CN110299301B - 用于多腔传输装置的开盖机构 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于多腔传输装置的开盖机构，包括切换组件、驱动组件、多组传动组件和多组开盖执行组件，每组传动组件对应连接有一组开盖执行组件；切换组件用于将驱动组件选择性地与其中一组传动组件相连；驱动组件用于驱动传动组件以带动开盖执行组件摆动。开盖机构可以节约多腔传输装置的安装空间、降低了设备成本和人力成本，大幅地提升开盖机构的工作效率。

Description

用于多腔传输装置的开盖机构
技术领域
本发明涉及半导体加工设备领域，具体涉及一种用于多腔传输装置的开盖机构。
背景技术
众所周知的是，基片传输平台是半导体加工设备中的重要组成部分。具体地，在加工芯片的过程中，基片传输平台用于在不同工艺腔室之间快速、高效、可靠地传输基片，使得整台半导体设备具有较高度的自动化程度和较高的可靠性。
其中，双腔室传输平台以其可挂载工艺腔室数量多、集成度高等性能等优点得到了广泛的应用。图1所示为一种包括可挂载八个工艺腔室的双腔传输平台的半导体加工设备，该半导体加工设备包括双腔传输平台101、基片装载装置102、两个机械手(图中未示出)和八个真空工艺腔103。
对于图1所示的半导体加工设备，每隔一段时间传输腔需要开盖维护，但是现有技术中，一个开盖机构只能控制一个传输腔的盖板的开闭，如果想要控制两个传输腔盖板开闭就需要两套开盖机构，由于结构上的限制，两套开盖机构布置到所述双腔传输平台的两侧，操作人员对其中一侧的开盖机构操作后，需要转到整个传输平台的另一侧才能对另一侧的开盖机构进行操作，这不仅增加了设备成本和人力成本而且降低工作效率，此外在双腔传输装置上安装两个开盖机构会占用很大的安装空间。
因此，如何优化开盖机构的结构以节约多腔传输装置的安装空间、降低设备成本和人力成本，并提升开盖机构工作效率成为亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于多腔传输装置的开盖机构。所述开盖机构可以节约多腔传输装置的安装空间、降低了设备成本和人力成本，而且还大幅地提升了开盖机构的工作效率。
为实现上述目的，本发明提供了一种用于多腔传输装置的开盖机构，包括切换组件、驱动组件、多组传动组件和多组开盖执行组件，其中，
每组所述传动组件对应连接有一组所述开盖执行组件；
所述切换组件用于将所述驱动组件选择性地与其中一组所述传动组件相连；
所述驱动组件用于驱动所述传动组件以带动所述开盖执行组件摆动。
可选地，所述驱动组件包括第一转轴和套设在所述第一转轴上的主动齿轮；
每组所述传动组件均包括第一从动齿轮，所述第一从动齿轮能与所述主动齿轮啮合；
所述切换组件包括切换杆，所述切换杆与所述第一转轴连接，通过调节所述切换杆的位置能使所述主动齿轮选择性地与其中一个所述第一从动齿轮啮合。
可选地，所述切换组件还包括承载件、支撑座和连接件，其中，所述承载件用于为所述切换杆提供支撑，所述支撑座固定在所述承载件上，所述切换杆与所述支撑座铰接且所述切换杆的端部通过所述连接件与所述第一转轴连接。
可选地，沿所述主动齿轮的轴线方向，多个所述第一从动齿轮错开设置。
可选地，所述切换杆在连接所述第一转轴的一端开设导向槽；
所述连接件包括与所述第一转轴连接的柱状本体和沿所述柱状本体外表面凸出的滑动销；
所述切换杆的自由端绕所述支撑座摆动时，所述滑动销能在所述导向槽中滑动且能带动所述第一转轴上升或下降。
可选地，所述柱状本体包括可拆卸连接的第一本体部和第二本体部，所述第一本体部和所述第二本体部在朝向所述第一转轴的内表面上均开设限位槽，两个所述限位槽能形成限位腔；
