CN100339742C - 用于制造平板显示器的糊剂分注器 - Google Patents

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Abstract

用于制造平板显示器的糊剂分注器，包括：工作台；载台，安装在所述工作台上，可以在所述工作台的前/后方向上运动；第一直线电动机，用于在所述工作台的前/后方向上驱动所述载台；位于工作台的相对两侧上并沿着所述工作台的前/后方向延伸的Y轴；机架，跨着所述Y轴安装，可以沿着所述Y轴运动；第二直线电机，用于沿着所述Y轴驱动所述机架；多个头部单元，位于所述机架的一侧，可沿着垂直于所述Y轴的机架的纵向运动，以按照预定图案在所述载台上固定的所述基板上涂布所述糊剂；以及第三直线电机，用于在垂直于所述Y轴的方向上驱动所述多个头部单元。从而，有效地减小了所述设备的尺寸，以及在驱动所述设备时产生的震动和噪声。

Description

用于制造平板显示器的糊剂分注器
技术领域
本发明涉及在平板显示器制造工艺中在基板上以预定图案涂布糊剂的糊剂分注器，更具体地，涉及一种改进了的用于在平板显示器(如LCD)的玻璃基板上以预定图案涂布糊剂的驱动系统的糊剂分注器。
背景技术
众所周知的，LCD(液晶显示器)是平板显示器的一种，其作为下一代显示器(如移动电话或计算机的监控器、或者电视接收器、以及PDP(等离子体显示板)、或者FED(场致发射显示器))而受到了关注，这是由于LCD与CRT相比具有优良的可视性、并且与同屏幕尺寸的CRT相比具有更低的功耗和发热量。
LCD是通过下面的方法来制造的：在一个玻璃基板上形成多个像素、在与该玻璃基板对置的另一玻璃基板上形成滤色器层、将两个玻璃基板接合在一起、将液晶注入所接合的两个玻璃基板中由密封剂所形成的空间内。
在上面的LCD制造工艺中，使用糊剂分注器来将糊剂以预定图案涂布在玻璃基板上。现有技术的糊剂分注器通过以下方式来涂布糊剂：沿着X轴和Y轴方向运动其上放置有玻璃基板的多个载台，同时将该糊剂分注器的头部固定在X和Y平面上的一点。
下面将更详细地说明现有技术的糊剂分注器系统和操作。
现有技术的糊剂分注器包括：载台，其相对于使用者在左/右方向(X轴方向)或前/后方向(Y轴方向)上运动；头部部件，其具有一头部，该头部具有用于分注糊剂的注射器，其中按照下面的方式来安装该头部部件：使其在按照玻璃基板(例如，LCD显示板)的图案设定该设备的过程中可以整体地左/右(即，载台的X轴方向)运动。
载台由滚珠丝杠和回转电机来驱动，其中将前/后向驱动轴和左/右向驱动轴设置得彼此垂直。
头部部件也是由滚珠丝杠和回转电机来驱动的，其中，如前所述，以下面的方式安装头部部件：使其在根据随着玻璃基板等的尺寸而变化的图案位置设定该头部部件位置时可以沿着左/右方向运动，并在涂布糊剂时沿着上/下方向而不在左/右方向上运动。
也就是说，将头部部件设计为只在改变该头部部件的位置以与随着玻璃基板等的尺寸而变化的图案位置相匹配时沿着左/右方向运动，而在糊剂涂布过程中不在X-Y平面内运动。
总而言之，现有技术的糊剂分注器的载台和头部部件都由滚珠丝杠和回转电机的组合来驱动，即，在通过驱动回转电机而在前/后和左/右方向上驱动载台时执行糊剂涂布，并且在涂布糊剂时，在把头部部件固定在平面中某一位置的状态下在上/下方向上驱动头部部件。
然而，具有上面的系统和操作特性的现有技术的糊剂分注器具有下面的缺点和问题，并且随着制造更大玻璃基板的趋势，这些缺点和问题将更加严重。
