CN1285394C - 有机废气的处理方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供可以实现从有机废气中对有机成份进行再利用和废弃处理这两方面的处理技术。具备：将有机气体进行冷却冷凝的第一冷却冷凝工序；对经过该第一冷却冷凝工序的废气进行冷却冷凝的第二冷却冷凝工序；对前述第一冷却冷凝工序的冷凝液进行回收并再利用的工序；通过活性污泥等对前述第二冷却冷凝工序的冷凝液进行排水处理的工序。

Description

有机废气的处理方法及装置

技术领域

本发明涉及在液晶及半导体制造工序中排出的有机废气的处理方法。

背景技术

在液晶及半导体制造工序等中，作为被排出的有机废气，有的是从在光致抗蚀剂的剥离工序等中蒸发的剥离液而来的气体。剥离液多包含由单乙醇胺(MEA)和二甲基磺基亚砜(DMSO)构成的有机溶剂。由于剥离液在剥离工序中被加热到60℃～80℃，所以其7％程度蒸发并被导入废气通道中。废气的成份不只是在工序中被使用的材料，也受工序中处理环境气体的影响。例如：将一般的净化室控制在25℃、60％RH的程度。

由于废气的处理气体介质被控制在25℃左右，RH50～60％的程度，所以产生的废气变为比较高的温度(35℃)。

从以上的介绍可以看出，例如从剥离工序而来的废气在含有水蒸气的同时，大多含有作为有机气体的单乙醇胺(MEA)和二甲基磺基亚砜(DMSO)等。

在液晶及半导体制造工序中被排出的有机废气是大量的。特别是，由于在液晶的制造工序中使用的基板尺寸较大，剥离液也多，所以产生的废气也更多。因此，从成本观点看优选回收再利用。从有机废气中将有机成份进行分离回收，大多采取冷却冷凝方式。然而，要处理大量的废气，需要相当多的冷水。也就是说，存在水和冷却负担的成本过高的问题。为此，至今不能得到有效的回收再生率。

另一方面，从环境的观点看，还有将有机废气直接通过洗涤器进行处理的方法，然而，由于需要大量的水和中和药液，根据洗涤器运转状况的不同，存在的问题是容易产生臭气。并且，将洗涤器中的处理水，作为排水处理，导入活性污泥处理装置中，然而，由于流动BOD负荷较高的浓度的处理水，所以装置变得过大，在其管理方法上也存在问题。从上述观点看，优选在分离回收有机成份之后，通过洗涤器或活性污泥等处理，进行废弃及放出。

然而，至今，将有机废气作为资源进行有效利用，或者高效率地经排水处理，进行废弃处理还不充分。

发明内容

本发明的目的是提供能够实现从有机废气中对有机成份进行再利用和废弃处理这两方面的处理技术。进而，作为其他的目的，是提供能够在前述有机成份的再利用和废弃处理之外实现废气的臭气对策等三方面的处理技术。

本发明的发明者们，为了解决上述课题，对从有机废气中将有机成份进行分离回收的工序进行了研究，通过在冷却冷凝工序中的处理内容上想对策，找出了能够一举实现有机成份的再利用和废弃处理这两方面，进而，在此之外可以一举达成放出气体的环境(臭气)对策的方法，完成了本发明。也就是说，本发明提供以下的方式。

(1)是有机气体的处理方法，该方法具备：

将有机废气进行冷却冷凝的第一冷却冷凝工序；

储存第一冷却冷凝工序中的冷凝液的工序；

对经过该第一冷却冷凝工序的废气进行冷却冷凝的第二冷却冷凝工序；

储存第二冷却冷凝工序中的冷凝液的工序。

(2)如(1)记载的方法，在前述第二冷却冷凝工序之前，设有经过前述第一冷却冷凝工序的废气的雾分离工序。

(3)如(1)或(2)记载的方法，在前述第一冷却冷凝工序中，将含在前述有机废气中的水蒸气冷却至成为饱和蒸气压力的温度附近。

(4)如(1)～(3)中的任一项记载的方法，在前述第一冷却冷凝工序中，回收含在前述有机废气中的有机成份的70wt％以上90wt％以下，在第二冷却冷凝工序中，回收含在前述有机废气中的有机成份的10wt％以上20wt％以下。