所述第一转轴的外表面与所述限位槽对应的位置设置有限位凸起，所述限位凸起容纳在所述限位腔中；
所述柱状本体与所述第一转轴之间能相对转动。
可选地，所述切换杆包括相连接的第一切换杆和第二切换杆；
所述切换杆在所述第一切换杆和所述第二切换杆的连接处与所述支撑座铰接；
所述第一切换杆和所述第二切换杆二者的轴线之间呈预设角度。
可选地，每组所述传动组件均还包括第二转轴、第三转轴、蜗杆、蜗轮、第二从动齿轮以及齿轮部，其中，
所述第二转轴上分别设有所述第一从动齿轮和所述蜗杆，所述第三转轴上分别设有所述蜗轮和所述第二从动齿轮；
所述蜗轮能与所述蜗杆啮合，所述第二从动齿轮能与所述齿轮部啮合；
所述开盖执行组件包括摆臂，所述齿轮部能带动所述摆臂摆动。
可选地，所述承载件为箱体，多组所述传动组件均位于所述箱体内，所述切换组件位于所述箱体外。
可选地，多个所述第一从动齿轮的同侧端面位于同一平面上，所述切换杆平移时能带动所述第一转轴平移，以使所述主动齿轮选择性地与其中一个所述第一从动齿轮啮合。
本发明的有益技术效果：
在本发明中，相较于现有技术中存在的诸如“一个开盖机构只能控制一个传输腔室的腔体盖打开或者关闭；多个开盖机构安装在多腔室传输平台的不同位置，造成多腔室传输平台的安装空间的被占用过多以及设备成本的增加；操作者需要奔走于各个开盖机构之间而造成的人力成本增加”等问题而言，将一套本发明所提供的开盖机构应用于多腔室传输平台，操作者只需要固定在一个位置对该开盖机构进行操作，就可实现对多个传输腔室的腔体盖的打开或者关闭的控制。因此，本发明所提供的用于多腔传输装置的开盖机构不仅节约了多腔传输装置的安装空间、降低了设备成本和人力成本，而且还大幅地提升了开盖机构的工作效率。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为现有技术中由双腔传输平台所构成的半导体加工设备；
图2为本发明所提供的开盖机构整体结构示意图；
图3为本发明所提供的开盖机构的切换组件与驱动组件的连接处局部剖面结构示意图；
图4为本发明所提供的第二切换杆的俯视结构示意图；
图5为本发明所提供的开盖机构的安装基础示意图；
图6为本发明所提供的开盖机构在第一工作状态下的结构示意图；
图7为本发明所提供的开盖机构在第二工作状态下的结构示意图；
图8为本发明所提供的开盖机构的另一种状态切换示意图。
附图标记说明
101：双腔传输平台 102：基片装载装置
103：工艺腔 200：切换组件
201：切换杆 202：支撑座
203：承载件 204：连接件
2011：第一切换杆 2012：第二切换杆
2031：顶板 2032：侧壁板
2041：第一本体部 2041’：第二本体部
2042：限位槽 2043：滑动销
20121：连接部 20122：导向部
300：驱动组件 301：操作柄
302：操作盘 303：第一转轴
304：主动齿轮 3031：限位凸起
400：传动组件 401：第二转轴
402：第一从动齿轮 403：蜗杆
404：蜗轮 405：第二从动齿轮
406：第三转轴 407：齿轮部
500：开盖执行组件 501：摆臂
502：安装轴
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
作为本发明的一个方面，提供了一种用于多腔传输装置的开盖机构，如图2所示，包括切换组件200、驱动组件300、多组传动组件400和多组开盖执行组件500，其中，每组传动组件400对应连接有一组开盖执行组件500；切换组件200用于将驱动组件300选择性地与其中一组传动组件400相连；驱动组件300用于驱动传动组件400以带动开盖执行组件500摆动。
