CN100366971C - 流体工作阀 - Google Patents

Abstract

一种流体工作阀，具有：经由贯通口(21)连通的第1阀室(16)和第2阀室(25)；第1缸室(39)，与第1阀室(16)相邻设置，且可滑动地收容着第1活塞(6)；阀芯(3)，位于第2阀室(25)内且与贯通口(21)外周的阀座(22)抵接或分离；阀轴(4)，一端连接在上述第1活塞上(6)，且另一端与阀芯(3)连接；环状的隔膜(8)，内周部固定在阀轴(4)上，且外周部固定在第1阀室(16)的内周面上。第1活塞(6)受弹簧(9)施力，阀芯(3)与阀座(4)相抵接。通过将工作流体从第1缸(5)的工作流体供给口供给到第1缸室(39)内，使第1活塞(6)移动，可以使阀芯(3)离开阀座(4)。

Description

流体工作阀

技术领域

本发明涉及在化学工厂、半导体制造领域、食品领域、生物领域等各种工业中的流体输送中所使用的、具有作为流体出入口的第1流路和第2流路的流体工作阀。

背景技术

以往，在各种化学药液线路和纯水线路中，例如如图6所示，为了将规定量的流体高精度地供给到容器108内，有如下的方法：并列设置口径不同的多个双向阀106、107，在初期阶段将双向阀106、107开放而以大流量填充，在最终阶段关闭大口径的双向阀107而仅开放小口径的双向阀106，来进行整体容量的微小调节。

但是，在该方法中，由于需要设置2台以上双向阀，所以配管作业变得复杂，需要较大的配管空间，还有因多个阀及其配管材料而引起的成本增加的问题。

为了解决这种问题，例如在日本专利特开平7-217767号公报中提出了应用图7所示那样的3位置开闭阀的技术方案。

参照图7，构成为，该3位置开闭阀在第1操作口117和第2操作口118中都没有注入工作流体(例如压缩空气等)时，在第1复位弹簧114的施力的作用下，一端装备有阀芯112的第1活塞113被向离开阀座115的方向施力，并且其移动被限制杆116限制，来维持阀的微开状态。如果不从第2操作口118注入工作流体、而从第1操作口117注入工作流体，则第1活塞113克服第1复位弹簧114的施力而被向下推压，阀芯112与阀座115接触，阀成为全闭状态。反之，如果不从第1操作口117注入工作流体、而从第2操作口118注入工作流体，则第2活塞119克服第2复位弹簧120的施力而被向上推压，与第2活塞119接合的限制杆116向上移动，由此解除对第1活塞113的限制，阀成为全开状态。

下面具体地说明应用该3位置开闭阀的使用方法，在向容器内供给规定量的流体(例如药液)时，在初期阶段，通过不从第1操作口117注入工作流体、而从第2操作口118注入工作流体，使阀成为全开状态而以大流量进行填充；在最终阶段，通过从第1操作口117和第2操作口118都不注入工作流体，使阀成为微开状态而进行整体容量的微量调节。接着，在规定量的填充结束后，通过不从第2操作口118注入工作流体、而从第1操作口117注入工作流体，使阀成为全闭状态，停止流体的供给。

但是，在这种3位置开闭阀中，由于不具有在未注入工作流体的状况下全闭的功能，所以例如在发生了工作流体的供给停止这样的紧急事故的情况下，存在阀维持微开状态、在线路中流动的药液等流体继续流出的问题。此外，由于是在阀全闭时通过阀芯从上推压阀座来进行止水的构造，被止住的流体向推起阀芯的方向、即、使阀芯从阀座离开的方向对阀芯施力，所以特别在流体压力较高的情况下，有流体推起阀芯的力大于将阀芯向阀座推压的力而容易发生泄漏的问题。

发明内容

本发明的目的是解决上述现有技术中存在的问题，提供一种具有在紧急时变为全闭的功能、且在流体为高压的状况下也能够发挥优良的密封性能的流体工作阀。此外，本发明的另一个目的，是提供一种具有上述结构、并能够将阀开度调节并保持为全开、全闭、及任意的中间开度的流体工作阀。

