CH694755A5 - Elektroerosions-Maschine für die elektroerosive Bearbeitung eines Werkstücks und Verfahren zur Bearbeitung. - Google Patents

Description

  



   Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Elektroerosions-Maschine  gemäss dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie ein Verfahren  zur Bearbeitung mit dieser Elektroerosions-Maschine. Die Erfindung  betrifft insbesondere die Verwendung einer variablen Kapazität und  einer variablen Induktivität in Verbindung mit einer Impedanzanpass-Schaltung  der Elektroerosions-Maschine. 



   Bei der Bearbeitung mit Wechselstrom-Hochfrequenz ist es im Allgemeinen  wohlbekannt, dass bei einer mittleren Bearbeitungsspannung von null  Volt ein Ausbröckeln infolge von Elektrolyse und Polaritätswechseln  von einer zur anderen von jeder Halbwellenentladung nicht auftritt.  Demgemäss wird eine vorzügliche Bearbeitungscharakteristik geschaffen,  welche sicherstellt, dass bei jeder Entladung eine bearbeitete Oberfläche  hoher Qualität erreicht werden kann. 



   Die japanische Patent-Publikation Nr. SH 061-260 915 beschreibt zum  Beispiel eine Speisung für elektroerosive Bearbeitung, welche einen  Bearbeitungsspalt mit der Wechselstrom-Hochfrequenz von 1,0 bis 5,0  MHz anspeisen kann. Die Speisung kann die Streukapazität, die aus  der Summe der in den Speiseleitungen vorhandenen Kapazität und der  im Bearbeitungsspalt (zwischen einer Elektrode und einem Werkstück)  gebildeten Kapazität resultiert, auf einem Wert gleich oder weniger  als 1000 pF reduzieren. Als Ergebnis kann eine vorzügliche Oberfläche  mit nicht mehr als 1 mu mRmax erreicht werden. 



   Wenn jedoch bei einer solchen Speisung für elektroerosive Bearbeitung  der Bearbeitungsspalt, die Bearbeitungsfläche usw. variiert und/oder  ein Entladungszustand ändert, so ändert die Impedanz des Bearbeitungsspaltes  derart stark, dass deren Ausgangsgrössen wesentlich variieren. Dies  verursacht ein derartiges Problem, dass sich bei gewissen Bearbeitungen  Instabilitäten, Unreproduzierbarkeit usw. ergeben könnten. In der  Zwischenzeit und als Mittel zur Lösung eines solchen Problems beschreibt  die japanische Patent-Publikation Nr. HEU-240 223 ein Beispiel, bei  dem eine automatische Impedanzanpass-Schaltung zwischen einer Wechselstromspeisung  und dem Bear   beitungsspalt vorgesehen ist.

   Diese Anordnung erlaubt  die Bearbeitung eines Werkstückes mit einer automatischen Einstellung  der Impedanz als Reaktion auf die Änderungen beim Bearbeitungsspalt-Abstand  und bei der Bearbeitungsfläche. 



   Die Fig. 33 zeigt die Anordnung einer konventionellen Schaltung,  bei der das Bezugszeichen 1 eine Gleichstromspeisung bezeichnet,  2 einen zur Begrenzung eines Stromes vorgesehenen Widerstand bedeutet,  3 eine in Speisekabeln und in der Schaltung vorhandene Streukapazität  bezeichnet, 4 eine in den Speisekabeln und anderen mechanischen Strukturen  (wie in einem Anspeiseteil) vorhandene Streuinduktivität darstellt,  5 eine zwischen einer Elektrode und einem Werkstück gebildete Bearbeitungsspalt-Kapazität  bezeichnet, 6 einen durch die Elektrode und das Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bedeutet, 7 eine Schaltvorrichtung bezeichnet,  8 eine Treiberschaltung darstellt, welche die Schaltvorrichtung 7  ansteuert, 9 einen Kopplungskondensator bedeutet, der in Serie zwischen  der Schaltvorrichtung 7 in der Schaltung und dem Bearbeitungsspalt  6 vorgesehen ist,

   10 eine Kopplungsspule bezeichnet, die in gleicher  Weise in Serie zwischen der Schaltvorrichtung 7 und dem Bearbeitungsspalt  6 vorgesehen ist, 11 eine Speisung für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  darstellt, die aus mehreren der vorgenannten Bauelemente besteht,  und 12 eine Impedanzanpass-Schaltung bedeutet. 



   Die Fig. 34 zeigt die interne Schaltungsanordnung der konventionellen  automatischen Impedanzanpass-Schaltung 12, in der 13 einen Kopplungskondensator  bezeichnet, 14 eine Spule bezeichnet, 15 einen variablen Kondensator  mit einer wählbaren Kapazität darstellt, 16 ein Betätigungselement,  z.B. einen Motor, zum Ändern der Kapazität des variablen Kondensators  bedeutet, und 17 eine Antriebssteuerschaltung bezeichnet, welcher  das Betätigungselement 16 ansteuert und treibt. 



   Im Betrieb wird die Schaltvorrichtung 7 so angesteuert, dass sie  einen Ein-Aus-Betrieb ausführt, wodurch eine Wechselstrom-Hochfrequenzspannung  als Ausgangsgrösse der Speisung 11 für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  erzeugt wird. Die Ausgangsspannung wird als eine Bearbeitungsspannung  durch die automatische Impedanzanpass- Schaltung 12 über die Speisekabel  dem Bearbeitungsspalt 6 zugeführt, um ein Werkstück zu bearbeiten.  Im Allgemeinen sind bei einer Übertragung mit hoher Frequenz eine  Wanderwelle und eine rücklaufende Welle (eine entgegengesetzt gerichtete  Welle, die an einem Ausgangsende reflektiert wird) vorhanden. Wenn  jedoch    der Abgleich vollständig hergestellt wurde, ist nur die  Wanderwelle vorhanden, so dass eine maximale Ausgangsleistung erzeugt  wird.

   Das Verhältnis der rücklaufenden Welle zur Wanderwelle muss  nämlich minimiert werden, damit eine maximale Ausgangsleistung erzeugt  wird. 



   Ein in die automatische Impedanzanpass-Schaltung 12 eintretendes  Hochfrequenzsignal wird durch die T-förmige Anpass-Schaltung impedanzangepasst,  die bestehend ist aus dem Kopplungskondensator 13, der Spule 14 und  dem variablen Kondensator 15, und es wird dem Bearbeitungsspalt 6  zugeführt, wobei gleichzeitig die Steuerschaltung 17 bewirkt, dass  die Kapazität des variablen Kondensators 15 durch das Betätigungselement  16 entsprechend dem Bearbeitungszustand verändert wird. 



   Gemäss der in den Fig. 33 und 34 gezeigten Technik wird, falls die  Impedanz des Bearbeitungsspaltes infolge der Änderungen der Grösse  des Bearbeitungsspaltes, der Bearbeitungsfläche, des Bearbeitungszustandes  usw. ändert, die Anpassung nachgestellt, um eine stabile Bearbeitung  mit vorzüglicher Oberfläche zu erzielen. 



   Es ist zu beachten, dass das Werkstück für die Bearbeitung isoliert  werden muss, wie in Fig. 35 gezeigt wird, um bei der konventionellen  Technik eine Bearbeitungsoberfläche mit ungefähr 1  mu mRmax. zu  schaffen. In dieser Zeichnung wird mit 11 eine Speisung für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  bezeichnet, mit 12 eine Impedanzanpass-Schaltung bezeichnet und mit  18 Speisekabel für Wechselstrom-Hochfrequenz bezeichnet, welche Niedrig-Kapazitätskabel  mit einer Kapazität von ungefähr 100pF pro Meter sind. 19 stellt  Speisekabel für Hochgeschwindigkeitsbearbeitung dar, welche in der  Induktivität reduziert wurden, um eine Stromkurvenform mit hohem  Scheitelwert liefern zu können, deren Kapazität jedoch viel grösser  als diejenige der Speisekabel 18 ist.

   20 bezeichnet eine Speisung  für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung, 30 bezeichnet ein Werkstück,  31 bezeichnet eine Drahtelektrode, 32 bezeichnet eine Klemmvorrichtung,  33 bezeichnet eine Abrichtplatte, 34 bezeichnet Zuführungen, 23 stellt  eine Isoliervorrichtung zum Isolieren des Werkstückes 30 von der  Abrichtplatte 33 dar, und 24 bezeichnet einen Schalter, welcher das  Werkstück 30 auf der Isoliervorrichtung 23 von der Abrichtplatte  33 trennt bzw. mit ihr verbindet. 



   Der Schalter 24 wird beim Schruppen geschlossen, um das Werkstück  30 mit der Abrichtplatte 33 zu verbinden, wodurch von der Speisung  20 für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung der Strom mit hohem Scheitelwert  zum Bearbeiten des Werkstückes 30 geliefert wird. Die Speisekabel  19, welche    den Strom mit hohem Scheitelwert liefern, weisen eine  niedrige Impedanz, aber im Allgemeinen eine grosse Kapazität auf.  Bei einem üblicherweise verwendeten Frequenzband von ungefähr 2 MHz  fliesst der Strom in die Kapazität der Speisekabel 19, was zu Schwierigkeiten  bei der Impedanzanpassung führt. Ebenfalls wird in den Speisekabeln  19 gespeicherte elektrostatische Energie zur Zeit einer Entladung  in den Bearbeitungsspalt entladen und bewirkt eine Energieerhöhung  einer Entladungsstrom-Kurvenform, wodurch die Rauheit der Bearbeitungsoberfläche  verschlechtert wird.

   Aus diesem Grund wird, wenn das Werkstück 30  mit der Wechselstrom-Hochfrequenz feinbearbeitet wird, der Schalter  24 geöffnet, um das Werkstück 30 durch die Isoliervorrichtung 23  von der Abrichtplatte 33 zu isolieren. In diesem Zustand sind die  den Strom mit hohem Scheitelwert liefernden Speisekabel 19 von der  Schaltung abgetrennt. Dies wird die Impedanzanpassung am Bearbeitungsspalt  erleichtern. Im weitern ist die in den Speisekabeln 18 niedriger  Kapazität gespeicherte elektrostatische -Energie klein genug, um  die Kurvenform mit kleiner Stromenergie zu erzeugen. Als eine Folge  davon weist die feinbearbeitete Oberfläche eine gute Qualität auf.                                                             



   Damit bei einem Werkstück bei der Feinbearbeitung mit Wechselstrom-Hochfrequenz  in der konventionellen, wie oben beschrieben angeordneten Elektroerosions-Maschine  eine Oberfläche von guter Qualität erreicht wird, wurde die Isoliervorrichtung  23 oder dergleichen zum Isolieren des Werkstückes 30 von der Maschinen-Abrichtplatte  33 verwendet, und war der Schalter 24 erforderlich, um das Werkstück  30 auf der Isoliervorrichtung 23 mit der Abrichtplatte 33 zu verbinden  bzw. von ihr zu trennen, was Probleme bei der Bearbeitungsgenauigkeit,  den Betriebsfähigkeiten und den Kosten verursachte. 



   Es wird auch, wenn die Isoliervorrichtung 23 bei der Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  eines Werkstückes verwendet wird, das in dielektrischer Flüssigkeit  eingetaucht ist, über die dielektrische Flüssigkeit eine Kapazität  zwischen dem Werkstück 30 und der Abrichtplatte 33 gebildet, die  derart wirkt, dass die Bearbeitungsqualität verschlechtert wird. 



   Weiter bewirkt bei der elektroerosiven Gesenkbearbeitung ("die-sinking  electrical discharge machining"), welche eine Elektrode mit einer  grossen Fläche verwendet, falls die Isoliervorrichtung 23 zum Isolieren  des Werkstückes 30 von der Maschinen-Abrichtplatte 33 verwendet wird,  die grosse, zwischen der Elektrode und dem Werkstück gebildete Kapazität,  dass die Rauheit der Bearbeitungsoberfläche verschlechtert wird,  wodurch keine Bearbeitungsoberfläche von guter Qualität erzeugt werden  kann. 



     Auch wurde/n, da der variable Kondensator 15 durch das Betätigungselement  16 variiert wurde, um eine Anpassung der Impedanzanpass-Schaltung  12 der konventionellen Elektroerosions-Maschine zu erreichen, diese  Maschine kompliziert, die Anpassung der Schaltung schwierig und die  Kosten hoch. 



   Ebenso ist es notwendig, besonders wenn in der Elektroerosions-Maschine  eine Bearbeitungsfläche stark variiert oder Frequenzen der Speisung  ändern, zwischen einer Vielzahl von Induktivitäten in der Impedanzanpass-Schaltung  12 umzuschalten. Da dieses Umschalten auch so ausgelegt war, dass  es ergänzend zu demjenigen des genannten variablen Kondensators 15  war, wurde/n die Maschine kompliziert, die Anpassung der Schaltung  schwierig und die Kosten hoch. 



   Es ist demgemäss ein Ziel der vorliegenden Erfindung, die Nachteile  bei der konventionellen Technik durch Schaffung eines Verfahrens  und einer Maschine für die elektroerosive Bearbeitung zu überwinden,  welche den Einfluss von Kapazitäten eliminieren können, die in Speisekabeln  für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung gebildet werden sowie zwischen  einer Elektrode und einem Werkstück über einen Bearbeitungsspalt  gebildet werden, Bearbeitungsoberflächen von guter Qualität erzeugen  können und die Betriebsfähigkeiten sowie die Kostenwirksamkeit stark  verbessern können. 



   Es ist ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine hochgenaue  Vorrichtung mit niedrigen Kosten, kompakter Form und variabler Kapazität  zu schaffen, welcher auf einfache Weise eine Kapazität mit niedrigem  Wert bilden kann und eine hohe Genauigkeit aufweist. 



   Es ist noch ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine hochgenaue  Vorrichtung mit niedrigen Kosten, kompakter Form und variabler Induktivität  zu schaffen, welcher auf einfache Weise eine Induktivität mit niedrigem  Wert entwickeln und bilden kann und eine hohe Genauigkeit aufweist.                                                            



   Bei einem elektroerosiven Bearbeitungsverfahren im Zusammenhang mit  der vorliegenden Erfindung wird ein Strom mit hohem Scheitelwert  in einen zwischen einer Elektrode und einem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt über Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung  eingespeist, um das Werkstück mit hoher Geschwindigkeit zu bearbeiten,  und wird ein Wechselstrom-Hochfrequenzstrom in den genannten Bearbeitungsspalt  über Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung eingespeist,  um das Werkstück feinzubearbeiten. Es wird eine Impedanzanpassung  am Bearbeitungsspalt vorgenommen, um den Einfluss der Kapazität der  Speisekabel    für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung zu unterdrücken,  die mit dem Bearbeitungsspalt verbunden sind, damit eine Feinbearbeitung  mit hoher Qualität erzielt wird. 



   Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung sind zudem Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung,  die an einem Ende elektrisch mit der Elektrode und dem Werkstück  verbunden sind, Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung,  die an einem Ende elektrisch mit der Elektrode und dem Werkstück  verbunden sind, eine Speisung für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung,  welche dem genannten Bearbeitungsspalt bei der Hochgeschwindigkeitsbearbeitung  den Strom mit hohem Scheitelwert über die genannten Speisekabel für  die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung einspeist, eine Speisung für  die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung, welche dem Bearbeitungsspalt  bei der Feinbearbeitung den Wechselstrom-Hochfrequenzstrom über die  genannten Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  einspeist,

   sowie eine Impedanzanpass-Schaltung, welche die Impedanzanpassung  am Bearbeitungsspalt ausführt, um den Einfluss der Kapazität der  Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung zu unterdrücken,  die bei der Feinbearbeitung elektrisch mit der Elektrode und dem  Werkstück verbunden sind, vorhanden. 



   Eine Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung besteht zudem aus Speisekabeln für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung,  die an einem Ende elektrisch mit der Elektrode und dem Werkstück  verbunden sind, aus Speisekabeln für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung,  die an einem Ende elektrisch mit der Elektrode und dem Werkstück  verbunden sind, aus einer Speisung für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung,  welche dem genannten Bearbeitungsspalt bei der Hochgeschwindigkeitsbearbeitung  den Strom mit hohem Scheitelwert über die genannten Speisekabel für  die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung einspeist, aus einer Speisung  für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung mit ungefähr 7 bis 30  MHz,

   welche dem Bearbeitungsspalt bei der Feinbearbeitung den Wechselstrom-Hochfrequenzstrom  über die genannten Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  einspeist, sowie aus einer Impedanzanpass-Schaltung, welche die Impedanzanpassung  am Bearbeitungsspalt vornimmt, um den Einfluss der Kapazität der  Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung zu unterdrücken,  die bei der Feinbearbeitung elektrisch mit der Elektrode und dem  Werkstück verbunden sind. 



     Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Gleichstromimpuls-Spannung  über einem zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bearbeitet, wird zudem eine Impedanzanpass-Schaltung,  welche am Bearbeitungsspalt eine derartige Impedanzanpassung vornimmt,  dass ein Kondensatorentladungsstrom nach Auftreten der Entladung  nicht durch eine Bearbeitungsspalt-Kapazität dazu veranlasst wird,  vor einem Gleichstrom-Rechteckwellenstrom zu fliessen, zwischen einer  Gleichstromimpuls-Speisung und dem genannten Bearbeitungsspalt vorgesehen.                                                     



   Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Bipolarimpuls-Spannung  über einem zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bearbeitet, wird zudem eine Impedanzanpass-Schaltung,  welche am Bearbeitungsspalt eine derartige Impedanzanpassung vornimmt,  dass ein Kondensatorentladungsstrom nach Auftreten der Entladung  mit der einen Polarität nicht durch eine Bearbeitungsspalt-Kapazität  dazu ver-anlasst wird, vor einem Gleichstrom-Rechteckwellenstrom  zu fliessen, zwischen einer Bipolarimpuls-Speisung und dem genannten  Bearbeitungsspalt vorgesehen. 



   Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Bipolarimpuls-Spannung  über einem zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bearbeitet, wird zudem eine Impedanzanpass-Schaltung,  welche einen Entladungslichtbogen nach einem Kondensatorentladungsstrom  abschaltet, der nach Auftreten der Entladung mit der einen Polarität  durch eine Bearbeitungsspalt-Kapazität dazu veranlasst wird, vor  einem Gleichstrom-Rechteckwellenstrom zu fliessen, zur derartigen  Ausführung der Impedanzanpassung am Bearbeitungsspalt, dass der Rechteckwellenstrom  nicht bestehen bleibt, zwischen einer Bipolarimpuls-Speisung und  dem genannten Bearbeitungsspalt vorgesehen. 



   Bei der genannten Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der  vorliegenden Erfindung werden zudem voneinander unabhängige Impedanzanpass-Schaltungen  für beide Polaritäten vorgesehen. 



   Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Wechselstrom-Hochfrequenz-Spannung  über einem zwischen einer Elektrode und    dem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bearbeitet und eine Impedanzanpass-Schaltung zwischen  einer Speisung zum Liefern der genannten Spannung und dem Bearbeitungsspalt  enthält, besteht die genannte Impedanzanpass-Schaltung zudem aus  einer Vielzahl von Kondensatoren, aus mindestens einer Spule und  aus Schaltmitteln, welche zwischen der genannten Vielzahl von Kondensatoren  umschalten, um die Impedanzanpassung auszuführen. 



   Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Spannung  über einem zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bearbeitet und eine Impedanzanpass-Schaltung zwischen  einer Speisung zum Liefern der genannten Spannung und dem Bearbeitungsspalt  enthält, besteht die genannte Impedanzanpass-Schaltung zudem aus  einer Vielzahl von Kapazitäten, die durch Muster auf einer gedruckten  Schaltungsplatte gebildet werden, aus mindestens einer Spule und  aus Schaltmitteln, welche zwischen der genannten Vielzahl von Kapazitäten  umschalten, um die Impedanzanpassung auszuführen. 



   Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Spannung  über einem zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bearbeitet und eine Impedanzanpass-Schaltung zwischen  einer Speisung zum Liefern der genannten Spannung und dem Bearbeitungsspalt  enthält, besteht die genannte Impedanzanpass-Schaltung zudem aus  einer Vielzahl von Kapazitäten, die durch eine Vielzahl von Kabeln  gebildet werden, aus mindestens einer Spule und aus Schaltmitteln,  welche zwischen der genannten Vielzahl von Kapazitäten umschalten,  um die Impedanz-anpassung auszuführen. 



   Bei der Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung weist zudem die Vielzahl von Kapazitäten in der genannten  Impedanzanpass-Schaltung Werte von geometrischen Reihen auf, deren  Koeffizienten ungefähr gleich 2 sind. 



   Bei der Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung werden zudem die eingestellten Werte der Vielzahl von Kapazitäten  in der genannten Impedanzanpass-Schaltung proportional zur gemachten  Kompensation für den Einfluss der Kapazität der Schaltmittel, welche  zwischen der Vielzahl von Kapazitäten in der Impedanzanpass- Schaltung  umschalten, erhöht. 



     Eine Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Gleichstromimpuls-Spannung  oder einer Bipolarimpuls-Spannung über einem zwischen einer Elektrode  und dem Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt bearbeitet, besteht  zudem aus einer Impedanzanpass-Schaltung, die zwischen einer Speisung,  welche die genannte Gleichstromimpuls-Spannung oder Bipolarimpuls-  Spannung liefert, und dem Bearbeitungsspalt vorgesehen ist, aus einer  Schaltvorrichtung, die in Serie zur genannten Impedanzanpass-Schaltung  eingefügt ist, um die genannte Impedanzanpass-Schaltung vollständig  anzuschliessen oder abzutrennen, und aus einer Überbrückungsschaltung,  die parallel zu einer Serieschaltung geschaltet ist, welche aus der  genannten Impedanzanpass-Schaltung und der Schaltvorrichtung besteht.

                                                            



   Eine Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Gleichstromimpuls-Spannung  oder einer Bipolarimpuls-Spannung über einem zwischen einer Elektrode  und dem Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt bearbeitet, besteht  zudem aus einer Impedanzanpass-Schaltung, die zwischen einer Speisung,  welche die genannte Gleichstromimpuls-Spannung oder Bipolarimpuls-Spannung  liefert, und dem Bearbeitungsspalt vorgesehen ist, aus einer Überbrückungsschaltung,  die parallel zur genannten Impedanzanpass-Schaltung geschaltet ist,  und aus einer Schaltvorrichtung, die in Serie mit der genannten Überbrückungsschaltung  eingefügt ist, um die genannte Überbrückungsschaltung vollständig  anzuschliessen oder abzutrennen. 



   Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Gleichstromimpuls-Spannung  über einem zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bearbeitet, wird zudem eine Serieschaltung aus  einem Widerstand und einer Induktivität parallel zum Bearbeitungsspalt  eingefügt. 



   Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Gleichstromimpuls-Spannung  über einem zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bearbeitet, wird zudem eine Serieschaltung aus  einem Widerstand und einer Induktivität parallel zum Bearbeitungsspalt  eingefügt, und werden Treibermittel für das hochfrequente Schalten  einer Schaltvorrichtung zur Erzeugung des genannten Gleichstrom-impulses  vorgesehen, um einen Ein-Aus-Betrieb mit hoher Frequenz während einer  ge   gebenen Zeitperiode zu wiederholen und anschliessend eine gegebene  Stoppzeitperiode für die Bearbeitung zu liefern. 



   Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Gleichstromimpuls-Spannung  über einem zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bearbeitet, wird zudem eine Serieschaltung, bestehend  aus einem Widerstand, aus einer Induktivität und aus einer Schaltvorrichtung  parallel zum Bearbeitungsspalt eingefügt, und wird die genannte Schaltvorrichtung  nach einer Entladung eingeschaltet. 



   Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Spannung  über einem zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bearbeitet und eine Impedanzanpass-Schaltung zwischen  einer Speisung, welche die genannte Spannung liefert, und dem Bearbeitungsspalt  enthält, besteht die genannte Impedanzanpass-Schaltung zudem aus  einer Vielzahl von Induktivitäten, die durch Muster auf einer gedruckten  Schaltungsplatte gebildet werden, und aus Schaltmitteln, welche zwischen  der genannten Vielzahl von Induktivitäten umschalten. 



   Bei einer Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung, welche ein Werkstück durch das Anlegen einer Spannung  über einem zwischen einer Elektrode und dem Werkstück gebildeten  Bearbeitungsspalt bearbeitet und eine Impedanzanpass-Schaltung zwischen  einer Speisung, welche die genannte Spannung liefert, und dem Bearbeitungsspalt  enthält, besteht die genannte Impedanzanpass-Schaltung zudem aus  einer Vielzahl von Induktivitäten, die durch eine Vielzahl von Kabeln  gebildet werden, und aus Schaltmitteln, welche zwischen der genannten  Vielzahl von Induktivitäten umschalten. 



   Bei der Elektroerosions-Maschine im Zusammenhang mit der vorliegenden  Erfindung werden zudem die eingestellten Werte der Vielzahl von Induktivitäten  in der genannten Impedanzanpass-Schaltung proportional zur gemachten  Kompensation für den Einfluss der Induktivität der Schaltmittel,  welche zwischen der Vielzahl von Induktivitäten in der Impedanz-anpass-Schaltung  umschalten, erniedrigt. 



   Eine Vorrichtung mit variabler Kapazität im Zusammenhang mit der  vorliegenden Erfindung besteht zudem aus einer Vielzahl von Kapazitäten,  die durch Muster auf einer gedruckten Schaltungsplatte gebildet werden,  und aus    Schaltmitteln, welche zwischen der genannten Vielzahl  von Kapazitäten umschalten. 



   Eine Vorrichtung mit variabler Kapazität im Zusammenhang mit der  vorliegenden Erfindung, welcher eine Kapazität durch Umschalten zwischen  einer Vielzahl von Kapazitäten ändert, besteht zudem aus einer Vielzahl  von Kapazitäten, die durch eine Vielzahl von Kabeln gebildet werden,  und aus Schaltmitteln, welche zwischen der genannten Vielzahl von  Kapazitäten umschalten. 



   Bei der genannten Vorrichtung mit variabler Kapazität im Zusammenhang  mit der vorliegenden Erfindung werden zudem die eingestellten Werte  der Vielzahl von Kapazitäten proportional zur gemachten Kompensation  für den Einfluss der Kapazität der Schaltmittel, welche zwischen  der genannten Vielzahl von Kapazitäten umschalten, erhöht. 



   Eine Vorrichtung mit variabler Induktivität im Zusammenhang mit der  vorliegenden Erfindung, welcher eine Induktivität durch Umschalten  zwischen einer Vielzahl von Induktivitäten ändert, besteht zudem  aus einer Vielzahl von Induktivitäten, die durch Muster auf einer  gedruckten Schaltungsplatte gebildet werden, und aus Schaltmitteln,  welche zwischen der genannten Vielzahl von Induktivitäten umschalten.                                                          



   Eine Vorrichtung mit variabler Induktivität im Zusammenhang mit der  vorliegenden Erfindung, welcher eine Induktivität durch Umschalten  zwischen einer Vielzahl von Induktivitäten ändert, besteht zudem  aus einer Vielzahl von Induktivitäten, die durch eine Vielzahl von  Kabeln gebildet werden, und aus Schaltmitteln, welche zwischen der  genannten Vielzahl von Induktivitäten umschalten. 



   Bei der genannten Vorrichtung mit variabler Induktivität im Zusammenhang  mit der vorliegenden Erfindung werden im Weitern die eingestellten  Werte der Vielzahl von Induktivitäten proportional zur gemachten  Kompensation für den Einfluss der Induktivität der Schaltmittel,  welche zwischen der genannten Vielzahl von Induktivitäten umschalten,  erniedrigt. 



   Die Erfindung wird anhand der beiliegenden Zeichnung beispielhaft  näher erläutert.      Fig. 1 veranschaulicht eine Schaltungsanordnung  einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.     Fig.  2 veranschaulicht eine tatsächliche Schaltungs-anordnung bei der  ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.       Fig. 3(a)  und 3(b) veranschaulichen die Bearbeitungscharakteristik bei der  ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.     Fig. 4(a)  und 4(b) veranschaulichen Beispiele von Speisekabel-Anschlussgebieten  bei der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.      Fig. 5 veranschaulicht ein abweichendes Beispiel eines Speisekabel-Anschlussgebietes  bei der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

        Fig. 6 veranschaulicht ein weiteres abweichendes Beispiel eines Speisekabel-Anschlussgebietes  bei der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.      Fig. 7 veranschaulicht eine Impedanzsteuer-Schaltung für eine Impedanzanpass-Schaltung,  die in einer Elektroerosions-Maschine mit Bearbeitungsdraht gemäss  einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet  wird.     Fig. 8 veranschaulicht eine Impedanzsteuer-Schaltung  für eine Impedanzanpass-Schaltung, die in einer Gesenkbearbeitungs-Elektroerosions-Maschine  gemäss der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung verwendet  wird.     Fig. 9 veranschaulicht ein Beispiel der Impedanz-anpass-Schaltung  bei der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

       Fig. 10 veranschaulicht den Betrieb der Impedanz-anpass-Schaltung  bei der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.     Fig. 11(a)-11(c) veranschaulichen ein Anordnungsbeispiel einer Impedanzanpass-Schaltung  bei einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.     Fig. 12 veranschaulicht ein abweichendes Anordnungsbeispiel der  Impedanzanpass-Schaltung bei der dritten Ausführungsform der vorliegenden  Erfindung.     Fig. 13 veranschaulicht ein weiteres abweichendes  Anordnungsbeispiel der Impedanzanpass-Schaltung bei der dritten Ausführungsform  der vorliegenden Erfindung.     Fig. 14 veranschaulicht ein Anordnungsbeispiel  einer Impedanzanpass-Schaltung bei einer vierten Ausführungsform  der vorliegenden Erfindung.     Fig. 15 veranschaulicht eine Schaltungsanordnung  bei den fünften und sechsten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung.

         Fig. 16(a)-16(c) veranschaulichen Stromkurvenformen bei den  fünften und sechsten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung.     Fig. 17 veranschaulicht ein Beispiel einer Impedanzanpass-Schaltung  bei der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.     Fig. 18 veranschaulicht ein abweichendes Beispiel der Impedanzanpass-Schaltung  bei der fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.     Fig. 19 veranschaulicht ein Beispiel einer Impedanzanpass-Schaltung  bei der sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.     Fig. 20 veranschaulicht eine Schaltungsanordnung für die siebten  und achten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung.     Fig.  21(a)-21(c) veranschaulichen Stromkurvenformen bei den siebten und  achten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung.

       Fig. 22  veranschaulicht eine abweichende Schaltungsanordnung bei den siebten  und achten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung.     Fig.  23 veranschaulicht eine Schaltungsanordnung bei der neunten Ausführungsform  der vorliegenden Erfindung.     Fig. 24 veranschaulicht eine Schaltungsanordnung  bei der zehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.     Fig. 25 veranschaulicht eine Schaltungsanordnung bei der elften  Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.     Fig. 26 veranschaulicht  eine Schaltungsanordnung bei der zwölften Ausführungsform der vorliegenden  Erfindung.     Fig. 27 veranschaulicht eine Schaltungsanordnung  bei der dreizehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.     Fig. 28 veranschaulicht eine Schaltungsanordnung bei der Ausführungsform  14 der vorliegenden Erfindung.

       Fig. 29 veranschaulicht eine  Schaltungsanordnung bei der fünfzehnten Ausführungsform der vorliegenden  Erfindung.     Fig. 30 veranschaulicht ein Anordnungsbeispiel einer  Vorrichtung mit variabler Induktivität bei einer sechzehnten Ausführungsform  der vorliegenden Erfindung.     Fig. 31 veranschaulicht ein Schaltungsbeispiel  der Vorrichtung mit variabler Induktivität bei der sechzehnten Ausführungsform  der vorliegenden Erfindung.       Fig. 32 veranschaulicht ein Anordnungsbeispiel  einer Vorrichtung mit variabler Induktivität bei einer siebzehnten  Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.     Fig. 33 veranschaulicht  die Schaltungsanordnung einer konventionellen Elektroerosions-Maschine.     Fig. 34 veranschaulicht die Anordnung einer Impedanzanpass-Schaltung  bei der konventionellen Elektroerosions-Maschine.

       Fig. 35 veranschaulicht  die Anordnung der konventionellen Elektroerosions-Maschine.  



   Es wird nun die erste Ausführungsform gemäss den Fig. 1 bis 6 beschrieben.  Die Fig. 1 und 2 sind Schaltungsanordnungen, die die vorliegende  Ausführungsform betreffen, bei der das Bezugszeichen 11a eine Speisung  für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung bezeichnet, welche eine  Hochfrequenz-Ausgangsleistung mit 7 bis 30 MHz liefert, 12a eine  Impedanzanpass-Schaltung darstellt, und 18 Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  bezeichnet, die direkt mit einem Bearbeitungsspalt verbunden sind.  3 bezeichnet eine in den Speisekabeln 18 für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  vorhandene Streukapazität, welche normalerweise ungefähr 300 pF beträgt.

    4 -bezeichnet eine in den Speisekabeln 18 für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  vorhandene Streuinduktivität, welche normalerweise ungefähr 1  mu  H beträgt. 18b stellt einen Bearbeitungsspalt-Anschluss der Speisekabel  18 dar, 3b bezeichnet eine Streukapazität im Anschlussabschnitt der  Speisekabel 18, und 4b bezeichnet eine Streuinduktivität im Anschlussabschnitt  der Speisekabel 18. 



   5 bezeichnet eine Bearbeitungsspalt-Kapazität, die zwischen einer  Elektrode und einem Werkstück gebildet wird, 6 bezeichnet einen Bearbeitungsspalt,  der durch die Elektrode und das Werkstück gebildet wird, 20 stellt  eine Speisung für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung dar, und 19  bezeichnet Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung, die  direkt mit dem Bearbeitungsspalt verbunden sind, wie die Speisekabel  18 für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung. 21 stellt eine in  den Speisekabeln 19 für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung und in  der Schaltung vorhandene Streukapazität dar, welche üblicherweise  etwa 10 000 pF beträgt. 22 -bezeichnet eine in den Speisekabeln 19  für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung und in anderen mechanischen  Strukturen der Maschine (z.B.

   im Anspeiseteil) vorhandene Streuinduktivität,  welche üblicherweise etwa 0,2  mu H beträgt. 19b stellt einen Bearbeitungsspalt-Anschluss  der Speisekabel 19 dar, 21b bezeichnet eine    Streukapazität im  Anschlussabschnitt der Speisekabel 19, und 22b bezeichnet eine Streuinduktivität  im Anschlussabschnitt der Speisekabel 19. 



   Die Fig. 2 ist ein tatsächliches Schaltschema ausgehend von der Fig.  1, bei dem Z0 eine Ausgangs-impedanz der Speisung 11a für die Wechselstrom-Hochfrequenz  angibt, Z1 eine charakteristische Impedanz der Speisekabel 18 bezeichnet,  Z1' eine Impedanz des Anschlussabschnitts (Maschinenanschlussteil)  der Speisekabel 18 darstellt, Z3 eine Ausgangsimpedanz der Speisung  20 für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung bezeichnet, Z2 eine charakteristische  Impedanz der Speisekabel 19 bezeichnet, Z2' eine Impedanz des Anschlussabschnitts  (Maschinenanschlussteil) der Speisekabel 19 darstellt, und Zg eine  Ausgangsimpedanz des Bearbeitungsspaltes 6 bezeichnet. Es ist zu  beachten, dass Z2' im Vergleich zu den obengenannten Impedanzen normalerweise  gross ist. 



   Bei der Vornahme der Impedanzanpassung zur Erreichung von Z0 = Z1  + Zg ergibt sich der folgende Zustand: 



   Z0 = Z1 + Zg < Z2' (Z1' < Z1, Z2' > Zg) 



   



   Im Betrieb wird wie beim konventionellen Beispiel eine Wechselstrom-Hochfrequenzspannung  als Ausgangsgrösse der Speisung 11a für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  erzeugt. Die hier verwendete Frequenz beträgt 7 MHz bis 30 MHz, im  Gegensatz zu derjenigen im konventionellen Beispiel verwendeten von  ungefähr 1,0 bis 5,0 MHz. Die Ausgangsspannung wird als eine Bearbeitungsspannung  durch die Impedanzanpass-Schaltung 12a über die Speisekabel dem Bearbeitungsspalt  6 zugeführt, um das Werkstück zu bearbeiten. Ein in die Impedanzanpass-Schaltung  12a eintretendes Hochfrequenzsignal bewirkt, dass der Bearbeitungsspalt  in einem Entladungszustand zum Beispiel durch eine T-förmige Anpass-Schaltung  angepasst wird, die bestehend ist aus dem Kopplungskondensator 13,  aus der Spule 14 und aus Kondensatoren 40a bis 40d, gezeigt in Fig.  9, um das Werkstück zu bearbeiten.

   Wenn 7 MHz bis 30 MHz als Frequenz  des für die Bearbeitung verwendeten Wechselstromes angewendet wird  und unter der Annahme, dass die Werte der Kondensatoren 13,15 50  bis 100 pF betragen und derjenige der Spule 14 etwa 1 bis 3  mu H  beträgt, kann die Impedanzanpassung derart erfolgen, dass die Bearbeitung  ermöglicht wird, falls die Speisekabel 19 für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung,  die eine grosse Kapazität aufweisen, mit dem Bearbeitungsspalt verbunden  sind, was eine stabile Bearbeitung sicherstellt. 



     Da eine Frequenz von 7 MHz bis 30 MHz für den Wechselstrom verwendet  wird, tritt, damit eine Impedanzanpassung ausgeführt wird und ein  fehlangepasster Anschluss infolge der - wie oben beschrieben - grossen  Impedanz Z2' des Anschlussabschnittes 19b der Speisekabel für die  Hochgeschwindigkeitsbearbeitung vermieden wird, in diesem Abschnitt  Reflektion auf, und der Strom fliesst nicht zur Kapazität 21 der  Speisekabel 19, wodurch der Einfluss der Kapazität 21 eliminiert  oder unterdrückt werden kann. Als eine Folge davon kann eine Hochglanz-oberfläche  von nicht mehr als 0,5  mu mRmax erzeugt werden. Gemäss Experimenten  wurde bei der Bearbeitung eines Karbidmaterials mit 20 mm Plattendicke  eine feinbearbeitete Oberfläche von 0,2 mu mRmax erzielt. 