(5)如(1)～(4)中的任一项记载的方法，具有回收并再生前述第一冷却冷凝工序的冷凝液的工序和对前述第二冷却冷凝工序的冷凝液进行回收并进行排水处理的工序。

(6)如(1)～(5)中的任一项记载的方法，还具备对经过前述第二冷却冷凝工序的废气进行处理的工序。

(7)是有机废气的处理方法，该方法具备：

冷却冷凝有机废气的工序；

对含有高浓度有机成份的冷凝液进行再生的再生工序；

对含有低浓度有机成份的冷凝液进行排水处理的工序。

(8)如(7)记载的方法，还具备对在前述冷凝工序中没被冷凝的残留废气进行处理的工序。

(9)是有机废气的处理装置，该装置具备：

冷凝有机废气的第一冷凝器；

对在所述第一冷凝器中被处理的废气进行冷凝的第二冷凝器；

储存从第一冷凝器产生的冷凝液的第一储存部；

储存从第二冷凝器产生的冷凝液的第二储存部；

其特征在于，所述第一及第二储存部通过雾分离装置连通。

(10)如(9)记载的装置，将前述冷凝装置的前述第一储存部与前述第二储存部以能够通过废气的方式进行连通。

(11)如(9)或(10)记载的装置，前述第一储存部与前述第二储存部通过雾分离装置连通。

(12)如(9)～(11)中的任一项记载的装置，前述第一冷凝器和前述第二冷凝器与前述第一储存部和前述第二储存部被单元化。

(13)如(9)～(12)中的任一项记载的装置，在前述第一冷凝器和前述第二冷凝器上分别设有冷凝器内温度检测装置。

(14)如(9)～(13)中的任一项记载的装置，设有回收并再生冷凝液的装置和将冷凝液进行排水的装置。

(15)如(14)记载的装置，将来自前述第一冷凝器的冷凝液与来自前述第二冷凝器的冷凝液可以切换地供给到前述回收再生装置及前述排水处理装置中。

(16)如(14)或(15)记载的装置，还设有配管截流装置，并将该配管截流装置设置在使第一储存部与回收再生装置连通的第一配管、及使第二储存部与排水装置连通的第二配管的至少一方。

(17)如(9)～(16)中的任一项记载的装置，具有对经过前述第二冷凝部的废气进行处理的废气处理装置。

(18)如(17)记载的装置，在朝向前述废气处理装置的配管上设置维持配管内的冷凝状态的装置。

(19)如(9)～(18)中的任一项记载的装置，在向前述第一冷凝器供给有机废气的配管系以及/或者从前述第二冷凝器排出废气的配管系，设置雾捕捉装置以及/或者冷凝装置。

(20)一种有机废气的处理装置，具备：

冷凝有机废气的第一冷凝器；

对在所述第一冷凝器中被处理的废气进行冷凝的第二冷凝器；

储存从第一冷凝器产生的冷凝液的第一储存部；

储存从第二冷凝器产生的冷凝液的第二储存部；

其特征在于，将所述第一储存部与第二储存部相互地连通，使废气能够在它们之间通过；

所述第一及第二储存部通过雾分离装置连通。

根据这些方法，通过对有机废气进行第一冷凝工序和第二冷凝工序，可以对供给到有机成份的再生利用和活性污泥处理的各个工序中的冷凝液(有机成份)进行分离回收。从而能够高效且有效地进行再生利用和废弃处理。

另外，应用这些装置，可以很容易地对有机废气进行不同回收水平的冷凝工序。从而，可以分别向回收再生装置和排水处理装置提供适当的冷凝液。形成具备回收再生装置与活性污泥处理装置等排水处理装置大的装置，能够简单并且同时地实现各自的功能。

