CN1409131A - 液滴图案形成装置 - Google Patents

Abstract

一种液滴图案形成装置，它包括多个支承构件、旋转式伺服电动机、滑动机构和位置调整机构。支承构件可旋转地支承喷嘴头。伺服电动机使相应的喷嘴头相对于支承构件围绕一轴线旋转，该轴线沿着平行于喷嘴头的液滴喷射方向并垂直于喷嘴头中的喷嘴对准方向的方向延伸。滑动机构沿辅助扫描方向可滑动地支承相应的支承构件。

Description

液滴图案形成装置

技术领域

本发明涉及一种液滴图案形成装置，更具体地说，涉及在通过喷射液滴进行记录操作时用于改变喷射间距的技术，该技术可以喷射多种液滴，并且可以沿辅助扫描方向微细、精确地调节喷嘴头。

背景技术

近年来，已经有多种喷墨打印机投入实际使用。具有与照片级别相同的高分辨率的色彩进行记录操作的彩色喷墨打印机日益普遍。在喷墨打印机中，多个喷嘴头附连在托架上，例如，每个喷嘴头中设有128个喷嘴，以便对准成一行或多行。通过从喷嘴中喷出墨滴，用点图案记录图像。日本公开专利公开No.11-334049揭示了用于改变喷嘴间距的技术，该技术通过相对于固定连杆移动一可移动连杆以使喷嘴头旋转，从而以多种喷嘴间距进行记录操作。

通常，液晶显示器适合与个人电脑、文字处理机、复印机、传真机、移动电话和多种便携式终端一起使用。近来，可以借助滤色器显示色彩的彩色液晶显示器也被广泛使用。由滤色器提供的光线(红R、绿G和蓝B)的原色的象素与点图案一起有规律地形成在透明薄膜上。可以使用与喷墨打印机类似的液滴图案形成装置生产滤色器。

日本专利No.3121226揭示了一种用于提供滤色器的液滴图案形成装置。在液滴图案形成装置中，通过从设置在每个红、蓝和绿色喷嘴头中的多个喷嘴中喷出液滴，使用红、绿和蓝色液体在玻璃基片上形成点图案。日本专利No.3121226提出一种通过相对于辅助扫描方向旋转喷嘴头以便调整该点间距，从而进行记录操作的技术，该操作具有一比喷嘴间距窄的点间距(喷射间距)。日本专利No.3121226还提出一种在喷嘴头旋转时通过改变1号喷嘴到N号喷嘴的喷射定时以用于对准玻璃基片的记录起始位置的技术，以及一种用于控制喷射定时的技术，以便校正每个喷嘴与每个喷嘴头中的多个喷嘴的中心线的位置偏移。

日本公开专利公开No.9-300664揭示了一种液滴图案形成装置，该装置设有一用于彩色液晶显示器的滤色器。在该装置中，将具有平板形状并沿着与玻璃基片垂直的方向延伸的红、绿和蓝色喷嘴头设置成与辅助扫描方向平行。

每个喷嘴头的两端由一保持件支承。每个保持件的一端通过一旋转轴可旋转地连接在一头部支架(框架)上，另一端通过一旋转轴可旋转地连接在一滑动构件上。通过一螺旋弹簧将每个喷嘴头推向每个喷嘴头的一端，并且可以使用一细调螺钉相对于保持件的一端将每个该喷嘴头调整到适当位置。另外，提供一用于相对于头部支架细微地移动滑动构件的细调螺钉。通过使用细调螺钉沿主扫描方向调整滑动构件的位置，可以相对于辅助扫描方向改变三个喷嘴头的旋转角，以便沿辅助扫描方向适当地调整点间距。

有机电致发光(EL)显示器已经作为代替上述液晶显示器的下一代显示器投入实际使用。例如，用于有机EL显示器的EL基片是一玻璃基片，其上形成一阳极层、一空穴传输层、一发射体层和一阴极层。根据所需发光颜色，将多种发光有机化合物应用为发射体层。在用于彩色EL显示器的EL基片的发射体层中，红(R)、绿(G)和蓝(B)发光元件有规律地形成一点图案。有机EL显示器具有一细长本体，其重量较轻、成本较低，并且具有简单的结构。另外，有机EL显示器通过广阔的视角提供良好的可见度，而且需要极少电力。

用于有机彩色EL显示器的EL基片的生产如下所述。从液滴图案形成装置的喷嘴头中将用于形成一空穴传输层的液滴喷射在玻璃基片上，然后通过在真空或惰性空气(气体)中加热以便固定玻璃基片上的液滴。此后，从三个喷嘴头中将三种与R、G、B对应的液体(用于形成一EL发射体层)喷射在玻璃基片上，以形成一点图案。然后，将热量施加在真空中的点图案上，然后通过铝的汽化在其上形成一电极层(阴极层)。

日本公开专利公开No.11-334049揭示了通过相对于固定连杆移动可移动连杆以使喷嘴头旋转的喷墨打印机。因此，为使喷嘴头保持于旋转后的位置，至少需要将固定连杆、可移动连杆和喷嘴头附连在头部支架上。然而，在该结构中，由于可移动连杆相对于固定连杆沿一弧线移动，因此喷墨打印机的结构变得复杂。因此，设计一包括喷嘴头的喷嘴头单元变得困难。

日本专利No.3121226没有揭示一种用于支承喷嘴头，以使喷嘴头能够相对于辅助扫描方向旋转的机构，也没有揭示一种用于旋转喷嘴头的致动器。多个喷嘴头并未可拆卸地附连成一喷嘴头单元。日本专利No.3121226没有提到喷嘴头旋转时的旋转中心。

日本公开专利公开No.9-300664揭示了需要三个设置成直立姿势的喷嘴头的液滴图案形成装置，以便限制喷嘴头的形状。当喷嘴头被设计成可以从上方将喷嘴头附连在保持件的两端和从该两端处卸下时，很难精确地沿垂直方向设置喷嘴头的位置。另一方面，当喷嘴头被设计成不能从上方将喷嘴头附连在保持件的两端和从该两端处卸下时，很难在修理或更换喷嘴头时方便地卸下喷嘴头。因而，无法确保可维护性。

此外，在液滴图案形成装置中，需要通过手工操作细调螺钉，每次沿辅助扫描方向改变一点间距(喷射分辨率)，以便沿主扫描方向移动滑动构件。因此，无法设置一用于使喷嘴头倾斜到非常大的角度的最大旋转角。因而，通过旋转喷嘴头可实现的点间距范围变窄。

发明内容

本发明提供了一种液滴图案形成装置，其中可方便地附连和拆卸喷嘴头，改进喷嘴头的可维护性，并且通过扩大喷嘴头可以旋转的旋转角的范围以使喷射间距的可变范围扩大，并且通过沿辅助扫描方向移动喷嘴头以使喷嘴方便地进行喷射位置的调整，而且与喷嘴头的旋转角无关。

根据本发明的一个方面，液滴图案形成装置包括多个将液滴喷射在记录介质上的喷嘴、多个以预定间距沿主扫描方向对准的喷嘴头、多个旋转装置、多个滑动机构和多个位置调整装置。多个喷嘴头具有多个沿着垂直于主扫描方向的辅助扫描方向对准的喷嘴。多个支承构件可旋转地支承相应的喷嘴头。多个旋转装置使相应的喷嘴头相对于支承构件围绕一轴线旋转，该轴线沿着平行于液滴喷射方向并垂直于喷嘴对准方向的方向延伸。多个滑动机构沿辅助扫描方向可滑动地支承多个支承构件。多个位置调整装置沿辅助扫描方向借助滑动机构微细地调整支承喷嘴头的相应支承构件。