   Die Fig. 3(a) und (b) zeigen für die vorliegende Ausführungsform  relevante Bearbeitungscharakteristiken. Diese Zeichnungen zeigen  deutlich, dass beim konventionellen Beispiel, bei dem eine Isolation  zur Ausschaltung der Kapazität verwendet wird, eine Stromkurvenform  von ungefähr 50 ns Impulsbreite in einem Gebiet bis und mit 5 MHz  erzeugt wird, währenddem sich, wenn keine Isolation vorgesehen ist,  die Impulsbreite im Gebiet bis und mit 5 MHz beträchtlich erhöht,  weil Aufladung und Entladung der Kapazität erfolgen. Diese Impulsbreite  beeinflusst die Rauheit der Bearbeitungsoberfläche, d.h. wenn die  Impulsbreite kleiner gemacht wird, wird die Oberflächenrauheit besser,  und es wird im Gebiet der Impulsbreiten von nicht mehr als 50 ns  im Allgemeinen eine Fast-Hochglanzoberfläche von nicht mehr als 1  mu mRmax erzielt.

   Dies zeigt, dass bei einer nicht isolierten Kapazität,  wie in der vorliegenden Ausführungsform, keine vorzügliche Bearbeitungsoberfläche  im Gebiet von 5 MHz oder tiefer erzeugt werden kann. Es zeigt jedoch  auch, dass bei einer weiter, bis in das Gebiet von 7 MHz oder höher  erhöhten Frequenz die Impulsbreite  tau p auf ungefähr 50 ns oder  darunter reduziert werden kann, weil eine kürzere Zeitdauer für die  Spannungspolaritätsumschaltung erforderlich wird, was eine Feinbearbeitung  von nicht mehr als 1  mu mRmax erlaubt, falls die Kapazität nicht  ausgeschaltet wird. 



   Es ist zu beachten, dass bei einer zu hohen Wechselstrom-Frequenz  Schwierigkeiten bei der Impedanz-anpassung am Bearbeitungsspalt entstehen,  was eine Instabilität der Bearbeitungscharakteristik als Reaktion  auf die Änderung der im Bearbeitungsspalt vorhandenen Kapazität sowie  ein bestehen bleibender Wechselstromlichtbogen in einem Hochfrequenzgebiet,  der die Bearbeitungsoberfläche aufraut, zur Folge hat. Die für die  elektroerosive Bearbeitung geeignete Frequenz liegt also zwischen  7 MHz und 30 MHz. 



     Damit während der Bearbeitung eine stabile Impedanzanpassung am  Bearbeitungsspalt 6 ausgeführt werden kann, muss die Impedanz Z1  des Anschlussabschnitts 18b der Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenz  reduziert werden. Zu diesem Zweck ist es wichtig, die Speisekabel  18 für die Wechselstrom-Hochfrequenz so nahe als möglich am Bearbeitungsspalt  anzuschliessen und die Streuinduktivität 4b zu reduzieren, um eine  stabile Impe-danz-anpassung sicherzustellen. Die Fig. 4(a), 4(b),  5 und 6 zeigen Beispiele von Arten, wie die Speisekabel 18 für die  Wechselstrom-Hochfrequenz so nahe als möglich am Bearbeitungsspalt  angeschlossen werden. 



   Die Fig. 4(a) zeigt das Anschlussgebiet der Speisekabel 18 für die  Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung bei einer Elektroerosions-Maschine  mit Bearbeitungsdraht, bei der Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  mit 18 bezeichnet werden, 30 ein Werkstück bezeichnet, 31 eine Drahtelektrode  bezeichnet, 32 eine Werkstück-Klemmvorrichtung darstellt, 33 eine  Abrichtplatte bezeichnet, und 34 Zuführungen für die Drahtelektrode  darstellt. Die Fig. 4(b) zeigt das Anschlussgebiet der Speisekabel  18 für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung bei einer Gesenkbearbeitungs-Elektroerosions-Maschine,  bei der in ähnlicher Weise, Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  mit 18 bezeichnet werden, 30 ein Werkstück bezeichnet, 31 eine Elektrode  darstellt, 32 eine Werkstück-Klemmvorrichtung darstellt, und 33 eine  Abrichtplatte bezeichnet.

   Bei diesen Beispielen wird die Klemmvorrichtung  32 mit einer Speisekabel-Montierschraube versehen und werden die  Speisekabel 18 für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung für die  Bearbeitung direkt an der Klemmvorrichtung 32 montiert. 



   Die Fig. 5 zeigt eine abweichende Ausführungsform des Anschlussgebietes  der Speisekabel 18 für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung,  bei der Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  mit 18 bezeichnet werden, 30 ein Werkstück bezeichnet, 31 eine Elektrode  bezeichnet, 32 eine Werkstück-Klemmvorrichtung darstellt, 33 eine  Abrichtplatte bezeichnet, 34 Zuführungen für die Drahtelektrode darstellt,  35 einen Magneten bezeichnet, und 36 einen Kupferanschluss bezeichnet.  Bei dieser Ausführungsform werden die Speisekabel 18 für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  zur Anspeisung mit dem Magneten 35 am Werkstück 30 befestigt. Der  Magnet 35 kann bei der Bearbeitung an einer beliebigen Stelle des  Werkstücks 30 befestigt werden. 



   Die Fig. 6 zeigt eine weitere abweichende Ausführungsform des Anschlussgebietes  der Speisekabel 18 für die Wechselstrom-Hochfrequenzbe   arbeitung,  bei der Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  mit 18 bezeichnet werden, 30 ein Werkstück bezeichnet, 31 eine Elektrode  bezeichnet, 32 eine Werkstück-Klemmvorrichtung darstellt, 33 eine  Abrichtplatte bezeichnet, 34 Zuführungen für die Drahtelektrode bezeichnet,  37 eine dielektrische Düse darstellt, und 38 einen Anspeise-Kontaktgeber  bezeichnet, welcher am Ende der dielektrischen Düse 37 montiert ist.  Der Kontaktgeber 38 wird mit den Speisekabeln 18 für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung  verbunden und hält während der Bearbeitung den Kontakt mit der obersten  Oberfläche des Werkstücks 30 aufrecht, um das Werkstück 30 anzuspeisen.

    Bei dieser Ausführungsform wird die gegenseitige Verbindung zwischen  dem Bearbeitungsspalt und dem bearbeiteten Teil während der Bearbeitung  gleich behalten, um eine stabile Impedanzanpassung bieten zu können.                                                           



   Es wird nun die zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss den Fig. 7 bis 10(a)-(c) beschrieben. Es ist zu beachten,  dass diese Ausführungsform eine Impedanzanpass-Schaltung betrifft,  die in der ersten Ausführungsform verwendet werden kann, sowie die  Impedanzsteuerung der Impedanz-anpass-Schaltung. 



   Die Fig. 7 zeigt eine Impedanzsteuer-Schaltung für eine Impedanzanpass-Schaltung,  die in einer Elektroerosions-Maschine mit Bearbeitungsdraht verwendet  wird. In der Zeichnung bezeichnet 30 ein Werkstück, bezeichnet 31  eine Drahtelektrode, bezeichnet 11 eine Speisung für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung,  stellt 12 eine Impedanzanpass-Schaltung dar, bezeichnet 6 einen Bearbeitungsspalt,  bezeichnet 60 einen Steuerapparat, stellt 65 eine Speichervorrichtung  dar, die im Steuerapparat 60 vorgesehen ist, um die Dickeninformation  T der bearbeiteten Platte zu speichern, bezeichnet 66 eine Speichervorrichtung,  die in ähnlicher Weise im Steuerapparat 60 vorgesehen ist, um die  Draht-elektroden-Durchmesserinformation R zu speichern, stellt 63  eine Arithmetikeinheit dar,

   welche den manipulierten Wert der Impedanzanpass-Schaltung  12 aus der Information der Speichervorrichtungen 65, 66 berechnet,  und bezeichnet 64 eine Anpass-schaltungs-Steuereinheit, welche die  Impedanzanpass-Schaltung 12 auf der Grundlage der Rechenergebnisse  der Arithmetikeinheit 63 steuert. 



   Die Fig. 8 zeigt eine Impedanzsteuer-Schaltung für eine Impedanzanpass-Schaltung,  die in einer Gesenkbearbeitungs-Elektroerosions-Maschine verwendet  wird. In der Zeichnung bezeichnet 30 ein Werkstück, bezeichnet 31  eine Elektrode, bezeichnet 11 eine Speisung für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung,  stellt 12 eine Impedanzanpass-Schaltung dar,    bezeichnet 6 einen  Bearbeitungsspalt, bezeichnet 60 einen Steuerapparat, stellt 61 eine  Speichervorrichtung dar, die im Steuerapparat 60 vorgesehen ist,  um die Bearbeitungsform-Information zu speichern, bezeichnet 62 eine  Speichervorrichtung, die in ähnlicher Weise im Steuerapparat 60 vorgesehen  ist, um die Bearbeitungstiefen-Information zu speichern, stellt 63  eine Arithmetikeinheit dar, welche den manipulierten Wert der Impedanzanpass-Schaltung  12 aus der Information der Speichervorrichtungen 61, 62 berechnet,

    und bezeichnet 64 eine Anpassschaltungs-Steuereinheit, welche die  Impedanzanpass-Schaltung 12 von den Rechenergebnissen der Arithmetikeinheit  63 ausgehend steuert. 



   Die Fig. 9 zeigt die interne Schaltungsanordnung der Impedanzanpass-Schaltung  12 bei der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, bei  der 13 einen Kopplungskondensator bezeichnet, 14 eine Spule darstellt,  40a bis 40d Kondensatoren bezeichnen, von denen jeder einen anderen  Wert aufweist, und 41a bis 41 d Relais bezeichnen, welche zwischen  den Kondensatoren 40a bis 40d umschalten. Die Fig. 10 ist eine Tabelle  bzw. eine Grafik, die die Kombinationen der Kondensatoren 40a bis  40d bzw. die Summen ihrer Kapazitäten zeigen. 



   Bezugnehmend auf die obenerwähnten Zeichnungen muss im Betrieb, wenn  das Werkstück unter Verwendung eines hochfrequenten Wechselstromes  bearbeitet wird, eine Impedanzanpassung am Bearbeitungsspalt gemäss  der Dicke der bearbeiteten Platte, der Bearbeitungsfläche usw. durchgeführt  werden. Zuerst wählt im Falle der Elektroerosions-Maschine mit Bearbeitungsdraht  die Arithmetik-einheit 63 den manipulierten Wert der Impedanzanpass-Schaltung  12 auf der Grundlage der Plattendicken-Information, die in der Speichervorrichtung  65 im Steuerapparat 60 gespeichert ist, sowie die Drahtelektroden-Durchmesserinformation,  die in der Speichervorrichtung 66 gespeichert ist, wie in der Fig.  7 gezeigt wird.

   Die Arithmetikeinheit 63 verfügt nämlich über vorgegebene  Daten, die der Dicke T der bearbeiteten Platte und dem Drahtelektroden-Durchmesser  R entsprechen, in Form einer -Tabelle, und sie gibt aus dieser Datentabelle  die -Informationen zur Steuerung der Impedanzanpass- Schaltung 12  aus. Gemäss den von dieser Arith-metik-einheit 63 Ausgabe-Resultaten  steuert die Anpassschaltungs-Steuereinheit 64 die Impedanzanpass-  Schaltung 12 an. Genauer ausgedrückt wird durch die Anpassschaltungs-Steuereinheit  64 ein 4-Bit- Steuersignal entsprechend der Grösse der Plattendicke  ausgegeben, und werden die Relais 41a bis 41 d in der Impedanzanpass-Schaltung  12 unter der Kontrolle jenes Steuersignals so ange   steuert, dass  sie unter den Kondensatoren 40a bis 40d auswählen.

   Das heisst, dass  die Anpassschaltungs-Steuereinheit 64 ein derartiges 4-Bit-Steuersignal  zur Anpassung ausgibt, dass ein grosser Kapazitätswert der Kondensatoren  40 gewählt wird, wenn die Dicke der bearbeiteten Platte zugenommen  hat. Falls sich die Plattendicke während der Bearbeitung nicht ändert,  wird die Plattendicken-Information vorher durch eine Bedienungsperson  an der Eingabe des Steuerapparates eingegeben. Falls sich die Plattendicke  während der Bearbeitung ändert, kann die Plattendicken-Änderungsinformation  unter Verwendung eines NC-Programmes eingegeben werden oder es kann  die Impedanzanpassung in geeigneter Weise auf der Grundlage von Plattendicken-Informationen  ausgeführt werden, die durch Rückschluss der Plattendicken-Änderungen  aus der Verwendung der Bearbeitungsgeschwindigkeits-Änderungen usw.  erhalten wird. 



   Die Kondensatoren 40a bis 40d werden derart eingestellt, dass sie  Werte aus geometrischen Reihen, vorzugsweise mit einem Koeffizienten  von ungefähr 2, aufweisen. Wie in der Fig. 10 gezeigt, werden die  Werte zum Beispiel für den Kondensator 40a 2 pF sein, für den Kondensator  40b 4 pF, für den Kondensator 40c 8 pF und für den Kondensator 40d  16pF betragen. Dies stellt sicher, dass ein beliebiger aus 16 verschiedenen,  aufeinander folgenden Werten gewählt werden kann, gemäss den Kombinationen  der vier in der Fig. 10 gezeigten Kondensatoren.

   Besonders bei der  elektroerosiven Bearbeitung mit Bearbeitungsdraht, bei der die Flächenänderung  im Bearbeitungsspalt 6 klein ist und die Kapazität für die Impedanzanpassung  nicht in einem extrem ausgedehnten Bereich verändert werden muss,  erlaubt das einfache Umschalten zwischen etwa 4 Bits, die Durchführung  der Anpassung in genügender Weise auszuführen. 



   Es ist zu beachten, dass erst das kombinierte Ergebnis aus niedrigwertigen  Kapazitäten (1 bis 2 pF), die in den Relais 41a bis 41 d vorhanden  sind, und aus den genannten Kapazitäten die effektive Summe der Kapazitäten  ergibt. Um die genaue Kapazität auszuwählen, müssen als Werte für  40a bis 40d geringfügig höhere Werte eingestellt werden. 



   Genauer ausgedrückt: falls die Kapazitäten der Relaisanschlüsse 41a  bis 41d je 1,4 pF betragen, müssen diejenigen der Kondensatoren wie  folgt eingestellt werden: 



   Kondensator 40a: 2,9 pF 



   Kondensator 40b: 5,1 pF 



   Kondensator 40c: 9,2 pF 



   Kondensator 40d: 17,3 pF 



   Im Falle der elektroerosiven Gesenkbearbeitung berechnet die Arithmetikeinheit  63 eine bearbeitete Fläche auf der Grundlage der Bearbeitungsform-Information,  die im Speicher 61 im Steuerapparat 60 gespeichert ist, sowie die  Bearbeitungstiefen-Information, die in der Speichervorrichtung 62  gespeichert ist, wie in der Fig. 8 gezeigt wird. Gemäss -diesem Berechnungsergebnis  steuert die Anpassschaltungs-Steuereinheit 64 die Impedanzanpass-  Schaltung 12 an. Genauer ausgedrückt wird durch die Anpassschaltungs-Steuereinheit  64 ein 4-Bit- Steuersignal gemäss der Grösse der bearbeiteten Fläche  ausgegeben, und werden die Relais 41a bis 41d in der Impedanzanpass-Schaltung  12 unter der Kontrolle des Steuersignals so angesteuert, dass sie  unter den Kondensatoren 40a bis 40d auswählen.

   Hier gibt die Anpassschaltungs-Steuereinheit  64 das 4-Bit-Steuersignal zur Anpassung derart aus, dass grössere  Kapazitätswerte der Kondensatoren 40 gewählt werden, wenn die bearbeitete  Fläche zunimmt. 



   Während die vorliegende Ausführungsform das Beispiel gab, bei dem  die Bearbeitungsform-Information vorher im Steuerapparat 60 gespeichert  wurde und die bearbeitete Fläche gemäss der Änderung der Bearbeitungstiefe  berechnet wurde, können Änderungsinformationen unter Verwendung eines  NC-Programmes eingegeben werden, oder es kann die Impedanzanpassung  in geeigneter Weise auf der Grundlage von Bearbeitungsflächen-Informationen  ausgeführt werden, die durch Rückschluss der Bearbeitungsflächenänderungen  aus der Verwendung eines anderen Detektionsmittels für die Bearbeitungsfläche  oder dergleichen erhalten werden. 



   Währenddem die vorliegende Ausführungsform das Beispiel lieferte,  bei dem die vier Kondensatoren 40a bis 40d verfügbar waren und die  Kapazität durch die 4-Bit-Daten in 16 verschiedenen Stufen umgeschaltet  wurde, kann bei grossen Änderungen im Bearbeitungsspalt bei elektroerosiver  Gesenkbearbeitung oder dergleichen die Anzahl Kondensatoren 40 und  Relais 41 auch erhöht werden, um zwischen den Kondensatoren in einem  grösseren Bereich genauer umschalten zu können, wodurch die Impedanzanpassung  in einem ausgedehnten Bereich ausgeführt werden kann. 



   Es wird nun die dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss den Fig. 11(a) bis (c), 12 und 13 beschrieben. Da eine Vielzahl  von Kondensatoren in der Impedanzanpass-Schaltung der Elektroerosions-Maschine  extrem kleine Werte von ungefähr einigen pF aufweisen, genügen allgemein  übliche Kondensatoren oft nicht, um die geforderte Genauigkeit zu  erfüllen. Die    Fig. 11 (a)-(c) zeigen eine Ausführungsform, bei  der eine Vielzahl von Kondensatoren in der Impedanzanpass-Schaltung  12 in einer solchen Elektroerosions-Maschine durch Muster auf einer  gedruckten Schaltungsplatte gebildet werden.

   In dieser Zeichnung  bezeichnet 50 eine gedruckte Schaltungsplatte, 51a bis 51d bezeichnen  gedruckte Muster, welche auf der einen Seite der gedruckten Schaltungsplatte  50 gebildet werden und von denen jedes eine verschieden grosse Fläche  aufweist, 52 bezeichnet gedruckte Muster, die auf der den gedruckten  Mustern 51a bis 51d gegenüberliegenden Seite gebildet werden, 53  stellt zwischen den gedruckten Mustern 51 und den gedruckten Mustern  52 gebildete Kapazitäten dar, und 54a bis 54d bezeichnen Relais,  die mit den entsprechenden gedruckten Mustern 51a bis 51d verbunden  werden. 



   Es wird nun der Betrieb beschrieben. Wenn die Relais 54a bis 54d  durch die Anpassschaltungs-Steuereinheit 64 in der Zeichnung geschlossen  sind, werden die Kapazitäten zwischen den gedruckten Mustern 51a  bis 51d und den gedruckten Mustern 52 gebildet und es kann durch  Umschaltung unter den Relais 54a bis 54d aus den 16 Kapazitätsstufen  eine beliebige ausgewählt werden. Die Kapazität jedes gedruckten  Musters wird durch die Fläche eines gedruckten Musters 51 und den  Abstand zwischen den gedruckten Mustern (= Dicke der Schaltungsplatte)  bestimmt. Bei einer allgemein üblichen gedruckten Schaltungsplatte  wird eine Kapazität von ungefähr 2 pF pro cm<2> gebildet.

   Die Flächen  der gedruckten Muster 51a bis 51d werden so eingerichtet, dass die  Kondensatorwerte Werte geometrischer Reihen aufweisen, deren Koeffizient  ungefähr 2 beträgt, z.B. 2 pF für die Kapazität 53a, 4 pF für die  Kapazität 53b, 8 pF für die Kapazität 53c und 16 pF für die Kapazität  53d, um sicherzustellen, dass ein beliebiger aus 16 verschiedenen,  aufeinander folgenden Kapazitätswerten, entsprechend der Kombination  der vier gedruckten Muster, gewählt werden kann, wie in der Fig.  10(a) gezeigt wird. 



