CN100553425C - 电子部件装配设备和电子部件装配方法 - Google Patents

Abstract

本发明的一个目的是提供一种电子部件安装设备和电子部件安装方法，其能够延伸目标区域，从该区域多个部件能够被同时吸入并且因此提高从部件供应部分拾取电子部件的操作效率。在电子部件安装设备中，该装置用于由具有多个吸嘴的传送头从多个带式馈送器(5)中同时拾取多个电子部件，然后将电子部件安装在衬底上，各带式馈送器(5)中部件停止位置的移位量(d1-d4)先被检测并且存储作为停止位置校正数据，然后一旦由传送头拾取部件则基于该停止位置校正数据控制带式馈送机构，以执行配准操作从而使得部件停止位置与传送头中吸嘴的部件吸入位置一致。

Description

电子部件装配设备和电子部件装配方法

技术领域

本发明涉及一种电子部件安装设备，以及一种在衬底上安装该电子部件的电子部件安装方法。

背景技术

在电子部件安装设备中，电子部件被传送头从部件馈送部分拾取，其中诸如带式馈送器的大量的部件馈送设备并行排列，然后电子部件被传送到衬底上的位置并安装在其上。近年来，为了响应提高工作效率的要求，经常使用装有多个吸头的传送头来作为传送头。这样的传送头使在一个安装周转中拾取和安装多个电子部件成为可能，在该周转期间传送头在部件馈送部分和衬底之间来回一次。

此时，如果一旦从部件供应部分由传送头拾取电子部件就能够实现多个部件同时吸入，即在传送头的一个抬起操作中电子部件分别被多个吸嘴吸入，则拾取操作的工作效率能够改进并且工作效率也可以进一步提高。为了使该多个部件同时吸入成为可能，传送头中的吸嘴之间的安装间距(pitch)必须设置为与部件馈送部分中带式馈送器之间的对准间距一致。

然而，不容易一直满足这种情况。事实上，由于各种原因，例如上述间距的稍微不同、由系统误差造成的移位等，这样的多个部件同时吸入在很多情况下是被抑制的。因此，为了尽可能地减少这样的抑制因素，采用了各种反措施(见JP-UM-A-2-56499和JP-A-2001-94294)。

在专利文献1中的例子旨在得到这样的结构，甚至在这些间距相互之间有稍微移位的情况下，如果间距移位值在预定范围内，则通过在拾取操作中调整传送头的整体位置该间距移位被分配到多个吸嘴。因此，被分配到各个吸嘴的间距移位被限制在容许范围内。同时，在专利文献2中的例子配置成，因为滑块的相互位置被移动以倾斜一梁的角度，其中该滑块固定传送头安装于其上的梁的两端，所以连接传送头中的各吸嘴的嘴对准线能够与连接部件供应部分的部件供应单元的各部件供应位置的直线配合。

然而，在现有技术中，校正仅能在一定程度上、在非常有限的情况下实现，例如间距的差在某个范围内，吸嘴或者带式馈送器的倾斜在特定方向上等。因此，上述现有技术不能很大程度地延伸目标区域，从该区域多个部件能够被同时吸入。

发明内容

因此，本发明的一个目的是提供一种电子部件安装设备和电子部件安装方法，其能够延伸目标区域，从该区域多个部件能够被同时吸入并且因此提高从部件供应部分拾取电子部件的操作效率。

根据本发明一方面的电子部件安装设备，用于由具有多个吸嘴的传送头从在部件供应部分中平行排列的多个带式馈送器中同时拾取多个电子部件，然后将电子部件安装在衬底上，包括：提供到带式馈送器的带式馈送机构，馈送在带上固定的电子部件到吸嘴的部件吸入位置；校正数据产生装置，其产生停止位置校正数据以校正带式馈送机构的部件停止位置；校正数据存储装置，其存储停止位置校正数据；以及配准控制装置，其基于从校正数据存储装置中读取的停止位置校正数据控制带式馈送机构，从而将部件停止位置与部件吸入位置配合。

根据本发明另一方面的电子部件安装设备，还包括：停止位置检测装置，其检测部件停止位置，在该位置由带式馈送机构馈送的电子部件被停止；并且其中校正数据产生装置基于正常位置与由停止位置检测装置检测的停止位置检测结果之间的移位量，产生停止位置校正数据。