附图说明

图1是表示本发明的处理技术的工序及装置的概要的图。

图2是表示雾捕捉装置或冷凝装置的一个实施例的图。

图3是表示雾捕捉装置或冷凝装置的另一个实施例的图。

具体实施方式

下面，详细地介绍本发明的实施例。

本发明的有机废气的处理方法具备：将有机废气进行冷却冷凝的第一冷却冷凝工序；储存第一冷却冷凝工序中的冷凝液的工序；对经过该第一冷却冷凝工序的废气进行冷却冷凝的第二冷却冷凝工序；储存第二冷却冷凝工序中的冷凝液的工序。

或者具备：冷却冷凝有机废气的工序；对含有高浓度有机成份的冷凝液进行再生的再生工序；对含有低浓度有机成份的冷凝液通过活性污泥等进行排水处理的废弃处理工序。

作为适合实施这些方法的装置，本发明提供具备：冷凝有机废气的第一冷凝器；冷凝经过前述第一冷凝器的废气的第二冷凝器；储存从第一冷凝器产生的冷凝液的第一储存部；储存从第二冷凝器产生的冷凝液的第二储存部的装置，特别是提供具备：与第一冷凝器连通的第一冷凝液储存部；使废气能够通过地对该第一冷凝液储存部进行划分，并与前述第二冷凝器连通的第二冷凝液储存部。

下面，对本发明的有机废气处理方法进行说明，同时对于实施包含在该处理方法中的各工序上优选的装置的本发明的装置进行说明。

图1中记载本发明的方法乃至装置的概要。

图1所示的处理方法表示为了实施第一冷却冷凝工序与第二冷却冷凝工序而以装置2为中心的处理工序的概要。

(有机废气)

本发明可以适用各种有机废气，优选适用于从半导体元件、液晶显示屏、印刷板等电子部件等的制造工序中被排出的有机废气。更优选地，在净化室内实施的各种制造工序中的废气。对废气进行一定温度的管理，这是由于实施本发明的冷凝工序的温度控制比较容易实现。尤其优选适用于被控制在25℃程度的净化室中产生的废气。此时，废气的温度是30℃～40℃程度，比冷却冷凝更能有效地回收有机成份。

在电子零件的制造工序中，也特别优选适用含有于光刻工序之后的光致抗蚀剂的剥离工序中被排出的剥离液成份的有机废气。来自剥离工序的废气，从净化室中被排出，是高浓度废气，这也是由于大量地产生废气的缘故。另外，废气中很难混入其他的有机成份，适于再生利用。

有机废气，通常除了在工序中气化的有机溶剂等溶剂成分外，还包括水蒸气。在光致抗蚀剂的剥离工序中产生的有机废气含有例如MEA(b.p.约171℃)及DMSO(b.p.约189℃)等比较高沸点(150℃以上～200℃以下程度)的溶剂成分。

而且，有机废气，在实施剥离工序中，大多每分钟排出15m³的程度。

(预备乃至追加的冷却冷凝工序)

在实施本发明的第一冷却冷凝工序之前，为了高效地回收有机废气中的有机成份，优选预备实施冷却冷凝工序。通过实施这样的冷却冷凝工序，可以积极地将可能会在有机废气到达原本的冷却冷凝工序之前的配管系上产生的冷凝液进行回收，在到达冷凝工序之前的阶段，可以降低有机废气中的冷凝液(雾)。因此，可以将该工序称为雾捕捉工序。

通过该工序的实施，将捕捉到的雾或使之产生的冷凝液从冷凝管除去，从而可以防止向有机废气的发生源即半导体制造装置逆流冷凝液或废气以及由此导致的污染。

另外，应用本工序，有时还能够实现将在制造工序中被排出的各种浓度或成份的有机废水调整至一定的组成乃至浓度。

预备冷却冷凝工序除了可以在从有机废气的发生源即半导体制造工序等到冷凝工序的配管上实施，还可在冷凝工序之后，例如在洗涤器等废气处理工序的配管上实施。这是由于可以减小向废气处理装置的负荷(在冷凝工序之后，可以特别称之为追加的冷却冷凝工序)。

