BE1027801A1 - Resine, composition de photoresist et procede de production de motif de photoresist et compose - Google Patents

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BE1027801A1 BE20205941A BE202005941A BE1027801A1 BE 1027801 A1 BE1027801 A1 BE 1027801A1 BE 20205941 A BE20205941 A BE 20205941A BE 202005941 A BE202005941 A BE 202005941A BE 1027801 A1 BE1027801 A1 BE 1027801A1
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Koji Ichikawa
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Abstract

Un objet de la présente invention est de fournir une résine capable de produire un motif de résist avec une rugosité de bord de ligne (LER) satisfaisante, et une composition de résist comprenant la résine. L'invention concerne une résine comprenant l’unité structurelle représentée par la formule (I), et une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et/ou une unité structurelle représentée par la formule (a1-2), telles que définies dans la revendication 1 et une composition de résist comprenant cette résine, où, dans la formule (I), la formule (a1-1) et la formule (a1-2), où R1, Ra4 et Ra5 représentent chacun un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, X1 représente une liaison simple ou-CO-O-*, X2 représente -CO-O-*, -O-* ou analogues, Ar1 et Ar2 chacun représentent un groupe hydrocarboné aromatique pouvant avoir un substituant, R2 représente chacun un atome d'hydrogène, un groupe labile en milieu acide et analogues, n représente un entier de 1 à 3, La1 et La2 représentent chacun -O- ou * -O-(CH2)k1-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, Ra6 et Ra7 représentent chacun un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe obtenu en combinant ces groupes ou analogues, m1 représente un entier de 0 à 14, n1 représente un entier de 0 à 10 et n1' représente un entier de 0 à 3.

Description

RESINE, COMPOSITION DE PHOTORESIST ET PROCEDE DE PRODUCTION DE MOTIF DE PHOTORESIST ET COMPOSE DOMAINE DE L'INVENTION
[0001] La présente invention concerne une résine, une composition de résist et un procédé pour produire un motif de résist utilisant la composition de résist, et un composé. ARRIERE-PLAN DE L'INVENTION
[0002] Le document de brevet 1 mentionne une résine incluant les unités structurelles suivantes. H H CHs toch, +CH, +CH;
O O 2 O Creer / AZ un 9 CgF17
OH Document de l'état de la technique Document de brevet
[0003] Document de brevet 1 : JP 10-186642 A Description de linvention Problèmes à résoudre par l'invention
[0004] Un objet de la présente invention est de fournir une résine qui forme un motif de résist ayant une rugosité de bord de ligne (LER « Line Edge Roughness ») meilleure que celle d’un motif de résist formé à partir d'une composition de résist comprenant la résine susmentionnée. Moyens permettant de résoudre les problèmes
[0005] La présente invention inclut les inventions suivantes.
[1] Une résine comprenant une unité structurelle représentée par la formule (I), et au moins une unité structurelle choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et une unité structurelle représentée par la formule (a1-2): R1 test X’ (|) | 1 Ar Le | Ar--o—r?) n où, dans la formule (I), R* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, xt représente une liaison simple ou -CO-O-* (* représente un site de liaison à Ar*), X? représente -CO-O-*, -O-*, -O-CO-*, -O-CO-(CH>)mm-O-* ou -O-(CHz)nn-CO-O-* (* représente un site de liaison à Ar”), mm et nn représentent 0 ou 1, Art et Ar” représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné aromatique ayant de 6 à 36 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, R2 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe labile en milieu acide, ou lorsqu'il existe deux R* ou plus, deux
R? peuvent se combiner pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique, n représente un entier de 1 à 3, et lorsque n est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R° peuvent être identiques ou différents les uns des autres: HE} dl
C C
O O La’ La2 ee Joon en ni" (a1-1) (a1-2) où, dans la formule (a1-1) et la formule (a1-2), L°* et L* représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH>)k1-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, et *représente un site de liaison à -CO-, R°* et R® représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et nl’ représente un entier de 0 à 3.
[2] La résine selon [1], dans laquelle X* est une simple liaison.
[3] La résine selon [1] ou [2], dans laquelle X? est -CO-O-* ou -O-* (* représente un site de liaison à Art).
[4] La résine selon l'un quelconque de [1] à [3], dans laquelle n vaut 1 ou
2.
[5] La résine selon l'un quelconque de [1] à [4], dans laquelle le groupe labile en milieu acide dans R? est un groupe représenté par la formule (1a) ou un groupe représenté par la formule (2a):
O Raa1 Aj Pee (1a) naa Raa3 où, dans la formule (la), R°*, R22 et R®* représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, ou R* et R22? peuvent être liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec des atomes de carbone auxquels R°°* et R222 sont liés, naa représente 0 ou 1, et * représente une liaison: Raat’ * — Re (2a) paaz où dans la formule (2a), R®T et R®@2 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R°* représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R22? et R* peuvent être liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec -C-X?- auquel R222 et R22? sont liés, -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hétérocyclique peut être remplacé par - O- ou -S-, X? représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, * représente une position de liaison.
[6] La résine selon l'un quelconque de [1] à [5], dans laquelle R° est un atome d'hydrogène, ou n est 2 ou plus et deux R* se combinent pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique.
[7] La résine selon l'un quelconque de [1] à [6], comprenant en outre une unité structurelle représentée par la formule (a2-A):
HE A250 (a2-A)
A (R251 ) mb où, dans la formule (a2-A), R250 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un 5 atome d'halogène, R°°! représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A20 représente une simple liaison ou *-X2**-(a252-X252) 5", et * représente un site de liaison aux atomes de carbone auxquels -R°° est lié, A? représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°!1 et X? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et quand mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R°** peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[8] Une composition de résist comprenant la résine selon l'un quelconque de [1] à [7] et un générateur d'acide.
[9] La composition de résist selon [8], dans laquelle le générateur d'acide comprend un sel représenté par la formule (B1):
+ -Q4S q 91 Z O3 Ey (B1) Je où, dans la formule (B1), Q et Q®* représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, et Z* représente un cation organique.
[10] La composition de réserve selon [8] ou [9], comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré par le générateur d'acide.
[11] Un procédé pour produire un motif de résist, qui comprend: (1) une étape d'application de la composition de résist selon l’un quelconque de [8] à [10] sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
[12] Un composé représenté par la formule (IA):
R1 BE2020/5941 =d , | (A) JL.
\ RS ] te)
OR
RS où, dans la formule (IA), R* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, xt représente une liaison simple ou -CO-O-* (* représente un site de liaison à Ar’), X? représente -CO-O-*, -O-*, -O-CO-*, -O-CO-(CH>)mm-O-* ou -O-(CH>)nn-CO-O-* (* représente un site de liaison au cycle benzénique), mm et nn représentent 0 ou 1, Art représente un groupe hydrocarboné aromatique ayant de 6 à 36 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, R* et R* représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe labile en milieu acide, ou R* et R* peuvent se combiner pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique, R° représente un atome d'halogène, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe alkyle et le groupe fluorure d'alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-, et n' représente un entier de O à 3, et lorsque n' vaut 2 ou plus, une pluralité de R° peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[13] Le composé selon [12], dans lequel X* est une simple liaison.
[14] Le composé selon [12] ou [13], dans lequel X? est -CO-O- * ou -O-* (* représente un site de liaison au cycle benzénique).
[15] Composé selon l’un quelconque de [12] à [14], dans lequel n° vaut 0.
[16] Composé selon l'un quelconque de [12] à [15], dans lequel R* et R° sont un atome d'hydrogène, ou R3 et R* se combinent ensemble pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique.
[17] Une résine comprenant une unité structurelle dérivée du composé selon l'un quelconque de [12] à [16]. Effets de l'invention
[0006] Il est possible de produire un motif de résist avec une rugosité de bord de ligne (LER) satisfaisante en utilisant une composition de résist dans laquelle une résine incluant une unité structurelle de la présente invention est utilisée.
Mode pour mettre en œuvre l'invention
[0007] Tel qu'il est utilisé ici, «monomère (méth)acrylique» désigne au moins un monomère choisi dans le groupe consistant en un monomère ayant une structure de «CH>=CH-CO-» et un monomère ayant une structure de «CHz=C(CH3)-CO-". De même, « (méth)acrylate » et « acide (méth)acrylique » signifient «au moins un choisi dans le groupe consistant en un acrylate et un méthacrylate » et « au moins un choisi dans le groupe consistant en un acide acrylique et un acide méthacrylique », respectivement. Lorsqu'une unité structurelle ayant «CH2=C(CH3)-CO-» ou «CH;=CH-CO-» est citée à titre d'exemple, une unité structurelle ayant les deux groupes doit être citée à titre d'exemple de manière similaire. Dans les groupes mentionnés dans la présente description, concernant les groupes capables d'avoir à la fois une structure linéaire et une structure ramifiée, ils peuvent avoir soit une structure linéaire, soit une structure ramifiée. «Un groupe combiné» signifie un groupe obtenu en liant deux ou plusieurs groupes cités à titre d'exemple, et dont le nombre de valence peut varier de façon appropriée selon l'état de liaison. Le terme «dérivé» ou «induit», tel qu'il est utilisé ici, signifie qu'une liaison C=C polymérisable incluse dans la molécule devient un groupe -C-C- par polymérisation. Quand des stéréoisomères existent, tous les stéréoisomères sont inclus.
Tel qu'utilisé ici, le terme « composant solide de la composition de résist» signifie la quantité totale de composants à l'exclusion du solvant (E) mentionné ci-dessous.
[0008] [Résine] La résine de la présente invention est une résine (dans la suite parfois appelée «résine (A)») incluant une unité structurelle représentée par la formule (I) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (I)), et au moins une unité structurelle unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-1)) et une unité structurelle représentée par la formule (a1-2) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1-2)).
[0009] <Unité structurelle (I)> L'unité structurelle (I) est représentée par la formule suivante: /# mi —} | A () j elo ) n où, dans la formule (I), R* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, xt représente une liaison simple ou -CO-O-* (* représente un site de liaison à Ar”), X? représente -CO-O-*, -O-*, -O-CO-*, -O-CO-(CH>)mm-O-* ou -O-(CH>)nn-CO-O-* (* représente un site de liaison à Ar”), mm et nn représentent 0 ou 1, Art et Ar“ représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné aromatique ayant de 6 à 36 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, R? représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe labile en milieu acide, ou quand deux ou plusieurs R* existent, deux R* peuvent se combiner pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique,
n représente un entier de 1 à 3, et lorsque n vaut 2 ou plus, une pluralité de R* peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0010] Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique divalent pour Art et Ar? incluent un groupe benzènediyle, un groupe naphtalènediyle, un groupe anthracènediyle et analogues.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique trivalent ou tétravalent pour Ar? incluent un groupe benzènetriyle, un groupe benzènetétrayle, un groupe naphtalènetriyle, un groupe naphtalènetétrayle, un groupe anthracénétriyle, un groupe anthracénététrayle et analogues.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 6 à 24, de préférence encore de 6 à 18, de préférence encore de 6 à 14, de préférence encore de 6 à 10, et de préférence encore de 6.
Des exemples de substituant du groupe hydrocarboné aromatique incluent un groupe hydroxy, un atome d'halogène, un groupe cyano, un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone (-CH>- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-), un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone (-CH>- inclus dans le groupe fluorure d'alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-), un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, un groupe aromatique hydrocarboné ayant 6 à 10 atomes de carbone, ou des groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un décyle groupe, un groupe undécyle, un groupe dodécyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence de 1 à 12, de préférence encore de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6, et de préférence encore delàd4.
Lorsque -CH>- inclus dans le groupe alkyle est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant remplacement est considéré comme le nombre total d'atomes de carbone du groupe alkyle. Des exemples du groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe alkyle est remplacé par -O- ou -CO- incluent un groupe hydroxy (groupe dans lequel -CH>- inclus dans le groupe méthyle est remplacé par -O-), un groupe carboxy (groupe dans lequel -CH;-CH>- inclus dans le groupe éthyle est remplacé par -O-CO-), un groupe alcoxy (groupe dans lequel -CH>- inclus à n'importe quelle position dans le groupe alkyle est remplacé par -O-) , un groupe alcoxycarbonyle (groupe dans lequel -CH2-CH;- inclus à n'importe quelle position dans le groupe alkyle est remplacé par -O-CO-), un groupe alkylcarbonyle (groupe dans lequel -CH;- inclus à n'importe quelle position dans le groupe alkyle est remplacé par -CO-), un groupe alkylcarbonyloxy (groupe dans lequel -CHz-CH>- inclus à n'importe quelle position dans le groupe alkyle est remplacé par -CO-O-) et analogues.
Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe alcoxy ayant 1 à 15 atomes de carbone, par exemple, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe octyloxy, un 2- un groupe éthylhexyloxy, un groupe nonyloxy, un groupe décyloxy, un groupe undécyloxy, un groupe dodécyloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxy est de préférence de 1 à 12, de préférence encore de 1 à 11, de préférence encore de 1 à 6, et de préférence encore de 1 à 4.
Le groupe alcoxycarbonyle, le groupe alkylcarbonyle et le groupe alkylcarbonyloxy représentent un groupe dans lequel un groupe carbonyle ou un groupe carbonyloxy est lié au groupe alkyle ou groupe alcoxy mentionné ci-dessus.
Des exemples du groupe alcoxycarbonyle incluent un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 15 atomes de carbone, par exemple, un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe butoxycarbonyle et analogues. Des exemples du groupe alkylcarbonyle incluent un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 16 atomes de carbone, par exemple un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 15 atomes de carbone, par exemple, un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxycarbonyle est de préférence de 2 à 13, de préférence encore de 2 à 11, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyle est de préférence de 2 à 13, de préférence encore 2 à 12, de préférence encore 2 à 6, et de préférence encore 2 à 4. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyloxy est de préférence de 2 à 13, de préférence encore de 2 à 11, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore 2 à 4.
Des exemples du groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone incluent des groupes fluorure d'alkyle tels qu'un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropentyle et un groupe perfluorohexyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle est de préférence de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6, et de préférence encore de 1 à 4.
Qaund -CH;- inclus dans le groupe fluorure d'alkyle est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant remplacement est considéré comme le nombre total d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle. Des exemples du groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe fluorure d'alkyle est remplacé par -O- ou -CO- incluent un groupe fluorure d'alcoxy (groupe dans lequel -CHz- inclus à n'importe quelle position dans le groupe fluorure d'alkyle est remplacé par -O-), un groupe fluorure d'alcoxycarbonyle (groupe dans lequel -CH;-CH>- inclus à n'importe quelle position dans le groupe fluorure d'alkyle est remplacé par -O-CO-), un groupe fluorure d'alkylcarbonyle (groupe dans lequel -CH;- inclus à n'importe quelle position dans le groupe fluorure d'alkyle est remplacé par -CO-), un groupe fluorure d'alkylcarbonyloxy (groupe dans lequel -CH;-CH>- inclus à n'importe quelle position dans le groupe fluorure d'alkyle est remplacé par -CO-O-) et analogues.
Des exemples du groupe fluorure d'alcoxy, du groupe fluorure d'alcoxycarbonyle, du groupe fluorure d'alkylcarbonyle et du groupe fluorure d'alkylcarbonyloxy incluent un groupe fluorure d'alcoxy ayant 1 à
11 atomes de carbone, un groupe fluorure d'alcoxycarbonyle ayant 2 à 11 atomes de carbone, un groupe fluorure d'alkylcarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone et un groupe fluorure d'alkylcarbonyloxy ayant 2 à 11 atomes de carbone et un ou plusieurs atomes d'hydrogène des groupes cités à titre d'exemple ci-dessus peuvent être substitués par un atome de fluor.
Le groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone peut être monocyclique ou polycyclique, et des exemples de celui-ci incluent les groupes suivants. ** est une liaison à un groupe hydrocarboné aromatique. > > CO 40 Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 10 atomes de carbone incluent un groupe phényle, un groupe naphtyle et analogues.
Des exemples du groupe combiné dans le substituant du groupe hydrocarboné aromatique incluent un groupe obtenu en combinant un groupe hydroxy et un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone et un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe obtenu en combinant un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 10 atomes de carbone et analogues.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe hydroxy et un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone incluent les groupes hydroxyalkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, tels qu'un groupe hydroxyméthyle et un groupe hydroxyéthyle.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone et un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone incluent des groupes alcoxyalcoxy ayant 2 à 24 atomes de carbone, tel qu'un groupe éthoxyéthoxy.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 10 atomes de carbone incluent un groupe aralkyle ayant 7 à 22 atomes de carbone, tel qu'un groupe benzyle.
[0011] Le substituant est de préférence un atome d'halogène, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydroxy, un groupe alcoxy ayant 1 à 11 atomes de carbone, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 11 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone ou un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 11 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'halogène, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe hydroxy, un groupe alcoxy ayant 1 à 11 atomes de carbone, un groupe alcoxycarbonyle ayant 2 à 11 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 12 atomes de carbone ou un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 11 atomes de carbone, et de préférence encore un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 11 atomes de carbone.
[0012] Le groupe labile en milieu acide pour R? signifie un groupe dans lequel un groupe représenté par R? est éliminé par contact avec un acide (par exemple, l'acide p-toluènesulfonique) pour former un groupe hydroxy. Quand R° de l'unité structurelle (I) utilisée dans la production de la résine (A) est un groupe labile en milieu acide, dans la résine (A), R2 peut être éliminé (R? est converti en un atome d'hydrogène) par contact avec un acide, et le taux d'élimination est de préférence 40% à 100%, de préférence encore 60% à 100% et de préférence encore 100%. Des exemples du groupe labile en milieu acide incluent un groupe représenté par la formule (1a) (dans la suite parfois appelé «groupe labile en milieu acide (1a)»), un groupe représenté par la formule (2a) (dans la suite parfois appelé «groupe labile en milieu acide (2a) ») et analogues: O Raa1 Aj Pee (13) naa Raa3 où, dans la formule (la), R°*, R22 et R®* représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, ou R* et R22? peuvent être liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec des atomes de carbone auxquels R°°* et R222 sont liés, naa représente 0 ou 1, et * représente un lien: Raat * er (2 a) paaz où dans la formule (2a), R°* et R®? représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R°* représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R°°* et R223 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec -C-X°- auquel R22? et R°5 sont liés, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hétérocyclique peut être remplacé par - O- ou -S-, X? représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, * représente une position de liaison.
[0013] Des exemples du groupe alkyle pour R°*, R°°2 et R°°* incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe n-butyle, un groupe n-pentyle, un groupe n-hexyle, un groupe n-heptyle, un un groupe n-octyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle pour R@*, R°°2 et R°°° est de préférence de 1 à 6, et de préférence encore de 1 à 3.
Des exemples du groupe alcényle pour R@*, R°2 et R23 incluent un groupe éthényle, un groupe propényle, un groupe isopropényle, un groupe butényle, un groupe isobutényle, un groupe tert-
butényle, un groupe pentényle, un groupe hexényle, un groupe heptényle, un groupe octynyle, un groupe isooctynyle et un groupe nonényle.
Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R°*, R°°2 et R®3 peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique, incluent des groupes cycloalkyle tels qu'un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle, et les groupes suivants (* représente une liaison). Le nombre d’atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique pour R®*, R®° et R22? est de préférence de 3 à 16 et de préférence encore de 3 à 12.
Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique pour R®@*, R°° et R°° incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique pour R%1, R°°2 et R°°° est de préférence de 6 à 14, et plus préférablement de 6 à 10.
[0014] Des exemples de substituant du groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant incluent un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone. Des exemples de substituant du groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant incluent un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone les atomes. Des exemples du substituant du groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone qui peut avoir un substituant incluent un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone. Des exemples du substituant du groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un substituant incluent un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone. Plus spécifiquement, il est possible de citer en exemple des groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique susmentionnés (par exemple, des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels qu'un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe cyclohexylméthyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle et un groupe norbornyléthyle), des groupes aralkyle tels qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert- butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6- éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle et analogues.
naa vaut de préférence 1.
[0015] Lorsque R°°* et Ra?2? sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique, des exemples de groupement -C(R22)(R222)(R223) incluent les groupes suivants. Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 3 à 16 et de préférence encore de 3 à 12. * représente une position de liaison à -O- 5 DH ie © ; paas D 0 , paas , paas ; Raa3 ; Raa3 « paas , paas ; Raa3
[0016]
Des exemples du groupe représenté par la formule (1a) incluent un groupe 1,1-dialkylalcoxycarbonyle (un groupe dans lequel R°*, R°2 et R° sont un groupe alkyle, et de préférence un groupe tert- butoxycarbonyle dans la formule (1a)), un groupe 2- alkyladamantan-2- vyloxycarbonyle (un groupe dans lequel R°*, R°° et des atomes de carbone auxquels ils sont liés forment un groupe adamantyle, et R°° est un groupe alkyle de formule (1a)) et un groupe 1-(adamantan-1-yle)-1- alkylalcoxycarbonyle (un groupe dans lequel R* et R°°2 sont un groupe alkyle, et R°°* est un groupe adamantyle dans la formule (1a)).
[0017] Des exemples du groupe hydrocarboné dans R°°", R@2 et R223 incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et des groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont identiques à ceux mentionnés dans R°%*, Ra22 et R333 / Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent un groupe aryle, tel qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle, et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et le groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple, des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels qu'un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe cyclohexylméthyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle et un groupe norbornyléthyle), un groupe aralkyle tel qu’un groupe benzyle, un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyle-6- éthylphényle, etc.), un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p- adamantylphényle, etc.) un groupe arylcycloalkyle tel qu'un groupe — phénylcyclohexyle et analogues.
Quand R°? et R°* sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe hétérocyclique ensemble avec les atomes de carbone et X° auxquels R°°2 et R°°* sont liés, des exemples de -C(R°°")(R°27)-X2-(R223) incluent les groupes suivants. *représente une liaison. aal! aal’ Raal' Raat’ Raal' Raat’ Raal' Parmi R@* et R°°2, au moins un est de préférence un atome d'hydrogène.
[0018] Des exemples spécifiques du groupe labile en milieu acide (1a) incluent les groupes suivants. * représente une liaison. 565065 (I-R2-1-1) (I-R2-1-2) (I-R2-1-3) (I-R2-1-4) (I-R2-1-5) (1-R2.1-6) % YO 1H YO Yo D (I-R2-1-7) (I-R2-1-8) (I-R2-1-9) (I-R2-1-10) (I-R2-1-11) (I-R2-1-12)
HP SO (I-R2-1-13) (I-R2-1-14) (I-R2-1-15) (I-R?-1-16) (I-R2-1-17) (I-R2-1-18) O O G O O Tr Tr ©) (1-R2-1-19) (I-R2-1-20) (1-R2-1-21) (I-R2-1-22) (1-R2-1-23) (I-R2-1-24)
[0019] Des exemples spécifiques du groupe labile en milieu acide (2a) incluent les groupes suivants. * représente une liaison.
TN O (I-R2-2-1) (LR2-2-2) (1-R2-2-3) (I-R2-2-4) (1-R2.2-5) OD VS Es (I-R2-2-6) (I-R2-2-7) (I-R2-2-8) Tae vo von TS A (I-R2-2-10) (I-R2-2-11) (I-R2-2-12) (I-R2-2-13) OD DD Ss D V7 en (I-R2-2-14) (I-R2-2-15) (I-R2-2-16) (I-R2-2-17) (I-R2-2-18) (I-R2-2-19) Dans l'unité structurelle (I), une pluralité de R° peuvent être identiques ou différents.
[0020] Quand deux R* se combinent pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique, les exemples de *-(R2)2 incluent un groupe représenté par la formule (3a) (dans la suite parfois appelés «groupe (3a)»): * x. (3a) ; Rab2 où, dans la formule (3a), R®! et R®? représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone, ou RP! et RP? peuvent être liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec des atomes de carbone auxquels R®! et R@? sont liés, et -CH>- inclus dans le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O- ou -CO-, et * représente une liaison à un atome d'oxygène. Des exemples du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R®@*, pae2 et pes
Des exemples du groupe (3a) incluent les groupes représentés par les suivants. * représente une liaison à un atome d'oxygène. x X X MD N Quand deux R? se combinent pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique, les exemples de *-Ar?-(O-R2)2 incluent des groupes représentés par les suivants (dans lesquels le cycle benzénique peut avoir un substituant) et analogues. * représente une liaison avec X. x Co 50 On CS oO oO oO Oo XX CO 650 Cp &S—
[0021] Le groupe labile en milieu acide dans R* est de préférence un groupe labile en milieu acide (2a). R2 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe représenté par la formule (2a), ou deux R* se combinent de préférence ensemble pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique, et R2 est de préférence encore un atome d'hydrogène, ou deux R* de préférence encore se combinent pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique.
Art est de préférence un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 24 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, de préférence encore un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 10 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe benzènediyle.
Ar? est de préférence un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 24 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, de préférence encore un groupe hydrocarboné aromatique ayant de 6 à 10 atomes de carbone, de préférence encore un groupe benzènediyle, un groupe benzènetriyle ou un groupe benzènetétrayle, et de préférence encore, un groupe benzènediyle ou un groupe benzènetriyle.
n vaut de préférence 1 ou 2, et de préférence encore 2.
La position de liaison de -O-R2 dans Ar? peut être la position ortho, la position méta ou la position para par rapport à la position de liaison de X?.
X? est de préférence -CO-O-*, -O-* ou -O-CO-*, et de préférence encore -CO-O-* ou -O-*.
Lorsque la résine (A) incluent une unité structurelle (I) dans laquelle R? est un atome d'hydrogène, la quantité de l'unité structurelle (I) dans laquelle R* est un atome d'hydrogène est de préférence de 40 à 100 mol%, de préférence encore de 60 à 100 mol%, et de préférence encore 100 mol%, sur la base de la quantité totale de l'unité structurelle (I).
