구현할 수 있으나, 접촉시 입자에 의한 오염이나 마스크 및 감광막에 의한 손상이 발생할 수 있으므로 이용도가 낮다.
다음으로, 렌즈 투영 방식은 스테퍼(stepper) 분할 방식이라고도 하는데, 기판을 순차적으로 이동하면서 노광을 실시하여 패턴을 형성하는 방법이다. 여기서, 마스크는 여러 레티클(reticle)로 구성되므로, 기판 전체를 여러 구역으로 나누어 각각을 따로 노광함으로써 구역마다 다른 패턴을 노광할 수 있다. 또한, 기판이 고정된 스테이지를 일정 간격으로 이동시켜 가면서 노광을 실시하여, 하나의 마스크로 기판에 동일한 패턴을 반복하여 형성할 수 있는 장점이 있다. 그러나, 상기 렌즈 투영 방식은 미세패턴의 형성에는 유리하지만, 큰 패턴을 형성할 경우에는 구역의 경계면에서 패턴의 정렬오차나 오버랩(overlap) 등이 발생할 수 있다.
한편, 거울 투영 방식은 대형 마스크의 이미지를 거울에 투영하여 노광하는 방식으로서, 아크(arc) 형태의 광선을 사용하며 광원이 마스크 전체를 스캐닝함으로써 노광이 이루어진다. 이 방식은 대형 기판을 제작하는데에 이용할 수 있으며, 단일 마스크를 사용할 수도 있다.
이러한 거울 투영 방식 노광장치가 도 2에 도시되어 있다.
도 2는 일반적인 노광장치의 일실시예 사시도로서, 특히 거울 투영 방식 노광장치를 나타낸 것이다.
즉, 상기 거울 투영 방식 노광장치는, 도 2에 도시된 바와 같이, 광원(40) 및 울트라 미러(Ultra Mirror)(30)로 구성되어 있다. 상기 울트라 미러(30)의 구성을 살펴보면, 스테이지(20) 상에 기판(11)이 놓여 있고, 기판(11) 상부에는 사다리꼴 모양의 면이 측면에 위치하는 사다리꼴 거울(trapezoidal mirror)(33)이 일정 간격을 가지고 배치되어 있으며, 사다리꼴 거울(33)의 측면 중 작은 사각형으로 이루어진 면 앞에는 볼록 거울(convex mirror)(34)이 배치되어 있다. 또한, 볼록 거울(34)의 전면에는 오목 거울(concave mirror)(35)이 배치되어 있고, 사다리꼴 거울(33)의 상부면 위에는 마스크(36)가 위치되어 있다. 또한, 상기 울트라 미러(30)의 상부에는 광원(40)이 각각 위치하며, 상기 광원은 아크 형태를 가진다.
상기와 같은 구성을 갖는 거울 투영 방식 노광장치는, 노광시 빛이 기판 상에 직접 도달하도록 할 경우, 광원과 기판 사이의 공기에 의해 빛이 산란되어 노광이 제대로 이루어 지지 않으므로, 거울을 이용하여 빛의 초점을 맞춤으로써 빛이 산란되는 것을 방지한다.
상기 거울 투영 방식 노광장치의 동작 방법을 간단히 설명하면 다음과 같다.
즉, 상기 거울 투영 방식 노광장치에서는, 광원(40)에서 조사된 빛이 울트라 미러(30)의 마스크(36)를 통과하여 사다리꼴 거울(33)의 상부면에서 반사되고, 이 반사된 빛이 오목 거울(35)에서 볼록 거울(34)로 반사된 후, 다시 오목 거울(35)의 하부로 반사되고, 이 빛이 오목 거울(35)에서 반사되어 사다리꼴 거울(33)의 하부면에 도달한 다음, 여기서 기판(11) 상으로 반사된다.
도 3은 일반적인 노광장치의 일실시예 측면도이다.
즉, 도 3은 도 2에 도시된 바와 같은 거울 투영 방식 노광장치를 측면에서 도시한 것으로서, 기판(11)과 마스크(36)가 이동하여 사다리꼴 거울(33)에서 반사된 빛이 기판(11) 표면을 주사함으로써 노광이 이루어진다.