如上所述，在本发明中，所述用于多腔传输装置的开盖机构包括一套切换组件200、一套驱动组件300、多套传动组件400以及多套开盖执行组件500。容易理解的是，所述开盖机构的工作过程中包括多个切换状态。具体地，通过控制切换组件200在不同开盖状态之间切换，可以实现驱动组件300选择性地与不同的传动组件400连接，进而通过驱动组件300驱动与其连接的传动组件400，传动组件400会进一步带动开盖执行组件500摆动，开盖执行组件500会打开相应的传输腔室的腔室盖。
由此可知，相较于现有技术中存在的诸如“一个开盖机构只能控制一个传输腔室的腔体盖打开或者关闭、多个开盖机构安装在多腔室传输平台的不同位置，造成多腔室传输平台的安装空间的被占用过多以及设备成本的增加、操作者需要奔走于各个开盖机构之间而造成的人力成本增加”等问题而言，将一套本发明所提供的开盖机构应用于多腔室传输平台，操作者只需要固定在一个位置对该开盖机构进行操作，就可实现对多个传输腔室的腔体盖的打开或者关闭的控制，如不需要时可以将该开盖机构卸下。因此，本发明所提供的用于多腔传输装置的开盖机构不仅节约了多腔传输装置的安装空间、降低了设备成本和人力成本，而且还大幅地提升了开盖机构的工作效率。
本领域技术人员应该理解的是，本发明所述多个传输腔可以是两个，也可以是更多个。当传输腔为两个时，本发明所述开盖机构具有两种开盖状态。当传输腔为三个时，本发明所述开盖机构具有三种开盖状态。以此类推，此处不再赘述。
容易理解的是，本发明所提供的所述开盖机构应用于所述多腔室传输装置，如上所述，通过控制切换组件200的切换可以使得驱动组件300选择性地与多组不同的传输组件400连接，在本发明中，定义驱动组件300与多组不同传输组件400中的一个连接时为一种开盖状态，因为不同传输组件400对应着不同的传输腔室，由此可知，当传输腔室为多个时，相应地，所述开盖机构就会具有与传输腔室个数一致的开盖状态。
需要说明的是，当所述多腔传输装置需要开启腔室盖进行维护时，利用本发明所述开盖机构进行开盖操作，在不需要执行开盖操作时，所述开盖机构单独放置，不需要与所述多腔室传输装置连接。
在本发明中，如图2所示，驱动组件300包括第一转轴303和套设在第一转轴303上的主动齿轮304；每组传动组件400均包括第一从动齿轮402，第一从动齿轮402能与主动齿轮304啮合；切换组件200包括切换杆201，切换杆201与第一转轴303连接，通过调节切换杆201的位置能使主动齿轮304选择性地与其中一个第一从动齿轮402啮合。
如上所述，切换组件200包括切换杆201，切换杆201与第一转轴303连接，通过控制切换杆201的位置变化，可以使得固定设置在第一转轴303上的主动齿轮304选择性地与每组传动组件400中的第一从动齿轮402啮合，从而通过驱动组件300给传动组件400提供动力，以进一步带动开盖执行组件500摆动，进而完成相应地传输腔室的腔体盖的打开或者关闭。
需要说明的是，作为本发明的一种是可选地实施方式，如图2所示，驱动组件300还包括操作柄301和操作盘302，操作盘302与第一转轴303的一端固定连接，操作柄301设置在操作盘302的表面上，且第一转轴303和操作柄301分别位于操作盘302的两侧。
如上所述，本发明通过切换组件200完成传输腔开盖状态的切换后，利用驱动组件300中的操作柄301和操作盘302带动第一转轴303转动，进而带动固定于第一转轴303之上的主动齿轮304转动，从而为传动组件400以及开盖执行组件500提供动力以实现所述传输腔室的腔体盖打开或者关闭。容易理解的是，操作柄和操作盘结构简单、便于安装，而且易于操作者控制。
在本发明中，如图2和图5所示，切换组件200还包括承载件203、支撑座202和连接件204，其中，承载件203用于为切换杆201提供支撑，支撑座202固定在承载件203上，切换杆201与支撑座202铰接且切换杆201的端部通过连接件204与第一转轴303连接。