附图说明

参照以下附图详细叙述本发明的一实施例，其中：

图1是本发明的一个实施例的液滴图案形成装置的主视图；

图2是液滴图案形成装置的平面图；

图3是液滴图案形成装置的基本部分的放大平面图；

图4是液滴图案形成装置的放大主视图；

图5是介质保持/移动装置、基片保持件和X、Y方向基片移动机构的平面图；

图6是表示喷嘴头的头部的升高位置的说明性示意图；

图7是喷嘴头保持机构的立体图；

图8是用于喷嘴头中的喷嘴间尺寸误差和喷嘴间距误差的说明性示意图；

图9是显示分成几个等级的喷嘴间尺寸误差和它的中间值误差的表格；

图10是液体供应机构的主视图；

图11A至11C是包括红、绿、蓝点的发射体层的喷射点图案的说明性示意图；

图12是包括喷射检查机构的控制系统的方块图的放大平面图；

图13是用于评价喷射状态的CCD照相机的扫描区域的说明性示意图；

图14是在观察窗中扫描到的液滴图像的局部放大图；

图15是基片保持件和自动对准机构上的玻璃基片的说明性示意图；

图16是头部保持机构的立体图；

图17是用于将液滴喷射在玻璃基片上的说明性示意图；

图18是显示隔行记录方法中的喷嘴头相对于玻璃基片移动的说明性示意图；

图19是显示隔行记录方法中的喷嘴头相对于玻璃基片移动的说明性示意图；

图20是液滴图案形成装置的控制系统的框图；

图21是液滴图案形成装置的控制系统的框图；

图22和23是连续记录操作的控制流程图；

图24是喷射状态检查的控制流程图；以及

图25是相对于红色喷嘴头的喷射状态检查的控制流程图。

具体实施方式

结合附图叙述本发明的示范性实施例。在该实施例中，将本发明应用于一液滴图案形成装置，该装置产生一用于有机EL显示器装置的电致发光(EL)基片(该基片是一薄玻璃板，其上形成一用于发射三色光线(红、绿和蓝)的发射体层)。

一液滴图案形成装置1包括一底架2(图1)、一外壳3(图1)、一介质保持/移动装置5(图4)、一Z方向头部保持件移动机构6(图1)、一喷嘴头保持装置7(图1)、一检查/调整装置9(图3)、一液体供应装置(液体供应机构)12(图1)和一控制装置13(图20)。介质保持/移动装置5保持一玻璃基片(记录介质)4，并且可以沿主和辅助扫描方向单独移动玻璃基片4。Z方向头部保持件移动机构6保持喷嘴头保持装置7，以使喷嘴头保持装置7可以沿上下方向移动。检查/调整装置9检查来自喷嘴头8(图5)的液滴的喷射状态，并且进行有关喷嘴头8的维护和调整。喷嘴头8包括喷嘴头8R、8G、8B(图7)。液体供应装置12提供用于形成三色的EL反射体层的待喷射液体10和冲洗溶剂11(图10)。控制装置13控制上述装置和机构。

利用液滴图案形成装置1的图2所示方向在实施例中进行一个说明，并且应用于全部附图。将右左方向、前后方向和上下方向分别称为X方向(主扫描方向)、Y方向(辅助扫描方向)和Z方向。

如图1至4所示，在液滴图案形成装置1中，矩形平行六面体外壳3设置在底架2上。外壳3的内部被一水平设置于中间位置的隔板14分成一图案形成室15和一维护室16。图案形成室15设置在底架2的侧面，而维护室16设置在图案形成室15的上方。隔板14具有一开口14a(图2)，喷嘴头保持装置7可以通过该开口。只要将图案形成室15和维护室16相互分开，任何构件可作为隔板14，并且不必水平地设置隔板14。在图案形成室15中的图案形成阶段中，在玻璃基片4上进行记录操作，以形成一包括多个精细的三色象素的点图案。在维护室16中的检查/调整阶段44中，在喷嘴头8上进行检测和调整操作。

首先，叙述介质保持/移动装置5。介质保持/移动装置5接纳玻璃基片4，如图2所示，该玻璃基片沿箭头A所示的方向从位于外部系统后面的装载机H被运送到图2中的双点划线所示的预定通过位置(准备位置)21b，然后将玻璃基片4移动到喷射开始位置，并且使玻璃基片4对准初始设定位置(原位)。在记录操作期间，介质保持/移动装置5单独地沿X和Y方向移动玻璃基片4。在记录操作之后，介质保持/移动装置5将玻璃基片4移动到准备位置，以使玻璃基片4通过到达装载机H。

如图1和4所示，一带大理石斑纹的基部17设置在图案形成室15中的底架2上(例如，1500毫米长、1500毫米宽和500毫米高)。柱18从基部17的四个角部延伸。在图案形成室15中，用空气代替氮气，并将水蒸汽浓度和氧气浓度降低到预定水平或更低，以便进行记录操作。

如图4至6所示，一Y方向基片移动机构19设置在基部17上。一X方向基片移动机构20附连在Y方向基片移动机构19的可移动构件19a上。一其上保持玻璃基片4的基片保持件21附连在X方向基片移动机构20的可移动构件20a上。X和Y方向基片移动机构19、20可以沿X和Y方向单独移动玻璃基片4。基片保持件21可以围绕销22的中心旋转，以便对准玻璃基片4。

基片保持件21由合成树脂或烧结金属的多孔材料制成，因而通过多孔材料制成的基片保持件21将负压施加于玻璃基片4，以使基片保持件21可以粘附并保持玻璃基片4。基片保持件21沿右左方向具有一宽于玻璃基片4的宽度。一对接纳冲洗溶液(用于清洁喷嘴头8的溶液)11的托盘21a与基片保持件21构成一体。设置四根提升杆23a和一基片提升机构23(图5)。当玻璃基片被运送到基片保持件21/从基片保持件运送时，提升杆23a将玻璃基片4升高与基片保持件21相距一预定距离。基片提升机构23包括一上下移动提升杆23a的气缸。

将叙述作为介质运送机构24(图5)的X方向基片移动机构20和Y方向基片移动机构19。如图1和4至6所示，基片保持件21和设置在基片保持件21上的玻璃基片4可以通过X方向基片移动机构20沿主扫描方向移动，还可以通过Y方向基片移动机构19沿辅助扫描方向移动。当玻璃基片4上形成图案时，通过基片移动机构19、20使玻璃基片4和喷嘴头保持机构7的喷嘴头8互相相对地沿主和辅助扫描方向移动，同时使喷嘴头保持装置7保持在一预定下降位置处。

X方向基片移动机构20的一X方向驱动器26通过一伺服电动机28(包括一X方向编码器27)相对于一X方向引导构件20b移动可移动构件20a。Y方向基片移动机构19的一Y方向驱动器29通过一伺服电动机31(包括一Y方向编码器30)相对于一Y方向引导构件19b移动可移动构件19a。

当基片保持件21上的玻璃基片4对准在原位时，首先，通过使用设置在维护室16中的CCD照相机32a至32d扫描对准标记AM1至AM4，检测设置在玻璃基片4上的对准标记AM1至AM4(图15)的位置。基于对准标记AM1至AM4的检测位置信息，基片保持件21通过基片移动机构19、20沿X和Y方向移动，并且通过一旋转装置35围绕销22旋转，该旋转装置包括：一凸轮件33，该凸轮件摩擦结合基片保持件21的下侧；以及一电控气缸34，该电控气缸可以沿X方向略微移动凸轮件33。如上所述，使用对准标志AM1至AM4将玻璃基片4调整到最初设定位置。

也就是说，X和Y方向基片移动机构19和20、旋转装置35、CCD照相机32a至32d和控制装置13构成一自动对准机构36，该机构使用玻璃基片4的对准标志AM1至AM4将玻璃基片4调整到最初设定位置。

如图1至4和6所示，Z方向头部保持件移动机构6沿上下方向支承并移动喷嘴头保持装置7。一对沿前后方向延伸的箱形框架37在维护室16中的隔板14的右左两侧支承在柱18上。一支承框架38设置在箱形框架37上，以便桥接在两箱形框架37之间。Z方向头部保持件移动机构6附连在支承框架38上。Z方向头部保持件移动机构6包括：一滑动壳体39，该滑动壳体固定在支承框架38上；一可移动构件40，该构件通过滑动壳体39可移动地沿上下方向被引导；一电控气缸41，该气缸用于沿上下方向移动可移动构件40；以及一用于电控气缸41的Z方向编码器42。

如图1、4、6和7所示，一头部支架25固定在Z方向头部保持件移动机构6的可移动构件40的下端上。喷嘴头保持装置7可拆卸地附连在头部支架25上。如图6所示，喷嘴头保持装置7的一头部43(包括多个喷嘴头8)在喷射位置(下降位置)DP、检查/对准位置(升高位置)UP和原位HP之中上下移动。喷射位置DP是图案形成阶段中在玻璃基片4上形成图案的位置，该位置设置在图案形成室15中的隔板14下方。检查/调整位置UP是检查/调整阶段44中检查和调整头部43的位置。原位HP设置在略高于检查/调整位置UP的位置处。

