CN105317307A - 真空腔盖翻转装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空腔盖翻转装置，可以轻松且安全的翻转真空腔盖，提高工作效率。其技术方案为：包括基座；操作件，安装在基座之上，供用户进行腔盖翻转的操作；翻转件，位于基座上，卡住真空腔盖进行翻转；传动组件，位于基座内部，其输入端连接操作件，输出端连接翻转件，将操作件提供的动力输入转化为翻转件翻转的动力输出，带动真空腔盖开启或关闭。

Description

真空腔盖翻转装置

技术领域

本发明涉及一种腔盖翻转装置，尤其涉及一种真空腔盖的安全翻转装置。

背景技术

半导体制程中的一些腔体通常都带有真空腔盖，在操作中真空腔盖需要频繁的打开或是关闭。由于真空腔盖通常有30-40Kg重，一般的开合机构并不能承受这么大的重量，如何设计一种辅助的腔盖开合装置，可以轻松而安全的对真空腔盖进行翻转，是业界亟待解决的问题之一。

发明内容

以下给出一个或多个方面的简要概述以提供对这些方面的基本理解。此概述不是所有构想到的方面的详尽综览，并且既非旨在指认出所有方面的关键性或决定性要素亦非试图界定任何或所有方面的范围。其唯一的目的是要以简化形式给出一个或多个方面的一些概念以为稍后给出的更加详细的描述之序。

本发明的目的在于解决上述问题，提供了一种真空腔盖翻转装置，可以轻松且安全的翻转真空腔盖，提高工作效率。

本发明的技术方案为：本发明揭示了一种真空腔盖翻转装置，包括：

基座；

操作件，安装在基座之上，供用户进行腔盖翻转的操作；

翻转件，位于基座上，卡住真空腔盖进行翻转；

传动组件，位于基座内部，其输入端连接操作件，输出端连接翻转件，将操作件提供的动力输入转化为翻转件翻转的动力输出，带动真空腔盖开启或关闭。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，操作件是手轮。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，翻转件是一对翻转臂，分别位于基座的两侧。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，传动组件是由涡轮蜗杆和多个直齿齿轮组合而成，将操作件提供的动力输入分别通过涡轮蜗杆和所述多个直齿齿轮转化为翻转件的动力输出。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，所述多个直齿齿轮是第一直齿齿轮、第二直齿齿轮、第三直齿齿轮和第四直齿齿轮，所述涡轮蜗杆带动第一直齿齿轮转动，所述第一直齿齿轮带动所述第二直齿齿轮转动，所述第二直齿齿轮带动所述第三直齿齿轮转动，所述第三直齿齿轮带动所述第四直齿齿轮转动。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，涡轮蜗杆具有自锁功能。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，传动组件的减速比是228。

根据本发明的真空腔盖翻转装置的一实施例，所述第一直齿齿轮的背面与所述涡轮蜗杆的涡轮同轴。

本发明对比现有技术有如下的有益效果：本发明的方案是用手轮作为动力输入的操作件，通过一组传动组件将动力输出到翻转臂上，通过传动组件的大减速比，较低的动力输入也可以轻松打开30-40kg的腔盖。此外，由于传动组件中采用了带自锁功能的涡轮蜗杆，也保证了腔盖开闭的安全性。

附图说明

图1示出了本发明的真空腔盖翻转装置的较佳实施例的结构图。

图2示出了真空腔盖翻转装置卡住真空腔盖的示意图。

图3A、3B分别示出了真空腔盖翻转装置腔盖闭合以及腔盖打开时的示意图。

图4示出了真空腔盖翻转装置内部结构示意图。

具体实施方式

在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本发明的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。

图1示出了本发明的真空腔盖翻转装置的较佳实施例的结构。如图1所示，本实施例的真空腔盖翻转装置包括基座1、操作件、翻转件以及传动组件。操作件在本实施例中是一个手轮2，安装在基座1的顶部，可以供用户转动手轮，提供腔盖翻转的原始的动力输入。翻转件在本实施例中是一对翻转臂3a和3b，分别位于基座1的两侧。