如上所述，支撑座202固定承载件203上，切换杆201与支撑座202铰接，以使得切换杆201的可以绕支撑座202在预定范围内自由转动；切换杆201的一端为自由端，另一端通过连接件204与第一转轴303连接，改变切换杆201自由端的位置，相应地，切换杆201的另一端的位置也会改变，从而可以带动第一转轴303的位置改变。
在本发明中，如图2所示，沿主动齿轮304的轴线方向，多个第一从动齿轮402错开设置。
如上所述，本发明提供的所述开盖机构包括多组传动组件400，其中，如图2所示，作为本发明的一种实施方式，所述开盖结构包括两组传动组件400，每组传动组件400都包括第一从动齿轮402，沿着主动齿轮304的轴线方向，多个第一从动齿轮402错开设置，即，多组传动组件400中的第一从动齿轮402的端面不在同一平面内。此种结构设计可以使得整个开盖机构的机构更紧凑，从而节省安装空间，同时也为切换组件200执行切换操作提供了结构基础。
在本发明中，如图2所示，切换杆201在连接第一转轴303的一端开设导向槽；连接件204包括与第一转轴303连接的柱状本体和沿所述柱状本体外表面凸出的滑动销(未示出)；切换杆201的自由端绕支撑座202摆动时，滑动销2043能在所述导向槽中滑动且能带动第一转轴303上升或下降。
如上所述，切换杆201在与第一转轴303连接的一端设置有导向槽，如图3所示，连接件204包括柱状本体和设置于所述柱状本体外表面的滑动销2043。切换杆201通过连接件204与第一转轴303连接以实现对不同传输腔室开盖状态的切换，具体地，切换杆201的自由端绕支撑座202摆动时，滑动销2043能在所述导向槽中滑动，从而使得所述柱状本体能带动第一转轴303上升或下降，进而改变了设置在第一转轴303上的主动齿轮304的位置，使主动齿轮304可以与处于不同位置的第一从动齿轮402啮合，以实现对不同传输腔室开盖状态的切换。
在本发明中，如图3所示，所述柱状本体包括可拆卸连接的第一本体部2041和第二本体部2041’，第一本体部2041和第二本体部2041’在朝向第一转轴303的内表面上均开设限位槽2042，两个限位槽2042能形成限位腔；第一转轴303的外表面与限位槽2042对应的位置设置有限位凸起3031，所述限位凸起3031容纳在所述限位腔中；所述柱状本体与所述第一转轴303之间能相对转动。
如上所述，所述柱状本体的内表面(即朝向第一转轴的一侧)设置有由限位槽2042形成的限位腔，并且在第一转轴303上形成有与所述限位腔相匹配的限位凸起3031，限位凸起3031容纳在所述限位腔中，以使得当切换杆201绕支撑座摆动时，可以实现针对所述传输腔室的开盖状态切换。具体地，通过所述限位腔与限位凸起3031之间的结构关系，可以使得连接件204与第一转轴303之间的轴向位置相对固定，以保证当连接件204跟随切换杆201的摆动而轴向位置发生变化时，连接件204可以带动第一转轴303沿轴向上升或者下降，进而使主动齿轮304可以与处于不同位置的第一从动齿轮402啮合，以实现对不同传输腔室开盖状态的切换。
本领域技术人员应该知晓的是，在实际应用中为便于加工、组装，上述设置于第一转轴303上的限位凸起3031，作为本发明的一种实施方式，限位凸起3031可以为轴承，轴承的支撑部件位于限位槽2042中，轴承的转动部件固定于第一转轴303上，以使得第一转轴303可以跟随操作盘302相对连接件204转动，而连接件204的位置相对固定。