预备乃至追加的冷凝工序也可采用冷凝器进行，优选地，不是特别需要这样的冷却装置的结构，而是通过采用放热性好的配管等进行放冷等的自然冷却产生冷凝。另外，特别在雾的捕捉方面，于有机废气的移动方向上设置阻挡层，使之产生碰撞。产生的冷凝液进行收集自然排出或者通过泵等强制排出，从而从适宜的配管系排除。

图1所示的方式中，使从多个制造装置4连续或间断地排出的有机废气一度集合到集合配管6中，就可简单地实施预备冷却冷凝工序。该方式中，作为冷凝装置，利用集合配管6内的有机废气的自然冷却。此种情况下，集合配管6优选放热性好的不锈钢等金属结构(优选具有耐腐蚀性的)。

采用这样的结构，使来自各制造装置4的有机废气配管5进行集合，同时，将各废气混合，平均化，通过冷却冷凝可以将共同的夹杂成分除去。因此，可以以稳定的组成将废气提供到后段的冷却冷凝工序中。另外，可以调节废气的供给量。

可以特别采用如图2所示的结构。也就是说，在来自制造装置4的有机废气配管5的上方呈水箱状地设置集合配管6，从侧面一侧供给的有机废气定向至上方，并排出有机废气的中空室形成于集合配管6内。此结构中，可以将相对集合配管6的配管5的连接部位，定在超过允许或预定的存留在集合配管6内的冷凝液的最高液面位的规定高度的位置上。通过这样的结构，即使在暂时储存冷凝液的情况下也可防止因冷凝液导致的制造装置2的污染。而且，集合配管6的内壁成为相对从侧面一侧供给的有机废气的阻挡层，通过有机废气碰撞该内壁部位(此时，内壁可以发挥作为碰撞部件的雾捕捉装置的功能)，使雾(液滴)附着在内壁上，容易捕捉，同时，由于与放热性较好的配管壁部接触，容易被冷凝。

图中举例表示出有机废气配管5被连接到集合配管6的侧面部的方式，然而，在集合配管6的上方一侧也可防止冷凝液向制造装置4一侧产生逆流。

还可以采用图3所示的结构。在此结构中，在集合配管6内形成具有将下方供给的有机废气定向至上方，并排出有机废气的配管7的中空室。再有，在中空室内呈突出状地设置该供给配管5以将有机废气的供给配管5的开口定在该中空室内的规定高度位置，并且，相对该开口，相隔规定的间隔呈对置状地将有机废气的碰撞部件6a作为雾捕捉装置进行配置。通过采用这样的结构，容易将含在有机废气中的冷凝成份(雾)捕捉到该集合配管6中。结果，可以将减少了雾的有机废气提供到冷却冷凝工序中。

而且，作为这样的雾捕捉装置的碰撞部件6a可以采用各种形态和设置状态。在有机废气的供给部位呈对置状地设置碰撞部件，在冷凝液不混入有机废气的供给部位和排出部位的范围内，可以采取各种形态。

这样，捕捉到的雾或使之产生的冷凝液以进行再生利用为目的，优选暂时储存在回收废液槽8中。

作为雾捕捉乃至冷凝装置，如图2及图3所示的结构都表示从制造装置2供给到集合配管6中的有机废气的形态，然而不仅限于此，也可另行适用在到达冷却冷凝工序的配管中途。也就是，不采用将来自制造装置的有机废气配管5进行集合的集合配管6的方式，只要采用在配管的一部分上设有中空室结构的结构，就能适用于在配管中途进行雾捕捉乃至冷凝的结构。