[0022] Des exemples de l'unité structurelle (I) incluent les unités structurelles mentionnées ci-dessous. L'unité structurelle (I) est de préférence une unité structurelle (I-1) à une unité structurelle (I-14), une unité structurelle (I-17) à une unité structurelle (I-20), une unité structurelle (I- 25) à une unité structurelle (I-28), une unité structurelle (I- 33) à une unité structurelle (I-58) ou une unité structurelle (I-67) à une unité structurelle (1-92), et de préférence encore une unité structurelle (I- 1) à une unité structurelle (I-8), une unité structurelle (I-13), une unité structurelle (1-14), une unité structurelle (I-17) à une unité structurelle ( I- 20), une unité structurelle (I-25) à une unité structurelle (I-28), une unité structurelle (I-33) à une unité structurelle (I-58), une unité structurelle (I- 67), une unité structurelle (I-68), une unité structurelle (I-71), une unité structurelle (I-72), une unité structurelle (I-81) ou une unité structurelle (1-82).
H CHs H CHs rat TST 47 TT
O O 0 Ó © A 07 2 OH 9
OH
OH (1-1) (1-2) (1-3) (1-4) OH H Hs H CH3 fet tet fet Tet
O O 0 OH 5 OH 1-7 OH (1-5) a6) CH (1-7) (1-8) ’ ch, Es CH: ch Es PET te + 57 Fou SF Ó 0 Oo 2 O ae oo 9 O (1-9) (1-10) OH (1-11) (1-12) OH H CHs H CH tar bft egt ft
O O 0 0 À OO oe) OH © HO OH Q on OH
OH HO OH 1-13 OH - OH (19) (1-14) (115) (1-16)
[0023]
H CHs H CHs PAT rf tzt ft 070 © 0,20 O 9 A Au á x 9 x Ar
O [ x [ 5 (1-17) 4-18) (1-19) (1-20) H CHs H CH3 U PET TE Le 9 à % à O O Q 05 OX O Dix 9 Je 970 Ak 970 od 00
O O > T° > Y (1-21) X (1-22) 25) T (1-24)
O Ò O O O | Qu 2; NS 9 NP Qu û > ” x 9 [ (1-25) f (1-26) (1-27) (1-28) CHs CHs
LER VF tt 5 TE $ ©
O O OX Ok A Dik 030 030 970 919 x > > > (1-29) (1-30) (1-31) (1-32)
[0024] H CHs H CH, rat Pt Hat ft
O O d d © A 5 07 2 OH Q 0“ OH OH Tu OH Q
OH OH (1-33) (1-34) OH (1-35) (1-36) H CH, H CHs ror TT FT TS d Ó X 9 2 9 O 070 O. Qu x ÖH 0%
OH OH (1-37) ÖH ÖH Q (1-38) x. OH (1-39) (40) PT Tst
Ó ad © Oo OO
OH
OH (1-41) (42) OH
[0025]
H CH H CH Lou TS PET ToT
O O G Ó
OÖ 0 9 À ? © 070 Ö Oo 9
O OL + D of (1-43) (1-44) (1-45) (1-46)
[0026] H CH H CH3 rét ER PET PET OO 9 O 9 ô, OO Q 9 O [ - 57 es + D O + (-47) (aa FF (-49) (1-50) 0 25 2% 6 À 0 © of el A A Oo o + Q, + Q,
O Ö (1-51) ST (1-53) (1-54) +
H H Pf Pat Toi Pat o oo” 9 Ô. Oo À Q, et IT d on © © X (1-57) 7 (1-55) (1-56) (1-58)
H F5} F5} Fa} rat 07 oo 070 9 Q pes A > 9 (1-59) Ö x (1-60) (en | (-62)
[0027]
H H
H Lu rat Lou Pat 07 oe! 07 0 9 £ “Td 9 LL, eu OH OT Lu OH OH (1-83) (1-64) (1-65) (1-66)
H H H H Fat Lou Pat PT 0 0 070 070 07 OT 0 ou 0 oon OH (1-67) (1-68) (1-69) (1-70)
H CH3 H CHs Pt bft PET fj
O O
O O OC 9 A Ô
OH OH OC CX A
OH où 0 Gl (1-71) (1-72) On (1-73) (1-74) H CH; H CHs Pit tt Fit Ht
Ö O ea Le N 3
H OH "a X % OH OH eu (1-75) (1-78) OH (1-77) 178 H CHs var TE
O 9 ad © Oo OO
OH x S
OH OC
OH (1-79) (1-80)
[0028] Cc H CH Pnt St te TST
SO X 9 07 ce 2 ; ‘ JT — O Ox A > A oo ZA © (1-81) (1-82) (1-83) (1-84)
[0029] H CHs H CHs gt et gt rt 0,0 9 9 9 os % OL 9 hee 9 X > Len Oo \— O (1-85) (1-86) (1-87) (1-88) H CHs H CH FT TSF TE} TST
O Ö oe] 9 À 7 t, °C OC 07 > O ) ce A ° > A oO O (1-89) (1-90) (1-91) (1-92)
[0030] Il est également possible de citer à titre d'exemple, comme unité structurelle (I), des unités structurelles dans lesquelles un atome d'hydrogène correspondant à R! dans des unités structurelles représentées chacune par la formule (I-1), la formule (1-3), la formule (I- 5), la formule (I-7), la formule (I-9), la formule (I-11), la formule (I-13), la formule (I-15), la formule (1-17), la formule (1-19) , la formule (I-21), la formule (I-23), la formule (I-25), la formule (I-27), la formule (I-29), la formule (I-31), la formule (I-33), la formule (I-35), la formule (I-37), la formule (I-39), la formule (I-41), la formule (I-43), la formule (I-45), la formule (I-47), la formule (I-49), la formule (I-51), la formule (I-53), la formule (1-55) à la formule (I-70), la formule (I-71), la formule (I-73), la formule ( I-75), la formule (I-77), la formule (I-79), la formule (1-81), la formule (I-83), la formule (I-85), la formule (I-87), la formule (I-89) et la formule (1-91) est substituée par un groupe méthyle, et des unités structurales dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R* dans des unités structurelles représentées chacune par la formule (I-2), la formule (1-4), la formule (I-6), la formule (I-8), la formule (I-10), la formule (1-12), la formule (1-14), la formule (1-16), la formule (1-18), la formule (1-20), la formule (1-22), la formule (1-24), la formule (1-26), la formule (1-28), la formule (1-30), la formule (1-32), la formule (1-34), la formule (1-36) , la formule (1-38), la formule (1-40), la formule (1-42), la formule (1-44), la formule (1-46), la formule (1-48), la formule (1-50), la formule (1-52), la formule (1-54), la formule (1-72), la formule (1-74), la formule (1-76), la formule (1-78), la formule (1-80), la formule (1-82), la formule (1-84), la formule (1-86), la formule (1-88), la formule (1-90) et la formule (1-92) est substitué par un atome d'hydrogène.
[0031] La teneur en unité structurelle (I) dans la résine (A) est de préférence de 3 à 80 mol%, de préférence encore de 5 à 60 mol%, de préférence encore de 5 à 55 mol%, et de préférence encore de 5 à 50 mol%, basé sur toutes les unités structurelles.
Dans la résine (A), l'unité structurelle (I) peut être incluse seule, ou deux ou plus de celles-ci peuvent être incluses.
[0032] <Unité structurelle (A1-1) et unité structurelle (A1-2)> Une unité structurelle (a1-1) et une unité structurelle (a1-2) sont représentées par les formules suivantes: an Ra4 ar Ra5 C = C El
O O Lal La2 ef tm RT Det nt" (a1-1) (a1-2) où, dans la formule (a1-1) et la formule (a1-2), Lt et L représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH>):-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-, R°* et R® représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et nl’ représente un entier de 0 à 3.
[0033] R* et R°° sont de préférence un groupe méthyle.
L* et L22 sont de préférence un atome d'oxygène ou *-O- (CH2)ko1-CO-O- (dans lequel k01 est de préférence un entier de 1 à 4, et de préférence encore 1), et de préférence encore un atome d'oxygène.
Des exemples du groupe alkyle, de groupe alcényle, du groupe hydrocarboné alicyclique, du groupe hydrocarboné aromatique et du groupe obtenu en combinant ces groupes dans R*® et R incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R°*, R°2 et R dans formule (1) mentionnée plus loin.
Le groupe alkyle dans R°° et R?7 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe isopropyle ou un groupe t-butyle, et de préférence encore un groupe éthyle, un groupe isopropyle ou un groupe t-butyle.
Le groupe alcényle dans R° et R? est de préférence un groupe alcényle ayant 2 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthényle, un groupe propényle, un groupe isopropényle ou un groupe butényle.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique pour R3 et R? est de préférence de 5 à 12, et de préférence encore de 5 à 10.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique pour R°° et R? est de préférence de 6 à 12, et de préférence encore de 6 à 10.
En ce qui concerne le groupe obtenu en combinant un groupe alkyle et un groupe hydrocarboné alicyclique, le nombre total d'atomes de carbone de la combinaison du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 18 ou moins.
En ce qui concerne le groupe obtenu en combinant un groupe alkyle et un groupe hydrocarboné aromatique, le nombre total d'atomes de carbone de la combinaison du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 18 ou moins.
R°° et R représentent chacun indépendamment de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 12 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un isopropyle, un groupe t-butyle, un groupe éthényle, un groupe phényle ou un groupe naphtyle, et de préférence encore un groupe éthyle, un groupe isopropyle, un groupe t-butyle, un groupe éthényle ou un groupe phényle.
ml est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1.
nl est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1.
nl’ est de préférence un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1.
[0034] Des exemples d'unité structurelle (a1-1) incluent des unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans le document JP 2010-204646 A. Parmi celles-ci, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-1-1) à la formule (a1-1-7) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R°* dans l'unité structurelle (a1-1) est substitué par un atome d'hydrogène sont préférables, et une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-1-1) à la formule (a1-1-4) est plus préférable.
+ Hs Le Hs ve Ha Le Hs Le Hs Lt Hs Lt Hs seen (a1-1-1) (a1-1-2) (a1-1-3) (a1-1-5) (a1-1-6) (a1-1-7) (a1-1-4)
[0035] La teneur de l'unité structurelle (a1-1) dans la résine (A) est de préférence de 1 à 60 mol%, de préférence encore de 1 à 55 mol%, de préférence encore de 2 à 55 mol%, et de préférence encore 2 à 50 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles.
[0036] Des exemples d'unité structurelle (a1-2) incluent une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-2-1) à la formule (a1-2-12) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R® dans l'unité structurelle (a1-2) est substituée par un atome d'hydrogène, et une unité structurelle représentée par l'une quelconque des formules (a1-2-2), formule (a1-2-5), formule (a1-2-6) et formule (a1-2-10) à la formule (a1-2-12) est préférable.
Hs CH CH Ha CHs Ha CHs Hz CHs Hz CHs tent tt te tk ES} + = + St OO TO © 0 MO (a1-2-1) (a1-2-2) (a1-2-3) (a1-2-4) (a1-2-5) (a1-2-6) HS 45} + CHs ee te} Le CHs O O Ha — Oo O == | O O AS O O ‘ © ° (a1-2-7) (a1-2-8) (a1-2-9) (a1-2-10) (a1-2-11) (a1-2-12)
[0037] La teneur en l'unité structurelle (a1-2) dans la résine (A) est de préférence de 5 à 70 mol%, de préférence encore de 10 à 65 mol%, de préférence encore de 15 à 65 mol®%, et de préférence encore de 15 à 60 mole %, sur la base de toutes les unités structurelles.
La teneur totale de l'unité structurelle (a1-1) et de l'unité structurelle (a1-2) est habituellement de 10 à 95 mol%, de préférence de 15 à 80 mol%, de préférence encore de 15 à 75 mol%, de préférence encore de 20 à 70 mol%, et de préférence encore de 25 à 65 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0038] La résine (A) de la présente invention peut être un polymère comprenant une ou plusieurs unités structurelles autres que l'unité structurelle (I), l'unité structurelle (a1-1) et l'unité structurelle (a1-2). Des exemples de l'unité structurelle autre que l'unité structurelle (I), l'unité structurelle (a1-1) et l'unité structurelle (a1-2) incluent une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide autre que l'unité structurelle (I), l'unité structurelle (a1-1) et l'unité structurelle (a1-2) (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a1)»), une unité structurelle qui est une unité structurelle autre que l'unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide et a un atome d'halogène (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a4)>), une unité structurelle n'ayant pas de groupe labile en milieu acide autre que l'unité structurelle (I) (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (s) »), Une unité structurelle ayant un groupe hydrocarboné non partant (dans la suite parfois appelée « unité structurelle (a5) ») et analogues. Le «groupe labile en milieu acide» signifie un groupe ayant un groupe partant qui est éliminé par contact avec un acide, formant ainsi un groupe hydrophile (par exemple un groupe hydroxy ou un groupe carboxy).
[0039] <Unité Structurelle (a1)> L'unité structurelle (a1) est dérivée d'un monomère comprenant un groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelé « monomère (al) »).
Le groupe labile en milieu acide contenu dans la résine (A) est de préférence un groupe représenté par la formule (1) (dans la suite également appelé groupe (1)) et / ou un groupe représenté par la formule (2) (dans la suite également désigné par groupe (2)): 1 Ral * O C—O Ra? (1) ma na pas où, dans la formule (1), R2%, R° et R représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou des groupes obtenus en combinant ceux-ci, ou R“ et R22 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec les atomes de carbone auxquels R* et R* sont liés, ma et na représentent chacun indépendamment un nombre entier de 0 ou 1, et au moins un de ma et na représente 1, et * représente une position de liaison : O RaT LE O— x —R® (2) na' raz où dans la formule (2), R2 et R°° représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R°* représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R2? et R* sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec les atomes de carbone et X auxquels R°° et R°* sont liés, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hétérocyclique peut être remplacé par -O- ou - 5, X représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, na' représente 0 ou 1, et * représente une position de liaison.
[0040] Des exemples du groupe alkyle pour R°*, R22 et R incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle et un groupe octyle et analogues.
Des exemples de groupe alcényle dans R*, R2? et R°° incluent un groupe éthényle, un groupe propényle, un groupe isopropényle, un groupe butényle, un groupe isobutényle, un groupe tert-butényle, un groupe pentényle, un groupe hexényle, un groupe heptényle, un groupe octynyle, un groupe isooctynyle, un groupe nonényle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R&, R* et R peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent des groupes cycloalkyle tels qu'un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle, et les groupes suivants (* représente une position de liaison). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique pour R°*, R22 et R® est de préférence de 3 à 16. Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique dans R*, R°° et R° incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent les groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique susmentionnés (par exemple, des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels qu'un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe cyclohexylméthyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle et un groupe norbornyléthyle), des groupes aralkyle tels qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert- butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle , un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6- éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc. ), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
De préférence ma est Oet na est 1.
Lorsque R? et R sont liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique, des exemples de groupement -C(R2X)(R22)(R23) incluent les groupes suivants. Le groupe hydrocarboné alicyclique a de préférence de 3 à 12 atomes de carbone. * représente une position de liaison à -O-
, 5 Ras ras ras Ras ; Ras ; Ras Res Res DO U Co X CC CO „Ras , Ras pas ; Ras ; ras
[0041] Des exemples du groupe hydrocarboné dans R2!, R2? et R33 incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et des groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont identiques à ceux mentionnés pour R*!, R2 et R, Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent un groupe aryle, tel qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle, et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant le groupe alkyle mentionné ci-dessus et le groupe hydrocarboné alicyclique (par exemple des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels qu'un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe cyclohexylméthyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle et un groupe norbornyléthyle), des groupes aralkyle tel qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert- butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2- méthyle-6- éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.) des groupes arylcycloalkyle tel qu’un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Quand R*” et R°* sont liés l'un avec l'autre pour former un cycle hétérocyclique ensemble avec les atomes de carbone et X auxquels R?” et R® sont liés, des exemples de -C(R°*)(R°*)-X-Rincluent les cycles suivants. *représente une position de liaison.
pat pat RaT’ rat RaT RaT pat st © DO Parmi R? et R2, au moins un est de préférence un atome d'hydrogène.
na’ est de préférence 0.
[0042] Des exemples de groupe (1) incluent les groupes suivants.
Un groupe où, dans la formule (1), R°*, R22 et R® sont des groupes alkyle, ma = 0 et na = 1. Le groupe est de préférence un groupe tert-butoxycarbonyle.
Un groupe où, dans la formule (1), R2: et R sont liés l'un avec l'autre pour former un groupe adamantyle ensemble avec les atomes de carbone auxquels R°* et R sont liés, R® est un groupe alkyle, ma = 0 et na = 1.
Un groupe où, dans la formule (1), R et R22 sont chacun indépendamment un groupe alkyle, R® est un groupe adamantyle, ma = 0 etna = 1.
Des exemples spécifiques de groupe (1) incluent les groupes suivants. * représente une position de liaison.
voro 16 YO rO rho ro rb Tort 06 5-0 LL Yo ro TT bre Dr ; O - 5 2044444445
[0043] Des exemples spécifiques de groupe (2) incluent les groupes suivants. * représente une position de liaison.
Dee BA # AL A De O 27
VA MO ATO TO 0 AP 0 PD A * VA * = * * O.
PDA CS IS VC * 0. x * *
PO YO TO TO AO
S TO OO TR er A VO
[0044] Le monomère (al) est de préférence un monomère ayant un groupe labile en milieu acide et une liaison insaturée éthylénique, et de préférence encore un monomère (méth)acrylique ayant un groupe labile en milieu acide.
[0045] Parmi les monomères (méth)acryliques ayant un groupe labile en milieu acide, ceux ayant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 20 atomes de carbone sont de préférence cités à titre d'exemple. Quand une résine (A) incluant une unité structurelle dérivée d'un monomère (al) ayant une structure volumineuse comme un groupe hydrocarboné alicyclique est utilisée dans une composition de résist, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist.
[0046] L'unité structurelle dérivée d'un monomère (méth)acrylique ayant un groupe (1) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a1-0) (dans la suite parfois appelée unité structurelle (a1- 0). Ces unités structurelles peuvent être utilisées seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison :
Lt Ra01 = [ a01
RR Ra04 (a1-0) Dans la formule (a1-0), représente -O- ou *-O-(CH>)y-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, * représente un site de liaison à -CO-, R°% représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, et R2302 R23 et R°* représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou des groupes obtenus en combinant ces groupes,
[0047] R°°1 est de préférence un groupe méthyle.
L°°! est de préférence un atome d'oxygène ou *-O-(CH»)191-CO-O- (dans lequel k01 est de préférence un entier de 1 à 4, et de préférence encore 1), et de préférence encore un atome d'oxygène.
Des exemples du groupe alkyle pour R?°, R°°* et R°%* incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe n- butyle, un groupe n-pentyle, un groupe n-hexyle, un groupe n-heptyle, un groupe n-octyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique pour R°°, R°° et R2°* peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent des groupes cycloalkyle tels qu'un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle et analogues. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison).
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique pour R2302 R°03 et R* est de préférence de 3 à 16.
Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique pour R°°, R23 et R°* incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné comprennent les groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicycligue mentionnés ci-dessus (par exemple, des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels qu'un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe cyclohexylméthyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle et un groupe norbornyléthyle), des groupes aralkyle tels qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p- méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle , un groupe mésityle, un groupe 2,6- diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc. ), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique pour R®°, R°°* et R°°* est de préférence de 5 à 12, et de préférence encore de 5 à 10.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique pour R°°, R°° et R°* est de préférence de 6 à 12, et de préférence encore de 6 à 10.
En ce qui concerne le groupe obtenu en combinant un groupe alkyle et un groupe hydrocarboné alicyclique, le nombre total d'atomes de carbone de la combinaison du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 18 ou moins.
En ce qui concerne le groupe obtenu en combinant un groupe alkyle et un groupe hydrocarboné aromatique, le nombre total d'atomes de carbone de la combinaison du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 18 ou moins.
R20? et R°° sont de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe phényle ou un groupe naphtyle.
R°°%4 est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
[0048] Des exemples de l'unité structurelle (a1-0) incluent, par exemple, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1- 0-1) à la formule (a1-0-18) et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R2° dans l'unité structurelle (a1-0) est substitué avec un atome d'hydrogène et une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a1-0-1) à la formule (a1-0-10), la formule (a1-0-13) et formule (a1-0-14) sont préférables.
Hz H3 Hs Hs CH3 Hs HE er HH on ni (a1-0-1) (a1-0-2) (a1-0-3) 5 3 5 Hs CH Hs CH H3 Ha verre AH HB St (107) (a1-0-8) (a1-0-9) (a1-0-10) (a1-0-11) (a1-0-12) CH Hz Hz Hs Hs CH3 ft de EE HOT Jo EE to EF Ja ET Oo O0 OU ox (a1-0-13) (a1-0-14) (a1-0-15) (a1-0-16) (a1-0-17) (a1-0-18)
[0049] Lorsque la résine (A) inclut Vunité structurelle (a1-0), sa teneur est habituellement 5 à 60 mol%, de préférence 5 à 50 mol%, de préférence encore 10 à 40 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0050] Des exemples de l'unité structurelle ayant un groupe (2) dans l'unité structurelle (al) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a1-4) (dans la suite parfois appelée “unité structurelle (a1-4)"): R332 R333 | 5 a34 (97-8) ; ne Ra35 où, dans la formule (a1-4),
R23? représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène,
R233 représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy,
A23 représente une liaison simple ou * -X2*- (A2-x252) ne, et * représente un site de liaison à des atomes de carbone auquel -R° est lié,
A22 représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone,
x231 et X232 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou -O-CO-,
nc représente 0 ou 1,
la représente un entier de 0 à 4, et quand la est 2 ou plus, une pluralité de R233 peuvent être identiques ou différents les uns des autres,
et
R23% et R°° représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R23 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R°° et R°°° peuvent être liés l'un avec l'autre pour former un groupe hydrocarboné divalent ayant 2 à 20 atomes de carbone ensemble avec -C- O- auquel R33 et R°*° sont liés, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hydrocarboné divalent peut être remplacé par - O- ou -S-.
[0051] Des exemples d'atome d'halogène pour R23 et R233 incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène dans R222 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle.
R222 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle.
Des exemples du groupe alkyle dans R23 incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle.
Des exemples du groupe alcoxy dans R®3 incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy, un groupe tert-butoxy, un groupe pentyloxy et un groupe hexyloxy. Le groupe alcoxy est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone de préférence encore un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy.
Des exemples du groupe alcoxyalkyle dans R°* incluent un groupe méthoxyméthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe propoxyméthyle, un groupe isopropoxyméthyle, un groupe butoxyméthyle, un groupe sec- butoxyméthyle et un groupe tert-butoxyméthyle. Le groupe alcoxyalkyle est de préférence un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxyméthyle ou un groupe éthoxyéthyle, et de préférence encore un groupe méthoxyméthyle.
Des exemples du groupe alcoxyalcoxy dans R°° incluent un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy, un groupe propoxyméthoxy, un groupe isopropoxyméthoxy, un groupe butoxyméthoxy, un groupe sec- butoxyméthoxy et un groupe tert-butoxyméthoxy. Le groupe alcoxyalcoxy est de préférence un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle dans R®3 incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le groupe alkylcarbonyle est de préférence un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyle.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy dans R233 incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy. Le groupe alkylcarbonyloxy est de préférence un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyloxy.
R333 est de préférence un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode , un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe éthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyméthoxy et de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
[0052] Des exemples de *-X°*-(a2%2-X232),e- incluent *-O-, *-CO-O-, *-O- CO-, *-CO-0-A332-CO-0-, *-0-CO-A332-0-, *-O-A°°?-CO-0-, *-CO-0-A3*2-0-
CO- and *-0-CO-A332-0-CO-. De ceux-ci, *-CO-O-, *-CO-0-A332-CO-0- or *-O-A3*2_-CO-O- sont preferables.
[0053] Des exemples du groupe alcanediyle dans A incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle.
A est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
[0054] A est de préférence une liaison simple, * -CO-O- ou * -CO-O- A232-CO-O-, de préférence encore une liaison simple, * -CO-O- ou * -CO- O-CHz-CO- O-, et de préférence encore une simple liaison ou * -CO-O-.
[0055] La vaut de préférence 0, 1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de préférence encore 0.
Des exemples de groupe hydrocarboné dans R®*, R33 et r°°° incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique et les groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique. Des «exemples du groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle tels qu’un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle. Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique polycycligue incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle. Des exemples du groupe combiné incluent des groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique susmentionnés (par exemple des groupes alkylcycloalkyle ou des groupes cycloalkylalkyle tels qu'un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe cyclohexylméthyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle et un groupe norbornyléthyle), un groupe aralkyle tel qu’un groupe benzyle, un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe alkyle (un groupe p-méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyle-6- éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues. En particulier, des exemples de R836 incluent un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou des groupes formés en combinant ces groupes.
[0056] R33* est de préférence un atome d'hydrogène.
R335 est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbones, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle.
Le groupe hydrocarboné pour R2% est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou des groupes formés en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe aralkyle ayant 7 à 18 atomes de carbone. Le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique dans R°*° sont de préférence non substitués. Le groupe hydrocarboné aromatique dans R236 est de préférence un cycle aromatique ayant un groupe aryloxy ayant 6 à 10 atomes de carbone. -OC(R23%)(R235)-0-R23%6 dans l'unité structurelle (a1-4) est éliminé par contact avec un acide (par exemple, l'acide p-toluènesulfonique) pour former un groupe hydroxy. -OC(R2*)(R255)-0-R°° est de préférence lié à la position o ou à la position p du cycle benzénique, et de préférence encore à la position p.