翻转臂卡住真空腔盖的情况可参见图2，在图2中，这一对翻转臂3a和3b卡扣住真空腔盖4。当手轮2转过一个角度时，翻转臂3a和3b被控制在水平方向，此时真空腔盖4也被卡在水平面上，即腔盖处于关盖状态，如图3A所示。当手轮2转过另一个角度时，翻转臂3a和3b被控制在竖直方向，此时真空腔盖4也被卡在垂直面上，即腔盖处于打开状态，如图3B所示。

本实施例的重点在于连接手轮2和翻转臂3a、3b的传动组件。图4示出了基座的内部结构，也就是传动组件的具体组成。整个传动组件的输入端连接手轮2的输出，输出端连接这一对翻转臂3a和3b，即转化为翻转件翻转的动力输出，带动真空腔盖4开启或关闭。在本实施例中，传动组件由一个涡轮蜗杆5和四个直齿齿轮6～9构成。由手轮2提供的动力输入依次通过涡轮蜗杆5和这四个直齿齿轮6～9转化为一对翻转臂的动力输出。

第一直齿齿轮6的背面与涡轮蜗杆5的涡轮同轴，涡轮蜗杆5传递两交错轴之间的运动和动力，可以得到很大的减速比。然后，第一直齿齿轮6带动了第二直齿齿轮7的转动，第二直齿齿轮7带动了第三直齿齿轮8的转动，第三直齿齿轮8带动了第四直齿齿轮9的转动。这种依靠涡轮蜗杆和四个直齿齿轮的传动方式可以实现例如228的大减速比，从而轻松通过翻转臂打开30-40kg的真空腔盖。

此外，这种齿轮传动结构较为节省空间，使得安装和维护的工作变得更为简单。而且涡轮蜗杆5和第一直齿齿轮6的啮合齿面间为线接触，其承载能力大大高于交错轴斜齿轮机构。涡轮蜗杆5的蜗杆传动相当于螺旋传动，为多齿啮合传动，故传动平稳，噪音很小。涡轮蜗杆具有自锁性，即当蜗杆的导程角小于啮合轮齿间的当量摩擦角时，机构具有自锁性，可实现反向自锁，即只能由蜗杆带动蜗轮，而不能由蜗轮带动蜗杆，这种反向自锁性可以保证腔盖的安全开闭。

提供对本公开的先前描述是为使得本领域任何技术人员皆能够制作或使用本公开。对本公开的各种修改对本领域技术人员来说都将是显而易见的，且本文中所定义的普适原理可被应用到其他变体而不会脱离本公开的精神或范围。由此，本公开并非旨在被限定于本文中所描述的示例和设计，而是应被授予与本文中所公开的原理和新颖性特征相一致的最广范围。

Claims (8)

1.一种真空腔盖翻转装置，包括：

基座；

操作件，安装在基座之上，供用户进行腔盖翻转的操作；

翻转件，位于基座上，卡住真空腔盖进行翻转；

传动组件，位于基座内部，其输入端连接操作件，输出端连接翻转件，将操作件提供的动力输入转化为翻转件翻转的动力输出，带动真空腔盖开启或关闭。

2.根据权利要求1所述的真空腔盖翻转装置，其特征在于，操作件是手轮。

3.根据权利要求1所述的真空腔盖翻转装置，其特征在于，翻转件是一对翻转臂，分别位于基座的两侧。

4.根据权利要求1所述的真空腔盖翻转装置，其特征在于，传动组件是由涡轮蜗杆和多个直齿齿轮组合而成，将操作件提供的动力输入分别通过涡轮蜗杆和所述多个直齿齿轮转化为翻转件的动力输出。

5.根据权利要求4所述的真空腔盖翻转装置，其特征在于，所述多个直齿齿轮是第一直齿齿轮、第二直齿齿轮、第三直齿齿轮和第四直齿齿轮，所述涡轮蜗杆带动第一直齿齿轮转动，所述第一直齿齿轮带动所述第二直齿齿轮转动，所述第二直齿齿轮带动所述第三直齿齿轮转动，所述第三直齿齿轮带动所述第四直齿齿轮转动。

6.根据权利要求4所述的真空腔盖翻转装置，其特征在于，涡轮蜗杆具有自锁功能。

7.根据权利要求4所述的真空腔盖翻转装置，其特征在于，传动组件的减速比是228。

8.根据权利要求5所述的真空腔盖翻转装置，其特征在于，所述第一直齿齿轮的背面与所述涡轮蜗杆的涡轮同轴。