进一步地，所述柱状本体与所述第一转轴之间能相对转动，可以使得驱动组件300在不影响切换组件200的情况下，通过第一转轴303为传动组件400提供驱动力。具体地，当操作者转动操作柄301时，第一转轴303跟随操作盘302相对连接件204转动，而连接件204的位置不发生变化(即连接件204不跟随第一转轴303一起转动)。
需要说明的是，作为本发明的一种优选地实施方式，所述限位腔可以为圆环形腔体。
在本发明中，如图2、图6和图7所示，切换杆201包括相连接的第一切换杆2011和第二切换杆2012；切换杆201在第一切换杆2011和第二切换杆2012的连接处与支撑座202铰接；第一切换杆2011和第二切换杆2012二者的轴线之间呈预设角度。
如上所述，切换杆201包括第一切换杆2011和第二切换杆2012，第一切换杆2011与第二切换杆2012的连接处与支撑座202铰接，以使得切换杆201可以绕支撑座202转动；
此外，第一切换杆2011和第二切换杆2012二者的轴线之间呈预定角度，所述预定角度形成在第一切换杆2011与第二切换杆2012的连接处，以便于形成杠杆结构，易于安装。并且为第一切换杆2011的自由端提供更大的移动空间。
在本方发明中，如图2和图4所示，第二切换杆2012包括连接部20121和两个导向部20122，连接部20121的一端与第一切换杆2011固定连接，两个导向部20122间隔设置，以使得连接件204的所述柱状本体位于两个导向部20122之间的间隔中，两个导向部20122均与连接部20121的另一端固定连接，两个导向部20122上均设置有所述导向槽，即所述导向槽形成在第二切换杆2012上。
作为一种优选实施方式，导向槽具有开口。以便于在安装时滑动销2043可以从开口处进入导向槽。
需要说明的是，本发明所述导向槽的结构还可以为其他形式，此处不做具体限定，只要是能够使得滑动销2043在其中能够滑动即可。
在本发明中，如图2所示，每组传动组件400均还包括第二转轴401、第三转轴406、蜗杆403、蜗轮404、第二从动齿轮405以及齿轮部407，其中，第二转轴401上分别设有第一从动齿轮402和蜗杆403，第三转轴406上分别设有蜗轮404和第二从动齿轮405；蜗轮404能与蜗杆403啮合，第二从动齿轮能405与齿轮部407啮合；开盖执行组件500包括摆臂501，齿轮部407能带动摆臂501摆动。
如上所述，传动组件400包括第二传动轴401和第三传动轴406，第二传动轴401和第三传动轴406与操驱动组件300中第一传动轴303之间通过齿轮系构成了传动结构，以使得操作人员对腔体盖的打开或者关闭操作得以执行。
具体地，第一转轴303转动带动主动齿轮304转动，主动齿轮304和与之啮合的第一从动齿轮402之间构成一级传动，从而带动第一从动齿轮402转动。第一从动齿轮402带动第二转轴401转动，因为蜗杆403形成于第二转轴401上，所以蜗杆403跟随第二转轴401转动。蜗杆403与蜗轮404之间构成二级传动，以使得蜗轮404可以带动第三转轴406转动，且因为蜗轮404与第二从动齿轮405均设置在第三转轴406上，所以第二从动齿轮405跟随第三转轴406转动。第二从动齿轮405与齿轮部407啮合以构成三级传动，从而使得摆臂501随着齿轮部407的转动而上下摆动以实现对与之相连的腔体盖的打开或者关闭。
需要说明的是，如图2、图5至图7所示，开盖执行组件500还包括安装轴502，齿轮部407固定在安装轴502的一端，侧壁板2032上设置有与安装轴502对应的安装通孔，安装轴502的另一端穿过所述安装通孔，摆臂501与安装轴502的另一端固定连接。
在本发明中，如图5所示，承载件203为箱体，多组传动组件400均位于所述箱体内，切换组件200位于所述箱体外。