   Wie bei der zweiten Ausführungsform beschrieben wurde, bildet zudem  erst das kombinierte Ergebnis aus den niedrigwertigen, in den Relais  54a bis 54d vorhandenen Kapazitäten (1 bis 2 pF) und aus den Kapazitäten  53a bis 53d die effektive Summe dieser Kapazitäten. Um die genaue  Kapazität auszuwählen, wurde deshalb berücksichtigt, dass wie bei  der zweiten Ausführungsform die Einstellung eines geringfügig höheren  Wertes als Wert jeder Kapazität ermöglicht wird. 



   Die Kapazitäten zwischen den gedruckten Mustern auf beiden Seiten  der gedruckten Schaltungsplatte können demgemäss auf einfache     Weise entworfen und ausgebildet sowie genau und mit geringen Genauigkeitsänderungen  ausgewählt werden. 

 Die Fig. 12 zeigt ein Beispiel, bei dem Kapazitäten durch parallele  gedruckte Muster, als eine abweichende Ausführungsform, gebildet  werden. Bei dieser Anordnung werden eine Vielzahl von Kondensatoren  der Impedanzanpass-Schaltung 12 in einer Elektroerosions-Maschine  durch Muster auf einer gedruckten Schaltungsplatte gebildet.

   In der  Zeichnung bezeichnet 50 eine gedruckte Schaltungsplatte, 55a bis  55d bezeichnen gedruckte Muster, welche auf der gedruckten Schaltungsplatte  50 gebildet werden, 56a bis 56d bezeichnen gedruckte Muster, die  auf der gleichen Seite wie die gedruckten Muster 55a bis 55d gebildet  und parallel zu den gedruckten Mustern 55a bis 55d vorgesehen werden,  wobei jedes eine verschiedene einander gegenüberliegende Länge La  bis Ld aufweist, und 54a bis 54d bezeichnen Relais, die mit den entsprechenden  gedruckten Mustern 55a bis 55d verbunden werden. 



   Es wird nun der Betrieb beschrieben. Wenn die Relais 54a bis 54d  durch die Anpassschaltungs-Steuereinheit in der Zeichnung geschlossen  sind, werden die Kapazitäten in den Gebieten gebildet, wo die gedruckten  Muster 55a bis 55d den gedruckten Mustern 56a bis 56d einander gegenüberliegen.  Durch Umschaltung unter den Relais 54a bis 54d aus den 16 Kapazitätsstufen  eine beliebige ausgewählt werden. Die Kapazität jedes gedruckten  Musters wird durch den Abstand zwischen dem gedruckten Muster 55  und dem gedruckten Muster 56 sowie durch ihre entsprechende, einander  gegen-überliegende Länge La bis Ld bestimmt.

   Die einander gegenüberliegenden  Längen der Muster werden so eingerichtet, dass die Kapazitäten zwischen  den gedruckten Mustern 55a bis 55d und den gedruckten Mustern 56a  bis 56d Werte geometrischer Reihen aufweisen, deren Koeffizient ungefähr  2 beträgt, um sicherzustellen, dass ein beliebiger aus 16 verschiedenen,  aufeinander folgenden Kapazitätswerten, entsprechend der Kombination  der vier gedruckten Muster, gewählt werden kann, wie in der Fig.  10(a) gezeigt wird. 



   Wie bei der zweiten Ausführungsform beschrieben wurde, bildet zudem  erst das kombinierte Ergebnis aus den niedrigwertigen, in den Relais  54a bis 54d vorhandenen Kapazitäten (1 bis 2 pF) und aus den Kapazitäten  53a bis 53d die effektive Summe dieser Kapazitäten. Um die genaue  Kapazität zu wählen, wurde deshalb berücksichtigt, dass wie bei der  zweiten Ausführungsform die Einstellung eines geringfügig höheren  Wertes als Wert jeder Kapazität ermögIicht wird. 



     Die Kapazitäten zwischen den parallel auf der gedruckten Schaltungsplatte  angeordneten gedruckten Mustern können demgemäss auf einfache Weise  und entsprechend der einander gegenüberliegenden Längen der gedruckten  Muster entworfen und ausgebildet sowie genau und mit geringen Genauigkeitsänderungen  ausgewählt werden, besonders im Bereich kleiner Kapazitäten. 



   Die Muster können zudem in einer Form mit einer langen gegenüberliegenden  Länge ausgebildet werden, wie in Fig. 13 gezeigt wird, um eine grössere  Kapazität auf einem kleineren Gebiet zu bilden. 



   Es wird erkennbar, dass die bei der beschriebenen Ausführungsform  lediglich durch die gedruckten Muster gebildeten Kapazitäten auch  in Form von Kombinationen konzentrierter Kondensatorvorrichtungen  mit den gedruckten Mustern gebildet werden können. 



   Im Weitern kann das für die Anwendung in der Impedanzanpass-Schaltung  der Elektroerosions-Maschine der vorangehenden Ausführungsform gegebene  Beispiel auch als eine Vorrichtung mit variabler Kapazität für die  Anpassschaltung oder dergleichen eines anderen Hochfrequenz-Oszillators  verwendet werden. 



   Es wird nun die vierte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss der Fig. 14 beschrieben. Die Fig. 14 zeigt eine Ausführungsform,  bei der eine Vielzahl von Kondensatoren in der Impedanzanpass-Schaltung  12 durch eine Vielzahl von Kabeln mit verschiedenen Kapazitäten gebildet  werden. In dieser Zeichnung bezeichnet 50 eine gedruckte Schaltungsplatte,  und 57a bis 57d bezeichnen eine Vielzahl von Koaxialkabeln, welche  über Anschlüsse auf der gedruckten Schaltungsplatte 50 angeschlossen  werden, von denen jedes eine verschiedene Länge aufweist, und an  einem Ende derart an Blindanschlüssen 58a bis 58d angeschlossen werden,  dass sie "offen" bleiben. 54a bis 54d stellen Relais dar, die mit  den entsprechenden Koaxialkabeln 57a bis 57d über entsprechende Anschlüsse  59a bis 59d verbunden werden. 



   Der Betrieb ist ähnlich wie derjenige in der vorangehenden Ausführungsform.  Wenn die Relais 54a bis 54d durch die Anpassschaltungs-Steuereinheit  64 geschlossen sind, werden Kapazitäten in den Koaxialkabeln 57a  bis 57d gebildet, und es kann durch Umschaltung unter den Relais  54a bis 54d aus den 16 Kapazitätsstufen eine beliebige ausgewählt  werden. Die Kapazität jedes Koaxialkabels wird durch die Kabellänge  oder den Kabeltyp bestimmt. Die Kapazitäten der Koaxialkabel 57a  bis 57d werden so eingestellt, dass sie Werte geometrischer Reihen  aufweisen, deren Koeffizient ungefähr 2 beträgt,    um sicherzustellen,  dass ein beliebiger aus 16 verschiedenen, aufeinander folgenden Kapazitätswerten,  entsprechend der Kombination der vier Koaxialkabel, gewählt werden  kann. 



   Wie bei der zweiten Ausführungsform beschrieben wurde, bildet zudem  erst die Kombination von niedrigwertigen, in den Relais 54a bis 54d  vorhandenen Kapazitäten (1 bis 2 pF) und der Kabelkapazitäten die  effektive Kapazitätssumme. Um die genaue Kapazität zu wählen, wurde  deshalb berücksichtigt, dass wie bei der zweiten Ausführungsform  die Einstellung eines geringfügig höheren Wertes als Wert jeder Kapazität  ermöglicht wird. 



   Die Kapazitäten der Kabel können demgemäss auf einfache Weise der  Kabellänge und dem Kabeltyp entsprechend entworfen und ausgebildet  werden, und sie sind in Fällen wirkungsvoll, in denen die Kapazität  den Maschinen entsprechend feinabgestimmt werden muss. 



   Es ist einzusehen, dass die bei der vorangehenden Ausführungsform  lediglich durch die Kabel gebildeten Kapazitäten auch in Form von  Kombinationen konzentrierter Kondensatorvorrichtungen mit den Kabeln  gebildet werden können. 



   Im Weitern kann das für die Anwendung in der Impedanzanpass-Schaltung  der Elektroerosions-Maschine der genannten Ausführungsform gegebene  Beispiel auch als eine Vorrichtung mit variabler Kapazität für die  Anpassschaltung oder dergleichen eines anderen Hochfrequenz-Oszillators  verwendet werden. 



   Es wird nun die fünfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss den Fig. 15, 16(a), 16(b), 17 und 18 beschrieben. 



   Die Fig. 15 zeigt ein Beispiel einer Elektroerosions-Maschine, welche  ein Werkstück unter Vornahme der Impedanzanpassung einer Elektroerosions-Maschine  bearbeitet, welche zur Bearbeitung einen Gleichstromimpuls verwendet.  In dieser Zeichnung bezeichnet 3 eine in Speisekabeln und in der  Schaltung vorhandene Streukapazität, 4 bezeichnet eine in den Speisekabeln  und in einer mechanischen Struktur (z.B.

   im Anspeiseteil) vorhandene  Streuinduktivität, 6 bezeichnet einen durch eine Elektrode und ein  Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt, 70 bezeichnet eine Gleichstromimpuls-Speisung,  welche eine Gleichstromimpuls-Spannung dem Bearbeitungsspalt zuführt,  71 bezeichnet eine Gleichstrom-Speisung, 72 stellt einen Strombegrenzungswiderstand  dar, 73 bezeichnet eine Schaltvorrichtung, 12 bezeichnet eine Impedanzanpass-Schaltung,  74 bezeichnet eine Bearbeitungsspalt-Kapazität, die zwischen der  Elektrode und dem Werkstück gebildet wird, 30 bezeichnet ein    Werkstück,  und 31 bezeichnet eine Elektrode. Die Fig. 17 zeigt die Impedanzanpass-Schaltung  der vorliegenden Ausführungsform, bei der ein Widerstand 105 parallel  zu einer Schaltung vom  pi -Typ hinzufügt wird, die aus einem Kondensator  101, aus variablen Kondensatoren 102, 103 und aus einer Spule 104  besteht. 



   Im Betrieb schaltet zuerst die Gleichstromimpuls-Speisung 70 die  Schaltvorrichtung 73 ein/aus, um für die Bearbeitung eine Spannung  an den Bearbeitungsspalt 6 anzulegen, die durch die Spannung der  Gleichstrom-Speisung 71 bestimmt wird. Wenn die Schaltvorrichtung  73 eingeschaltet ist, wird nun die Spannung über den Strombegrenzungswiderstand  72 und den Widerstand 105 an den Bearbeitungsspalt angelegt. Wenn  im Bearbeitungsspalt 6 eine Entladung stattfindet, wird die Schaltvorrichtung  73 für eine gegebene Zeitperiode eingeschaltet gelassen, um für die  Bearbeitung einen Stromimpuls gegebener Impulsbreite in den Bearbeitungsspalt  einzuspeisen.

   Die Fig. 16(a) zeigt eine Stromkurvenform, die durch  die konventionelle Gleichstromimpuls-Speisung erzeugt wurde, bei  welcher der Strom-impuls mit einer Impulsbreite geliefert wird, die  der Zeitdauer ( tau  theta ) äquivalent ist, während der die Schaltvorrichtung  73 eingeschaltet ist. Dieser Stromimpuls, welcher aus einem Kondensator-Entladungsanteil  75, der auftritt, wenn die im Bearbeitungsspalt vorhandene Kapazität  entladen wird, sowie aus einem Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteil  76 (Scheitelwert Ip) besteht, der durch den Strombegrenzungswiderstand  72, den Widerstand 105 und die Spannung der Gleichstrom-Speisung  71 bestimmt wird. Er weist eine Kurvenform auf, bei der dem anfänglichen  Kondensator-Entladungsanteil 75 der Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteil  76 nachfolgt.

   Bei der elektro-erosiven Gesenkbearbeitung, bei der  die zwischen der Elektrode und dem Werkstück gebildete Kapazität  gross ist, kann der Spitzenwert des Kondensator-Entladungsanteils  75 bedeutend grösser als der Scheitelwert Ip des Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteils  76 sein, und es ist besonders bei der Feinbearbeitung bekannt, dass  eine bearbeitete Oberfläche wesentlich verschlechtert wird. 



   Indessen werden die variablen Kondensatoren 102, 103 in der Impedanzanpass-Schaltung  12 derart eingestellt, dass die gesamte Schaltung induktiv wird,  wodurch eine Stromkurvenform 77 erzeugt wird, welche den Kondensator-Entladungsanteil  75 nicht aufweist, wie es in der Fig. 16(b) gezeigt wird. Ziemlich  einer Rechteckwellenform gleichend und den Kondensator-Entladungsanteil  75 mit hohem Spitzenwert nicht aufweisend, erzeugt diese Stromkurvenform  eine bearbeitete Oberfläche guter Qualität, besonders bei der     elektroerosiven Gesenkbearbeitung oder dergleichen, wo Öl als Dielektrikum  verwendet wird, und sie weist die Charakteristik auf, dass der Elektrodenverbrauch  stark reduziert wird. Dieser Stromimpuls erzeugt ebenfalls eine bearbeitete  Oberfläche hoher Qualität, wenn die Kapazität im Bearbeitungsspalt  gross ist. 



   Es ist einzusehen, dass die in der Fig. 17 gezeigte Schaltung vom  pi -Typ, welche eine Wirkung wie ein Tiefpassfilter erzeugt, eine  geeignete Charakteristik zur Erzeugung der Kurvenform gemäss Fig.  16(b) aufweist. Auch eine beliebige der Impedanzanpass-Schaltungen  vom Kapazitätsumschalttyp, wie in den Fig. 9 bis 14 gezeigt, erleichtert,  wenn sie als Impedanzanpass-Schaltung gemäss Fig. 17 angewendet wird,  die Einstellung der für die Impedanzanpassung der Elektroerosions-Maschine  erforderlichen Niedrigwert-Kapazität. 



   Es ist einzusehen, dass eine Schaltung, welche aus den seriegeschalteten  Spulen 201, 202 und aus einem variablen Kondensator 203 besteht,  der mit dem Verbindungspunkt der Spulen 201, 202 verbunden wird,  wie in der Fig. 18 gezeigt wird, als Impedanzanpass-Schaltung 12  der vorliegenden Ausführungsform verwendet werden kann. 



   Es wird nun die sechste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss den Fig. 15, 16(a), 16(c) und 19 beschrieben. 



   Die Fig. 19 zeigt eine spezifische Schaltung, die als Impedanzanpass-Schaltung  in der Fig. 15 verwendet wird, bei welcher der Widerstand 105 einer  Schaltung vom T-Typ hinzufügt wird, die aus dem variablen Kondensator  13, aus dem variablen Kondensator 14 und aus der Spule 15 besteht.  Es ist zu beachten, dass die anderen Bestandteile identisch wie diejenigen  der fünften Ausführungsform sind. 



   Es wird nun der Betrieb gemäss den Fig. 15, 16(a), 16(c) und 19 beschrieben.  Wie bei der fünften Ausführungsform schaltet zuerst die Gleichstromimpuls-Speisung  70 die Schaltvorrichtung 73 ein/aus, um für die Bearbeitung eine  Spannung an den Bearbeitungsspalt 6 anzulegen, die durch die Spannung  der Gleichstrom-Speisung 71 bestimmt wird. Wenn die Schaltvorrichtung  73 eingeschaltet ist, wird nun die Spannung über den Strombegrenzungswiderstand  72 und den Widerstand 105 an den Bearbeitungsspalt angelegt. Wenn  im Bearbeitungsspalt 6 eine Entladung stattfindet, wird die Schaltvorrichtung  73 für eine gegebene Zeitperiode eingeschaltet gelassen, um für die  Bearbeitung einen Stromimpuls gegebener Impulsbreite in den Bearbeitungsspalt  einzuspeisen. 



     Bei der vorliegenden Ausführungsform wird die Impedanzanpass-Schaltung  12 so abgestimmt, dass sie eine zu derjenigen der fünften Ausführungsform  entgegengesetzte Charakteristik aufweist, damit die gesamte Schaltung  kapazitiv wird, wodurch die Entladung nach dem Kondensator-Entladungsanteil  75 gelöscht wird, um den Entladungslichtbogen abzuschalten, so dass  eine Stromkurvenform 78 für die Bearbeitung erzeugt wird, die keinen  Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteil 76 aufweist, wie dies in der  Fig. 16(c) gezeigt wird. Diese Kurvenform erzeugt eine bearbeitete  Oberfläche guter Qualität, besonders bei der elektroerosiven Bearbeitung  mit Bearbeitungsdraht, welche Wasser als Dielektrikum verwendet,  und bei der Bearbeitung von Materialien, z.B. von Karbid-Materialien,  welche für Fehlerstellen anfällig sind, wie z.B. Risse, wenn die  Impulsbreite zunimmt. 



   Es ist einzusehen, dass die in der Fig. 19 gezeigte Schaltung vom  T-Typ, welche eine Wirkung wie ein Hochpassfilter erzeugt, eine geeignete  Charakteristik zur Erzeugung der Kurvenform gemäss Fig. 16(c) aufweist.  Auch eine beliebige der Impedanzanpass-Schaltungen vom Kapazitätsumschalttyp,  wie in den Fig. 9 bis 14 gezeigt, stellt, wenn sie als Impedanzanpass-Schaltung  gemäss Fig. 19 angewendet wird, die einfache Einstellung der für  die Impedanz-anpassung der Elektroerosions-Maschine erforderlichen  Niedrigwert-Kapazität sicher. 



   Es wird nun die siebte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss den Fig. 20, 21 (a) und 21 (b) beschrieben. 



   Die Fig. 20 zeigt ein Beispiel einer Elektroerosions-Maschine, welche  ein Werkstück unter Vornahme der Impedanzanpassung einer Elektroerosions-Maschine  bearbeitet, welche zur Bearbeitung einen Bipolarimpuls verwendet.  Die Verwendung eines Bipolarimpulses für die Bearbeitung weist derartige  Eigenschaften auf, dass die Bearbeitungsgeschwindigkeit bei öleingetauchter  Bearbeitung verbessert wird und die elektrolytische Korrosion des  Werkstückes bei wassereingetauchter Bearbeitung verhindert werden  kann.

   In dieser Zeichnung bezeichnet 3 eine in Speisekabeln und in  der Schaltung vorhandene Streukapazität, 4 bezeichnet eine in den  Speisekabeln und in einer mechanischen Struktur (z.B. im Anspeiseteil)  vorhandene Streuinduktivität, 6 bezeichnet einen durch eine Elektrode  und ein Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt, 80 bezeichnet eine  Bipolar-impuls-Speisung, welche eine Bipolarimpuls-Spannung dem Bearbeitungsspalt  zuführt, 81 bezeichnet eine Gleichstrom-Speisung, 82 und 83 stellen  Strombegrenzungswiderstände dar, welche eine Stromstärke bei der  entsprechenden Polarität bestimmen, 84a und 84b    bezeichnen Schaltvorrichtungen  zur Einspeisung eines Impulsstromes mit positiver Polarität, 85a  und 85b bezeichnen Schaltvorrichtungen zur Einspeisung eines Impulsstromes  mit negativer Polarität, 12 bezeichnet eine Impedanzanpass-Schaltung,

    86 bezeichnet eine Bearbeitungsspalt-Kapazität, die zwischen der  Elektrode und dem Werkstück gebildet wird, 30 bezeichnet ein Werkstück,  und 31 bezeichnet eine Elektrode. Die hier verwendete Impedanz-anpass-Schaltung  12 ist vom in der Fig. 17 gezeigten pi -Typ. 