如图1、4和7所示，喷嘴头保持装置7包括基板45、支承件46、滑动机构47、位置调整机构48、旋转式伺服电动机49和头部保持件50。

头部保持件50是窄的，并且沿辅助扫描方向延伸。当头部保持件50处于最初设定状态时，头部保持件50的表面沿辅助扫描方向平行延伸。窄的喷嘴头8沿辅助扫描方向延伸，并且可拆卸地附连在相应的头部保持件50上。喷嘴头8由抗溶剂材料(最好是陶瓷材料)制成，以便喷射一由溶液和有机物质构成的溶剂，例如一EL发光有机物质。抗溶剂是指抗溶剂腐蚀的性质。例如，每个喷嘴头8具有64个带有极小直径的喷嘴51。诸喷嘴51沿辅助扫描方向(图8)以极小的间距对准成一行。头部保持件50包括具有附连于其上的喷嘴头8R、8G、8B的头部保持件50R、50G、50B，所述喷嘴头分别喷射红色液体、绿色液体和蓝色液体。沿主扫描方向以预定间隔互相平行地设置头部保持件50R、50G、50B。从最后面的喷嘴51(设置在基部端侧上)开始，在每个喷嘴头8中将喷嘴51从一连续编号到六十四。最前面的喷嘴51称为喷嘴64号。1号喷嘴是基准喷嘴51-1。

沿辅助扫描方向延伸的三块矩形基板45互相靠近地设置在头部支架25上，以便从头部支架25的前端突起。三个支承构件46借助滑动机构47可滑动地基本上附连在相应基板45的前半部分上。每块基板45设有位置调整机构48，该机构包括一沿前后方向设置的位置调整伺服电动机52。可以通过关联的位置调整机构48沿辅助扫描方向细微地调整每个支承构件46的位置，该支承构件与每个滑动机构47的可移动构件(图中未示出)相连。

具有一向下延伸的输出轴49a的旋转式伺服电动机49牢固附连在每个支承构件46的前端上。每个头部保持件50附连在旋转式伺服电动机49的输出轴49a的端部上。头部保持件50，即喷嘴头8，通过伺服电动机49并同时相对于支承构件46围绕一轴线旋转，该轴线沿着与液体喷射方向平行的方向延伸并垂直于喷嘴对准方向。同时，如图8所示，喷嘴头8围绕设置成旋转中心的基准喷嘴(1号喷嘴)51-1的位置旋转。控制装置13基于图案形成的分辨率控制由旋转式伺服电动机49所旋转的喷嘴头8的旋转角。

附连在喷嘴头保持装置7上的喷嘴头8包括喷射多种颜色的液滴的喷嘴头，以形成一发出预定颜色的光的EL发射体层。在实施例中，喷嘴头8包括分别喷射红、绿和蓝色液体的喷嘴头8R、8G、8B，以形成一全色的EL发射体层。借助若干管子将红、绿和蓝色液体从液体供应机构12(图10)供应到相应的喷嘴头8R、8G和8B，以使液滴从多个喷嘴51中喷出。

如图8和9所示，将喷嘴间尺寸误差分成1至5级，喷嘴间尺寸误差是与喷嘴间尺寸L的设计值误差的数量，喷嘴间尺寸L是最前面的喷嘴51-64与最后面的喷嘴51-1之间的距离。喷嘴头8R、8G、8B都被分成与喷嘴间尺寸误差相同的级别，它们附连在喷嘴头保持装置7上。在通过旋转式伺服电动机49将喷嘴头8旋转处在0和60度之间的范围内的一任意角时，根据喷嘴头8R、8G、8B的喷嘴间尺寸误差的级别中的中间值误差来校正旋转角。在计算喷嘴头8的旋转角时，通过使用一预先储存在控制装置13中的校正程序，可以用级别1至5中的中间值误差(+10、+5、0、-5、-10微米)之一来校正旋转角。为了代替喷嘴间尺寸误差，可以使用相邻喷嘴之间的喷嘴间距误差(即，通过将喷嘴间尺寸误差除以喷嘴之间的空间数量所获得的值)。尽管该实施例中使用相同级别的喷嘴间尺寸误差的喷嘴头8R、8G、8B，但可以从不同级别中选择喷嘴头8R、8G、8B。将旋转式伺服电动机49设置成与喷嘴头8具有一对一关系。因此，可以单独校正不同级别中的喷嘴头8的误差，以使所有喷嘴头8的喷嘴间距变为相等的间距。

然后，将叙述维护室16和设置在维护室16中的设备和装置。Z方向头部保持件移动机构6使头部43的位置通过隔板14的开口14a转换到升高位置UP(图6)，并保持在升高位置处，以便检查喷嘴51的喷射状态并进行维护。在维护室16中，使用一喷射检查机构53来检查每个喷嘴头8R、8G、8B的喷嘴51的喷射状态，并且在喷嘴头保持装置7上进行维护。

如图1至4和6所示，维护室16具有诸如1500毫米的长度、1500毫米的宽度和700毫米的高度。维护室16容纳Z方向头部保持件移动机构6的主要部分、自动对准机构36的一部分以及用于检查和维护头部保持件50的喷嘴头8的检查/调整装置9。检查/调整装置9包括一头部维护机构54和喷射检查机构53。

如图1至4和16所示，头部维护机构54设置在维护室16中的隔板14的开口14a的前面。头部维护机构54具有一电控气缸55、一吸收性片材卷绕机构56、一片材卷绕机驱动机构57、一清洗托盘58和一橡胶垫单元59。在喷射检查机构53检查喷嘴51(沿喷嘴头8的辅助扫描方向对准)的喷射状态时，头部维护机构54与喷射检查机构53相协作。

一活动工作台60将吸收性片材卷绕机构56、清洗托盘58和橡胶垫单元59整体支承于其上。活动工作台60通过电控气缸55沿前后方向移动，以将吸收性片材卷绕机构56、清洗托盘58和橡胶垫单元59放置在由喷嘴头保持装置7支承的喷嘴头8的下方，该喷嘴头保持装置通过Z方向头部保持件移动机构6保持在升高位置UP处。

如图2、3和16所示，吸收性片材卷绕机构56包括一单向离合器驱动辊61、一背部张紧机构63、随动辊64和65以及一支承板66。可将来自片材卷绕机驱动机构57的驱动力传送到驱动辊61。背部张紧机构63包括一带62，该带设置在驱动辊61与背部张紧机构63之间，并且沿着与片材卷绕方向相反的方向施加恒定的张力。将一吸收性片材67设定在驱动辊61和背部张紧机构63的随动辊64、65上，以便由片材卷绕机驱动机构57通过驱动辊61和随动辊64、65被驱动辊61卷绕。吸收性片材67通过摩擦喷嘴表面以便去除粘附在喷嘴表面上的液体和污染物质，以使喷嘴表面清洁。

片材卷绕机驱动机构57包括一伺服电动机68、一X方向电动机移动机构69和一气缸70。伺服电动机68具有一输出轴68a，该轴外部固定一具有高摩擦系数的橡皮。X方向电动机移动机构69支承伺服电动机68，以使伺服电动机68可以沿X方向滑动。气缸70移动X方向电动机移动机构69，以使伺服电动机68的输出轴68a的位置在驱动力传送位置与非传送位置之间转换。在通过电控气缸55将活动工作台60移动到一准备位置(吸收性片材卷绕位置)的同时，气缸70将伺服电动机68的输出轴68a的位置转换到驱动力传送位置，并且将伺服电动机68的驱动力传送到驱动辊61的输入轴，以使吸收性片材67沿图16的箭头B所示的方向卷绕。

清洗托盘58包括三个凹部58B、58G、58R。喷嘴头8B、8G、8R分别在凹部58B、58G、58R的上方移动，以使喷嘴头8B、8G、8R与凹部58B、58G、58R相对。在该条件下，通过从喷嘴51中喷射溶剂11可将头部清洁溶剂11供应给喷嘴头8B、8G、8R，以使喷嘴51清洁。在进行喷射状态检查时，喷嘴头8B、8G、8R分别在凹部58B、58G、58R的上方移动，并且在头对头的基础上进行喷射检查。因此，在使用喷射检查机构53进行喷射状态检查期间，从喷嘴头8中喷出的液滴可以储存在清洗托盘58中，而且不会散布液滴。橡胶垫单元59包括三个橡胶垫59B、59G、59R，它们分别在喷嘴头8B、8G、8R的下方移动，并且覆盖喷嘴头8B、8G、8R以防止喷嘴51干燥。