如上所述，作为本发明的又一个优选地实施方式，如图5所示，承载件203包括顶板2031和侧壁板2032，侧壁板2032围绕顶板2031设置，以围成容纳腔，多组传动组件400设置在所述容纳腔中，支撑座202设置在顶板2031的外表面上，驱动组件300的主动齿轮304以及部分第一转轴303位于所述容纳腔内部。
如上所述，由顶板2031和侧壁板2032构成的容纳腔不仅为支撑座202提供了支撑，而且还为传动组件400以及部分驱动组件300提供了封闭空间，提升了开盖机构工作时的安全系数，既避免其齿轮系对操作人员造成伤害，也避免了外部环境对齿轮系的干扰。
需要说明的是，操作柄301、操作盘302和连接件204位于所述容纳腔外部。
在本发明中，如图8所示，多个第一从动齿轮402的同侧端面位于同一平面上，切换杆201平移时能带动第一转轴303平移，以使主动齿轮304选择性地与其中一个第一从动齿轮402啮合。
作为本发明的另一种实施方式，可选地，所述开盖机构设置多个第一从动齿轮402的同侧端面位于同一平面上，即位于第一转轴303同一侧的多组第一从动齿轮402的端面位于同一平面上，进而可以通过控制切换杆201的自由端的位置变化，带动第一转轴303沿着水平方向发生位移，以使得设置在第一转轴303上的主动齿轮304能够选择性与同一侧的多组第一从动齿轮402中的一个啮合，以构成传动结构，进而实现对腔室盖的开启或者关闭。
需要说明的是，位于第一转轴303不同侧的多组第一从动齿轮402的端面可以不位于同一平面上，当所述开盖机构执行完一侧的开盖操作，需要执行对侧的腔室盖的开启或者关闭时，可以利用本发明第一种实施方式所述的方法执行，具体地，通过控制切换杆201的自由端的位置变化，带动第一转轴303在垂直方向升起或者下降，进而调整主动齿轮304与所述对侧的第一从动齿轮402处于同一平面，并啮合以构成传动结构，进而实现对腔室盖的开启或者关闭。
作为本发明的再一个具体实施方式，可选地，如图6和图7所示，本发明的开盖机构包括两个开盖执行组件400。
为便于本领域技术人员对本发明的技术方案进行理解，下面结合图6和图7的情况为例，对本发明的原理进行描述。
本领域技术人员应该知晓的是，本发明下述实施方式中所述方向名词“左侧、右侧、上升、下降”均以图6、图7为例，左侧即为第一转轴303的左侧，右侧即为第一转轴303右侧，上升即为沿第一转轴303的轴向向上移动，下降即为沿第一转轴303的轴向向下移动。
如图6所示，为本发明开盖机构的第一工作状态，即为第一切换杆2011处于抬起状态，与顶板2031形成一定角度，第二切换杆2012处于水平状态，与安装顶板2031平行，此时主动齿轮304与左侧第一从动齿轮402啮合。通过转动操作盘302可以向主动齿轮304提供动力，主动齿轮304与第一从动齿轮402形成一级传动，进而通过蜗杆403与蜗轮404之间的二级传动以及第二从动齿轮405与齿轮部407之间的三级传动实现了左侧传动组件400的正常运转，最终实现控制左侧摆臂501对应的腔体盖打开或者关闭。
相应的，如图7所示，为本发明开盖机构的第二工作状态，即为第一切换杆2011处于水平状态，与顶板2031平行，第二切换杆2012处于抬起，与顶板2031形成一定角度，此时主动齿轮304与右侧第一从动齿轮402啮合。通过转动操作盘302可以向主动齿轮304提供动力，主动齿轮304与第一从动齿轮402形成一级传动，进而通过蜗杆403与蜗轮404之间的二级传动以及第二从动齿轮405与齿轮部407之间的三级传动实现了右侧开盖执行组件400的正常运转，最终实现控制右侧摆臂501对应的腔体盖打开或者关闭。
容易理解的是，在上述第一工作状态和第二工作状态进行切换的过程中，滑动销2043在第二切换杆2012的所述导向槽中滑动，从而带动与之位置相对固定的第一转轴303上升或者下降，进而改变主动齿轮304的位置，实现开盖机构的状态切换。