根据本发明，为了达成上述目的，提供一种流体工作阀，具有：阀盒；第1阀室和第2阀室，经由贯通口连通设在上述阀盒内；第1缸室，在上述阀盒的内部中与第1阀室相邻设置；第1活塞，可滑动地收容在上述第1缸室中；阀芯(弁体)，位于第2阀室内，且通过与形成在上述贯通口的缘部上的阀座抵接或分离，将第1阀室和第2阀室之间连通或截断；阀轴，穿过上述贯通口和上述第1阀室而延伸，一端连接在上述第1活塞上，且另一端与上述阀芯连接；环状的隔膜，其内周部固定在上述阀轴上，且外周部固定在上述第1阀室的内周面上；弹簧，在离开上述第1阀室的方向对上述第1活塞施力，使上述阀芯抵接在上述阀座上；通过将工作流体供给到由上述第1活塞隔开的第1缸室内的空间中远离第1阀室一侧的空间中，使上述第1活塞向与上述第1阀室接近的方向移动，使上述阀芯离开上述阀座，从而使流体能够在上述第1阀室和第2阀室之间流通。

在上述流体工作阀中，对于上述隔膜和上述阀芯相对上述第1阀室内的流体的受压面积，优选地设定为使上述隔膜比上述阀芯的受压面积大。

在本发明的流体工作阀中，由于第1活塞因弹簧而向离开第1阀室的方向被施力，所以在没有向流体工作阀供给空气、油等工作流体时，经由阀轴与第1活塞连接的阀芯被推压在阀座上而成为全闭状态。因此，在流体工作阀中没有供给工作流体的紧急时刻，流体也不会通过阀而流出。

此外，在全闭状态下，第1阀室内的流体使压力作用在隔膜和阀芯两者上，但阀芯经由贯通口受到上述流体的压力，即使贯通口的开口面积为最大也只是成为与第1阀室的截面积相等的程度。因而，由于隔膜的受压面积至少与阀芯的受压面积相等，所以由第1阀室内的流体作用在阀芯上、向使阀芯离开阀座的方向的力，被由第1阀室内的流体作用在隔膜上、将阀芯推压到阀座上的力抵消，使阀芯离开阀座的方向的力是不可能占优势的。

特别地，如果设定为使隔膜的受压面积比阀芯相对于第1阀室内的流体的受压面积大，则在全闭状态下，通常，由于将阀芯推压到底座方向的力总能胜过使阀芯离开阀座方向的力，所以能够发挥优良的密封性能。

在上述流体工作阀的优选的实施方式中，流体工作阀具有第2缸室，在上述阀盒内与上述第1缸室相邻，并设在与上述第1阀室相反侧；并且该流体工作阀具有：第2活塞，可滑动地收容在上述第2缸室内；调节螺钉，贯通上述第2活塞和上述第2缸室而延伸，使一端位于上述第1缸室内且另一端位于上述阀盒的外部，安装在第2活塞上，能够调整其从上述第2活塞的突出量；通过将空气、油等供给到由上述第2活塞隔开的上述第2缸室内的空间中、远离上述第1缸室一侧的空间中，使上述调节螺钉的上述位于第1缸室一侧的一端与上述第1活塞抵接，使上述第1活塞向与上述第1阀室接近的方向移动，使上述阀芯离开上述阀座。

如果使安装在第2缸室的第2活塞上的调节螺钉与第1活塞抵接，使阀芯离开阀座，则通过对调节螺钉从第2活塞突出的量进行调节，就能够调节开闭度，能够将阀调节到全闭状态与全开状态的中间的开度。如果该调节螺钉的另一端位于阀盒的外部，则能够不分解阀盒而对调节螺钉相对于第2活塞的突出量进行调节，所以开闭度的调节变得更加容易。