   Zuerst schaltet die Bipolarimpuls-Speisung 80 die Schaltvorrichtungen  84a, 84b und die Schaltvorrichtungen 85a, 85b abwechselnd ein/aus,  um für die Bearbeitung eine bipolare Spannung an den Bearbeitungsspalt  6 anzulegen, die durch die Spannung der Gleichstrom-Speisung 81 bestimmt  wird. Wenn im Bearbeitungsspalt 6 eine Entladung mit positiver Polarität  stattfindet, werden die Schaltvorrichtungen 84a, 84b für eine gegebene  Zeitdauer eingeschaltet gelassen, um für die Bearbeitung einen Stromimpuls  gegebener Impulsbreite in den Bearbeitungsspalt einzuspeisen.

   Nachdem  die Schaltvorrichtungen 84a, 84b ausgeschaltet werden, um die Entladung  mit positiver Polarität zu beenden, werden die Schaltvorrichtungen  85a, 85b eingeschaltet, um eine Spannung gemäss der entgegengesetzten  Polaritätsseite anzulegen, und nachdem eine Entladung erzeugt wurde,  werden die genannten Vorrichtungen für eine vorbestimmte Zeitperiode  eingeschaltet gelassen, um den Stromimpuls einzuspeisen. 



   Die Fig. 21 (a) zeigt eine Stromkurvenform, die durch die konventionelle  Bipolarimpuls-Speisung erzeugt wurde, bei welcher ein Stromimpuls  mit positiver Polarität und einer Impulsbreite geliefert wird, die  der Zeitdauer ( tau   theta ) äquivalent ist, während der die Schaltvorrichtungen  84a, 84b eingeschaltet sind. Dieser Stromimpuls, welcher aus einem  Kondensator-Entladungsanteil 87, der auftritt, wenn die im Bearbeitungsspalt  vorhandene Kapazität entladen wird, sowie aus einem Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteil  88 (Scheitelwert Ip1) besteht, der durch den Strombegrenzungswiderstand  82, den Widerstand 105 und die Spannung der Gleichstrom-Speisung  81 bestimmt wird, weist eine Kurvenform auf, in welcher dem anfänglichen  Kondensator-Entladungsanteil 87 der Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteil  88 nachfolgt.

   Alsdann wird während der Entladung mit entgegengesetzter  Polarität in ähnlicher Weise ein Strom-impuls mit entgegengesetzter  Polarität und einer Impulsbreite geliefert, die der Zeitdauer äquivalent  ist, während der die Schaltvorrichtungen 85a, 85b eingeschaltet sind.  Dieser Stromimpuls besteht ebenfalls aus einem Kondensator-Entladungsanteil  89, der auftritt, wenn die im Bearbeitungsspalt vorhandene    Kapazität  entladen wird, sowie aus einem Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteil  90 (Scheitelwert Ip2) besteht, der durch den Strombegrenzungswiderstand  83 und die Spannung der Gleichstrom-Speisung 81 bestimmt wird.

   Da  jedoch der Wert des Strombegrenzungswiderstandes 83 grösser als derjenige  des Strombegrenzungswiderstandes 82 ist, wird der Scheitelwert Ip2  des Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteils 90 viel kleiner als der  Scheitelwert Ip1 des Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteils 88 mit  positiver Polarität. 



   Wie bei der fünften Ausführungsform kann bei der elektroerosiven  Gesenkbearbeitung, bei der die zwischen der Elektrode und dem Werkstück  gebildete Kapazität gross ist, der Spitzenwert des Kondensator-Entladungsanteils  87 bedeutend grösser als der Scheitelwert Ip des Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteils  88 sein, und besonders bei der Feinbearbeitung wird eine bearbeitete  Oberfläche wesentlich verschlechtert. 



   Indessen werden die variablen Kondensatoren 102, 103 in der Impedanzanpass-Schaltung  12 derart eingestellt, dass die gesamte Schaltung induktiv wird,  wodurch eine Stromkurvenform 91 erzeugt wird, welche den Kondensator-Entladungsanteil  87 nicht aufweist, wie in der Fig. 21 (b) der Stromimpuls mit positiver  Polarität gezeigt wird. Ziemlich einer Rechteckwellenform gleichend  und den Kondensator-Entladungsanteil 87 mit hohem Spitzenwert nicht  aufweisend, erzeugt diese Stromkurvenform eine bearbeitete Oberfläche  guter Qualität, besonders bei der elektroerosiven Gesenkbearbeitung  oder dergleichen, wo Öl als Dielektrikum verwendet wird, und sie  weist die Charakteristik auf, dass der Elektrodenverbrauch stark  reduziert wird. Dieser Stromimpuls erzeugt ebenfalls eine bearbeitete  Oberfläche hoher Qualität, wenn die Kapazität im Bearbeitungsspalt  gross ist. 



   Während eine exakte Impedanzanpassung bei der genannten bipolaren  Bearbeitung nicht für beide Polaritäten durchgeführt werden kann,  dies wegen einer Differenz zwischen den Ausgangsimpedanzen für die  positive und die entgegengesetzte Polarität der Speisung, erzeugt  die Ausführung einer Impedanzanpassung auf derjenigen Polaritätsseite,  die zur Bearbeitung beiträgt (in der vorliegenden Erfindung die positive  Polaritätsseite) eine Bearbeitungscharakteristik, welche in der Praxis  keine Probleme bietet. 



   Es ist einzusehen, dass, wie bei der fünften Ausführungsform, die  in der Fig. 17 gezeigte Schaltung vom  pi -Typ, welche eine Wirkung  wie ein Tiefpassfilter erzeugt, eine geeignete Charakteristik zur  Erzeugung der Kurvenform gemäss Fig. 21(b) aufweist. Auch eine beliebige  der Impedanzanpass-Schaltungen vom Kapazitätsumschalttyp, wie in  den Fig. 9 bis 14 gezeigt, er   leichtert, wenn sie als Impedanzanpass-Schaltung  gemäss Fig. 17 angewendet wird, die Einstellung der für die Impedanzanpassung  der Elektroerosions-Maschine erforderlichen Niedrigwert-Kapazität.                                                             



   Es wird nun die achte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss den Fig. 19, 20, 21(a) und 21(c) beschrieben. Es ist zu beachten,  dass diese Ausführungsform nur darin in der Anordnung von der Ausführungsform  7 abweicht, dass die in der Fig. 19 gezeigte Schaltung des T-Typs  als Impedanzanpass-Schaltung in der Fig. 20 angewendet wird. 



   Wie bei der Ausführungsform 7 schaltet die Bipo-lar-impuls-Speisung  80 die Schaltvorrichtungen 84a, 84b und die Schaltvorrichtungen 85a,  85b abwechselnd ein/aus, um für die Bearbeitung eine bipolare Spannung  an den Bearbeitungsspalt 6 anzulegen, die durch die Spannung der  Gleichstrom-Speisung 81 bestimmt wird. Wenn im Bearbeitungsspalt  6 eine Entladung mit positiver Polarität stattfindet, werden die  Schaltvorrichtungen 84a, 84b für eine gegebene Zeitdauer eingeschaltet  gelassen, um für die Bearbeitung einen Stromimpuls gegebener Impulsbreite  in den Bearbeitungsspalt einzuspeisen.

   Nachdem die Schaltvorrichtungen  84a, 84b ausgeschaltet werden, um die Entladung mit positiver Polarität  zu beenden, werden die Schaltvorrichtungen 85a, 85b eingeschaltet,  um eine Spannung gemäss der entgegengesetzten Polaritätsseite anzulegen,  und nachdem eine Entladung erzeugt wurde, werden die genannten Vorrichtungen  für eine vorbestimmte Zeitperiode eingeschaltet gelassen, um den  Stromimpuls einzuspeisen. 



   Bei der vorliegenden Ausführungsform wird die Impedanzanpass-Schaltung  12 so abgestimmt, dass sie eine zu derjenigen der Ausführungsform  7 entgegengesetzte Charakteristik aufweist, um die gesamte Schaltung  kapazitiv zu machen, wodurch die Entladung nach dem Kondensator-Entladungsanteil  87 -gelöscht wird, um den Entladungslichtbogen abzuschalten, so dass  eine Stromkurvenform 93 für die Bearbeitung erzeugt wird, die keinen  Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteil 88 aufweist, wie dies in der  Fig. 21(c) gezeigt wird. Diese Kurvenform erzeugt eine bearbeitete  Oberfläche guter Qualität, besonders bei der elektroerosiven Bearbeitung  mit Bearbeitungsdraht, welche Wasser als Dielektrikum verwendet,  und bei der Bearbeitung von Materialien, z.B. von Karbid-Materialien,  welche für Fehlerstellen anfällig sind, wie z.B. Risse, wenn die  Impulsbreite zunimmt. 



   Während eine exakte Impedanzanpassung bei der genannten bipolaren  Bearbeitung wie bei der siebten Ausführungsform nicht für beide Polaritäten  ausgeführt werden kann, dies wegen einer Differenz zwischen den    Ausgangsimpedanzen für die positive und die entgegengesetzte Polarität  der Speisung, erzeugt die Durchführung einer Impedanzanpassung auf  derjenigen Polaritätsseite, die zur Bearbeitung beiträgt (in der  vorliegenden Erfindung die positive Polaritätsseite) eine Bearbeitungscharakteristik,  welche in der Praxis keine Probleme bietet. 



   Wie bei der sechsten Ausführungsform weist die in der Fig. 19 gezeigte  Schaltung vom T-Typ, welche eine Wirkung wie ein Hochpassfilter erzeugt,  eine geeignete Charakteristik zur Erzeugung der Kurvenform gemäss  Fig. 21(c) auf. Auch eine beliebige der Impedanzanpass-Schaltungen  vom Kapazitätsumschalttyp, wie in den Fig. 9 bis 14 gezeigt, erleichtert,  wenn sie als Impedanzanpass-Schaltung gemäss Fig. 19 angewendet wird,  die Einstellung der für die Impedanzanpassung der Elektroerosions-Maschine  erforderlichen Niedrigwert-Kapazität. 



   Während bei den siebten und achten Ausführungsformen das Beispiel  der Ausführung der Impedanzanpassung bei nur der einen Polarität  gegeben wurde, wird eine noch vorzüglichere Bearbeitungscharakteristik  durch das Vorsehen von voneinander unabhängigen Impedanzanpass-Schaltungen  12a, 12b für beide Polaritäten gemäss Fig. 22 erreicht, um die exakte  Impedanzanpassung für beide Polaritäten auszuführen. 



   Es wird nun die neunte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss den Fig. 23 und 16(b) beschrieben. Die Fig. 23 zeigt ein Beispiel  einer Elektroerosions-Maschine, welche ein Werkstück unter Vornahme  der Impedanzanpassung einer Elektroerosions-Maschine bearbeitet,  welche zur Bearbeitung einen Gleichstromimpuls verwendet.

   In dieser  Zeichnung bezeichnet 3 eine in Speisekabeln und in der Schaltung  vorhandene Streukapazität, 4 bezeichnet eine in den Speisekabeln  und in einer mechanischen Struktur (z.B. im Anspeiseteil) vorhandene  Streuinduktivität, 6 bezeichnet einen durch eine Elektrode und ein  Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt, 70 bezeichnet eine Gleichstromimpuls-Speisung,  welche eine Gleichstromimpuls-Spannung dem Bearbeitungsspalt zuführt,  71 bezeichnet eine Gleichstrom-Speisung, 72 stellt einen Strombegrenzungswiderstand  dar, 73 bezeichnet eine Schaltvorrichtung, 12 bezeichnet eine Impedanzanpass-Schaltung,  74 bezeichnet eine Bearbeitungsspalt-Kapazität, die zwischen der  Elektrode und dem Werkstück gebildet wird, 106 stellt einen Widerstand  dar, 107 bezeichnet eine Überbrückungsschaltung, die parallel zur  Impedanzanpass-Schaltung 12 vorgesehen ist,

   und 108 bezeichnet eine  Schaltvorrichtung, die in Serie mit der Impedanzanpass-   Schaltung  12 angeordnet ist. Die als Impedanzanpass-Schaltung verwendete Schaltung  ist zum Beispiel diejenige gemäss Fig. 9. 



   Wie bei der fünften Ausführungsform schaltet die Gleichstromimpuls-Speisung  70 die Schaltvorrichtung 73 ein/aus, um für die Bearbeitung eine  Spannung an den Bearbeitungsspalt 6 anzulegen, die durch die Spannung  der Gleichstrom-Speisung 71 bestimmt wird. Wenn die Schaltvorrichtung  73 eingeschaltet ist, wird nun die Spannung über den Strombegrenzungswiderstand  72 und den Widerstand 106 an den Bearbeitungsspalt angelegt. Wenn  im Bearbeitungsspalt 6 eine Entladung stattfindet, wird die Schaltvorrichtung  73 für eine gegebene Zeitperiode eingeschaltet gelassen, um für die  Bearbeitung einen Stromimpuls gegebener Impulsbreite in den Bearbeitungsspalt  einzuspeisen.

   Alsdann wird die im Bearbeitungsspalt erzeugte Entladung  durch (nicht gezeigte) Entladungsdetektionsmittel detektiert und  die Schaltvorrichtung 108 beim Auftreten der Entladung, oder eine  gegebene Zeitperiode danach, ausgeschaltet, um die Impedanzanpass-Schaltung  12 vom -Bearbeitungsspalt abzutrennen. Anschliessend, nachdem eine  gegebene Stoppzeitdauer nach dem Entladungsende abgelaufen ist, werden  die Schaltvorrichtung 108 wieder eingeschaltet und die Schaltvorrichtung  73 eingeschaltet, um eine Spannung für eine nächste Entladung anzulegen.                                                       



   Vor der Bearbeitung schaltet bzw. stimmt die Impedanzanpass-Schaltung  12 die variablen Kondensatoren 41a bis 41d so um bzw. ab, dass die  gesamte Schaltung induktiv wird, wodurch der Kondensator-Entladungsanteil  75 beim Auftreten der Entladung entfernt werden kann, wie in der  Fig. 16(b) gezeigt wurde. Im Weitern kann durch die Abtrennung der  Impedanzanpass-Schaltung 12 vom Bearbeitungsspalt sofort nach der  Entladung, wie oben beschrieben wurde, der nachfolgende Gleichstromlichtbogen  in stabiler Weise aufrechterhalten werden. 



   Ziemlich einer Rechteckwellenform gleichend und den Kondensator-Entladungsanteil  75 mit hohem Spitzenwert nicht aufweisend, erzeugt diese Stromkurvenform  eine bearbeitete Oberfläche guter Qualität, besonders bei der elektroerosiven  Gesenkbearbeitung oder dergleichen, wo Öl als Dielektrikum -verwendet  wird, und sie weist ebenfalls die Charakteristik auf, dass der Elektrodenverbrauch  stark reduziert wird. Dieser Stromimpuls erzeugt ebenfalls eine bearbeitete  Oberfläche hoher Qualität, wenn die Kapazität im Bearbeitungsspalt  gross ist. 



   Es wird nun die zehnte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss den Fig. 24 und 16(c) beschrieben. Die Fig. 24 zeigt ein Beispiel    einer Elektroerosions-Maschine, welche ein Werkstück unter Vornahme  der Impedanzanpassung einer Elektroerosions-Maschine bearbeitet,  welche zur Bearbeitung einen Gleichstromimpuls verwendet.

   In dieser  Zeichnung bezeichnet 3 eine in Speisekabeln und in der Schaltung  vorhandene Streukapazität, 4 bezeichnet eine in den Speisekabeln  und in einer mechanischen Struktur (z.B. im Anspeiseteil) vorhandene  Streuinduktivität, 6 bezeichnet einen durch eine Elektrode und ein  Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt, 70 bezeichnet eine Gleichstromimpuls-Speisung,  welche eine Gleichstromimpuls-Spannung dem Bearbeitungsspalt zuführt,  71 bezeichnet eine Gleichstrom-Speisung, 72 stellt einen Strombegrenzungswiderstand  dar, 73 bezeichnet eine Schaltvorrichtung, 12 bezeichnet eine Impedanzanpass-Schaltung,  74 bezeichnet eine Bearbeitungsspalt-Kapazität, die zwischen der  Elektrode und dem Werkstück gebildet wird, 106 stellt einen Widerstand  dar, 109 bezeichnet eine Schaltvorrichtung, die in Serie mit dem  Widerstand 106 vorgesehen ist,

   und 107 bezeichnet eine Überbrückungsschaltung,  die aus dem Widerstand 106 und der Schaltvorrichtung 109 besteht  und parallel zur Impedanzanpass-Schaltung 12 angeordnet ist. Die  als Impedanzanpass-Schaltung verwendete Schaltung ist zum Beispiel  diejenige gemäss Fig. 9. 



   Wie bei der sechsten Ausführungsform schaltet die Gleichstromimpuls-Speisung  70 die Schaltvorrichtung 73 ein/aus, um für die Bearbeitung eine  Spannung an den Bearbeitungsspalt 6 anzulegen, die durch die Spannung  der Gleichstrom-Speisung 71 bestimmt wird. Wenn die Schaltvorrichtung  73 eingeschaltet ist, wird nun die Spannung über den Strombegrenzungswiderstand  72 und den Widerstand 106 an den Bearbeitungsspalt angelegt. Wenn  im Bearbeitungsspalt 6 eine Entladung stattfindet, wird die Schaltvorrichtung  73 für eine gegebene Zeitperiode eingeschaltet gelassen, um für die  Bearbeitung einen Stromimpuls gegebener Impulsbreite in den Bearbeitungsspalt  ein-zuspeisen.

   Alsdann wird die im Bearbeitungsspalt -erzeugte Entladung  durch (nicht gezeigte) Entladungsdetektionsmittel detektiert und  die Schaltvorrichtung 109 beim Auftreten der Entladung, oder eine  gege-bene Zeitperiode danach, ausgeschaltet, um die Überbrückungsschaltung  107 abzuschalten. Anschliessend, nachdem eine gegebene Stoppzeitdauer  nach dem Entladungsende abgelaufen ist, werden die Schaltvorrichtung  109 wieder eingeschaltet und die Schaltvorrichtung 73 eingeschaltet,  um eine Spannung für eine nächste Entladung anzulegen. 



   Bei der vorliegenden Ausführungsform werden vor der Bearbeitung die  variablen Kondensatoren 41a bis 41d derart umgeschaltet und abge   stimmt, dass die Impedanzanpass-Schaltung 12 für eine Charakteristik  eingestellt wird, die derjenigen der neunten Ausführungsform entgegengesetzt  ist und die gesamte Schaltung kapazitiv macht, wodurch die Entladung  nach dem Kondensator-Entladungsanteil 75 gelöscht wird, um den Entladungslichtbogen  abzuschalten, so dass die in der Fig. 16(c) gezeigte Stromkurvenform  78 ohne den Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteil 76 für die Bearbeitung  erzeugt wird. Im Weitern kann durch die Abtrennung der Überbrückungsschaltung  107 vom Bearbeitungsspalt sofort nach der Entladung, wie oben beschrieben  wurde, der nachfolgende Gleichstromlichtbogen nach dem Kondensator-Entladungsanteil  75 vollständig eliminiert werden. 



   Diese Stromkurvenform erzeugt eine bearbeitete Oberfläche guter Qualität,  besonders bei der elektroerosiven Bearbeitung mit Bearbeitungsdraht,  welche Wasser als Dielektrikum verwendet, und bei der Bearbeitung  von Materialien, z.B. von Karbid-Materialien, welche für Fehlerstellen  anfällig sind, wie z.B. Risse, wenn die Impulsbreite zunimmt. 