还有，图2及图3所示的结构都是预备冷却冷凝工序的实施例，然而，在废气处理工序的前段实施追加的冷却冷凝工序的情况，也可适用作为追加的冷却冷凝工序的实施例。也就是说通过将来自制造装置2的有机废气配管5从后面将要述及的第二冷却冷凝工序置换到1或2以上的废气供给用配管上，从而可以适用在追加的冷却冷凝工序中。

(第一冷却冷凝工序)

将有机气体导入第一冷凝器10中，实施第一冷却冷凝工序。作为以第一冷凝器10为首的后面将要述及的第二冷凝器40，可以没有特别的限制，采用现有周知的各种冷凝器。在冷凝器10、40上冷却废气的装置也可采用各种方式的，多管式、线圈式、螺旋式等。优选采用散热片式的冷却装置。

在第一冷却冷凝工序中，大量地导入高浓度的废气。为此，从回收效率和冷却成本的观点出发，最好设定优选的温度条件。特别是在第一冷却冷凝工序中将冷凝液提供到回收、再生、再利用工序，优选设定有效的温度条件。

因此，优选对废气的组成进行预测乃至检测，仅高效地使有机成分冷凝。例如可以将温度条件设定成使含在废气中或被预测的水蒸气达到饱和蒸气压的程度。如果是这样的温度条件，在最大限防止水的冷凝的状态下可以使有机成分冷凝。

例如：来自光致抗蚀剂的剥离工序的废气，大约在35～40℃的温度下，被提供到第一冷却冷凝工序中。此时，根椐废气的组成，例如提供约7℃～10℃的冷水，优选根椐前述的最适的温度条件设定冷凝器内的温度。这样的温度条件，是从控制在25℃、60％RH的净化室排出的含有DMSO和MEA的废气特别适合的条件。

为了实现冷凝器10、40中有效且高效的冷却冷凝工序，优选设置各自的冷凝器10、40内的温度检测装置12、42。监测被供给的有机废气温度，对冷却水的供给量等进行调整，可以一定或适当地赋予温度条件。特别是，在第一冷凝器10中，由于供给的废气的浓度较高，或者有变动幅度，通过设定温度检测装置12，可以实施高效的冷却冷凝工序。特别是优选设置对提供到冷凝器10、40中的废气的温度进行检测的装置。

进而，根据由温度检测装置12、42检测的温度，进行冷却水的供给量控制时，优选地，设置对流向各个冷凝器10、40的冷却水的流量检测装置。又检测冷却水流量，温度-冷却水流量的比例控制，优选地，进行PID控制更有效。

将第一冷却冷凝工序中产生的冷凝液储存在与冷凝器10连通设置的第一冷凝液储存部16中。为了能够处理大量且高浓度的气体，在第一冷却冷凝工序中获得的冷凝液要比后段的第二冷却冷凝工序中产生的冷凝液，其有机成分变为高浓度。

在第一冷却冷凝工序中产生的冷凝液，储存在第一储存部16，之后，可以通过配管18提供到回收废液槽8中。然后，能够供给到具备未图示的再生装置的再生工序中。根椐第一冷却冷凝工序，可以在高效的氛围内得到包含有机成份的冷凝液，因此，通过将该冷凝液进行再生，能够实现有效的再利用。

虽然未图示，但是，配管18也能够进行切换地形成为，根椐需要将来自第一储存部16的冷凝液也供给到排水处理装置即活性污泥处理设备58。

于该装置2的末端，设置用以排出废气的气体的鼓风机。所以，储存部16、46的内部有变为负压的倾向。此时，为了抑制将从回收废液槽8或处理装置58一侧的环境气体注入到前述储存部16、46导致的温度条件等变化，优选使之设置水密封式功能发挥装置19、49，在储存部16、46与回收废液槽8、活性污泥处理设置58之间使之发挥气体的遮断作用。如图1所示地水密封式发挥装置19、49中，配管18、48通过将冷凝液能够储存地成U字状进行设置地部分，使其发挥水密封功能。另外，根椐该配管结构，还可有效地防止从废液槽8或活性污泥处理设备58向负压的储存部16、46的液体发生逆流。