如图1至4和12所示，喷射检查机构53设置在维护室16中的头部维护机构54附近。喷射检查机构53包括一Y方向照相机移动机构71a、一Y方向闪光移动机构71b、扫描位置转换机构72a和72b、一CCD照相机73和一闪光装置74。Y方向照相机移动机构71a和扫描位置转换机构72a设置在隔板14的开口部分14a的左侧，而Y方向闪光移动机构71b和扫描位置转换机构72b设置在开口14a的右侧，以便相互面对。提供CCD照相机73以便扫描液滴的喷射状态。闪光装置74用光充分照射(foods)CCD照相机73。

CCD照相机73设置在隔壁14的开口部分14a的左侧。用于沿辅助扫描方向移动CCD照相机73的Y方向照相机移动机构71a以及包括气缸75、76(图1)的扫描位置转换机构72a也设置在左侧。气缸76设置在气缸75的下方，以使CCD照相机73可以沿主扫描方向移动到位于除基部位置以外的两个位置。闪光装置74设置在开口部分14a的右侧。用于沿辅助扫描方向移动闪光装置74的Y方向闪光移动机构71b以及具有类似于扫描位置转换机构72a的结构的扫描位置转换机构72b也设置在右侧。

在头对头的基础上进行喷嘴头8B、8G、8R的喷射状态检查。每个喷嘴头8B、8G、8R具有六十四个沿辅助扫描方向对准成一行的喷嘴51。在该实施例中，在每个喷嘴头8B、8G、8R中，将十六个喷嘴51看成一组，例如，1号喷嘴至16号喷嘴为一组、17号喷嘴至32号喷嘴为一组，依此类推。进行有关各组喷嘴51的喷射状态检查。在进行喷射状态检查时，首先，沿辅助扫描方向将CCD照相机73和闪光装置74设定在其最初位置处。然后，检查第一组中的1号喷嘴至16号喷嘴的喷射状态。然后，向前移动CCD照相机73和闪光装置74，并且检查第二组中的17号喷嘴至32号喷嘴的喷射状态。此后，以类似方式检查第三和第四组中的喷嘴51。

Y方向照相机移动机构71a和Y方向闪光移动机构71b分别沿辅助扫描方向(Y方向)将CCD照相机73和闪光装置74移动16个喷嘴的距离。为了在特定条件下进行喷嘴头8R、8G、8B的喷嘴51的喷射状态检查，总是保持CCD照相机73和闪光装置74之间的距离不变，并且在CCD照相机73与闪光装置74之间的中点处扫描液滴。因此，相对于受到喷射状态检查的喷嘴头8，可将CCD照相机73和闪光装置74沿X方向设置于三个位置。在检查喷嘴头8R的喷射状态时，左侧扫描位置转换机构72a的气缸75、76突伸到最大程度，而右侧扫描位置转换机构72b的气缸75、76收缩到最大程度。

在检查喷嘴头8G的喷射状态时，左侧扫描位置转换机构72a的气缸75、76之一收缩，而右侧扫描位置转换机构72b的气缸75、76之一突伸。在检查喷嘴头8B的喷射状态时，左侧扫描位置转换机构72a的两个气缸75、76收缩到最大程度，右侧扫描位置转换机构72b的两个气缸75、76突伸到最大程度。如上所述，可以在扫描液滴的同时使CCD照相机73与闪光装置74之间的距离相对于受到喷射状态检查的喷嘴头8总是保持不变。因而，可以增加喷射状态检查的可靠性。

将叙述用于使玻璃基片4放置于原位的自动对准机构36。自动对准机构36包括设置在检查/调整阶段44中的装置，以及设置在图案形成室15中的X方向基片移动机构20、Y方向基片移动机构19和旋转装置35。

如图1至4和15所示，玻璃基片4的后缘的右和左转角上设有大的和小的对准标志AM1至AM4。扫描对准标志AM1至AM4，然后通过控制装置13分析扫描到的图像数据，以获得玻璃基片4与原位的偏移量。基于获得的偏移量，将玻璃基片4设定在原位。

将低功率的CCD照相机32a和高功率的CCD照相机32c设置于支承板77，以便在检查/调整阶段44分别扫描玻璃基片4的开口部分14a的左侧上的左侧对准标志AM1、AM3。CCD照相机32a、32c通过设置于隔板14的玻璃窗扫描对准标志AM1、AM3。CCD照相机32a、32c的位置可被一气缸78改变，并且可以根据玻璃基片4的厚度手工对焦。

同样，将低功率的CCD照相机32b和高功率的CCD照相机32d设置于支承板79，以便在检查/调整阶段44分别扫描开口部分14a的右侧的右侧对准标志AM2、AM4。CCD照相机32b、32d通过设置于隔板14的玻璃窗扫描对准标志AM2、AM4。CCD照相机32b、32d的位置可被一气缸80改变，并且可以根据玻璃基片4的厚度手工对焦。此外，将一X方向照相机移动机构81和一Y方向照相机移动机构82设置成沿X和Y方向单独地精确移动支承板79上的CCD照相机32b、32d，以便检测右侧对准标志AM2、AM4，当运送到原位的玻璃基片4大大偏离正确位置或玻璃基片4的尺寸被改变时，右侧对准标志的位置有可能沿前后方向或右左方向变化。

当放置在基片保持件21上的玻璃基片4在最初设定位置(原位)对准时，通过右侧和左侧的低功率照相机32a、32b扫描大的对准标志AM1、AM2，然后将扫描到的图像数据发送到控制装置13。控制装置13使用一预定的控制程序分析图像数据，以获得玻璃基片4沿X方向偏离原位的数量ΔX、玻璃基片4沿Y方向偏离原位的数量ΔY以及旋转角围绕销22偏离的数量Δα。基于获得的偏离量ΔX、ΔY、Δα，通过X和Y方向基片移动机构20、19和旋转装置35将玻璃基片4大致定位在原位处。

然后，通过右侧和左侧高功率照相机32c、32d扫描小的对准标志AM3、AM4，然后将扫描到的图像数据发送到控制装置13。控制装置13使用预定的控制程序分析图像数据，以获得玻璃基片4沿X方向偏离原位的数量ΔX、玻璃基片4沿Y方向偏离原位的数量ΔY以及旋转角围绕销22偏离的数量Δα。基于获得的偏离量ΔX、ΔY、Δα，通过X和Y方向基片移动机构20、19和旋转装置35将玻璃基片4精确定位在原位处。因此，即使在玻璃基片4的厚度或尺寸变化时，也可以将玻璃基片4精确且稳妥地定位在原位处。

将叙述由喷射检查机构53进行的喷射状态检查。如上所述，按喷嘴头8中的喷嘴组进行喷嘴51的喷射状态检查。此外，通过将喷嘴头保持装置7升高到检查/调整阶段44，同时将喷嘴头保持装置7附连在Z方向头部保持件移动机构6的可移动构件40上，能够完成喷射状态检查。因此，在用于在玻璃基片4上形成图案和自动对准的图案形成过程中、在玻璃基片4的运送期间可以通过喷射检查机构53进行喷射状态检查。因此，可以降低发生缺陷的可能性，以便增加液滴图案形成装置1的利用率。

将叙述用于检查喷嘴51的喷射状态是否正常的方法。如图3、12至14所示，与一组十六个喷嘴51对应的十六个观察窗83沿辅助扫描方向以规则的间隔设置在CCD照相机73的扫描区域PA中(大约为6.5毫米×5毫米)。将诸观察窗83设置在从诸喷嘴51的诸下端向下移动到约1.5毫米的位置，并且从一个60×10象素的阵列产生各观察窗83。

例如，以大约每秒7米的速度从十六个喷嘴51中喷出液滴，并且在观察窗83的区域内扫描该液滴。在那时，例如，CCD照相机73大约在第1/10000秒扫描，而闪光周期大约为1微秒。将扫描到的图像数据以信号发送到控制装置13，以便使用预定的图像处理程序处理图像。在该过程中，例如，当喷嘴头8喷出的液滴的大多数图像处在观察窗83(图13中的1至7、9、10、12至16号喷嘴)内时，可以确定喷嘴51的喷射状态是正常的。当液滴的图像处在观察窗83(8和11号喷嘴)之外时，可以确定喷嘴51的喷射状态是反常的。例如，喷射速度的反常、不喷射或污染物质积聚在喷嘴表面上(主要是EL聚合物的凝固)会产生反常喷射。