   Es wird nun die elfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss den Fig. 25 und 21 (b) beschrieben. 



   Die Fig. 25 zeigt ein Beispiel einer Elektroerosions-Maschine, welche  ein Werkstück unter Vornahme der Impedanzanpassung einer Elektroerosions-Maschine  bearbeitet, welche zur Bearbeitung einen Bipolarimpuls verwendet.  Wie bei der siebten Ausführungsform beschrieben wurde, weist die  Verwendung eines Bipolarimpulses für die Bearbeitung derartige Eigenschaften  auf, dass die Bearbeitungsgeschwindigkeit bei öleingetauchter Bearbeitung  verbessert wird und die elektrolytische Korrosion des Werkstückes  bei wassereingetauchter Bearbeitung verhindert werden kann.

   In dieser  Zeichnung bezeichnet 3 eine in Speisekabeln und in der Schaltung  vorhandene Streukapazität, 4 bezeichnet eine in den Speisekabeln  und in einer mechanischen Struktur (z.B. im Anspeiseteil) vorhandene  Streuinduktivität, 6 bezeichnet einen durch eine Elektrode und ein  Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt, 80 bezeichnet eine Bipolarimpuls-Speisung,  welche eine Bipolarimpuls-Spannung dem Bearbeitungsspalt zuführt,  81 bezeichnet eine Gleichstrom-Speisung, 82 und 83 stellen Strombegrenzungswiderstände  dar, welche Stromstärken bei der entsprechenden Polarität bestimmen,  84a und 84b bezeichnen Schaltvorrichtungen zur Einspeisung eines  Impulsstromes mit positiver Polarität, 85a und 85b bezeichnen Schaltvorrichtungen  zur Einspeisung eines Impulsstromes mit negativer Polarität, 12 bezeichnet  eine Impedanzanpass-Schaltung, 108 stellt eine Schaltvorrichtung  dar,

   die in Serie mit der Impedanz-anpass-Schaltung 12    geschaltet  ist, 106 bezeichnet einen Widerstand, und 107 bezeichnet eine Überbrückungsschaltung,  die parallel zur Impedanzanpass-Schaltung 12 vorgesehen ist. 86 bezeichnet  eine Bearbeitungsspalt-Kapazität, die zwischen der Elektrode und  dem Werkstück gebildet wird, 30 bezeichnet ein Werkstück, und 31  bezeichnet eine Elektrode. Die hier verwendete Impedanzanpass-Schaltung  12 ist zum Beispiel diejenige gemäss Fig. 9. 



   Im Betrieb, wie bei der Ausführungsform 7, schaltet die Bipolarimpuls-Speisung  80 die Schaltvorrichtungen 84a, 84b und die Schaltvorrichtungen 85a,  85b abwechselnd ein/aus, um für die Bearbeitung eine bipolare Spannung  an den Bearbeitungsspalt 6 anzulegen, die durch die Spannung der  Gleichstrom-Speisung 81 bestimmt wird. Wenn im Bearbeitungsspalt  6 eine Entladung mit positiver Polarität stattfindet, werden die  Schaltvorrichtungen 84a, 84b für eine gegebene Zeitdauer eingeschaltet  gelassen, um für die Bearbeitung einen Stromimpuls gegebener Impulsbreite  in den Bearbeitungsspalt einzuspeisen.

   Nachdem die Schaltvorrichtungen  84a, 84b ausgeschaltet werden, um die Entladung mit positiver Polarität  zu beenden, werden die Schaltvorrichtungen 85a, 85b eingeschaltet,  um eine Spannung gemäss der entgegengesetzten Polaritätsseite anzulegen,  und nachdem eine Entladung erzeugt wurde, werden die genannten Vorrichtungen  für eine vorbestimmte Zeitperiode eingeschaltet gelassen, um den  Stromimpuls einzuspeisen. Alsdann wird die im Bearbeitungsspalt erzeugte  Entladung durch (nicht gezeigte) Entladungsdetektionsmittel detektiert  und die Schaltvorrichtung 108 beim Auftreten der Entladung, oder  eine gegebene Zeitperiode danach, ausgeschaltet, um die Impedanzanpass-Schaltung  12 vom Bearbeitungsspalt abzutrennen.

   Anschliessend, nachdem eine  gegebene Stoppzeitdauer nach dem Entladungsende abgelaufen ist, werden  die Schalt- vorrichtung 108 wieder eingeschaltet und die Schaltvorrichtung  73 eingeschaltet, um eine Spannung für eine nächste Entladung anzulegen.                                                       



   Vor der Bearbeitung schaltet bzw. stimmt die Impedanzanpass-Schaltung  12 die variablen Kondensatoren 41a bis 41d so zwischen ihnen um bzw.  diese ab, dass die gesamte Schaltung induktiv wird, wodurch der Kondensator-Entladungsanteil  87 beim Auftreten der Entladung mit positiver Polarität entfernt  werden kann, wie in der Fig. 21(b) gezeigt wurde. Im Weitem kann  durch die Abtrennung der Impedanzanpass-Schaltung 12 vom Bearbeitungsspalt  sofort nach der Entladung, wie oben beschrieben wurde, der nachfolgende  Gleichstromlichtbogen in stabiler Weise aufrechterhalten werden. 



     Ziemlich einer Rechteckwellenform gleichend und den Kondensator-Entladungsanteil  87 mit hohem Spitzenwert nicht aufweisend, erzeugt diese Stromkurvenform  eine bearbeitete Oberfläche guter Qualität, besonders bei der elektroerosiven  Gesenkbearbeitung oder dergleichen, wo Öl als Dielektrikum -verwendet  wird, und sie weist ebenfalls die Charakteristik auf, dass der Elektrodenverbrauch  stark reduziert wird. Dieser Stromimpuls erzeugt ebenfalls eine bearbeitete  Oberfläche hoher Qualität, wenn die Kapazität im Bearbeitungsspalt  gross ist. 



   Während eine exakte Impedanzanpassung bei der genannten bipolaren  Bearbeitung nicht für beide Polaritäten ausgeführt werden kann, dies  wegen einer Differenz zwischen den Ausgangsimpedanzen für die positive  und die entgegengesetzte Polarität der Speisung, erzeugt die Ausführung  einer Impedanzanpassung auf derjenigen Polaritätsseite, die zur Bearbeitung  beiträgt (in der vorliegenden Erfindung die positive Polaritätsseite)  eine Bearbeitungscharakteristik, welche in der Praxis keine Probleme  bietet. 



   Es wird nun die zwölfte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss den Fig. 26 und 21(c) beschrieben. 



   Die Fig. 26 zeigt ein Beispiel einer Elektroerosions-Maschine, welche  ein Werkstück unter Vornahme der Impedanzanpassung einer Elektroerosions-Maschine  bearbeitet, welche zur Bearbeitung einen Bipolarimpuls verwendet.  In dieser Zeichnung bezeichnet 3 eine in Speisekabeln und in der  Schaltung vorhandene Streukapazität, 4 bezeichnet eine in den Speisekabeln  und in einer mechanischen Struktur (z.B.

   im Anspeiseteil) vorhandene  Streuinduktivität, 6 bezeichnet einen durch eine Elektrode und ein  Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt, 80 bezeichnet eine Bipolarimpuls-Speisung,  welche eine Bipolarimpuls-Spannung dem Bearbeitungsspalt zuführt,  81 bezeichnet eine Gleichstrom-Speisung, 82 und 83 stellen Strombegrenzungswiderstände  dar, welche Stromstärken bei der entsprechenden Polarität bestimmen,  84a und 84b bezeichnen Schaltvorrichtungen zur Einspeisung eines  Impulsstromes mit positiver Polarität, 85a und 85b bezeichnen Schaltvorrichtungen  zur Einspeisung eines Impulsstromes mit negativer Polarität, 12 bezeichnet  eine Impe-danz-anpass-Schaltung, 106 bezeichnet einen Widerstand,  109 stellt eine Schaltvorrichtung dar, die in Serie mit dem Widerstand  106 geschaltet ist, 107 bezeichnet eine Überbrückungsschaltung,

   die  parallel zur Impedanzanpass-Schaltung 12 vorgesehen ist, 86 bezeichnet  eine Bearbeitungsspalt-Kapazität, die zwischen der Elektrode und  dem Werkstück gebildet wird, 30 bezeichnet    ein Werkstück, und  31 bezeichnet eine Elektrode. Die hier verwendete Impedanz-anpass-Schaltung  12 ist zum Beispiel diejenige gemäss Fig. 9. 



   Wie bei der elften Ausführungsform, schaltet die Bipolarimpuls-Speisung  80 die Schaltvorrichtungen 84a, 84b und die Schaltvorrichtungen 85a,  85b abwechselnd ein/aus, um für die Bearbeitung eine bipolare Spannung  an den Bearbeitungsspalt 6 anzulegen, die durch die Spannung der  Gleichstrom-Speisung 81 bestimmt wird. Wenn im Bearbeitungsspalt  6 eine Entladung mit positiver Polarität stattfindet, werden die  Schaltvorrichtungen 84a, 84b für eine gegebene Zeitdauer eingeschaltet  gelassen, um für die Bearbeitung einen Stromimpuls gegebener Impulsbreite  in den Bearbeitungsspalt einzuspeisen.

   Nachdem die Schaltvorrichtungen  84a, 84b ausgeschaltet werden, um die Entladung mit positiver Polarität  zu beenden, werden die Schaltvorrichtungen 85a, 85b eingeschaltet,  um eine Spannung gemäss der entgegengesetzten Polaritätsseite anzulegen,  und nachdem eine Entladung erzeugt wurde, werden die genannten Vorrichtungen  für eine vorbestimmte Zeitperiode eingeschaltet gelassen, um den  Stromimpuls einzuspeisen. Die im Bearbeitungsspalt erzeugte Entladung  wird durch (nicht gezeigte) Entladungsdetektionsmittel detektiert  und die Schaltvorrichtung 109 beim Auftreten der Entladung, oder  eine gegebene Zeitperiode danach, ausgeschaltet, um die Überbrückungsschaltung  107 abzuschalten.

   Anschliessend, nachdem eine gegebene Stoppzeitdauer  nach dem Entladungsende abgelaufen ist, werden die Schaltvorrichtung  109 wieder eingeschaltet und die Schaltvorrichtung 73 eingeschaltet,  um eine Spannung für eine nächste Entladung anzulegen. 



   Bei der vorliegenden Ausführungsform wird die Impedanzanpass-Schaltung  12 so abgestimmt, dass sie eine zu derjenigen der elften Ausführungsform  entgegengesetzte Charakteristik aufweist, damit die gesamte Schaltung  kapazitiv wird, wodurch die Entladung nach dem Kondensator-Entladungsanteil  87 gelöscht wird, um den Entladungslichtbogen abzuschalten, so dass  eine Stromkurvenform 93 für die Bearbeitung erzeugt wird, die keinen  Gleichstromlichtbogen-Entladungsanteil 88 aufweist, wie dies in der  Fig. 21(c) gezeigt wird. Im Weitern kann durch die Abtrennung der  Überbrückungsschaltung 107 vom Bearbeitungsspalt sofort nach der  Entladung, wie oben beschrieben wurde, der nachfolgende Gleichstromlichtbogen  nach dem Kondensator-Entladungsanteil 75 vollständig eliminiert werden.                                                        



   Diese Kurvenform erzeugt eine bearbeitete Oberfläche guter Qualität,  besonders bei der elektroerosiven Bearbeitung mit Bearbeitungsdraht,  welche Wasser als Dielektrikum verwendet, und bei der Bearbeitung  von Ma   terialien, z.B. von Karbid-Materialien, welche für Fehlerstellen  anfällig sind, wie z.B. Risse, wenn die Impulsbreite zunimmt. 



   Während eine exakte Impedanzanpassung bei der genannten bipolaren  Bearbeitung wie bei der achten Ausführungsform nicht für beide Polaritäten  ausgeführt werden kann, dies wegen einer Differenz zwischen den Ausgangsimpedanzen  für die positive und die entgegengesetzte Polarität der Speisung,  erzeugt die Ausführung einer Impedanzanpassung auf derjenigen Polaritätsseite,  die zur Bearbeitung beiträgt (in der vorliegenden Erfindung die positive  Polaritätsseite) eine Bearbeitungscharakteristik, welche in der Praxis  keine Probleme bietet. 



   Während bei den zwei vorangehenden Ausführungsformen das Beispiel  der Ausführung der Impedanzanpassung bei nur der einen Polarität  gegeben wurde, wird eine noch vorzüglichere Bearbeitungscharakteristik  durch das Vorsehen der voneinander unabhängigen Impedanzanpass-Schaltungen  12a, 12b für beide Polaritäten gemäss Fig. 22 erreicht, um die exakte  Impedanzanpassung für beide Polaritäten auszuführen. 



   Es wird nun die Ausführungsform 13 der vorliegenden Ausführungsform  gemäss der Fig. 27 beschrieben. 



   Die Fig. 27 zeigt ein Beispiel einer Elektroerosions-Maschine, bei  der eine Serieschaltung aus einem Widerstand und einer Spule parallel  zu einem Bearbeitungsspalt in einer Elektroerosions-Maschine eingefügt  wird, welche zur Bearbeitung einen Gleichstromimpuls verwendet. In  dieser Zeichnung bezeichnet 3 eine in Speisekabeln und in der Schaltung  vorhandene Streukapazität, 4 bezeichnet eine in den Speisekabeln  und in einer mechanischen Struktur (z.B.

   im Anspeiseteil) vorhandene  Streuinduktivität, 6 bezeichnet einen durch eine Elektrode und ein  Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt, 70 bezeichnet eine Gleichstromimpuls-Speisung,  welche eine Gleichstromimpuls-Spannung dem Bearbeitungsspalt zuführt,  71 bezeichnet eine Gleichstrom-Speisung, 72 stellt einen Strombegrenzungswiderstand  dar, 73 bezeichnet eine Schaltvorrichtung, 110 bezeichnet einen Widerstand,  111 bezeichnet eine Spule, 74 bezeichnet eine Bearbeitungsspalt-Kapazität,  die zwischen der Elektrode und dem Werkstück gebildet wird, 30 stellt  ein Werkstück dar, und 31 bezeichnet eine Elektrode. 



   Zuerst schaltet die Gleichstromimpuls-Speisung 70 die Schaltvorrichtung  73 ein/aus, um für die Bearbeitung eine Spannung an den Bearbeitungsspalt  6 anzulegen, die durch die Spannung der Gleichstrom-Speisung 71 bestimmt  wird. Wenn die Schaltvorrichtung 73 eingeschaltet ist, wird nun die    Spannung über den Strombegrenzungswiderstand 72 an den Bearbeitungsspalt  angelegt. Wenn im Bearbeitungsspalt 6 eine Entladung stattfindet,  wird die Schaltvorrichtung 73 für eine gegebene Zeitperiode eingeschaltet  gelassen und wird dann ausgeschaltet, um für die Bearbeitung einen  Stromimpuls gegebener Impulsbreite in den Bearbeitungsspalt einzuspeisen.                                                      



   Nach dem Auftreten der Entladung fliesst der Kondensator-Entladestrom  75 in den Bearbeitungsspalt. Da jedoch Hochfrequenz-Oszillationskomponenten,  die nach der ersten Halbwelle des Kondensator-Entladestromes erzeugt  werden, durch die Induktivität der parallel zum Bearbeitungsspalt  geschalteten Spule 111 absorbiert werden, wird das Werkstück nur  mit der ersten Halbwelle des Kondensator-Entladestromes bearbeitet,  welcher keinen Gleichstromlichtbogen-Anteil enthält. Eine solche  Schaltung ist besonders wirksam, wenn die Schaltvorrichtung 73 für  die Bearbeitung während einer kurzen Zeitdauer von etwa 0,5 bis 1  mu s eingeschaltet wird. 



   Wie bei der sechsten Ausführungsform, erzeugt diese Stromkurvenform  eine bearbeitete Oberfläche guter Qualität, besonders bei der elektroerosiven  Bearbeitung mit Bearbeitungsdraht, welche Wasser als Dielektrikum  verwendet, und bei der Bearbeitung von Materialien, z.B. von Karbid-Materialien,  welche für Fehlerstellen anfällig sind, wie z.B. Risse, wenn die  Impulsbreite zunimmt. 



   Es wird nun die vierzehnte Ausführungsform der vorliegenden Ausführungsform  gemäss der Fig. 28 beschrieben. Die Fig. 28 zeigt ein Beispiel einer  Elektroerosions-Maschine, bei der eine Serieschaltung aus einem Widerstand  und einer Spule parallel zu einem Bearbeitungsspalt in einer Elektroerosions-Maschine  eingefügt wird, welche zur Bearbeitung einen Gleichstromimpuls verwendet.

    In dieser Zeichnung bezeichnet 3 eine in Speisekabeln und in der  Schaltung vorhandene Streukapazität, 4 bezeichnet eine in den Speisekabeln  und in einer mechanischen Struktur (z.B. im Anspeiseteil) vorhandene  Streuinduktivität, 6 bezeichnet einen durch eine Elektrode und ein  Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt, 70 bezeichnet eine Gleichstromimpuls-Speisung,  welche eine Gleichstromimpuls-Spannung dem Bearbeitungsspalt zuführt,  71 bezeichnet eine Gleichstrom-Speisung, 72 stellt einen Strombegrenzungswiderstand  dar, 73 bezeichnet eine Schaltvorrichtung, 110 bezeichnet einen Widerstand,  111 bezeichnet eine Spule, 112 bezeichnet Treibermittel zum Schalten  der Schaltvorrichtung 73 mit hoher Frequenz, 74 bezeichnet eine Bearbeitungsspalt-Kapazität,  die zwischen der Elektrode und    dem Werkstück gebildet wird, 30  stellt ein Werkstück dar,

   und 31 bezeichnet eine Elektrode. Es wird  nun der Betrieb beschrieben. 



   Wie bei der Ausführungsform 13 schaltet die Gleichstromimpuls-Speisung  70 die Schaltvorrichtung 73 ein/aus, um für die Bearbeitung eine  Spannung an den Bearbeitungsspalt 6 anzulegen, die durch die Spannung  der Gleichstrom-Speisung 71 bestimmt wird. Wenn die Schaltvorrichtung  73 eingeschaltet ist, wird nun die Spannung über den Strombegrenzungswiderstand  72 und die Induktanzen an den Bearbeitungsspalt angelegt. Wenn im  Bearbeitungsspalt 6 eine Entladung stattfindet, wiederholt die Schaltvorrichtung  73 das hochfrequente Ein-/Ausschalten für eine gegebene Zeitperiode  T1 zum Erzeugen der Entladung und fügt anschliessend eine vorbestimmte  Stoppzeitdauer T2 ein. Dieser Vorgang wird für die Bearbeitung wiederholt.                                                     



   Nach dem Auftreten der Entladung fliesst der Kondensator-Entladestrom  75 in den Bearbeitungsspalt. Da jedoch Hochfrequenz-Oszillationskomponenten,  die nach der ersten Halbwelle des Kondensator-Entladestromes erzeugt  werden, durch die Induktivität der parallel zum Bearbeitungsspalt  geschalteten Spule 111 absorbiert werden, wird das Werkstück nur  mit der ersten Halbwelle des Hochfrequenz-Kondensator-Entladestromes  bearbeitet, welcher keinen Gleichstromlichtbogen-Anteil enthält.  Zusätzlich wird die Schaltvorrichtung 73 mit hoher Frequenz ein-/ausgeschaltet,  um die Erzeugung eines bestehen bleibenden Lichtbogens zu unterdrücken,  wodurch die Bearbeitung stabilisiert wird. Die Vibration der Drahtelektrode  bei elektroerosiver Bearbeitung mit Bearbeitungsdraht wird ebenfalls  unterdrückt, um die Geradheit zu verbessern.