在上述流体工作阀的更优选的实施方式中，上述第2阀室设在上述阀盒底部。

如果第2阀室设在阀盒的底部，则在将阀直接设置在容器等上时，能够消除用来连接第2阀室和容器等的配管的需要。

附图说明

从参照附图的本发明的下述详细说明中将了解本发明的其他特征和优点。

图1是表示作为本发明的流体工作阀的例子的气动阀的全闭状态的纵剖视图。

图2是表示图1的气动阀的全开状态的纵剖视图。

图3是表示图1的气动阀的中间开度状态的纵剖视图。

图4是表示作为本发明的流体工作阀的例子的气动阀的另一实施方式的纵剖视图。

图5是表示至使用了图1的气动阀的容器的药液供给线路的外观图。

图6是表示至使用了现有的2台双向阀的容器的药液供给线路的外观图。

图7是表示现有的3位置开闭阀的结构的纵剖视图。

具体实施方式

下面参照附图说明本发明的实施方式，但本发明并不限于本实施方式。

气动阀100具有由上部主体1、下部主体2、阀芯3、第1缸5、第2缸10、和底座15构成的阀盒。在上部主体1的内部形成有上面开放的大致碗形状的第1阀室16，在第1阀室16的上部外周形成有平坦部17、在平坦部17的进一步的外周形成有环形槽18。在上部主体1的侧面上突出设置有接头部20，在接头部20的内部形成的第1流路19与第1阀室16连通。在上部主体1的底部形成有通向第1阀室16的贯通口21，在贯通口21的下端形成有阀座22，用于通过与后述阀芯3抵接或分离而进行流体的供给或停止。在阀座22的周围形成有凹部23，在凹部23的外侧形成有环状槽24。

在下部主体2的内部形成有第2阀室25，该第2阀室25上面开放且与上部主体1的贯通口21连通，该第2阀室25具有后述阀芯3上下移动所需的充分的空间。在第2阀室25的上面的开放部外侧，设有嵌合固定到上部主体1的环状槽24中的环状的突部26。此外，在下部主体2的侧面突出设置有接头部28，在接头部28的内部形成的第2流路27与第2阀室25连通。

这里，如上所述，在本实施方式中，内部形成有第1流路19和第2流路27的接头部20和28通过一体成形在上部主体1及下部主体2的侧面上而突出形成。配管29相对接头部20的固定，是通过使盖螺母31的阴螺纹部32螺装在设于接头部20的外周部上的阳螺纹部30上、将嵌合在接头部20前端上的配管29的端部夹持固定在接头部20的前端外周面与盖螺母31的内周面之间来进行的。将配管33固定在接头部28上的情况也用同样的方法来进行。另外，用来对该气动阀100进行配管的构造并不限于本实施方式，只要是可配管的构造，可以采用任意的构造。此外，在本实施方式中，上部主体1的接头部20和下部主体2的接头部28关于气动阀100的长度方向轴线相互位于相反侧，但也可以设在相同侧的侧面上或直角方向上，其位置没有限制。

阀芯3位于第2阀室25内。阀芯3的直径设置为比上部主体1的贯通口21的直径大，阀芯3与形成在上部主体1的贯通口21的缘部上的阀座22抵接、分离，来进行流体的供给或停止。在阀座22和阀芯3之间形成有开口部34，可以通过使阀芯3上下移动增减开口部34的面积，从而增减流量。在阀芯3的上部，阀轴4与阀芯3一体地形成，并插通在上部主体1的贯通口21内。分别在阀轴4的上端部外周上设有阳螺纹部35、在阀轴4的中央部外周上设有凸缘部36。在本实施方式中，阀芯4和阀轴3通过一体成形而设置，但也可以设成分体、通过螺合或粘接、焊接等而接合。

第1缸5固定在上部主体1的上部，在其上面设有凹部37，在其底部中央形成有方形的贯通口38。在第1缸5的内部形成有扩径为阶梯状的凹部(即第1缸室)39，在第1缸5的侧面形成有与凹部39的上端部连通的第1气口40。