여기서, 상기 울트라 미러(30)의 하부면에는 상기 사다리꼴 거울(33)로부터 반사된 빛이 기판(11)으로 향할 수 있도록 광학렌즈(31)가 부착되어 있다.
한편, 상기 노광장치는 상기한 바와 같이 LCD 제조 공정 중 PR에 의해 코팅(Coating)된 기판에 빛을 조사하는 장치로서, 노광 중 상기 기판으로부터 뿜어져 나오는 PR 증기(Fume)에 의해 노광장치의 광학렌즈(비선형 글래스)(31)에 PR 성분이 증착 됨으로써, 광학렌즈(비선형 글래스)의 조도 투과율이 점점 저하되고, 이로인해 노광 과정을 거친 기판에 불량이 발생된다는 문제점이 있다.
즉, 상기 광학렌즈(비선형 Glass)(31)는 조명을 이용한 노광장치에서 기판(11)에 빛을 도달하게 하는 가장 마지막 부분의 글래스(Glass)로서 PR이 코팅(Coating) 되어진 기판에 가장 가까운 거리에 있기 때문에, PR 성분의 증 기(Fume)가 쉽게 증착되는데, 이러한 PR 증기(Fume)는 쉽게 닦여지지 않을 뿐만 아니라, 심한 경우 광학렌즈(비선형 Glass)(31)의 조도 투과율을 저하시키게 되고, 울트라 미러 자체를 오염시킬 수도 있으며, 이로인해 결국 노광 과정을 거친 기판에 불량이 발생된다는 문제점이 있다.
한편, 상기와 같은 문제를 해결하기 위해서는 상기 광학렌즈를 세척하거나 또는 교환하는 작업이 필요하며, 심한 경우 울트라 미러를 세척하거나 교환해야 하는 경우가 발생될 수 있는데, 이러한 작업은 결국 생산라인을 정지시켜 전체 공정을 지연시키게 된다는 문제점이 있다.
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 울트라 미러로부터 탈부착이 용이한 광투과 박막을 울트라 미러의 하단에 장착된 광학렌즈와 기판 사이에 위치시킴으로써, 기판으로부터 증발된 포토레지스트 증기가 상기 광학렌즈에 증착되는 것을 방지할 수 있는 노광장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 노광장치는 포토레지스트 도포 공정을 거친 기판에 노광을 위한 빛을 발산시키기 위한 광원; 및 상기 광원으로부터 발산된 빛의 촛점을 거울을 이용하여 맞추어 상기 기판으로 출사기키기 위한 울트라 미러를 포함하며, 상기 울트라 미러는, 상기 광원으로부터 발산된 빛의 촛점을 맞추기 위한 거울들과; 상기 거울들이 실장되어 있는 울트라 미러 프레임과; 상기 울트라 미러 프레임의 면들 중, 상기 울트라 미러 프레임의 하단에 위치하는 스테이지에 놓여진 기판과 대면하는 면에 형성되어 상기 거울들로부터 반사된 빛이 상기 기판으로 향할 수 있도록 하기 위한 광학렌즈와; 상기 기판으로부터 증발되어 상기 광학렌즈로 진행되는 포토레지스트를 차단시키기 위해 상기 울트라 미러 프레임에 탈부착이 가능하도록 상기 광학렌즈와 상기 기판 사이에 삽입되는 포토레지스트 차단부를 포함한다.
또한, 상기 거울들은, 사다리꼴 모양의 면이 측면에 위치하는 사다리꼴 거울과; 상기 사다리꼴 거울의 측면 중 작은 사각형으로 이루어진 면 앞에 놓여진 볼록 거울과; 상기 볼록 거울을 중심으로 상기 사다리꼴 거울과 반대되는 위치에 놓여진 오목 거울; 및 상기 사다리꼴 거울의 상부면 위에 위치되어 상기 광원으로부터 입사되는 빛을 상기 사다리꼴 거울로 인가시키기 위한 마스크를 포함한다.
또한, 상기 포토레지스트 차단부는, 상기 광학렌즈를 통과한 빛을 상기 기판으로 투과시키기 위한 광투과 박막과; 상기 광투과 박막을 고정시키기 위해 상기 광학렌즈와 기판 사이에 형성된 광투과 박막 프레임; 및 상기 광투과 박막 프레임을 상기 울트라 미러 프레임에 탈부착 가능하도록 고정시키기 위한 광투과 박막 프레임 고정기를 포함한다.