[0057] L'unité structurelle (a1-4) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. L'unité structurelle inclut de préférence les unités structurelles représentées par la formule (a1-4-1) à la formule (a1-4-18) et une unité structurelle dans laquelle un atome d'hydrogène correspondant à R° dans l'unité structurelle (a1-4) est substitué avec un groupe méthyle, et de préférence encore des unités structurelles chacune représentée par la formule (a1-4-1) à la formule (a1-4-5), la formule (a1-4-10), la formule (a1-4-13) et la formule (a1-4-14). PET PÉTPETPET rg rdt OO. OO N°0 be 970 OO (a1-4-1) (a1-4-2) (a1-4-3) JL OO ag À et ve P&L P&L PET TPE CHs3 OCHs3 Hs OCHs L Bot or oro TO Dd tn (a1-4-8) (a1-4-9) (a1-4-10) (a1-4-11) (a1-4-12) Ve NET
ER EL BEA (a1-4-13) (a1-4-14) (a1-4-15) (a1-4-16) (a1-4-17) (a1-4-18)
[0058] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a1-4), la teneur est de préférence 1 à 60 mol%, de préférence encore 2 à 50 mal%, de préférence encore 3 à 40 mol%, sur la base du total de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0059] Des exemples de l'unité structurelle ayant un groupe (2) dérivée d'un monomère (méth)acrylique inclut aussi une unité structurelle représentée par la formule (a1-5) (dans la suite parfois appelée “unité structurelle (a1-5)”). Le Re “Et St Na Pme (a1-5)
LE AA eg Dans la formule (a1-5), R°8 représente un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, un atome d'hydrogène ou un atome d'halogène, zt représente une simple liaison ou *-(CH2)p3-CO-L°*-, h3 représente un entier de 1 à 4, et * représente un site de liaison à L°*, L°t, L°2, L°* et L** représentent chacun indépendamment -O- ou -S-, s1 représente un entier de 1 à 3, et sl’ représente un entier de 0 à 3.
[0060] Des exemples de l'atome d'halogène inclut un atome de fluor et un atome de chlore et un atome de fluor est préféré.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe fluorométhyle et un groupe trifluorométhyle.
Dans la formule (a1-5), R°® est de préférence un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe trifluorométhyle.
L° est de préférence un atome d'oxygène.
De L” et L, l’un est -O- et l'autre est -S-, de préférence.
s1 est de préférence 1.
sl’ est de préférence un entier de 0 à 2, et zt est de préférence une simple liaison ou *-CHz-CO-O-.
[0061] Des exemples de l'unité structurelle (a1-5) incluent des unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-61117 A. Parmi ces unités structurelles, les unités structurelles représentées par la formule (a1-5-1) à la formule (a1-5-4) sont préférées, et une unité structurelle représentée par la formule (a1-5-1) ou la formule (a1-5-2) est préférée davantage.
H, CH; Hs H Ho CH3 Hz H Le = AS A a} O. oO Ss S Ô ne 3 (a1-5-1) (a1-5-2) (a1-5-3) (a1-5-4)
[0062] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a1-5), la teneur est de préférence 1 à 50 mol%, de préférence encore 3 à 45 mol%, de préférence encore 5 à 40 mol%, et de préférence encore 5 à 30 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0063] Des exemples de l'unité structurelle (a1) incluent également les unités structurelles suivantes. qq EE € x © 0 59H95 (a1-3-1) (a1-3-2) (a1-3-3) (a1-3-4) (a1-3-5) (a1-3-6) (a1-3-7)
[0064] Lorsque la résine (A) comprend les unités structurelles susmentionnées, la teneur est de préférence de 5 à 60 mol%, de préférence de 5 à 50 mol% et de préférence encore de 10 à 40 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0065] Des exemples d'unité structurelle (al) incluent également les unités structurelles suivantes. Hz CH Le = | Le = | LE ++ d G D, Lu Dr DL)
Q à © (a1-6-1) (a1-6-2) (a1-6-3) Lorsque la résine (A) inclut les unités structurelles ci-dessus (a1-6-1) à (a1-6-3), la teneur est de préférence de 10 à 60 mol%, de préférence encore de 15 à 55 mol%, de préférence encore de 20 à 50 mol%, de préférence encore 20 à 45 mol%, et de préférence encore 20 à 40 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0066] <Unité Structurelle (s)> L'unité structurelle (s) dérive d'un monomère n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite appelée «monomère (s)»). Le monomère dont dérive l’unités structurelle (s), n'a pas de groupe labile en milieu acide connu dans le domaine de la résist.
L'unités structurelle (s) a de préférence un groupe hydroxy ou un cycle lactone. Lorsqu'une résine comprenant une unité structurelle ayant un groupe hydroxy et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois dénommée "unité structurelle (a2)") et / ou une unité structurelle ayant un cycle lactone et n'ayant pas de groupe labile en milieu acide (dans la suite parfois appelé «unité structurelle (a3)») est utilisé dans la composition de résist de la présente invention, il est possible d'améliorer la résolution d'un motif de résist et l'adhérence à un substrat.
[0067] <Unité Structurelle (a2)>
Le groupe hydroxy appartenant à l'unité structurelle (a2) peut être soit un groupe hydroxy alcoolique, soit un groupe hydroxy phénolique. Lorsqu'un motif de réserve est produit à partir de la composition de réserve de la présente invention, dans le cas de l'utilisation, comme source d'exposition, de rayons à haute énergie tels qu'un laser excimère KrF (248 nm), un faisceau d'électrons ou une lumière ultraviolette extrême (EUV), l'unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy phénolique est de préférence utilisée comme unité structurelle (a2), et il est davantage préférable d'utiliser une unité structurelle (a2-A) mentionnée ci-dessous. Lors de l'utilisation d'un laser excimère ArF (193 nm) ou analogue, une unité structurelle (a2) ayant un groupe hydroxy alcoolique est de préférence utilisée comme unité structurelle (a2), et il est plus préférable d'utiliser une unité structurelle (a2-1) mentionné plus loin. L'unité structurelle (a2) peut être incluse seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses.
[0068] Dans l'unité structurelle (a2), des exemples de l'unité structurelle ayant un groupe hydroxy phénolique comprennent une unité structurelle représentée par la formule (a2-A) (dans la suite parfois appelée «unité structurelle (a2-A)»): H, RS + A250 (a2-A) Don (RS) où, dans la formule (a2-A), R250 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R°°! représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A20 représente une simple liaison ou *-X2**-(a252-X252) 5", et * représente un site de liaison aux atomes de carbone auxquels -R°° est lié, A? représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°!1 et X? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou - O-CO-, nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et quand mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R°* peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0069] Des exemples d'atome d'halogène dans R® et R°* incluent un atome de fluor, un atome de chlore et un atome de brome. Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène dans R2°° incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle et un groupe perfluorohexyle. R°50 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle. Des exemples de groupe alkyle dans R°* incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle. Le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un groupe méthyle.
Des exemples de groupe alcoxy dans R°** incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe isopropoxy, un groupe butoxy, un groupe sec-butoxy et un groupe tert-butoxy. Le groupe alcoxy est de préférence un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxy ou un groupe éthoxy, et de préférence encore un groupe méthoxy.
Des exemples du groupe alcoxyalkyle dans R°** inclunent un groupe méthoxyméthyle, un groupe éthoxyéthyle, un groupe propoxyméthyle, un groupe isopropoxyméthyle, un groupe butoxyméthyle, un groupe sec- butoxyméthyle et un groupe tert-butoxyméthyle. Le groupe alcoxyalkyle est de préférence un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un groupe méthoxyméthyle ou un groupe éthoxyéthyle, et de préférence encore un groupe méthoxyméthyle.
Des exemples du groupe alcoxyalcoxy dans R°** incluent un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy, un groupe éthoxyéthoxy, un groupe propoxyméthoxy, un groupe isopropoxyméthoxy, un groupe butoxyméthoxy, un groupe sec- butoxyméthoxy et un groupe tert-butoxyméthoxy. Le groupe alcoxyalcoxy est de préférence un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle dans R®* incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le groupe alkylcarbonyle est de préférence un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyle.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy dans R®* incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy et un groupe butyryloxy. Le groupe alkylcarbonyloxy est de préférence un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 3 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe acétyloxy.
R®1 est de préférence un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 4 atomes de carbone ou un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 8 atomes de carbone, de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode , un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe éthoxyéthoxy ou un groupe éthoxyméthoxy, et de préférence encore un atome de fluor, un atome d'iode, un groupe hydroxy, un groupe méthyle, un groupe méthoxy ou un groupe éthoxyéthoxy.
[0070] Des exemples de *-X°°*-(A252-X252) p- incluent *-O-, *-CO-O-, *-O- CO-, *-CO-O-A3?-CO-O-, *-0-CO-A352-0-, *-O-A°°?-CO-O-, *-CO-0-A°*?-0- CO- et *-0-CO-A%2-0-CO-. Parmi ceux-ci, *-CO-O-, *-CO-O-A°**-CO-0- ou *-O-A352-CO-O- est préféré.
[0071] Des exemples de groupe alcanediyle dans A22 incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5- diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle.
A? est de préférence un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
[0072] A°° est de préférence une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-O-A°*2- CO-O-, de préférence encore une simple liaison, *-CO-O- ou *-CO-O-CH>- CO-O-, et de préférence encore une simple liaison ou *-CO-O-.
[0073] mb est de préférence 0, 1 ou 2, de préférence encore 0 ou 1, et de de préférence encore 0.
Le groupe hydroxy est de préférence lié à la position ortho ou la position para du cycle benzène, et de préférence encore la position para.
[0074] Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204634 A et JP 2012-12577 A.
[0075] Des exemples d'unité structurelle (a2-A) incluent les unités structurelles représentées par la formule (a2-2-1) à la formule (a2-2-16), et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à
R350 dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par la formule (a2- 2-1) à la formule (a2-2-16). L'unité structurelle (a2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-1), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-3), une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-6 ) une unité structurelle représentée par la formule (a2-2-8), des unités structurelles représentées par la formule (a2-2-12) à la formule (a2-2-14), et une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R°*° dans l'unité structurelle (a2-A) est substitué par un atome d'hydrogène dans ces unités structurelles. Péri ré RES tf} PES ST EF EE ®% H N H duo (a2-2-1) (a2-2-2) (a2-2-3) (a2-2-4) (a2-2-5) (a2-2-6) (a2-2-7) (a2-2-8) eee me OH du” Ho HOT ' HT ' OH ' OH PRO duf (a2-2-9) (a2-2-10) (a2-2-11) (a2-2-12) (a2-2-13) (a2-2-14) (a2-2-15) (a2-2-16)
[0076] Quand l'unité structurelle (a2-A) est incluse dans la résine (A), la teneur de l'unité structurelle (a2-A) est de préférence 1 à 80 mol%, de préférence encore 3 à 70 mol%, de préférence encore 5 à 60 mol%, et de préférence encore 10 à 50 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles. L'unité structurelle (a2-A) peut être incluse dans une résine (A) par traitement avec un acide comme l'acide p-toluènesulfonique après polymérisation, par exemple, avec une unité structurelle (a1-4). L'unité structurelle (a2-A) peut aussi être incluse dans la résine (A) par traitement avec une substance alcaline comme l'hydroxyde de tétraméthylammonium après polymérisation avec l'acétoxystyrène.
[0077] Des exemples d'unité structurelle ayant un groupe hydroxy alcoolique dans l’unité structurelle (a2) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a2-1) (dans la suite parfois appelée “unité structurelle (a2-1)”).
H, Ra14 | = | 183 (a2-1) Or
H Ra16 Dans la formule (a2-1), L°* représente -O- ou *-O-(CHz)z-CO-O-, k2 représente un entier de 1 à 7, et * représente un site de liaison à -CO-, R2!* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°15 et RÉ représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe hydroxy, et 01 représente un entier de 0 à 10.
[0078] Dans la formule (a2-1), L®3 est de préférence -O- ou -O-(CH»)-CO- O- (fl représente un entier de 1 à 4), et de préférence encore -O-, R31* est de préférence un groupe méthyle, R2!5 est de préférence un atome d'hydrogène, R°16 est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe hydroxy, et ol est de préférence un entier de 0 à 3, et de préférence encore 0 ou 1.
[0079] L'unité structurelle (a2-1) inclut, par exemple, les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A. Une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-1-1) à la formule (a2-1-6) est préférée, une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a2-1-1) à la formule (a2- 1-4) est préférée encore, et une unité structurelle représentée par la formule (a2-1-1) ou la formule (a2-1-3) est préférée encore.
Hz CH, Ha H Ho CH, Hz H [es | JE: H C € C ++ Ds, EF C + O + O + O + O O
Ö Ö Ö Ö O Do Do Do Da HO 5
OH OH (a2-1-1) (a2-1-2) (a2-1-3) (a2-1-4)
OH OH
H OH (a2-1-5) (a2-1-6)
[0080] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a2-1), la teneur est habituellement de 1 à 45 mol%, de préférence de 1 à 40 mol%, de préférence encore de 1 à 35 mol%, de préférence encore de 1 à 20 mol% et de préférence encore de 1 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0081] <Unité structurelle (a3)> Le cycle lactone appartenant à l'unité structurelle (a3) peut être un cycle monocyclique comme un cycle B-propiolactone, un cycle y- butyrolactone ou un cycle à-valérolactone, ou un cycle condensé d'un cycle lactone monocyclique et de l'autre cycle. De préférence, un cycle y- butyrolactone, un cycle adamantanelactone ou un cycle ponté incluant une structure cyclique de y-butyrolactone (par exemple une unité structurelle représentée par la formule suivante (a3-2)) est cité à titre d'exemple.
[0082] L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (a3-1), la formule (a3-2), la formule (a3-3) ou la formule (a3-4). Ces unités structurelles peuvent être incluses seules, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être incluses: Ra18 rats ie f | | CHz=-C CH 4 CHC CHz-C tzt tet Tet tzt ha Ls Xa 16 a7 (Rp (R222) 1 (re, Sn Oo
OD O
Ô (a3-1) (a3-2) (a3-3) (a3-4)
où, dans la formule (a3-1), la formule (a3-2), la formule (a3-3) et la formule (a3-4), L°*, L® et L° représentent chacun indépendamment -O- ou un groupe représenté par *-O-(CHz)(3-CO-O- (k3 représente un entier de 1 à 7), L? représente -O-, *-O-L°8-0-, *-O-L°8-CO-O-, *-O-L°8-CO-O-L°°- CO-O- ou *-0-L3-0-CO-L°-0-, L® et L°° représentent chacun indépendamment un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, * représente un site de liaison à un groupe carbonyle, RAS R°19 et RO représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R22* représente un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, un atome d'hydrogène ou un atome d'halogène, X°* représente -CHz- ou un atome d'oxygène, R°21 représente un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, R322 R223 et R225 représentent chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 4 atomes de carbone, p1 représente un entier de 0 à 5, q1 représente un entier de 0 à 3, rl représente un entier de 0 à 3, wl représente un entier de 0 à 8, et quand pl, q1, rl et/ou wl est/sont 2 ou plus, une pluralité de R°*, R322 R°° et/ou R°°° peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
[0083] Des exemples du groupe hydrocarboné aliphatique dans R°*, R222, R223 et R22° incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle et un groupe tert-butyle.
Des exemples d'atome d'halogène dans R2?* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle dans R** incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle et un groupe hexyle, et le groupe alkyle est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthyle ou un groupe éthyle. Des exemples de groupe alkyle ayant un atome d'halogène dans R22 incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert- butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe trichlorométhyle, un groupe tribromométhyle, un groupe triiodométhyle et analogues.
[0084] Des exemples de groupe alcanediyle dans L® et L® incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe butane-1,3- diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane- 1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4- diyle.
[0085] Dans la formule (a3-1) à la formule (a3-3), de préférence, L* à Lê° sont chacun indépendamment -O- ou un groupe dans lequel k3 est un enter de 1 à 4 dans *-O-(CH2)es-CO-O-, de préférence encore -O- et *-O- CH2-CO-O-, et de préférence encore un atome d'oxygène, RAS à R°2! sont de préférence un groupe méthyle, de préférence, R°°? et R223 sont chacun indépendamment un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle, et de préférence, pl, q1 et rl sont chacun indépendamment un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1.
[0086] Dans la formule (a3-4), R°°* est de préférence un atome d'hydrogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un atome d'hydrogène, un groupe méthyle ou un groupe éthyle, et de préférence encore un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R22 est de préférence un groupe carboxy, un groupe cyano ou un groupe méthyle, L” est de préférence -O- ou *-O-L°°-CO-O-, et de préférence encore -O-, -0-CH2-CO-0- ou -0-C:H4-CO-0-, et wl est de préférence un entier de 0 à 2, et de préférence encore 0 ou 1. En particulier, la formule (a3-4) est de préférence la formule (a3- 4)" 7 Tt 7
Ö (a3-4)' où R°°* et L sont tels que ceux définis ci-dessus.
[0087] Des exemples d'unité structurelle (a3) incluent les unités structurelles dérivées des monomères mentionnés dans JP 2010-204646 A, des monomères mentionnés dans JP 2000-122294 A et des monomères mentionnés dans JP 2012-41274 A. L'unité structurelle (a3) est de préférence une unité structurelle représentée par l'une quelconque de la formule (a3-1-1), la formule (a3-1-2), la formule (a3-2-1), la formule (a3- 2-2), la formule (a3-3-1), la formule (a3-3-2) et la formule (a3-4-1) à la formule (a3-4-12), et les unités structurelles dans lesquelles les groupes méthyle correspondant à R#8, RS, R220 et R°2* dans la formule (a3-1) à la formule (a3-4) sont substitués avec des atomes d'hydrogène dans les unités structurelles ci-dessus.
[0088]
Hs Hs Ha Ha Hz Hs Hs Hs “ou LZ Pet Jen EH Jr EG} Hohn 9 VA, EA RA (a3-1-1) DS (a3-2-1) ok (03-21) 7 (23:31) 7 (a3-1-2) (23-22) (a3-2x-2) (0832)? 2 Ha H u a ee U © 70 070 © © 9 © RL TX 4 O, © AQ 29 À Le Ô 0 4. (a3-4-1) (a 345 (6343) 63-44) sk (23-45) (a3-4-6) Ho H Ha H2 Ha Hz ET cf Hs Lis ca cs cp etes BE Het SE HE à % tT x à
O Ô O Ô ie L 8 C O, 0. Ô (8347) (a3-4-8)8 Ô ô (a3-4-9) (a3-4-10)4 (a3-4-11) À (a3-4-12)
[0089] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a3), la teneur totale est habituellement de 1 à 70 mol%, de préférence de 3 à 65 mol%, et de préférence encore de 5 à 60 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A). Chaque teneur de l'unité structurelle (a3-1), de l'unité structurelle (a3-2), de l'unité structurelle (a3-3) ou de l'unité structurelle (a3-4) est de préférence de 1 à 60 mol%, de préférence encore de 3 à 50 mol%, et de préférence encore de 5 à 50 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0090] <Unité structurelle (a4)> Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent les unités structurelles suivantes:
+4 O (a4)
OQ Nez où, dans la formule (a4), R* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, et R°? représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 24 atomes de carbone qui a un atome d'halogène, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou —CO-.
Des exemples de groupe hydrocarboné représenté par R incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
[0091] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison).
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés saturés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicycligue, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique-groupe alkyle et analogues.
[0092] Des exemples d'unité structurelle (a4) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a4-0), une unité structurelle représentée par la formule (a4-1) et une unité structurelle représentée par la formule (a4-4): R54 bont (a4-0)
O
X L4a / L3a Nes où, dans la formule (a4-0), R°* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L“ représente une simple liaison ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, L3 représente un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone ou un groupe perfluorocycloalcanediyle ayant 3 à 12 atomes de carbone, et RÉ représente un atome d'hydrogène ou un atome de fluor.
[0093] Des exemples du groupe alcanediyle dans L* incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle et un groupe butane-1,4-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle et un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle.
[0094] Des exemples de groupe perfluoroalcanediyle dans L* incluent un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoroethylfluoromethylene, un groupe perfluoropropane-1,3-diyle, un groupe perfluoropropane-1,2-diyle, un groupe perfluoropropane-2,2-diyle,
un groupe perfluorobutane-1,4-diyle, un groupe perfluorobutane-2,2-diyle, un groupe perfluorobutane-1,2-diyle, un groupe perfluoropentane-1,5- diyle, un groupe perfluoropentane-2,2-diyle, un groupe perfluoropentane- 3,3-diyle, un groupe perfluorohexane-1,6-diyle, un groupe perfluoro- hexane-2,2-diyle, un groupe perfluorohexane-3,3-diyle, un groupe perfluoroheptane-1,7-diyle, un groupe perfluoroheptane-2,2-diyle, un groupe perfluoroheptane-3,4-diyle, un groupe perfluoroheptane-4,4-diyle, un groupe perfluorooctane-1,8-diyle, un groupe perfluorooctane-2,2-diyle, un groupe perfluorooctane-3,3-diyle, un groupe perfluorooctane-4,4-diyle et analogues.
Des exemples de groupe perfluorocycloalcanediyle dans L* incluent un groupe perfluorocyclohexanediyle, un groupe perfluoro- cyclopentanediyle, un groupe perfluorocycloheptanediyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0095] L® est de préférence une simple liaison, un groupe méthylène ou un groupe éthylène, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L3 est de préférence un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle ayant 1 à 3 atomes de carbone.
[0096] Des exemples d'unité structurelle (a4-0) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R°* dans l'unité structurelle (a4-0) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles suivantes :
H H H H H H SS pt pet Le pt
F F FH F2 F, F2 FE Fa Se 2 HE, 2 F3 F2H (a4-0-5) (a4-0-6) (84-0-1) (a4-0-2) (84-0-3) (a4-0-4) Hs Ha Ha Ha Ha Hs
H H H H H Lie cuite sue LRU SUR Pet
F F F F oFs F 2 F 2 F 3 “tr, ‘br, E17 ° (a4-0-7) (a4-0-8) F3 (84-0-9) (84-09-10) (84-0-11) (a4-0-12)
H H H H ester tet Test cf c go VAL Ç 215 215 F Fis
F eN (24-0-13) (a4-0-14) @ 40-15) (a4-0-16)
[0097] Ra41 Hz
C
Ö \nadı (a4-1) / = Ra42 où, dans la formule (a4-1), R31 représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°*2 représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, A! représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut avoir un substituant ou un groupe représenté par la formule (a-g1), dans lequel au moins l'un de A?*! et R° a, comme substituant, un atome d'halogène (de préférence un atome de fluor) : ik — wen aje A24 4 (a-g1) Ss dans lequel , dans la formule (a-g1),
s représente 0 ou 1, A et A?* représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, A23 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 5 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, xe et X°*2 représentent chacun indépendamment -O-, -CO-, -CO- O- ou -O-CO-, dans lequel le nombre total d'atomes de carbone de AIR, AB A21 Xe et X°°° est 7 ou moins], et * est un site de liaison et * sur le côté droit est un site de liaison à - O-CO-R2%,
[0098] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé dans R°* incluent un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique ou polycyclique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
[0099] Des exemples du groupe hydrocarboné saturé à chaîne incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique saturé monocyclique ou polycyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente une liaison).
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent les groupes formés en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés saturés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique -groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné saturé alicyclique -groupe alkyle et analogues.
[0100] Des exemples de substituant appartenant à R** incluent au moins un choisi dans le groupe consistant en un atome d'halogène et un groupe représenté par la formule (a-g3). Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode, et l'atome d'halogène est de préférence un atome de fluor: + ——Xa43— a a45 (a-g3) où, dans la formule (a-g3), X? représente un atome d'oxygène, un groupe carbonyle, *-O-CO- ou *-CO-0-, A: représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et * représente un site de liaison à R2*2.
Dans R2*2-X2*3.A3%5 quand R°*? n'a pas d'atome d'halogène, A? représente un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant au moins un atome d'halogène.
[0101] Des exemples du groupe hydrocarboné saturé dans A? incluent les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe décyle, un groupe dodécyle, un groupe pentadécyle, un groupe hexadécyle, un groupe heptadécyle et un groupe octadécyle; les groupes hydrocarbonés alicycliques monocycliques comme un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle et un groupe cyclooctyle; et les groupes hydrocarbonés alicycliques polycycliques comme un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants (* représente un site de liaison).
Des exemples de groupe formé par combinaison incluent un groupe obtenu en combinant un ou plusieurs groupes alkyle ou un ou plusieurs groupes alcanediyle avec un ou plusieurs groupes hydrocarbonés alicycliques, et incluent un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle, un groupe alcanediyle-groupe hydrocarboné alicyclique-groupe alkyle et analogues.
[0102] R°*2 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé ayant éventuellement un atome d'halogène, et de préférence encore un groupe alkyle ayant un atome d'halogène et/ou un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3).
Quand R** est un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné saturé ayant un atome de fluor est préféré, un groupe perfluoroalkyle ou un groupe perfluorocycloalkyle est préféré encore, un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone est préféré encore, et un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 3 atomes de carbone est particulièrement préféré. Des exemples de groupe perfluoroalkyle incluent un groupe perfluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe perfluoroheptyle et un groupe perfluorooctyle. Des exemples de groupe perfluorocycloalkyle incluent un groupe perfluorocyclohexyle et analogues.
Quand R?*? est un groupe hydrocarboné saturé ayant un groupe représenté par la formule (a-g3), le nombre total d'atomes de carbone de Rt est de préférence 15 ou moins, et de préférence encore 12 ou moins, incluant le nombre d'atomes de carbone inclus dans le groupe représenté par la formule (a-g3). Quand il a le groupe représenté par la formule (a- g3) comme substituant, leur nombre est de préférence 1.
[0103] Quand R°* est un groupe hydrocarboné saturé ayant le groupe représenté par la formule (a-g3), R** est de préférence encore un groupe représenté par la formule (a-g2) : + —A246— a44_—_ Aa47 (a-g 2) où, dans la formule (a-g2),
A°*° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, X21* représente **-O-CO- ou **-CO-O- (** représente un site de liaison à A2), A représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, le nombre total d'atomes de carbone de A°°, A? et X°** est 18 ou moins, et au moins l'un de A°* et A°* à au moins un atome d'halogène, et * représente un site de liaison à un groupe carbonyle.
[0104] Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé pour A°*° est de préférence 1 à 6, et de préférence encore 1 à 3.
Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé pour A? est de préférence 4 à 15, et de préférence encore 5 à 12, et A?” est de préférence encore un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle.
[0105] La structure préférée du groupe représenté par la formule (a-g2) est la structure suivante (* est un site de liaison à un groupe carbonyle).
Fa Fz „Fo Fo F, F, Q F, Q F, Q ADD TG AAO #40 #40
[0106] Des exemples de groupe alcanediyle dans A°* incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle et un groupe hexane-1,6-diyle; et les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe 1- méthylbutane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle.
Des exemples de substituant dans le groupe alcanediyle représenté par A°# incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone.