根据本发明又一方面的电子部件安装设备，还包括：吸嘴移位检测装置，其检测传送头中各吸嘴的移位；并且其中校正数据产生装置通过将由吸嘴移位检测装置检测的吸嘴移位检测结果与由停止位置检测器检测的停止位置移位检测结果相加来产生停止位置校正数据。

根据本发明再一方面的电子部件安装设备，还包括：部件移位检测装置，其通过识别由传送头从部件供应部分拾取的电子部件来检测电子部件的移位；并且其中校正数据产生装置基于由部件移位检测装置检测的部件移位检测结果来产生停止位置校正数据。

根据本发明的上述各个方面的电子部件安装设备，其中校正数据存储装置被分别提供给每个带式馈送器。

根据本发明的一方面的一种电子部件安装方法，用于由具有多个吸嘴的传送头从多个带式馈送器同时拾取多个电子部件，然后将电子部件安装在衬底上，其中该带式馈送器在部件馈送部分中并行排列，并且具有带式馈送机构，该带式馈送机构用于将固定在带上的电子部件馈送到吸嘴的部件吸入位置，该方法包括：校正数据产生步骤，产生停止位置校正数据以校正带式馈送机构的部件停止位置；校正数据存储步骤，将停止位置校正数据存储在校正数据存储装置中；配准步骤，基于从校正数据存储装置读取的停止位置校正数据，控制带式馈送机构以将部件停止位置与部件吸入位置配合。

根据本发明的另一方面的电子部件安装方法，还包括：停止位置检测步骤，检测由带式馈送机构馈送的电子部件停止的部件停止位置；并且其中基于正常位置与停止位置检测结果之间的移位量，在校正数据产生步骤中产生停止位置校正数据。

根据本发明的又一方面的电子部件安装方法，还包括：吸嘴移位检测步骤，检测传送头中各吸嘴的移位；其中通过将在吸嘴移位检测步骤中检测的吸嘴移位检测结果与在停止位置检测步骤中检测的停止位置移位检测结果相加，在校正数据产生步骤中产生停止位置校正数据。

根据本发明的再一方面的电子部件安装方法，还包括：部件移位检测步骤，通过识别被传送头从部件供应部分拾取的电子部件来检测电子部件的移位；并且其中基于部件移位检测结果，在校正数据产生步骤中产生停止位置校正数据。

根据本发明的上述各个方面的电子部件安装方法，在校正数据存储步骤中校正数据分别被存储在提供给每个带式馈送器的校正数据存储装置中。

根据本发明，产生用于校正带式馈送机构的部件停止位置的停止位置校正数据，该带式馈送机构被提供给带式馈送器，然后基于停止位置校正数据通过控制带式馈送机构来执行配准，从而部件停止位置与传送头中吸嘴的部件吸入位置一致。结果，目标区域能够扩大，从该区域多个电子部件能够被同时吸入，并且因此从部件供应部分拾取电子部件的操作效率能够被提高。

附图说明

图1是根据本发明实施例的电子部件安装设备的平面图。

图2是根据本发明实施例的安装到电子部件安装设备上的带式馈送器结构的示意图。

图3是根据本发明实施例的电子部件安装设备的局部截面图。

图4是根据本发明实施例的电子部件安装设备的控制系统的结构框图。

图5是根据本发明实施例的电子部件安装设备的部件供应部分的局部平面图。

图6是根据本发明实施例的电子部件安装方法中停止位置校正数据产生过程的流程图。

图7是根据本发明实施例的电子部件安装方法中该停止位置校正数据产生过程的流程图。

图8是根据本发明实施例的电子部件安装方法中吸嘴移位检测的示意图。

图9是根据本发明实施例的电子部件安装方法中该部件移位检测的示意图。

图10是根据本发明实施例的电子部件安装设备的部件供应部分的局部平面图。

具体实施方式

接下来，将参考下面的附图解释本发明的实施例。图1是根据本发明实施例的电子部件安装设备的平面图，图2是根据本发明实施例的安装到电子部件安装设备上的带式馈送器结构的示意图，图3是根据本发明实施例的电子部件安装设备的局部截面图，图4是根据本发明实施例的电子部件安装设备的控制系统的结构框图，图5是根据本发明实施例的电子部件安装设备的部件供应部分的局部平面图，图6和图7是根据本发明实施例的电子部件安装方法中停止位置校正数据产生过程的流程图，图8是根据本发明实施例的电子部件安装方法中吸嘴移位检测的示意图，图9是根据本发明实施例的电子部件安装方法中该部件移位检测的示意图，图10是根据本发明实施例的电子部件安装设备的部件供应部分的局部平面图。