또한, 상기 광투과 박막 프레임은, 상기 광학렌즈와 동일한 형상으로 구성되며, 상기 광학렌즈의 면적을 커버할 수 있는 크기로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 광투과 박막 프레임 중 상기 광투과 박막이 삽입되는 부분은 상 기 광투과 박막이 삽입되어 고정될 수 있도록 두 개의 프레임으로 분리될 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 두 개의 프레임에 형성된 홈에 삽입되어 상기 두 개의 프레임을 고정시키기 위한 프레임 고정기를 더 포함한다.
또한, 상기 광투과 박막 프레임 고정기는, 상기 광투과 박막 프레임에 형성된 홈을 통해 상기 울트라 미러 프레임과 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 광투과 박막 프레임 고정기는, 상기 광투과 박막 프레임과 일체형으로 구성되어 상기 울트라 미러 프레임에 형성된 홈으로 삽입되는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예가 상세히 설명된다.
도 4는 본 발명에 따른 노광장치의 일실시예 측면도이다. 또한, 도 5는 본 발명에 따른 노광장치 중 포토레지스트 차단부를 나타낸 예시도이다.
즉, 본 발명에 따른 노광장치는 도 4에 도시된 바와 같이, 노광을 위한 아크 형태의 빛을 발산시키기 위한 광원(40) 및 상기 광원으로부터 발산된 빛의 촛점을 거울을 이용하여 맞춤으로써 빛이 산란되는 것을 방지하기 위한 울트라 미러(50)를 포함하여 구성되어 있으며, 상기 울트라 미러(50)는, 사다리꼴 모양의 면이 측면에 위치하는 사다리꼴 거울(trapezoidal mirror)(53), 상기 사다리꼴 거울의 측면 중 작은 사각형으로 이루어진 면 앞에 놓여진 볼록 거울(convex mirror)(54), 상기 볼록 거울을 중심으로 상기 사다리꼴 거울과 반대되는 위치에 놓여진 오목 거울(concave mirror)(55), 상기 사다리꼴 거울의 상부면 위에 위치되어 상기 광원으로부터 입사되는 빛을 상기 사다리꼴 거울로 인가시키기 위한 마스크(56), 상기 구성요소들이 실장되어 있는 울트라 미러 프레임(52), 상기 울트라 미러 프레임 중 스테이지(20)에 놓여진 기판과 상기 사다리꼴 거울이 대면하는 면에 형성되어 상기 사다리꼴 거울로부터 반사된 빛이 상기 기판으로 향할 수 있도록 하기 위한 광학렌즈(51), 상기 기판으로부터 증발되어 상기 광학렌즈로 진행되는 포토레지스트를 차단시키기 위해 상기 울트라 미러 프레임에 탈부착이 가능하도록 상기 광학렌즈와 상기 기판 사이에 삽입되는 포토레지스트 차단부(60)를 포함한다.
여기서, 상기 포토레지스트 차단부(60)는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 광학렌즈(51)를 통과한 빛을 상기 기판으로 투과시키기 위한 광투과 박막(61), 상기 광투과 박막을 고정시키기 위해 상기 광학렌즈와 기판 사이에 형성된 광투과 박막 프레임(62) 및 상기 광투과 박막 프레임을 상기 울트라 미러 프레임에 탈부착 가능하도록 고정시키기 위한 광투과 박막 프레임 고정기(63)를 포함하여 구성되어 있다.
상기 광투과 박막(Pellicle Material)(61)은 상기한 바와 같이 상기 광학렌즈(51)를 통과한 빛의 조도를 줄이지 않는 상태로 상기 빛을 투과시킬 수 있는 박막으로서, 상기와 같은 기능을 수행할 수 있는 다양한 재질의 박막이 이용될 수 있으며, 상기 기판으로부터 증발되는 포토레지스트가 상기 광학렌즈(51)로 진행되는 것을 차단하는 기능을 수행한다. 여기서, 상기 광투과 박막은 Pellicle 재질의 니트로셀룰로오즈를 재질로 한 것으로서, 상기 니트로셀룰로오즈가, Anti Reflection Coating 방법에 의하여 형성된 것이다.