需要说明的是，本发明所述通过切换杆201的状态切换使得第一转轴303上升或者下降仅起到示例性作用，这并不会对本申请的技术方案产生限制。
需要说明的是，从节省操作者的体力，提高工作效率的角度考虑，本发明所提供的操作柄301和操作盘302可以被替换为电机，通过电机转动带动第一转轴304转动，从而为开盖执行组件400提供动力，传动部分的具体工作过程与前述一致，此处不再赘述。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种用于多腔传输装置的开盖机构，其特征在于，包括切换组件、驱动组件、多组传动组件和多组开盖执行组件，其中，
每组所述传动组件对应连接有一组所述开盖执行组件；
所述切换组件用于将所述驱动组件选择性地与其中一组所述传动组件相连；
所述驱动组件用于驱动所述传动组件以带动所述开盖执行组件摆动；
所述驱动组件包括第一转轴和套设在所述第一转轴上的主动齿轮；
每组所述传动组件均包括第一从动齿轮，所述第一从动齿轮能与所述主动齿轮啮合；
所述切换组件包括切换杆，所述切换杆与所述第一转轴连接，通过调节所述切换杆的位置能使所述主动齿轮选择性地与其中一个所述第一从动齿轮啮合。
2.根据权利要求1所述的开盖机构，其特征在于，
所述切换组件还包括承载件、支撑座和连接件，其中，所述承载件用于为所述切换杆提供支撑，所述支撑座固定在所述承载件上，所述切换杆与所述支撑座铰接且所述切换杆的端部通过所述连接件与所述第一转轴连接。
3.根据权利要求2所述的开盖机构，其特征在于，
沿所述主动齿轮的轴线方向，多个所述第一从动齿轮错开设置。
4.根据权利要求3所述的开盖机构，其特征在于，
所述切换杆在连接所述第一转轴的一端开设导向槽；
所述连接件包括与所述第一转轴连接的柱状本体和沿所述柱状本体外表面凸出的滑动销；
所述切换杆的自由端绕所述支撑座摆动时，所述滑动销能在所述导向槽中滑动且能带动所述第一转轴上升或下降。
5.根据权利要求4所述的开盖机构，其特征在于，
所述柱状本体包括可拆卸连接的第一本体部和第二本体部，所述第一本体部和所述第二本体部在朝向所述第一转轴的内表面上均开设限位槽，两个所述限位槽能形成限位腔；
所述第一转轴的外表面与所述限位槽对应的位置设置有限位凸起，所述限位凸起容纳在所述限位腔中；
所述柱状本体与所述第一转轴之间能相对转动。
6.根据权利要求5所述的开盖机构，其特征在于，所述切换杆包括相连接的第一切换杆和第二切换杆；
所述切换杆在所述第一切换杆和所述第二切换杆的连接处与所述支撑座铰接；
所述第一切换杆和所述第二切换杆二者的轴线之间呈预设角度。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的开盖机构，其特征在于，每组所述传动组件均还包括第二转轴、第三转轴、蜗杆、蜗轮、第二从动齿轮以及齿轮部，其中，
所述第二转轴上分别设有所述第一从动齿轮和所述蜗杆，所述第三转轴上分别设有所述蜗轮和所述第二从动齿轮；
所述蜗轮能与所述蜗杆啮合，所述第二从动齿轮能与所述齿轮部啮合；
所述开盖执行组件包括摆臂，所述齿轮部能带动所述摆臂摆动。
8.根据权利要求2至6中任意一项所述的开盖机构，其特征在于，
所述承载件为箱体，多组所述传动组件均位于所述箱体内，所述切换组件位于所述箱体外。
9.根据权利要求2所述的开盖机构，其特征在于，
多个所述第一从动齿轮的同侧端面位于同一平面上，所述切换杆平移时能带动所述第一转轴平移，以使所述主动齿轮选择性地与其中一个所述第一从动齿轮啮合。
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