首先，由于随着玻璃基板的尺寸增大，载台的尺寸和重量也要增大，所以由滚珠丝杠驱动的现有技术糊剂分注器的来自驱动部件等的噪声或震动将会随之增大。
同时，与直线电机相比，现有技术的糊剂分注器的滚珠丝杠易于产生更大范围的精度误差。
也就是说，在现有技术的糊剂涂布方法中，由于需要通过在头部固定的状态下只在X轴和Y轴方向上驱动该头部来将糊剂涂布于玻璃基板的整个表面上，所以在平板显示器变得更大的情况下，需要快速地增大分注器的总尺寸，来确保载台和载台运动空间与玻璃基板的尺寸增大成比例，随着尺寸和重量的增大，噪声和震动也增大了，从而降低涂布的精度。
发明内容
因此，本发明旨在提供一种基本克服了由于现有技术的局限性和不足而产生的一个或更多问题的用于制造平板显示器的糊剂分注器。
本发明的目的是提供用于制造平板显示器的糊剂分注器，使得随着制造更大平板显示器的趋势，基本上不必增大设备的总体尺寸而能够形成精确的图案并实现糊剂的有效涂布。
本发明的其他特征和优点将在随后的说明中进行阐述，对于本领域的技术人员，一部分可以通过说明书而明了，或者可以通过本发明的实践而体验到。通过说明书、权利要求书和附图中具体指出的结构，可以实现和获得本发明的这些目的和其它优点。
为了实现这些目的和其它优点，根据本发明的目的，如这里所具体实施和广泛描述的，一种用于制造平板显示器的糊剂分注器包括：工作台；安装在工作台上的载台，该载台可以在工作台的前/后方向上运动；第一直线电机，用于在工作台的前/后方向上驱动载台；位于工作台的相对两侧并在工作台的前/后方向上延伸的Y轴；跨着Y轴安装的机架，可沿着Y轴运动；第二直线电机，用于沿着Y轴驱动机架；位于机架的一侧的多个头部单元，其可沿着垂直于Y轴的机架纵向方向运动，以按照预定的图案在载台上固定的基板上涂布糊剂；以及第三直线电机，用于在垂直于Y轴的方向上驱动头部单元。
可以理解，本发明的以上概述和下面的详细描述都是示例性和说明性的，旨在为权利要求所限定的本发明提供进一步的解释。
附图说明
附图帮助更好地理解本发明，并构成本申请的一部分，附图显示了本发明的实施例，并与说明书一起解释本发明的原理。
在附图中：
图1示出了根据本发明一优选实施例的糊剂分注器的透视图；
图2示出了图1的平面图；以及
图3示出了在图1中“A”方向所观察到的正视图。
具体实施方式
下面对附图中所示的本发明优选实施例进行详细说明。图1示出了根据本发明一优选实施例的糊剂分注器的透视图，图2示出了图1的平面图，图3示出了在图1中“A”方向所观察到的正视图。
参照图1至图3，用于制造平板显示器的糊剂分注器包括：框架1；框架1上的工作台4；安装在工作台4上的载台5，其可在框架1的前/后方向上运动，用于承载基板以涂布糊剂；第一直线电机，用于在框架的前/后方向(即Y轴方向)上驱动载台5；位于工作台的相对两侧上并沿着框架1的前/后方向延伸的Y轴；跨着Y轴安装的机架3，可以沿着Y轴运动；第二直线电机，用于在Y轴方向上驱动机架3；位于机架3的一侧的多个头部单元，其可沿着垂直于Y轴的机架3的纵向(即X轴)运动以按照预定图案在载台5上固定的基板上涂布糊剂；以及第三直线电机，用于在垂直于Y轴2的方向上驱动头部单元。
所述第一直线电机包括：磁体4a，沿着框架1的前/后方向设置在工作台4上；和位于载台5上与磁体4a对齐的运动体。所述第二直线电机包括：多个磁体2a，分别沿着框架1的前/后方向设置在Y轴2上；位于机架3的相对两端的底部与磁体2a对齐的多个运动体。
所述第三直线电机包括：磁体3a，沿着框架1的左/右方向设置在机架3的一侧；以及位于各个头部支架(head mount)6内与磁体3a对齐的运动体。将在后面对头部支架6进行说明。