在第1缸5的内部配置有可在第1缸5的内周面上下滑动的第1活塞6。在第1活塞6的上部外周上设有凸缘部43，该凸缘部43具有用来保持O形圈41的环状的槽部42。在第1活塞6的下表面形成有由阴螺纹部44及与其相比扩径的阴螺纹部45构成的阶梯状螺纹孔。

附图标记7是指弹簧支架，在弹簧支架7的内部形成有有底的圆筒状的凹部46。弹簧支架7的下表面形成为倒的碗的形状，在其下表面中央形成有与凹部46连通的贯通口47。在贯通口47的内周面上设有环状的槽部48，在该槽部48中嵌合着O形圈52，在贯通口47内可上下滑动地嵌合着第1活塞6的下部。弹簧支架7的下端部外周面形成阶梯状，插嵌到第1缸5的凹部39的下端部。在弹簧支架7的下表面中央的贯通口47的外侧，形成有用于使隔膜8的上下方向的弯曲动作变得顺畅的排气用贯通孔50。

附图标记8是指隔膜，在隔膜8的中央形成有贯通口51，在贯通口51的内周面上形成有用来保持O形圈52的环状的槽部53。在上部的外周部上设有阳螺纹部54，在阳螺纹部54的根部设有与第1活塞6的底面接触的凸缘部55。在凸缘部55的外周上设有可上下弯曲的膜部56，在膜部56的周缘部形成有截面形成为大致L字状的环状嵌合部57。隔膜8的环状嵌合部57在受O形圈58压接的状态下被嵌合固定在形成于上部主体1上的环形槽18中，被夹持固定在上部主体1和弹簧支架7之间。此外，隔膜8通过其阳螺纹部54与设在第1活塞6上的阴螺纹部45螺合而被接合，进而，通过插入到隔膜8的贯通口51内的阀轴4的阳螺纹部35与设在第1活塞6上的阴螺纹部44螺合而被接合，同时被阀轴4的凸缘部36的上表面夹持固定在该上表面与第1活塞6的底面之间。

附图标记9是指弹簧，弹簧9被夹持在设于第1活塞6上的凸缘部43的下表面和设在弹簧支架7上的凹部46的底面之间，在常态下向上方(即离开第1阀室16的方向)对第1活塞6施力。即，在没有外力影响的状况下，与第1活塞6接合的阀轴4及阀芯3在常态下被向上方施力，阀芯3与阀座22抵接，即阀为全闭状态。

在第2缸10的上表面中央形成有贯通口59，在下表面上设有圆筒状的突部61，该突部61夹持着O形圈60而嵌插固定在第1缸5的凹部(即第2缸室)37中，在突部61的内侧形成有凹部62。此外，在第2缸10的侧面上形成有与凹部62的上端部连通的第2气口63。

在第2缸10内配置有可上下滑动的第2活塞11。第2活塞11形成为中空状，在其中央部外周形成有凸缘部64，在凸缘部64的外周设有保持O形圈65的环状的槽部66。在凸缘部64的上部形成有圆柱形状的上部杆67，在上部杆67的外周面上设有保持O形圈68的环状的槽部69，可在第2缸10的贯通口59内上下滑动。在凸缘部64的下部形成有嵌插在第1缸5的贯通口38中的方柱状的下部杆70，以上下自由移动且不能转动的状态被保持在贯通口38内。在下部杆70的内周面上设有阴螺纹部71，贯通口72与阴螺纹部71连接，贯通第2活塞11而形成。另外，下部杆70的长度设定为与贯通口38的轴线方向长度相等。即，在第2活塞11的凸缘部64的下表面与第1缸5的凹部37的底面抵接时，下部杆70的下端面与第1缸5的凹部39的上表面在同一个面上。