储存部16、46变为负压时，在从储存部16、46到回收废液槽8或活性污泥处理设备58的通路上可能造成通过自由落体进行废液排出产生困难的情况。为了废液的自由落体，不采用必要的锥度的情况下，使用具有上述遮断作用的齿轮泵(ギア一ドポンプ)是有效的。

另外，在配管18上，优选设置检测第一冷凝液的组成的检测装置即有机成份浓度以及/或者水分检测装置。通过设置这样的检测装置，根椐有机成份或水分浓度，能够判断出是供给到将冷凝液以再生利用为目的的回收废液槽8中，还是，为了废弃处理供给到活性污泥设备58中。检测装置可以从各种周知的检测装置中适当的选择采用，优选采用电导率浓度测量装置等。

第一冷却冷凝工序，优选地以能够回收优选有机废气的有机成份的70wt％以上90wt％以下的方式实施。在这样的回收率范围内，作为再生用进行回收能够实现有效的再利用循环。同时，降低在后段的第二冷却冷凝工序中产生的冷凝液的有机成份浓度，从而有效地降低在活性污泥处理工序中对沉淀产生的负荷，可以实现通过活性污泥进行的稳定的处理。更加优选在约80％。

(第二冷却冷凝工序)

将经过第一冷却冷凝工序，至少其有机成份被部分除去的废气被供给到第二冷却冷凝工序。

第二冷却冷凝工序提供因经过了第一冷却冷凝工序，相对地含有低浓度的有机成份并且稳定的浓度乃至组成的废气。因此，得到的冷凝液也与在第一冷却冷凝工序中产生的冷凝液相比，含有低浓度的有机成份。

在第二冷却冷凝工序中产生的冷凝液，主要优选供给到活性污泥处理等废弃处理工序。这是由于该冷凝液浓度低以及并且组成稳定，可以将对活性污泥产生的负荷降低或使其最适化。

优选地，从此观点出发，进行第二冷却冷凝工序的温度条件的设定。例如：也根椐来自第二冷却冷凝工序的废气组成，例如优选将冷凝器内的温度设定为约7℃～10℃。

在来自第一冷却冷凝工序的废气到达第二冷凝器40之前，优选使该废气通过防雾气等雾分离装置24。由于使雾分离装置24通过，从而增加了雾的回收。

在第二冷却冷凝工序中产生的冷凝液(第二冷凝液)被储存在于冷凝器40的下部与冷凝器40连通的第二冷凝液储存部46中。在第二冷却冷凝工序中得到的冷凝液与在第一冷却冷凝工序中产生的冷凝液相比，其有机成份为低浓度。

在第二冷却冷凝工序中产生的冷凝液，储存在第二储存部46中后，通过配管48，可以供给到活性污泥处理设备58中。在活性污泥处理设备58中，由于活性污泥的作用，将有机成份分解，能够将废水净化。根椐本处理法，由于降低或调节了对活性污泥产生的负荷，能够顺利地进行活性污泥处理，还能实现其规模的紧凑化。而且，以可以根椐需要将冷凝液供给到废液槽8中的方式，可以切换供给目标地形成配管48。

优选在配管48上设置用以检测第二冷凝液的组成的检测装置。关于第二冷凝液，通过检测有机成份以及/或者水分浓度，可以判断是将第二冷凝液供给到为了进行再生利用的废液槽8还是以进行废弃处理为目的的活性污泥装置58中。特别是，对于第二冷凝液，通过将这种判断成为可能，可以有效利用有机成份。