同时，还包括与工作台4、Y轴2和机架3的磁体2a、3a和4a相邻的LM导轨2b、3b和4b，用于精确地引导载台5、机架3和头部支架6的直线运动。
所述头部单元包括：多个头部支架6，用于分别从第三直线电机的运动体直接接收驱动力，以在机架3的纵向上运动；安装在各个头部支架6上的头部(未示出)；以及位于头部上用于装填糊剂的注射器(未示出)。
下面详细说明本发明的糊剂分注器的操作。
在开始说明本发明的糊剂分注器之前，将载台5相对于工作人员的左/右方向运动定义为“X轴方向运动”，并将载台5的前/后方向运动定义为“Y轴方向运动”。即，X轴方向运动是框架1在左/右方向上的直线运动，Y轴方向运动是框架1在前/后方向上的直线运动。
在将玻璃基板(未示出)置于载台5上的状态下，载台5或头部随着第一直线电机和第三直线电机的操作而运动，以执行糊剂涂布。在此示例中，载台5的驱动方向和头部部件的驱动方向互相垂直。
在涂布糊剂时，机架3不运动，而载台5和头部部件运动。即，在涂布糊剂时，载台5利用第一直线电机而在框架1的前/后方向上进行直线运动，并且位于机架3的一侧的多个头部单元可在框架1的左/右方向(即X方向)上进行直线运动。
在此示例中，由于可对头部单元进行单独控制，所以本发明的糊剂分注器能够有效地处理不同种类的玻璃基板以及玻璃基板上的不同图案。即，通过单独地分别控制这些头部单元的直线运动，可以根据玻璃基板的种类以及形成在玻璃基板上的图案的不同形式来改变这些头部单元的位置。
同时，通过使两个以门架(gantry)形式彼此分开的直线电机同步来使Y轴2同时运动。
总而言之，在现有技术中制造LCD面板的过程中，需要进行载台5的前/后和左/右方向的运动来涂布糊剂，并且，如果只对载台5进行此操作，则设备的尺寸将与玻璃基板的尺寸增大成正比地快速增大。
与此相反，在发明中改变了在涂布糊剂的过程中只对载台5进行前/后和左/右方向运动的情况，使得载台5和头部同时彼此垂直地被驱动，从而可以减小设备的尺寸。
同时，与在固定载台5的状态下通过沿前/后和左/右方向运动头部来涂布糊剂的糊剂涂布方法相比，本发明的糊剂分注器可以减小驱动设备中发生的震动。
另外，通过只在一个轴上运动载台5，同时在另一轴上运动头部部件，可以使设备尺寸随着玻璃基板的尺寸增大而增大的趋势最小化。
在本发明的糊剂分注器中采用直线电机和LM导轨能够有效地抑制设备的噪声和震动，从而能够获得舒适的工作环境，并且采用直线电机能够使急剧加速/减速变得容易，从而提高了涂布质量。
对于本领域的技术人员，很显然，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，能对本发明进行多种改进和变化。因此，如果这些改进和变化落在所附权利要求及其等同物的范围内，则本发明涵盖这些改进和变化。
例如，虽然上述实施例是基于具有一个机架3的糊剂分注器来说明的，但是，和前面的实施例一样，当为每个机架提供多个头部单元以进行单独控制时，如果考虑到玻璃基板的尺寸以及生产率，也可以设置两个或者两个以上的机架3。
如上所述，本发明的糊剂分注器具有下面的优点。
利用直线电机来形成直角坐标系，以进行载台、机架和头部的直线运动，从而来解决驱动部件的摩擦所导致的噪声和震动问题，以实现舒适操作。
采用直线电机能够进行快速的加速/减速，从而能够对涂布的速度和位置进行快速而准确的控制，因此提高了糊剂涂布的质量。
只在一个轴上运动载台而在另一轴向上运动头部部件可以使由于玻璃基板的尺寸增大而导致的设备尺寸增大最小化。