由设置在控制装置13中的主控制单元107执行用于通过液滴图案形成装置1使用不同记录分辨率(喷射分辨率)的红、绿和蓝色液体将点图案记录在玻璃基片4上的控制。

假定沿喷嘴51的辅助扫描方向在每个喷嘴头8的一行中对准的喷嘴间距是每英寸75点(dpi)，喷嘴间距P是P＝(25.4/75)毫米。如图17所示，当诸旋转式伺服电动机49同时使三个头部保持件50相对于辅助扫描方向旋转一角度θ时，沿辅助扫描方向的喷嘴间距Pθ是P×cosθ。因此，通过在0和60度之间的范围内改变角度θ，可使喷嘴间距在P×(1.0)至P×(0.5)的范围内连续变窄。

a)在希望获得75与150dpi之间的分辨率时(见图18)：

将喷嘴头8的旋转角θ设定为处在0和60度之间的范围内的适当角度，该角度提供理想的分辨率。沿主扫描方向执行一条路径的记录操作，然后将玻璃基片4向后移动(沿着与辅助扫描方向相反的方向)64×P×cosθ，并保持在该位置处。例如，在希望获得75dpi的分辨率时，将旋转角θ设为0度，在希望获得150dpi的分辨率时，将旋转角θ设为60度。

b)在希望获得150与300dpi之间的分辨率时(见图19)：

例如，用以下方式完成150dpi的分辨率的记录：首先，以75dpi的分辨率进行记录操作，然后将头部保持件50移动点划线所示的一半间距，并且在以76dpi的分辨率形成的图案上进行记录操作。因此，将喷嘴头8的旋转角θ设定为处在0和60度之间的范围内的适当角度，该角度以类似上述方式的方式沿辅助扫描方向提供理想分辨率的一半。然后，沿主扫描方向执行一条路径的记录操作，然后将玻璃基片4向后移动0.5×P×cosθ。在该位置处，执行一条路径的记录操作，然后将玻璃基片4向后移动63.5×P×cosθ，并保持在该位置处。例如，在希望获得150dpi的分辨率时，将旋转角设为0度，在希望获得300dpi的分辨率时，将旋转角设为60度。

c)在希望获得37.5与75dpi之间的分辨率时：

将喷嘴头8的旋转角θ设定为处在0和60度之间的范围内的适当角度，该角度提供理想分辨率的两倍。例如，沿主扫描方向使用奇数喷嘴51(1、3、5……号喷嘴)执行一条路径记录操作。然后，将玻璃基片4向后移动64×P×cosθ，并保持在该位置处。例如，在希望获得37.5dpi的分辨率时，将旋转角θ设定为0度，在希望获得75dpi的分辨率时，将旋转角θ设定为60度。

上面所述的只是一些设定分辨率的示例。通过在小间距中进行记录操作可以得到225和450dpi之间或300和600dpi之间的分辨率。如上所述，为了获得理想的分辨率，通过同时旋转伺服电动机49，以便在0和60的范围内控制喷嘴头8的旋转角θ。

将叙述用于校正喷嘴间距误差的控制，该误差是由使用旋转角θ产生的变化所导致的。通过控制装置13中的主控制单元107来执行该控制。

假定相邻喷嘴之间的喷嘴间距(设计值)是P0，喷嘴的数量是n，可通过以下方程式来表示最前面的喷嘴与最后面的喷嘴之间的距离(设计值)，即喷嘴间尺寸L0：

L0＝P0×(n-1)                   (1)

假定最前面的喷嘴与最后面的喷嘴之间的距离(测量值)是L，测量值L与设计值L0的误差量ΔL是ΔL＝(L-L0)。测量所有喷嘴头8的喷嘴间距尺寸L，以获得误差量ΔL。将获得的误差ΔL分类到上述喷嘴间尺寸误差的五个级别中。

假定沿辅助扫描方向的理想分辨率是R，旋转角是θ，而实际的喷嘴间距是P1，通过以下方程式来表示实际的喷嘴间距P1：

P1＝L/(n-1)＝(ΔL+L0)/(n-1)

＝〔ΔL+P0×(n-1)〕/(n-1)

＝ΔL/(n-1)+P0

当旋转角为θ时，沿辅助扫描方向的喷嘴间距是P1×cosθ。因此，

P1×cosθ＝25.4/R＝〔ΔL/(n-1)+P0〕×cosθ，以及

θ＝cos-1(25.4/R)/〔ΔL/(n-1)+P0〕

也就是说，在理论上可以使用分辨率R计算出旋转角θ。然而，实际上，由于喷嘴间距误差的存在，喷嘴头8将额外旋转一角度Δθ。在喷嘴头8旋转之前，通过规定一理想分辨率和喷嘴间距误差可以计算实际的旋转角θ。

当所有喷嘴头8的喷嘴间尺寸误差相同时，可以直接规定喷嘴间尺寸误差的数值。通常，所有喷嘴头8的喷嘴间尺寸误差是相同的情况极少。因此，将喷嘴间尺寸误差分成多个级别(例如五个级别)，以便于维护喷嘴头8。通过为每个级别的喷嘴间尺寸误差的上限值和下限值分等级，可以获得中间值误差。这样做，可以在多种级别中从多个喷嘴头8的相同误差级别中选择喷嘴头8。此外，使用一实际旋转角θ可以适当地进行精确的校正，该旋转角可以从相同误差级别中的喷嘴头8的理想分辨率和中间值误差中获得。

使用上述方程式获得旋转角θ，并且使喷嘴头8旋转的旋转角θ所处范围满足0≤θ≤60°，也就是说，0.5≤cosθ≤1。这样做，可以校正喷嘴间距误差。当P1×cosθ＝25.4/R＝P0时，旋转角θ在正常情况下为0度。然而，当喷嘴间尺寸L较小时，P1≤P0，因而cosθ≥1，因此，无法满足P1×cosθ＝25.4/R＝P0。当25.4/R＝P0/2时，旋转角θ在正常情况下为60度。然而，当喷嘴间尺寸L较大时，P0≤P1，因而cosθ≤0.5，无法满足25.4/R＝P0/2＝P1×cosθ。也就是说，在该情况下，几乎将旋转角θ设为0度，并且执行一条路径的记录操作和隔行记录。

下面将叙述液体供应装置12。如图1、2和10所示，液体供应装置12设置于液滴图案形成装置1的外壳3的一侧，以便向头部保持件50R、50G、50B供应红、绿和蓝色液体10以及清洁(冲洗)溶剂11。

包括液体容器84R、84G、84B的液体容器84可容纳对应颜色的液体10。液体容器84被设计成能使液体容器84的升高和降低与Z方向头部保持件移动机构6的上升和下降运动同步。液体供给装置12还包括一废液贮存器85、一用于清洁溶剂11的溶剂容器86和一阀单元87。借助阀单元47将容纳在液体容器84R、84G、84B中的红、绿和蓝色液体10供应到喷嘴头8R、8G、8B，并且分别从喷嘴头8R、8G、8B中的喷嘴51中喷出。

在清洁喷嘴头8时，借助阀单元87还将溶剂容器86中的清洁溶剂11供应到喷嘴头8R、8G、8B，并且从喷嘴51中喷出/吸出。头部维护机构54的清洗托盘58中的凹部58R、58G、58B与一管子相连。使用负压通过管子吸出废液，并且将吸出的废液储存在废液贮存器85中。一从废液贮存器85处延伸出管子88与湿气分离容器(图中未示出)相连。分别从液体容器84R、84G、84B处延伸的管子89、90、91以及一从溶剂容器86处延伸出的管子92与压缩氮气管线(图中未示出)相连。真空泵或喷射器和排气装置产生的负压被排放到设置在一设备中的有机风道。

液体供应机构12的支承框架93设有一保持件94，该保持件可以由一液体容器上升/下降机构95上下移动。液体容器上升/下降机构95具有一电控气缸，该电控气缸带有一金属风箱96。电控气缸96的杆的尖端连接在保持件94上。电控气缸96的上下移动与Z方向头部保持件移动机构6的上下移动同步，使保持构件97(97R、97G、97B)移动，以使液体容器84R、84G、84B中的液体水平面相对于喷嘴头8R、8G、8B的水平面保持在一预定位置处。提供三个液体水平面保持机构98，这些机构可以根据液体容器84R、84G、84B中的液体10的消耗量将液体容器84R、84G、84B中的液体水平面保持在一稳定或不变的位置处。将一锁定机构99设置于每个液体水平面保持机构98。

总是将液体容器84R、84G、84B中的每个液体水平面校正到低于喷嘴51所处位置的基准位置(例如50毫米)。每个液体水平面保持机构98包括一沿垂直方向延伸的圆柱形壳体100、一轴构件101、一作为弹性构件的螺旋压缩弹簧102、一套筒103以及用于保持液体容器84R、84G、84B的保持构件97R、97G、97B。设置于每个壳体100的上端的凸缘100a可拆卸地附连在保持件94上。轴构件101设置在每个壳体100中，以使其整体固定在壳体100上。