首先，下面将参考图1解释电子部件安装设备的结构。在图1中，承轨(carrying route)2设置在基底1的X方向上的中心部分。承轨2用作衬底定位部分用于承载衬底3并且将其定位。用于供应多种电子部件的部件供应部分4设置在承轨2的两侧上。用于供应吸附在带上的电子部件的多个带式馈送器5设置在部件供应部分4中。

如图2所示，用于输送带(未示出)的带式馈送机构被提供给带式馈送器5，其中该带将电子部件固定在其上。该带通过由电机13间歇地驱动链轮14而被间距馈送，从而将电子部件馈送到部件吸入位置5a，在该位置部件被下文描述的吸嘴吸入。电机13由电机驱动部分12b驱动，该电机驱动部分内置于馈送器控制部12中，并且电机13经馈送器控制部12由系统主体的控制功能所控制。因此，施加到间距馈送所述带的馈送间距，和在停止该馈送时的停止位置能够被任意地设置。

此外，带式馈送器5具有馈送器存储部分12a，其嵌入在馈送器控制部分12中。诸如固定在带上的部件的类型、在拾取位置5a上每个带式馈送器所特有的停止位置校正量等数据，能够经馈送器控制部分12而被写出并且存储在其中。因此，馈送器存储部分12a用作校正数据存储装置，用于存储停止位置校正数据。该校正数据存储装置分别被提供给各带式馈送器。

然后，如下所述，一旦由每个带式馈送器5进行部件馈送操作，带式馈送器所特有的停止位置校正数据由馈送器控制部分12从馈送器存储部分12a中读取，并且由传送头使得部件停止位置与部件吸入位置一致。换句话说，馈送器控制部分12用作配准控制装置，用于基于从校正数据存储装置中读取的停止位置校正数据，通过控制带式馈送机构将部件停止位置与部件吸入位置相配合。

两个Y轴平板6A、6B设置在基底1上表面的两个端部上，两个X轴平板7A、7B桥接在Y轴平板6A、6B上。通过驱动Y轴平板6A，X轴平板7A在Y方向上水平移动，通过驱动Y轴平板6B，X轴平板7B在Y方向上水平移动。传送头8和与传送头8一起整体移动的衬底监测相机9被分别安装到X轴平板7A、7B上。

Y轴平板6A、X轴平板7A、Y轴平板6B和X轴平板7B构成用于移动传送头8的安装机构。通过驱动该安装机构水平地移动传送头8。然后，电子部件由吸嘴10(见图3)从各部件供应部分4拾取，并且被安装在定位于承轨2上的衬底3上。在衬底3之上移动的相机9拍下衬底3的图像以监测。同时，部件监测相机11被设置在从部件供应部分4延伸到承轨2的路线上。部件监测相机11从底部拍下电子部件的图像，其中该电子部件固定在每个传送头8上。

接下来，下面将参考图3解释传送头8。如图3所示，传送头8有多种类型，并且被配置成具有8(4×2栏)单元传送头8a。每个单元传送头8a在其下端具有吸嘴10以吸入并固定电子部件。通过各Z轴电机(未示出)，吸嘴10能够被提起放下，并且通过公共θ轴电机15能够绕喷嘴轴线旋转。

在此，单元传送头8a之间的对准间距p与在部件供应部分4中的带式馈送器5之间的对准间距p一致。因此，通过多个单元传送头8a从多个相邻带式馈送器5同时吸入和拾取多个电子部件p的多个部件同时吸入能够在一个部件拾取操作中实现，该拾取操作从部件供应部分4将传送头8提起和放下一次。换句话说，通过装有多个吸嘴10的传送头8，该电子部件安装设备从带式馈送器5同时拾取多个电子部件，然后将它们安装在衬底上，其中多个该带式馈送器被平行排列在部件供应部分4上。

部件监测相机11被设置在承轨2和部件供应部分4之间传送头8的移动路线上。在部件监测相机11之上，水平地移动固定电子部件的传送头8以执行监测操作。因此，能够获得二维图像，其中被部件监测相机11拍下的电子部件的一维图像排列在扫描方向。