   Eine solche Schaltung  ist besonders wirksam, wenn die Schaltvorrichtung 73 mit der Hochfrequenz  von ungefähr 0,5 bis 2 MHz ein-/ausgeschaltet wird. 



   Es wird nun die fünfzehnte Ausführungsform der vorliegenden Ausführungsform  gemäss der Fig. 29 beschrieben. Die Fig. 29 zeigt ein Beispiel einer  Elektroerosions-Maschine, bei der eine Serieschaltung aus einem Widerstand,  einer Spule und einer Schaltvorrichtung parallel zu einem Bearbeitungsspalt  in einer Elektroerosions-Maschine eingefügt wird, welche zur Bearbeitung  einen Gleichstromimpuls verwendet.

   In dieser Zeichnung bezeichnet  3 eine in Speisekabeln und in der Schaltung vorhandene Streukapazität,  4 bezeichnet eine in den Speisekabeln und in einer mechanischen Struktur  (z.B. im Anspeiseteil) vorhandene Streuinduktivität, 6 bezeichnet  einen durch eine Elektrode und ein Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt,  70 bezeichnet eine Gleichstromimpuls-Speisung, welche eine Gleichstromimpuls-Spannung  dem    Bearbeitungsspalt zuführt, 71 bezeichnet eine Gleichstrom-Speisung,  72 stellt einen Strombegrenzungswiderstand dar, 73 bezeichnet eine  Schaltvorrichtung, 110 bezeichnet einen Widerstand, 111 bezeichnet  eine Spule, 113 bezeichnet eine Schaltvorrichtung, die in Serie mit  dem Widerstand 110 und der Spule 111 geschaltet ist, 74 bezeichnet  eine Bearbeitungsspalt-Kapazität, die zwischen der Elektrode und  dem Werkstück gebildet wird, 30 stellt ein Werkstück dar,

   und 31  bezeichnet eine Elektrode. 



   Im Betrieb schaltet wie bei der Ausführungsform 13 die Gleichstromimpuls-Speisung  70 die Schaltvorrichtung 73 ein/aus, um für die Bearbeitung eine  Spannung an den Bearbeitungsspalt 6 anzulegen, die durch die Spannung  der Gleichstrom-Speisung 71 bestimmt wird. Wenn die Schaltvorrichtung  73 eingeschaltet ist, wird nun die Spannung über den Strombegrenzungswiderstand  72 an den Bearbeitungsspalt angelegt. Wenn im Bearbeitungsspalt 6  eine Entladung auftritt, werden die Schaltvorrichtung 73 ausgeschaltet  und die Schaltvorrichtung 113 eingeschaltet, um die Spule 111 mit  dem Bearbeitungsspalt zu verbinden. 



   Nach dem Auftreten der Entladung fliesst der Kondensator-Entladestrom  75 in den Bearbeitungsspalt. Da jedoch Hochfrequenz-Oszillationskomponenten,  die nach der ersten Halbwelle des Kondensator-Entladestromes erzeugt  werden, durch die Induktivität der parallel zum Bearbeitungsspalt  geschalteten Spule 111 absorbiert werden, wird das Werkstück nur  mit der ersten Halbwelle des Kondensator-Entladestromes bearbeitet,  welcher keinen Gleichstromlichtbogen-Anteil enthält. 



   Im Weitern gibt es, da in der Spule 111 beim Anlegen der Spannung  bis zum Auftreten der Entladung kein Strom fliesst, keine Verluste  innerhalb der Schaltung, und es werden die Güte der Vorderflanke  der angelegten Spannung angehoben und die Bearbeitungsstabilität  verbessert. 



   Es wird nun die sechzehnte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung  gemäss den Fig. 30 und 31 beschrieben. Bei einer Elektroerosions-Maschine  gibt es Verhältnisse, bei denen die bearbeitete Fläche stark ändert,  bei denen die Frequenz der Speisung ändert und bei denen eine Vielzahl  von Induktivitäten in einer Impedanzanpass-Schaltung umgeschaltet  werden müssen. Die Fig. 30 zeigt eine Ausführungsform, bei der eine  Vielzahl von Induktivitäten in der Impedanzanpass-Schaltung 12 in  einer solchen Elektroerosions-Maschine durch Muster auf einer gedruckten  Schaltungsplatte gebildet werden.

   In der Zeichnung bezeichnet 50  eine gedruckte Schaltungsplatte, 120a bis 120d bezeichnen gedruckte  Muster, welche auf der gedruckten Schaltungsplat   te 50 gebildet  werden, und 121a bis 121d bezeichnen Relais, die parallel zu den  entsprechenden gedruckten Mustern 120a bis 120d geschaltet werden.  Die Fig. 31 zeigt eine Ausführungsform der Impedanzanpass-Schaltung  der Elektroerosions-Maschine, welche die genannten variablen Induktivitätsmittel  anwendet, bei der 12 eine Impedanzanpass-Schaltung bezeichnet, und  13 und 15 bezeichnen variable Kondensatoren. 



   Es wird nun der Betrieb beschrieben. Wenn die Relais 121a bis 121d  gemäss den Fig. 30 und 31 durch die Anpassschaltungs-Steuermittel  geöffnet werden, so werden Induktivitäten durch die gedruckten Muster  120a bis 120d gebildet und es kann durch Umschaltung unter den Relais  121a bis 121d aus 16 Induktivitätsstufen eine beliebige ausgewählt  werden. Die Induktivität jedes gedruckten Musters wird durch die  Breite, Länge und Musterform des gedruckten Musters 120 bestimmt.  Die Formen der gedruckten Muster 120a bis 120d werden so eingerichtet,  dass ihre Induktivitäten Werte geometrischer Reihen aufweisen, deren  Koeffizient ungefähr 2 beträgt, um sicherzustellen, dass eine beliebige  aus 16 verschiedenen, aufeinander folgenden Induktivitäten entsprechend  der Kombination der vier gedruckten Muster gewählt werden kann. 



   Zudem bildet erst das kombinierte Ergebnis aus den niedrigwertigen,  in den Relais 121a bis 121d vorhandenen Induktivitäten und aus den  genannten Induktivitäten die effektive Summe der Induktivitätswerte.  Um den genauen Induktivitätswert auszuwählen, wurde deshalb berücksichtigt,  dass die Einstellung geringfügig niedrigerer Werte für die Induktivitätswerte  ermöglicht wird. 



   Die Induktivitäten unter den demgemäss parallel auf der gedruckten  Schaltungsplatte angeordneten gedruckten Mustern können auf einfache  Weise gemäss der Form der gedruckten Muster entworfen und ausgebildet  sowie genau und mit geringen Genauigkeitsänderungen in einem besonders  kleinen Induktivitätsbereich ausgewählt werden. 



   Es ist einzusehen, dass das für die Anwendung in der Impedanzanpass-Schaltung  der Elektroerosions-Maschine der vorangehenden Ausführungsform gegebene  Beispiel auch als eine Vorrichtung mit variabler Induktivität für  die Anpassschaltung oder dergleichen eines anderen Hochfrequenz-Oszillators  verwendet werden kann. 



   Es wird nun die letzte Ausführungsform 17 der vorliegenden Erfindung  gemäss der Fig. 32 beschrieben. Die Fig. 32 zeigt eine Ausführungsform,  bei der eine Vielzahl von Induktivitäten in der Impedanzanpass-Schaltung    12 durch eine Vielzahl von Kabeln mit verschiedenen Induktivitätswerten  gebildet werden. In der Zeichnung bezeichnet 50 eine gedruckte Schaltungsplatte,  123a bis 123d stellen eine Vielzahl von Kabeln verschiedener Längen  dar, die über Anschlüsse auf der gedruckten Schaltungsplatte angeschlossen  werden und am einen Ende derart an Blindanschlüssen 58a bis 58d angeschlossen  werden, dass eine geschlossene Schlaufe entsteht. 121a bis 121d bezeichnen  Relais, die mit den Kabeln 123a bis 123d über entsprechende Anschlüsse  59a bis 59d verbunden sind. 



   Der Betrieb ist gleichartig wie derjenige bei der sechzehnten, die  gedruckten Muster verwendenden Ausführungsform. Wenn die Relais 121a  bis 121d durch die Anpassschaltungs-Steuermittel geöffnet werden,  so werden Induktivitäten durch die Kabel 123a bis 123d gebildet,  und es kann durch Umschaltung unter den Relais 121a bis 121d aus  16 Induktivitätsstufen eine beliebige ausgewählt werden. Die Induktivität  jedes Kabels wird durch die Länge oder den Typ des Kabels bestimmt.  Die Induktivitäten der Kabel 123a bis 123d werden so eingestellt,  dass sie Werte geometrischer Reihen aufweisen, deren Koeffizient  ungefähr 2 beträgt, um -sicherzustellen, dass ein beliebiger aus  16 verschiedenen, aufeinander folgenden Induktivitätswerten entsprechend  der Kombination der vier Kabel gewählt werden kann. 



   Zudem bildet erst das kombinierte Ergebnis aus den niedrigwertigen,  in den Relais 121a bis 121d vorhandenen Induktivitäten und aus den  genannten Induktivitäten die effektive Summe der Induktivitätswerte.  Um den genauen Induktivitätswert zu wählen, wurde deshalb berücksichtigt,  dass die Einstellung geringfügig niedrigerer Werte für die Induktivitätswerte  ermöglicht wird. 



   Es wird empfohlen, weil die Koaxialkabel, wie sie bei der vierten  Ausführungsform angegeben wurden, im Allgemeinen eine grosse Kapazität  aufweisen, hier Paralleldraht-Leitungen ("parallel feeders") mit  kleiner Kapazität, oder dergleichen, als Kabel zu verwenden. 



   Die Induktivitäten der Kabel können demgemäss auf einfache Weise  entsprechend der Kabellänge und dem Kabeltyp entworfen und ausgebildet  werden, und sie sind wirkungsvoll für einen Fall, bei dem die Induktivität  den Maschinen entsprechend feinabgestimmt werden muss. 



   Gemäss der vorliegenden Erfindung wird, wie oben beschrieben, am  Bearbeitungsspalt eine Impedanzanpassung ausgeführt, um den Einfluss  der Kapazität der Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung  zu unterdrücken, die bei der Feinbearbeitung mit dem Bearbeitungsspalt  verbun   den sind, um eine Bearbeitung zu erlauben, ohne dass die  elektrostatische Energie der Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung  an den Bearbeitungsspalt freigegeben wird, wodurch eine bearbeitete  Oberfläche extrem hoher Qualität mit nicht mehr als 0,5  mu mRmax  in stabiler Weise erzeugt werden kann, und eine Hochglanzbearbeitung  ermöglicht wird, welche die beste Oberflächenrauheit von 0,2  mu  mRmax bieten kann.

   Zudem müssen, ungleich zur konventionellen Technik,  das Werkstück und die Abrichtplatte nicht durch eine Isoliervorrichtung  getrennt oder verbunden werden und wird die Bearbeitungscharakteristik  bei der Eintauchbearbeitung nicht verschlechtert, wodurch die Bearbeitungsgenauigkeit,  die Betriebfähigkeiten und die Kosten stark verbessert werden. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die Impedanzanpass-Schaltung  zwischen der Gleichstromimpuls-Speisung oder der Bipolarimpuls-Speisung  und dem Bearbeitungsspalt vorgesehen, und wird die Impedanzanpassung  am Bearbeitungsspalt derart ausgeführt, dass der Kondensatorentladestrom  mit hohem Scheitelwert, der durch die Bearbeitungsspalt-Kapazität  veranlasst wird, nach Auftreten der Entladung vor dem Gleichstrom  zu fliessen, nicht auftritt, damit für die Bearbeitung ein Entladestrom  mit lediglich dem Rechteckwellenstrom erzeugt wird, wodurch eine  bearbeitete Oberfläche guter Qualität erzeugt wird, besonders bei  der elektroerosiven Gesenkbearbeitung oder dergleichen, wo Öl als  Dielektrikum verwendet wird, und sie weist ebenfalls die Charakteristik  auf, dass der Elektrodenverbrauch stark reduziert wird.

   Es wird ebenfalls  eine bearbeitete Oberfläche hoher Qualität erreicht, wenn die Kapazität  im Bearbeitungsspalt gross ist. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die Impedanzanpass-Schaltung  zwischen der Gleichstromimpuls-Speisung oder der Bipolarimpuls-Speisung  und dem Bearbeitungsspalt vorgesehen, und wird die Entladung gelöscht,  um den Entladungslichtbogen nach dem Kondensatorentladestrom mit  -hohem Scheitelwert abzuschalten, der durch die Bearbeitungsspalt-Kapazität  veranlasst wird, nach Auftreten der Entladung vor dem Gleichstrom-Rechteckwellenstrom  zu fliessen, um eine Impedanzanpassung am Bearbeitungsspalt derart  durchzuführen, dass der Gleichstrom-Rechteckwellenstrom nach der  Kondensatorentladung nicht bestehen bleibt, damit für die Bearbeitung  ein Entladestrom mit lediglich dem Kondensatorentladestrom erzeugt  wird, wodurch eine bearbeitete Oberfläche guter Qualität erzeugt  wird, besonders bei der elektroerosiven Bearbeitung mit Bearbeitungsdraht,

    bei welcher Wasser als Di-elektrikum verwendet wird, und bei der  Bearbeitung von Materialien, wie z.B.    von Karbid-Materialien,  welche bei zunehmender Impulsbreite anfällig auf Fehlerstellen, wie  z.B. Risse, sind. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die Impedanzanpassung  zur elektroerosiven Bearbeitung für beide Polaritäten der Bipolarimpulsspannung  durch die unabhängig für beide Polaritäten vorgesehenen Impedanzanpass-Schaltungen  ausgeführt, wodurch eine exakte Impedanzanpassung unabhängig für  beide Polaritäten durchgeführt werden kann, um eine noch vorzüglichere  Bearbeitungscharakteristik zu erzeugen. 



   Zudem werden gemäss der vorliegenden Erfindung die Vielzahl von Kondensatoren  und mindestens eine Spule in der Impedanzanpass-Schaltung vorgesehen,  werden ebenfalls Schaltmittel zum Umschalten zwischen der genannten  Vielzahl von Kondensatoren vorgesehen, und werden die Vielzahl von  Kondensatoren in der Anpassschaltung gemäss der bearbeiteten Fläche  und der Dicke der bearbeiteten Platte zur Durchführung der Impedanzanpassung  am Bearbeitungsspalt ausgewählt, wodurch die Impe-danz-anpass-Schaltung  einfach in der Struktur, in einfacher Weise anpassbar und sehr einfach  steuerbar wird, so dass eine kompakte Maschine mit niedrigen Kosten  geschaffen wird. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die Vielzahl von Kondensatoren  der Impedanzanpass-Schaltung aus den Mustern oder Kabeln auf der  gedruckten Schaltungsplatte gebildet, wodurch die Kondensatoren auf  einfache Weise entworfen und ausgebildet werden können und die hochgenauen  Kapazitäten mit geringer Genauigkeitsschwankung ausgewählt werden  können, so dass eine stabile Feinbearbeitung erzielt wird. Zudem  wird eine kompakte Maschine mit niedrigen Kosten geschaffen. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die Vielzahl von Kapazitäten  in der Impedanzanpass-Schaltung so entworfen, dass sie Werte geometrischer  Reihen aufweisen, deren Koeffizient ungefähr 2 beträgt, wodurch eine  lineare Kapazitätsumschaltung ausgeführt werden kann, dies zusätzlich  zu den genannten Effekten. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die genannte Vielzahl  von Kondensatoren in der Impedanzanpass-Schaltung so eingestellt,  dass sie erhöhte Werte aufweisen, die proportional zur gemachten  Kompensation für den Einfluss der Kapazität der Schaltmittel sind,  welche zwischen der Vielzahl von Kapazitäten umschalten, wodurch  der Einfluss der Kapazitäten der Schaltmittel unterdrückt werden  kann, um die Summe der Kapazitäten in genauer Weise zu ändern, dies  zusätzlich zu den genannten Effekten. 



     Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung eine Gleichstromimpuls-Spannung  oder eine Bipolar-impuls-Spannung über die Überbrückungsschaltung  an den Bearbeitungsspalt angelegt, um eine Entladung zu erzeugen,  und wird eine Impedanzanpassung am Bearbeitungsspalt derart durchgeführt,  dass der Kondensatorentladestrom, der durch die Bearbeitungsspalt-Kapazität  veranlasst wird, nach Auftreten der Entladung vor dem Gleichstrom-Rechteckwellenstrom  zu fliessen, nicht auftritt, damit für die elektroerosive Bearbeitung  ein Entladestrom mit lediglich dem Rechteckwellenstrom erzeugt wird,  wodurch eine bearbeitete Oberfläche guter Qualität erzeugt wird,  besonders bei der elektroerosiven Gesenkbearbeitung oder dergleichen,  wo Öl als Dielektrikum verwendet wird, und der Elektrodenverbrauch  stark reduziert wird.

   Es wird ebenfalls eine bearbeitete Oberfläche  hoher Qualität erreicht, wenn die Kapazität im Bearbeitungsspalt  gross ist. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung eine Gleichstromimpuls-Spannung  oder eine Bipolar-impuls-Spannung über die Überbrückungsschaltung  an den Bearbeitungsspalt angelegt, um eine Entladung zu erzeugen,  und wird der Entladungslichtbogen nach dem Kondensatorentladestrom  abgeschaltet, der durch die Bearbeitungsspalt-Kapazität veranlasst  wird, nach Auftreten der Entladung vor dem Gleichstrom-Rechteckwellenstrom  zu fliessen, um eine Impedanzanpassung am Bearbeitungsspalt derart  durchzuführen, dass der Gleichstrom-Rechteckwellenstrom nicht bestehen  bleibt, damit für die elektroerosive Bearbeitung ein Entladestrom  mit lediglich dem Kondensatorentladestrom erzeugt wird, wodurch eine  bearbeitete Oberfläche guter Qualität erzeugt wird, besonders bei  der elektroerosiven Bearbeitung mit Bearbeitungsdraht, bei welcher  Wasser als Di-elektrikum verwendet wird,

   und bei der Bearbeitung  von Materialien, wie z.B. von Karbid-Materialien, welche bei zunehmender  Impulsbreite anfällig auf Fehlerstellen, wie z.B. Risse, sind. 