诸轴构件101的诸上端连接在壳体100中的诸保持构件97上。在每个液体水平面保持机构98中，将一球形花键构成的套筒103驱入壳体100。将螺旋压缩弹簧102设置在被壳体100、轴构件101和套筒103包围的空间中。通过保持构件97弹性支承容纳液体10的液体容器84，并且将液体容器84中的液体水平面保持在某个位置处。随着液体水平面根据液体10的消耗量下降，螺旋压缩弹簧102根据体10的消耗量将保持构件97向上推动，以使液体水平面保持在某个水平面处。

在电控气缸96上下移动保持件94时，每个锁定机构99抑制螺旋压缩弹簧102产生的振动，并且包括一小型气缸104和一固定在气缸104的杆的尖端上的垫105。气缸104处于水平位置固定在壳体100的上半部分的一侧，杆的尖端同时插入壳体100。通过垫105推动套筒103，以便抑制振动。液体容器84R、84G、84B、废液贮存器85和用于喷嘴头清洁溶剂11的溶剂容器86容纳在手套式工作箱106中，并且可以通过一开口(图中未示出)用新的容器进行替换。

将叙述包括液滴图案形成装置1的控制装置13的控制系统。如图20和21所示，控制装置13的主控制单元107具有一计算机，该计算机包括一CPU、一ROM和一RAM，并且储存了多种控制程序，这些控制程序用于控制设置在液滴图案形成装置1中的照相机和监视器。主控制单元107与一操作板108、一外部储存装置109和一电源电路110相连。外部储存装置109存储将要形成在玻璃基片4上的点图案的图像数据、液滴图案形成装置1的系统常数和生产管理信息。外部储存装置还可以是控制装置13的部件。

主控制单元107通过一输入/输出线路111与一数字信号处理器(DSP)112、移动脉冲发生电路113和114、一输出寄存器115、一输入寄存器116、一对准控制器117、一喷射检查控制器118和一装载机接口(I/F)119相连。DSP112通过一信号输出电路120和一驱动电路121与喷嘴头8R、8G、8B相连。DSP112具有一CPU、一ROM和一RAM。DSP112的ROM储存用于驱动喷嘴头8的记录操作控制程序，以便进行记录操作。

驱动电路121具有一脉冲发生电路(图中未示出)，该脉冲发生电路产生一用于驱动多个压电元件的驱动脉冲，所述压电元件可致动多个喷嘴51。将驱动脉冲的波形设置成在喷嘴头8R、8G、8B中共用，或者相对于喷嘴头8R、8G、8B单独设置。为了显示驱动脉冲的波形，将一波形监视器122与驱动电路121相连。可以在逐个喷嘴的基础上单独设置驱动脉冲的波形。这样做，可使液滴的喷射量和施加驱动脉冲与喷射墨滴之间的时间在所有喷嘴51中相同。因而，可以精确控制喷射。

DSP112还与移动脉冲发生电路113相连。通过一放大器(AMP)123a将X轴线性标度123输出的检测信号发送到DSP112，该X轴线性标度可以精确地检测通过X轴伺服电动机28驱动的X方向基片移动机构20的移动量，以便根据玻璃基片4沿X方向的移动进行记录操作。

将一储存记录数据和相位数据(用于设定一喷射定时的数据)的数据储存装置124连接到DSP112。数据储存装置124储存自主控制单元107发送的数据，并且向DSP112输出数据用于记录操作。

移动脉冲发生电路113与驱动器125至131相连。驱动器125驱动用于X方向基片移动机构20的X方向伺服电动机28，该机构可以沿X方向移动玻璃基片4。驱动器126驱动用于Y方向基片移动机构19的Y方向伺服电动机31。驱动器127驱动旋转式伺服电动机49，驱动器128致动沿辅助扫描方向调整头部保持件50R、50G、50B的位置调整机构48。驱动器129驱动一驱动电控气缸41的Z方向伺服电动机129a，以使喷嘴头保持装置7上下移动，而驱动器131驱动一驱动电控气缸96的Z1方向伺服电动机130，用于移动液体供应机构12的保持件94。通过一放大器150a将一检测旋转式伺服电动机49的旋转的编码器150连接到驱动器127。

驱动器125基于内装在X方向伺服电动机28中的X方向编码器27输出的检测信号和X方向线性标度123控制X方向伺服电动机28。类似地，提供一Y方向线性标度132，它可以精确检测沿Y方向基片移动机构19的Y方向的移动量。驱动器126基于内装在Y方向伺服电动机31的编码器30输出的检测信号和Y方向线性标度132控制Y方向伺服电动机28。因此，通过X方向基片移动机构20和Y方向基片移动机构19沿X和Y方向单独且精确地移动玻璃基片4，并且可以沿X和Y方向精确地控制玻璃基片4的位置。

移动脉冲发生电路114与驱动器134、136、138、140、141相连。驱动器134驱动调整式伺服电动机133，使用对准标志AM1至AM4用于调整玻璃基片4到达原位。驱动器136驱动一移动式伺服电动机135，该伺服电动机用于移动将要用于喷射状态检查的CCD照相机73，而驱动器138驱动一移动式伺服电动机137，该伺服电动机用于移动用于喷射状态检查的闪光装置74。驱动器140驱动一用于移动头部维护机构54的移动式伺服电动机139，而驱动器141驱动一用于卷绕吸收性片材67的卷绕机伺服电动机68。

如图20和21所示，连接到主控制单元107的输入/输出线11与输出寄存器115、输入寄存器116、对准控制器117、喷射检查控制器118和装载机接口119相连。输出寄存器115与一继电器电路143相连，该继电器电路驱动液体供应机构87中的阀单元87的多个电磁阀(SOL1、SOL2)142。输入寄存器116与一接口(I/F)145相连，该接口与多个检测开关(LS1、LS2)144相连。对准控制器117与一监视器和键盘146和四个CCD照相机32a至32d相连，这些CCD照相机使用对准标志AM1至AM4来调整玻璃基片4。喷射检查控制器118驱动用于喷射状态检查的CCD照相机73和闪光装置74。装载机接口119发送/接收用于传送玻璃基片4的进/出装载机H的信号。

然后，将叙述用于连续记录操作的控制。在连续记录操作中，通过在每次记录操作完成之后用待处理的下一工件(玻璃基片4)替换原工件，可以将点图案依次记录在工件上。如图22和23所示，在连通液滴图案形成装置1的主电源并手工操作开关时，开始连续记录操作的控制。首先，从维护机构54的橡胶垫(盖)59B、59G、59R中释放喷嘴头8(S1，在下文中，S代表步骤)。然后，确定沿喷嘴头保持装置7的Z方向的准备位置、关于X、Y方向的和围绕基片保持件21的销(旋转轴)22旋转的α方向的准备位置，然后将基片保持件21移动到图2所示的准备位置21b，并且将喷嘴头保持装置7移动到图6所示的准备位置HP(S2)。

确定有关玻璃基片4的所有处理(记录操作)是否完成(S3)。在完成所有处理时(S3：是)，流向S5。在S5中，使用喷射检查机构53和头部维护机构54进行喷射状态检查，如图24和25所示。然后，将检查结果记录在玻璃基片历史中(S6)，并且流向S7。在S7中，确定有关放置在基片保持件21上的玻璃基片4的所有操作是否完成(S7)。在完成所有处理时(S7：是)，喷嘴头8R、8G、8B接触橡胶垫59R、59G、59B(S14)，然后完成控制。

在S3中，在未完成所有处理时(S3：否)，确定基片保持件21上的工件(玻璃基片4)是否与先前的工件相同(玻璃基片4的尺寸或将用于记录操作的点图案是否与先前相同)(S4)。在确定工件与先前的工件相同时(S4：是)，并列地进行S5的处理及S5之后的步骤和S17的处理及S17之后的步骤。在S5和随后的步骤中，确定喷嘴51的喷射状态是否正常(S8)。当喷射状态正常时(S8：是)，流向图23所示的S21。在喷射状态不正常时(S8：否)，流向S9。在S9中，确定清洗和擦拭操作的设定时间量是否完成。如果没有(S9：否)，使用头部维护机构54进行从喷嘴51中喷出清洁溶剂11的清洗操作和擦拭操作，同时由Z方向头部保持件移动机构6将喷嘴头保持装置7的头部43保持在升高位置处(S10)。