Claims (8)

1.一种用于制造平板显示器的糊剂分注器，包括：
框架；
工作台，位于所述框架上；
载台，安装在工作台上，可以在所述框架的前/后方向上运动；
第一直线电机，用于在所述框架的前/后方向上驱动所述载台；
位于工作台的相对两侧上并沿着框架的前/后方向延伸的Y轴；
机架，跨着所述Y轴安装，可以沿着所述Y轴运动；
第二直线电机，用于沿着所述Y轴驱动所述机架；
多个头部单元，位于所述机架的一侧，可沿着垂直于所述Y轴的机架的纵向运动，以按照预定图案在所述载台上固定的基板上涂布糊剂；以及
第三直线电机，用于在垂直于所述Y轴的方向上驱动所述头部单元。
2.根据权利要求1所述的糊剂分注器，其中所述第一直线电机包括：
磁体，沿着所述工作台的前/后方向设置在所述工作台上，和
运动体，位于所述载台上，与所述磁体对齐。
3.根据权利要求1所述的糊剂分注器，其中所述第二直线电机包括：
多个磁体，分别沿着所述工作台的前/后方向设置在所述Y轴上，和
多个运动体，位于所述机架的相对两端的底部，与所述磁体对齐。
4.根据权利要求1所述的糊剂分注器，其中所述第三直线电机包括：
磁体，沿着所述工作台的左/右方向设置在所述机架的一侧，和
运动体，设置在各个头部支架中，与所述磁体对齐，其中所述各个头部支架设置于所述机架一侧的多个头部单元中。
5.根据权利要求4所述的糊剂分注器，其中所述头部单元还包括：
头部，安装在各个头部支架上，和
注射器，位于所述头部上，用于装填所述糊剂，
其中所述多个头部单元中的所述多个头部支架，用于分别从所述第三直线电机的运动体直接接收驱动力，以在所述机架的纵向上运动。
6.根据权利要求5所述的糊剂分注器，其中所述多个头部支架在所述第三直线电机的所述多个运动体的单独控制下被单独驱动。
7.根据权利要求1到6中任何一个权利要求所述的糊剂分注器，其中所述工作台，所述多个Y轴和所述机架分别包括用于对其直线运动进行引导的多个LM导轨。
8.根据权利要求1所述的糊剂分注器，其中包括多个机架。
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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100696932B1 (ko) * 2005-04-15 2007-03-20 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 도포기 및 그 제어방법
TWI298268B (en) * 2005-07-08 2008-07-01 Top Eng Co Ltd Paste dispenser and method of controlling the same
KR100743031B1 (ko) * 2005-09-09 2007-07-27 주식회사 탑 엔지니어링 유체 디스펜싱 시스템
JP2007144267A (ja) * 2005-11-24 2007-06-14 Toray Eng Co Ltd 塗布装置の制御方法およびそれを用いた塗布装置
CN100454115C (zh) * 2005-12-30 2009-01-21 塔工程有限公司 用于调节密封剂分配器中支撑框架的对准的方法
JP4086879B2 (ja) * 2006-04-19 2008-05-14 シャープ株式会社 液滴塗布装置
JP4086878B2 (ja) * 2006-04-19 2008-05-14 シャープ株式会社 液滴塗布装置
KR100750747B1 (ko) * 2006-07-28 2007-08-22 주식회사 탑 엔지니어링 반도체 소자 제조용 수지 도포장비의 복수 헤드 구동장치
JP4607919B2 (ja) * 2007-05-23 2011-01-05 武蔵エンジニアリング株式会社 ガントリー型作業装置
KR101550361B1 (ko) * 2009-02-17 2015-09-04 주식회사 탑 엔지니어링 스테이지를 구비한 디스펜서 제어방법
KR101044554B1 (ko) * 2009-03-31 2011-06-28 (주)탑나노시스 대전 방지 처리된 작업 스테이지
JP5525182B2 (ja) * 2009-05-14 2014-06-18 株式会社日立製作所 ペースト塗布装置及び塗布方法
KR20110018982A (ko) * 2009-08-19 2011-02-25 주식회사 탑 엔지니어링 액정디스펜서를 이용한 액정방울 토출방법
CN102540578A (zh) * 2010-12-30 2012-07-04 塔工程有限公司 密封胶涂布机
CN102513256A (zh) * 2012-01-10 2012-06-27 江苏长虹汽车装备集团有限公司 一种喷涂机器人驱动装置
CN102527563A (zh) * 2012-01-10 2012-07-04 江苏长虹汽车装备集团有限公司 一种喷涂机器人行走驱动装置
TWI498167B (zh) * 2013-07-03 2015-09-01 Wistron Corp 用來導引分注器吸取孔盤所容置溶液之導引裝置
CN109277228A (zh) * 2017-07-21 2019-01-29 株式会社科威-艾乐 基板处理装置
CN113385371B (zh) * 2021-06-11 2022-08-02 广州市黄埔乐天实业有限公司 燃料电池密封圈注胶机、注胶设备和注胶成型工艺
CN114669443B (zh) * 2022-04-13 2023-02-28 江西鑫力华数码科技有限公司 一种电路板涂布加工装置及涂布加工工艺

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11174228A (ja) * 1997-12-12 1999-07-02 Sharp Corp 偏光板の貼付装置
JP2001237214A (ja) * 2000-02-25 2001-08-31 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理方法及びその装置
CN1409131A (zh) * 2001-09-28 2003-04-09 兄弟工业株式会社 液滴图案形成装置
CN1422747A (zh) * 2001-11-28 2003-06-11 精工爱普生株式会社 喷出方法及其装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11174228A (ja) * 1997-12-12 1999-07-02 Sharp Corp 偏光板の貼付装置
JP2001237214A (ja) * 2000-02-25 2001-08-31 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理方法及びその装置
CN1409131A (zh) * 2001-09-28 2003-04-09 兄弟工业株式会社 液滴图案形成装置
CN1422747A (zh) * 2001-11-28 2003-06-11 精工爱普生株式会社 喷出方法及其装置

Also Published As

Publication number Publication date
TWI289872B (en) 2007-11-11
CN1576958A (zh) 2005-02-09
TW200501223A (en) 2005-01-01
KR100552092B1 (ko) 2006-02-13
KR20050001279A (ko) 2005-01-06
JP2005013994A (ja) 2005-01-20

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