상기 광투과 박막 프레임(62)은 상기 광투과 박막(61)을 고정시키기 위한 것으로서, 상기 광학렌즈(51)와 동일한 형태로 구성될 수 있으며, 상기 광학렌즈(51)의 면적보다는 큰 면적을 갖도록 구성되어야 한다. 즉, 상기 광학렌즈(51)를 투과한 빛이 상기 광투과 박막 프레임(62)에 의해 차단되지 않도록 상기 광투과 박막 프레임(62)은 상기 광학렌즈(51) 보다는 크게 형성되어야 한다. 이때, 상기 광투과 박막 프레임(62)은 상기 광투과 박막(61)을 고정시켜 상기 기판으로부터 증발된 포토레지스트가 상기 광학렌즈(51)로 진행되는 것을 차단하기 위한 것임으로, 포토레지스트의 진행방향 등을 고려하여, 그 크기 및 형상이 결정될 수 있다. 또한, 상기 광투과 박막 프레임(62)은 도면에 도시되어 있지는 않지만 상기 광투과 박막(61)을 탈부착할 수 있도록 분리 가능하게 구성될 수도 있다. 즉, 상기 광투과 박막(61)에 포토레지스트가 부착되어 기판으로 향하는 빛의 조도가 소정 값 이하로 떨어지게 되면, 상기 광투과 박막 프레임 고정기(63)를 이용해 상기 광투과 박막 프레임(62)을 교체할 수도 있으나, 그대신, 상기 광투과 박막 프레임(62)으로부터 상기 광투과 박막(61)만을 교체함으로써 유지 비용 등을 절감할 수 있다. 이를 위해서, 상기 광투과 박막 프레임 중 상기 광투과 박막(61)이 삽입되는 프레임 부분은 두 개의 프레임(62a, 62b)으로 분리되어 구성될 수 있으며, 상기 두 개의 프레임 사이에 상기 광투과 박막(61)이 삽입된 후 상기 두 개의 프레임(62a, 62b)은 다시 프레임 고정기(64)에 의해 결합될 수도 있다. 또 다른 방법으로는 상기 두 개의 프레임(62a, 62b) 사이에 상기 광투과 박막(61)이 삽입될 수 있는 홈을 형성하여 상기 홈으로 상기 광투과 박막(61)을 삽입 또는 분리시키는 방법이 있을 수도 있다.
한편, 상기 광투과 박막 프레임 고정기(63)는 상기한 바와 같이 상기 광투과 박막 프레임을 상기 울트라 미러 프레임(52)에 탈부착 가능하도록 고정시키기 위한 것으로서, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 광투과 박막 프레임(60)에 형성된 홈(65)을 통해 상기 울트라 미러 프레임(52)과 결합될 수 있다. 또한, 상기 광투과 박막 프레임 고정기(63)는 상기 광투과 박막 프레임(62)과 일체형으로 구성되어 상기 울트라 미러 프레임(52)에 형성된 홈으로 삽입될 수 있는 형태로 구성될 수도 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 노광장치의 동작 방법을 간단히 설명하면 다음과 같다.
즉, 광원(40)에서 조사된 빛은 울트라 미러(50)의 마스크(56)를 통과하여 사다리꼴 거울(53)의 상부면에서 반사되고, 이 반사된 빛이 오목 거울(55)에서 볼록 거울(54)로 반사된 후, 다시 오목 거울(55)의 하부로 반사되고, 이 빛은 오목 거울(55)에서 반사되어 사다리꼴 거울(53)의 하부면에 도달한 다음, 광학렌즈(51)를 통해 기판으로 출사된다.
이때, 상기 광학렌즈(51)와 기판 사이에는 상기한 바와 같이 포토레지스트 차단부(60)가 형성되어 있어서, 상기 광학렌즈(51)로부터 출사된 빛이 상기 포토레지스트 차단부(60)의 광투과 박막(61)을 투과하는 한편, 상기 기판으로부터 증발된 포토레지스트가 상기 광학렌즈(51)로 진행하지 못하고 상기 광투과 박막(61)에 의 해 차단되므로, 상기 광학렌즈(51)에 포토레지스트가 부착되어 오염되는 것이 방지될 수 있다. 이때, 상기 광투과 박막(61)에 포토레지스트가 부착되어 오염이 발생되는 경우에는 상기한 바와 같이 포토레지스트 차단부(60) 자체를 교체시킬 수도 있으며, 포토레지스트 차단부(60)로부터 광투과 박막(61)만을 교체시킬 수도 있다.