第2活塞11中插通有调节螺钉12。调节螺钉12的下部外周上设有与第2活塞11的阴螺纹部71螺合的阳螺纹部73、中央部外周上设有保持O形圈74的环状的槽部75、而在上部外周上设有后述的锁紧螺母14所螺合的阳螺纹部76。在调节螺钉12的上端，通过螺栓77固定有进行调节螺钉12的旋转操作的手柄13。即，调节螺钉12通过手柄13的旋转操作，将可以上下移动。

附图标记14是指锁紧螺母，在锁紧螺母14上，分别在其内周面上设有与调节螺钉12的阳螺纹部76螺合的阴螺纹部78、在其下部外周上设有为了在第2缸10的贯通口59内上下移动而设定得直径比贯通口59小的圆筒部79、在其上部外周上设有设定得直径比第2缸10的贯通口59大的凸缘部80。

底座15位于下部主体2之下，并且通过安装在底座15的底面上的4个螺母(未图示)和贯通底座15、上部主体1、下部主体2、第1缸5、第2缸10的4个螺栓(未图示)而被夹持固定。

另外，在本发明中，在上部主体1及下部主体2等部件中，根据耐药性较好、杂质的析出(溶出)也较少，优选地使用聚四氟乙烯(以下称为PTFE)、四氟乙烯一全氟烷基乙烯基醚共聚物(以下称作PFA)等氟树脂，但也可以是聚氯乙稀、聚丙烯等其他塑料或金属，并没有特别的限制。此外，隔膜8的材质特别优选地使用PTFE、PFA等氟树脂，但也可以是橡胶及金属，并没有特别的限制。

接着说明本实施方式的气动阀100的动作。

图1表示阀的全闭状态，从第1气口40和第2气口63都没有注入空气等工作流体。即，由于第1活塞6被弹簧9向上方施力，所以与第1活塞6接合并一体地动作的阀轴4以及阀芯3也同样被向上方施力，阀芯3与阀座22抵接，阀成为全闭状态。此时，流体虽然从第1流路19流入，但由于阀为全闭状态，所以不能向第2流路27流动。

在该全闭状态时，第1阀室16内的流体压力分别将向下(即离开阀座的方向)推压阀芯3的力、和向上(即离开第1阀室16的方向)推压隔膜8的力作用在阀芯3和隔膜8上。如图可知，由于将对应于第1阀室16内的流体压力的受压面积设计为，隔膜8的受压面积比阀芯3的大，所以即使在通常的流体压力下，也是向上推起隔膜8的力比向下压下阀芯3的力大。另一方面，由于阀芯3和隔膜8经由阀轴4一体地接合，所以阀芯3被向上推起，即阀芯3被施加向阀座22压接的方向的力，由此能够保持较高的密封性能。进而，在施加较高的流体压力的情况下，虽然压下阀芯3的力变得更大，但推起隔膜8的力也变得更大，与隔膜8一体地接合的阀轴4和阀芯3也被强力地向上方推起，所以能够维持较高的密封性能，即使发生了较高的流体压力或剧烈的流体压力的变化，也能够保持流体不会泄漏。此外，在将流体的流动方向倒转而使用的情况下，由于阀芯3和隔膜8两者在流体压力的作用下受到向上的力，所以也能够维持优良的密封性能。

在图1的状态下，在不从第2缸10的第2气口63注入工作流体的状态下，如果从第1缸5的第1气口40注入工作流体，则由该工作流体的压力将第1活塞6压下，同时将阀轴4和阀芯3向下压下，阀芯3从阀座22离开，阀成为开状态，流体从第1流路19向第2流路27流出。第1活塞6的下降在凸缘部43下表面与弹簧支架7的上表面接触处停止，此时，阀成为全开状态(图2的状态)。如果将从第1气口40注入的工作流体排出，则第1活塞6在弹簧9的力的作用下再次被向上推起，在阀芯3与阀座22抵接处阀再次成为全闭状态(图1的状态)。