A°*! est de préférence un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, de préférence encore un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0107] Des exemples du groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par A, A3 et A?* dans le groupe représenté par la formule (a-g1) incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique, et un groupe hydrocarboné saturé divalent formé en combinant un groupe alcanediyle et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe 1-méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle et analogues.
Des exemples de substituant du groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par A?*?2, A? et A** incluent un groupe hydroxy et un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone.
s est de préférence 0.
[0108] Dans un groupe représenté par la formule (a-g1), des exemples de groupe dans lequel X** est -O-, -CO-, -CO-O- ou -O-CO- incluent les groupes suivants. Dans les exemples suivants, * et ** représentent chacun un site de liaison, et ** est un site de liaison à -O-CO-R®**, YT _ AT Le A ï 0 O O O
[0109] Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) incluent les unités structurelles suivantes, et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R** dans l'unité structurelle représentée par la formule (a4-1) dans les unités structurelles suivantes est substitué avec un atome d'hydrogène.
Hs Hs Hs Hs Ha Ha [ers [ers {er er: {ers {ers
O O 0 O O O O O HF, F3 F2 F5 Fa Fo FH F3 F2 + F2 (a4-1-1) (a4-1-2) (a4-1-3) (a4-1-4) HF2 F3 (a4-1-5) (a4-1-6) Hz Hs Hs Hs H PA PA Pf EE LS O O O A ok F2 F2 F2 F2 R F F2 F2 F2G F F2 Pr? F2 F2 F FHC F3 F2 F2 F HF, F3 (2417) (2118) (a4-1-9) (a4-1-10) (a4-1-11)
[0110] Hs Hs Hz Hs Hg Hg fer Jon er: er: er: “jen
O O O O O O + + O OÖ:
F F F F F F Fo _ pd? F2 _ FC _ Fa 5e F > F + 2 + 2 ° 2 © 2 ° 2 (a4-1'-1) (a4-1'-2) (a4-1'-3) (a4-1-4) À (a4-1'-5) (a4-1'-6) Hs Hs H CH er: Hs Hs + 3
CH CH tl od HS 1 7 5 Oo o F2 Fo 3 o Ae F, F2 Fa 2 DF, FoC
O d ' (a4-1'-7) (a4-1-8) (a4-1'-9) (a4-1"-10) (a4-1"-11)
[0111] Des exemples de l'unité structurelle représentée par la formule (a4- 1) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a4-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a4-3): Ho RS
TT 7 O (a4-2)
A do où, dans la formule (a4-2), R® représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L* représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et le -CHz- inclus dans le groupe alcanediyle peut être remplacé par -O- ou -CO-, R® représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 20 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L* et R® est 21.
[0112] Des exemples du groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone pour L*% incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour
AH Des exemples de groupe hydrocarboné saturé pour R incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R°.
Le groupe alcanediyle dans L* est de préférence un groupe alcanediyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe éthylène.
[0113] Des exemples de l'unité structurelle représentée par la formule (a4- 2) incluent les unités structurelles dont chacune est représentée par la formule (a4-1-1) à la formule (a4-1-11). II est également possible de citer à titre d'exemple comme unité structurelle représentée par la formule (a4- 2), une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R® dans une unité structurelle (a4-2) est substitué avec un atome d'hydrogène.
[0114] Hz RP
PA O o ls O7 (a4-3) > Je A14 où, dans la formule (a4-3), R représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, L° représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, AS représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor, X? représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison à A), A représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 17 atomes de carbone ayant éventuellement un atome de fluor, et au moins l'un de Afl3 et Af? a un atome de fluor, et la limite supérieure du nombre total d'atomes de carbone de L5, Af? et Alt est 20.
[0115] Des exemples de groupe alcanediyle dans L° incluent ceux qui sont les mêmes que ceux mentionnés pour A?*.
[0116] Le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant éventuellement un atome de fluor dans Afl? est de préférence un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant éventuellement un atome de fluor et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant éventuellement un atome de fluor, et de préférence encore un groupe perfluoroalcanediyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant éventuellement un atome de fluor incluent les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle; et les groupes perfluoroalcanediyle comme un groupe difluorométhylène, un groupe perfluoroéthylène, un groupe perfluoropropanediyle, un groupe perfluorobutanediyle et un groupe perfluoropentanediyle. Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant éventuellement un atome de fluor peut être monocyclique ou polycyclique.
Des exemples de groupe monocyclique incluent un groupe cyclohexane- diyle et un groupe perfluorocyclohexanediyle. Des exemples de groupe polycyclique incluent un groupe adamantanediyle, un groupe norbornane- diyle, un groupe perfluoroadamantanediyle et analogues.
[0117] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé et de groupe hydrocarboné saturé ayant éventuellement un atome de fluor pour AF* incluent les mêmes groupes que ceux mentionnés pour R°*2, Parmi ces groupes, sont préférés les groupes alkyle fluorés comme un groupe trifluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe méthyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe 2,2,2-trifluoroéthyle, un groupe 1,1,2,2-tétrafluoroéthyle, un groupe éthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe 2,2,3,3,3-pentafluoropropyle, un groupe propyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe 1,1,2,2,3,3,4,4-octafluorobutyle, un groupe butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe 2,2,3,3,4,4,5,5,5- nonafluoropentyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe perfluorohexyle, un groupe heptyle, un groupe perfluoroheptyle, un groupe octyle et un groupe perfluorooctyle; un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe — perfluorocyclohexyle, un groupe adamantyle, un groupe adamantylméthyle, un groupe adamantyldiméthyle, un groupe norbornyle, un groupe norbornylméthyle, un groupe perfluoroadamantyle, un groupe perfluoroadamantylméthyle et analogues.
[0118] Dans la formule (a4-3), L° est de préférence un groupe éthylène.
Le groupe hydrocarboné saturé divalent pour Af!3 est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent ayant 2 à 3 atomes de carbone.
Le groupe hydrocarboné de AF* est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné à chaîne saturé ayant 3 à 12 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé à chaîne ayant 3 à 10 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 10 atomes de carbone. Parmi ces groupes, A** est de préférence un groupe incluant un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclopropylméthyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe norbornyle et un groupe adamantyle.
[0119] Des exemples de l'unité structurelle représentée par la formule (a4- 3) incluent des unités structurelles dont chacune est représentée par la formule (a4-1-1) à la formule (a4-1"-11). Il est également possible de citer à titre d'exemple comme l’unité structurelle représentée par la formule (a4-3), une unité structurelle dans laquelle un groupe méthyle correspondant à R dans une unité structurelle (a4-3) est substitué avec un atome d'hydrogène.
[0120] Des exemples de l’unité structurelle (a4) incluent une unité structurelle représentée par la formule (a4-4): eu ° Ao SU (a4-4) pa” où, dans la formule (a4-4), R2! représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
A1 représente -(CHz);1-, -(CH2);2-O-(CH2)is- ou -(CH2)j4-CO-0- (CH2)js-, jl à j5 représentent chacun indépendamment un entier de 1 à 6, et R22 représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
[0121] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé pour R? incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé représenté par R°*2, Rf? est de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor ou un groupe hydrocarboné saturé alicyclique ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, de préférence encore un groupe alkyle ayant 1 à 10 atomes de carbone ayant un atome de fluor, et de préférence encore, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant un atome de fluor.
[0122] Dans la formule (a4-4), A”! est de préférence -(CHz)1-, de préférence encore un groupe éthylène ou un groupe méthylène, et de préférence encore un groupe méthylène.
[0123] L'unité structurelle représentée par la formule (a4-4) inclut, par exemple, les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R* dans l'unité structurelle (a4-4) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles représentées par les formules suivantes.
Hs Hz Hs Hs Hs Hz Hz T T 7 Pl Pt T B 0: 0: O O: O:
O F3 F2 Fo 4 + HF, R F3 F3 Fo FoH R Fa HF» A ‘ ós Hs Hz Hs Hs Ha Hz Hs Hz PP Ten} tors Tete te} ton
O O O O O
O Fa F3 F, O F3 Fa F2 F4 F2 Fo Fo F2 F2 Fa F3 Fo F2 F3 4 Fa F3 F2 F, F2 F3 F3 F3
[0124] Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a4), la teneur est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol%, et de 5 préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0125] <Unité structurelle (a5)> Des exemples de groupe hydrocarboné non partant appartenant à l'unité structurelle (a5) incluent les groupes ayant un groupe hydrocarboné linéaire, ramifié ou cyclique. Parmi ceux-ci, l'unité structurelle (a5) est de préférence un groupe ayant un groupe hydrocarboné alicyclique. L'unité structurelle (a5) inclut, par exemple, une unité structurelle représentée par la formule (a5-1) : 51 H2 (a5-1) \ 55
J R52 où, dans la formule (a5-1), R°? représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle,
R°? représente un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone, et L°° représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-.
[0126] Le groupe hydrocarboné alicyclique dans R° peut être monocycligue ou polycyclique. Le groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique inclut, par exemple, un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle et un groupe cyclohexyle. Le groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique inclut, par exemple, un groupe adamantyle et un groupe norbornyle.
Le groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 8 atomes de carbone inclut, par exemple, les groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique ayant un substituant incluent un groupe 3-méthyladamantyle et analogues.
R? est de préférence un groupe hydrocarboné alicyclique non substitué ayant 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe adamantyle, un groupe norbornyle ou un groupe cyclohexyle.
[0127] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans L°° incluent un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent, et un groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent est préféré.
Le groupe hydrocarboné saturé à chaîne divalent inclut, par exemple, les groupes alcanediyle comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propanediyle, un groupe butanediyle et un groupe pentanediyle.
Le groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent peut être monocyclique ou polycyclique. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclopentanediyle et un groupe cyclohexanediyle. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé alicyclique polycyclique divalent incluent un groupe adamantanediyle et un groupe norbornanediyle.
[0128] Des exemples du groupe dans lequel -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L°° est remplacé par -O- ou - CO- incluent les groupes représentés par la formule (L1-1) à la formule (L1-4). Dans les formules suivantes, * et ** représentent chacun un site de liaison, et * représente un site de liaison à un atome d'oxygène.
ET Le lk LA A er” ea Se en (L1-1) (L1-2) (L1-3) (L1-4) ) Dans la formule (L1-1), X représente *-O-CO- ou *-CO-O- (* représente un site de liaison àL%, LD représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, L* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L* et L* est 16 ou moins.
Dans la formule (L1-2), LS représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, L* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L3 et L** est 17 ou moins.
Dans la formule (L1-3), L* représente un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone, L$ et LY représentent chacun indépendamment une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L°, L® et LY est 15 ou moins.
Dans la formule (L1-4),
L8 et L représentent une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone, W* représente un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 15 atomes de carbone, et le nombre total d'atomes de carbone de L’® L9 et W* est 15 ou moins.
[0129] L* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison.
LG est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L$ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe méthylène ou un groupe éthylène.
L“ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
L$ est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
L*° est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé aliphatique divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe méthylène.
W* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent ayant 3 à 10 atomes de carbone, et de préférence encore un groupe cyclohexanediyle ou un groupe adamantanediyle.
[0130] Le groupe représenté par la formule (L1-1) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. + xx * 2 dx #13 xp Ÿ C4 +k AN * 8 ek H CH Hs O ok Ö N + 07 A Ô 2 Hs CHs
[0131] Le groupe représenté par la formule (L1-2) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. OA de HT Hs Hz 3 Do Aho” Aho” Aho” Aho”
[0132] Le groupe représenté par la formule (L1-3) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants.
Hs 0 + DNA DIN” NA, A CH;
[0133] Le groupe represente par la formule (L1-4) inclut, par exemple, les groupes divalents suivants. xx O ait * Oase AO „IT A A Q xx À Va * Q xx SO ts A}
[0134] L° est de préférence une simple liaison ou un groupe représenté par la formule (L1-1).
[0135] Des exemples d'unité structurelle (a5-1) incluent les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe méthyle correspondant à R° dans l'unité structurelle (a5-1) est substitué avec un atome d'hydrogène dans les unités structurelles suivantes.
H Per ré Fr F = Eu (a5-1-1) (a5-1-2) (a5-1-3) (a5-1-4) (a5-1-5) (a5-1-6) oh tort} fon Bü Jon PEL Hont} donk
O (a5-1-7) (a5-1-8) (a5-1-9) (a5-1-10) (a5-1-11) (a5-1-12)
[0136]
H H H H H H ra sf "Pp “B PF "Pp (a5-1-13) (a5-1-14) (a5-1-15) (a5-1-16) (a5-1-17) (a5-1-18) Quand la résine (A) inclut l'unité structurelle (a5), la teneur est de préférence 1 à 30 mol%, de préférence encore 2 à 20 mol%, et de préférence encore 3 à 15 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0137] <Unité structurelle (II)> La résine (A) peut inclure en outre une unité structurelle qui est décomposée par exposition à un rayonnement pour générer un acide (dans la suite parfois appelée « unité structurelle (IT) »). Des exemples spécifiques de l'unité structurelle (IT) incluent les unités structurelles mentionnées dans JP 2016-79235 A, et une unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale ou une unité structurelle ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale sont préférées.
[0138] L'unité structurelle ayant un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate et un cation organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") :
RS NU (11-2-A') Asie ZA+ où, dans la formule (II-2-A"), xIB représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, ou un groupe hydroxy, A“ représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alcanediyle peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, RA’ représente un groupe sulfonate ou un groupe carboxylate, RTS représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et ZA‘ représente un cation organique.
[0139] Des exemples d'atome d'halogène représenté par RS incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par RS incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R°S, Des exemples de groupe alcanediyle ayant 1 à 8 atomes de carbone représenté par A“ incluent un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe éthane- 1,1-diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle, un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle et analogues.
Des exemples du groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peut être substitué dans A“ incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert-butyle, un groupe perfluoropentyle, un groupe perfluorohexyle et analogues.
[0140] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par X!B incluent un groupe alcanediyle linéaire ou ramifié, un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou une combinaison de ceux-ci.
Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6- diyle, un groupe heptane-1,7-diyle, un groupe octane-1,8-diyle, un groupe nonane-1,9-diyle, un groupe décane-1,10-diyle, un groupe undécane- 1,11-diyle et un groupe dodécane-1,12-diyle; les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe butane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane- 1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4- diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle; des groupes hydrocarbonés saturés alicycliques monocycliques divalents, par exemple, les groupes cycloalcanediyles comme un groupe cyclobutane-1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3-diyle, un groupe cyclohexane-1,4-diyle et un groupe cyclooctane-1,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques polycycliques divalents comme un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
[0141] Ceux dans lesquels -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé sont remplacés par -O-, -S- ou -CO- incluent, par exemple, les groupes divalents représentés par la formule (X1) à la formule (X53). Avant le remplacement de -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé par -O-, -S- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone est 17 ou moins. Dans les formules suivantes, * et ** représentent un site de liaison, et * représente un site de liaison à A“.
» Q OX. Q , x ee ee © OT ST A 50 T AG ee lg T gd, xn 09) 09) (X4) 08) (X6) (X7) (X8) (X9) X19) O ve x O4 O4 Op SRE ou PRES Oya, ee 00 Te (X11) (X12) (X13) (X14) (X15) (X16) (X17) 9 eN ca x OXX OXX D 45-0440 XM OE 3 POUR = 87 = > ms Oad a” XX T 2 ox 0x y T T T (X18) (X19) (X20) (X21) (X22) (X23) O ml O ee * EI ette” O O Ô O Ö 0 O Ô (X24) (X25) (X26) (X27) (X28) (X29) ; 0 9 0 OX 03 0 … Q 3 + 0 9 3 x T y X Ao Aeg? ; Co A EA, a. A ot, (X30) (X31) (X32) (X33) (X34) (X35) (X36) 9 î 0 oA - 1 9 A IT gee A oo Xe JAK, ; O (X37) (X38) (X39) (X40) an (42) 0 Oo 5 4 3 0 0 m0 70 OTS A DA Ae vr 1% 1} Ö ; Ô (x43) (X44) (Xa5) (X46) (X47) 9 + 9 OO a Se O Os Sa O7 Sa Se 070 x 6-0. 7 6 + 0 | A 1 Jo KO (X48) (X49) (X50) (X51) (X52) (X53)
[0142] X? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 16 atomes de carbone.
X* représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 15 atomes de carbone.
X° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone.
X° représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 14 atomes de carbone.
X’ représente un groupe hydrocarboné saturé trivalent ayant 1 à 14 atomes de carbone.
X® représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 13 atomes de carbone.
[0143] Des exemples du cation organique représenté par ZA” incluent un cation onium organique, un cation sulfonium organique, un cation iodonium organique, un cation ammonium organique, un cation benzothiazolium et un cation phosphonium organique. Parmi ceux-ci, un cation sulfonium organique et un cation iodonium organique sont préférés, et un cation arylsulfonium est préféré davantage. Des exemples spécifiques de celui-ci incluent un cation représenté par l'une quelconque de la formule (b2-1) à la formule (b2-4) mentionnée plus loin.
[0144] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A):
RIIS
NF | R/2 Y O Es ZA* (11-2-A) RII4 _ © où, dans la formule (II-2-A), RS, x!B et ZA* sont tels que ceux définis ci- dessus, z représente un entier de 0 à 6, RIZ et RÉ représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène, un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, et quand z est 2 ou plus, une pluralité de RI? et RI! peuvent être identiques ou différents les uns des autres, et
Q* et QP représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone.
[0145] Des exemples de groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par R', RI Q? et Q incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone représenté par QP: mentionné plus loin.
[0146] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1):
RS
ASF A, KH (II-2-A-1) F3C
O ox R!I2 ® ne ZA RIII4 7 © où, dans la formule (II-2-A-1), RH? RI RI Q2 QP, z et ZA* sont les mêmes que ceux définis ci- dessus, RTS représente un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone, X? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 11 atomes de carbone, -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome d'halogène ou un groupe hydroxy.
[0147] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 12 atomes de carbone représenté par RŸ incluent les groupes alkyle linéaires ou ramifiés comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle et un groupe dodécyle. Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par Xl incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par XE,
[0148] L'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-1) est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-2-A-2):
RIIS
DE O—RI!S (II-2-A-2) CF3 = ae Ö C SO3 ZA* A m où, dans la formule (II-2-A-2), RIB, RS et ZA* sont les mêmes que ceux définis ci-dessus, et m et nA représentent chacun indépendamment 1 ou 2.
[0149] Des exemples de l'unité structurelle représentée par la formule (II-2-A") incluent les unités structurelles suivantes, les unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant au groupe méthyle de RI est substitué par un atome d'hydrogène, un atome d'halogène (par exemple, un atome de fluor) ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène (par exemple, un groupe trifluorométhyle, etc.) et les unités structurelles mentionnées dans WO 2012/050015 A. ZA” représente un cation organique.
LE CH CHs CHs CH CHs bo} Léo Léon Léon ion} Léon A A A A Ao Ae F3C F3C F3C F3C F3C F3C AS AS At Pr A At 4 0 4 Ô 4 Ô 0 0 Ô sos zar ‘Some 1 So, za DE AAL Nd 50; ZA* 50: ZAt SO3 ZA* Lit) (to en En Ua) zee} C— CH» C—CH2 C—CH, C— CH, C— CH» C— CH, A F A E Ao A A A EX 4 De da 3 - ZA ° 2 U Ce FL 00 F 50: ZA" / ZA 503 ; F F ZA zA* 505
[0150] L'unité structurelle ayant un cation ayant un groupe sulfonio et un anion organique dans une chaîne latérale est de préférence une unité structurelle représentée par la formule (II-1-1) : R'14 ett pis (Il-1-1) O O—A1-RNÆS7
DR 7A où, dans la formule (II-1-1), A! représente une simple liaison ou un groupe de liaison divalent, R' représente un groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, RZ et RI représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné ayant 1 à 18 atomes de carbone, et R'“ et RIE peuvent être liés l'un à l'autre pour former un cycle avec un atomes de soufre auquel RI? et RTS sont liés, RI! représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, et A’ représente un anion organique.
Des exemples de groupe hydrocarboné divalent aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone représenté par R* incluent un groupe phénylène et un groupe naphtylène.
Des exemples de groupe hydrocarboné représenté par RI? et RB incluent un groupe alkyle, un groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné aromatique, et les groupes formés en combinant ces groupes.
Des exemples du groupe alkyle et du groupe hydrocarboné alicyclique incluent ceux qui sont les mêmes que ceux mentionnés ci- dessus.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryle tels qu'un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle.
Des exemples du groupe combiné incluent des groupes obtenus en combinant le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique mentionnés ci-dessus, des groupes aralkyle tels qu'un groupe benzyle, des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe alkyle (un groupe p- méthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle , un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe 2,6- diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle, etc.), des groupes hydrocarbonés aromatiques ayant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p -cyclohexylphényle, un groupe p-adamantylphényle, etc.), des groupes aryl-cycloalkyle tels qu'un groupe phénylcyclohexyle, et analogues.
Des exemples d'atome d'halogène représenté par R!* incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples de groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R!* incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène représenté par R°S, Des exemples de groupe de liaison divalent représenté par AN! incluent un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone représenté par XI,
[0151] Des exemples d'unité structurelle incluant un cation dans la formule (IL-1-1) incluent les unités structurelles suivantes et les unités structurelles dans lesquelles un groupe correspondant au groupe méthyle pour R!!* est substitué par un atome d'hydrogène, un atome d'halogène (par exemple, un atome de fluor) ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone qui peuvent avoir un atome d'halogène (par exemple, un groupe trifluorométhyle etc.). =S TC E PS TE tene}
OC OO OO Q &
OO St =S} HS AS AS x O Oo O o o Ps O ó O A, A © A À & © Q © { bood dof © ans OÙ OÙ
[0152] Des exemples d'anion organique représenté par A incluent un anion acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et un anion acide carboxylique. L'anion organique représenté par A est de préférence un anion acide sulfonique, et des exemples de l'anion acide sulfonique incluent ceux qui sont les mêmes qu'un anion représenté par la formule (B1).
[0153] Des exemples d'anion sulfonylimide représenté par A incluent les suivants.
F2 fra F267C —CF4 F O28-CF5 O28-CF2 023 CF2 0,8S—CF, o,s: lo à 1 27 O2S-CF3 a 025 GF2 ot F3 O,S— CF, F3 F2C-C-CF3 F2
[0154] Des exemples d'anion sulfonylméthide incluent les suivants. CF3 F,C—CF3 O,S—CF; O2S-CF, o,s-CF, Os _ Fo O2 | F4C. F O2 | F,C—s — F,C—C—s 1 F2C-C-S 1 Os —CF4 O2S-GF> O2S-GF> LF, F,b-CF;
[0155] Des exemples d'anion acide carboxylique incluent les suivants. ne Ho A Hz ALL mo, DD ‘ Oe CHs 0 De ‘ C ON H 7° Le 6 À O4 2 O4 3 ne A, Ao EU KG do “b D ç OH ee ee © FFF 9
[0156] Des exemples d'unité structurelle représentée par la formule (II-1-1) incluent les unités structurelles suivantes.
H H fü rt pr RAF Hs 9 to AK ue € V € je ‚Pf
JP FF F Hz ds 8 Steck {et fer
OC OC
[0157] Quand l'unité structurelle (IT) est incluse dans la résine (A), la teneur de l'unité structurelle (IT) est de préférence 1 à 20 mol%, de préférence encore 2 à 15 mol%, et de préférence encore 3 à 10 mol%, sur la base de toutes les unités structurelles de la résine (A).
[0158] La résine (A) peut inclure une unité structurelle autre que les unités structurelles susmentionnées, et des exemples des unités structurelles incluent les unités structurelles bien connues dans la technique.
[0159] La résine (A) est de préférence une résine composée d'une unité structurelle (I), d'une unité structurelle (a1-1) et d'une unité structurelle (a1-2), une résine composée d'une unité structurelle (T) et d'une unité structurelle (a1-1), une résine composée d'une unité structurelle (T) et d'une unité structurelle (a1-2), une résine composée d'une unité structurelle (I), d'une unité structurelle (a1-1), d’une unité structurelle (a1-2) et d'une unité structurelle (s), une résine composée d'une unité structurelle (I), d'une unité structurelle (a1-1), d'une unité structurelle (a1-2), d'une unité structurelle (a1) et unité structurelle (s), une résine composée d'une unité structurelle (I), d'une unité structurelle (a1-1) et d'une unité structurelle (s), une résine composée d'une unité structurelle (I), d'une unité structurelle (a1-2) et d'une unité structurelle (s), une résine composée d'une unité structurelle (I), d'une unité structurelle (a1-
1), d'une unité structurelle (a1-2), d'une unité structurelle (5), d'une unité structurelle (a4) et / ou d'une unité structurelle (a5), ou une résine composée uniquement d'une unité structurelle (I), d'une unité structurelle (a1-1), d'une unité structurelle (a1-2) et d’une unité structurelle (a4), et de préférence encore une résine composée d'une unité structurelle (I), d'une unité structurelle (a1-1) et d'une unité structurelle (a1-2), une résine composée d'une unité structurelle (I) , d'une unité structurelle (a1- 1), d’une unité structurelle (a1-2) et d'une unité structurelle (s), une résine composée d'une unité structurelle (I), d'une unité structurelle (a1- 1), d'une unité structurelle (a1-2), d’une unité structurelle (a1) et d’une unité structurelle (s), une résine composée d'une unité structurelle (I), d'une unité structurelle (a1-1) et d’une unité structurelle (s), ou une résine composée d'une unité structurelle (I), d'une unité structurelle (a1-2) et d’une unité structurelle (s).
[0160] L'unité structurelle (a1) est de préférence une unité structurelle a(1-4).L'unité structurelle (s) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (a2) et une unité structurelle (a3). L'unité structurelle (a2) est de préférence une choisie dans le groupe consistant en l’unité structurelle (a2-1) et une unité structurelle (a2-A). L'unité structurelle (a3) est de préférence au moins une unité choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a3-1), une unité structurelle représentée par la formule (a3-2) et une unité structurelle représentée par la formule (a3- 4).
[0161] Les unités structurelles respectives constituant la résine (A) peuvent être utilisées seules, ou deux unités structurelles ou plus peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère à partir duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire ces unités structurelles par un procédé de polymérisation connu (par exemple, un procédé de polymérisation radicalaire). La teneur en unités structurelles respectives incluses dans la résine (A) peut être ajustée en fonction de la quantité de monomère utilisée dans la polymérisation.