此后，进行上述喷射检查(S11)，然后流回到S8。在喷嘴51的喷射状态正常时(S8：是)，流向S21。在喷射状态不正常时(S8：否)，确定清洗和擦拭操作的设定时间量是否完成(S9)。在未完成清洗和擦拭操作的设定时间量时(S9：否)，重复S10、S11和S8中的处理，直到在S9中得到肯定的判断。在完成清洗和擦拭操作的设定时间量并得到肯定的判断时(S9：是)，确定是否可以使用一替代喷嘴进行记录操作(S12)。在得到肯定的判断时(S12：是)，流向图23所示的S21。在无法使用替代的喷嘴进行记录操作时(S12：否)，进行生产停止过程(S13)。然后，完成控制。此时，即使S17至S20的所有过程都未完成，与S5至S13的过程并列进行的S17至S20的过程也停止在S13的执行位置处。然后，如图2所示，通过X和Y方向基片移动机构20、19将基片保持件21和玻璃基片4移动到准备位置。此后，基片提升机构23将玻璃基片4从基片保持件21处升高一预定距离，以通过玻璃基片4到达装载机H。然后，完成控制。

在图23所示的S21中，由Z方向头部保持件移动机构6使喷嘴头保持装置7的头部43向下移动到下降位置(记录位置)。然后，基于S15(S22)中输入的设定相关数据，由相应的旋转式伺服电动机49使三个喷嘴头8同时旋转一角度θ。此后，流向S23。

回到S4，如图22所示，当放置在基片保持件21上的工件与先前的工件不同时(当玻璃基片4的形状与先前不同时，即使其形状与先前相同，玻璃基片4的尺寸也与先前的玻璃基片4的尺寸不同，或者即使其形状和尺寸与先前相同，用于当前待处理的玻璃基片4的点图案也与先前不同)(S4：否)，流向S15。在S15中，将主控制单元107中形成的所有相关数据(所有与记录操作相关的数据)输入主控制装置中的RAM、数据储存装置124和寄存器(图中未示出)。输入限定诸如图11A至11C所示的将要喷射在记录介质上的红、绿和蓝色液体的喷射位置的点图案数据、分辨率数据和喷射开始位置数据。然后，在S16中，进行获得包括在相关数据中的旋转角θ和旋转角φG、φB的处理。

旋转角θ是喷嘴头8R、8G、8B的旋转量。旋转角φG、φB是位置调整机构48的伺服电动机52的输出轴的旋转数量，以便在相对于红色点沿辅助扫描方向使绿和蓝色点的位置略微移动一个象素时，借助滑动机构47使用相应的位置调整机构48沿辅助扫描方向使喷嘴头8G、8B单独移动各自设定的微小距离。通过进行S16的处理，使喷嘴头8旋转设定的旋转角θ，并且仅使喷嘴头8G、8B沿辅助扫描方向移动设定的微小距离。在S16以后，同时流向S5和S17。然后，和S17至S20的处理并列地进行S5的处理及随后的步骤。

如图22和23所示，在S17中，由装载机H将玻璃基片4运送到位于图2所示的准备位置21b上的基片保持件21，然后通过将玻璃基片吸到基片保持件21以使其安装在基片保持件21上。然后，通过相对于X、Y和α轴线控制基片保持件21和玻璃基片4，以使基片保持件21和玻璃基片4移动到自动对准起始位置(S18)。自动对准机构36获得校正用移动量ΔX、ΔY、Δα，并且通过根据获得的校正用移动量ΔX、ΔY、Δα来校正它们的位置，以使玻璃基片4和基片保持件21初始化到原位(S19)。此后，通过X和Y方向基片移动机构20、19将玻璃基片4的记录操作起始点定位到基准喷嘴51-1(S20)。然后，流向S23。

现在将叙述S23的处理及随后的步骤。在完成S20和S22的过程以后，进行S23的过程及随后的步骤。在S23中，确定喷射状态是否正常。在确定喷射状态正常时(S23：是)，在S24中进行正常的记录操作。在正常的记录操作期间，玻璃基片4和喷嘴头8沿主和辅助扫描方向相对移动，以便在玻璃基片4上形成一图案。然后，流向S25。在S23中，在确定喷射状态不正常时(S23：否)，进行跳过记录操作(S28)。在跳过记录操作中，用一些受控未致动的喷嘴51进行记录操作。例如，首先，只使用奇数喷嘴(例如1、3、5……号喷嘴)执行一条路径的记录操作，然后执行一条路径的隔行记录操作。

在S29中，产生用于替代喷嘴记录操作的数据，并将其输入数据储存装置124的页面储存器和寄存器。在替代的喷嘴记录中，例如，当1和2号喷嘴无法使用时，3和4号喷嘴可用作1和2号喷嘴的替代品，以便另外地进行记录操作。在S30中，使用替代的喷嘴进行记录操作，然后流向S25。在S25中，将目前处理的玻璃基片4的历史数据记录在主控制单元107的存储器中。然后，在S26中，由三个旋转式伺服电动机49将喷嘴头8的旋转角θ初始化到0度。在S27中，由Z方向头部保持件移动机构6将喷嘴头保持装置7升高到准备位置(原位)HP。此后，流回到S3。

与S26和27并列，如图2所示，由X和Y方向基片移动机构20、19将基片保持件21和玻璃基片4移动到准备位置21b(S31)。然后，在S32中，基片提升机构23将玻璃基片4提升到与基片保持件2 1相距一预定距离，以使玻璃基片4通过到达装载机H。然后，在S33中，使基片保持件21和玻璃基片4沿着与基片保持件21和玻璃基片4在S19中的移动方向相反的方向移动校正用移动量ΔX、ΔY、Δα。然后，流回到S3。

然后，将叙述喷射状态检查过程。如图24所示，喷射状态检查开始，然后在S40中，确定是否由Z方向头部保持件移动机构6使头部保持装置7的头部43位于升高位置。当头部43没有位于升高位置时(S40：否)，由Z方向头部保持件移动机构6使头部43移动到升高位置(S41)。当头部43位于升高位置时(S40：是)或在S41之后，确定是否头部维护机构54位于检查位置(S42)。当头部维护机构54没有位于检查位置时(S42：否)，将头部维护机构54移动到检查位置(S43)。

在确定头部维护机构54位于检查位置时(S42：是)或在S43之后，进行有关喷嘴头8R、8G、8B的喷射状态检查(S44至S46)。以后将叙述喷射状态检查的细节。然后，将Y方向照相机移动机构71a、Y方向闪光移动机构71b和喷射检查机构53的扫描位置转换机构72a、72b移动到其自身的准备位置，即CCD照相机73和闪光装置74移动到它们的准备位置(S47)。此后，将头部维护机构54移动到准备位置(S48)。同时，完成控制。

结合图25叙述有关喷嘴头8R、8G、8B的喷射状态检查。以类似方式在所有喷嘴头8R、8G、8B上进行喷射状态检查。因此，作为一个示例，下面只叙述喷嘴头8R的喷射状态检查。

如图25所示，喷射状态检查开始，然后，首先，将位置Ri(是1、…、4)设至扫描位置寄存器(S50)。使用Y方向照相机移动机构71a、Y方向闪光移动机构71b和喷射检查机构53的扫描位置转换机构72a、72b将CCD照相机73和闪光装置74移动到位置Ri(S51)。然后，向喷嘴头8R的第i组中的16个喷嘴51发出一喷射指令(S52)。位置Ri对应第i组中的喷嘴51。在S50中，将一计数器i设定为1。

在S52之后，将时间T1α和时间T2β分别设定于定时器T1和定时器T2。在S53中，确定经过的时间是否等于或超过设定时间T1α。在确定经过的时间等于或超过设定时间T1α时(S53：是)，释放CCD照相机37的快门以进行扫描(S54)。在S55中，确定经过的时间是否等于或超过设定时间T2β。在确定经过的时间等于或超过设定时间T2β时(S55：是)，致动闪光装置74使其闪光，以用于扫描(S56)。设定时间T1α和设定时间T2β基本上是相同的微小(非常小)时间。

在S54和S56的过程之后，处理十六个喷嘴51的液体喷射状态的图像数据，以确定喷射状态是否正常，并且将检查结果显示在操作板108的显示器上(S57)。当液滴的图像处在CCD照相机73的观察窗83内时，可以确定喷射状态正常。另一方面，当液滴的图像处在观察窗83以外时，可以确定喷射状态不正常。为每个喷嘴头41作出判断。然后，使计数器i增加1(S58)。此后，确定所有组(第一至第四组)中的喷嘴51的喷射扫描是否完成(S59)。在作出否定的判断时(S59：否)，流回到S51，并且进行随后的步骤。如上所述，依次进行有关十六个喷嘴的诸组(从第一组到第四组)中的喷嘴51的喷射状态检查。在完成有关所有组的喷射状态检查时(S59：是)，将CCD照相机73和闪光装置74移动到准备位置(S60)。然后，完成控制。