接下来，下面将参考图4解释控制系统的结构。计算部分20由CPU组成，并且通过执行存储在程序存储部分21中的程序控制在下文中描述的各部分，从而执行诸如电子部件监测操作和安装操作等的各种处理。安装操作程序21a和停止位置校正数据产生程序21b包含在这些程序中。一旦执行这些程序，将涉及存储在数据存储部22中的数据。

安装操作程序21a是用于通过由头移动机构移动传送头8而执行部件安装操作的操作程序，该安装操作在衬底3上安装电子部件。停止位置校正数据产生程序21b是这样的一个程序，其用于执行产生下面描述的部件停止位置校正数据的处理。由计算部分20执行停止位置校正数据产生程序21b而实现的功能组成校正数据产生装置，用于产生停止位置校正数据以校正部件停止位置。

数据存储部分22存储各种数据，例如安装数据22a、停止位置校正数据22b等。因此，数据存储部分22组成校正数据存储装置，用于存储停止位置校正数据。每个带式馈送器5的馈送器存储部分12a只存储相关带式馈送器的停止位置校正数据，同时数据存储部22存储关于所有带式馈送器的停止位置校正数据。

安装数据22a是指示什么类的电子部件应该安装在衬底上什么位置来作为生产对象的数据。安装数据22a由指示电子部件类型和尺寸的部件数据、指示在衬底3上部件安装位置和安装顺序的安装顺序数据等组成。

停止位置校正数据22b是用于校正拾取位置5a的部件位置校正数据，在该拾取位置由带式馈送器5间距馈送的电子部件被停止(部件停止位置)。换句话说，当在带式馈送器5中通过驱动带间距馈送机构而执行带供应操作时，部件停止位置不是一直保持不变，其中在拾取位置作为拾取对象的电子部件被停止在该部件停止位置。在许多情况下，如图5所示，由于每个带式馈送器所特有的误差，停止位置是变化的。

因此，虽然带式馈送器5之间的排列间距与单元传送头8a之间的排列间距一致，如上所述，并且基本上使实现多个部件同时吸入成为可能，但是实际上由于部件停止位置的变化这多个部件同时吸入并不能执行。为了克服这个缺点，在本实施例中，一旦在安装操作中由各带式馈送器馈送部件，则各带式馈送器所特有的指示部件停止位置变化的移位量(如图5所示的移位量d1-d4)先被检测出来，然后各部件停止位置被各带式馈送器所特有的移位量校正。

图像识别部分23通过识别由衬底监测相机9和部件监测相机11拍下的图像的结果来执行下文所述的检测过程。通过将识别过程应用到衬底的图像数据，衬底3的位置能够被检测，该图像数据是通过移动衬底监测相机9到衬底3之上的位置所拍下的。如图5所示，通过将识别过程应用到带式馈送器5吸入位置的图像数据，在带式馈送器5的吸入位置中的电子部件的位置能够被检测，该图像数据是通过移动衬底监测相机9到部件供应部分4时拍下的。因此衬底监测相机9和图像识别部分23组成停止位置检测装置，以用来检测部件停止位置，在该位置，由带式馈送机构所供应的电子部件被停止。

通过将识别过程应用到吸嘴10的图像数据，能够分别检测传送头8本身吸嘴10的位置，该图像数据是当没有固定电子部件的传送头8移动到部件监测相机11之上位置的状态下从底部拍下的。也就是说，部件监测相机11和图像识别部分23构成用于检测传送头8中吸嘴10的各移位的吸嘴移位检测装置。

此外，通过将识别过程应用到电子部件的图像数据，被传送头8的吸嘴10吸入并固定的电子部件的位置能够分别被检测(见图9)，该图像数据是在拾取电子部件的传送头8被移动到部件监测相机11之上位置的状态下从底部拍下的。也就是说，部件监测相机11和图像识别部分23构成部件移位检测装置，用于通过识别由传送头8从部件供应部分4拾取的电子部件来检测电子部件的移位。

机构驱动部分24驱动用于沿着承轨2移动衬底的衬底承载机构25，以及用于移动传送头8的安装机构26。操作/输入部分27是诸如触板、键盘等的输入装置，用于输入操作命令和数据。显示部分28显示操作输入时的引导屏和警告时的信息屏。

同时，带式馈送器5的馈送器控制部分12被连接到系统主体的控制系统。由下面描述的停止位置校正数据产生过程产生的停止位置校正数据分别被写入带式馈送器5的馈送器存储部分12a中(见图2)。

