CN100527354C - 开盖装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种开盖装置，用于开启设备的盖板，包括驱动装置、减速装置和执行机构，驱动装置通过减速装置驱动执行机构转动，可将盖板打开。减速装置包括蜗杆、蜗轮及齿轮组，驱动装置可以是电机，也可以人工驱动。可通过驱动装置调整和控制开盖速度，通过蜗杆、蜗轮实现大速比减速，并避免反向传递运动。结构简单、便于操作、开盖速度可调整、开盖安全稳定。尤其适用于开启或关闭半导体加工设备的平台腔室盖板，也可以适用于开启或关闭其它的设备盖板。

Description

开盖装置

技术领域

本发明涉及一种设备的附属装置，尤其涉及一种半导体加工设备的开盖装置。

背景技术

半导体设备中某些部件在维护中必须打开，比如平台腔室的腔室盖，在需要对腔室内部进行真空机械手更换及调试或者清理腔室内部时，腔室盖就需要打开。由于腔室盖的重量较大，靠人力难以完成，因此必须借助机械工具才能完成开盖。

现有技术中，打开腔室盖的方法主要有两种：

一种是如图1所示的气缸式开盖机构，连杆3一端与气缸1连接，一端与盖板2连接，连杆3在气缸1作用下带动盖板2上升，实现开盖。由于该机构开或合盖时，盖板2垂直运动，力矩大，有挠度影响，致使合盖时盖板2的各部分不能同时接触腔室4，多次合盖将导致盖板2或腔室4受损；另外，当需要装配真空机械手时，盖需要开得非常高，致使气缸臂导轨必须非常长，占用较大的空间，容易对设备的其它部件如管线的布置造成影响，外形美观上影响较大。

另一种是如图2所示的气弹簧式开盖机构，气弹簧臂5一端与支撑柱6连接，一端与盖板2连接，盖板2通过转轴7与腔室铰接。当需要维护腔室时，借助人力，在气弹簧臂5的辅助下，绕转轴7旋转开盖板2。该机构使用范围窄，只适用于盖板2重量较小时的应用，另外，由于需要借助人力，速度不好控制，不能实现自动化，效率低，安全性不强。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构简单、便于操作、开盖速度可调整、开盖安全稳定的开盖装置。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明的开盖装置，用于开启或关闭设备的盖板，包括驱动装置、减速装置和执行机构；

所述的执行机构包括连杆和扇形齿轮，扇形齿轮与设备的机架铰接，连杆的一端与设备的机架铰接，另一端与盖板固定连接；

所述的减速装置包括蜗杆、蜗轮，所述蜗轮与扇形齿轮啮合；

所述驱动装置与蜗杆连接，可通过减速装置驱动执行机构的扇形齿轮带动连杆一同转动，开启或关闭设备的盖板。

所述的减速装置还包括齿轮组，所述蜗轮通过齿轮组与扇形齿轮啮合。

所述的齿轮组为多级齿轮传动。

所述的齿轮组为二级齿轮传动，包括第一齿轮、第二齿轮和第三齿轮，

所述第一齿轮与蜗轮固定连接，并与第二齿轮啮合，组成一级齿轮传动；

所述第三齿轮与第二齿轮固定连接，并与所述扇形齿轮啮合，组成另一级齿轮传动。

所述的驱动装置包括电机，所述电机的输出轴与蜗杆连接。

所述的电机为调速电机。

所述的驱动装置还包括变速器，所述电机的输出轴通过变速器与蜗杆连接。

所述的驱动装置包括曲柄，曲柄与蜗杆连接，通过旋转曲柄可驱动蜗杆转动。

所述的曲柄包括转盘与把手，所述转盘的中心部位与蜗杆连接，所述转盘的边缘部位连接有把手。

由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的开盖装置，由于包括驱动装置、减速装置和执行机构。减速装置包括蜗杆、蜗轮，可通过驱动装置调整和控制开盖速度，通过蜗杆、蜗轮实现大速比减速，并避免反向传递运动。

结构简单、便于操作、开盖速度可调整、开盖安全稳定。尤其适用于开启或关闭半导体加工设备的平台腔室盖板，也可以适用于开启或关闭其它设备的盖板。

附图说明

图1为现有技术中气缸式开盖机构的结构示意图；

图2为现有技术中气弹簧式开盖机构的结构示意图；

图3为图2的俯视图；

图4为本发明开盖装置具体实施例一的结构示意图一；

图5为本发明开盖装置具体实施例一的结构示意图二；

图6为本发明开盖装置具体实施例二的结构示意图。

具体实施方式

本发明的开盖装置，用于开启或关闭设备的盖板，这里所述的设备主要指半导体加工设备的平台腔室，也可以是其它的设备。

其较佳的具体实施例一，如图4、图5所示，包括驱动装置、减速装置和执行机构。

所述的执行机构通过铰轴17与设备的机架铰接，并与盖板2固定连接，铰轴17可以固定在腔室上，也可以固定在半导体加工设备的机架上，执行机构绕铰轴17转动可将盖板2开启或关闭。