La masse moléculaire moyenne en poids de la résine (A) est de préférence de 2000 ou plus (de préférence de 2500 ou plus, et de préférence encore de 3000 ou plus), et de 50000 ou moins (de préférence de 30000 ou moins, et de préférence encore de 15000 ou moins). Tel qu'utilisée ici, la masse moléculaire moyenne en poids est une valeur déterminée par chromatographie par permeation de gel. La chromatographie par perméation de gel peut être mesurée dans les conditions d'analyse mentionnées dans les exemples.
[0162] <Composé (IA)> Le composé de la présente invention est un composé représenté par la formule (IA) (dans la suite parfois appelé «composé (IA)»): R1 onl | | (a) Je \ RS] tee)
OR
RS où, dans la formule (IA), R* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, xt représente une liaison simple ou -CO-O-* (* représente un site de liaison à Ar”), X? représente -CO-O-*, -O-*, -O-CO-*, -O-CO-(CHz)mm-O-* ou - O-(CH>)nn-CO-O- * (* représente un site de liaison au cycle benzénique), mm et nn représentent 0 ou 1, Art représente un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, R* et R* représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe labile en milieu acide, ou R* et R* peuvent se combiner pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique, R° représente un atome d'halogène, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe alkyle et le groupe fluorure d'alkyle peut être remplacé par -O- ou - CO- et n' représente un entier de O à 3, et lorsque n' vaut 2 ou plus, une pluralité de R° peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
Des exemples du composé représenté par la formule (IA) incluent un composé représenté par la formule (IA1) (dans la suite parfois appelé «composé (IA1)>) ou un composé représenté par la formule (IA2) (dans la suite parfois appelé «composé ( IA2) »): R" R" onl onl , , | (AT) | (IA2) Ar! Ar! | | x? x? Gi —brs 0 n (SF O Rt R3 ( Rs ) n' où, dans la formule (IA1) et la formule (IA2), RL, xt, X2, mm, nn, Art, R3, R*, R° et n' sont tels que définis avant.
[0163] Le composé (IA) est un composé dans lequel Ar? est un cycle benzénique trivalent ou multivalent en nombre supérieur, n = 2, et chaque -O-R? est lié l'un à l'autre dans la formule (I). Un tel composé (IA) est, par exemple, un monomère à partir duquel les unités structurelles susmentionnées représentées par la formule (I-13) à la formule (I-16), la formule (1-19) à la formule (I-24) ), la formule (1-27) à la formule (I-66) et la formule (I-71) à la formule (I-92) sont dérivées.
Le composé (IA1) est un composé dans lequel Ar? est un cycle benzène trivalent ou multivalent en nombre supérieur, n = 2, et chaque - O-R? est lié à la position meta ou à la position para par rapport à la position de liaison de X* dans la formule (I). Un tel composé (IA1) est, par exemple, un monomère dont les unités structurelles susmentionnées représentées par la formule (1-13) à la formule (1-16), la formule (1-19) à la formule (1-24) ) et la formule (1-27) à la formule (1-66) sont dérivées.
Le composé (IA2) est un composé dans lequel Ar? est un cycle benzène trivalent ou multivalent en nombre supérieur, n = 2, et chaque - O-R? est lié à la position ortho ou à la position meta par rapport à la position de liaison de X? dans la formule (I). Un tel composé (IA2) est, par exemple, un monomère dont les unités structurales susmentionnées représentées par la formule (I-71) à la formule (1-92) sont dérivées.
[0164] Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant pour Ar* incluent les mêmes groupes cités à titre d'exemple que le groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant pour Art dans la formule (D).
[0165] Des exemples du groupe labile aux acides pour R3 et R* incluent les mêmes groupes cités à titre d'exemple que le groupe labile en milieu acide pour R* dans la formule (I) (groupe labile en milieu acide (1a) ou groupe labile en milieu acide (2a), etc.).
[0166] Quand R? et R* se combinent pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique, des exemples d'un tel groupe incluent les mêmes groupes cités à titre d'exemple lorsque deux R* se combinent entre eux pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique dans la formule (I) (groupe (3a), etc.).
Lorsque R* et R* se combinent pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique, des exemples d'un tel groupe incluant le cycle benzénique incluent les groupes représentés par les suivants. * représente une liaison avec X2.
(9 RS) (Rn . RS) RS) n° oo Cp Sr
OÖ O GX GO 90 Do GO RI) (ks) n' ks) n' RS) n' R5) n'
[0167] Des exemples de l'atome d'halogène, du groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou du groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone (-CH>- inclus dans le groupe alkyle et le groupe fluorure d'alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-) pour R° incluent les mêmes groupes que le substituant pour Ar? dans la formule (1). n' est de préférence un entier de 0 à 2, de préférence encore 0 ou 1, et de préférence encore 0.
[0168] Des exemples du composé (IA) comprennent les suivants. 4 oh 4 cn
Ó Ó À 00 Ò. 00
OH HO OH on Sn OH A
OH OH (lA-13) (IA-14) (IA-15) (IA-16)
H CHs H CHs CH, CH, CH, CH, OÖ De 9 > O0 Ö 07 9
OO O O Gy L ik î x oo 070 o Ak
Ö Ö [ x X De [ x (IA-19) (IA-20) (A21) (IA-22) H Hs H CH3 CH, on CH, CH, Lu € ; à
OO Q O 9 J Ak O k O 9 O | 00 oto x d oo Ô O0 x x [ 5 * [ (IA-23) (IA-24) (IA-27) (IA-28) CHs CHs CH, CH,
H 4 $ 5 5 © 9 9 q q Ak Ak Ak Ak oo oo OÖ OO 910 Sy? y TY O O x x 1 1 (IA-29) (IA-30) (lA-31) (IA-32)
H CH H CH3 CH, ch CH, ce
O O
O Ö 07 2 9 0” Oo Ô 07 O À OH oe
OH OH on OH
OH OH
OH (IA-33) (IA-34) (IA-35) (IA-36) H CHs H CH " Sm af
Ó
X Ö 9 ? pu Ö OH x OH OH 07 dy T OH
OH (IA-39) (IA-40) H CHs CH, CH
O
O Se O
O OO ©
OH OH OH
OH (IA-41) (IA-42)
H CH H CH > ve "5 HX,
Ó 9 A Ö
A O oO o 9 FH es
SF (IA-43) (IA-44) (IA-45) (IA-46)
H CH H CH "5 ee 3 Æ es °
O O Ö
OO O Oo o od SF Oo
O
Ö (IA-47) (IA-48) + (IA-49) (IA-50) + H CH3 H CHs CH, CH, CH, CH»
O O © > 9 >
A Ö O OO À, © o o
SF SF
SF SF (IA-51) (IA-52) (IA-53) (IA-54)
H H
H CH ne © © 070 A A Ò. 070
O Q L A Q, © Ö °° D D % (1A-57) _ (IA-55) (IA-56) (IA-58)
[0169]
H
H H H à "à 3 > OO 070 A oo HO © ‘OH A <a 9. OH OH d 6,0
T
N X (14-59) (1A-60) (lA-61) (IA-62)
H
H H à à a a o_O 070 070 ; o „9 De LL, 1” : "OH ps
OH OH OH (IA-63) (lA-64) (lA-65) (IA-66)
H CH H CH CH, ck, CH, ck,
Ó Ö X 9 07 OC © A Ö
OH
OH OH CX A ( ] OH OH on Gl
OH (IA-71) (A72) a - (IA-74) * CH < ° CH CH zo ° CH; 2 2 2
O O
OO O A Ö OH eu SO OH A
OH OH OH (IA-75) (IA-76) OH (IA-77) N CH, (IA-78)
CH CH
O 9 > CC © Oo OO eu ©
OH OC
OH (IA-79) (A-80)
[0170]
H CH H CHs "> HX, 5 me 9
O > © A 9 0 À \— O 070 9 Gl > > O O \— OL
O (IA-81) (IA-82) (IA-83) (lA-84)
[0171] H CH H Hs CH, CH; CH; ct Pa 5 > O do & /— O > A Oo > ( [> > RS (IA-85) (IA-86) (IA-87) (IA-88)
H CH H CH "5 ne "5 is
O a 9 CC 9 Oo“ "0 O. oO OO 0 de 0 t > Oo > Oo O ©. Oo 0. 0 Da oO \— (1A-89) (1A-90) (1A-91) (1A-92)
[0172] 5 Il est également possible de citer à titre d'exemple, comme composé (IA), un composé dans lequel un atome d'hydrogène correspondant à R* dans des composés représentés chacun par la formule (IA-13), la formule (IA-15), la formule (IA-19), la formule (IA-21), la formule (IA-23), la formule (IA-27), la formule (IA-29), la formule (IA-31), la formule (IA-33), la formule (IA-35), la formule (IA-37), la formule (IA- 39), la formule (IA-41), la formule (IA-43), la formule (IA-45), la formule
(IA-47), la formule (IA-49), la formule ( IA-51), la formule (IA-53), la formule (IA-55) à la formule (IA-66), la formule (IA-71), la formule (IA- 73), la formule (IA-75), la formule (IA-77), la formule (IA-79), la formule (IA-81), la formule (IA-83), la formule (IA-85), la formule (IA-87), la formule (IA-89) et la formule (IA-91) est substitué par un groupe méthyle, et un composé dans lequel un groupe méthyle correspondant à R* dans les composés représentés chacun par la formule (IA-14), la formule (IA- 16), la formule (IA-20), la formule (IA-22), la formule (IA-24), la formule (IA-28), la formule (IA-30), la formule (IA-32), la formule (IA-34), la formule (IA-36), la formule (IA-38), la formule (IA-40), la formule (IA-42), la formule (IA-44), la formule (IA-46), la formule (IA-48), la formule (IA- 50), la formule (IA-52), la formule (IA-54), la formule (IA-72), la formule (IA-74), la formule (IA-76), la formule (IA-78), la formule (IA-80), la formule (IA- 82), la formule (IA-84), la formule (IA-86), la formule (IA- 88), la formule (IA-90) et la formule (IA-92) sont remplacées par un atome d'hydrogène.
[0173] <Méthode de production du composé (IA)> Un composé (IA) peut être obtenu en faisant réagir un composé représenté par la formule (I-a) avec un composé représenté par la formule (I-b) en présence d'un catalyseur dans un solvant: R! R! cH=4 ch | HQ | x} X!
LÀ X © pa _—__, X H R3 Bte y (I-a) (I-B) O Rs p3 où tous les symboles sont les mêmes que ceux définis plus haut. Des exemples de solvant incluent la méthylisobutylcétone, le chloroforme, le tétrahydrofurane et le toluène.
Des exemples de catalyseur incluent des catalyseurs basiques tels que la pyridine, la diméthylaminopyridine, la N-méthylpipéridine, la N- méthylpyrrolidine et l'hydroxyde de potassium, ou le carbonyldiimidazole. Des exemples du composé représenté par la formule (I-a) incluent les sels représentés par les formules suivantes et analogues, qui sont facilement disponibles sur le marché. 8 H CH, CH, CH = Cha , CH iN S Da * Ss Da N x OHM COH = = 00H OH Les exemples du composé représenté par la formule (I-b) incluent les sels représentés par les formules suivantes et analogues, qui sont facilement disponibles sur le marché et peuvent être facilement produits par un procédé de production connu. Al RS
A OH O A
OH OH OH oe Co Qu
O OH O Ä
[0174] [Composition de Résist] La composition de résist de la présente invention inclut de préférence une résine (A) et un générateur d'acide connu dans le domaine des résists (dans la suite parfois appélé «générateur d'acide (B)»). La composition de résist de la présente invention peut en outre inclure une résine autre que la résine (A).
La composition de résist de la présente invention inclut de préférence un agent de désactivation (« Quencher ») tel qu'un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré par un générateur d'acide (dans la suite parfois appelé « agent de désactivation (C) »), et inclut de préférence un solvant (dans la suite parfois appelé «solvant (E)».
[0175] <Résine autre que la résine (A)> La résine autre que la résine (A) peut être une résine qui n'ïnclut pas au moins une choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle (I) ou une unité structurelle (a1-1) et une unité structurelle (a1-2). Des exemples d'une telle résine incluent une résine dans laquelle une unité structurelle (T) est retirée de la résine (A) (dans la suite parfois appelée «résine (AY)»), une résine dans laquelle au moins une unité structurelle choisie dans le groupe consistant en l'unité structurelle (a1-1) et l'unité structurelle (a1-2) est retirée de la résine (A) (dans la suite parfois appelée «résine (AZ)»), une résine composée uniquement d'une unité structurelle (a4) et une unité structurelle (a5) (dans la suite parfois appelée résine (X)) et analogue.
[0176] La résine (X) est de préférence une résine incluant une unité structurelle (a4).
Dans la résine (X), la teneur en unité structurelle (a4) est de préférence de 30 mol% ou plus, de préférence encore de 40 mol% ou plus, et de préférence encore de 45% mol% ou plus, sur la base de la quantité totale des unités structurelles de la résine (X).
Des exemples de l'unité structurelle qui peut en outre être incluse dans la résine (X) incluent une unité structurelle (a2), une unité structurelle (a3) et des unités structurelles dérivées d'autres monomères connus. La résine (X) est de préférence une résine composée uniquement d'une unité structurelle (a4) et/ou d'une unité structurelle (a5).
L'unité structurelle respective constituant la résine (X) peut être utilisée seule, ou deux ou plusieurs unités structurelles peuvent être utilisées en combinaison. En utilisant un monomère à partir duquel ces unités structurelles sont dérivées, il est possible de produire ces unités structurelles par un procédé de polymérisation connu (par exemple, un procédé de polymérisation radicalaire). La teneur en unités structurelles respectives incluses dans la résine (X) peut être ajustée en fonction de la quantité de monomères utilisés dans la polymérisation. Le poids moléculaire moyen en poids de la résine (AY), de la résine (AZ) et de la résine (X) est chacun indépendamment de préférence 6000 ou plus (de préférence encore 7000 ou plus) et 80000 ou moins (de préférence encore 60000 ou moins). Le moyen de mesure du poids moléculaire moyen en poids de la résine (AY) et de la résine (X) est le même que dans le cas de la résine (A).
Quand la composition de résist de la présente invention inclut la résine (AY), la teneur totale est habituellement de 1 à 2500 parties en masse (de préférence de 10 à 1000 parties en masse) sur la base de 100 parties en masse de la résine (A).
Quand la composition de résist inclut la résine (X), la teneur est de préférence de 1 à 60 parties en masse, de préférence encore de 1 à 50 parties en masse, de préférence encore de 1 à 40 parties en masse, de préférence encore de 1 à 30 parties en masse, et de préférence encore de 1 à 8 parties en masse, sur la base de 100 parties en masse de la résine (A).
[0177] Dans la composition de résist de la présente invention, la résine (A) peut être utilisée en combinaison avec la résine autre que la résine (A), et lors de son utilisation en combinaison avec la résine autre que la résine (A), la résine (A) est de préférence utilisée en combinaison avec une résine incluant une unité structurelle ayant un groupe labile en milieu acide et / ou une résine incluant une unité structurelle ayant un atome de fluor, et de préférence encore utilisée en combinaison avec la résine (AY), la résine (AZ) et / ou la résine (X).
La teneur en résine (A) dans la composition de résist est de préférence de 80% en masse ou plus et de 99% en masse ou moins, et de préférence encore de 90% en masse ou plus et de 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Lorsqu'on inclut la résine autre que la résine (A), la teneur totale en résine (A) et en résine autre que la résine (A) est de préférence de 80% en masse ou plus et de 99% en masse ou moins, et de préférence encore 90% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, sur la base du composant solide de la composition de résist. Le composant solide de la composition de résist et la teneur en résine de celle-ci peuvent être mesurés par un moyen d'analyse connu tel que la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse.
[0178] <Générateur d’Acide (B)> Un générateur d'acide non ionique ou ionique peut être utilisé comme générateur d'acide (B). Des exemples de générateur d'acide non ionique comprennent les esters sulfonates (par exemple, ester 2- nitrobenzylique, sulfonate aromatique, sulfonate d'oxime, N- sulfonyloxyimide, sulfonyloxycétone, diazonaphtoquinone 4-sulfonate), les sulfones (par exemple, disulfone, cétosulfone, sulfonyldiazométhane) et analogues. Des exemples typiques du générateur d'acide ionique incluent les sels d'onium contenant un cation onium (par exemple, un sel de diazonium, un sel de phosphonium, un sel de sulfonium, un sel d'iodonium). Des exemples de l'anion du sel d'onium incluent un anion acide sulfonique, un anion sulfonylimide, un anion sulfonylméthide et analogues.
[0179] Des exemples spécifiques du générateur d'acide (B) incluent des composés générant un acide par exposition à un rayonnement mentionnés dans JP 63-26653 A, JP 55-164824 A, JP 62-69263 A, JP 63-146038 A, JP 63-163452 A, JP 62-153853 A, JP 63-146029 A, le brevet US No.
3.779.778, le brevet US No. 3.849.137, le brevet DE No. 3914407 et le brevet EP No. 126.712. Des composés produits par un procédé connu peuvent aussi être utilisés. Deux ou plusieurs générateurs d'acide (B) peuvent aussi être utilisés en combinaison.
[0180] Le générateur d'acide (B) est de préférence un générateur d'acide contenant du fluor, et de préférence encore un sel représenté par la formule (B1) (dans la suite parfois appelé “générateur d'acide (B1)") : Qh + -0.S [61 zi’ 038 | ALA, (BIJ) La où, dans la formule (B1),
Q% et Q° représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, et Z1* représente un cation organique.
[0181] Des exemples du groupe perfluoroalkyle représenté par QPt et QP? incluent un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluoroéthyle, un groupe perfluoropropyle, un groupe perfluoroisopropyle, un groupe perfluorobutyle, un groupe perfluorosec-butyle, un groupe perfluorotert-butyle, un groupe perfluoropentyle et un groupe perfluorohexyle.
De préférence, QP! et Q” sont chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe trifluorométhyle, et de préférence encore, les deux sont des atomes de fluor.
[0182] Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent dans LP! incluent un groupe alcanediyle linéaire, un groupe alcanediyle ramifié, et un groupe hydrocarboné saturé alicyclique divalent monocyclique ou polycyclique, ou le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être un groupe formé en utilisant deux ou plusieurs de ces groupes en combinaison.
Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent les groupes alcanediyle linéaires comme un groupe méthylène, un groupe éthylène, un groupe propane-1,3-diyle, un groupe butane-1,4-diyle, un groupe pentane-1,5-diyle, un groupe hexane-1,6-diyle, un groupe heptane-1,7- diyle, un groupe octane-1,8-diyle, un groupe nonane-1,9-diyle, un groupe décane-1,10-diyle, un groupe undécane-1,11-diyle, un groupe dodécane- 1,12-diyle, un groupe tridécane-1,13-diyle, un groupe tétradécane-1,14-
diyle, un groupe pentadécane-1,15-diyle, un groupe hexadécane-1,16- diyle et un groupe heptadécane-1,17-diyle; les groupes alcanediyle ramifiés comme un groupe éthane-1,1- diyle, un groupe propane-1,1-diyle, un groupe propane-1,2-diyle, un groupe propane-2,2-diyle, un groupe pentane-2,4-diyle, un groupe 2- méthylpropane-1,3-diyle, un groupe 2-méthylpropane-1,2-diyle, un groupe pentane-1,4-diyle et un groupe 2-méthylbutane-1,4-diyle; les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents monocycliques qui sont des groupes cycloalcanediyle comme un groupe cyclobutane-1,3-diyle, un groupe cyclopentane-1,3-diyle, un groupe cyclohexane-1,4-diyle et un groupe cyclooctane-1,5-diyle; et les groupes hydrocarbonés saturés alicycliques divalents polycycliques comme un groupe norbornane-1,4-diyle, un groupe norbornane-2,5-diyle, un groupe adamantane-1,5-diyle et un groupe adamantane-2,6-diyle.
[0183] Le groupe dans lequel -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L” est remplacé par -O- ou - CO- inclut, par exemple, un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (b1-1) à la formule (b1-3). Dans les groupes représentés par la formule (b1-1) à la formule (b1-3) et les groupes représentés par la formule (b1-4) à la formule (b1-11) qui sont des exemples spécifiques de ceux-ci, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à -Y.
[0184] ax X b3 *% OL + „Oo DD SA | b4 T * DS, be b7
Ö (b1-1) (b1-2) (b1-3) Dans la formule (b1-1), LP? représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP3 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L”* et LP? est 22 ou moins.
Dans la formule (b1-2), LP* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L”* et L°* est 22 ou moins.
Dans la formule (b1-3), LPÉ représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, LP” représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être remplacé par -O- ou -CO-, et le nombre total d'atomes de carbone de L'° et L” est 23 ou moins.
* et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0185] Dans les groupes représentés par la formule (b1-1) à la formule (b1-3), quand -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est remplacé par -O- ou -CO-, le nombre d'atomes de carbone avant le remplacement est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
Des exemples de groupe hydrocarboné saturé divalent incluent ceux qui sont les mêmes que le groupe hydrocarboné saturé divalent de LP,
LP? est de préférence une simple liaison. LP3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone. LP* est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor. LP est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone. LPS est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor. LP” est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et -CHz>- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-.
[0186] Le groupe dans lequel -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent représenté par L! est remplacé par -O- ou -CO- est de préférence un groupe représenté par la formule (b1-1) ou la formule (b1- 3). Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-1) incluent les groupes représentés par la formule (b1-4) à la formule (b1-8) : 9 O î b11 1 b12 Ao tE, TT” RE (b1-4) (b1-5) (b1-6) 9 X b16 Oo Ao AR mb A N DS, b187* 2 (b1-7) (b1-8) Dans la formule (b1-4), LPS représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 22 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy. Dans la formule (b1-5), LP? représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et-CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-.
LP! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de L” et LP!0 est 20 ou moins.
Dans la formule (b1-6), LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP!2 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP! et LP! est 21 ou moins.
Dans la formule (b1-7), LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 19 atomes de carbone, LP!* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, LPS représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de L°** à LP!5 est 19 ou moins.
Dans la formule (b1-8), [P1É représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-,
LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, LP! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, le nombre total d'atomes de carbone de LP! à LPS est 19 ou moins, et * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
LPS est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
LP3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP! est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé ayant 1 à 19 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP! est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP!2 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP!3 est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
LP!* est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
LP!5 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 8 atomes de carbone.
LP! est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 12 atomes de carbone.
LP! est de préférence un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 6 atomes de carbone.
[PS8 est de préférence une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 17 atomes de carbone, et de préférence encore une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 4 atomes de carbone.
[0187] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-3) incluent les groupes représentés par la formule (b1-9) à la formule (b1-11). AS oe A I u“
O (b1-9) (b1-10) (b1-11) Dans la formule (b1-9), LP! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, L°%0 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 23 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH>- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou —-CO- et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP! et LP2 est 23 ou moins. Dans la formule (b1-10), LP?! représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP22 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP23 représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CH>- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -O- ou —-CO-
et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, et le nombre total d'atomes de carbone de LP?! LP? et LP23 est 21 ou moins.
Dans la formule (b1-11), [P?* représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, LP2 représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 21 atomes de carbone, LP représente une simple liaison ou un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 20 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé peut être substitué avec un atome de fluor, un groupe hydroxy ou un groupe alkylcarbonyloxy, -CHz- inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être remplacé par -0- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkylcarbonyloxy peut être substitué avec un groupe hydroxy, le nombre total d'atomes de carbone de L”*, LP et 1P°° est 21 ou moins, et * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0188] Dans le groupe représenté par la formule (b1-9) au groupe représenté par la formule (b1-11), quand un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé est substitué avec un groupe alkylcarbonyloxy, le nombre d'atomes de carbone avant la substitution est pris comme le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné saturé.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy, un groupe cyclohexylcarbonyloxy, un groupe adamantylcarbonyloxy et analogues.
[0189] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-4) incluent les suivants :
oO O O CH3 où, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0190] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-5) incluent les suivants : Q O 0 or Ag of A of 2 Q X CH, Sogn Jr er RAP Ö Hs Hs
CH CH 0 3 0 CH; Q 3 À, ; xk % O me XK + we a. PORT Acta AS At X uf 0 A LS 66 ae “gs. Le. où, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0191] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-6) incluent les suivants: NE NN Re At tek O + x" xx k 4x uk CR DR | FOT | M oft 0 x Agtho Loto" Lothor" Ald Al où, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0192] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-7) incluent les suivants:
XL, CHs oO O CH3 O Q N en Q , Pos AO AAH pe 9 Q . A7 C0 N AOL où, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0193] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-8) incluent les suivants : ee O O de O % ok ; Vo x Le I x 7
O où, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0194] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-2) incluent les suivants : ee Ho nn As x x Pte HA u Hot, 3 Ha
F F “to, AHA Ao Ak Af A CH3 où, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0195] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-9) incluent les suivants :
F F CH3
F F F F F F OH Le O CHs où, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0196] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-10) incluent les suivants : Hs Hz Hz ok Ha ok Hs ik xx EE xk 2 xx AO xx OH Ex xx N Hz
H où, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0197] Des exemples de groupe représenté par la formule (b1-11) incluent les suivants :
CHs 0 o o O 0 LN As A A HA ae Ô 6 ak + ik eg JA Jord Jord F F CH,Q F CF, Oo F fFs O 9 OH oF
F OF F O F D FE CH D CHs ö A De &
O où, * et ** représentent une liaison, et * représente une liaison à Y.
[0198] Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent les groupes représentés par la formule (Y1) à la formule (Y11) et par la formule (Y36) à la formule (Y38).