在玻璃基片4上形成图案时，喷嘴头8R、8G、8B由三个旋转式伺服电动机49同时沿辅助扫描方向旋转。使用该结构，通过沿辅助扫描方向移动喷嘴头8R、8G、8B可以将辅助扫描方向中的喷射间距调整到理想的喷射间距。此后，通过相对于玻璃基片4沿主扫描方向移动喷嘴头保持装置7执行一条路径的记录操作。然后，相对于玻璃基片4沿辅助扫描方向移动喷嘴头保持装置7，并且执行一条路径的记录操作。轮流进行上述操作，以便在玻璃基片4上形成图案。

特别地，提供多个沿辅助扫描方向可滑动地支承相应的支承构件46的滑动机构47。另外，提供相对于支承构件46旋转喷嘴头8的旋转式伺服电动机49。由位置调整机构48沿辅助扫描方向微细地调整支承构件46的位置。日本公开专利公开No.9-300664揭示了一种液滴图案形成装置，该装置需要手工操作细调螺钉，以便在每次沿辅助扫描方向改变一点间距(分辨率)时沿主扫描方向调整滑动构件。然而，由于本发明的实施例的液滴图案形成装置1具有上述结构，因此无需在每次沿辅助扫描方向改变一点间距(分辨率)时手工操作该细调螺钉。此外，可以使喷嘴头8迅速旋转到理想的旋转角。

因此，可以通过旋转喷嘴头8以获得点间距的广阔范围，以便将分辨率设定为多种等级。相应的支承构件46可旋转地支承喷嘴头8，以使喷嘴头8可以方便地附连于支承构件46和从其卸离。因而，可以提高喷嘴头8的可维护性。

提供可以单独控制多个位置调整机构48的位置调整控制器。因此，由相应的位置调整机构48可以单独控制每个支承构件46沿辅助扫描方向的位置，以便精确、微细地调整支承构件46的位置。也就是说，在根据理想分辨率将喷嘴头8R、8G、8B旋转一角度θ时，每个喷嘴头8R、8G、8B的基准喷嘴51-1的位置不会改变。图11A至11C示出了有关记录介质(玻璃基片4)的喷射点图案。红色液滴、蓝色液滴和绿色液滴的位置互相改变，以便由位置调整机构48沿辅助扫描方向调整喷嘴头8。在该调整中，相对于特定喷嘴头8(例如，喷嘴头8R)中的基准喷嘴51-1的位置，沿辅助扫描方向调整其它喷嘴头8(例如，喷嘴头8G、8B)中的基准喷嘴51-1的位置。这样做，可以通过沿主扫描方向的一条路径的记录操作方便地进行一行包括红R、绿G和蓝B点的图案形成。

另外，同时控制多个旋转式伺服电动机49以旋转一特定角度，以使多个以预定间距沿主扫描方向对准的喷嘴头8不会互相妨碍。多个喷嘴头8包括各自喷射相应颜色的液滴的喷嘴头，用于形成一EL发射体层。因此，不必提供用于单独形成一EL发射体层的过程。因而，可以改进液滴图案形成装置1的生产能力，以便能够生产全色的EL基片。

将叙述与上述实施例部分不同的变化型式。喷嘴头可以包括一喷射液滴的喷嘴头，用于形成一空穴传输层。然而，当空穴传输部分与一EL发射体部分液态结合，以形成一包括空穴传输部分和EL发射体部分的层时，不可单独地形成空穴传输层。可以由单块基板可滑动地支承三个支承构件。为了代替介质运送机构24，可以设置一沿X和Y方向(主扫描方向和辅助扫描方向)互相相对地移动喷嘴头8和玻璃基片4的机构。例如，可以沿主扫描方向移动喷嘴头8，并且沿辅助扫描方向移动基片保持件21。

尽管已经结合其特定实施例详细叙述了本发明，但本领域的技术人员应当清楚的是，在不背离本发明的精神的情况下，可以在其中进行多种变化和修改。

Claims (20)

1.一种液滴图案形成装置，它包括：

多个喷嘴，所述喷嘴将液滴喷射在记录介质上；

多个喷嘴头，所述喷嘴头以预定间距沿主扫描方向对准，并且具有多个沿着垂直于主扫描方向的辅助扫描方向对准的喷嘴；

多个支承构件，所述支承构件可旋转地支承相应的喷嘴头；

多个旋转装置，所述旋转装置使相应的喷嘴头相对于所述支承构件围绕一轴线旋转，该轴线沿着平行于液滴喷射方向并垂直于喷嘴对准方向的方向延伸；

多个滑动机构，所述滑动机构沿辅助扫描方向可滑动地支承多个支承构件；以及

多个位置调整装置，所述位置调整装置借助滑动机构沿辅助扫描方向微细地调整支承喷嘴头的相应支承构件。

2.如权利要求1所述的液滴图案形成装置，其特征在于，它还包括一位置调整机构控制器，所述控制器单独控制多个位置调整机构。

3.如权利要求2所述的液滴图案形成装置，其特征在于，它还包括一旋转装置控制器，所述控制器控制旋转装置，以使旋转装置将诸所述喷嘴头同时旋转一设定角度。

4.如权利要求1所述的液滴图案形成装置，其特征在于，多个喷嘴头的每个喷嘴头喷射多种颜色的单色液滴，以形成一发出多种预定色光的电致发光发射体层。

5.如权利要求1所述的液滴图案形成装置，其特征在于，多个喷嘴头包括一喷嘴头，所述喷嘴头喷射用于形成一空穴传输层的液滴。

6.一种在记录介质上形成微滴图案的装置，它包括：

一可移动构件；

一安装构件，所述安装构件安装在所述可移动构件上；

多块基板，每块基板互相联合；

一支承构件，所述支承构件可滑动地安装在所述基板上；

一移动机构，所述移动机构使所述支承构件沿一第一方向滑离所述可移动构件，一第二方向与所述第一方向相反；

一旋转构件，所述旋转构件处于所述支承构件的一端，该端部远离支承构件可滑动地安装于基板的位置，所述旋转构件具有一输出轴；

一头部保持件，所述头部保持件安装在所述旋转轴的一端；以及

一喷嘴头，所述喷嘴头具有多个安装于头部保持件的一侧的喷嘴，该侧与所述旋转轴的安装相对；以及

一控制单元，所述控制单元确定并控制每个移动机构和旋转构件的移动。

7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第一和第二方向是装置的辅助扫描方向。

8.如权利要求7所述的装置，其特征在于，它还包括一第二移动机构，所述第二移动机构沿一第三方向和一与第三方向相反的第四方向移动所述可移动构件，所述第三和第四方向与所述第一和第二方向垂直。

9.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述移动机构包括一伺服电动机。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述移动机构还包括一螺纹输出轴，所述输出轴接纳在所述支承构件的一内螺纹开口中。

11.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述喷嘴头的一第一喷嘴对准所述旋转构件的输出轴的一轴线。

12.如权利要求11所述的装置，其特征在于，多个喷嘴沿所述喷嘴头延伸远离所述可移动构件和轴线。

13.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述控制单元确定和控制所述可移动构件沿一第五方向和一与第五方向相反的第六方向的移动，第五和第六方向横越第一至第四方向的每个方向。

14.如权利要求6所述的装置，其特征在于，所述旋转构件可以使所述头部保持件在至少0°和±30°之间相对于第一和第二方向旋转。

15.如权利要求14所述的装置，其特征在于，0°对准第一和第二方向。

16.如权利要求8所述的装置，其特征在于，所述旋转构件可以使所述头部保持件在至少0°和±30°之间相对于第一和第二方向旋转。

17.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述控制单元控制每个旋转构件以旋转所述头部保持件，以使所有头部保持件同时旋转一设定角度。

18.如权利要求6所述的装置，其特征在于，有三块基板。

19.如权利要求18所述的装置，其特征在于，所述控制单元控制每个旋转构件以旋转所述头部保持件，以使所有头部保持件同时旋转一设定角度。

20.如权利要求18所述的装置，其特征在于，每个与三块基板中的一块基板相连的喷嘴头喷射一种不同颜色的电致发光墨水。

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