在连续实施第一冷却冷凝工序和第二冷却冷凝工序上，不特别限定其装置构成，例如可以采用图1所示的装置结构。

在图1所示的装置2中，第一冷凝液储存部16和第二冷凝液储存部46，借助分隔装置20，截断各冷凝液的接触。并且，将第一冷凝液储存部16与第二冷凝液储存部46一体化形成储存槽状。而且，为了与各储存部16、46连通，将冷凝器10、40装备于各自的储存部16、46的上方。

另一方面，经过第一冷却冷凝工序的废气变为能够通气，以从第一冷凝液储存部16能通气到第二冷凝液储存部46一侧。特别是在图1所示的结构中，借助雾分离装置24形成该通气部分，经过第一冷却冷凝工序的废气随着向第二冷凝器40一侧移动，可以通过雾分离装置24。作为雾分离装置24，除了过滤器以外，还可以采用筛眼、多孔质等各种多孔状体。

(废气处理工序)

经过第二冷却冷凝工序的废气，其有机成份被进一步降低。优选将这样的废气供给到废气处理工序。在废气处理工序中，可以对废气采用各种净化手段。例如：在废气中添加中和药液，用水洗净是使残留的有机成份溶解在水中，可以有效地降低或除去臭气。优选通过洗涤器实施废气处理工序。

经过本发明的冷却冷凝工序，为了高效地从废气中回收有机成份，在此后的废气处理工序中可以实现很高地净化度。因此，经过该废气处理工序的废气，由于其有机成份被很好地除去，所以即使排出，也降低了对环境和生物的影响，当然也减少了臭气。

优选使经过第二冷却冷凝工序的废气预先通过雾分离装置60之后，供给到废气处理工序。特别是当构成剥离液的有机溶剂冷凝时、粘性高，因而可能会到达朝向废气处理工序的通路，进而经该通路到达废气处理工序。而且，还能除去在废气处理工序中产生粘液的微粒子等。

从第二冷却冷凝工序实施到废气处理工序时，对装置的形态没有特别的限定，例如可以采用图1所示的形态。

在图1所示的装置2中，于第二冷凝器40的上方设置防雾器等雾分离装置60，尤其是在其后段设有洗涤器等废气处理装置70。将经过废气处理装置70的废气放到空气中。并且，可以供给到活性污泥处理设备58地形成废气处理装置70的废气处理液(清洗液)。从而，可以通过有机成份的活性污泥进行最终的处理。另外，通过该配管72进行的有机成份的供给还能用于调节对活性污泥产生的负荷。

在从冷凝器40到废气处理装置70的配管62上，如前所述，施与雾捕捉装置乃至冷凝装置，实施追加的冷却冷凝工序。从而可以降低对废气处理装置产生的负荷。

经过冷凝器40的废气有时变为低温(约10℃)，此种情况下，优选维持此低温，维持冷凝水平。该温度在冬季等过分下降时，管内的水分将更加冷凝，不优选，夏季，在管外侧产生结露等问题出现。作为这样的冷凝状态维持装置64，例如是安装在配管上的保温(隔热)装置，或者是调节配管环境气体的空调装置等。

将冷却水供给到第一冷却冷凝工序和第二冷却冷凝工序时，首先，使冷却水供给经过第二冷却冷凝工序，接着供给到第一冷却冷凝工序，从而可以高效地回收有机成份，并且，可以以冷却水的高效使用水量进行运转。

在上述的方式中，作为排水处理工序乃至装置，对于通过活性污泥的处理工序乃至装置进行了示例，然而不仅限定于此，可以采用其它的化学微生物工序乃至装置替换根椐活性污泥的处理工序乃至装置。

特别是没有对再生工序乃至再生装置进行详述，可以适用现有周知的技术。

应用本发明，可以实现从有机废气中对有机成份再利用和废弃处理这两方面，同时，可以减少所需的设备、实现紧凑化。应用具有废气处理工序乃至废气处理装置的本处理技术，可以有效地减少废气处理工序后的废气中的有机成份。这样，降低了回到空气中的气体对环境或生物产生的不好影响(臭气)。因此，应用该技术，在进行有机成份的再利用和废弃处理之外，还可同时容易地实现废气的净化。