接着说明将阀保持为中间开度的方法。在从第1缸5的第1气口40不注入空气等工作流体的状态下，如果从第2缸10的第2气口63注入工作流体，则由该工作流体的压力将第2活塞11压下，第2活塞11的凸缘部64的下表面与第1缸5的凹部37的底面抵接，与第2缸11的凹部39的上表面成为同一个面。此时，如果通过手柄13的旋转操作使螺合在第2活塞11上的调节螺钉12从第2活塞11的下表面突出任意的长度，则调节螺钉12的下表面将第1活塞6的上表面仅压下从第2活塞11的下表面突出的长度的部分，所以与第1活塞6接合的阀芯3从阀座22离开，阀成为中间开度(图3的状态)。中间开度时的流量由阀芯3和阀座22的开口部34的面积而决定，即由调节螺钉12从第2活塞11的下表面突出的长度而决定，所以能够通过手柄13的旋转操作来任意决定中间开度的流量。此时，如果转动锁紧螺母14、使其底面与第2活塞11的上表面接触并固定而将调节螺钉12的位置完全固定，就不会发生例如因泵等的振动或对手柄13的不小心的接触而使手柄13转动、使中间开度的流量发生变化那样的麻烦。

与全开的情况同样，如果将从第2气口63注入的工作流体排出，则第1活塞6再次被弹簧9的力向上方推起，所以阀再次成为闭合状态(图1的状态)。

根据本实施方式，在例如图5所示那样将规定量的药液等流体高精度地填充到容器103内时，在初期阶段通过第1气口40注入工作流体，即，使阀成为全开状态而大流量地进行填充，在最终阶段，从第1气口40开放工作流体的压力而从第2气口63注入工作流体，即，使阀成为中间开度状态，来进行整体容量的微量调节。并且，如果规定量的填充结束，则将第2气口63的工作流体的压力开放，即，使阀成为全闭状态而停止供给就可以了。

作为其他使用方法，例如在用于纯水线路中的情况下，通过使用本实施方式的中间开度，能够不停止水流而成为总有少量的水流过的状态，即，能够抑制流体的滞留所带来的微生物的繁殖。

另外，在本实施方式中，在对第1气口40和第2气口63两者都不注入工作流体的状态下，阀成为全闭状态，所以即使在例如因外部的某种事故而使工作流体的供给停止那样的紧急时刻，阀也会保持全闭状态，流体不会流出。

图4是表示本发明的另一实施方式的图。图4所示的气动阀100具有：由与第1流路96连通的第1阀室和阀座97形成的上部主体81、下部主体82、阀芯83、阀轴84、第1缸85、第1活塞86、弹簧支架87、隔膜88、弹簧89、第2缸90、第2活塞91、调节螺钉92、手柄93、锁紧螺母94、和底座95。本实施方式与第1实施方式的不同点是第2流路98贯通底座95而设置在下部主体82的底部，各部分及其动作与第1实施方式相同，所以省略详细的说明；例如在第1实施方式的说明时所示的图5那样的配管线路中利用本实施方式的情况下，由于第2流路98设在下部主体82的底部，所以能够通过螺栓(未图示)将阀直接设置在容器103上，能够使配管作业简单化、还能够减少配管空间、削减与配管部件有关的成本。

另外，在本实施方式中，第2阀室和第2流路98以相同的直径连通，但也可以如第1实施方式所使用那样将接头部一体地形成在底部上，其形状没有特别的限制。

上述2个实施方式的气动阀做成如以上所说明那样的构造，通过使用而能够得到以下的优良效果。

(1)仅通过工作流体的切换，能够容易地将阀的开度调节并保持为全开、全闭、及任意的中间开度的3个级别，此外在紧急时阀为全闭状态，所以流体不会流出。

(2)即使在流体为高压、发生剧烈的压力变动那样的状态下也不会泄漏，能够发挥优良的密封性能。

(3)由于中间开度的设定可以仅通过中间开度调节机构的操作来进行，所以能够容易地得到所希望的流量。

(4)在用于纯水线路中时，通过利用中间开度而能够在总有流体流过的状态下使用，所以能够作为可防止细菌等繁殖的所谓旁通阀使用。

(5)在向容器中填充药液等流体的情况下，通过将第2流路设在下部主体的底部而能够将阀直接设置在容器上，可以使配管作业简单化、还能够减少配管空间、削减与配管部件有关的成本。