所述驱动装置通过减速装置与执行机构啮合，可驱动执行机构绕铰轴17转动，将盖板2打开。通过驱动装置可调整和控制开盖速度。

所述的减速装置包括蜗轮12、蜗杆11，所述的执行机构包括扇形齿轮16，所述扇形齿轮16通过铰轴17与设备的机架铰接，连杆3的一端通过铰轴17与设备的机架铰接，另一端与盖板2固定连接。

所述蜗轮12与扇形齿轮16啮合。所述驱动装置与蜗杆11连接。驱动装置通过蜗杆11、蜗轮12减速后，蜗轮12带动扇形齿轮16转动，扇形齿轮16带动连杆3转动将盖板2打开。通过蜗杆、蜗轮可实现大速比减速，并避免反向传递运动。

上述的减速装置还可以包括齿轮组，所述蜗轮12通过齿轮组与扇形齿轮16啮合。齿轮组可以为多级齿轮传动，相互之间依次连接或啮合。

一个优选的实施例为：所述的齿轮组为二级齿轮传动，包括3个齿轮，分别为第一齿轮13、第二齿轮14和第三齿轮15，

所述第一齿轮13与蜗轮12固定连接，并与第二齿轮14啮合，组成一级齿轮传动；

所述第三齿轮15与第二齿轮14固定连接，并与所述扇形齿轮16啮合，组成另一级齿轮传动。

蜗轮12依次经过第一齿轮13、第二齿轮14、第三齿轮15驱动扇形齿轮16转动。

上述的蜗杆、蜗轮的减速比及齿轮的数量根据驱动装置的转速及负荷确定。当然，也不限于蜗杆、蜗轮、齿轮的减速方式，也可以是其它的减速方式，例如摆线针减速、滑轮组减速等。

本实施例中的驱动装置包括电机8，电机8的输出轴与蜗杆11连接，驱动蜗杆11转动。电机可以是调速电机，也可以是普通电机通过变频器或可编程控制器PLC调速。

根据需要，驱动装置还可以包括变速器10，电机8的输出轴通过联轴器9与变速器10的输入轴连接，变速器10的输出轴与蜗杆11连接，驱动蜗杆11转动。

运用电机驱动可以实现自动控制。通过调节电机8的转速控制盖板2绕轴旋转速度，电机调速是很成熟的技术，容易实现，操作简便，而且可以通过调整电机转速，满足开盖过程不同阶段转速不同的要求。本发明的开盖装置体积小，外观简洁，适用范围广。若开盖过程中，突然停电，电机停止工作，由于蜗杆与蜗轮啮合面设计满足机械原理要求，腔室盖停止不动，不会突然落下，从而满足安全性的要求。

上述驱动装置不限于电机，也可以用其它的驱动马达，或人工驱动。

具体实施例二，如图6所示，所述的驱动装置包括曲柄，曲柄与蜗杆12连接，通过人工转动曲柄驱动蜗杆12转动。

所述的曲柄包括转盘18，所述转盘18的中心部位与蜗杆11连接，所述转盘18的边缘部位连接有把手19，转动把手19可驱动蜗杆11转动。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1、一种开盖装置，用于开启或关闭设备的盖板，其特征在于，包括驱动装置、减速装置和执行机构；

所述的执行机构包括连杆和扇形齿轮，扇形齿轮与设备的机架铰接，连杆的一端与设备的机架铰接，另一端与盖板固定连接；

所述的减速装置包括蜗杆、蜗轮，所述蜗轮与扇形齿轮啮合；

所述驱动装置与蜗杆连接，能通过减速装置驱动执行机构的扇形齿轮带动连杆一同转动，开启或关闭设备的盖板。

2、根据权利要求1所述的开盖装置，其特征在于，所述的减速装置还包括齿轮组，所述蜗轮通过齿轮组与扇形齿轮啮合。

3、根据权利要求2所述的开盖装置，其特征在于，所述的齿轮组为多级齿轮传动。

4、根据权利要求3所述的开盖装置，其特征在于，所述的齿轮组为二级齿轮传动，包括第一齿轮、第二齿轮和第三齿轮，

所述第一齿轮与蜗轮固定连接，并与第二齿轮啮合，组成一级齿轮传动；

所述第三齿轮与第二齿轮固定连接，并与所述扇形齿轮啮合，组成另一级齿轮传动。

5、根据权利要求1所述的开盖装置，其特征在于，所述的驱动装置包括电机，所述电机的输出轴与蜗杆连接。

6、根据权利要求5所述的开盖装置，其特征在于，所述的电机为调速电机。

7、根据权利要求5或6所述的开盖装置，其特征在于，所述的驱动装置还包括变速器，所述电机的输出轴通过变速器与蜗杆连接。

8、根据权利要求1所述的开盖装置，其特征在于，所述的驱动装置包括曲柄，曲柄与蜗杆连接，通过旋转曲柄能驱动蜗杆转动。

9、根据权利要求8所述的开盖装置，其特征在于，所述的曲柄包括转盘与把手，所述转盘的中心部位与蜗杆连接，所述转盘的边缘部位连接有把手。

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