本发明可以提供能够实现从有机废气中对有机成份再利用和废弃处理这两方面的处理技术。

Claims (18)

1.一种有机废气的处理装置，具备：

冷凝有机废气的第一冷凝器；

对在所述第一冷凝器中被处理的废气进行冷凝的第二冷凝器；

储存从第一冷凝器产生的冷凝液的第一储存部；

储存从第二冷凝器产生的冷凝液的第二储存部；

其特征在于，所述第一及第二储存部通过雾分离装置连通。

2.如权利要求1记载的装置，其特征在于，所述第一及第二冷凝器与所述第一及第二储存部被单元化。

3.如权利要求1记载的装置，其特征在于，在所述第一及第二冷凝部上分别设有冷凝器内温度检测装置。

4.如权利要求1记载的装置，其特征在于，设有回收并再生冷凝液的装置和将冷凝液进行排水的装置。

5.如权利要求4记载的装置，其特征在于，可以将来自所述第一冷凝器的冷凝液与来自所述第二冷凝器的冷凝液，有选择地对所述回收再生装置及所述排水处理装置进行供给。

6.如权利要求5记载的装置，其特征在于，还设有配管截流装置，并将该配管截流装置设置在使第一储存部与回收再生装置连通的第一配管、及使第二储存部与排水装置连通的第二配管的至少一方。

7.如权利要求1记载的装置，其特征在于，还具有对在所述第二冷凝器中被处理的废气进行处理的装置。

8.如权利要求7记载的装置，其特征在于，还设有用以对在第二冷凝器中被处理的废气进行冷凝的其他的装置，并将该其他的冷凝装置设置在使第二冷凝器与所述废气处理装置连通的配管上。

9.如权利要求1记载的装置，其特征在于，还设置雾捕捉装置及冷凝装置的至少一方，并将其配置于将有机废气供给到所述第一冷凝器的配管、以及从所述第二冷凝器排出废气的配管的至少一方。

10.一种有机废气的处理装置，具备：

冷凝有机废气的第一冷凝器；

对在所述第一冷凝器中被处理的废气进行冷凝的第二冷凝器；

储存从第一冷凝器产生的冷凝液的第一储存部；

储存从第二冷凝器产生的冷凝液的第二储存部；

其特征在于，将所述第一储存部与第二储存部相互地连通，使废气能够在它们之间通过；

所述第一及第二储存部通过雾分离装置连通。

11.如权利要求10记载的装置，其特征在于，所述第一及第二冷凝器与所述第一及第二储存部被单元化。

12.如权利要求10记载的装置，其特征在于，在所述第一及第二冷凝部上分别设有冷凝器内温度检测装置。

13.如权利要求10记载的装置，其特征在于，设有回收并再生冷凝液的装置和将冷凝液进行排水的装置。

14.如权利要求13记载的装置，其特征在于，可以将来自所述第一冷凝器的冷凝液与来自所述第二冷凝器的冷凝液，有选择地对所述回收再生装置及所述排水处理装置进行供给。

15.如权利要求14记载的装置，其特征在于，还设有配管截流装置，并将该配管截流装置设置在使第一储存部与回收再生装置连通的第一配管、及使第二储存部与排水装置连通的第二配管的至少一方。

16.如权利要求10记载的装置，其特征在于，还具有对在所述第二冷凝器中被处理的废气进行处理的装置。

17.如权利要求16记载的装置，其特征在于，还设有用以对在第二冷凝器中被处理的废气进行冷凝的其他的装置，并将该其他的冷凝装置设置在使第二冷凝器与所述废气处理装置连通的配管上。

18.如权利要求10记载的装置，其特征在于，还设置雾捕捉装置及冷凝装置的至少一方，并将其配置于将有机废气供给到所述第一冷凝器的配管、以及从所述第二冷凝器排出废气的配管的至少一方。

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