Quand -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, le nombre peut être 1, ou 2 ou plus. Des exemples de tels groupes incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35) et par la formule (Y39) et la formule (Y43). * représente une liaison à L'*, > a DO-OO PA A VD (2) (3) (Y4) (Y5) (Y6) 7) (ve) (Y9) 10) (IN) m, , OS EN, ED ED LO Pr D APLAR = + 129 019) 019 015) 018) 017) (Y18) 019) (v20) (2) (22 U + > SOON o 9 & 5 DSO 6 8) op) wb I A (Y23) (Y24) (Y25) (26) vai 2) 29) (vao) D, 02 9 ; Ks VID 25 ; Do WAR RFF (Y34) (Y35) (Y36) (Y37) (v38) (Y39) (YAO) (va (v42) (Y43) Le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est de préférence un groupe représenté par l'une quelconque de la formule (Y1) à la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31) et la formule (Y39) à la formule (Y43), de préférence encore un groupe représenté par la formule (Y11), la formule (Y15), la formule (Y16), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39), la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43), et de préférence encore un groupe représenté par la formule (Y11), la formule (Y15), la formule (Y20), la formule (Y26), la formule (Y27), la formule (Y30), la formule (Y31), la formule (Y39) ou la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43). Quand le groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y est un cycle spiro contenant un atome d'oxygène comme la formule (Y28) à la formule (Y35), la formule (Y39) à la formule (Y40), la formule (Y42) ou la formule (Y43), le groupe alcanediyle entre deux atomes d'oxygène inclut de préférence un ou plusieurs atomes de fluor. Parmi les groupes alcanediyle inclus dans une structure cétal, il est préféré qu'un groupe méthylène adjacent à l'atome d'oxygène ne soit pas substitué avec un atome de fluor.
[0199] Des exemples de substituant du groupe méthyle représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un groupe -(CHz)ja-CO-O-R®! ou un groupe -(CH2);-O-CO-RE (où RP? représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou des groupes obtenus en combinant ces groupes, et -CHz- inclus dans un groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -SO2- ou -CO-, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique et le groupe hydrocarboné aromatique peuvent être substitués par un groupe hydroxy ou un atome de fluor, et ja représente un entier de 0 à 4).
Des exemples du substituant du groupe hydrocarboné alicyclique représenté par Y incluent un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone qui peuvent être substitués par un groupe hydroxy (-CH:- inclus dans le groupe alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-), un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un groupe aralkyle ayant 7 à 21 atomes de carbone, un groupe glycidyloxy, un - (CH2)ja-CO-O-RE! ou un groupe - (CH2)ja-O-CO-RE* (où RP! représente un groupe alkyle ayant 1 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 16 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone ou des groupes obtenus en combinant ces groupes, et -CHz- inclus dans le groupe alkyle et le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -SOz- ou -CO-, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe alkyle, le groupe hydrocarboné alicyclique et le groupe hydrocarbure aromatique peut être substitué par un groupe hydroxy ou un atome de fluor et ja représente un entier de 0 à 4).
[0200] Des exemples d'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe hydrocarboné alicyclique incluent un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle, un groupe norbornyle, un groupe adamantyle et analogues.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne, et des exemples de ceux-ci comprennent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique est de préférence de 3 à 12, et de préférence encore de 3 à 10.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aryles comme un groupe phényle, un groupe naphtyle, un groupe anthryle, un groupe biphényle et un groupe phénanthryle. Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique, et des exemples ceux-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone, (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p-méthylphényle, un groupe p-éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6- diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle etc.), et un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone (un groupe p-adamantylphény, un groupe p-cyclohexylphényle etc.). Le nombre d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné aromatique est de préférence de 6 à 14, et de préférence encore de 6 à 10. Des exemples du groupe alkyle incluent un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe heptyle, un groupe 2-éthylhexyle, un groupe octyle, un groupe nonyle, un groupe décyle, un groupe undécyle, un groupe dodécyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkyle est de préférence de 1 à 12, de préférence encore de 1 à 6, et de préférence encore de 1 à 4.
Des exemples de groupe alkyle substitué avec un groupe hydroxy incluent des groupes hydroxyalkyle comme un groupe hydroxyméthyle et un groupe hydroxyéthyle.
Des exemples de groupe aralkyle incluent un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe naphtylméthyle et un groupe naphtyléthyle.
Des exemples du groupe dans lequel -CH>- inclus dans le groupe alkyle est remplacé par -O-, -S (O)2- ou -CO- incluent un groupe alcoxy, un groupe alcoxycarbonyle, un groupe alkylcarbonyle, un groupe alkylcarbonyloxy, ou des groupes obtenus en combinant ces groupes.
Des exemples de groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxy est de préférence de 1 à 12, plus préférablement de 1 à 6, et encore plus préférablement de 1 à 4.
Des exemples du groupe alcoxycarbonyle incluent un groupe méthoxycarbonyle, un groupe éthoxycarbonyle, un groupe — butoxycarbonyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxycarbonyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples de groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe acétyloxy, un groupe propionyloxy, un groupe butyryloxy et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alkylcarbonyloxy est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4.
Des exemples du groupe combiné incluent un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkyle, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alcoxy, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkylcarbonyle, un groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkylcarbonyloxy et analogues.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkyle incluent des groupes alcoxyalkyle tels qu'un groupe méthoxyméthyle, un groupe méthoxyéthyle, un groupe éthoxyéthyle et un groupe éthoxyméthyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkyle est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4. Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alcoxy incluent des groupes alcoxyalcoxy tels qu'un groupe méthoxyméthoxy, un groupe méthoxyéthoxy, un groupe éthoxyméthoxy et un groupe éthoxyéthoxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalcoxy est de préférence de 2 à 12, de préférence encore de 2 à 6, et de préférence encore de 2 à 4. Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkylcarbonyle incluent des groupes alcoxyalkylcarbonyle tels qu'un groupe méthoxyacétyle, un groupe méthoxypropionyle, un groupe éthoxyacétyle et un groupe éthoxypropionyle. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkylcarbonyle est de préférence de 3 à 13, de préférence encore de 3à7, et de préférence encore de 3 à 5.
Des exemples du groupe obtenu en combinant un groupe alcoxy et un groupe alkylcarbonyloxy incluent des groupes alcoxyalkylcarbonyloxy tels qu'un groupe méthoxyacétyloxy, un groupe méthoxypropionyloxy, un groupe éthoxyacétyloxy et un groupe éthoxypropionyloxy. Le nombre d'atomes de carbone du groupe alcoxyalkylcarbonyloxy est de préférence de 3 à 13, de préférence encore de 3 à 7, et de préférence encore de 3 à 5. Des exemples du groupe dans lequel -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique est remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO- incluent les groupes représentés par la formule (Y12) à la formule (Y35) et la formule (Y39) à la formule (Y43).
[0201] Des exemples de Y incluent les suivants. (CR O O Ö 2 O DS VE ade ane 0 0 À, AAE. (Y100) + * x vi (7102) (7708) (7104) > (705) (Y106) © O Me A De X N S° LA
PP SE DD ÉD Oo 9 4% (109) % (110) CN om * (Y107) A (v108) oO Q Q ; 04 4 A DE aards Gb Qb A 5 0 ç SR gk (112) * OH (va3) (1113) (Y114) (Y115) (Y116) CHa Hz Hac Cha HO H O *_r goh BI MWE Los
OH (11) (v4) (Y117) (Y118) (119) (v120) (Y121) (Y122) (123) (Y15) (Y124) Ÿ 4 4 CHa Ar A + F Bro BG Dh TO À (Y125) (Y126) (Y127) ob (Y128) gk (Y129)
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[0202] Y est de préférence un groupe hydrocarbone alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à à 18 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, de préférence encore un groupe adamantyle qui peut avoir un substituant, et -CHz- constituant le groupe hydrocarboné alicyclique ou le groupe adamantyle peut être remplacé par -CO-, -S(0)>- ou -CO-. Spécifiquement, Y est de préférence un groupe adamantyle, un groupe hydroxyadamantyle, un groupe oxoadamantyle ou des groupes représentés par la formule (Y42) et la formule (Y100) à la formule (Y114).
[0203] L'anion dans le sel représenté par la formule (B1) est de préférence un anion représenté par la formule (B1-A-1) à la formule (B1- A-59) [dans la suite parfois appelé "anion (B1-A-1)" selon le numéro de la formule], et de préférence encore un anion représenté par l'une quelconque de la formule (B1-A-1) à la formule (B1-A-4), la formule (B1- A-9), la formule (B1-A- 10), la formule (B1-A-24) à la formule (B1-A-33), la formule (B1-A-36) à la formule (B1-A-40) et la formule (B1-A-47) à la formule ( B1-A-59).
[0204] OH o on QE Qb2 QE a2 b1 b2 - On A41 - Q Q ou A41 7 os TE Oss O3S L ô
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[0205]
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[0208]
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[0209] O. O De A De X Le „er O oO 9 0 0 0 9 0
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[0210] R à RU représentent chacun indépendamment, par exemple, un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, et de préférence un groupe méthyle ou un groupe éthyle. R® est, par exemple, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, de préférence un groupe alkyle ayant 1 à 4 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 5 à 12 atomes de carbone ou des groupes formés en combinant ces groupes, et de préférence encore un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe cyclohexyle ou un groupe adamantyle. LA? est une simple liaison ou un groupe alcanediyle ayant 1 à 4 atomes de carbone. Q®* et QP2 sont les mêmes que ceux définis ci-dessus.
Des exemples spécifiques de l'anion dans le sel représenté par la formule (B1) incluent des anions mentionnés dans JP 2010-204646 A.
[0211] Des exemples de l’anion dans le sel représenté par la formule (B1) incluent de préférence des anions représentés par la formule (B1a-1) à la formule (B1a-38).
HO © SE AN FF De O "038 | 10 “038 O 035 O (Bla-1) 0 (Bla-2) (Bla-3)
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[0212]
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[0213] kf © | ) € | U no es bon + O + Ö 0 O - F RK SF _ F ae Sao y (Bla-23) 9 (Bla-24) (Bla-25) Mp A Ur or OH _ F _ _ F ee 52 EN (Bla-26) 0 (Bla-27) 9 (Bla-28) A Le - FF - FF 0 (Bla-31) (Bla-29) (Bla-30) O
FF EF À RAF - KF O - AO po pd GE (Bla-33) 9 (Bla-34) 9 (Bla-35) (B1a-32) H +L 7% ST Ae T° (Bla-36) 9” (88-37) (Bla-38)
[0214] Parmi ceux-ci, l'anion est de préférence un anion représenté par Tune quelconque de la formule (B1a-1) à la formule (B1a-3), de la formule (B1a-7) à la formule (B1a-16), la formule (B1a-18), la formule (B1a-19 ) et la formule (B1a-22) à la formule (B1a-38).
[0215] Des exemples de cation organique de Z1* incluent un cation onium organique, un cation sulfonium organique, un cation iodonium organique, un cation ammonium organique, un cation benzothiazolium et un cation phosphonium organique. Parmi ceux-ci, un cation sulfonium organique et un cation iodonium organique sont préférés, et un cation arylsulfonium est préféré encore. Des exemples spécifiques de ceux-ci incluent un cation représenté par l'une quelconque de la formule (b2-1) à la formule (b2-4) (dans la suite parfois appelé “cation (b2-1)" selon le numéro de la formule).
(RE1S) 02 (RE) 2 RP (RP) m2 Ro © © RS" Ou D Ledger |T Re s+ Rb NA | ad Lo 590 Q (RR). N un (b2-1) (b22) (b2-3) Vo RDA Ra | en (b2-4) Dans la formule (b2-1) à la formule (b2-4), RP* à RP représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 30 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 36 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydroxy, un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 12 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone ou un groupe glycidyloxy, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 18 atomes de carbone, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone, RP* et RP° peuvent former un cycle avec les atomes de soufre auxquels RP et R” sont liés, et -CHz- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-, RP7 et RP? représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
m2 et n2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 a5,
quand m2 est 2 ou plus, une pluralité de RP peuvent être identiques ou différents, et quand n2 est 2 ou plus, une pluralité de RP? peuvent être identiques ou différents,
R® et RP représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone,
RP? et RO peuvent former un cycle avec les atomes de soufre auxquels R” et RP! sont liés, et -CHz- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
RP! représente un atome d'hydrogène, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 36 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 36 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone,
RP? représente un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 12 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné à chaîne peut être substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné aromatique peut être substitué avec un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alkylcarbonyloxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
RP! et RP? peuvent former un cycle avec -CH-CO- auquel RP! et RP12 sont liés, et -CH>- inclus dans le cycle peut être remplacé par -O-, -S- ou -CO-,
RP13 à RES représentent chacun indépendamment un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe hydrocarboné aliphatique ayant 1 à 12 atomes de carbone ou un groupe alcoxy ayant 1 à 12 atomes de carbone,
LP3! représente un atome de soufre ou un atome d'oxygène,
02, p2, s2 et t2 représentent chacun indépendamment un entier de 0à5,
q2 et r2 représentent chacun indépendamment un entier de 0 à 4, u2 représente 0 ou 1, et quand 02 est 2 ou plus, une pluralité de R?3 peuvent être identiques ou différents, quand p2 est 2 ou plus, une pluralité de R°** peuvent être identiques ou différents, quand q2 est 2 ou plus, une pluralité de RP!5 peuvent être identiques ou différents, quand r2 est 2 ou plus, une pluralité de RP!5 peuvent être identiques ou différents, quand s2 est 2 ou plus, une pluralité de RP peuvent être identiques ou différents, et quand t2 est 2 ou plus, une pluralité de RP!3 peuvent être identiques ou différents.
[0216] le groupe hydrocarboné aliphatique représente un groupe hydrocarboné à chaîne et un groupe hydrocarboné alicyclique.
Des exemples de groupe hydrocarboné à chaîne incluent des groupes alkyle comme un groupe méthyle, un groupe éthyle, un groupe propyle, un groupe isopropyle, un groupe butyle, un groupe sec-butyle, un groupe tert-butyle, un groupe pentyle, un groupe hexyle, un groupe octyle et un groupe 2-éthylhexyle.
En particulier, le groupe hydrocarboné à chaîne pour RP? à RE? a de préférence 1 à 12 atomes de carbone.
Le groupe hydrocarboné alicyclique peut être monocyclique ou polycyclique, et des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique monocyclique incluent les groupes cycloalkyle comme un groupe cyclopropyle, un groupe cyclobutyle, un groupe cyclopentyle, un groupe cyclohexyle, un groupe cycloheptyle, un groupe cyclooctyle et un groupe cyclodécyle. Des «exemples de groupe hydrocarboné alicyclique polycyclique incluent un groupe décahydronaphtyle, un groupe adamantyle, un groupe norbornyle et les groupes suivants.
En particulier, le groupe hydrocarboné alicyclique pour RP? à RE? à de préférence 3 à 18 atomes de carbone, et de préférence encore 4 à 12 atomes de carbone.
[0217] Des exemples de groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique incluent un groupe méthylcyclohexyle, un groupe diméthylcyclohexyle, un groupe 2-méthyladamantan-2-yle, un groupe 2-éthyladamantan-2-yle, un groupe 2-isopropyladamantan-2-yle, un groupe méthylnorbornyle, un groupe isobornyle et analogues. Dans le groupe hydrocarboné alicyclique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aliphatique, le nombre total d'atomes de carbone du groupe hydrocarboné alicyclique et du groupe hydrocarboné aliphatique est de préférence 20 ou moins. Un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone représente un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone qui a un atome d'halogène. Des exemples de groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone incluent des groupes fluorure d'alkyle tels qu'un groupe fluorométhyle, un groupe difluorométhyle, un groupe trifluorométhyle, un groupe perfluorobutyle et analogues. Le nombre d'atomes de carbone du groupe fluorure d'alkyle est de préférence de 1 à 9, de préférence encore de 1 à 6 et de préférence encore de 1 à 4.
[0218] Des exemples de groupe hydrocarboné aromatique incluent les groupes aryle comme un groupe phényle, un groupe biphényle, un groupe naphtyle et un groupe phénanthryle. Le groupe hydrocarboné aromatique peut avoir un groupe hydrocarboné à chaîne ou un groupe hydrocarboné alicyclique et des exemples de ceux-ci incluent un groupe hydrocarboné aromatique ayant un groupe hydrocarboné à chaîne (un groupe tolyle, un groupe xylyle, un groupe cuményle, un groupe mésityle, un groupe p- méthylphényle , un groupe p-éthylphényle, un groupe p-tert-butylphényle, un groupe 2,6-diéthylphényle, un groupe 2-méthyl-6-éthylphényle etc.), un groupe hydrocarboné aromatique comportant un groupe hydrocarboné alicyclique (un groupe p-cyclohexylphényle, un groupe p- adamantylphényle etc.) et analogues.
Quand le groupe hydrocarboné aromatique inclut le groupe hydrocarboné à chaîne ou le groupe hydrocarboné alicyclique, un groupe hydrocarboné à chaîne ayant 1 à 18 atomes de carbone et un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone sont préférables.
Des exemples du groupe hydrocarboné aromatique dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe alcoxy incluent un groupe p-méthoxyphényle et analogues. Des exemples du groupe hydrocarboné à chaîne dans lequel un atome d'hydrogène est substitué avec un groupe hydrocarboné aromatique incluent des groupes aralkyle comme un groupe benzyle, un groupe phénéthyle, un groupe phénylpropyle, un groupe trityle, un groupe naphtyIméthyle et un groupe naphtyléthyle.
[0219] Des exemples du groupe alcoxy incluent un groupe méthoxy, un groupe éthoxy, un groupe propoxy, un groupe butoxy, un groupe pentyloxy, un groupe hexyloxy, un groupe heptyloxy, un groupe octyloxy, un groupe décyloxy et un groupe dodécyloxy.
Des exemples du groupe alkylcarbonyle incluent un groupe acétyle, un groupe propionyle et un groupe butyryle.
Des exemples de l'atome d'halogène incluent un atome de fluor, un atome de chlore, un atome de brome et un atome d'iode.
Des exemples du groupe alkylcarbonyloxy incluent un groupe méthylcarbonyloxy, un groupe éthylcarbonyloxy, un groupe propyl- carbonyloxy, un groupe isopropylcarbonyloxy, un groupe butylcarbonyl- oxy, un groupe sec-butylcarbonyloxy, un groupe tert-butylcarbonyloxy, un groupe pentylcarbonyloxy, un groupe hexylcarbonyloxy, un groupe octylcarbonyloxy et un groupe 2-éthylhexylcarbonyloxy.
[0220] Le cycle formé avec les atomes de soufre auxquels RP? et RP5 sont liés, peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle ayant 3 à 18 atomes de carbone et est de préférence un cycle ayant 4 à 18 atomes de carbone. Le cycle contenant un atome de soufre inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons et inclut en particulier les cycles suivants. * représente une liaison. dy à à A à à à Q
[0221] Le cycle formé en combinant RP? et RP!° ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Des exemples du cycle incluent, par exemple, un cycle thiolan-1-ium (un cycle tétrahydrothiophénium), un cycle thian-1- ium, un cycle 1,4-oxathian-4-ium et analogues.
Le cycle formé en combinant RP!! et RP? ensemble peut être un cycle monocyclique, polycyclique, aromatique, non aromatique, saturé ou insaturé. Ce cycle inclut un cycle à 3 à 12 chaînons et est de préférence un cycle à 3 à 7 chaînons. Des exemples de ceux-ci incluent un cycle oxocycloheptane, un cycle oxocyclohexane, un cycle oxonorbornane, un cycle oxoadamantane et analogues.
[0222] Parmi le cation (b2-1) au cation (b2-4), un cation (b2-1) est préféré. Des exemples de cation (b2-1) incluent les cations suivants. 6 CaHs 6 OS CeH413 CgH47 (b2-c-1) (b2-c-2) (b2-c-3) (b2-c-4) (b2-c-5) (b2c8) (b2-c-7) (b2-c8) H3 H3 H3 -C4Hg -C4Hg © © °a © Q = O7 02 Oi OpeO} OÙ H c- t-C,H, (b2-c-14) (b2-c-9) (b2-c-10) (b2-c-11) (b2-c-12) (62-013)
[0223]
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A SA SF An Not A DE, Ee FF ion) a! Bes}
[0224] Des exemples de cation (b2-2) incluent les cations suivants. + + + + DO O+0- OOH (b2-c-28) (b2-c-29) (b2-c-30) (b2-c-50)
[0225] Des exemples de cation (b2-3) incluent les cations suivants. Q ) O O ces AO CC © OS (b2-c-31) (b2-c-32) (b2-c-33) (b2-c-34)
[0226] Des exemples de cation (b2-4) incluent les cations suivants. H3 (2 (2 (2 (2 + “0 + Á 7 Á }- CH X 4 JCH + X Ss U V U U b2-c-38 (b2--38) (b2-c-36) (52037) (2098) HzC, Hs; "© "© Q ©
OO HOO JOO JOO d Ó (b2-c-39) (b2-c-40) Hac (b2-c-41) Hat (b2-c-42) tC4Hg tC4Hg tC4Hg tC4Hg (2 (2 (2 (2 O0 Oden OO Pot ® (b2-c-43) ® (b2-c-44) Re (b2-c-45) Re (b2-c-46) Se}
[0227] Le générateur d'acide (B) est une combinaison des anions susmentionnés et des cations organiques susmentionnés, et ceux-ci peuvent être éventuellement combinés. Des exemples du générateur d'acide (B) sont de préférence des combinaisons d'un anion représenté par l'une quelconque de la formule (B1a-1) à la formule (B1a-3) et de la formule (B1a-7) à la formule (B1a-16), la formule (B1a-18), la formule (Bla-19) et de la formule (B1a-22) à la formule (B1a-38) avec un cation (b2-1), un cation (b2-3), un cation (b2-4).
[0228] Des exemples du générateur d'acide (B) sont de préférence ceux représentés par la formule (B1-1) à la formule (B1-56). Parmi ceux-ci, ceux contenant un cation arylsulfonium sont préférés, et ceux représentés par la formule (B1-1) à la formule (B1-3), la formule (B1-5) à la formule (B1-7), la formule (B1-11) à la formule (B1-14), la formule (B1-20) à la formule (B1-26), la formule (B1-29) et la formule (B1-31) à la formule (B1-56) sont particulièrement préférées.
H Ha H CO SM a HA SM ® (B1-1) D (B1-2) C (B1-3) 5, H $ ; ö Hz
EF > ss OR X GO (B14) © (B1-5) G (B16) -C4Hg Hz t-C4He Q ô
OK SET OT Hs (B1-7) -C4Ho (B18) tbh (B1-9) t-CaHo < I Q er N SC OR Hz t-C4H9 (B1-10) (B1-11) Oe
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1% BE2020/5941 C RG 9 wo "0 or A Oe Qu 9 1-22 Nn FT AN FT Ô (B1-23) 9 (B1-24) © © OO NO P F L © Oh Zg Ojoh of “sk (B1-25) (B1-26) (B1-27) À © otro DD 3 o CF; 9 (B1-28) Ô (B1-29) 9 sr A (B1-30)
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[0231]
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F en CO A © A A bn PN (B1-40) dm Ô ° <0 Ô (B1-41) (B1-42)
[0232]
O O X O 0 Ö ( ) Ö OT ON sk, OR Ô 3 ho Ö 3 Xe O
FF FF (B1-43) (B1-44) 3-0
O A = C 3 Q ard Bf A 08 - 09 ZOW =. À Oo 035 (B1-45) (B1-46)
O O 3 © 3 © … adef Sp OL Sch 3 Ö © (B1-47) o (81-48) 9
Q Q OH
O O O D (1 KF SF © F es ® ij >” 9E Do 1 © 0.1 0 Ô Ö Ö (B1-49) (B1-50) (B1-51) OH 0 p 9 en od seat } Fo 9 © FF 234070 ZN DE Oe (B1-52) 9 (B1-53) (B1-54) 74 4 O 0. A 1 rde FE a X STE OL © (B1-55) (B1-56)
[0233] Dans la composition de résist de la présente invention, la teneur en générateur d'acide est de préférence de 1 partie en masse ou plus et de 45 parties en masse ou moins, de préférence encore de 1 partie en masse ou plus et de 40 parties en masse ou moins, de préférence encore de 3 parties en masse ou plus et de 40 parties en masse ou moins, et de préférence encore 10 parties en masse ou moins et 40 parties en masse ou moins sur la base de 100 parties en masse de la résine (A) mentionnée plus haut.
[0234] <Solvant (E)> La teneur du solvant (E) dans la composition de résist est habituellement 90% en masse ou plus et 99,9% en masse ou moins, de préférence 92% en masse ou plus et 99% en masse ou moins, et de préférence encore 94% en masse ou plus et 99% en masse ou moins. La teneur du solvant (E) peut être mesurée, par exemple, par un moyen d'analyse connu comme la chromatographie liquide ou la chromatographie en phase gazeuse. Des exemples de solvant (E) incluent des esters d'éther de glycol comme l'acétate d'éthylcellosolve, l'acétate de méthylcellosolve et l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; des éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; des esters comme le lactate d'éthyle, l'acétate de butyle, l'acétate d'amyle et le pyruvate d'éthyle; des cétones comme l'acétone, la méthylisobutylcétone, la 2- heptanone et la cyclohexanone; et des esters cycliques comme la y- butyrolactone. Le solvant (E) peut être utilisé seul, ou deux ou plusieurs solvants peuvent être utilisés.