本电子部件安装设备是如上所述构建的。

接下来，在下文中将解释电子部件安装方法。本电子部件安装方法被应用于通过传送头8从带式馈送器5中拾取多个电子部件，然后将这些电子部件安装在衬底上，该电子部件被固定在部件供应部分4上平行排列的多个带上，该带式馈送器5具有带式馈送机构以将电子部件分别供应到吸嘴10的部件吸入位置，该传送头8具有多个吸嘴10。

然后，在安装操作开始之前，首先产生用于校正带式馈送机构的部件停止位置的停止位置校正数据(校正数据产生步骤)，并且该产生的停止位置校正数据被存储在校正数据存储装置(校正数据存储步骤)。然后，在安装工作开始之后的安装操作中，通过基于从校正数据存储装置中读取的停止位置校正数据控制带式馈送机构，部件停止位置与部件吸入位置一起被配准(配准步骤)，然后在此状态下在适当位置停止的电子部件被传送头吸入并固定。

接下来，在下面将解释在上述校正数据产生步骤中执行的停止位置校正数据产生过程。在本实施例中，停止位置校正数据能够通过下面描述的两种方法来产生。

下面将参考图6解释停止位置校正数据产生过程(1)。首先，在带式馈送器5中以预定馈送量间距馈送电子部件作为对象(ST1)。然后，传送头8被移动到部件供应部分4，带式馈送器5的拾取位置5a的图像被衬底监测相机9拍下(ST2)。然后，电子部件的位置被图像识别部分23检测，并且与正常位置之间的各移位量被计算(ST3)。

结果，图5所示相对于各带式馈送器的移位量d1-d4被检测。然后，检测的移位量被存储作为带式馈送器所特有的停止位置校正数据(ST4)。此时，停止位置校正数据被写入系统主体的数据存储部分22中，并且还被写入带式馈送器5的馈送器存储部分12a中作为特有数据。因此，即使带式馈送器5被安装到另一电子部件安装设备上，并且在馈送器交换操作执行之后被用于其中，各带式馈送器所特有的停止位置校正数据也能够被立即读取。

换句话说，在上述例子中，在提供用于检测部件停止位置的停止位置检测装置的结构中，其中在该部件停止位置由带式馈送机构供应的电子部件被停止，基于由带式馈送器5中停止位置检测装置检测的停止位置检测结果来产生停止位置校正数据。

在此情况下，在上述的停止位置校正数据产生过程中，如果考虑在传送头8中吸嘴10的移位，则能够更精确地实现位置校正。此时，传送头8先被移动到部件监测相机11之上的位置，然后在测量窗W1中每个单元传送头8a在Y方向上吸嘴10的移位量y1被检测，如图8所示。

然后，通过将传送头8中吸嘴10的这些移位量和带式馈送器5中部件停止位置的移位量相加来产生停止位置校正数据。换句话说，在此实施例中，包含检测传送头8中各吸嘴移位的吸嘴移位检测步骤，然后根据吸嘴移位检测结果在校正数据产生步骤中产生停止位置校正数据。

接下来，下面将参考图7解释停止位置校正数据产生过程(2)。首先，在带式馈送器5中以预定馈送量来间距馈送电子部件，作为对象(ST11)。然后，传送头8被移动到部件供应部分4，然后电子部件被传送头8从带式馈送器5的拾取位置5a拾取(ST12)。然后，在其中固定电子部件的传送头8被移动到部件监测相机11之上的位置，然后电子部件的图像被部件监测相机11拍下(ST13)。

然后，电子部件的位置被图像识别部分检测，然后与正常位置间的移位量被检测(ST14)。也就是说，如图9所示，在测量窗W2中每个单元传送头8a在Y方向上由吸嘴10固定的电子部件P的移位量y2被检测。

该移位量与在带式馈送器5中部件停止位置的移位量相对应，从该部件停止位置各吸嘴10拾取电子部件P。

然后，存储被检测的移位量作为相关带式馈送器所特有的停止位置校正数据(ST15)。此时，与上述情况类似，停止位置校正数据被写入系统主体的数据存储部分22，还被写入相关带式馈送器5的馈送器存储部分12a中作为特有数据。

换句话说，在上述例子中，具有提供部件移位检测装置的结构，其中该部件移位检测装置用于通过识别被传送头8从部件供应部分4拾取的电子部件来检测电子部件的移位，在该结构中基于由部件移位检测装置检测的移位检测结果产生停止位置校正数据。