   Zudem bewirkt gemäss der vorliegenden Erfindung die aus dem Widerstand  und der Spule bestehende Serieschaltung, die parallel zum Bearbeitungsspalt  eingefügt ist, dass der Entladungslichtbogen nach dem Kondensatorentladestrom  abgeschaltet wird, der durch die Bearbeitungsspalt-Kapazität verursacht  wird, so dass der Rechteckwellenstrom nicht bestehen bleibt, damit  für die Bearbeitung ein Entladestrom mit lediglich dem Kondensatorentladestrom  erzeugt wird, wodurch eine bearbeitete Oberfläche guter Qualität  erzeugt wird, besonders bei der elektroerosiven Bearbeitung mit Bearbeitungsdraht,  bei welcher Wasser als Dielektrikum verwendet wird, und bei der Bear   beitung von Materialien, wie z.B. von Karbid-Materialien, welche  bei zunehmender Impulsbreite anfällig auf Fehlerstellen, wie z.B.  Risse, sind. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die aus dem Widerstand  und der Spule bestehende Serieschaltung, die parallel zum Bearbeitungsspalt  eingefügt ist, vorgesehen und wird die Schaltvorrichtung zur Lieferung  des Gleichstromimpulses während einer vorbestimmten Zeitdauer wiederholt  mit hoher Frequenz ein-/ausgeschaltet, damit der Entladungslichtbogen  nach dem Kondensatorentladestrom abgeschaltet wird, der durch die  Bearbeitungsspalt-Kapazität verursacht wird, so dass der Rechteckwellenstrom  nicht bestehen bleibt, damit für die Bearbeitung ein Entladestrom  mit lediglich dem Kondensatorentladestrom erzeugt wird, wodurch eine  bearbeitete Oberfläche guter Qualität erzeugt wird, besonders bei  der elektroerosiven Bearbeitung mit Bearbeitungsdraht, bei welcher  Wasser als Dielektrikum verwendet wird, und bei der Bearbeitung von  Materialien, wie z.B.

   von Karbid-Materialien, welche bei zunehmender  Impulsbreite anfällig auf Fehlerstellen, wie z.B. Risse, sind. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die Schaltvorrichtung  in der aus dem Widerstand und der Schaltvorrichtung bestehenden Serieschaltung,  die parallel zum Bearbeitungsspalt eingefügt ist, sofort nach einer  Entladung eingeschaltet, so dass der Entladungslichtbogen nach dem  Kondensatorentladestrom abgeschaltet wird, der durch die Bearbeitungsspalt-Kapazität  verursacht wird, so dass der Rechteckwellenstrom nicht bestehen bleibt,  damit für die Bearbeitung ein Entladestrom mit lediglich dem Kondensatorentladestrom  erzeugt wird, wodurch eine bearbeitete Oberfläche guter Qualität  erzeugt wird, besonders bei der elektroerosiven Bearbeitung mit Bearbeitungsdraht,  bei welcher Wasser als Dielektrikum verwendet wird, und bei der Bearbeitung  von Materialien, wie z.B. von Karbid-Materialien, welche bei zunehmender  Impulsbreite anfällig auf Fehlerstellen, wie z.B.

   Risse, sind. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die Vielzahl von Induktivitäten  der Impedanzanpass-Schaltung aus den Induktivitäten der Muster oder  Kabel auf der gedruckten Schaltungsplatte gebildet, wodurch die Induktivitäten  auf einfache Weise entworfen und ausgebildet werden können und die  Induktivitätsumschaltung in genauer Weise mit geringer Genauigkeitsschwankung  ausgeführt werden kann, so dass eine stabile Feinbearbeitung erzielt  wird. Zudem wird eine kompakte Maschine mit niedrigen Kosten geschaffen.                                                       



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die genannte Vielzahl  von Induktivitäten so eingestellt, dass sie erniedrigte Werte aufweisen,    die proportional zur gemachten Kompensation für den Einfluss der  Induktivität der Schaltmittel sind, welche zwischen der genannten  Vielzahl von Induktivitäten umschalten, wodurch der Einfluss der  Induktivitäten der Schaltmittel unterdrückt werden kann, um die Summe  der Induktivitäten in genauer Weise zu ändern, dies zusätzlich zu  den genannten Effekten. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die Vielzahl von Kondensatoren  der Vorrichtung mit variabler Kapazität, der in der Impedanzanpass-  Schaltung oder dergleichen bei der Elektroerosions-Maschine verwendet  wird, aus den Kapazitäten der Muster oder Kabel auf der gedruckten  Schaltungsplatte gebildet, wodurch die Kondensatoren auf einfache  Weise entworfen und ausgebildet werden können und die Kapazitätsumschaltung  in genauer Weise mit geringer Genauigkeitsschwankung durchgeführt  werden kann, so dass eine stabile Feinbearbeitung erzielt wird. Zudem  wird eine kompakte Maschine mit niedrigen Kosten geschaffen. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die genannte Vielzahl  von Kondensatoren so eingestellt, dass sie erhöhte Werte aufweisen,  die proportional zur gemachten Kompensation für den Einfluss der  Kapazität der Schaltmittel sind, welche zwischen der Vielzahl von  Kapazitäten der genannten Vorrichtung mit variabler Kapazität umschalten,  wodurch der Einfluss der Kapazitäten der Schaltmittel unterdrückt  werden kann, um die Summe der Kapazitäten in genauer Weise zu ändern,  dies zusätzlich zu den genannten Effekten. 



   Zudem wird gemäss der vorliegenden Erfindung die Vielzahl von Induktivitäten  der Vorrichtung mit variabler Induktivität, der in der Impedanzan-  pass-Schaltung oder dergleichen bei der Elektroerosions-Maschine  verwendet wird, aus den Induktivitäten der Muster oder Kabel auf  der gedruckten Schaltungsplatte gebildet, wodurch die Induktivitäten  auf einfache Weise entworfen und ausgebildet werden können und die  Induktivitätsumschaltung in genauer Weise mit geringer Genauigkeitsschwankung  ausgeführt werden kann, so dass eine stabile Feinbearbeitung erzielt  wird. Zudem wird eine kompakte Maschine mit niedrigen Kosten geschaffen.                                                       



   Im Weitern wird gemäss der vorliegenden Erfindung die genannte Vielzahl  von Induktivitäten so eingestellt, dass sie erniedrigte Werte aufweisen,  die proportional zur gemachten Kompensation für den Einfluss der  Induktivität der Schaltmittel sind, welche zwischen der Vielzahl  von Induktivitäten der genannten Vorrichtung mit variabler Induktivität  umschalten, wodurch der Einfluss der Induktivitäten der Schaltmittel  unterdrückt werden kann, um die Summe der    Induktivitäten in genauer  Weise zu ändern, dies zusätzlich zu den genannten Effekten. 



  * Die vollständige Offenbarung aller und jeder fremden Patentanmeldungen,  aus welchen der Nutzen fremder Priorität in der vorliegenden Anmeldung  beansprucht wird, wird im vorliegenden Dokument, unter entsprechender  Bezugnahme darauf, so einbezogen, wie wenn sie vollständig dargelegt  worden wären. 



   Obschon diese Erfindung in mindestens einer bevorzugten Ausführungsform  mit einem bestimmten Ausführlichkeitsgrad beschrieben worden ist,  ist zu beachten, dass die vorliegende Offenbarung der bevorzugten  Ausführungsform lediglich beispielsweise erfolgte und dass zahlreiche  Änderungen bei den Details und bei der Anordnung der Bauelemente  ausgeführt werden können, ohne dabei vom Sinn und Bereich der Erfindung  abzuweichen, wie sie hiernach beansprucht wird.

Claims (32)

1. Elektroerosions-Maschine zur Bearbeitung des Werkstückes mit Mitteln zum Einspeisen eines Stroms in einen zwischen einer Elektrode und einem Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt, umfassend: eine Impedanzanpass-Schaltung zum Ausführen einer Impedanzanpassung am Bearbeitungsspalt, um den Einfluss der Kapazität der Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung zu unterdrücken, die bei der Feinbearbeitung elektrisch mit der Elektrode und dem Werkstück verbunden sind.

2.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch: das Einspeisen eines Stromes mit hohem Scheitelwert in den Bearbeitungsspalt, um das Werkstück mit hoher Geschwindigkeit zu bearbeiten, und das Einspeisen eines Wechselstrom-Hochfrequenzstromes in den genannten Bearbeitungsspalt, um das Werkstück feinzubearbeiten; Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung, die an einem Ende elektrisch mit der Elektrode und dem Werkstück verbunden sind;

Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung, die an einem Ende elektrisch mit der Elektrode und dem Werkstück verbunden sind; eine Speisung für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung, welche dem genannten Bearbeitungsspalt bei der Hochgeschwindigkeitsbearbeitung den Strom mit hohem Scheitelwert über die genannten Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung einspeist; eine Speisung für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung, welche dem Bearbeitungsspalt bei der Feinbearbeitung den Wechselstrom-Hochfrequenzstrom über die genannten Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung einspeist.

3. Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Speisung für die Wechselstrom- Hochfrequenzbearbeitung mindestens bei einer Frequenz innerhalb eines Bereiches von ungefähr 7-30 MHz einsetzbar ist.

4.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass: ein Gleichstromimpuls-Speisemittel zur Lieferung eines Gleichstrom- Rechteckwellenstromes vorgesehen ist; und die Impedanzanpass-Schaltung bewirkt, dass ein Kondensatorentladungsstrom nach Auftreten der Entladung nicht durch die genannte Bearbeitungsspalt-Kapazität dazu veranlasst wird, vor einem Gleichstrom-Rechteckwellenstrom zu fliessen, welche zwischen dem genannten Gleichstromimpuls-Speisemittel und dem genannten Bearbeitungsspalt vorgesehen wird.

5.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Bipolarimpuls-Speisemittel zur Lieferung eines Bipolargleichstrom- Rechteckwellenstromes vorgesehen ist und die Impedanzanpass-Schaltung bewirkt, dass ein Kondensatorentladungsstrom nach Auftreten der Entladung mit der einen Polarität nicht durch eine Bearbeitungsspalt-Kapazität dazu veranlasst wird, vor einem Gleichstrom-Rechteckwellenstrom zu fliessen, welche zwischen dem genannten Bipolarimpuls-Speisemittel und dem genannten Bearbeitungsspalt vorgesehen wird.

6.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Bipolarimpuls-Speisemittel zur Lieferung eines Bipolargleichstrom- Rechteckwellenstromes vorgesehen ist und die Impedanzanpass-Schaltung, die zwischen dem genannten Bipolarimpuls-Speisemittel und dem genannten Bearbeitungsspalt vorgesehen wird, und die genan-nte Impedanzanpass-Schaltung zum Abschalten eines Entladungslichtbogens nach einem Kondensator-entladungsstrom einsetzbar ist, der nach Auftreten der Entladung mit der einen Polarität durch die genannte Bearbeitungsspalt-Kapazität dazu veranlasst wird, vor einem Gleichstrom-Rechteckwellenstrom zu fliessen, so dass der Rechteckwellenstrom nicht länger als erwünscht andauert.

7.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Impedanzanpass-Schaltung für beide Polaritäten unabhängig voneinander entsprechend vorgesehen wird.

8. Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Speisemittel zur Lieferung einer Wechselstrom-Hochfrequenz-Spannung vorgesehen ist, und die Impedanzanpass-Schaltung zwischen der genannten Speisung und dem genannten Bearbeitungsspalt vorgesehen ist, wobei die genannte Impedanzanpass-Schaltung aus einer Vielzahl von Kapazitätsmitteln, aus mindestens einem Induktivitätsmittel und aus Schaltmitteln zum Umschalten unter der genannten Vielzahl von Kapazitätsmitteln besteht, um die Impedanzanpassung zu erzeugen.

9.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die genannten Kapazitätsmittel aus einer Kapazität bestehen, die durch ein Muster auf einer gedruckten Schaltungsplatte gebildet wird.

10. Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die genannten Kapazitätsmittel aus einer Kapazität bestehen, die durch ein Kabel gebildet wird.

11. Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Vielzahl von Kapazitätsmitteln in der Impedanzanpass-Schaltung Werte geometrischer Reihen aufweist, deren Koeffizient ungefähr 2 beträgt.

12.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die eingestellten Werte der Vielzahl von Kapazitätsmitteln in der genannten Impedanzanpass-Schaltung proportional zur gemachten Kompensation für den Einfluss der Kapazität der Schaltmittel zum Umschalten zwischen der Vielzahl von Kapazitätsmitteln in der genannten Impedanzanpass-Schaltung, erhöht werden.

13.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass, eine Speisung zur Lieferung mindestens einer Gleichstromimpuls-Spannung oder Bipolarimpuls- Spannung vorgesehen ist; die Impedanzanpass-Schaltung zwischen der genannten Speisung und dem genannten Bearbeitungsspalt vorgesehen ist; eine Schaltvorrichtung in Serie zur genannten Impedanzanpass-Schaltung eingefügt ist, um die genannte Impedanzanpass-Schaltung vollständig anzuschliessen oder abzutrennen; und eine Überbrückungsschaltung parallel zu einer Serieschaltung geschaltet ist, welche aus der genannten Impedanzanpass-Schaltung und der genannten Schaltvorrichtung besteht.

14.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Speisung zur Lieferung mindestens einer Gleichstromimpuls-Spannung oder Bipolarimpuls-Spannung vorgesehen ist; eine Impedanzanpass-Schaltung zwischen der genannten Speisung und dem genannten Bearbeitungsspalt vorgesehen ist; eine Überbrückungsschaltung parallel zu der genannten Impedanzanpass-Schaltung geschaltet ist; und eine Schaltvorrichtung in Serie zur genannten Überbrückungsschaltung eingefügt ist, um die genannte Überbrückungsschaltung vollständig anzuschliessan oder abzutrennen.

15. Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Serieschaltung vorgesehen ist, die aus einem Widerstand und einer Induktivität besteht und parallel zum genannten Bearbeitungsspalt geschaltet wird.

16.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass sie im Weiteren bestehend ist aus: einer Schaltvorrichtung, die zum Zuführen eines Gleichstrom-Impulses einsetzbar ist; und Treibermitteln zum hochfrequenten Schalten der genannten Schaltvorrichtung, wobei die genannten Treibermittel einsetzbar sind zur Wiederholung eines Ein-Aus-Betriebes mit hoher Frequenz während einer gegebenen Zeitperiode und zur anschliessenden Lieferung einer gegebenen Stoppzeitperiode für die Bearbeitung.

17. Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die genannte Serieschaltung im Weiteren aus einer Schaltvorrichtung besteht, welche nach einer Entladung eingeschaltet wird.

18.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein Speisemittel zur Lieferung einer Wechselstrom-Hochfrequenz-Spannung; und eine Impedanzanpass-Schaltung zwischen der genannten Speisung und dem genannten Bearbeitungsspalt vorgesehen ist, die aus einer Vielzahl von Induktivitätsmitteln und aus Schaltmitteln zum Umschalten unter der genannten Vielzahl von Induktivitätsmitteln besteht, um die Impedanzanpassung zu erzeugen.

19. Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die genannten Induktivitätsmittel aus Mustern bestehen, die auf einer gedruckten Schaltungsplatte gebildet werden.

20. Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die genannten Induktivitätsmittel aus einer Vielzahl von Kabeln bestehen.

21.

Elektroerosions-Maschine nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die eingestellten Werte der Vielzahl von Induktivitätsmitteln in der Impedanzanpass-Schaltung proportional zur gemachten Kompensation für den Einfluss der Induktivität der Schaltmittel zum Umschalten zwischen der Vielzahl von Induktivitätsmitteln in der Impedanzanpass- Schaltung, erniedrigt werden.

22. Impedanzanpass-Schaltung mit variabler Kapazität zur Verwendung in einer Elektroerosions-Maschine gemäss Anspruch 8 und zur Änderung einer Kapazität durch Umschaltung zwischen eine Vielzahl von Kapazitäten, bestehend aus: einer Vielzahl von Kapazitäten, die durch Muster auf einer gedruckten Schaltungsplatte gebildet werden; und Schaltmitteln zum Umschalten zwischen der genannten Vielzahl von Kapazitäten.

23.

Impedanzanpass-Schaltung mit variabler Kapazität zur Verwendung in einer Elektroerosions-Maschine gemäss Anspruch 8 und zur Änderung einer Kapazität durch Umschaltung zwischen eine Vielzahl von Kapazitäten, bestehend aus: einer Vielzahl von Kapazitäten, die durch eine Vielzahl von Kabeln gebildet werden; und Schaltmitteln zum Umschalten zwischen der genannten Vielzahl von Kapazitäten.

24.

Impedanzanpass-Schaltung mit variabler Kapazität nach Anspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, dass die eingestellten Werte der Vielzahl von Kapazitäten, die durch die Muster auf der gedruckten Schaltungsplatte oder durch die Vielzahl von Kabeln gebildet werden, proportional zur gemachten Kompensation für den Einfluss der Kapazität der Schaltmittel zum Umschalten zwischen der Vielzahl von Kapazitäten, die durch die Muster auf der gedruckten Schaltungsplatte oder durch die Vielzahl von Kabeln gebildet werden, erhöht werden.

25.

Impedanzanpass-Schaltung mit variabler Induktivität zur Verwendung in einer Elektroerosions-Maschine gemäss Anspruch 18 und zur Änderung einer Induktivität durch Umschaltung zwischen einer Vielzahl von Induktivitäten, bestehend aus: einer Vielzahl von Induktivitäten, die durch Muster auf einer gedruckten Schaltungsplatte gebildet werden; und Schaltmitteln zum Umschalten zwischen der genannten Vielzahl von Induktivitäten.

26. Impedanzanpass-Schaltung mit variabler Induktivität zur Verwendung in einer Elektroerosions-Maschine gemäss Anspruch 18 und zur Änderung einer Induktivität durch Umschaltung zwischen einer Vielzahl von Induktivitäten, bestehend aus: einer Vielzahl von Induktivitäten, die durch eine Vielzahl von Kabeln gebildet werden; und Schaltmitteln zum Umschalten zwischen der genannten Vielzahl von Induktivitäten.

27.

Impedanzanpass-Schaltung mit variabler Induktivität nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass die eingestellten Werte der Vielzahl von Induktivitäten, die durch die Muster auf der gedruckten Schaltungsplatte gebildet werden, proportional zur gemachten Kompensation für den Einfluss der Induktivität der genannten Schaltmittel zum Umschalten zwischen der genannten Vielzahl von Induktivitäten, die durch die genannten Muster auf der gedruckten Schaltungsplatte gebildet werden, erniedrigt werden.

28.

Impedanzanpass-Schaltung mit variabler Induktivität nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass die eingestellten Werte der Vielzahl von -Induktivitäten, die durch die Vielzahl von Kabeln gebildet werden, proportional zur gemachten Kompensation für den Einfluss der Induktivität der genannten Schaltmittel zum Umschalten zwischen der genannten Vielzahl von Induktivitäten, die durch die genannte Vielzahl von Kabeln gebildet werden, erniedrigt werden.

29.

Verfahren zur elektroerosiven Bearbeitung mit einer Elektroerosions-Maschine gemäss Anspruch 2, bei welchem ein Strom mit hohem Scheitelwert über Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung in einen zwischen einer Elektrode und einem Werkstück gebildeten Bearbeitungsspalt eingespiesen wird, um das Werkstück mit hoher Geschwindigkeit zu bearbeiten, und bei welchem eine Wechselstrom-Hochfrequenzstrom über Speisekabel für die Wechselstrom-Hochfrequenzbearbeitung in den genannten Bearbeitungsspalt eingespiesen wird, um das Werkstück mit hoher Genauigkeit feinzubearbeiten, gekennzeichnet durch die Ausführung einer Impedanzanpassung am Bearbeitungsspalt, um den Einfluss der Impedanz der Speisekabel für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung zu unterdrücken, die bei der Feinbearbeitung elektrisch mit dem Bearbeitungsspalt verbunden sind.

30.

Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass eine Umschaltung unter mehreren Impedanzen erfolgt, damit die genannte Impedanzanpassung erzeugt wird.

31. Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, dass eine Umschaltung unter mehreren Impedanzen und einer Auswahl eines geeigneten Anpasswertes unter Berücksichtigung der Impedanz des Umschaltapparates selber erfolgt.

32. Verfahren nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, dass eine getrennte Durchführung der genannten Impedanzanpassung für jede der zwei Polaritäten einer Bipolarimpuls-Leistungsquelle erfolgt.