以上根据附图所示的几个实施方式对本发明进行了说明，但这些实施方式仅仅是用来说明的，并没有限制。此外，本发明的范围由权利要求规定，能够在不脱离权利要求的情况下进行修正和改变。

Claims (7)

1.一种流体工作阀，其特征在于，

具有：阀盒；

第1阀室和第2阀室，经由贯通口连通并设在上述阀盒内；

第1缸室，在上述阀盒的内部中与第1阀室相邻设置；

第1活塞，可滑动地收容在上述第1缸室中；

阀芯，位于第2阀室内，且通过与形成在上述贯通口的缘部的阀座抵接或分离，将第1阀室和第2阀室之间连通或截断；

阀轴，穿过上述贯通口和上述第1阀室而延伸，一端连接在上述第1活塞上，且另一端与上述阀芯连接；

环状的隔膜，内周部固定在上述阀轴的周面上，且外周部固定在上述第1阀室的内周面上；

弹簧，在离开上述第1阀室的方向对上述第1活塞施力，使上述阀芯抵接在上述阀座上；

通过将工作流体供给到由上述第1活塞隔开的第1缸室内的空间中的、远离第1阀室一侧的空间，使上述第1活塞向与上述第1阀室接近的方向移动，使上述阀芯离开上述阀座，从而使流体能够在上述第1阀室和第2阀室之间流通。

2.如权利要求1所述的流体工作阀，其特征在于，将上述隔膜和上述阀芯相对于上述第1阀室内的流体的受压面积设定为，上述隔膜的受压面积比上述阀芯的受压面积大。

3.如权利要求1所述的流体工作阀，其特征在于，

上述流体工作阀具有：第2缸室，在上述阀盒内与上述第1缸室相邻，并设在与上述第1阀室相反侧；

并且还具有：第2活塞，可滑动地收容在上述第2缸室内；以及

调节螺钉，贯通上述第2活塞和上述第2缸室而延伸，一端位于上述第1缸室内且另一端位于上述阀盒的外部，并且安装在第2活塞上，能够调整其从上述第2活塞突出的突出量；

通过将工作流体供给到由上述第2活塞隔开的上述第2缸室内的空间中的、远离上述第1缸室一侧的空间，使上述调节螺钉的上述位于第1缸室一侧的一端与上述第1活塞抵接，使上述第1活塞向与上述第1阀室接近的方向移动，使上述阀芯离开上述阀座。

4.如权利要求2所述的流体工作阀，其特征在于，

上述流体工作阀具有：第2缸室，在上述阀盒内与上述第1缸室相邻，并设在与上述第1阀室相反侧；

并且还具有：第2活塞，可滑动地收容在上述第2缸室内；以及

调节螺钉，贯通上述第2活塞和上述第2缸室而延伸，一端位于上述第1缸室内且另一端位于上述阀盒的外部，并且安装在第2活塞上，能够调整其从上述第2活塞突出的突出量；

通过将工作流体供给到由上述第2活塞隔开的上述第2缸室内的空间中的、远离上述第1缸室一侧的空间，使上述调节螺钉的上述位于第1缸室一侧的一端与上述第1活塞抵接，使上述第1活塞向与上述第1阀室接近的方向移动，使上述阀芯离开上述阀座。

5.如权利要求1所述的流体工作阀，其特征在于，

上述第2阀室设在上述阀盒底部。

6.如权利要求2所述的流体工作阀，其特征在于，

上述第2阀室设在上述阀盒底部。

7.如权利要求3所述的流体工作阀，其特征在于，

上述第2阀室设在上述阀盒底部。

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