[0235] <Agent de désactivation « Quencher » (C)> Des exemples d'agent de désactivation (C) incluent un composé organique contenant de l'azote basique ou un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B). Quand la composition inclut l'agent de désactivation (C), la teneur de l'agent de désactivation (C) est de préférence environ 0,01 à 15% en masse, de préférence encore environ 0,01 à 10% en masse, de préférence encore environ 0.1 à 5% en masse et de préférence encore environ 0.1 à 3% en masse, sur la base de la quantité du composant solide de la composition de résist. Des exemples de composé organique contenant de l'azote basique incluent une amine et un sel d'ammonium. Des exemples d'amine incluent une amine aliphatique et une amine aromatique. Des exemples d'amine aliphatique incluent une amine primaire, une amine secondaire et une amine tertiaire. Des exemples d'amine incluent la 1-naphtylamine, la 2 naphtylamine, l'aniline, la diisopropylaniline, la 2-, 3- ou 4-méthylaniline, la 4-nitroaniline, la N-méthylaniline, la N,N-diméthylaniline, la diphénylamine, l'hexylamine, l'heptylamine, l'octylamine, la nonylamine, la décylamine, la dibutylamine, la dipentylamine, la dihexylamine, la diheptylamine, la dioctylamine, la dinonylamine, la didécylamine, la triéthylamine, la triméthylamine, la tripropylamine, la tributylamine, la tripentylamine, la trihexylamine, la triheptylamine, la trioctylamine, la trinonylamine, la tridécylamine, la méthyldibutylamine, la méthyldipentylamine, la méthyldihexylamine, la méthyldicyclohexylamine, la méthyldiheptylamine, la méthyldioctylamine, la méthyldinonylamine, la méthyldidécylamine, l'éthyldibutylamine, l'éthyldipentylamine, l'éthyldihexylamine, l'éthyldiheptylamine, l'éthyldioctylamine, l'éthyldinonylamine, l'éthyldidécylamine, la = dicyclohexylméthylamine, la = tris[2-(2- méthoxyéthoxy)éthyl]amine, la triisopropanolamine, l'éthylènediamine, la tétraméthylènediamine, l'hexaméthylènediamine, le 4,4"-diamino-1,2- diphényléthane, le 4,4"-diamino-3,3"-diméthyldiphénylméthane, le 4,4" — diamino-3,3"-diéthyldiphénylméthane, la 2,2'-méthylènebisaniline, l'imidazole, le 4-méthylimidazole, la pyridine, la 4-méthylpyridine, le 1,2- di(2-pyridyl)éthane, le 1,2-di(4-pyridyl)éthane, le 1,2-di(2-pyridyl)éthène, le 1,2-di(4-pyridyl)éthène, le 1,3-di(4-pyridyl)propane, le 1,2-di(4- pyridyloxy)éthane, la di(2-pyridyl)cétone, le sulfure de 4,4"-dipyridyle, le disulfure de 4,4’-dipyridyle, la 2,2'-dipyridylamine, la 2,2'-dipicolylamine, la bipyridine et analogues, de préférence la diisopropylaniline, et de préférence encore la 2,6-diisopropylaniline. Des exemples de sel d'ammonium incluent l'hydroxyde de tétraméthylammonium, : l'hydroxyde de = tétraisopropylammonium, —l'hydroxyde de tétrabutylammonium, l'hydroxyde de tétrahexylammonium, l'hydroxyde de tétraoctylammonium, l'hydroxyde de phényltriméthyl- ammonium, l'hydroxyde de 3-(trifluorométhyl)phényltriméthylammonium, le salicylate de tétra-n-butylammonium et la choline.
[0236] L'acidité dans un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) est indiquée par la constante de dissociation d'acide (pKa). Concernant le sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B), la constante de dissociation d'acide d'un acide généré à partir du sel répond habituellement à l'inégalité suivante : -3 < pKa, de préférence -1 < pKa < 7, et de préférence encore 0 < pKa < 5. Des exemples de sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré à partir du générateur d'acide (B) incluent les sels représentés par les formules suivantes, un sel représenté par la formule (D) mentionné dans JP 2015-147926 A (dans la suite parfois appelé “sel interne d'acide faible (D)", et les sels mentionnés dans JP 2012-229206 A, JP 2012-6908 A, JP 2012-72109 A, JP 2011-39502 A et JP 2011-191745 A.
Le sel est de préférence un sel générateur d'un acide carboxylique ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré par le générateur d'acide (B) (un sel ayant un anion d'acide carboxylique), et de préférence un sel interne d'acide faible (D). 3 Sg bg $ arr Ö FE Ç, © p © Of AO Le JO FO 9 F7SF AA, Ô 6 Ô 6 Ô on L- +2 Gp LG AO Oto) Ojee Oos
[0237] Des exemples de sel interne d'acide faible (D) incluent les sels suivants. _ 007 700C + 007 oo do 00 “00 0 90 coo” oo COO OO coo COO” Sofon dodo Br CI 007 coo” coo” 00 oo oO, doo dio Fo do dig _ N _
[0238] <Autres composants> La composition de resist de la presente invention peut aussi inclure des composants autres que les composants mentionnes ci-dessus (dans la suite appelés parfois “autres composants (F)"). Les autres composants (F) ne sont pas limités particulièrement et il est possible d'utiliser différents additifs connus dans le domaine des résists, par exemple des sensibilisateurs, des inhibiteurs de dissolution, des tensioactifs, des stabilisants, et des colorants.
[0239] … <Préparation de composition de résist> La composition de résist de la présente invention peut être préparée par mélange d'une résine (A), un générateur d'acide (B) et facultativement d’une résine autre que la résine résine (A), d’un solvant (E), d'un agent de désactivation (C), et d'autres composants (F). L'ordre de mélange de ces composants est un ordre quelconque et il n'est pas limité particulièrement. Il est possible de choisir, comme température pendant le mélange, une température appropriée de 10 à 40°C, selon le type de la résine, la solubilité dans le solvant (E) de la résine et analogues. Il est possible de choisir, comme durée de mélange, une durée appropriée de 0,5 à 24 heures selon la température de mélange. Le moyen de mélange n'est pas particulièrement limité et il est possible d'utiliser un mélange avec agitation.
Après le mélange des composants respectifs, le mélange est de préférence filtré sur un filtre ayant un diamètre de pores d'environ 0,003 à 0,2 um.
[0240] <Procédé pour produire un motif de résist> Le procédé pour produire un motif de résist de la présente invention inclut : (1) une étape d'application de la composition de résist de la présente invention sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
La composition de résist peut être appliquée habituellement sur un substrat au moyen d'un appareil utilisé conventionnellement, comme un applicateur centrifuge (« spin coater »). Des exemples de substrat incluent les substrats inorganiques comme une galette de silicium. Avant l'application de la composition de résist, le substrat peut être lavé, et un film antireflet organique peut être formé sur le substrat.
Le solvant est retiré par séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition. Le séchage est conduit par évaporation du solvant au moyen d'un dispositif de chauffage comme une plaque chauffante (appelé "précuisson") ou un dispositif de décompression. La température de chauffage est de préférence 50 à 200°C et la durée de chauffage est de préférence 10 à 180 secondes. La pression pendant le séchage sous pression réduite est de préférence environ 1 à 1,0 x 10° Pa.
La couche de composition ainsi obtenue est habituellement exposée au moyen d'un dispositif d'alignement. Le dispositif d'alignement peut être un dispositif d'alignement à immersion dans un liquide. Il est possible d'utiliser, comme source d'exposition, différentes sources d'exposition, par exemple, des sources d'exposition capables d'émettre un faisceau laser dans une région des ultraviolets comme un laser excimère à KrF (longueur d'onde de 248 nm), un laser excimère à ArF (longueur d'onde de 193 nm) et un laser excimère à F; (longueur d'onde de 157 nm), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau laser à harmoniques dans une région des ultraviolets lointains ou une région des ultraviolets sous vide par conversion de longueur d'onde de faisceau laser à partir d'une source laser à l'état solide (laser à YAG ou à semi-conducteur), une source d'exposition capable d'émettre un faisceau d'électrons ou EUV et analogues. Dans la présente description, une telle exposition à un rayonnement est parfois appelée collectivement “exposition”. L'exposition est habituellement conduite à travers un masque correspondant à un motif requis. Quand un faisceau d'électrons est utilisé comme source d'exposition, l'exposition peut être conduite par écriture directe sans utiliser de masque.
La couche de composition exposée est soumise à un traitement thermique (appelé “cuisson de post-exposition”) pour favoriser la réaction de déprotection dans un groupe labile en milieu acide. La température de chauffage est habituellement environ 50 à 200°C, et de préférence environ 70 à 150°C.
La couche de composition chauffée est habituellement développée avec une solution de développement au moyen d'un appareil de développement. Des exemples de procédé de développement incluent un procédé par immersion, un procédé à palettes, un procédé par pulvérisation, un procédé de distribution dynamique et analogues. La température de développement est de préférence, par exemple, 5 à 60°C et la durée de développement est de préférence, par exemple, 5 à 300 secondes. Il est possible de produire un motif de résist positif ou un motif de résist négatif en choisissant le type de la solution de développement comme suit.
Quand le motif de résist positif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une solution de développement alcaline est utilisée comme solution de développement. La solution de développement alcaline peut être différentes solutions alcalines aqueuses utilisées dans ce domaine. Des exemples de celles-ci incluent les solutions aqueuses d'hydroxyde de tétraméthylammonium et d'hydroxyde de (2-hydroxyéthyl)triméthylammonium (communément connu comme étant la choline). Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement alcaline.
I est préféré que le motif de résist développé soit lavé avec de l'eau ultrapure, après quoi l'eau restant sur le substrat et le motif est retirée.
Quand le motif de résist négatif est produit à partir de la composition de résist de la présente invention, une solution de développement contenant un solvant organique (dans la suite appelée parfois “solution de développement organique”) est utilisée comme solution de développement.
Des exemples de solvant organique contenu dans la solution de développement organique incluent les solvants cétoniques comme la 2- hexanone et la 2-heptanone; les solvants esters d'éther de glycol comme l'acétate de monométhyléther de propylèneglycol; les solvants esters comme l'acétate de butyle; les solvants éthers de glycol comme le monométhyléther de propylèneglycol; les solvants amides comme le N,N- diméthylacétamide ; et les solvants hydrocarbonés aromatiques comme l'anisole.
La teneur du solvant organique dans la solution de développement organique est de préférence 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 95% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement du solvant organique.
En particulier, la solution de développement organique est de préférence une solution de développement contenant de l'acétate de butyle et/ou de la 2-heptanone. La teneur totale de l'acétate de butyle et de la 2-heptanone dans la solution de développement organique est de préférence 50% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, de préférence encore 90% en masse ou plus et 100% en masse ou moins, et de préférence encore la solution de développement organique est composée essentiellement d'acétate de butyle et/ou de 2-heptanone.
Le tensioactif peut être contenu dans la solution de développement organique. Une quantité d'eau à l'état de traces peut être contenue dans la solution de développement organique.
Pendant le développement, le développement peut être arrêté par remplacement par un solvant d'un type différent de celui de la solution de développement organique.
Le motif de résist développé est de préférence lavé avec une solution de rinçage. La solution de rinçage n'est pas limitée particulièrement tant qu'elle ne dissout pas le motif de résist, et il est possible d'utiliser une solution contenant un solvant organique ordinaire qui est de préférence un solvant alcoolique ou un solvant ester. Après le lavage, la solution de rinçage qui reste sur le substrat et le motif est de préférence retirée.
[0241] <Applications> La composition de résist de la présente invention est appropriée comme composition de résist pour exposition à un laser excimère à KrF, une composition de résist pour exposition à un laser excimère à ArF, une composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (FE) ou une composition de résist pour exposition aux ultraviolets extrêmes (UVE), et particulièrement appropriée comme composition de résist pour exposition à un faisceau d'électrons (FE) ou comme composition de résist pour exposition aux EUV et la composition de résist est utile pour le traitement fin des semi-conducteurs.
EXEMPLES
[0242] La présente invention va être décrite plus spécifiquement au moyen d'exemples. Les pourcentages et les parties exprimant les teneurs ou les quantités utilisées dans les exemples sont en masse sauf indication contraire.
La masse moléculaire moyenne en poids est une valeur déterminée par chromatographie par perméation de gel. Les conditions d'analyse de la chromatographie par perméation de gel sont les suivantes.
Colonne: TSKgel Multipore HXL-M x 3 + colonne de garde — (fabriquée par TOSOH CORPORATION) Éluant: tétrahydrofurane Débit: 1,0 mL/min Détecteur: détecteur RI Température de la colonne: 40°C Quantité d'injection: 100 uL
Etalons de masse moléculaire: polystyrène standard (fabriqué par TOSOH CORPORATION) Les structures des composés ont été confirmées en mesurant un pic d'ion moléculaire par spectrométrie de masse (chromatographie liquide: Modèle 1100, fabriqué par Agilent Technologies, Inc, spectrométrie de masse: Modèle LC/MSD, fabriqué par Agilent Technologies, Inc.). La valeur de ce pic d'ion moléculaire dans les exemples suivants est indiquée par “MASSE”.
[0243] Exemple de synthèse 1 : Synthèse du composé représenté par la formule (1-17)
OH OH =\8 © © CM os 3 as ©
OH TT (I-17-a) (I-17-c) (I-17-b) (I-17-d) 20 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-a), 2,28 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-c), 100 parties d'acétate d'éthyle et 15 parties de tétrahydrofurane ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes. A la solution mélangée ainsi obtenue, 6,55 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-b) ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 18 heures. A la masse réactionnelle ainsi obtenue, 20 parties de n-heptane et 70 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi récupérée, on a ajouté 60 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée quatre fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée puis la masse concentrée a été isolée à l'aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / éthyle acétate = 1/1) pour obtenir 7,48 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-d).
He ; ‘ Ss A c IN F7 wos ; (LTE) (E17) of D. See 7 {x-17-e} {1-17} 5,90 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-e), 7,10 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-f) et 30 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une agitation à 60°C pendant 1 heure. Au mélange ainsi obtenu, 7,26 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-d) ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 60°C pendant 1 heure. La masse de réaction ainsi obtenue a été refroidie à 23°C, puis 100 parties d'acétate d'éthyle et 50 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée quatre fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis la masse concentrée a été isolée à l’aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100- 210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc, solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 5/1) pour obtenir 9,44 parties d'un composé représenté par la formule (1-17). MASSE (analyse de masse): 313,1 [M + HT"
[0244] Exemple de synthèse 2 : Synthèse du composé représenté par la formule (1-25) en HO 9 Q Ç + CT _. ok F 0_,0 (I-17-d) (I-25-a) T ] (I-25-b)
5,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-25-a), 10,39 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-d), 50 parties de diméthylformamide et 11,14 parties de carbonate de potassium ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une agitation à 120°C pendant 18 heures. Le mélange ainsi obtenu a été refroidi à 23°C, puis 150 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et 150 parties d'acétate d'éthyle ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 150 parties d'eau échangée d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis la masse concentrée a été isolée à l’aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n- heptane / acétate d'éthyle = 5/1) pour obtenir 10,61 parties d'un composé représenté par la formule (I-25-b).
x Sehr AN ew EN 2 C cas (5 è N à es {1-25} 11-25-b} 17,16 parties d'un composé représenté par la formule (I-25-c), 5,39 parties d'un composé représenté par la formule (I-25-d) et 120 parties de tétrahydrofurane ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C. Au mélange ainsi obtenu, 10,58 parties d'un composé représenté par la formule (I-25-b) ont été ajoutées à 5°C pendant 30 minutes, ce qui a été suivi par une élévation de la température à 23°C, une agitation à 23°C pendant 12 heures et en outre par une filtration. Au filtrat ainsi obtenu, on a ajouté 100 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et 200 parties d'acétate d'éthyle et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 100 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis la masse concentrée a été isolée à l’aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 5/1) pour obtenir 6,82 parties d'un composé représenté par la formule (I-25). MASSE (analyse de masse): 285,1 [M + H]".
[0245] Exemple 1 : Synthèse du composé représenté par la formule (1-43) — © Oo OMe (I-17-e) Q,
OH O (I-43-a) (I-43-b) T (I-43-d) 5,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-43-a), 0,008 partie d'un composé représenté par la formule (I-17-c) et 50 parties de toluène ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une élévation de la température jusqu'à 100°C. A la solution mélangée ainsi obtenue, 6,19 parties d'un composé représenté par la formule (I-43-b) ont été ajoutées goutte à goutte à 100°C, ce qui a été suivi par une agitation à 110°C pendant 2 heures et en outre par un refroidissement à 23°C. Au mélange ainsi obtenu, 25 parties d'acétate d'éthyle et 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi récupérée, 30 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée pour obtenir 5,85 parties d'un composé représenté par la formule (I-43-d).
OH
Q © NND LL CA | = Z
EQ HOT NO (I-17-£) (I-43-d) 04 (I-43) (I-17-e)
4.20 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-e), 5,06 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-f) et 30 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une agitation 60°C pendant 1 heure. Au mélange ainsi obtenu, 5,79 parties d'un composé représenté par la formule (I-43-d) ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 60°C pendant 1 heure. La masse de réaction ainsi obtenue a été refroidie à 23°C, puis 100 parties d'acétate d'éthyle et 50 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi récupérée, 50 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis la masse concentrée a été isolée à l'aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 3,10 parties d'un composé représenté par la formule (I-43). MASSE (analyse de masse): 297,1 [M + H]"
[0246] Exemple 2: Synthèse du composé représenté par la formule (1-33) © Oo
TOL TOL go GP 0 OH ok OH (1-33) (1-43) 2,95 parties d'un composé représenté par la formule (I-43), 1,89 parte d'acide p-toluènesulfonique et 30 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une agitation à 60°C pendant 10 heures. Le mélange ainsi obtenu a été refroidi à 23°C, puis 50 parties d'acétate d'éthyle et 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, on a ajouté 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée pour obtenir 1,95 partie d'un composé représenté par la formule (I-33). MASSE (analyse de masse): 257,1 [M + H]"
[0247] Exemple de synthèse 3: Synthèse du composé représenté par la formule (1-67) —\® © (ON os N—
OH OH OH + ns EL O_o NS (I-17-c) NS T 9 (I-67-a) (I-17-b) (I-67-d) 20 parties d'un composé représenté par la formule (I-67-a), 2,28 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-c), 100 parties d'acétate d'éthyle et 14 parties de tétrahydrofurane ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 10°C. A la solution mélangée ainsi obtenue, 6,55 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-b) ont été ajoutées goutte à goutte à 10°C, ce qui a été suivi par une élévation de la température à 23°C et en outre par une agitation à 23°C pendant 2 heures. Au mélange ainsi obtenu, 70 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée cinq fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis la masse concentrée a été isolée à l'aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc, solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 8,75 parties d'un composé représenté par la formule (I-67-d).
OH 5
SS OT HOT To ° (1-67-d) 9 DO (1-17-f) 00 (I-17-e) T (1-67) 6,40 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-e), 7,70 parties d'un composé représenté par la formule (I-17-f) et 32 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une agitation à 60°C pendant 1 heure. Au mélange ainsi obtenu, 8,65 parties d'un composé représenté par la formule (1-67-d) ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 60°C pendant 1 heure. La masse réactionnelle ainsi obtenue a été refroidie à 23°C, puis 100 parties d'acétate d'éthyle et 50 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation.
Cette opération de lavage à l'eau a été répétée quatre fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis la masse concentrée a été isolée à l’aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100- 210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc. solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 5/1) pour obtenir 9,84 parties d'un composé représenté par la formule (1-67). MASSE (analyse de masse): 313,1 [M + H]*
[0248] Exemple de synthèse 4: Synthèse du composé représenté par la formule (1-68)
A A > HCI $ p — x 07 97 © 00 HO T (1-68) (1-67) 5,00 parties d'un compose represente par la formule (1-67), 20 parties d'acide chlorhydrique 1N et 30 parties d'acétonitrile ont été mélangées, puis agitées à 23°C pendant 10 heures. Au mélange ainsi obtenu, 50 parties d'acétate d'éthyle ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée et ensuite 100 parties de n- heptane ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une filtration pour obtenir 3,75 parties d'un composé représenté par la formule (1-68). MASSE (analyse de masse): 241,1 [M + H]"
[0249] Exemple 3: Synthèse du composé représenté par la formule (I-49) & R
O F
TC A “9 (I-25-a) € (I-49-b)
2,50 parties d'un composé représenté par la formule (I-25-a), 4,74 parties d'un composé représenté par la formule (I-43-d), 25 parties de diméthylformamide et 5,57 parties de carbonate de potassium ont été mélangées, ce qui a été suivi d'une agitation à 23°C pendant 30 minutes eten outre par une agitation à 120°C pendant 18 heures.
Le mélange ainsi obtenu a été refroidi à 23°C, puis 80 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et 80 parties d'acétate d'éthyle ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation.
A la couche organique ainsi obtenue, 80 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation.
Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois.
La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis la masse concentrée a été isolée à l’aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100- 210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc. solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 5/1) pour obtenir 5,01 parties d'un composé représenté par la formule (I-49-b). 0° MePPhzBr © O (I-25-c) © Q KOtBu Q Oo (I-25-d) 4 L + (I-49-b) (1-49) 8,58 parties d'un composé représenté par la formule (I-25-c), 2,70 parties d'un composé représenté par la formule (I-25-d) et 60 parties de tétrahydrofurane ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par un refroidissement à 5°C.
Au mélange ainsi obtenu, 5,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-49-b) ont été ajoutées à 5°C pendant 30 minutes, ce qui a été suivi par une élévation de la température à 23°C, par une agitation à 23°C pendant 12 heures et en outre par une filtration.
Au filtrat ainsi obtenu, 100 parties d'eau ayant subi un échange d'ions et 200 parties d'acétate d'éthyle ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation.
A la couche organique ainsi obtenue, 100 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis la masse concentrée a été isolée à l'aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc, solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 5/1) pour obtenir 3,22 parties d'un composé représenté par la formule (I-49). MASSE (analyse de masse): 269,1 [M + H]"
[0250] Exemple 4: Synthèse du composé représenté par la formule (I-37) SO” Oo
O O Q SO3H Q —— 6 OH on (1-49) (1-37) 2,67 parties d'un compose represente par la formule (I-49), 1,89 partie d'acide p-toluènesulfonique et 30 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et une autre agitation à 60°C pendant 10 heures. Le mélange ainsi obtenu a été refroidi à 23°C, puis 50 parties d'acétate d'éthyle et 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 20 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée pour obtenir 1,69 partie d'un composé représenté par la formule (I-37). MASSE (analyse de masse): 229,1 [M + H]"
[0251] Exemple 5: Synthèse du composé représenté par la formule (1-81) (ON ces OH + E10, „OEL OO OH CL, OEt (I-17-c) oe OH OA 5 (I-81-a) (I-81-b) (I-81-d) 5,00 parties d'un composé représenté par la formule (I-81-a), 0,008 partie d'un composé représenté par la formule (I-17-c) et 50 parties de toluène ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une élévation de la température jusqu'à 100°C. A la solution mixte ainsi obtenue, 7,05 parties d'un composé représenté par la formule (I-81-b) ont été ajoutées à 100°C, ce qui a été suivi par une agitation à 110°C pendant 2 heures et un refroidissement supplémentaire à 23°C. Au mélange ainsi obtenu, 25 parties d'acétate d'éthyle et 30 parties d'eau à échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi récupérée, 30 parties d'eau échangée d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis la masse concentrée a été isolée à l’aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc., solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 2,19 parties d'un composé représenté par la formule (I-81-d).
OH A i
NA ISN O © Sat? a OO Oo a zy, oo 5 Ho” “Oo (1-17-f£) (I-81-d) 0 (I-17-e) (I-81)
1,40 partie d'un composé représenté par la formule (I-17-e), 1,69 partie d'un composé représenté par la formule (I-17-f) et 20 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une agitation à 60°C pendant 1 heure. Au mélange ainsi obtenu, 2,12 parties d'un composé représenté par la formule (I-81-d) ont été ajoutées, ce qui a été suivi par une agitation à 60°C pendant 1 heure. La masse réactionnelle ainsi obtenue a été refroidie à 23°C, puis 50 parties d'acétate d'éthyle et 25 parties d'eau échangée d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi récupérée, 25 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée, puis la masse concentrée a été isolée à l’aide d'une colonne (gel de silice 60 N (sphérique, neutre) 100-210 um; fabriquée par Kanto Chemical Co., Inc, solvant de développement: n-heptane / acétate d'éthyle = 10/1) pour obtenir 1,03 partie d'un composé représenté par la formule (I-81). MASSE (analyse de masse): 313,1 [M + H]*
[0252] Exemple 6: Synthèse du composé représenté par la formule (I-71) Oo O
TO DL el A SO:H (A A + Cr OH o—/ (1-71) (I-81) 1,03 parties d'un composé représenté par la formule (I-81), 0,63 partie d'acide p-toluènesulfonique et 10 parties d'acétonitrile ont été mélangées, ce qui a été suivi par une agitation à 23°C pendant 30 minutes et en outre par une agitation à 60°C pendant 10 heures. Le mélange ainsi obtenu a été refroidi à 23°C, puis 30 parties d'acétate d'éthyle et 15 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. A la couche organique ainsi obtenue, 15 parties d'eau ayant subi un échange d'ions ont été ajoutées et, après agitation à 23°C pendant 30 minutes, la couche organique a été isolée par séparation. Cette opération de lavage à l'eau a été répétée trois fois. La couche organique ainsi obtenue a été concentrée pour obtenir 0,38 partie d'un composé représenté par la formule (I-71). MASSE (analyse de masse): 257,1 [M + H]*
[0253] Synthèse de résine Les composés (monomères) utilisés dans la synthèse des résines sont indiqués ci-dessous. H H = Hs Hs tt Er YO N Le
OH (a1-1-3) (21-26) (a1-42) (a2-1-3) (2342) © © © © © © ©
O O O C | Ò. à,
OH oa Ov OH % H (1-37) 1-49 (17) (1-25) (33) (1-43) 9 = = H CH CH;= Cha Cr Cr CH, ts
O O © DO ° fp NC48H37 G 0 u) NFS0
A Ÿ OH QU 2 CsFi7 (@x2) (1-67) (1-68) (1-71) (1-81) (ax-1) Dans la suite, ces monomères sont appelés «monomere (a1-1-3)» selon le numéro de la formule.
[0254] Exemple 7 [Synthèse de la résine A1] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-17) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 19:25:38:18 [monomère (al-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (I-17)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, l'azobisisobutyronitrile et l'azobis (2,4-diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en les quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'acide p- toluènesulfonique a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A1 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,6 x 103 avec un rendement de 62%. Cette résine Al comprend les unités structurelles suivantes (un taux d'élimination d'un groupe éthoxyéthyle dans tous les groupes éthoxyéthyle du monomère (a1-4-2) et du monomère (1-17) est de 100%).
Hs Ha N {cha tou tou tong 5 ° L A1 LD © ©
OH
[0255] Exemple 8 [Synthèse de la résine A2] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (1-17) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 19:25:38:18 [monomère (al-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomere (I-17)] et de la méthylisobutylcétone a été rajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrie et de l'azobis (2,4 diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, la solution de réaction de polymérisation a été refroidie à 15°C et une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée, ce qui a été suivi par une agitation pendant 6 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivie par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A2 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,9 x 103 avec un rendement de 58%. Cette résine A2 comprend les unités structurelles suivantes (un taux d'élimination d'un groupe éthoxyéthyle dans tous les groupes éthoxyéthyle du monomère (a1-4-2) et du monomère (I-17) est de 72%).