然后，当电子部件被具有多个吸嘴10的传送头8从部件供应部分4拾取时，基于每个带式馈送器5中的停止位置校正数据，通过控制带式馈送机构执行带的间距馈送。结果，如图10所示，电子部件P的停止位置能够与在所有带式馈送器5中作为对象的校正部件吸入位置配合。

因此，多个电子P能够同时被传送头8中的多个吸嘴10共同吸入并且固定。结果，目标区域能够扩大，从该区域多个部件能够被同时吸入，并且从部件供应部分拾取电子部件的操作效率能够提高。

<工业应用>

根据本发明，产生停止位置校正数据，该数据用于校正提供给带式馈送器的带式馈送机构的部件停止位置，然后通过基于停止位置校正数据控制带式馈送机构从而部件停止位置与传送头中吸嘴的部件吸入位置一致来执行配准。结果，能够扩大目标区域，从该区域多个电子部件能够同时被吸入，因此从部件供应部分拾取电子部件的操作效率能够提高。

Claims (10)

1、一种电子部件安装设备，用于由具有多个吸嘴的传送头从在部件馈送部分中并行排列的多个带式馈送器中同时拾取多个电子部件，然后将电子部件安装在衬底上，包括：

带式馈送机构，馈送在带式馈送器上提供并固定的电子部件，并且将该电子部件固定到吸嘴的部件吸入位置；

校正数据产生器，其产生停止位置校正数据以校正带式馈送机构的部件停止位置；

校正数据存储器，其存储停止位置校正数据；以及

配准控制器，其基于从校正数据存储器中读取的停止位置校正数据控制带式馈送机构，从而将部件停止位置与部件吸入位置配合。

2、根据权利要求1所述的电子部件安装设备，还包括：

停止位置检测器，其检测部件停止位置，在该位置由带式馈送机构馈送的电子部件被停止；

其中校正数据产生器基于正常位置与由停止位置检测器检测的停止位置检测结果之间的移位量，产生停止位置校正数据。

3、根据权利要求2所述的电子部件安装设备，还包括：

吸嘴移位检测器，其检测传送头中各吸嘴的移位；

其中校正数据产生器通过将由吸嘴移位检测器检测的吸嘴移位检测结果与由停止位置检测器检测的停止位置移位检测结果相加来产生停止位置校正数据。

4、根据权利要求1所述的电子部件安装设备，还包括：

部件移位检测器，其通过识别由传送头从部件供应部分拾取的电子部件来检测电子部件的移位；

其中校正数据产生器基于由部件移位检测器检测的部件移位检测结果来产生停止位置校正数据。

5、根据权利要求1所述的电子部件安装设备，其中校正数据存储器被分别提供给每个带式馈送器。

6、一种电子部件安装方法，用于由具有多个吸嘴的传送头从多个带式馈送器同时拾取多个电子部件，然后将电子部件安装在衬底上，其中该带式馈送器在部件供应部分中并行排列，并且具有带式馈送机构，该带式馈送机构用于将固定在带上的电子部件馈送到吸嘴的部件吸入位置，该方法包括：

校正数据产生步骤，产生停止位置校正数据以校正带式馈送机构的部件停止位置；

校正数据存储步骤，将停止位置校正数据存储在校正数据存储器中；

配准步骤，基于从校正数据存储器读取的停止位置校正数据，控制带式馈送机构以将部件停止位置与部件吸入位置配合。

7、根据权利要求6所述的电子部件安装方法，还包括：

停止位置检测步骤，检测由带式馈送机构馈送的电子部件停止的部件停止位置；

其中基于正常位置与停止位置检测结果之间的移位量，在校正数据产生步骤中产生停止位置校正数据。

8、根据权利要求7所述的电子部件安装方法，还包括：

吸嘴移位检测步骤，检测传送头中各吸嘴的移位；

其中通过将在吸嘴移位检测步骤中检测的吸嘴移位检测结果与在停止位置检测步骤中检测的停止位置移位检测结果相加，在校正数据产生步骤中产生停止位置校正数据。

9、根据权利要求6所述的电子部件安装方法，还包括：

部件移位检测步骤，通过识别由传送头从部件供应部分拾取的电子部件来检测电子部件的移位；

其中基于部件移位检测结果，在校正数据产生步骤中产生停止位置校正数据。

10、根据权利要求6所述的电子部件安装方法，其中在校正数据存储步骤中校正数据分别被存储到提供给每个带式馈送器的校正数据存储器中。

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