상술된 바와 같은 본 발명에 따른 노광장치는 기판으로부터 증발된 포토레지스트가 광학렌즈에 증착되는 것을 방지함으로써 기판으로 출사되는 빛의 조도가 급격히 저하되는 것을 방지할 수 있다는 우수한 효과가 있다.
또한, 본 발명은 기판으로 출사되는 빛의 조도가 급격히 저하되어 액정패널의 공정 불량이 발생되는 문제점을 해결할 수 있다는 우수한 효과가 있다.
또한, 본 발명은 포토레지스트가 증착된 포토레지스트 차단부를 간편하게 교체시킬 수 있음으로 공정지연을 방지할 수 있다는 우수한 효과가 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (8)

  1. 포토레지스트 도포 공정을 거친 기판에 노광을 위한 빛을 발산시키기 위한 광원; 및
    상기 광원으로부터 발산된 빛의 촛점을 거울을 이용하여 맞추어 상기 기판으로 출사시키기 위한 울트라 미러를 포함하며,
    상기 울트라 미러는,
    상기 광원으로부터 발산된 빛의 촛점을 맞추기 위한 거울들과;
    상기 거울들이 실장되어 있는 울트라 미러 프레임과;
    상기 울트라 미러 프레임의 면들 중, 상기 울트라 미러 프레임의 하단에 위치하는 스테이지에 놓여진 기판과 대면하는 면에 형성되어 상기 거울들로부터 반사된 빛이 상기 기판으로 향할 수 있도록 하기 위한 광학렌즈와;
    상기 기판으로부터 증발되어 상기 광학렌즈로 진행되는 포토레지스트를 차단시키기 위해 상기 울트라 미러 프레임에 탈부착이 가능하도록 상기 광학렌즈와 상기 기판 사이에 삽입되는 포토레지스트 차단부를 포함하고,
    상기 거울들은,
    사다리꼴 모양의 면이 측면에 위치하는 사다리꼴 거울과;
    상기 사다리꼴 거울의 측면 중 작은 사각형으로 이루어진 면 앞에 놓여진 볼록 거울과;
    상기 볼록 거울을 중심으로 상기 사다리꼴 거울과 반대되는 위치에 놓여진 오목 거울; 및
    상기 사다리꼴 거울의 상부면 위에 위치되어 상기 광원으로부터 입사되는 빛을 상기 사다리꼴 거울로 인가시키기 위한 마스크를 포함하는 노광장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 포토레지스트 차단부는,
    상기 광학렌즈를 통과한 빛을 상기 기판으로 투과시키기 위한 광투과 박막과;
    상기 광투과 박막을 고정시키기 위해 상기 광학렌즈와 기판 사이에 형성된 광투과 박막 프레임; 및
    상기 광투과 박막 프레임을 상기 울트라 미러 프레임에 탈부착 가능하도록 고정시키기 위한 광투과 박막 프레임 고정기를 포함하는 노광장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 광투과 박막 프레임은,
    상기 광학렌즈와 동일한 형상으로 구성되며, 상기 광학렌즈의 면적을 커버할 수 있는 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 광투과 박막 프레임 중 상기 광투과 박막이 삽입되는 부분은 상기 광투과 박막이 삽입되어 고정될 수 있도록 두 개의 프레임으로 분리될 수 있는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 두 개의 프레임에 형성된 홈에 삽입되어 상기 두 개의 프레임을 고정시키기 위한 프레임 고정기를 더 포함하는 노광장치.
  7. 제 3 항에 있어서,
    상기 광투과 박막 프레임 고정기는,
    상기 광투과 박막 프레임에 형성된 홈을 통해 상기 울트라 미러 프레임과 결합되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  8. 제 3 항에 있어서,
    상기 광투과 박막 프레임 고정기는,
    상기 광투과 박막 프레임과 일체형으로 구성되어 상기 울트라 미러 프레임에 형성된 홈으로 삽입되는 것을 특징으로 하는 노광장치.
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