"3 oe tE {cis “3 “5 SO ©) A2 “YO A OT y © ÖH >
[0256] Exemple 9 [Synthèse de la résine A3] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-17) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 25:38:37 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (I-17)] et de la méthylisobutylcétone a été rajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4- diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée à la solution de reaction de polymérisation, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n- heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A3 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,5 x 103 avec un rendement de 65%. Cette résine A3 comprend les unités structurales suivantes (un taux d'élimination d'un groupe éthoxyéthyle dans tous les groupes éthoxyéthyle du monomère (1-17) est de 100%). Hs Hs ton ta ÆcH,
O O d ’ ©) A3
ÖH
[0257] Exemple 10 [Synthese de la resine A4] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (I-17) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 12:20:35:3:15:15 [monomère (a1-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (I-17)] et de la méthylisobutylcétone a été rajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4- diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par un isolement par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A4 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,8 x 10? avec un rendement de 63%. Cette résine A4 comprend les unités structurelles suivantes (un taux d'élimination d'un groupe éthoxyéthyle dans tous les groupes éthoxyéthyle du monomère (a1-4-2) et du monomère (1-17) est de 100%). {on CH ik to Æch, ik tou {ch } 5 O O @ í no C » ‘
OH ) I OH
[0258] Exemple 11 [Synthèse de la résine A5] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (I-17) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (I-17)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4-diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'armorceurs en des quantités de 1,2% en mole et 3,6% en mole sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'acide p- toluènesulfonique a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi d'une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation supplémentaire par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n- heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A5 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,4 x 10° avec un rendement de
66%. Cette résine A5 comprend les unités structurelles suivantes (un taux d'élimination d'un groupe éthoxyéthyle dans tous les groupes éthoxyéthyle du monomeère (1-17) est de 100%). tot a dou tom }
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[0259] Exemple 12 [Synthèse de la résine A6] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-25) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 19:25:38:18 [monomère (a1-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (I-25)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrie et de l'azobis (2,4 diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A6 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,2 x 10° avec un rendement de 59%. Cette résine A6 comprend les unités structurelles suivantes (un taux d'élimination d'un groupe éthoxyéthyle dans tous les groupes éthoxyéthyle du monomère (a1-4-2) et du monomère (I-25) est de 100%).
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O O A6 L D ©
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[0260] Exemple 13 [Synthese de la resine A7] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (I-25) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 12:20:35:3:15:15 [monomère (a1-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (I-25)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4- diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi d'une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A7 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,4 x 103 avec un rendement de 61%. Cette résine A7 inclut les unités structurelles suivantes (un taux d'élimination d'un groupe éthoxyéthyle dans tous les groupes éthoxyéthyle du monomère (a1-4-2) et du monomère (I-25) est de 100%).
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[0261] Exemple 14 [Synthèse de la résine A8] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3), un 5 monomère (a1-2-6) et un monomère (1-33) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 19:25:38:18 [monomère (al-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (I-33)] et de la méthylisobutylcétone a été mélangée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de lazobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4 diméthylvaléronitrile) en tant qu'amorceurs ont été ajoutés en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi d'une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une Collecte pour obtenir une résine A8 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,2 x 103 avec un rendement de 60%. Cette résine A8 comprend les unités structurelles suivantes. Hs Hz “5 tog tE CH,
O O A8 bh D Yo
O Q, OH
[0262] Exemple 15 [Synthèse de la résine A9] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-33) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 25:38:37 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (I-33)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4- diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, la solution de réaction de polymérisation a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A9 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,0 x 10° avec un rendement de 65%. Cette résine A9 comprend les unités structurelles suivantes.
Hs Hs Ni to to ton,
O O d ° 5 A9
O Ò. OH
[0263] Exemple 16 [Synthèse de la résine A10] On a utilisé de l'acétoxystyrène, un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-43) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 37:20:32:11 [acétoxystyrène: monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (I- 43)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile a été ajouté en tant qu'amorceur en une quantité de 7 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à
85°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'hydroxyde de tétraméthylammonium à 25% a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n- heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A10 (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,3 x 103 avec un rendement de 62 %. Cette résine A10 comprend les unités structurelles suivantes. Hs Ha A10 T Yo
O 9
[0264] Exemple 17 [Synthèse de la résine A11] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (I-33) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 12:20:35:3:15:15 [monomère (a1-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (1-33)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4- diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A11 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,1 x 103 avec un rendement de 62%. Cette résine A11 comprend les unités structurelles suivantes. ton, toy to to tof Lc DO SO L- Ì an on 1 HM 07 ) SL. 5 OH
[0265] Exemple 18 [Synthèse de la résine A12] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (I-33) comme monomères , ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (I-33)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4-diméthylvaléronitrile) en tant qu'amorceurs ont été ajoutés en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, la solution de réaction de polymérisation a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A12 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,2 x 103 avec un rendement de 64%. Cette résine A12 comprend les unités structurelles suivantes.
H H H H ton —& ton tend ton {ct AL A12 OH | °
OH OH
[0266] Exemple 19 [Synthèse de la résine A13] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-68) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 19:25:38:18 [monomère (a1-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (I-68)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrie et de l'azobis (2,4 diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, la solution de réaction de polymérisation a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A13 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,3 x 10* avec un rendement de 60%. Cette résine A13 comprend les unités structurelles suivantes.
Hs Hs {ct ton in: +CH,
O O A13
M YO O &
[0267] Exemple 20 [Synthèse de la résine A14] On a utilisé de l'acétoxystyrène, un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-67) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 37:20:32:11 [ acétoxystyrène: monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (I- 67)] et de la méthylisobutylcétone en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile a été ajouté en tant qu'amorceur en une quantité de 7 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 85°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'hydroxyde de tétraméthylammonium à 25% a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n- heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A14 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,2 x 10° avec un rendement de 63%. Cette résine A14 comprend les unités structurelles suivantes.
{ct org ton tE CH,
O O 5 O A14
O O 7
[0268] Exemple 21 [Synthèse de la résine A15] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-37) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 19:25:38:18 [monomère (a1-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (1-37)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrie et de l'azobis (2,4 diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant quamorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A15 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,3 x 103 avec un rendement de 63%. Cette résine A15 comprend les unités structurelles suivantes. {ch teg ta tony À 5 ° > A15 bh MD vO OO,
OH
[0269] Exemple 22 [Synthèse de la résine A16] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-37) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 25:38:37 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (1-37)] et de la méthylisobutylcétone en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4-diméthylvaléronitrile) en tant qu'amorceurs ont été ajoutés en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, la solution de réaction de polymérisation a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A16 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,2 x 103 avec un rendement de 61%. Cette résine A16 comprend les unités structurelles suivantes. Hs Hz A tou toa ÆcH,
O O q ) 5 A16 On
ÖH
[0270] Exemple 23 [Synthèse de la résine A17] On a utilisé de l'acétoxystyrène, un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-49) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 37:20:32:11 [acétoxystyrène: monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (I- 49)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile a été ajouté en tant qu'amorceur en des quantités de 7 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 85°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'hydroxyde de tétraméthylammonium à 25% a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n- heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivie par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A17 (copolymère) ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,5 x 103 avec un rendement de 60 %. Cette résine A17 comprend les unités structurelles suivantes.
Hs Hs EE 7 A17 OH ©
[0271] Exemple 24 [Synthèse de la résine A18] On a utilisé un monomère (a1-4-2), un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (I-37) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 12:20:35:3:15:15 [monomère (a1-4-2): monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (I-37)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4- diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% en mole et 3,6 mol% en mole sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et par une collecte pour obtenir une résine A18 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,2 x 103 avec un rendement de 60%. Cette résine A18 comprend les unités structurelles suivantes.
Hz Hz Hz Hz Len, +CHz 5 +CH; ; tou VE tech D A18 OH 4 22
OH O Ö Q, OH
[0272] Exemple 25 [Synthèse de la résine A19] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (I-37) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (I-37)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4-diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, la solution de réaction de polymérisation a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A19 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,3 x 103 avec un rendement de 63%. Cette résine A19 comprend les unités structurelles suivantes. ou tou td ton) {cn EN 6 .
H
OH 9 OH
OH
[0273] Exemple 26 [Synthèse de la résine A20] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-71) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 25:38:37 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (I-71)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4- diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, la solution de réaction de polymérisation a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A20 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,5 x 103 avec un rendement de 58%. Cette résine A20 comprend unités structurelles suivantes.
H to toe 5
O O d A20
TO YO
H . x
[0274] Exemple 27 [Synthèse de la résine A21] On a utilisé de l'acétoxystyrène, un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6) et un monomère (I-81) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 37:20:32:11 [acétoxystyrène: monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (I- 81)] et de la méthylisobutylcétone en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile a été ajouté en tant qu'amorceur en une quantité de 7 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 85°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'hydroxyde de tétraméthylammonium à 25% a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation, ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n- heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A21 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,7 x 10° avec un rendement de 55%. Cette résine A21 comprend les unités structurelles suivantes.
Hs Hs H tc, voy tot {ch ° @ A21 Lp vo 0 O core
O
[0275] Exemple 28 [Synthèse de la résine A22] On a utilisé un monomère (a1-1-3), un monomère (a1-2-6), un 5 monomère (a2-1-3), un monomère (a3-4-2) et un monomère (1-71) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 20:35:3:15:27 [monomère (a1-1-3): monomère (a1-2-6): monomère (a2-1-3): monomère (a3-4-2): monomère (I-71)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrile et de l'azobis (2,4-diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, la solution de réaction de polymérisation a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine A22 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ d'environ 5,4 x 10° avec un rendement de 59%. Cette résine A22 comprend les unités structurelles suivantes. te ru tf et tof 0 et YY A OH L Ao
OH OH 0 OÖ OH
[0276] Exemple de synthèse 5 [Synthèse de la résine AX1] On a utilisé un monomère (ax-1), un monomère (ax-2) et un monomère (I-17) comme monomères, ces monomères ont été mélangés dans un rapport molaire de 30:30:40 [monomère (ax-1): monomère (ax- 2): monomère (I-17)] et de la méthylisobutylcétone a été ajoutée en une quantité de 1,5 fois la masse totale de tous les monomères. Au mélange ainsi obtenu, de l'azobisisobutyronitrie et de l'azobis (2,4 diméthylvaléronitrile) ont été ajoutés en tant qu'amorceurs en des quantités de 1,2 mol% et 3,6 mol% sur la base du nombre molaire total de tous les monomères, ce qui a été suivi par une polymérisation du mélange par chauffage à 73°C pendant environ 5 heures. Ensuite, une solution aqueuse d'acide p-toluènesulfonique a été ajoutée à la solution de réaction de polymérisation ce qui a été suivi par une agitation pendant 12 heures et en outre par une isolation par séparation. La couche organique ainsi récupérée a été versée dans une grande quantité de n-heptane pour précipiter une résine, ce qui a été suivi par une filtration et en outre par une collecte pour obtenir une résine AX1 ayant une masse moléculaire moyenne en masse d'environ 5,4 x 10° avec un rendement de 66%. Cette résine AX1 comprend les unités structurelles suivantes (un taux d'élimination d'un groupe éthoxyéthyle dans tous les groupes éthoxyéthyle du monomère (1-17) est de 100%). #CHz ; we? tc N 0 0 AX1 + nC48H37 OO je 07 0 ) CsF17 ©
OH
[0277] <Préparation de la composition de résistance> Un mélange obtenu en mélangeant et en dissolvant les composants respectifs indiqués au tableau 1 a été filtré à travers un filtre en résine fluorée ayant un diamètre de pore de 0,2 um pour préparer des compositions de résist.
Composition de Résine Générateur Agent | de PB/PEB résist d'acide (B désactivation(C A1 = 10 | B1-43 = 3,4 Composition 1 C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties _ A2 = 10 | B1-43 = 3,4 . Composition 2 . | C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties A3 = 10 | B1-43 = 3,4 Composition 3 C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties _ A4 = 10 | B1-43 = 3,4 . Composition 4 . | C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties A5 = 10 | B1-43 = 3,4 Composition 5 C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties A6 = 10 | B1-43 = 3,4 Composition 6 C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties A7 = 10 | B1-43 = 3,4 . Composition 7 C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties A8 = 10 | B1-43 = 3,4 Composition 8 C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties A9 = 10 | B1-43 = 3,4 Composition 9 C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties AD = | 81-43 = 3,4 Composition 10 | 10 © |C1=0,7 partie | 110°C/120°C parties parties AU = | 81-43 = 3,4 Composition 11 | 10 -_ "| C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties ME 7 81-43-34 Composition 12 | 10 © |C1=0,7 partie | 110°C/120°C parties parties AIS = | 31-43 = 3,4 Composition 13 | 10 © |C1=0,7 partie | 110°C/120°C parties parties u A4 =| 8143 = 3,4 | Composition 14 | 10 C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties
N Al 7 | 81-43 = 3,4 Composition 15 | 10 C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C | parties parties N AIS = | 31-43 = 3,4 Composition 16 | 10 C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties AU 5 | 81-43 = 3,4 Composition 17 | 10 -_ "| C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties AIS = | 81-43 = 3,4 Composition 18 | 10 © |C1=0,7 partie | 110°C/120°C parties parties A = | 31-43 = 3,4 Composition 19 | 10 © |C1=0,7 partie | 110°C/120°C parties parties A20 = | 8143 = 3,4 Composition 20 | 10 co" |C1= 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties A21 = _ B1-43 = 3,4 | Composition 21 | 10 C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties A22 = N B1-43 = 3,4 | Composition 22 | 10 . C1 = 0,7 partie | 110°C/120°C parties parties Composition AXL = B1-43 = 3.4 post 10 775% | C1 = 0.7 partie | 110°C/120°C comparative 1 | parties parties
[0278] <Résine> A1 à A22, AX1: Résine A1 à Résine A22, Résine AX1. <Générateur d'acide (B)> B1-43: sel représenté par la formule (B1-43)
(synthétisé conformément aux exemples de JP 2016-47815 A) OP 106 Ô FF 9 <Agent de desactivation (C)> C1: synthétisé par la méthode mentionnée dans JP 2011-39502 A 9 | 9 <Solvant> Acétate d'éther monométhylique de propylène glycol 400 parties Ether monométhylique de propylène glycol 150 parties y-Butyrolactone 5 parties
[0279] (Évaluation de l'exposition de la composition de résist avec un faisceau d'électrons) Chaque galette de silicium de 6 pouces de diamètre a été traitée avec de l'hexaméthyldisilazane puis cuite sur une plaque chauffante directe à 90°C pendant 60 secondes. Une composition de résist a été appliquée par application centrifuge (« spin coating ») sur la galette de silicium de sorte que l'épaisseur de la composition soit ensuite de 0,04 um. La galette de silicium revêtue a été précuite sur la plaque chauffante directe à la température montrée dans la colonne "PB" du tableau 1 pendant 60 secondes pour former une couche de composition. Au moyen d'un système d'écriture directe par faisceau d'électrons «HL-800D 50 keV», fabriqué par Hitachi, Ltd.), des motifs de lignes et d'espaces ont été inscrits directement sur la couche de composition formée sur la galette tandis que la dose d'exposition était changée par étapes.
Après l'exposition, une cuisson de post-exposition a été réalisée sur la plaque chauffante à la température montrée dans la colonne "PEB" du tableau 1 pendant 60 secondes, ce qui a été suivi par un développement à palettes avec une solution aqueuse d'hydroxyde de tétraméthylammonium à 2,38 % en masse pendant 60 secondes pour obtenir un motif de résist.
Le motif de résist (motif de lignes et d'espaces) ainsi obtenu a été observé par un microscope électronique à balayage et la sensibilité effective a été exprimée en tant que dose d'exposition à laquelle un rapport d'une largeur de ligne à une largeur d'espace d'un motif de lignes et d'espaces de 60 nm de 1:1 était obtenu.
[0280] Évaluation de la rugosité de bord de ligne (LER): La rugosité de bord de ligne a été déterminée en mesurant une largeur de rugosité de l'irrégularité dans la surface de paroi du motif de résist produit à la sensibilité effective au moyen un microscope électronique à balayage. Les résultats sont présentés dans le tableau 2.
Tableau 2 OO | Composition OO |IER | Echec de la motif
[0281] (Evaluation de l'exposition de la composition de résist avec un faisceau d'électrons : développement d'acétate de butyle) Chaque galette de silicium de 6 pouces de diamètre a été traitée avec de l'hexaméthyldisilazane puis cuite sur une plaque chauffante directe à 90°C pendant 60 secondes. Une composition de résist a été appliquée par application centrifuge (« spin coating ») sur la galette de silicium de sorte que l'épaisseur de la composition soit ensuite de 0,04 um. La galette de silicium revêtue a été précuite sur la plaque chauffante directe à la température montrée dans la colonne "PB" du tableau 1 pendant 60 secondes pour former une couche de composition. Au moyen d'un système d'écriture directe par faisceau d'électrons «HL-800D 50 keV», fabriqué par Hitachi, Ltd.), des motifs de lignes et d'espaces ont été inscrits directement sur la couche de composition formée sur la galette tandis que la dose d'exposition était changée par étapes.
Après l'exposition, une cuisson de post-exposition a été réalisée sur la plaque chauffante à la température montrée dans la colonne "PEB" du tableau 1 pendant 60 secondes, puis la couche de composition sur la galette de silicium a été développée avec de l'acétate de butyle (fabriqué par Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) comme solution de développement à 23°C pendant 20 secondes par le procédé de distribution dynamique pour obtenir un motif de résist.
Le motif de résist (motif de lignes et d'espaces) ainsi obtenu a été observé par un microscope électronique à balayage et la sensibilité effective a été exprimée en tant que dose d'exposition à laquelle un rapport d'une largeur de ligne à une largeur d'espace d'un motif de lignes et d'espaces de 60 nm de 1:1 était obtenu.
[0283] Évaluation de la rugosité de bord de ligne (LER): La rugosité de bord de ligne a été déterminée en mesurant une largeur de rugosité de lirrégularité dans la surface de paroi du motif de résist produit à la sensibilité effective au moyen un microscope électronique à balayage. Les résultats sont présentés dans le tableau 3.
| [Composition ER
+ Echec de la Application industrielle
[0283] La composition de résist comprenant la résine de la présente invention est adapté au traitement fin de semi-conducteurs en raison de l'obtention d'un motif de résist avec une rugosité de bord de ligne satisfaisante (LER), et est donc industriellement très utile.

Claims (17)

REVENDICATIONS
1. Une résine comprenant une unité structurelle représentée par la formule (I), et au moins une unité structurelle choisie dans le groupe consistant en une unité structurelle représentée par la formule (a1-1) et une unité structurelle représentée par la formule (a1-2): R1 tout X’ (|) | 1 Ar Le | Ar--o—r?) n où, dans la formule (I), R* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, xt représente une liaison simple ou -CO-O-* (* représente un site de liaison à Ar*), X? représente -CO-O-*, -O-*, -O-CO-*, -O-CO-(CH2)mm-O-* ou -O-(CHz)nn-CO-O-* (* représente un site de liaison à Ar”), mm et nn représentent 0 ou 1, Art et Ar” représentent chacun indépendamment un groupe hydrocarboné aromatique ayant de 6 à 36 atomes de carbone qui peut avoir un substituant, R2 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe labile en milieu acide, ou lorsqu'il existe deux R* ou plus, deux R? peuvent se combiner pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique, n représente un entier de 1 à 3, et lorsque n est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R2 peuvent être identiques ou différents les uns des autres:
HE} Let
C C
O O La’ La2 ee Joon en ni" (a1-1) (a1-2) où, dans la formule (a1-1) et la formule (a1-2), Lt et L représentent chacun indépendamment -O- ou *-O- (CH>)y:-CO-O-, k1 représente un entier de 1 à 7, et *représente un site de liaison à -CO-, R°* et R® représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, R°° et R? représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 18 atomes de carbone, un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone, ou un groupe obtenu en combinant ces groupes, m1 représente un entier de 0 à 14, nl représente un entier de 0 à 10, et nl’ représente un entier de 0 à 3.
2. La résine selon la revendication 1, dans laquelle X* est une simple liaison.
3. La résine selon la revendication 1, dans laquelle X* est -CO-O-* ou -O-* (* représente un site de liaison à Art).
4. La résine selon la revendication 1, dans laquelle n vaut 1 ou 2.
5. La résine selon la revendication 1, dans laquelle le groupe labile en milieu acide dans R? est un groupe représenté par la formule (1a) ou un groupe représenté par la formule (2a):
O Raa1 Aj Pee (13) naa Raa3 où, dans la formule (la), R°*, R22 et R®* représentent chacun indépendamment un groupe alkyle ayant 1 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, un groupe alcényle ayant 2 à 8 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, ou un groupe hydrocarboné aromatique ayant 6 à 18 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, ou R* et R°2 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec des atomes de carbone auxquels R°* et R°°° sont liés, naa représente 0 ou 1, et * représente une liaison: Raat’ * — Re (2a) paaz où dans la formule (2a), R22! et R®7 représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe hydrocarboné ayant 1 à 12 atomes de carbone, R°* représente un groupe hydrocarboné ayant 1 à 20 atomes de carbone, ou R°°* et R223 peuvent être liés l'un à l'autre pour former un groupe hétérocyclique ayant 3 à 20 atomes de carbone avec —C-X?- auquel R°°7 et R°°* sont liés, et -CHz- inclus dans le groupe hydrocarboné et le groupe hétérocyclique peut être remplacé par - O- ou -S-, X? représente un atome d'oxygène ou un atome de soufre, * représente une position de liaison.
6. La résine selon la revendication 1, dans laquelle R? est un atome d'hydrogène, ou n est 2 ou plus et deux R* se combinent pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique.
7. La résine selon la revendication 1, comprenant en outre une unité structurelle représentée par la formule (a2-A):
H, Ra» te + A250 (a2-A)
A (RP) nb où, dans la formule (a2-A), R°5 représente un atome d'hydrogène, un atome d'halogène ou un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ayant éventuellement un atome d'halogène, R3! représente un atome d'halogène, un groupe hydroxy, un groupe alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxy ayant 1 à 6 atomes de carbone, un groupe alcoxyalkyle ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alcoxyalcoxy ayant 2 à 12 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyle ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe alkylcarbonyloxy ayant 2 à 4 atomes de carbone, un groupe acryloyloxy ou un groupe méthacryloyloxy, A2°0 représente une simple liaison ou *-X2**-(A252-X252) bp", et * représente un site de liaison aux atomes de carbone auxquels -R2° est lié, A°°? représente un groupe alcanediyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, x°°1 et X? représentent chacun indépendamment -O-, -CO-O- ou-O-CO- nb représente 0 ou 1, et mb représente un entier de 0 à 4, et quand mb est un entier de 2 ou plus, une pluralité de R°* peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
8. Une composition de résist comprenant la résine selon la revendication 1 et un générateur d'acide.
9. La composition de résist selon la revendication 8, dans laquelle le générateur d'acide comprend un sel représenté par la formule (B1):
QM + -Q4S 91 2 OS | AIA, (B) Je où, dans la formule (B1), Q et Q®* représentent chacun indépendamment un atome de fluor ou un groupe perfluoroalkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone, LP! représente un groupe hydrocarboné saturé divalent ayant 1 à 24 atomes de carbone, -CH:- inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être remplacé par -O- ou -CO-, et un atome d'hydrogène inclus dans le groupe hydrocarboné saturé divalent peut être substitué avec un atome de fluor ou un groupe hydroxy, Y représente un groupe méthyle qui peut avoir un substituant ou un groupe hydrocarboné alicyclique ayant 3 à 24 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, et -CH>- inclus dans le groupe hydrocarboné alicyclique peut être remplacé par -O-, -S(O)2- ou -CO-, et Z* représente un cation organique.
10. La composition de réserve selon la revendication 8, comprenant en outre un sel générant un acide ayant une acidité inférieure à celle d'un acide généré par le générateur d'acide.
11. Un procédé pour produire un motif de résist, qui comprend: (1) une étape d'application de la composition de résist selon la revendication 8 sur un substrat, (2) une étape de séchage de la composition appliquée pour former une couche de composition, (3) une étape d'exposition de la couche de composition, (4) une étape de chauffage de la couche de composition exposée, et (5) une étape de développement de la couche de composition chauffée.
12. Un composé représenté par la formule (TA): R1 CH2==C ,
IA Ja (IA) x2 \ (Bte) 9 9 À
RS où, dans la formule (IA), R* représente un atome d'hydrogène ou un groupe méthyle, xt représente une liaison simple ou -CO-O-* (* représente un site de liaison à Ar”), X? représente -CO-O-*, -O-*, -O-CO-*, -O-CO-(CH>)mm-O-* ou -O-(CH>)nn-CO-O-* (* représente un site de liaison au cycle benzénique), mm et nn représentent 0 ou 1, Art représente un groupe hydrocarboné aromatique ayant de 6 à 36 atomes de carbone qui peuvent avoir un substituant, R* et R* représentent chacun indépendamment un atome d'hydrogène ou un groupe labile en milieu acide, ou R* et R* peuvent se combiner pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique, R° représente un atome d'halogène, un groupe fluorure d'alkyle ayant 1 à 6 atomes de carbone ou un groupe alkyle ayant 1 à 12 atomes de carbone, et -CH>- inclus dans le groupe alkyle et le groupe fluorure d'alkyle peut être remplacé par -O- ou -CO-, et n' représente un entier de O à 3, et lorsque n' vaut 2 ou plus, une pluralité de R° peuvent être identiques ou différents les uns des autres.
13. Le composé la revendication 12, dans lequel X* est une simple liaison.
14. Le composé selon la revendication 12, dans lequel X? est -CO-O- * ou -O-* (* représente un site de liaison au cycle benzénique).
15. Le composé selon la revendication 12, dans lequel n’ vaut 0.
16. Le composé selon la revendication 12, dans lequel R* et R* sont un atome d'hydrogène, ou R3 et R* se combinent ensemble pour former un groupe ayant une structure acétal cyclique.
17. Une résine comprenant une unité structurelle dérivée du composé selon la revendication 12.
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